JP2002009588A - 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 広帯域化を図り得るだけでなく、通過帯域内
における挿入損失を小さくし得る縦結合共振子型弾性表
面波フィルタを得る。 【解決手段】 圧電基板２上に、弾性表面波伝搬方向に
沿ってそれぞれ複数本の電極指を有する少なくとも３つ
のＩＤＴ１３〜１５を備え、少なくとも１つのＩＤＴ１
３〜１５が、表面波伝搬方向に隣接している他のＩＤＴ
端部から一部分である第１の部分の電極指の周期が、該
ＩＤＴの残りの部分である第２の部分の電極指の周期と
異なっている、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタに関し、特に、３個以上のＩＤＴ（イ
ンターデジタルトランスデューサ）を有する縦結合共振
子型弾性表面波フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、携帯電話機のＲＦ段のバンドパス
フィルタとして、弾性表面波フィルタが広く用いられて
いる。バンドパスフィルタでは、低損失、高減衰量及び
広帯域であることなどが求められ、弾性表面波フィルタ
においても、これらの要求を満たすために種々の提案が
なされている。

【０００３】特開平５−２６７９９０号公報には、縦結
合共振子型弾性表面波フィルタにおいて広帯域化を図る
方法の一例が開示されている。ここでは、隣合うＩＤＴ
間における電極指が周期的に並ぶ条件、より具体的に
は、弾性表面波伝搬方向に隣合う２個のＩＤＴの隣接す
る電極指中心間距離を、電極指の周期で決まる波長の
０．５倍からずらすことにより、共振モードを最適に配
置する方法が採用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記先
行技術のように、隣合うＩＤＴ間において、隣合う電極
指の中心間距離を、電極指の周期で決まる波長の０．５
倍からずらすと、その部分において弾性表面波伝搬路の
周期的な連続性が悪化する。特に、漏洩弾性表面波（リ
ーキー波）を用いる３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ₃
や６４°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ₃ などの圧電基板を
用いた場合には、バルク波の放射による損失が増加する
こととなる。その結果、広帯域化を図ることは可能であ
っても、挿入損失が大きくなるという問題があった。

【０００５】本発明の目的は、上述した先行技術の問題
点を解消し、広帯域化を図り得るだけでなく、通過帯域
内における挿入損失を小さくし得る縦結合共振子型弾性
表面波フィルタを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の広い局面によれ
ば、圧電基板と、前記圧電基板上において弾性表面波伝
搬方向に沿って形成されており、それぞれ複数本の電極
指を有する少なくとも３つのＩＤＴとを備え、少なくと
も１つのＩＤＴにおける、表面波伝搬方向に隣接してい
る他のＩＤＴ側端部から一部分である第１の部分の電極
指の周期が、該ＩＤＴの残りの部分である第２の部分の
電極指の周期と異なっており、第１，第２の部分の電極
指の周期で決まる表面波の波長が、それぞれλＩ１，λ
Ｉ２である縦結合共振子型弾性表面波フィルタが提供さ
れる。

【０００７】本発明のある特定の局面では、第１の部分
の電極指の周期が、第２の部分の電極指の周期よりも小
さくされている。本発明のより限定的な局面では、第１
の部分の電極指の周期が、第２の部分の電極指の周期の
０．８２〜０．９９倍である。

【０００８】本発明の別の特定の局面では、隣合う一対
のＩＤＴの双方が、第１の部分の電極指の周期が第２の
部分の電極指の周期と異なるように構成されており、前
記一対のＩＤＴの隣合う電極指中心間距離が、０．５λ
Ｉ１と略一致されている。

【０００９】本発明の他の特定の局面では、隣合う一対
のＩＤＴの一方のみが、第１の部分の電極指の周期が、
第２の部分の電極指の周期と異なるように構成されてお
り、前記一対のＩＤＴの隣合う電極指中心間距離が、
０．２５λＩ１＋０．２５λＩ２に略一致されている。

【００１０】本発明のさらに他の特定の局面では、第１
の部分の電極指の周期が第２の部分の電極指の周期と異
ならされているＩＤＴにおいて、第１の部分の電極指
と、第２の部分の電極指とが隣合う箇所における電極指
中心間距離が０．２５λＩ１＋０．２５λＩ２に略一致
されている。

【００１１】本発明のさらに別の特定の局面では、第
１，第２の部分を有するＩＤＴと、該ＩＤＴに隣接する
ＩＤＴとの隣合う電極指の極性が異ならされている。本
発明の別の特定の局面では、隣合う一対のＩＤＴの隣合
っている部分の両側において、第１の部分の電極指の合
計の本数が１８本以下とされている。

【００１２】本発明のさらに別の特定の局面では、隣り
合う一対のＩＤＴの、周期を異ならせていない電極指同
士の中心間距離を、（０．０８＋０．５ｎ）λＩ２〜
（０．２４＋０．５ｎ）λＩ２（ｎ＝１，２，３，…）
とされている。

【００１３】本発明のさらに別の特定の局面では、隣り
合う一対のＩＤＴの、周期を異ならせていない電極指同
士の中心間距離を、（０．１３＋０．５ｎ）λＩ２〜
（０．２３＋０．５ｎ）λＩ２（ｎ＝１，２，３，…）
とされている。

【００１４】本発明のさらに別の特定の局面では、表面
波伝搬方向において隣合う一対のＩＤＴの双方が、上記
第１，第２の部分を有し、双方のＩＤＴにおける第１の
部分の電極指の本数が異なるように構成されている。

【００１５】本発明においては、上記圧電基板を構成す
る圧電材料は特に限定されるわけではないが、好ましく
は、ＬｉＴａＯ₃ 単結晶をＸ軸を中心にＹ軸方向に３６
〜４４度の範囲で回転させたものが用いられる。

【００１６】本発明の他の特定の局面では、前記第１の
部分の電極指の膜厚が、第２の部分の電極指の膜厚と異
なるように構成されている。この場合、好ましくは、前
記第１の部分の電極指の膜厚が、前記第２の部分の電極
指の膜厚よりも薄くされている。

【００１７】また、本発明のさらに他の特定の局面で
は、前記第１の部分の電極指がスプリット電極により構
成されている。本発明のさらに他の特定の局面では、本
発明に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタが少なく
とも２段縦続接続される。好ましくは、前記複数段の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの少なくとも１つの段
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける第１の部
分の電極指の周期が、他の段の縦結合共振子型弾性表面
波フィルタにおける前記第１の部分の電極指の周期と異
ならされる。

【００１８】また、本発明のより限定的な局面では、上
記複数段の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの各段に
おいて、前記第１の部分の電極指の周期が異なってい
る。本発明のさらに他の特定の局面では、少なくとも１
つの直列共振子及び／または並列共振子が入力側及び／
または出力側に接続されている。

【００１９】本発明に係る縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタは、平衡−不平衡入出力を有するように構成され
てもよく、平衡−平衡入出力を有するように構成されて
いてもよい。本発明に係る通信機は、本発明に従って構
成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを帯域フィ
ルタとして備える。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
説明することにより、本発明をより詳細に説明する。

【００２１】図１は、本発明の第１の実施例に係る縦結
合共振子型弾性表面波フィルタを説明するための略図的
平面図である。なお、本実施例及び以下の実施例では、
ＥＧＳＭ方式の携帯電話の受信用バンドパスフィルタに
適用されるものである。もっとも、本発明に係る縦結合
共振子型弾性表面波フィルタは、他の方式の携帯電話機
や、携帯電話機以外の他の通信機器におけるバンドパス
フィルタとしても用いることができる。

【００２２】本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ１は、圧電基板２上に、図１に略図的平面図で示さ
れている電極構造を形成することにより構成されてい
る。圧電基板２は、３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ₃
基板を用いて構成されている。もっとも、圧電基板２
は、他の結晶方位のＬｉＴａＯ₃ 基板を用いて構成して
もよく、あるいはＬｉＴａＯ₃ 基板以外の他の圧電材
料、例えばＬｉＮｂＯ₃ 基板や水晶などの圧電単結晶、
あるいは圧電セラミックスを用いて構成してもよい。さ
らに、圧電基板２は、絶縁基板上にＺｎＯ薄膜などの圧
電薄膜を形成することにより構成されていてもよい。

【００２３】本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ１では、圧電基板２上にＡｌにより以下に詳述する
電極構造が形成されている。もっとも、電極材料として
は、Ａｌ以外の金属もしくは合金を用いてもよい。

【００２４】本実施例では、第１，第２の縦結合共振子
型弾性表面波フィルタ１１，１２が縦続接続されてい
る。すなわち、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ１１，１２が２段縦続接続されている。

