JP2001271807A - 流体圧シリンダ - Google Patents

流体圧シリンダ

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JP2001271807A
JP2001271807A JP2000082314A JP2000082314A JP2001271807A JP 2001271807 A JP2001271807 A JP 2001271807A JP 2000082314 A JP2000082314 A JP 2000082314A JP 2000082314 A JP2000082314 A JP 2000082314A JP 2001271807 A JP2001271807 A JP 2001271807A
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cam groove
steel ball
rod
moving body
cylinder
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Toshiaki Suzuki
利明 鈴木
Masashi Nakai
政司 中井
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Original Assignee
CKD Corp
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
    • F15B15/06Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member for mechanically converting rectilinear movement into non- rectilinear movement
    • F15B15/063Actuator having both linear and rotary output, i.e. dual action actuator
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B5/00Clamps
    • B25B5/06Arrangements for positively actuating jaws
    • B25B5/061Arrangements for positively actuating jaws with fluid drive
    • B25B5/062Arrangements for positively actuating jaws with fluid drive with clamping means pivoting around an axis parallel to the pressing direction

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小さい駆動力でも安定した複合動作を行うこ
とができる流体圧シリンダを提供すること。 【解決手段】 この流体圧シリンダ1では、シリンダチ
ューブ2内にピストン8及びロッド17からなる移動体
8,17が移動可能に収容されている。シリンダチュー
ブ2側には、突出部材33が固定されている。移動体8
の外周面には、突出部材33が摺接する曲線状カム溝3
1が形成される。突出部材33における摺接部位36は
球面状になっている。突出部材33は、移動体8,17
の中心軸方向に向かって常時押圧されるよう配置されて
いる。そして、流体を給排すると、移動体8,17が直
線運動及び回転運動を複合的に行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の給排によっ
て移動体に直線運動及び回転運動を複合的に行わせる流
体圧シリンダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、直線運動及び回転運動を複合的に
行わせるようにしたエアシリンダ(いわゆるロータリク
ランプシリンダ)が知られている。
【0003】図6(a)に示される従来技術のエアシリ
ンダ41の場合、シリンダチューブ42内には、ピスト
ン及びロッドからなる移動体43が移動可能に収容され
ている。前記移動体43におけるロッドの先端部分はシ
リンダチューブ42から突出しており、そこには図示し
