JPH10335973A - 縦結合二重モードｓａｗフィルタ - Google Patents
縦結合二重モードｓａｗフィルタInfo
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- JPH10335973A JPH10335973A JP15749197A JP15749197A JPH10335973A JP H10335973 A JPH10335973 A JP H10335973A JP 15749197 A JP15749197 A JP 15749197A JP 15749197 A JP15749197 A JP 15749197A JP H10335973 A JPH10335973 A JP H10335973A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電基板に３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３を用い
た従来の設計の縦結合二重モードＳＡＷフィルタでは電
気機械結合係数が小さく、要求される広帯域フィルタを
実現できないという問題があった。本発明は広帯域フィ
ルタを提供することを目的とする。 【解決手段】 タンタル酸リチウム基板を用いた１次３
次縦結合二重モードＳＡＷフィルタにおいて、前記タン
タル酸リチウム基板の切断方位θを３７゜≦θ≦４４゜
とし、電極膜厚比Ｈ／λを０．０６≦Ｈ／λ≦０．１と
した縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。
た従来の設計の縦結合二重モードＳＡＷフィルタでは電
気機械結合係数が小さく、要求される広帯域フィルタを
実現できないという問題があった。本発明は広帯域フィ
ルタを提供することを目的とする。 【解決手段】 タンタル酸リチウム基板を用いた１次３
次縦結合二重モードＳＡＷフィルタにおいて、前記タン
タル酸リチウム基板の切断方位θを３７゜≦θ≦４４゜
とし、電極膜厚比Ｈ／λを０．０６≦Ｈ／λ≦０．１と
した縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は１次３次縦結合二重
モードＳＡＷフィルタ（以下、二重モードフィルタと称
す）に関し、特に通過帯域幅を拡大し挿入損失を減少さ
せた二重モードフィルタに関する。
モードＳＡＷフィルタ（以下、二重モードフィルタと称
す）に関し、特に通過帯域幅を拡大し挿入損失を減少さ
せた二重モードフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種無線機器に弾性表面波フィル
タが使われるようになり、小型化、無調整化に一役を担
っている。そして、携帯無線機器の高周波化、高機能化
にともない、弾性表面波フィルタの広帯域化の要求が益
々増大してきている。例えば、最近の携帯電話に要求さ
れる９００ＭＨｚ帯のＲＦフィルタの帯域幅は２５ＭＨ
ｚ以上となっている。図３は二重モードフィルタの電極
パターンの一例を示す平面図であり、圧電基板１１の主
面上にＩＤＴが励起または受信する表面波の伝搬方向に
沿って３つのＩＤＴ１２、ＩＤＴ１３及びＩＤＴ１４を
近接配置し、これらＩＤＴの両側に反射器１５ａ、１５
ｂを配設したものである。そして、１次３次二重モード
フィルタの帯域幅を広帯域化するため、ＩＤＴ１２とＩ
ＤＴ１３及びＩＤＴ１２とＩＤＴ１４の対面する最内側
の電極指の中心間間隔を、周知のようにλ／４（λは励
起される表面波の波長）としている。この結果、上記対
面する電極指同士は接して１本の電極指となる。ＩＤＴ
１２、１３、１４はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の
電極指を有する一対のくし形電極により構成し、ＩＤＴ
１２の一方のくし形電極は入力端子に接続し、他方のく
し形電極は接地する。更に、ＩＤＴ１３とＩＤＴ１４の
一方のくし形電極は互いに連結して出力端子に接続し、
ＩＤＴ１３とＩＤＴ１４の他方のくし形電極は互いに接
続して接地する。
タが使われるようになり、小型化、無調整化に一役を担
っている。そして、携帯無線機器の高周波化、高機能化
にともない、弾性表面波フィルタの広帯域化の要求が益
々増大してきている。例えば、最近の携帯電話に要求さ
れる９００ＭＨｚ帯のＲＦフィルタの帯域幅は２５ＭＨ