【００２５】弾性表面波フィルタ１１，１２は、いずれ
も、表面波伝搬方向に沿って配置された３個のＩＤＴを
有する。すなわち、これらの弾性表面波フィルタ１１，
１２は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタである。また、弾性表面波フィルタ１１，１２の
電極設計は同一とされている。

【００２６】弾性表面波フィルタ１１は、ＩＤＴ１３〜
１５を有する。そして、ＩＤＴ１３〜１５が形成されて
いる部分の表面波伝搬方向両側にグレーティング型の反
射器１６，１７が配置されている。同様に、弾性表面波
フィルタ１２も、３個のＩＤＴ１８〜２０及びＩＤＴ１
８〜２０が形成されている領域の表面波伝搬方向両側に
配置されたグレーティング型反射器２１，２２とを有す
る。

【００２７】本実施例では、弾性表面波フィルタ１１の
中央に配置されたＩＤＴ１４の一端が入力端とされてお
り、弾性表面波フィルタ１２の中央に配置されているＩ
ＤＴ１９が出力端とされている。また、ＩＤＴ１３，１
５の一端が、それぞれ、ＩＤＴ１８，２０の一端に接続
されている。入出力端あるいはＩＤＴ相互に接続されて
いる端部とは逆側の各ＩＤＴ１３〜１５，１８〜２０の
端部は図１から明らかなように、アース電位に接続され
ている。

【００２８】本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ１の特徴は、弾性表面波フィルタ１１，１２におい
て、隣合うＩＤＴ間の両側において、ＩＤＴの一部の電
極指ピッチが、該ＩＤＴの残りの部分の電極指ピッチよ
りも狭められていることにある。これを、ＩＤＴ１３，
１４間を例にとり、より具体的に説明する。

【００２９】ＩＤＴ１３とＩＤＴ１４とは、表面波伝搬
方向において隣合っている。ＩＤＴ１３のＩＤＴ１４側
の端部から数本の電極指１３ａ，１３ｂ間の電極指ピッ
チが、残りの電極指１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，
１３ｇ間の電極指ピッチよりも狭められている。同様
に、ＩＤＴ１４においても、ＩＤＴ１３側の端部の数本
の電極指１４ａ，１４ｂ間の電極指ピッチが、電極指１
４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ，１４ｇ間の電極指ピッ
チよりも狭められている。なお、ＩＤＴ１３において、
上記のようにＩＤＴ１４側端部から複数本の電極指１３
ａ，１３ｂ間の電極指ピッチが狭められている部分を第
１の部分とし、残りの電極指１３ｃ〜１３ｇが配置され
ている部分を第２の部分とする。このように、本実施例
の弾性表面波フィルタ１では、各ＩＤＴが、隣接するＩ
ＤＴ側端部から複数本の電極指のピッチが、残りの電極
指のピッチよりも狭められている。

【００３０】なお、中央に配置されているＩＤＴ１４に
おいては、第１の部分は表面波伝搬方向両側に配置され
ている。すなわち、上述した電極指１４ａ，１４ｂが設
けられている部分だけでなく、ＩＤＴ１５側の端部の複
数本の電極指１４ｈ，１４ｉが配置されている部分にお
いても電極指ピッチが狭められており、従って、電極指
１４ｈ，１４ｉが設けられている部分も第１の部分とな
る。

【００３１】ＩＤＴ１５においても、ＩＤＴ１４側に、
ＩＤＴ１３と同様に第１の部分が構成されており、第１
の部分以外が第２の部分を構成している。また、弾性表
面波フィルタ１２側のＩＤＴ１８〜２０についても、Ｉ
ＤＴ１３〜１５と同様に構成されている。

【００３２】なお、図１及び後述の変形例や他の実施例
の電極構造を示す各図においては、実際の電極指の数よ
りも、図示を容易とするため電極指の数は少なく図示さ
れている。

【００３３】次に、本実施例の弾性表面波フィルタ１の
電極構造の詳細をより具体的に説明する。いま、上記第
１の部分の電極指ピッチで定められる表面波の波長をλ
Ｉ１、第２の部分の電極指ピッチで定められる表面波の
波長をλＩ２とする。

【００３４】ＩＤＴ１３〜１８の電極指交差幅は、いず
れも３５．８λＩ２であり、電極膜厚は０．０８λＩ２
である。また、ＩＤＴ１３〜１５の電極指の本数は以下
のとおりである。

【００３５】ＩＤＴ１３…電極指の本数２９本、但し、
第１の部分の電極指の本数は４本、第２の部分の電極指
の本数が２５本。 ＩＤＴ１４…電極指の本数３３本、但し両側の第１の部
分は、それぞれ電極指の本数が４本であり、中央の第２
の部分の電極指の本数は３３−８＝２５本である。

【００３６】ＩＤＴ１５…電極指の本数は２９本であ
り、第１の部分の電極指の本数が４本、第２の部分の電
極指の本数が２５本。ＩＤＴの波長を示す上記λＩ１
は、３．９０μｍ、λＩ２は４．１９μｍである。

【００３７】反射器１６，１７の電極指の本数は１００
本であり、波長λＲは４．２９μｍである。また、第１
の部分と第２の部分との間隔は、図１のＩＤＴ１３を例
にとると、電極指１３ｃの中心と電極指１３ｂの中心と
の間の間隔となり、この間隔が、０．２５λＩ１＋０．
２５λＩ２である。他のＩＤＴにおける第１の部分と第
２の部分との間の間隔も同じ大きさとされている。さら
に、隣合うＩＤＴ間の間隔、例えばＩＤＴ１４とＩＤＴ
１５との隣合う電極指１４ｉ，１５ａ間の中心間距離
は、０．５０λＩ１とされている。

【００３８】さらに、ＩＤＴ１３，１５と、反射器１
６，１７とのそれぞれの間隔、すなわちＩＤＴの外側端
部と反射器の内側端との間の相互の電極指中心間距離は
０．５０λＲである。

【００３９】また、各ＩＤＴ１３〜１５のデューティー
は０．７３、反射器のデューティーは０．５５である。
なお、ここでデューティーとは、（電極指の幅＋電極指
間の間隔）に対する、電極指の幅の割合を示す。

【００４０】なお、表面波フィルタ１２の各ＩＤＴ１８
〜２０及び反射器２１，２２についても、ＩＤＴ１３〜
１５及び反射器１６，１７と全く同様に構成されてい
る。本実施例は、第１，第２の部分の間の間隔及び隣合
うＩＤＴ間の間隔が上記のように設計されていることに
特徴を有する。なお、後程より詳細に説明するが、これ
らの間隔は、その周囲のＩＤＴの波長の０．５０倍、ま
た、間隔の両側で波長が異なる場合には、これらの波長
の０．２５倍を加えた間隔にしておくことが、ＩＤＴの
連続性を保つ上で好ましい。

【００４１】比較のために、従来の縦結合共振子型弾性
表面波フィルタを用意した。この従来の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの電極構造を図２に示す。図２から
明らかなように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２
０１は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１のような
２種の間隔が設けられておらず、全ての電極指間の間隔
が等しいことを除いては、同様に構成されている。従っ
て、同一部分については、上記実施例の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの各部分を示す参照番号に２００加
えた参照番号を付することにより、その詳細な説明は省
略する。この比較のために用意した弾性表面波フィルタ
２０１では、電極構造の詳細は以下のとおりとした。

【００４２】すなわち、ＩＤＴ２１３〜２１５，２１８
〜２２０の交差幅Ｗは４３．２λＩとした。また、ＩＤ
Ｔの電極指の本数は、以下のとおりとした。ＩＤＴ２１
３，２１５，２１８，２２０…２５本。ＩＤＴ２１４，
２１９…３１本。

【００４３】ＩＤＴの波長λＩは、４．１７μｍ、反射
器の波長λＲは４．２９μｍ。反射器の電極指の本数
は、それぞれ１００本とした。また、隣合うＩＤＴ−Ｉ
ＤＴ間の電極指中心間距離は０．３２λＩとし、反射器
と反射器に隣接するＩＤＴとの電極指中心間距離は０．
５０λＲとした。さらに、ＩＤＴのデューティー及び反
射器のデューティーは実施例と同様とし、電極膜厚につ
いては０．０８λＩとした。

【００４４】上記のようにして用意された実施例及び従
来例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの振幅特性を
測定した。結果を図３に示す。図３の実線が実施例の結
果を、破線が従来例の結果を示す。また、破線及び実線
で示される各振幅特性の要部を、縦軸の右側のスケール
で拡大した特性を併せて示す。