ないクランプアームが固定されている。シリンダチュー
ブ42の外周部には、突出部材45が固定されている。
突出部材45の内端摺接部44は球状であって、シリン
ダチューブ42の内周面からシリンダ中心軸方向に向か
って突出している。一方、移動体43の外周面には曲線
状カム溝46が形成されている。前記カム溝46の断面
は矩形状であって、その底面は平坦になっている。この
曲線状カム溝46内には、突出部材45の内端摺接部4
4が挿入されている。
【0004】従って、移動体43がシリンダチューブ4
2の長手方向に沿って往復動をすると、内端摺接部44
がカム溝46に摺接しつつ案内される結果、移動体43
が直線運動を行いながら回転運動を行う。ゆえに、ロッ
ドの先端部分に固定されたクランプアームが所定のクラ
ンプ運動を行うようになっている。
【0005】なお、図6(a)のエアシリンダ41と類
似のものは、例えば実開平1−135202号公報など
においても開示されている。また、図6(b)には、ピ
ン状の内端摺接部44を備える突出部材45が示されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、内端摺接部44とカム溝46との間にクリアラ
ンスがあったため、移動体43が回転方向に大きくガタ
ツキやすい。ゆえに、ストローク途上における摺動抵抗
の変動も大きくなり、移動体43に安定した複合動作を
行わせることが困難になる。また、大きな摺動抵抗に打
ち勝って移動体43を安定して動かすためには、大きな
駆動力、即ち高いエア圧が必要になってしまう。
【0007】さらに、ピン状の内端摺接部44を備える
図6(b)の従来技術の場合、部品の加工公差が大きい
と、内端摺接部44の芯ズレが発生しやすくなる(図6
(c)参照)。よって、この場合も移動体43にスムー
ズな複合動作を行わせることが困難になる。
【0008】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、小さい駆動力でも安定した複合動
作を行うことができる流体圧シリンダを提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明では、シリンダチューブ内
にピストン及びロッドからなる移動体を移動可能に収容
するとともに、前記シリンダチューブ側に固定された突
出部材が摺接する曲線状カム溝を前記移動体の外周面に
形成し、流体の給排によって前記移動体に直線運動及び
回転運動を複合的に行わせる流体圧シリンダにおいて、
前記突出部材における摺接部位を球面状にするととも
に、前記突出部材を前記移動体の中心軸方向に向かって
常時押圧するようにして配置したことを特徴とする流体
圧シリンダをその要旨とする。
【0010】請求項2に記載の発明は、請求項1におい
て、前記カム溝の断面形状を、溝底部に向かうほど狭く
なるようにした。請求項3に記載の発明は、請求項1ま
たは2において、前記突出部材は、鋼球と鋼球保持体と
からなり、前記鋼球は前記鋼球保持体に転動可能な状態
で保持されているとした。
【0011】以下、本発明の「作用」について説明す
る。請求項1に記載の発明によると、突出部材を移動体
の中心軸方向に向かって常時押圧するようにして配置し
ているため、突出部材における摺接部位を曲線状カム溝
に対して確実に摺接させることができる。よって、回転
方向のガタツキが起こりにくくなる。また、摺接部位が
球面状であるため、ピン状に比べて摺動抵抗自体が小さ
くなることに加え、上記のとおり常時押圧力が働いてい
ることから摺動抵抗の変動も小さくなる。しかも、摺接
部位が球面状であれば、芯ズレも起こりにくい。以上の
ことから、大きな駆動力を与えなくても、移動体に安定
した複合動作を行わせることが可能となる。
【0012】請求項2に記載の発明によると、カム溝の
断面形状を溝底部に向かうほど狭くなるようにした結
果、摺接部位とカム溝の内壁面との間にクリアランスが
生じなくなる。よって、摺接部位をカム溝の内壁面に確
実に接触させることができ、回転方向のガタツキがより
いっそう起こりにくくなる。
【0013】請求項3に記載の発明によると、鋼球が転
動することによって摺動抵抗がよりいっそう小さくなる
ことに加え、鋼球自体に磨耗が起こりにくくなる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の流体圧シリンダを
具体化した一実施形態のエアシリンダ1を図1〜図3に
基づき詳細に説明する。
【0015】図1に示されるように、本実施形態のエア
シリンダ1は、ロッド付きタイプのエアシリンダ1であ
る。エアシリンダ1を構成するシリンダチューブ2は、
等断面形状を有するアルミニウム合金製の筒状押出成形
品である。シリンダチューブ2の両端にある開口は、ヘ
ッドメタル3とロッドメタル4とによって封止されてい
る。
【0016】ヘッドメタル3の外周面には、シール部材
としての環状かつゴム製のOリング5が装着されてい
る。このヘッドメタル3は、C型止め輪6によりシリン
ダチューブ2の開口付近の内周面に対して固定されてい
る。ロッドメタル4の外周面における2箇所には、シー
ル部材としての環状かつゴム製のOリング5が装着され
ている。このロッドメタル4は、C型止め輪6及び止め
ネジ7により、シリンダチューブ2の開口付近の内周面
に対して固定されている。
【0017】図1に示されるように、シリンダチューブ
2、ヘッドメタル3及びロッドメタル4がなす断面円形
状のピストン収容空間には、移動体の一部であるピスト
ン8がチューブ軸線方向に沿って移動可能に収容されて
いる。長細い形状であるこのピストン8は、前記空間を
2つの圧力作用室に区画している。また、ピストン8の
外周面においてロッド側端寄りの位置には、環状のピス
トンパッキング11と、一部にバイアスカット部を有す
る環状のウェアリング12とが装着されている。また、
ピストン8の外周面においてヘッド側端寄りの位置に
は、同じく環状のウェアリング12が装着されている。
【0018】シリンダチューブ2の外周面においてヘッ
ド側端寄りの位置には、第1のエア給排ポート15が形
成されている。同面においてロッド側端寄りの位置に
は、第2のエア給排ポート16が形成されている。第1
のエア給排ポート15は、連通孔を介してヘッド側の圧
力作用室に連通している。第2のエア給排ポート16
は、連通孔を介してロッド側の圧力作用室に連通してい
る。
【0019】ピストン8のロッド側端面における中央部
には、移動体の一部であるロッド17の基端部が一体的
に設けられている。従って、ロッド17はピストン8と
一体的に往復移動することができる。なお、本実施形態
のピストン8は、ロッド17と等しい長さまたはそれ以
上の長さに設定されている。ロッド17の先端部は、ロ
ッドメタル4に形成されたロッド挿通孔18を介してシ
リンダチューブ2の外部に突出している。
【0020】図1に示されるように、ロッドメタル4の
内周面には、ゴム等の弾性体からなる環状のロッドパッ
キング19が一対並んで装着されている。なお、シリン
ダチューブ2の外周面においてロッド端側寄りの位置に
は、排気回収ポート20が設けられている。この排気回
収ポート20は、連通路を介して前記一対のロッドパッ
キング19間の領域に連通されている。従って、このポ
ート20からは、ロッド17等の発生した粉塵が回収さ
れるようになっている。
【0021】また、ロッドメタル4の内周面には、ロッ
ド17の摺動性を高めるための筒状のブッシュ21が装
着されている。ロッド17の基端部には、ゴム等の弾性
体からなる環状のクッションリング22が嵌着されてい
る。このクッションリング22があることにより、スト
ロークエンドにおいてピストン8に加わる衝撃が緩衝さ
れる。
【0022】ロッド17の先端部には、固定ビス23及
びストッパボルト24を用いてクランプアーム25の基
端側が固定されている。クランプアーム25はロッド1
7の軸線方向に対して直角に延びている。
【0023】図2等に示されるように、ロッド17の外
周面には曲線状カム溝31が形成されている。曲線状カ
ム溝31の形状は、所望とする複合運動のパターンに応
じて設定される。本実施形態のカム溝31は、大まかに
いって3つの部分31a,31b,31cからなる。即
ち、カム溝31においてロッド側に位置する第1の部分
31aは、エアシリンダ1の長手方向(即ちピストン8
の中心軸方向)に沿って直線的に延び、かつ他の部分3
1b,31cに比べて長くなっている。カム溝31にお
いてヘッド側に位置する第3の部分31cは、同じくピ
ストン8の中心軸方向に沿って直線的に延び、かつ第1
の部分31aに比べていくぶん短くなっている。ただ
し、第3の部分31cは、第1の部分31aと同一の直
線上には存在していない。具体的にいうと、ピストン8
において第3の部分31cがある箇所と第1の部分31
aがある箇所とがなす角度は、90°に設定されてい
る。第1の部分31aと第3の部分31cとは、ピスト
ン8の周方向に沿って斜めに延びる第2の部分31bに
よって接続されている。また、前記2つの接続箇所は緩
やかなカーブになっている。本実施形態におけるカム溝
31は、ピストン8の全長に近い長さを有している。
【0024】前記カム溝31は断面略U字状ないし略半
円状になっていて、その幅は溝底部に向かうほど狭くな
っている。また、カム溝31は、全長を通じて等しい断
面形状になっている。
【0025】図1,図3に示されるように、シリンダチ
ューブ2の外周面において一対のエア給排ポート15,
16間の位置には、シリンダチューブ2の内外を連通さ
せる固定孔32が形成されている。そして、その固定孔
32のある箇所には突出部材33が固定されている。
【0026】本実施形態の突出部材33は、被覆部材と
してのカバー34と、固定部材としてのねじ35と、鋼
球36と、鋼球保持体としてのホルダ37と、押圧手段
としてのコイルバネ38と、シール部材としてのOリン
グ39とによって構成されている。カバー34の内面側
中央部には筒状部分33aが突設され、その筒状部分3
3aの両側には前記ねじ35を挿通するための孔が内外
面を貫通して一対形成されている。その結果、2個のね
じ35によってカバー34がシリンダチューブ2に固定
されている。このとき、筒状部分33aは固定孔32に
嵌合された状態となる。筒状部分33aの外周面と固定
孔32の内周面との間には、Oリング39が配設され
る。このOリング39は、筒状部分33aの外周面と固
定孔32の内周面との隙間を介して、シリンダチューブ
2内の加圧エアが外部に漏れることを防止する役割を果
たしている。
【0027】前記筒状部分33aには、基部と軸部とか
らなるホルダ37が収容されている。図3において上側
に位置するホルダ37の軸部に対しては、コイルバネ3
8が圧縮状態で装着されている。コイルバネ38の上端
は筒状部分33aの底部に当接され、コイルバネ38の
下端はホルダ37の基部上端面に当接されている。従っ
て、コイルバネ38の付勢力によって、ホルダ37は図
3における下方向(即ち移動体を構成するピストン8の
中心軸方向)に向かって常時付勢されている。
【0028】ホルダ37の基部下端面には半球状の保持
凹部が形成されていて、その保持凹部に対して鋼球36
が転動可能な状態で保持されている。突出部材33にお
ける摺接部位であるこの鋼球36は、その一部がカム溝
31に係合するような状態で配置されている。なお、本
実施形態において鋼球36の球面の曲率半径は、カム溝
31の曲率半径と同程度に設定されている。
【0029】次に、このエアシリンダ1の動作を簡単に
説明する。図1(b)においては、移動体はロッド側のス
トロークエンドにあり、ロッド17はシリンダチューブ
2から大きく突出している。この状態において、第2の
エア給排ポート16を介してロッド側の圧力作用室にエ
アを供給すると、エアの圧力によってピストン8が図1
(b)の右側方向(即ちヘッド側)に押圧される。その結
果、ピストン8、ロッド17及びクランプアーム25が
ヘッド側への一体移動を開始する。このとき、鋼球36
はカム溝31に摺接しつつ案内される。なお、鋼球36
は固定側にあってそもそも移動不能であることから、カ
ム溝31のある移動体の側に移動が起こることとなる。
【0030】鋼球36がカム溝31における第1の部分
31aを摺動しているとき、移動体は直線運動のみを行
い、回転運動を行わない。従って、クランプアーム25
は図1(c)における実線の位置を保ったまま直線運動を
行う。
【0031】鋼球36がカム溝31における第2の部分
31bを摺動しているとき、移動体は直線運動に加えて
回転運動も行う。従って、クランプアーム25は図1
(c)における実線の位置から二点鎖線の位置へと移動す
る。即ち、クランプアーム25は元の位置から90°回
動する。
【0032】鋼球36がカム溝31における第3の部分
31cを摺動しているとき、移動体は直線運動のみを行
い、回転運動を行わない。従って、クランプアーム25
は図1(c)における二点鎖線の位置を保ったまま直線運
動を行う。
【0033】以上の結果、クランプアーム25に所定の
クランプ動作を行わせて、図示しないワークをクランプ
させることができる。移動体がヘッド側のストロークエ
ンドに達したら、今度は逆に第1のエア給排ポート15
を介してヘッド側の圧力作用室にエアを供給すると、エ
アの圧力によってピストン8が図1(b)の左側方向(即
ちロッド側)に押圧される。その結果、ピストン8、ロ
ッド17及びクランプアーム25がロッド側への一体移
動を開始する。その結果、クランプ状態にあったクラン
プアーム25がアンクランプ状態となり、ワークを釈放
するようになっている。
【0034】従って、本実施形態によれば以下のような
効果を得ることができる。 (1)このエアシリンダ1では、突出部材33を移動体
の中心軸方向に向かって常時押圧するようにして配置し
ている。このため、突出部材33における摺接部位、即
ち本実施形態では鋼球36を、曲線状カム溝31に対し
て確実に摺接させることができる。よって、従来のもの
に比べて回転方向のガタツキが起こりにくくなる。ま
た、摺接部位が球面状であるため、ピン状に比べて摺動
抵抗自体が小さくなることに加え、上記のとおり常時押
圧力が働いていることから摺動抵抗の変動も小さくな
る。しかも、摺接部位が球面状であれば、構造上、芯ズ
レも起こりにくくなる。
【0035】以上のことから、大きな駆動力を与えなく
ても、移動体に安定した複合動作を行わせることが可能
となる。従って、クランプアーム25にスムーズなクラ
ンプ動作を行わせることが可能となる。
【0036】(2)また、本実施形態のエアシリンダ1
によれば、芯ズレを心配する必要が特にないため、これ
を防止するための高精度加工も不要となる。よって、製
造困難化及び高コスト化を未然に防止することができ
る。
【0037】(3)このエアシリンダ1では、カム溝3
1の断面を略U字状ないし略半円状に形成することによ
り、カム溝31の断面形状を溝底部に向かうほど狭くな
るようにしている。その結果、従来とは異なり、摺接部
位である鋼球36とカム溝31の内壁面との間にクリア
ランスが生じなくなる。よって、鋼球36をカム溝31
の内壁面に確実に接触させることができ、回転方向のガ
タツキがよりいっそう起こりにくくなる。勿論、このこ
とはエアシリンダ1の動作性の向上に寄与している。
【0038】(4)このエアシリンダ1の突出部材33
は、鋼球36をホルダ37に転動可能な状態で保持させ
た構造になっている。従って、鋼球36が転動不能であ
る場合に比べ、摺動抵抗がよりいっそう小さくなり、結
果としてエアシリンダ1の動作性の向上が図られる。こ
れに加えて、鋼球36はステンレス等のような硬い材料
で形成されているため、摺接部位に用いられたとしても
それ自身に磨耗が起こりにくい。つまり、この構成であ
ればエアシリンダ1の長寿命化も図られる。
【0039】(5)また、本実施形態の突出部材33に
おける押圧手段は、コイルバネ38であるため、突出部
材33を比較的簡単な構成にて実現することができる。 (6)このエアシリンダ1では、 カム溝31がロッド
17の外周面にではなく、長細状のピストン8の外周面
に形成されている。一般にピストン8はロッド17より
も大径であるため、仮に移動体をコンパクトに形成する
必要があったとしても、本実施形態によればカム溝31
の形成場所に困るようなことがない。従って、小型化に
適したシリンダ構造とすることができる。
【0040】なお、本発明の実施形態は以下のように変
更してもよい。 ・ 図4に示される別例のように、カム溝31の曲率半
径を、鋼球36の球面の曲率半径よりも若干大きく設定
してもよい。
【0041】・ 曲線状カム溝31の断面形状は、実施
形態や図4の別例のようなものに限定されるわけではな
く、適宜変更することが可能である。例えば、図5に示
される別例のように、カム溝31の断面形状を略V字状
にしてもよく、この場合においても溝幅を溝底部に向か
うほど狭くすることができる。
【0042】・ 鋼球36のような硬質金属製の球体の
代わりに、例えば硬質なセラミックからなる球体等を使
用してもよい。要するに、磨耗が起こりにくくて低摩擦
の材料であれば足りる。
【0043】・ 鋼球36は鋼球保持体であるホルダ3
7に転動不能な状態で保持されていてもよい。 ・ 突出部材33は、別体として形成された鋼球36と
ホルダ37とからなる実施形態のような構成のみに限定
されない。即ち、摺接部位である球面をその一部に有す
るようなものであっても構わない。
【0044】・ カム溝31は移動体に形成されていれ
ば足りるため、ロッド17の外周面に形成されてもよ
い。 ・ 押圧手段であるバネに代えて、ゴム等の弾性体を用
いてもよい。また、上記のような機械的な押圧手段ばか
りでなく、空圧的な押圧手段によって突出部材33を押
圧してもよい。
【0045】・ 本発明のエアシリンダ1は、いわゆる
ロータリクランプシリンダとして使用されるばかりでな
く、それ以外の用途で用いられてもよい。 次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほか
に、前述した実施形態によって把握される技術的思想を
以下に列挙する。
【0046】(1) 請求項2,3において、前記カム
溝は断面略V字状または断面略U字状であること。 (2) 請求項3において、前記カム溝は断面略U字状
であって、前記カム溝の曲率半径は前記鋼球の球面の曲
率半径よりも大きいこと。
【0047】(3) 請求項1乃至3において、前記カ
ム溝は、前記移動体を構成するピストン側の外周面に形
成されていること。従って、この技術的思想3に記載の
発明によれば、エアシリンダの小型化に適した構造とす
ることができる。
【0048】(4) 請求項3において、前記突出部材
は、鋼球と鋼球保持体と押圧手段とからなり、前記鋼球
は前記鋼球保持体に転動可能な状態で保持され、前記押
圧手段は前記鋼球保持体を前記移動体の中心軸方向に向
かって常時押圧すること。
【0049】(5) 技術的思想4において、前記押圧
手段は機械的押圧手段(例えばバネやゴム等)であるこ
と。従って、この技術的思想5に記載の発明によれば、
比較的簡単な構造にて突出部材を実現することができ
る。
【0050】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1に記載の
発明によれば、小さい駆動力でも安定した複合動作を行
うことができる流体圧シリンダを提供することができ
る。
【0051】請求項2に記載の発明によれば、回転方向
のガタツキがよりいっそう起こりにくくなるため、動作
性が向上する。請求項3に記載の発明によれば、摺動抵
抗の低減によって動作性の向上が図られることに加え、
装置の長寿命化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明を具体化した一実施形態のエア
シリンダの平面図、(b)は(a)のA−A線における
断面図、(c)は同エアシリンダの左側面図。
【図2】同エアシリンダを構成する移動体の部分斜視
図。
【図3】図1(b)のB−B線における断面図。
【図4】別例のエアシリンダの要部断面図。
【図5】別例のエアシリンダの要部断面図。
【図6】(a)〜(c)は、従来のエアシリンダの要部
断面図。
【符号の説明】
1…流体圧シリンダとしてのエアシリンダ、2…シリン
ダチューブ、8…移動体の一部であるピストン、17…
移動体の一部であるロッド、31…曲線状カム溝、33
…突出部材、36…突出部材の摺接部位である鋼球、3
7…突出部材を構成する鋼球保持体としてのホルダ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】シリンダチューブ内にピストン及びロッド
    からなる移動体を移動可能に収容するとともに、前記シ
    リンダチューブ側に固定された突出部材が摺接する曲線
    状カム溝を前記移動体の外周面に形成し、流体の給排に
    よって前記移動体に直線運動及び回転運動を複合的に行
    わせる流体圧シリンダにおいて、 前記突出部材における摺接部位を球面状にするととも
    に、前記突出部材を前記移動体の中心軸方向に向かって
    常時押圧するようにして配置したことを特徴とする流体
    圧シリンダ。
  2. 【請求項2】前記カム溝の断面形状を、溝底部に向かう
    ほど狭くなるようにしたことを特徴とする請求項1に記
    載の流体圧シリンダ。
  3. 【請求項3】前記突出部材は、鋼球と鋼球保持体とから
    なり、前記鋼球は前記鋼球保持体に転動可能な状態で保
    持されていることを特徴とする請求項1または2に記載
    の流体圧シリンダ。
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JP2010106928A (ja) * 2008-10-29 2010-05-13 Ckd Corp 流体圧シリンダ
JP2010203470A (ja) * 2009-02-27 2010-09-16 Ckd Corp 流体圧シリンダ

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