ｚ以上となっている。図３は二重モードフィルタの電極
パターンの一例を示す平面図であり、圧電基板１１の主
面上にＩＤＴが励起または受信する表面波の伝搬方向に
沿って３つのＩＤＴ１２、ＩＤＴ１３及びＩＤＴ１４を
近接配置し、これらＩＤＴの両側に反射器１５ａ、１５
ｂを配設したものである。そして、１次３次二重モード
フィルタの帯域幅を広帯域化するため、ＩＤＴ１２とＩ
ＤＴ１３及びＩＤＴ１２とＩＤＴ１４の対面する最内側
の電極指の中心間間隔を、周知のようにλ／４（λは励
起される表面波の波長）としている。この結果、上記対
面する電極指同士は接して１本の電極指となる。ＩＤＴ
１２、１３、１４はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の
電極指を有する一対のくし形電極により構成し、ＩＤＴ
１２の一方のくし形電極は入力端子に接続し、他方のく
し形電極は接地する。更に、ＩＤＴ１３とＩＤＴ１４の
一方のくし形電極は互いに連結して出力端子に接続し、
ＩＤＴ１３とＩＤＴ１４の他方のくし形電極は互いに接
続して接地する。
【０００３】上記のように構成された二重モードフィル
タの動作は周知のように、ＩＤＴ１２、１３、１４によ
って励起される表面波が反射器１５ａ、１５ｂの間に閉
じ込められ、前記ＩＤＴ１２、１３、１４の間で音響結
合が生ずる結果、１次及び３の共振モードが強勢に励振
され、これらのモードを利用した二重モードフィルタと
して動作する。なお、二重モードフィルタの通過域は１
次共振モードと３次共振モードとの周波数差に比例する
ことは周知のことである。図４は、６４°ＹカットＸ伝
搬（６４°Ｙ−Ｘと記す）ＬｉＮｂＯ３基板上に入力Ｉ
ＤＴ（ＩＤＴ１２）を対数１５．５対、出力ＩＤＴ（Ｉ
ＤＴ１３、１４）をそれぞれ１１対、反射器１５ａ、１
５ｂをそれぞれ２３９本、最内側電極指中心間間隔をλ
／４、波長λに対するアルミニウム合金電極膜厚Ｈの比
Ｈ／λを４％、ＩＤＴの電極指幅をＬ、電極指間間隔を
ＳとしたときＬ／（Ｌ＋Ｓ）＝３６％とした場合の二重
モードフィルタの濾波特性の一例を示す図である。
タの動作は周知のように、ＩＤＴ１２、１３、１４によ
って励起される表面波が反射器１５ａ、１５ｂの間に閉
じ込められ、前記ＩＤＴ１２、１３、１４の間で音響結
合が生ずる結果、１次及び３の共振モードが強勢に励振
され、これらのモードを利用した二重モードフィルタと
して動作する。なお、二重モードフィルタの通過域は１
次共振モードと３次共振モードとの周波数差に比例する
ことは周知のことである。図４は、６４°ＹカットＸ伝
搬（６４°Ｙ−Ｘと記す）ＬｉＮｂＯ３基板上に入力Ｉ
ＤＴ（ＩＤＴ１２）を対数１５．５対、出力ＩＤＴ（Ｉ
ＤＴ１３、１４）をそれぞれ１１対、反射器１５ａ、１
５ｂをそれぞれ２３９本、最内側電極指中心間間隔をλ
／４、波長λに対するアルミニウム合金電極膜厚Ｈの比
Ｈ／λを４％、ＩＤＴの電極指幅をＬ、電極指間間隔を
ＳとしたときＬ／（Ｌ＋Ｓ）＝３６％とした場合の二重
モードフィルタの濾波特性の一例を示す図である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
二重モードフィルタおいては、圧電基板に６４°Ｙ−Ｘ
ＬｉＮｂＯ３を用いると、電気機械結合係数が大きいた
め二重モードフィルタの通過帯域幅を広くすることは可
能であるが、周波数温度特性が他の圧電材料（例えば、
ＬｉＴａＯ３、水晶）に比べて劣るので、設計に際して
温度変動による周波数シフトを考慮し、通過帯域幅をそ
の分だけ予め広く設定しておく必要がある。また、減衰
傾度についても要求規格を満たすことができず、これを
改善するためフィルタの段数を多くしなければならない
という問題があった。また、圧電基板に３６°Ｙ−ＸＬ
ｉＴａＯ３を用いると、周波数温度特性はＬｉＮｂＯ３
に勝るものの電気機械結合係数が小さく、従来の設計で
は要求される帯域幅を満たす二重モードフィルタを実現
することは難しいという問題があった。本発明は上記課
題を解決するためになされたものであって、帯域幅の広
い二重モードフィルタを提供することを目的とする。
二重モードフィルタおいては、圧電基板に６４°Ｙ−Ｘ
ＬｉＮｂＯ３を用いると、電気機械結合係数が大きいた
め二重モードフィルタの通過帯域幅を広くすることは可
能であるが、周波数温度特性が他の圧電材料（例えば、
ＬｉＴａＯ３、水晶）に比べて劣るので、設計に際して