【００４５】図３から明らかなように、本実施例の縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ１では、従来例に比べ
て、通過帯域内の挿入損失を大幅に改善し得ることがわ
かる。例えば、通過帯域内の最小挿入損失は、従来例で
は約２．３ｄＢであるのに対し、本実施例では、約１．
７ｄＢであり、約０．６ｄＢ改善していることがわか
る。

【００４６】また、従来例では、スルーレベルから４．
５ｄＢの減衰量の帯域幅は約４４ＭＨｚであったのに対
し、実施例では、スルーレベルから３．９ｄＢの減衰量
で同じ帯域幅が得られている。すなわち、通過帯域全体
で比べた場合、実施例によれば、従来例に比べて約０．
６ｄＢだけ、挿入損失が改善される。

【００４７】本実施例において、上記のように挿入損失
を改善し得た理由は、以下のとおりである。従来の３Ｉ
ＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表面波フィルタの設計
では、隣合うＩＤＴ間の電極指中心間距離は０．２５λ
Ｉ前後とされていた。これは、インピーダンスを５０Ω
から５００Ωに変更することにより明らかにされている
図４の従来例の弾性表面波フィルタの周波数特性におけ
る矢印Ａ〜Ｃで示されるピークを有する３つの共振モー
ドを利用して通過帯域を形成するためである。すなわ
ち、図５に示す電極構造において、下方に略図的に示さ
れている０次モード（図４の矢印Ｂ）及び２次モード
（図４の矢印Ａ）の他に、ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔部分に弾
性表面波の強度分布のピークを持つ共振モード（図４の
矢印Ｃ）も利用することにより、通過帯域が形成されて
いた。

【００４８】しかしながら、ＩＤＴ−ＩＤＴ間の間隔が
０．２５λＩとされているので、表面波伝搬路中に不連
続部分が発生することとなっていた。不連続部分ではバ
ルク波として放射する成分が多くなるため、伝搬損失が
大きくなるという問題が生じる。

【００４９】従って、上記伝搬損失を小さくするには、
ＩＤＴ−ＩＤＴ間の間隔を０．５０λＩとし、不連続部
分をなくせばよいと考えられる。しかしながら、ＩＤＴ
−ＩＤＴ間の間隔を０．５０λＩとした場合には、上記
のような３つのモードを利用することができなくなり、
広帯域化を図ることはできないという問題が生じる。

【００５０】本実施例は、上記２つの問題を解決するた
めに、隣合うＩＤＴ間において、上記第１，第２の部分
を設け、すなわち電極指ピッチをＩＤＴ内で部分的に変
更することにより、３つの共振モードを利用して通過帯
域を形成すると共に、ＩＤＴ−ＩＤＴ間の間隔を該間隔
の両側のＩＤＴの波長の約０．５０倍とすることによ
り、バルク波として放射される損失を低減したことに特
徴を有する。

【００５１】また、一般に、伝搬路中を伝搬している表
面波の波長に対し、電極指の周期が小さい場合には、弾
性表面波そのものの伝搬損失が小さくなる。従って、上
記のように、第１の部分では、第２の部分に比べて電極
指ピッチが小さくされているので、それによっても弾性
表面波の伝搬損失が低減される。

【００５２】従って、図３に示したように、広帯域化が
図られた従来例と同様の通過帯域幅を有するにもかかわ
らず、通過帯域内の挿入損失を従来例に比べて著しく小
さくすることができる。

【００５３】本願発明者は、上記第１の部分における電
極指ピッチを、第２の部分に対してどの程度小さくすれ
ば、より良好な結果を得られるかを検討した。すなわ
ち、図１に示した実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタの第１の部分における電極指ピッチを種々異なら
せ、それによって伝搬損失がどのように変化するかを調
べた。図６に結果を示す。

【００５４】図６の横軸は第１の部分の電極指ピッチの
第２の部分の電極指ピッチに対する比（これを狭ピッチ
電極指のピッチ比とする）を示し、縦軸は伝搬損失を示
す。なお、図６における伝搬損失とは、通過帯域内の挿
入損失からインピーダンスの不整合による損失及び電極
指の抵抗分によるオーミック損失を差し引いた値であ
る。

【００５５】なお、図６の結果を得るにあたっては、電
極指ピッチが狭い電極指の本数を８本、１２本及び１８
本と異ならせた場合の結果を示す。ここで、電極指ピッ
チが狭い電極指の本数とは、ＩＤＴ１３〜１５を例にと
ると、ＩＤＴ１３の第１の部分の電極指の本数（図１で
は２本が図示されている）と、ＩＤＴ１４のＩＤＴ１３
側の第１の部分の狭ピッチの電極指の本数（図１では２
本）の合計をいうものとし、この場合図１では４本が図
示されているが、上記のように８本、１２本あるいは１
８本とした。

【００５６】同様に、ＩＤＴ１５と、ＩＤＴ１４とが隣
合う部分では、電極指ピッチの狭い電極指の本数の合計
は、図１では４本と図示されているが、これについて
も、上記のように８本、１２本及び１８本とした。すな
わち、図１は、上記電極指ピッチが狭い電極指の本数が
４本である設計を図示していることになる。以下の説明
において、「狭ピッチ電極指の本数」とは、上記のよう
にして定義された値であることを意味する。

【００５７】図６から明らかなように、狭ピッチ電極指
のピッチ比が０．９５付近において、どの狭ピッチ電極
指の本数の場合にも、伝搬損失が最も小さくなることが
わかる。この伝搬損失の改善分は、バルク波として放射
する損失が低減した分と、電極指ピッチを小さくしたこ
とによる弾性表面波の伝搬損失が低減した分との合計と
考えられる。

【００５８】すなわち、帯域内挿入損失を小さくするに
は、上記狭ピッチ電極指のピッチ比をこの程度の値にす
るのが好ましいことがわかる。次に、従来例に対して伝
搬損失が小さくなる範囲を確かめた。従来法における設
計では、伝搬損失が約１．９ｄＢであった。これに対し
て、後程説明するが、本実施例では、狭ピッチ電極指の
本数は１８本以下にすることが好ましい。

【００５９】図６から明らかなように、伝搬損失の低減
効果が見られる範囲は、狭ピッチ電極指のピッチ比が
０．８３〜０．９９の範囲であることがわかる。もっと
も、狭ピッチ電極指のピッチ比が０．８３未満でも、条
件によっては伝搬損失が小さくなっているが、電極の加
工精度に制約があることを考えれば、０．８３〜０．９
９付近が好ましいことがわかる。

【００６０】次に、狭ピッチ電極指の本数の好ましい範
囲を確認した。図７は、狭ピッチ電極指の本数を、８本
及び１２本としたときの、それぞれにおける通過帯域内
のインピーダンス整合を図るように、各設計パラメータ
を調整した場合の反射特性を示す。図７（ａ）が、狭ピ
ッチ電極指の本数が８本の場合を示し、図７（ｂ）が狭
ピッチ電極指の本数が１２本の場合を示す。

【００６１】狭ピッチ電極指の本数を多くすると、イン
ピーダンスの集中度が悪くなる傾向があり、すなわちＶ
ＳＷＲや帯域内偏差が悪化する傾向がある。また、帯域
内偏差が悪化することで、通過帯域幅が狭くなる傾向に
ある。そこで、上記実施例の設計を基本とし、狭ピッチ
電極指の本数を変化させた場合のＶＳＷＲと通過帯域幅
の変化を測定した。その結果を図８及び図３２に示す。

【００６２】なお、図８におけるＶＳＷＲの値、また図
３２における通過帯域幅の値は、それぞれの狭ピッチ電
極指の本数において、通過帯域内のインピーダンス整合
を図るように、交差幅及び狭ピッチ電極指におけるピッ
チなどを変化させた場合の値である。一般に、ＶＳＷＲ
の値は２．５以下とすることが望ましく、また通過帯域
幅は、温度による特性の変化や特性バラツキ等を考慮す
ると、ＥＧＳＭ方式では４２ＭＨｚ以上であることが望
ましい。

【００６３】図８において、ＶＳＷＲが２．５以下であ
る範囲は、狭ピッチ電極指の本数が１８本以下である。
また、図３２から明らかなように、通過帯域幅が４２Ｍ
Ｈｚ以上である狭ピッチ電極指の本数も１８本以下であ
る。すなわち、狭ピッチ電極指の本数を１８本以下とす
ることが好ましく、それによってインピーダンスの集中
度が高くなり、ＶＳＷＲや帯域内偏差が小さく、また十
分な通過帯域幅を持つ縦結合共振子型弾性表面波フィル
タが得られることがわかる。

【００６４】次に隣り合うＩＤＴ間の間隔を、実施例か
ら変更した場合の伝搬損失の変化を調査した。その結果
を図３３に示す。図３３は、隣り合うＩＤＴ間の間隔、
例えば図１におけるＩＤＴ１４とＩＤＴ１５との隣り合
う電極指１４ｉ、１５ａ間の中心間距離は実施例では
０．５０λＩ１とされているが、この０．５０λＩ１を
０として、そこからの中心間距離の変化に対する伝搬損
失の変化をプロットしたものである。図３３において、
隣り合うＩＤＴ間の中心間距離を変化させると、伝搬損
失が悪化している。つまり、低損失なフィルタを得るた
めには、隣り合うＩＤＴ間の中心間距離は、０．５０λ
Ｉ１であることが望ましいことがわかる。同様に、ピッ
チが異なる第１の部分と第２の部分との間隔は、実施例
にあるように０．２５λＩ１＋０．２５λＩ２であるこ
とが、低損失なフィルタを得るためには望ましい。

【００６５】次に、ピッチを小さくしていない電極指同
士の中心間距離、図１で説明すると、例えば電極指１３
ｃと１４ｃの中心間距離は、どの程度が望ましいかを調
査した。その結果を図３４に示す。図３４は、本発明の
構成において、ＥＧＳＭ方式だけではなく、ＤＣＳ方
式、ＰＣＳ方式等、様々な用途に対しフィルタを最適な
特性となるように設計した場合の、ピッチを小さくして
いない電極指同士の中心間距離を調査した結果である。
これらの設計はすべて、それぞれの方式における必要帯
域幅を有し、かつＶＳＷＲが２．５以下となる様に設計
したものである。横軸は、ピッチを小さくしていない電
極指同士の中心間距離を、ピッチを小さくしていない電
極指の波長比であらわした値であるが、この値は、それ
ぞれの場合の中心間距離から、０．５ｎ（ｎ＝１，２，
３…）の値を引いて、すべての値が０．０．〜０．５の
範囲となるようにした値である。、例えば、波長比で
４．７３であったとすると、図３４では０．２３として
プロットしている。

【００６６】図３４において、ピッチを小さくしていな
い電極指同士の中心間距離は、約０．１３〜０．２３に
集中しており、さらにすべての場合において、０．０８
〜０．２４の範囲に入っている。図２のような従来技術
においては、この中心間距離は約０．２５〜０．３０で
あることが望ましかったが、本発明の場合は０．０８〜
０．２４、望ましくは０．１３〜０．２３の範囲がよい
ことがわかる。

【００６７】なお、本実施例では、３６°ＹカットＸ伝
搬ＬｉＴａＯ₃ 基板を用いたが、他の結晶方位のＬｉＴ
ａＯ₃ 基板やＬｉＮｂＯ₃ 基板などを用いてもよく、例
えば、３６〜４４°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ₃ 基板、
６４〜７２°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ₃ 基板、４１°
ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ₃ 基板などのリーキー波を用
いる圧電基板において特に大きな効果を得ることができ
る。

【００６８】また、本実施例では、３ＩＤＴ型縦結合共
振子型弾性表面波フィルタが２段縦続接続されていた
が、図９に示すように、１段の縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ３１においても、本実施例と同様に構成する
ことにより、本発明の効果を得ることができる。さら
に、３個のＩＤＴを有するものに限定されず、例えば図
１０に示す縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３２のよ
うに、５個のＩＤＴ３３〜３７を有するものにも、本発
明を適用することにより、本発明の効果を得ることがで
きる。

【００６９】すなわち、本発明においては、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタにおけるＩＤＴの数は、３個に
限らず、５個以上であってもよく、並びに、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタは複数段構成を有するものに限
定されない。

【００７０】（第２の実施例）図１１は、本発明の第２
の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電
極構造を示す模式的平面図である。

【００７１】第２の実施例の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ４１は、表面波伝搬方向中央に配置されたＩＤ
Ｔ１４，１９が反転されていることを除いては、第１の
実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１と全く同
様に構成されている。

【００７２】すなわち、第１の実施例では、隣合うＩＤ
Ｔの隣合う電極指はアース電位に接続されていたのに対
し、第２の実施例では、ＩＤＴ１４，１９の最外側の電
極指がアース電位ではなく、入出力端に接続されてい
る。従って、隣合うＩＤＴ間において、シグナル電極で
ある電極指と外側のＩＤＴのアース電位に接続される電
極指とが隣合っていることになる。

【００７３】より具体的には、図１１において、ＩＤＴ
１３，１５のＩＤＴ１４側端部の電極指１３ａ，１５ａ
がアース電位に接続されているのに対し、電極指１３
ａ，１５ａと隣合っているＩＤＴ１４の電極指１４ａ，
１４ｉが入力端に接続されている。すなわち、隣合うＩ
ＤＴ間において、隣合う電極指の極性が反転されてい
る。弾性表面波フィルタ１２においても同様に構成され
ている。

【００７４】従って、第２の実施例の縦結合共振子型弾
性表面波フィルタは、隣合うＩＤＴ間の隣合う電極指の
極性が反転されている縦結合共振子型弾性表面波フィル
タを２段縦続接続した構成を有する。

【００７５】図１２に、第２の実施例の弾性表面波フィ
ルタ４１と、第１の実施例の弾性表面波フィルタ１の共
振モードの違いを示す。ここでは、入出力インピーダン
スを５０Ωから５００Ωに変えて共振モードを確認した
結果が示されている。

【００７６】図１２において、実線が第２の実施例の結
果を、破線が第１の実施例についての結果を示す。図１
２のＤは、ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔に弾性表面波の強度分布
のピークを有する定在波の共振モードを示し、Ｅが０次
モード、Ｇが２次モードであり、Ｆは２段縦続接続によ
り発生したモードである。

【００７７】第１の実施例と第２の実施例の大きな相違
点は、第２の実施例においては、矢印Ｄで示す共振モー
ドのレベルが大きくなっていることである。第１の実施
例では、隣合うＩＤＴ同士の隣合う電極指がアース電位
に接続されているので、ＩＤＴ−ＩＤＴ間の弾性表面波
を電気信号に変換することができない。その結果、ＩＤ
Ｔ−ＩＤＴ間隔部に強度のピークを有する共振モードＤ
の電気信号への変換効率が低下する。

【００７８】これに対して、第２の実施例では、隣合う
ＩＤＴ同士の隣接する電極指の極性が反転されているの
で、ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔部でも弾性表面波が電気信号に
変換される。従って、上記共振モードＤの電気信号への
変換効率が高められる。

【００７９】図１３は、第２の実施例及び第１の実施例
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの振幅特性及び縦
軸の挿入損失を右側のスケールで拡大した各振幅特性を
示す。なお、図１３の第２の実施例（実線）の振幅特性
は、モードの周波数、及びレベルが変化した分によるイ
ンピーダンスのずれを補正するために、第１の実施例に
おける設計条件から、交差幅を３３．４λＩ２、狭ピッ
チ電極指の波長を３．８８μｍに変更することにより得
られたものである。

【００８０】図１３から明らかなように、第２の実施例
によれば、第１の実施例（破線）に比べて、さらに通過
帯域内の挿入損失を改善することができ、通過帯域幅も
広くなっていることがわかる。従って、隣合うＩＤＴ間
の隣合う電極指の極性を反転させることが好ましく、そ
れによって、より一層挿入損失が小さくかつ通過帯域幅
の広い縦結合共振子型弾性表面波フィルタを提供するこ
とができる。

【００８１】なお、第２の実施例の効果は、２段縦続接
続した縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１１，１２の
一方のみにおいて、上記のようにＩＤＴ間の隣合う電極
指の極性を反転させた場合においても得ることができ
る。

【００８２】（第３の実施例）図１４は、本発明の第３
の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電
極構造を示す模式的平面図である。

【００８３】第３の実施例の弾性表面波フィルタ５１で
は、第１の実施例と、狭ピッチ電極指の本数は異ならな
いが、ＩＤＴ１３の第１の部分の狭ピッチ電極指の本数
と、ＩＤＴ１４のＩＤＴ１３側の第１の部分の狭ピッチ
電極指の本数が異なるように構成されており、かつＩＤ
Ｔ１５の第１の部分の狭ピッチ電極指の本数と、ＩＤＴ
１４のＩＤＴ１５側の第１の部分の狭ピッチ電極指の本
数が異なるように構成されている。その他の点について
は、第１の実施例と同様に構成されているので、同一部
分については、同一の参照番号を付することにより、第
１の実施例の説明を援用することとする。第１の実施例
と異なる点をより具体的に説明する。本実施例では、弾
性表面波フィルタ１２のＩＤＴ１３〜１５の電極指の本
数は以下のとおりである。

【００８４】ＩＤＴ１３…３０本、但し第１の部分の電
極指の本数が５本、第２の部分の電極指の本数が２５
本。 ＩＤＴ１４…電極指の本数３３本、但し、両側の第１の
部分は、それぞれ狭ピッチ電極指を３本有し、中央の第
２の部分は２７本の電極指を有する。

【００８５】ＩＤＴ１５…３０本、但し第１の部分の電
極指の本数は５本、第２の部分の電電極指の本数は２５
本。 また、本実施例においても、弾性表面波フィルタ１１，
１２は同様に構成されている。なお、図１４では、図示
を簡略化するために、電極指の本数は減らされて図示さ
れている。すなわち、図１４では、ＩＤＴ１４において
は、狭ピッチ電極指は左右１本づつ設けられており、か
つＩＤＴ１３，１５の第１の部分では、狭ピッチ電極指
の数は３本であるかのように図示されている。

【００８６】本実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ５１の反射特性を図１５（ｂ）に示す。また、比較
のために、第１の実施例の弾性表面波フィルタにおける
反射特性を図１５（ｃ）に示す。

【００８７】第３の実施例では、隣合うＩＤＴ間の両側
の第１の部分の狭ピッチ電極指の本数が異なるように構
成されており、さらにインピーダンスを５０Ωに整合す
るために、電極指交差幅は４７．７λＩ２とされてい
る。

【００８８】図１５から明らかなように、第３の実施例
では、第１の実施例に比べてインピーダンス集中度が悪
化していることがわかる。また、逆にＩＤＴ１４の狭ピ
ッチ電極指の本数を、増加させた場合の反射特性を図１
５（ａ）に示す。この場合の変更点は、第３の実施例に
おいて、ＩＤＴ１３，１５，１８，２０の電極指の総本
数が２８本、第１の部分の電極指の本数が３本、第２の
部分の電極指の本数が２５本、中央に配置されるＩＤＴ
１４，１９の電極指の総本数を３７本とし、両側の第１
の部分の電極指の本数をそれぞれ５本とし、中央の第２
の部分の電極指の本数を２７本とされていること、並び
に交差幅が２８．６λＩ２とされていることにある。図
１５（ａ）から明らかなように、この場合には、インピ
ーダンス集中度は、第１の実施例に比べて高められる
が、インピーダンスが全体的に容量性になることがわか
る。

【００８９】第３の実施例及び図１５（ｂ）に示した反
射特性を有する変形例では、ＥＧＳＭ方式の受信段の帯
域フィルタには必ずしも好適なものではないが、他の用
途では上記第３の実施例及び変形例が有効であることが
ある。例えば、図１５（ｂ）に示すように、インピーダ
ンス集中度が悪化した場合、ＶＳＷＲが悪化する傾向が
見られるが、通過帯域幅は広がる傾向にある。

【００９０】すなわち、図１６（ａ）及び（ｂ）の実線
は、上記第３の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの振幅特性及びＶＳＷＲ特性を示す図である。
比較のために、図１６（ａ）及び（ｂ）に、破線によ
り、第１の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
１１の振幅特性及びＶＳＷＲ特性を示す。

【００９１】図１６から明らかなように、第３の実施例
によれば、第１の実施例の場合に比べて、ＶＳＷＲは約
０．２悪化しているが、スルーレベルから４ｄＢにおけ
る通過帯域幅は約１．５ＭＨｚ広がっていることがわか
る。この場合、通過帯域内の挿入損失レベルはほとんど
変わっておらず、従って低損失を維持したまま広帯域化
し得ることがわかる。

【００９２】すなわち、第３の実施例によれば、ＶＳＷ
Ｒが多少悪化したとしても、通過帯域内における損失の
低減及び通過帯域幅の拡大が要求される用途に好適な縦
結合共振子型弾性表面波フィルタを提供し得ることがわ
かる。

【００９３】次に、図１５（ａ）に示したように、イン
ピーダンス集中度は良好であるが、インピーダンスが容
量性となった場合に有効な例を説明する。図１７（ａ）
及び（ｂ）は、上記変形例の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの振幅特性及びＶＳＷＲ特性を実線で示す。比
較のために、破線により第１の実施例の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの振幅特性及びＶＳＷＲ特性を示
す。なお、図１７の結果を得た変形例では、電極指交差
幅は３１．０λＩ２とし、ＩＤＴ１３，１５，１８，２
０の電極指の総本数は２８本、第１の部分の電極指の本
数が３本、第２の部分の電極指の本数が２５本であり、
中央のＩＤＴ１４，１９の電極指の総本数は４７本、該
ＩＤＴ１４，１９の両側の第１の部分の電極指の本数は
各５本、中央の第２の部分の電極指の本数は３７本とし
た。また、ＩＤＴの波長λＩ１は３．８８μｍである。
その他の点については第１の実施例と同様とした。

【００９４】図１７から明らかなように、上記変形例で
は、第１の実施例の弾性表面波フィルタ１１に比べて、
スルーレベルから４ｄＢにおける通過帯域幅が約３．５
ＭＨｚ狭くなっているが、ＶＳＷＲは約０．７だけ改善
している。この場合、通過帯域内の挿入損失レベルはほ
とんど変わっておらず、従って低損失を維持したまま、
ＶＳＷＲが改善される。すなわち、通過帯域幅が狭くと
も、通過帯域内の損失の低減及びＶＳＷＲの低減が要求
される用途に有効な縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
を提供し得ることがわかる。

【００９５】上記のように、第３の実施例のように、第
１の部分の電極指、すなわち狭ピッチ電極指の本数のバ
ランスを変えることにより、通過帯域内の挿入損失の低
減を図ったまま、様々な用途に応じたバンドパスフィル
タを容易に提供し得ることがわかる。

【００９６】（第４の実施例）図１８（ａ）及び（ｂ）
は、第４の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタを説明するための模式的平面図及び電極指と交差す
る方向に沿う模式的断面図である。図１８（ｂ）は、図
１８（ａ）の一点鎖線Ｘ，Ｘ間の模式的断面図である。
図１８（ａ）に示す電極構造は、図１に示した第１の実
施例と全く同様である。

【００９７】従って、同一部分については、同一の参照
番号を付することとする。本実施例の特徴は、図１８
（ｂ）に明瞭に表れている。すなわち、ＩＤＴ１９，２
０及び反射器２２が設けられている部分を代表して示す
ように、狭ピッチ電極指の膜厚が、他の電極指や反射器
の電極の膜厚よりも薄くされている。すなわち、図１８
（ｂ）に示すように、ＩＤＴ１９のＩＤＴ２０側の第１
の部分の電極指１９ｆ，１９ｇ及びＩＤＴ２０のＩＤＴ
１９側の第１の部分の電極指２０ａ，２０ｂの膜厚が、
残りの電極指や反射器２２の電極指の膜厚よりも薄くさ
れている。同様に、図１８（ａ）に示す隣合うＩＤＴ間
の部分においても、両側の狭ピッチ電極指の膜厚は、残
りの電極指の膜厚よりも薄くされている。より具体的に
は、本実施例では、狭ピッチ電極指の電極の膜厚が、
０．０６λＩ２とされており、残りの電極指の膜厚は
０．０８λＩ２とされている。

【００９８】また、本実施例では、狭ピッチ電極指の膜
厚を薄くしたため、第１の実施例と、電極指交差幅が３
８．２λＩ２及びλＩ１＝３．９３μｍとなるように設
計が変更されている。その他の点については第１の実施
例と同様である。

【００９９】第４の実施例の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの振幅特性を図１９に実線で示す。比較のため
に、第１の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
１１の振幅特性を破線で示す。

【０１００】図１９から明らかなように、第１の実施例
に比べて、第４の実施例によれば、通過帯域内における
挿入損失がさらに改善される。一般に、リーキー波を用
いる弾性表面波フィルタでは、Ａｌからなる電極の膜厚
を薄くすることにより、バルク波の放射による損失が小
さくなる傾向がある。しかしながら、電極の膜厚を薄く
すると、電気機械結合係数が小さくなることと、及び反
射器のストップバンド幅が狭くなることなどにより、広
帯域化を図れないという問題があった。

【０１０１】第４の実施例では、この問題を解決するた
めに、バルク波の放射が最も生じ易いＩＤＴ−ＩＤＴ
間、すなわち狭ピッチ電極指が設けられている部分にお
いて電極指の膜厚を薄くしている。これによって、広帯
域幅を維持したまま、バルク波の放射による損失を低減
でき、良好な特性が得られる。

【０１０２】（第５の実施例）図２０は、第５の実施例
に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極構造を
示す模式的平面図である。

【０１０３】本実施例の特徴は、狭ピッチ電極指が分割
電極指１３ｆ₁ ，１３ｆ₂ に代表されるようなスプリッ
ト電極により構成されている。その他の点については、
第１の実施例とほぼ同様である。変更した点のみを以下
に記載する。

【０１０４】すなわち、第５の実施例では、電極指交差
幅は３５．７λＩ２、ＩＤＴの波長λＩ２が４．２０μ
ｍ、λＩ１が４．０４μｍとされている。図２１には、
第５の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
の振幅特性が実線で示されている。破線は、第１の実施
例で示した従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの
振幅特性を示す。

【０１０５】図２１から明らかなように、第５の実施例
においても、従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
に比べて通過帯域内における挿入損失を改善し得ること
がわかる。従って、本発明においては、狭ピッチ電極指
については、複数本、通常は２本の分割電極指からなる
スプリット電極を用いて構成してもよいことがわかる。

【０１０６】（第６の実施例）第６の実施例は、回路構
成自体は第１の実施例と全く同様である。従って、第１
の実施例について行った説明を援用することにより、そ
の詳細な説明は省略する。

【０１０７】第６の実施例が第１の実施例と異なる点
は、弾性表面波フィルタ１２のＩＤＴ１８〜２０におけ
る第１の部分の電極指、すなわち狭ピッチ電極指の波長
が３．８８μｍとされている。その他の点については第
１の実施例と同様である。

【０１０８】すなわち、第６の実施例では、図１に示し
た２段縦続接続されている縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ１１，１２において、狭ピッチ電極指の波長が異
ならされている。

【０１０９】図２２に、実線で第６の実施例に係る縦結
合共振子型弾性表面波フィルタの振幅特性を、破線で第
１の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの振幅
特性を示す。

【０１１０】図２２から明らかなように、第６の実施例
によれば、第１の実施例に比べて通過帯域幅を拡大し得
ることがわかる。この場合、ＶＳＷＲの値は、第１，第
６の実施例のいずれにおいても約２．０であった。従っ
て、第６の実施例によれば、ＶＳＷＲを悪化させること
なく、通過帯域幅を拡大し得る。

【０１１１】このように、複数の弾性表面波フィルタを
縦続接続する場合、各段の弾性表面波フィルタの狭ピッ
チ電極指の構成を異ならせることにより、すなわち少な
くとも１つの段の弾性表面波フィルタの狭ピッチ電極指
の構成を残りの段の弾性表面波フィルタの狭ピッチ電極
指の構成と異ならせることにより、通過帯域幅を広げ得
ることがわかる。

【０１１２】（第７の実施例）図２３は、第７の実施例
に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタ６１の電極構
造を示す模式的平面図である。本実施例では、図９に示
した縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３１の変形例に
相当する。すなわち、１段の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ３１の中央のＩＤＴ１４と入力端との間に直列
共振子としての弾性表面波共振子６２が直列に接続され
ている。

【０１１３】本実施例のように、本発明においては縦結
合共振子型弾性表面波フィルタに直列に弾性表面波共振
子が接続されてもよい。従来より、縦結合共振子型弾性
表面波フィルタに直列に弾性表面波共振子を接続するこ
とにより、通過帯域外減衰量の拡大を図り得ることが知
られている。しかしながら、通過帯域外減衰量は増大す
るものの、通過帯域内における挿入損失が大きくなると
いう問題があった。

【０１１４】これに対して、本実施例では、本発明に従
って構成された上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
を用いているため、挿入損失の悪化は小さくなる。すな
わち、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ３１に弾性表
面波共振子６２を直列接続することにより、通過帯域内
の挿入損失の低減を図りつつ、通過帯域外の減衰量を拡
大することができ、良好なフィルタ特性を得ることがで
きる。

【０１１５】同様に、本発明の縦結合共振子型弾性表面
波フィルタでは、通過帯域内の挿入損失を低減し得るの
で、本発明に従って構成された縦結合共振子型弾性表面
波フィルタに並列に弾性表面波共振子を接続してもよ
く、その場合には、通過帯域内における挿入損失の低減
を図りつつ、通過帯域外減衰量の拡大を図ることができ
る。また、直列接続された弾性表面波共振子と並列接続
された弾性表面波共振子の双方を有していてもよい。

【０１１６】（第８の実施例）図２４は、第８の実施例
に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極構造を
示す模式的平面図である。第８の実施例に係る縦結合共
振子型弾性表面波フィルタ７１は、図９に示した縦結合
共振子型弾性表面波フィルタと同様の電極構造を有す
る。異なるところは、図９に示した弾性表面波フィルタ
では、アンバランス入力−アンバランス出力とされてい
たのに対し、本実施例では、中央のＩＤＴの一端が入力
端に接続されているだけでなく、他端からも信号を取り
出せるように端子７２が設けられている。

【０１１７】近年、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
では、平衡−不平衡変換機能を持たせることが求められ
ている。図２４に示した第８の実施例では、端子７４を
入力端子、端子７２，７３を出力端子とすることによ
り、不平衡入力−平衡出力タイプのフィルタを構成する
ことができる。逆に、端子７２，７３を入力端子、端子
７４を出力端子とすれば、平衡入力−不平衡出力タイプ
のフィルタを構成することができる。従って、通過帯域
内の挿入損失が小さい、平衡−不平衡変換機能を有する
弾性表面波フィルタを提供することができる。このよう
な平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタの
変形例を、図２５〜図３０に示す。

【０１１８】図２５に示す縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ８１では、外側のＩＤＴ１３，１５が平衡入出力
を取り出し得るように構成されており、中央のＩＤＴ１
４が不平衡入出力端子８２に接続されている。

【０１１９】図２６に示す縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ８５では、ＩＤＴ１４に対するＩＤＴ１３，１５
の位相が逆転されて、平衡−不平衡変換機能が実現され
ている。

【０１２０】さらに、図２７に示す縦結合共振子型弾性
表面波フィルタ８６では、２段縦続接続されている弾性
表面波フィルタ１１，１２において、ＩＤＴ１８，２０
の位相が反転されており、ＩＤＴ１９からバランス信号
を取り出し得るようにＩＤＴ１９に端子８７，８８が接
続されている。

【０１２１】図２８に示す縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ９１では、２段の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタ１１，１２において、バランス端子を取り出す側の
弾性表面波フィルタ１２が、交差幅が弾性表面波フィル
タ１１の半分である２個の弾性表面波フィルタ９２，９
３に分割されており、かつ弾性表面波フィルタ９２，９
３の位相が反転されている。

【０１２２】さらに、図２９に示すように、２段の縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ１１，１２を有する構成
において、第２の弾性表面波フィルタ１２を縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ９６，９７に分割し、かつ第１
の弾性表面波フィルタ１１のＩＤＴ１４に対するＩＤＴ
１３，１５の位相を反転させることにより、平衡−不平
衡変換機能が持たされている。

【０１２３】図３０に示す縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ１０１では、２段の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタのそれぞれが交差幅を半分にして分割して並列接
続されている。すなわち、縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ１１が、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ１１Ａ，１１Ｂに分割されており、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ１２が、縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ１２Ａ，１２Ｂに分割されている。

【０１２４】このうち１組の弾性表面波フィルタの位相
を反転させるようにして、平衡−不平衡変換機能が持た
されている。すなわち、図２５〜図３０に示したよう
に、様々な構造により、第８の実施例と同様に、挿入損
失を低減しつつ、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表
面波フィルタを提供することができる。

【０１２５】（第９の実施例）図３１は、本発明の第９
の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電
極構造を示す模式的平面図である。本実施例の縦結合共
振子型弾性表面波フィルタ１１１は、図８に示した縦結
合共振子型弾性表面波フィルタと電極構造は同一であ
る。異なるところは、全てのＩＤＴ１３〜１５の端部か
ら信号を取り出し得るように、端子１１２〜１１５が設
けられていることにある。

【０１２６】ここでは、端子１１２，１１５と、端子１
１３，１１４のそれぞれからバランス信号を得ることが
できるので、平衡入力−平衡出力の弾性表面波フィルタ
を得ることができる。本実施例においても、本発明に従
って縦結合共振子型弾性表面波フィルタが構成されてい
るので、通過帯域内の挿入損失が小さい、平衡入出力タ
イプの弾性表面波フィルタを提供することができる。

【０１２７】図３５は、本発明に係る弾性表面波装置を
用いた通信機１６０を説明するための各概略ブロック図
である。図３５において、アンテナ１６１に、デュプレ
クサ１６２が接続されている。デュプレクサ１６２と受
信側ミキサ１６３との間に、ＲＦ段を構成する弾性表面
波フィルタ１６４及び増幅器１６５が接続されている。
さらにミキサ１６３にＩＦ段の弾性表面波フィルタ１６
９が接続されている。また、デュプレクサ１６２と送信
側のミキサ１６６との間には、ＲＦ段を構成する増幅器
１６７及び弾性表面波フィルタ１６８が接続されてい
る。

【０１２８】上記通信機１６０におけるＲＦ段の表面波
フィルタ１６４，１６８，１６９として本発明に従って
構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを好適に
用いることができる。

【０１２９】

【発明の効果】本発明に係る縦結合共振子型弾性表面波
フィルタでは、少なくとも３つのＩＤＴのうち少なくと
も１つのＩＤＴが、表面波伝搬方向に隣接している他の
ＩＤＴ端部から一部分である第１の部分の電極指の周期
が、残りの部分である第２の部分の電極指の周期と異な
るように構成されているので、通過帯域幅の拡大を図り
得るだけでなく、通過帯域内の挿入損失を低減すること
が可能となる。

【０１３０】従って、広帯域であり、かつ通過帯域内の
損失が小さい縦結合共振子型弾性表面波フィルタを提供
することができる。第１の部分の電極指の周期が、第２
の部分の電極指の周期よりも小さい場合には、表面波の
伝搬損失を低減することができ、通過帯域内における挿
入損失をより小さくすることができる。

【０１３１】特に、第１の部分の電極指の周期が第２の
部分の電極指の周期の０．８２〜０．９９倍の場合に
は、表面波の伝搬損失をより一層小さくすることができ
る。一対のＩＤＴの隣合う電極指中心間距離が０．５λ
Ｉ１に略一致されている場合には、バルク波として放射
する損失を低減することができ、挿入損失をより一層低
減することができる。

【０１３２】隣合う一対のＩＤＴの一方のみが、第１の
部分及び第２の部分を有するように構成されている場合
に、一対のＩＤＴの隣合う電極指中心間距離が、０．２
５λＩ１＋０．２５λＩ２に略一致されている場合に
は、同様に、バルク波として放射する損失を低減するこ
とができ、通過帯域内の挿入損失をより一層低減するこ
とができる。

【０１３３】第１の部分の電極指と第２の部分の電極指
とが隣合う箇所における電極指中心間距離が０．２５λ
Ｉ１＋０．２５λＩ２に略一致している場合には、同様
にバルク波として放射する損失を低減することができ、
より一層通過帯域内における挿入損失を低減することが
できる。

【０１３４】第１，第２の部分を有するＩＤＴと、該Ｉ
ＤＴに隣接するＩＤＴとの隣合う電極指の極性が異なる
場合には、ＩＤＴ−ＩＤＴ間においても弾性表面波が電
気信号に変換され、それによって電気信号への変換効率
が高められ、通過帯域内における挿入損失をより一層改
善することができ、かつ通過帯域幅も拡大することがで
きる。

【０１３５】隣合う一対のＩＤＴの隣合っている部分の
両側において、第１の部分の電極指の合計の本数が１８
本以下の場合には、インピーダンス集中度が高められ、
ＶＳＷＲの小さい縦結合共振子型弾性表面波フィルタを
提供することができる。

【０１３６】隣り合う一対のＩＤＴの、周期を異ならせ
ていない電極同士の中心間距離を、（０．０８＋０．５
ｎ）λＩ２〜（０．２４＋０．５ｎ）λＩ２とした場合
には、より好ましくは（０．１３＋０．５ｎ＋）λＩ２
〜（０．２３＋０．５ｎ）λＩ２とした場合には、ＥＧ
ＳＭ方式、ＤＣＳ方式、ＰＣＳ方式等の様々な用途に応
じて必要な帯域幅を確保でき、かつＶＳＷＲを確実に小
さくすることができる。

【０１３７】表面波伝搬方向において隣合う一対のＩＤ
Ｔの双方が第１，第２の部分を有し、双方のＩＤＴにお
ける第１の部分の電極指の本数が異なる場合には、イン
ピーダンス集中度は悪化し、ＶＳＷＲが悪化するもの
の、通過帯域幅のより一層の拡大を図ることができる。

【０１３８】圧電基板として、ＬｉＴａＯ₃ 単結晶をＸ
軸を中心にＹ軸方向に３６〜４４°の範囲で回転させた
ものを用いた場合には、本発明に従って通過帯域幅が広
く、かつ通過帯域内における挿入損失が小さい縦結合共
振子型弾性表面波フィルタを容易に得ることができる。

【０１３９】第１の部分の電極指の膜厚が第２の部分の
電極指の膜厚と異なる場合には、電極膜厚を調整するこ
とにより、バルク波の放射による損失を低減することが
できる。特に、第１の部分の電極指の膜厚が第２の部分
の電極指の膜厚よりも薄くされている場合、バルク波の
放射が最も発生するＩＤＴ−ＩＤＴ間の間隔において、
バルク波放射による損失を低減することができるので、
広帯域幅を維持したまま、挿入損失をより一層低減する
ことができる。

【０１４０】複数段の縦結合共振子型弾性表面波フィル
タが縦続接続されている構成において、少なくとも１つ
の段の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける第１
の部分の電極指の周期が、他の段の縦結合共振子型弾性
表面波フィルタにおける第１の部分の電極指の周期と異
なる場合には、ＶＳＷＲの悪化を招くことなく、通過帯
域幅をより一層広げることが可能となる。

【０１４１】特に、複数段の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの各段において、上記第１の部分の電極指の周
期が異ならされている場合、効果的に通過帯域幅を広げ
ることができる。

【０１４２】少なくとも１つの直列共振子及び／または
並列共振子が入力側及び／または出力側に接続されてい
る場合には、本発明に従って通過帯域内の挿入損失を低
減し得るだけでなく、通過帯域外の減衰量の拡大を図る
ことができる。

【０１４３】本発明の縦結合共振子型弾性表面波フィル
タは、平衡−不平衡入出力を有するように構成されても
よく、平衡−平衡入出力を有するように構成されていて
もよい。

【０１４４】すなわち、用途に応じて、様々な入出力形
式の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを容易に提供す
ることができる。また、本発明に係る通信機は、本発明
に従って構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
を帯域フィルタとして備えるため、広い帯域幅を有し、
かつ低損失の通信機を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る縦結合共振子型弾
性表面波フィルタの略図的平面図。

【図２】従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電
極構造を示す模式的平面図。

【図３】第１の実施例及び従来例の縦結合共振子型弾性
表面波フィルタの振幅特性を示す図。

【図４】従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの振
幅特性を示す図。

【図５】従来の３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型弾性表
面波フィルタの電極構造と共振モードとの関係を説明す
るための模式図。

【図６】第１の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの第１の部分における電極指ピッチの第２の部分の
電極指ピッチに対する比と、伝搬損失の関係を示す図。

【図７】（ａ）及び（ｂ）は、第１の実施例の縦結合共
振子型弾性表面波フィルタにおける狭ピッチ電極指の本
数が８本の場合及び１２本の場合の各反射特性を示す
図。

【図８】第１の実施例において、狭ピッチ電極指の本数
を変化させた場合のＶＳＷＲの変化を示す図。

【図９】第１の実施例の変形例に係る１段の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面
図。

【図１０】第１の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタの他の変形例の電極構造を示す模式的平面図。

【図１１】第２の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。

【図１２】第２の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタの共振モードと、第１の実施例の縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの共振モードの相違を説明するため
の図。

【図１３】第２の実施例及び第１の実施例の縦結合共振
子型弾性表面波フィルタの振幅特性を示す図。

【図１４】第３の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。

【図１５】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、第１の実施例
の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ、第３の実施例の
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ及び第３の実施例の
縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける狭ピッチ電
極指の本数のバランスを変えた構造の反射特性を示す
図。

【図１６】（ａ）及び（ｂ）は、第３の実施例に係る縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ及び第１の実施例の縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの振幅特性及びＶＳＷ
Ｒ特性を示す図。

【図１７】（ａ）及び（ｂ）は、図１５（ｃ）に示した
変形例の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの振幅特性
及びＶＳＷＲ特性を示す図。

【図１８】（ａ）及び（ｂ）は、第４の実施例に係る縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式
的平面図及び電極指と交差する方向に沿う要部断面図。

【図１９】第４の実施例と第１の実施例の縦結合共振子
型弾性表面波フィルタの振幅特性を示す図。

【図２０】第５の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。

【図２１】第５の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ及び従来の縦結合共振子型弾性表面波フィル
タの振幅特性を示す図。

【図２２】第６の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの振幅特性及び第１の実施例の縦結合共振子
型弾性表面波フィルタの振幅特性を示す図。

【図２３】第７の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。

【図２４】第８の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。

【図２５】第８の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタの変形例を示す模式的平面図。

【図２６】第８の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの他の変形例を説明するための模式的平面
図。

【図２７】第８の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタのさらに他の変形例を示す模式的平面図。

【図２８】第８の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの他の変形例を説明するための模式的平面
図。

【図２９】第８の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタのさらに他の変形例を説明するための模式的平面
図。

【図３０】第８の実施例の縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタのさらに他の変形例を説明するための模式的平面
図。

【図３１】第９の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。

【図３２】狭ピッチ電極指の本数と通過帯域幅との関係
を示す図。

【図３３】ＩＤＴの中心間距離変化量と伝搬損失の関係
を示す図。

【図３４】ピッチを小さくしていない電極指間距離の好
ましい範囲を説明するための図であり、ピッチを小さく
していない電極指間距離と、良好なフィルタ特性を得ら
れる狭ピッチ電極指本数との関係を示す図。

【図３５】本発明に係る縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタを帯域フィルタとして備える通信機を説明するため
のブロック図。

【符号の説明】

１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ２…圧電基板 １１，１２，１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ…縦結合
共振子型弾性表面波フィルタ １３〜１５…ＩＤＴ １３ａ〜１３ｈ…電極指 １３ｆ₁ ，１３ｆ₂ …分割電極指 １４ａ〜１４ｉ…電極指 １５ａ…電極指 １６，１７…反射器 １８〜２０…ＩＤＴ １９ｆ，１９ｇ…電極指 ２０ａ〜２０ｈ…電極指 ２１，２２…反射器 ３１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ３２…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ３３〜３７…ＩＤＴ ４１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ５１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ６１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ６２…弾性表面波共振子 ７１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ ７２〜７４…端子 ８１，８５，８６，９１…縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ ８７，８８…端子 ９２，９３，９６，９７…縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ １０１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ １１１…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ １１２〜１１５…端子 １６０…通信機 １６１…アンテナ １６２…デュプレクサ １６３，１６６…ミキサ １６４…弾性表面波フィルタ １６５…増幅器 １６７…増幅器 １６８…弾性表面波フィルタ １６９…弾性表面波フィルタ

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板と、 前記圧電基板上において弾性表面波伝搬方向に沿って形
   成されており、それぞれ複数本の電極指を有する少なく
   とも３つのＩＤＴとを備え、 少なくとも１つのＩＤＴにおける、表面波伝搬方向に隣
   接している他のＩＤＴ側端部から一部分である第１の部
   分の電極指の周期が、該ＩＤＴの残りの部分である第２
   の部分の電極指の周期と異なっており、第１，第２の部
   分の電極指の周期で決まる表面波の波長が、それぞれλ
   Ｉ１，λＩ２であることを特徴とする、縦結合共振子型
   弾性表面波フィルタ。
2. 【請求項２】 前記第１の部分の電極指の周期が、前記
   第２の部分の電極指の周期よりも小さい、請求項１に記
   載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
3. 【請求項３】 前記第１の部分の電極指の周期が、前記
   第２の部分の電極指の周期の０．８２〜０．９９倍であ
   る、請求項２に記載の縦結合共振子型弾性表面波フィル
   タ。
4. 【請求項４】 隣合う一対のＩＤＴの双方が、第１の部
   分の電極指の周期が第２の部分の電極指の周期と異なる
   ように構成されており、前記一対のＩＤＴの隣合う電極
   指中心間距離が、０．５λＩ１と略一致されている、請
   求項１〜３のいずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面
   波フィルタ。
5. 【請求項５】 隣合う一対のＩＤＴの一方のみが、第１
   の部分の電極指の周期が、第２の部分の電極指の周期と
   異なるように構成されており、前記一対のＩＤＴの隣合
   う電極指中心間距離が、０．２５λＩ１＋０．２５λＩ
   ２に略一致されていることを特徴とする、請求項１〜３
   のいずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面波フィル
   タ。
6. 【請求項６】 前記第１の部分の電極指の周期が第２の
   部分の電極指の周期と異ならされているＩＤＴにおい
   て、第１の部分の電極指と、第２の部分の電極指とが隣
   合う箇所における電極指中心間距離が０．２５λＩ１＋
   ０．２５λＩ２に略一致していることを特徴とする、請
   求項１〜５のいずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面
   波フィルタ。
7. 【請求項７】 第１，第２の部分を有するＩＤＴと、該
   ＩＤＴに隣接するＩＤＴとの隣合う電極指の極性が異な
   ることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の
   縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
8. 【請求項８】 隣合う一対のＩＤＴの隣合っている部分
   の両側において、第１の部分の電極指の合計の本数が１
   ８本以下である、請求項１〜７のいずれかに記載の縦結
   合共振子型弾性表面波フィルタ。
9. 【請求項９】 隣り合う一対のＩＤＴの、周期を異なら
   せていない電極指同士の中心間距離を、（０．０８＋
   ０．５ｎ）λＩ２〜（０．２４＋０．５ｎ）λＩ２（ｎ
   ＝１，２，３，…）としたことを特徴とする、請求項１
   〜８のいずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面波フィ
   ルタ。
10. 【請求項１０】 隣り合う一対のＩＤＴの、周期を異な
    らせていない電極指同士の中心間距離を、（０．１３＋
    ０．５ｎ）λＩ２〜（０．２３＋０．５ｎ）λＩ２（ｎ
    ＝１，２，３，…）としたことを特徴とする、請求項１
    〜９のいずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面波フィ
    ルタ。
11. 【請求項１１】 表面波伝搬方向において隣合う一対の
    ＩＤＴの双方が、前記第１，第２の部分を有し、双方の
    ＩＤＴにおける第１の部分の電極指の本数が異なること
    を特徴とする、請求項１〜１０のいずれかに記載の縦結
    合共振子型弾性表面波フィルタ。
12. 【請求項１２】 前記圧電基板が、ＬｉＴａＯ₃ 単結晶
    をＸ軸を中心にＹ軸方向に３６〜４４度の範囲で回転さ
    せたものである、請求項１〜１１のいずれかに記載の縦
    結合共振子型弾性表面波フィルタ。
13. 【請求項１３】 前記第１の部分の電極指の膜厚が、第
    ２の部分の電極指の膜厚と異なる、請求項１〜１２のい
    ずれかに記載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
14. 【請求項１４】 前記第１の部分の電極指の膜厚が、前
    記第２の部分の電極指の膜厚よりも薄くされている、請
    求項１３に記載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
15. 【請求項１５】 前記第１の部分の電極指がスプリット
    電極により構成されている、請求項１〜１４のいずれか
    に記載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
16. 【請求項１６】 請求項１〜１５のいずれかに記載の縦
    結合共振子型弾性表面波フィルタが、少なくとも２段縦
    続接続されていることを特徴とする、縦結合共振子型弾
    性表面波フィルタ。
17. 【請求項１７】 前記複数段の縦結合共振子型弾性表面
    波フィルタの少なくとも１つの段の縦結合共振子型弾性
    表面波フィルタにおける第１の部分の電極指の周期が、
    他の段の縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける前
    記第１の部分の電極指の周期と異ならされている、請求
    項１６に記載の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。
18. 【請求項１８】 複数段の縦結合共振子型弾性表面波フ
    ィルタの各段において、前記第１の部分の電極指の周期
    が異なっている、請求項１７に記載の縦結合共振子型弾
    性表面波フィルタ。
19. 【請求項１９】 少なくとも１つの直列共振子及び／ま
    たは並列共振子が入力側及び／または出力側に接続され
    ている、請求項１〜１８のいずれかに記載の縦結合共振
    子型弾性表面波フィルタ。
20. 【請求項２０】 平衡−不平衡入出力を有するように構
    成されている、請求項１〜１９のいずれかに記載の縦結
    合共振子型弾性表面波フィルタ。
21. 【請求項２１】 平衡−平衡入出力を有するように構成
    されている、請求項１〜１９に記載の縦結合共振子型弾
    性表面波フィルタ。
22. 【請求項２２】 請求項１〜２１のいずれかに記載の縦
    結合共振子弾性表面波フィルタを帯域フィルタとして備
    える、通信機。