温度変動による周波数シフトを考慮し、通過帯域幅をそ
の分だけ予め広く設定しておく必要がある。また、減衰
傾度についても要求規格を満たすことができず、これを
改善するためフィルタの段数を多くしなければならない
という問題があった。また、圧電基板に３６°Ｙ−ＸＬ
ｉＴａＯ３を用いると、周波数温度特性はＬｉＮｂＯ３
に勝るものの電気機械結合係数が小さく、従来の設計で
は要求される帯域幅を満たす二重モードフィルタを実現
することは難しいという問題があった。本発明は上記課
題を解決するためになされたものであって、帯域幅の広
い二重モードフィルタを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る縦結合二重モードＳＡＷフィルタの請求
項１記載の発明は、タンタル酸リチウム基板上に表面波
の伝搬方向に沿って３つのＩＴＤとその両側に反射器を
配設した１次３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタにお
いて、前記タンタル酸リチウム基板の切断方位がＸ軸の
回りに３７゜乃至４４゜回転したものであることを特徴
とする縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。請求項
２記載の発明は、前記ＩＤＴ及び前記反射器の電極膜厚
をＨ、励起される表面波の波長をλとしたとき、０．０
６≦Ｈ／λ≦０．１であることを特徴とする請求項１記
載の縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。請求項３
記載の発明は、前記ＩＤＴの電極指幅をＬ、電極指間間
隔をＳとしたとき、０．６≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）であること
を特徴とする請求項１または２記載の縦結合二重モード
ＳＡＷフィルタである。
に本発明に係る縦結合二重モードＳＡＷフィルタの請求
項１記載の発明は、タンタル酸リチウム基板上に表面波
の伝搬方向に沿って３つのＩＴＤとその両側に反射器を
配設した１次３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタにお
いて、前記タンタル酸リチウム基板の切断方位がＸ軸の
回りに３７゜乃至４４゜回転したものであることを特徴
とする縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。請求項
２記載の発明は、前記ＩＤＴ及び前記反射器の電極膜厚
をＨ、励起される表面波の波長をλとしたとき、０．０
６≦Ｈ／λ≦０．１であることを特徴とする請求項１記
載の縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。請求項３
記載の発明は、前記ＩＤＴの電極指幅をＬ、電極指間間
隔をＳとしたとき、０．６≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）であること
を特徴とする請求項１または２記載の縦結合二重モード
ＳＡＷフィルタである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。本発明の説明に先立
ち、その背景となる技術について説明する。まず、第２
５回ＥＭシンポジウム論文集ｐ.117〜123（1996）によ
ると、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）基板上を伝
搬する漏洩弾性表面波の伝搬損失は、前記圧電基板の切
断方位と該基板に付着する電極膜厚とに大きく依存する
ことが示されている。即ち、従来主として用いられてき
た３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３基板上に一様なＡｌ（アル
ミニウム）電極膜を付着した場合、該電極膜厚の増加と
共に伝搬損失が指数関数的に増大することが解析の結果
得られている。そこで励振波長λに対する電極膜厚Ｈの
比Ｈ／λと切断方位をパラメータとして伝搬損失を解析
すると、電極膜厚Ｈを厚くしていくと最小伝搬損失を示
す切断方位は３６°から高い角度にシフトしていくこと
が明らかになった。次に、ＬｉＴａＯ３基板上にＡｌの
グレーティング電極を配設した場合、一様なＡｌの電極
膜厚を付着した場合と同様に、電極膜厚Ｈを厚くしてい
くと最小伝搬損失を持つ切断方位は高い角度にシフトし
ていき、電極膜厚比Ｈ／λを０．１とすると伝搬損失が
最小となる切断方位は４０°〜４２°となることが示さ
れいる。
形態に基づいて詳細に説明する。本発明の説明に先立
ち、その背景となる技術について説明する。まず、第２
５回ＥＭシンポジウム論文集ｐ.117〜123（1996）によ
ると、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）基板上を伝
搬する漏洩弾性表面波の伝搬損失は、前記圧電基板の切
断方位と該基板に付着する電極膜厚とに大きく依存する
ことが示されている。即ち、従来主として用いられてき
た３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３基板上に一様なＡｌ（アル
ミニウム）電極膜を付着した場合、該電極膜厚の増加と
共に伝搬損失が指数関数的に増大することが解析の結果
得られている。そこで励振波長λに対する電極膜厚Ｈの
比Ｈ／λと切断方位をパラメータとして伝搬損失を解析
すると、電極膜厚Ｈを厚くしていくと最小伝搬損失を示
す切断方位は３６°から高い角度にシフトしていくこと
が明らかになった。次に、ＬｉＴａＯ３基板上にＡｌの
グレーティング電極を配設した場合、一様なＡｌの電極
膜厚を付着した場合と同様に、電極膜厚Ｈを厚くしてい
くと最小伝搬損失を持つ切断方位は高い角度にシフトし
ていき、電極膜厚比Ｈ／λを０．１とすると伝搬損失が
最小となる切断方位は４０°〜４２°となることが示さ
れいる。
【０００７】一方、二重モードフィルタの帯域幅の上限
は反射器のストップバンド幅（反射器が反射し得る周波
数帯域幅）で制限されることは周知のことである。特開
平７−５８５８１によると、電極膜厚比Ｈ／λを大きく
することにより反射器のストップバンド幅を拡大できる
ことが示されている。しかし、電極膜厚比Ｈ／λを大き
くしストップバンド幅を拡大しただけでは通過帯域内に
リップルが生じ良好なフィルタ特性が得られない。そこ
で、励振される表面波の波長λに対する電極膜厚Ｈの比
をＨ／λ、ＩＤＴの電極指周期λに対する電極指交差幅
Ｗの比をＷ／λ、電極指周期λに対するＩＤＴ２とＩＤ
Ｔ３あるいは４との対面する最内側電極指の中心間間隔
ｄの比をｄ／λ、ＩＤＴ２、３、４の電極指対数の総和
をＮとした場合、通過帯域内に生じるリップルを１ｄＢ
以下に抑えるためには、Ｈ／λを０．０６≦ Ｈ／λ≦
０．１、ＩＤＴの総電極指対数Ｎを４６≦Ｎ≦７１、Ｗ
／λを４２×５０／ＲL≦ Ｗ／Ｌ≦１１０×５０／ＲL
（だだし、ＲLは負荷インピーダンス）、ｄ／λを０．
２４≦ｄ／λ≦０．３に設定すればよいことが知られて
いる。
は反射器のストップバンド幅（反射器が反射し得る周波
数帯域幅）で制限されることは周知のことである。特開
平７−５８５８１によると、電極膜厚比Ｈ／λを大きく
することにより反射器のストップバンド幅を拡大できる
ことが示されている。しかし、電極膜厚比Ｈ／λを大き
くしストップバンド幅を拡大しただけでは通過帯域内に
リップルが生じ良好なフィルタ特性が得られない。そこ
で、励振される表面波の波長λに対する電極膜厚Ｈの比
をＨ／λ、ＩＤＴの電極指周期λに対する電極指交差幅
Ｗの比をＷ／λ、電極指周期λに対するＩＤＴ２とＩＤ
Ｔ３あるいは４との対面する最内側電極指の中心間間隔
ｄの比をｄ／λ、ＩＤＴ２、３、４の電極指対数の総和
をＮとした場合、通過帯域内に生じるリップルを１ｄＢ
以下に抑えるためには、Ｈ／λを０．０６≦ Ｈ／λ≦
０．１、ＩＤＴの総電極指対数Ｎを４６≦Ｎ≦７１、Ｗ
／λを４２×５０／ＲL≦ Ｗ／Ｌ≦１１０×５０／ＲL
（だだし、ＲLは負荷インピーダンス）、ｄ／λを０．
２４≦ｄ／λ≦０．３に設定すればよいことが知られて
いる。
【０００８】また、特開平７−２８３６８２によれば、
ＩＤＴ２、３、４の電極指幅をＬ、電極指間間隔をＳと
した場合、Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）が０．６より大きく設定する
と減衰傾度が改善できることが示されている。本発明は
以上の知見に基づいてなされたものであって、図１は本
発明に係る二重モードフィルタの電極パターンの一実施
例を示す模式的平面図である。圧電基板１の主面上に表
面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ２、ＩＤＴ３及び
ＩＤＴ４を近接して並べ、これらＩＤＴの両外側に反射
器５ａ、５ｂを配設する。ＩＤＴ２、３、４はそれぞれ
互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のくし形
電極により構成され、ＩＤＴ２の一方のくし形電極を入
力端子とし、他方のくし形電極を接地とする。さらに、
ＩＤＴ３とＩＤＴ４の一方のくし形電極を互いに連結し
て出力端子とし、ＩＤＴ３とＩＤＴ４の他方のくし形電
極は互いに接続して接地とする。
ＩＤＴ２、３、４の電極指幅をＬ、電極指間間隔をＳと
した場合、Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）が０．６より大きく設定する
と減衰傾度が改善できることが示されている。本発明は
以上の知見に基づいてなされたものであって、図１は本
発明に係る二重モードフィルタの電極パターンの一実施
例を示す模式的平面図である。圧電基板１の主面上に表
面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ２、ＩＤＴ３及び
ＩＤＴ４を近接して並べ、これらＩＤＴの両外側に反射
器５ａ、５ｂを配設する。ＩＤＴ２、３、４はそれぞれ
互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のくし形
電極により構成され、ＩＤＴ２の一方のくし形電極を入
力端子とし、他方のくし形電極を接地とする。さらに、
ＩＤＴ３とＩＤＴ４の一方のくし形電極を互いに連結し
て出力端子とし、ＩＤＴ３とＩＤＴ４の他方のくし形電
極は互いに接続して接地とする。
【０００９】図１に示すＩＤＴ電極指パターンを更に詳
しく説明すると、隣接するＩＤＴ２と３あるいはＩＤＴ
２と４の最内側電極指の中心間間隔をｄとし、ＩＤＴ２
〜４の電極指の交差幅をＷとする。また、図２は、図１
に示す二重モードフィルタの電極パターンの長手方向
（ＩＤＴの配設方向）の断面図であり、ＩＤＴ及び反射
器の電極膜厚をＨ、電極指幅をＬ、電極指間間隔をＳと
する。ＩＤＴ２〜４で励振される表面波の波長をλとす
ると、周知のようにｄ＝λ／４の時に最大の帯域幅が得
られる。
しく説明すると、隣接するＩＤＴ２と３あるいはＩＤＴ
２と４の最内側電極指の中心間間隔をｄとし、ＩＤＴ２
〜４の電極指の交差幅をＷとする。また、図２は、図１
に示す二重モードフィルタの電極パターンの長手方向
（ＩＤＴの配設方向）の断面図であり、ＩＤＴ及び反射
器の電極膜厚をＨ、電極指幅をＬ、電極指間間隔をＳと
する。ＩＤＴ２〜４で励振される表面波の波長をλとす
ると、周知のようにｄ＝λ／４の時に最大の帯域幅が得
られる。
【００１０】本発明に係る二重モードフィルタの動作
は、ＩＤＴ２、３、４によって励起された表面波が前記
反射器５ａ、５ｂ間に閉じ込められ、音響的に結合した
結果縦１次、３次の共振モードが強勢に励振される。上
記のようにＩＤＴ２の一方のくし形電極を入力とし他方
のくし形電極を接地すると共に、ＩＤＴ３、４の一方の
くし形電極を互いに連結して出力端子とし、他方のくし
形電極を互いに接続して接地することにより、縦１次、
３次の共振モードを利用した二重モードフィルタを構成
することができる。該フィルタの帯域幅は縦１次と３次
共振モードの周波数差によってほぼ決まる。この際、縦
２次共振モードも音響的には存在するが、該偶数次モー
ドによる発生電荷は上記のようなＩＤＴの接続により電
気的に相殺されて励振されない。
は、ＩＤＴ２、３、４によって励起された表面波が前記
反射器５ａ、５ｂ間に閉じ込められ、音響的に結合した
結果縦１次、３次の共振モードが強勢に励振される。上
記のようにＩＤＴ２の一方のくし形電極を入力とし他方
のくし形電極を接地すると共に、ＩＤＴ３、４の一方の
くし形電極を互いに連結して出力端子とし、他方のくし
形電極を互いに接続して接地することにより、縦１次、
３次の共振モードを利用した二重モードフィルタを構成
することができる。該フィルタの帯域幅は縦１次と３次
共振モードの周波数差によってほぼ決まる。この際、縦
２次共振モードも音響的には存在するが、該偶数次モー
ドによる発生電荷は上記のようなＩＤＴの接続により電
気的に相殺されて励振されない。
【００１１】本発明はタンタル酸リチウム基板上の１次
３次縦結合モードを利用した二重モードフィルタに上記
した通過帯域幅を広げる手法、即ち、電極膜厚比Ｈ／λ
を大きく（ ０．０６≦Ｈ／λ≦０．１）すると共に、
挿入損失を最小にするため前記圧電基板の切断方位θを
３７°≦θ≦４４°とする二重モードフィルタとした。
更に、通過帯域内に生じるリップルを減少させるため、
総電極指対数Ｎを４６≦Ｎ≦７１、ＩＤＴの電極指周期
λに対する電極指交差幅Ｗの比Ｗ／λを４２×５０／Ｒ
L≦ Ｗ／λ≦１１０×５０／ＲL（だだし、ＲLは負荷イ
ンピーダンス）、電極指の幅に対する隣接するＩＤＴの
最内側電極指の中心間間隔ｄの比ｄ／λを０．２４≦ｄ
／λ≦０．３に設定してリップルの改善を図った。ま
た、減衰傾度を改善するためＩＤＴの電極指幅Ｌと電極
指間間隔Ｓとの関係を０．６≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）を前記二
重モードフィルタにに適用してフィルタ特性を良好にし
た。
３次縦結合モードを利用した二重モードフィルタに上記
した通過帯域幅を広げる手法、即ち、電極膜厚比Ｈ／λ
を大きく（ ０．０６≦Ｈ／λ≦０．１）すると共に、
挿入損失を最小にするため前記圧電基板の切断方位θを
３７°≦θ≦４４°とする二重モードフィルタとした。
更に、通過帯域内に生じるリップルを減少させるため、
総電極指対数Ｎを４６≦Ｎ≦７１、ＩＤＴの電極指周期
λに対する電極指交差幅Ｗの比Ｗ／λを４２×５０／Ｒ
L≦ Ｗ／λ≦１１０×５０／ＲL（だだし、ＲLは負荷イ
ンピーダンス）、電極指の幅に対する隣接するＩＤＴの
最内側電極指の中心間間隔ｄの比ｄ／λを０．２４≦ｄ
／λ≦０．３に設定してリップルの改善を図った。ま
た、減衰傾度を改善するためＩＤＴの電極指幅Ｌと電極
指間間隔Ｓとの関係を０．６≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）を前記二
重モードフィルタにに適用してフィルタ特性を良好にし
た。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、周波数温度特性は良好であるが電気機械結合係数
がＬｉＮｂＯ３より劣るＬｉＴａＯ３を圧電基板に用い
ても、最近の携帯電話用ＲＦフィルタに要求される１．
５ｄＢで２５ＭＨｚ以上の通過帯域幅を容易に実現する
ことが可能となり、携帯電話の性能改善に大きな効果あ
る。
ので、周波数温度特性は良好であるが電気機械結合係数
がＬｉＮｂＯ３より劣るＬｉＴａＯ３を圧電基板に用い
ても、最近の携帯電話用ＲＦフィルタに要求される１．
５ｄＢで２５ＭＨｚ以上の通過帯域幅を容易に実現する
ことが可能となり、携帯電話の性能改善に大きな効果あ
る。
【図１】本発明に係る縦結合二重モードＳＡＷフィルタ
の実施の一形態例を示す模式的平面図である。
の実施の一形態例を示す模式的平面図である。
【図２】縦結合二重モードＳＡＷフィルタの断面図を示
す図で電極指幅Ｌと電極指間間隔Ｓを説明する図であ
る。
す図で電極指幅Ｌと電極指間間隔Ｓを説明する図であ
る。
【図３】従来の縦結合二重モードＳＡＷフィルタの一例
を示す模式的平面図である。
を示す模式的平面図である。
【図４】従来の縦結合二重モードＳＡＷフィルタの濾波
特性の一例を示す図である。
特性の一例を示す図である。
１・・圧電基板 ２、 ３、４・・ＩＤＴ ５ａ、５ｂ・・反射器 λ・・表面波の波長 Ｌ・・ＩＤＴ電極指の幅 Ｓ・・電極指間間隔 Ｈ・・電極膜厚 Ｗ・・電極指交差幅 ｄ・・隣接するＩＤＴの最内側電極指の中心間間隔
Claims (3)
- 【請求項１】 タンタル酸リチウム基板上に表面波の伝
搬方向に沿って３つのＩＴＤとその両側に反射器を配設
した１次３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタにおい
て、前記タンタル酸リチウム基板の切断方位がＸ軸の回
りに３７゜乃至４４゜回転したものであることを特徴と
する縦結合二重モードＳＡＷフィルタ。 - 【請求項２】 前記ＩＤＴ及び前記反射器の電極膜厚を
Ｈ、励起される表面波の波長をλとしたとき、０．０６
≦Ｈ／λ≦０．１であることを特徴とする請求項１記載
の縦結合二重モードＳＡＷフィルタ。 - 【請求項３】 前記ＩＤＴの電極指幅をＬ、電極指間間
隔をＳとしたとき、０．６≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）であること
を特徴とする請求項１または２記載の縦結合二重モード
ＳＡＷフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15749197A JPH10335973A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 縦結合二重モードｓａｗフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15749197A JPH10335973A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 縦結合二重モードｓａｗフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335973A true JPH10335973A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15650857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15749197A Withdrawn JPH10335973A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 縦結合二重モードｓａｗフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10335973A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6498548B2 (en) * | 2000-12-07 | 2002-12-24 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter with optimized width and pitch of interdigital electrodes and reflector electrodes |
| KR100609965B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2006-08-04 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 및 통신 장치 |
| JPWO2008078496A1 (ja) * | 2006-12-25 | 2010-04-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP15749197A patent/JPH10335973A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6498548B2 (en) * | 2000-12-07 | 2002-12-24 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter with optimized width and pitch of interdigital electrodes and reflector electrodes |
| KR100609965B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2006-08-04 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 및 통신 장치 |
| JPWO2008078496A1 (ja) * | 2006-12-25 | 2010-04-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP4867997B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-02-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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Legal Events
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Effective date: 20060307 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |