JP2001263748A - 省エネルギー型クリーンルーム - Google Patents
省エネルギー型クリーンルームInfo
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- JP2001263748A JP2001263748A JP2000084841A JP2000084841A JP2001263748A JP 2001263748 A JP2001263748 A JP 2001263748A JP 2000084841 A JP2000084841 A JP 2000084841A JP 2000084841 A JP2000084841 A JP 2000084841A JP 2001263748 A JP2001263748 A JP 2001263748A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームのエネルギー消費量を低減す
る。 【解決手段】 クリーンスペース１には、パーティショ
ン３により囲まれた局所クリーンスペース５が設けられ
ている。スペース５の側壁を構成するパーティション３
の一部は開放されている。スペース５の天井には、スペ
ース１から空気を取り込み、温度調節及び清浄化してス
ペース５へ吹き込むファン／ヒーター／フィルターユニ
ット７が複数個配置されている。ユニット７の作用によ
りスペース５はスペース１に比較して陽圧になる。スペ
ース５の内部には高いクリーン度を必要とする装置１１
が配置されている。スペース１及びスペース５の床下に
エアーリターンスペース２５が設けられている。スペー
ス１の空気は吸入口１７、切替えダンパー１９、外調機
２１、フィルター２３及びスペース２５を介して、上昇
流にて循環される。
る。 【解決手段】 クリーンスペース１には、パーティショ
ン３により囲まれた局所クリーンスペース５が設けられ
ている。スペース５の側壁を構成するパーティション３
の一部は開放されている。スペース５の天井には、スペ
ース１から空気を取り込み、温度調節及び清浄化してス
ペース５へ吹き込むファン／ヒーター／フィルターユニ
ット７が複数個配置されている。ユニット７の作用によ
りスペース５はスペース１に比較して陽圧になる。スペ
ース５の内部には高いクリーン度を必要とする装置１１
が配置されている。スペース１及びスペース５の床下に
エアーリターンスペース２５が設けられている。スペー
ス１の空気は吸入口１７、切替えダンパー１９、外調機
２１、フィルター２３及びスペース２５を介して、上昇
流にて循環される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品や薬品
等を製造する場合に使用するクリーンルームに関するも
のである。
等を製造する場合に使用するクリーンルームに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来のクリーンルームを示す断面
図である。ファン２ａ、冷却コイル２ｂ及び再熱コイル
２ｃにより構成される外調機２により、外気取込み口４
から取り込んだ空気を温湿度調節して天井チャンバー６
に供給する。１０、１２及び１４の空間の天井に空気清
浄機能をもつファンフィルターユニット８を設け、ファ
ンフィルターユニット８により天井チャンバー６の空気
を清浄化し、クリーンスペース１０、マシーンエリア１
２及びメンテナンスエリア１４へ天井から吹き込む。
図である。ファン２ａ、冷却コイル２ｂ及び再熱コイル
２ｃにより構成される外調機２により、外気取込み口４
から取り込んだ空気を温湿度調節して天井チャンバー６
に供給する。１０、１２及び１４の空間の天井に空気清
浄機能をもつファンフィルターユニット８を設け、ファ
ンフィルターユニット８により天井チャンバー６の空気
を清浄化し、クリーンスペース１０、マシーンエリア１
２及びメンテナンスエリア１４へ天井から吹き込む。
【０００３】マシーンエリア１２は、例えば半導体装置
の製造装置１６において製品が加工されて流れる空間で
あり、高いクリーン度を必要とする空間であるため、そ
の天井にはファンフィルターユニット８が空間の広さに
対して高密度に配置されている。クリーンスペース１０
及びメンテナンスエリア１４は、装置１６を操作したり
整備したりするために作業者が出入りする空間であり、
製品があまり通らず、高いクリーン度を必要としないの
で、それらの天井にはマシーンエリア１２に比べて低密
度にファンフィルターユニット８が配置されている。こ
のように、クリーンルーム内の空間を区分して、各空間
が必要とするクリーン度に応じてファンフィルターユニ
ット８を設置する密度を変えることにより、クリーンル
ーム全体の省エネルギー化を図っている。
の製造装置１６において製品が加工されて流れる空間で
あり、高いクリーン度を必要とする空間であるため、そ
の天井にはファンフィルターユニット８が空間の広さに
対して高密度に配置されている。クリーンスペース１０
及びメンテナンスエリア１４は、装置１６を操作したり
整備したりするために作業者が出入りする空間であり、
製品があまり通らず、高いクリーン度を必要としないの
で、それらの天井にはマシーンエリア１２に比べて低密
度にファンフィルターユニット８が配置されている。こ
のように、クリーンルーム内の空間を区分して、各空間
が必要とするクリーン度に応じてファンフィルターユニ
ット８を設置する密度を変えることにより、クリーンル
ーム全体の省エネルギー化を図っている。
【０００４】各空間２，９，１０の空気は天井から床へ
流れ（ダウンフロー）、床を通って床下のエアーリター
ンスペース１８へ吸引され、冷水コイル２０を介して天
井チャンバー６へ戻される。また、装置１６の発熱によ
る熱エネルギーをもった空気は排気管２２を介してクリ
ーンルーム外に排出される。
流れ（ダウンフロー）、床を通って床下のエアーリター
ンスペース１８へ吸引され、冷水コイル２０を介して天
井チャンバー６へ戻される。また、装置１６の発熱によ
る熱エネルギーをもった空気は排気管２２を介してクリ
ーンルーム外に排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図１に示すク
リーンルームでは、以下に示すような問題があった。 （１）装置１６内へのクリーンスペース１０及びメンテ
ナンスエリア１４からの塵埃の流入が低歩留まりの原因
となっているが、クリーンスペース１０及びメンテナン
スエリア１４のクリーン度を向上させると、エネルギー
消費量が増加する。 （２）クリーンスペース１０やメンテナンスエリア１４
による装置１６の周辺環境からの熱影響により、マシー
ンエリア１２の温度制御に大きなエネルギーを必要とし
ている。 （３）クリーンスペース１０、マシーンエリア１２及び
メンテナンスエリア１４におけるダウンフローは、作業
者や照明、装置１６などに起因する発熱による熱上昇流
の影響により、大きなエネルギーを使用している。 （４）装置１６の発熱による熱エネルギーをもった空気
を利用することなく排気している。 （５）予め温湿度調節された空気をファンフィルターユ
ニット８によりマシーンエリア１２に吹き込んでいるの
で、マシーンエリア１２の高精度な温湿度管理が難し
く、マシーンエリア１２の高精度な温湿度管理には多量
のエネルギー消費量が必要である。 （６）例えばドライポンプなど、装置１６に付帯する発
熱源により発生する熱エネルギーの熱負荷処理にエネル
ギーが多量に必要である。 （７）常時外気のみ、又はクリーンルーム内の空気のみ
を利用すると、冷却負荷と再熱負荷にかたよりが生じ、
無駄にエネルギーを消費する。本発明は、このような問
題の少なくとも１つを解決することにより、クリーンル
ームのエネルギー消費量を低減することを目的とするも
のである。
リーンルームでは、以下に示すような問題があった。 （１）装置１６内へのクリーンスペース１０及びメンテ
ナンスエリア１４からの塵埃の流入が低歩留まりの原因
となっているが、クリーンスペース１０及びメンテナン
スエリア１４のクリーン度を向上させると、エネルギー
消費量が増加する。 （２）クリーンスペース１０やメンテナンスエリア１４
による装置１６の周辺環境からの熱影響により、マシー
ンエリア１２の温度制御に大きなエネルギーを必要とし
ている。 （３）クリーンスペース１０、マシーンエリア１２及び
メンテナンスエリア１４におけるダウンフローは、作業
者や照明、装置１６などに起因する発熱による熱上昇流
の影響により、大きなエネルギーを使用している。 （４）装置１６の発熱による熱エネルギーをもった空気
を利用することなく排気している。 （５）予め温湿度調節された空気をファンフィルターユ
ニット８によりマシーンエリア１２に吹き込んでいるの
で、マシーンエリア１２の高精度な温湿度管理が難し
く、マシーンエリア１２の高精度な温湿度管理には多量
のエネルギー消費量が必要である。 （６）例えばドライポンプなど、装置１６に付帯する発
熱源により発生する熱エネルギーの熱負荷処理にエネル
ギーが多量に必要である。 （７）常時外気のみ、又はクリーンルーム内の空気のみ
を利用すると、冷却負荷と再熱負荷にかたよりが生じ、
無駄にエネルギーを消費する。本発明は、このような問
題の少なくとも１つを解決することにより、クリーンル
ームのエネルギー消費量を低減することを目的とするも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、清浄空間から
排気される空気又は室外の空気を取り込んで温度及び湿
度を調節し、フィルターを介して清浄空気として上記清
浄空間に吹き込む空調手段を備えたクリーンルームであ
って、第１の態様は、上記清浄空間内で製造装置を備え
て高いクリーン度を必要とする装置空間の周囲の一部を
隔壁で覆うことにより、上記清浄空間を装置空間と他の
空間とに区分し、上記装置空間と上記他の空間との間に
空気清浄機能をもつファンフィルターユニットを設け、
上記他の空間の空気をそのファンフィルターユニットを
介して上記装置空間内に吹き込んで上記装置空間内を陽
圧にし、上記他の空間を負圧にするようにしたものであ
る。
排気される空気又は室外の空気を取り込んで温度及び湿
度を調節し、フィルターを介して清浄空気として上記清
浄空間に吹き込む空調手段を備えたクリーンルームであ
って、第１の態様は、上記清浄空間内で製造装置を備え
て高いクリーン度を必要とする装置空間の周囲の一部を
隔壁で覆うことにより、上記清浄空間を装置空間と他の
空間とに区分し、上記装置空間と上記他の空間との間に
空気清浄機能をもつファンフィルターユニットを設け、
上記他の空間の空気をそのファンフィルターユニットを
介して上記装置空間内に吹き込んで上記装置空間内を陽
圧にし、上記他の空間を負圧にするようにしたものであ
る。
【０００７】本発明の第１の態様において、上記ファン
フィルターユニットは温度制御が可能な温度制御手段を
さらに備えることが好ましい。
フィルターユニットは温度制御が可能な温度制御手段を
さらに備えることが好ましい。
【０００８】本発明の第２の態様は、上記清浄空間内で
製造装置を備えて高いクリーン度を必要とする装置空間
の周囲の一部を隔壁で覆うことにより、上記清浄空間を
装置空間と他の空間とに区分し、上記装置空間と上記他
の空間との間に空気清浄機能及び温度制御機能をもつフ
ァンフィルターユニットを設け、上記装置空間内を規定
温度に調節し、上記他の空間を上記装置空間よりも低い
温度に調節するようにした省エネルギー型クリーンルー
ムである。
製造装置を備えて高いクリーン度を必要とする装置空間
の周囲の一部を隔壁で覆うことにより、上記清浄空間を
装置空間と他の空間とに区分し、上記装置空間と上記他
の空間との間に空気清浄機能及び温度制御機能をもつフ
ァンフィルターユニットを設け、上記装置空間内を規定
温度に調節し、上記他の空間を上記装置空間よりも低い
温度に調節するようにした省エネルギー型クリーンルー
ムである。
【０００９】本発明の第３の態様は、上記清浄空間内で
製造装置を備えて高いクリーン度を必要とする装置空間
の周囲の一部を隔壁で覆うことにより、上記清浄空間を
装置空間と他の空間とに区分し、上記他の空間では床か
ら清浄空気が吹き出し、天井から上記清浄空間の空気を
吸い込む流路構成を備えた省エネルギー型クリーンルー
ムである。
製造装置を備えて高いクリーン度を必要とする装置空間
の周囲の一部を隔壁で覆うことにより、上記清浄空間を
装置空間と他の空間とに区分し、上記他の空間では床か
ら清浄空気が吹き出し、天井から上記清浄空間の空気を
吸い込む流路構成を備えた省エネルギー型クリーンルー
ムである。
【００１０】本発明の第４の態様は、上記清浄空間とは
別に、発熱源となる機器を収容した発熱源空間を設けた
省エネルギー型クリーンルームである。
別に、発熱源となる機器を収容した発熱源空間を設けた
省エネルギー型クリーンルームである。
【００１１】本発明の第４の態様において、上記発熱源
空間の空気を上記空調手段の空気取込み口側に供給する
ための発熱源空間流路と、上記発熱源空間流路から上記
空調手段の空気取込み口側への空気の供給及び遮断を切
り替える切替え手段と、をさらに備えることが好まし
い。
空間の空気を上記空調手段の空気取込み口側に供給する
ための発熱源空間流路と、上記発熱源空間流路から上記
空調手段の空気取込み口側への空気の供給及び遮断を切
り替える切替え手段と、をさらに備えることが好まし
い。
【００１２】本発明の第４の態様において、上記清浄空
間内に配置された装置の排熱を上記発熱源空間へ導く熱
排気流路をさらに備えることが好ましい。
間内に配置された装置の排熱を上記発熱源空間へ導く熱
排気流路をさらに備えることが好ましい。
【００１３】本発明の第５の態様は、上記清浄空間から
排気される空気又は室外の空気を上記空調手段へ切り替
えて供給するための切替え手段を備えた省エネルギー型
クリーンルームである。
排気される空気又は室外の空気を上記空調手段へ切り替
えて供給するための切替え手段を備えた省エネルギー型
クリーンルームである。
【００１４】
【実施例】図２は一実施例としての省エネルギー型クリ
ーンルームを示す断面図である。クリーンルームのクリ
ーンスペース（清浄空間）１は作業スペースであり、作
業者又は自動搬送機により製品が装置から装置へ搬送さ
れる空間である。クリーンスペース１には、パーティシ
ョン（隔壁）３により囲まれた局所クリーンスペース
（装置空間）５が設けられている。局所クリーンスペー
ス５の側壁を構成するパーティション３の一部は、作業
者が出入できるように開放されている。
ーンルームを示す断面図である。クリーンルームのクリ
ーンスペース（清浄空間）１は作業スペースであり、作
業者又は自動搬送機により製品が装置から装置へ搬送さ
れる空間である。クリーンスペース１には、パーティシ
ョン（隔壁）３により囲まれた局所クリーンスペース
（装置空間）５が設けられている。局所クリーンスペー
ス５の側壁を構成するパーティション３の一部は、作業
者が出入できるように開放されている。
【００１５】局所クリーンスペース５の天井には、クリ
ーンスペース１から局所クリーンスペース５へ空気を取
り込むためのファン７ａ、ファン７ａから吹き込まれる
空気の温度を上げるためのヒーター７ｂ、及びよりクリ
ーン度を向上させるための高性能フィルター７ｃからな
るファン／ヒーター／フィルターユニット７が複数個配
置されている。パーティション３の外壁には各ユニット
７のヒーター７ｂを制御する温度制御装置９が設けられ
ている。
ーンスペース１から局所クリーンスペース５へ空気を取
り込むためのファン７ａ、ファン７ａから吹き込まれる
空気の温度を上げるためのヒーター７ｂ、及びよりクリ
ーン度を向上させるための高性能フィルター７ｃからな
るファン／ヒーター／フィルターユニット７が複数個配
置されている。パーティション３の外壁には各ユニット
７のヒーター７ｂを制御する温度制御装置９が設けられ
ている。
【００１６】局所クリーンスペース５の内部には露光装
置やドライエッチング装置などの高いクリーン度を必要
とする半導体製造装置１１が配置されている。装置１１
には装置１１の周辺温度を検知するための温度センサー
１３が配置されており、温度制御装置９は温度センサー
１３からの温度に基づいて適性温度をヒーター７ｂにフ
ィードバックする。
置やドライエッチング装置などの高いクリーン度を必要
とする半導体製造装置１１が配置されている。装置１１
には装置１１の周辺温度を検知するための温度センサー
１３が配置されており、温度制御装置９は温度センサー
１３からの温度に基づいて適性温度をヒーター７ｂにフ
ィードバックする。
【００１７】クリーンスペース１の天井には吸入スペー
ス１５が設けられている。吸入スペース１５にはクリー
ンスペース１と連通する吸入口１７が設けられている。
吸入口１７は、吸入口１７につながる流路と後述する切
替えダンパー３５につながる流路を切り替えて外調機２
１の吸入側に接続する切替えダンパー１９に接続されて
いる。外調機２１はファン２１ａ、冷却コイル２１ｂ及
びヒーター２１ｃにより構成される。外調機２１の吹出
し側は、高性能フィルター２３を介して、クリーンスペ
ース１及び局所クリーンスペース５の床下に設けられた
エアーリターンスペース２５に接続されている。エアー
リターンスペース２５は、クリーンスペース１及び局所
クリーンスペース５と空気の流通が可能である。
ス１５が設けられている。吸入スペース１５にはクリー
ンスペース１と連通する吸入口１７が設けられている。
吸入口１７は、吸入口１７につながる流路と後述する切
替えダンパー３５につながる流路を切り替えて外調機２
１の吸入側に接続する切替えダンパー１９に接続されて
いる。外調機２１はファン２１ａ、冷却コイル２１ｂ及
びヒーター２１ｃにより構成される。外調機２１の吹出
し側は、高性能フィルター２３を介して、クリーンスペ
ース１及び局所クリーンスペース５の床下に設けられた
エアーリターンスペース２５に接続されている。エアー
リターンスペース２５は、クリーンスペース１及び局所
クリーンスペース５と空気の流通が可能である。
【００１８】エアーリターンスペース２５の下部に、エ
アーリターンスペース２５とは遮断された発熱源スペー
ス（発熱源空間）２７が設けられている。発熱源スペー
ス２７には、ドライポンプなど、装置１１の付帯設備
（発熱源）１１ａが配置されている。付帯設備１１ａを
クリーンスペース１、局所クリーンスペース５及びエア
ーリターンスペース２５の外に配置することにより、そ
れらの空間１，５，２５の空調負荷を低減することがで
き、省エネルギー化を図ることができる。付帯設備１１
ａはエアーリターンスペース２５を貫通して装置１１に
接続されている。発熱源スペース２７には、装置１１の
熱排気を排出する排熱管２９が導かれている。
アーリターンスペース２５とは遮断された発熱源スペー
ス（発熱源空間）２７が設けられている。発熱源スペー
ス２７には、ドライポンプなど、装置１１の付帯設備
（発熱源）１１ａが配置されている。付帯設備１１ａを
クリーンスペース１、局所クリーンスペース５及びエア
ーリターンスペース２５の外に配置することにより、そ
れらの空間１，５，２５の空調負荷を低減することがで
き、省エネルギー化を図ることができる。付帯設備１１
ａはエアーリターンスペース２５を貫通して装置１１に
接続されている。発熱源スペース２７には、装置１１の
熱排気を排出する排熱管２９が導かれている。
【００１９】発熱源スペース２７の側壁には、開閉可能
な排気バルブ３０と発熱源スペース２７内の空気を供給
するための発熱源スペース流路（発熱源空間流路）３１
が接続されている。発熱源スペース流路３１の他端は、
外気取込み口３３につながる流路と発熱源スペース流路
３１を切り替えて切替えダンパー１９に接続する切替え
ダンパー３５に接続されている。
な排気バルブ３０と発熱源スペース２７内の空気を供給
するための発熱源スペース流路（発熱源空間流路）３１
が接続されている。発熱源スペース流路３１の他端は、
外気取込み口３３につながる流路と発熱源スペース流路
３１を切り替えて切替えダンパー１９に接続する切替え
ダンパー３５に接続されている。
【００２０】この実施例の空気循環を説明すると、切替
えダンパー１９を吸入口１７と外調機２１を接続する側
に切り替え、外調機２１により、吸入口１７から取り込
んだ空気を温湿度調節し、高性能フィルター２３により
清浄化して、エアーリターンスペース２５を介して、ク
リーンスペース１へ供給する。クリーンスペース１にお
ける空気の流れは上昇流になる。作業者や照明、装置に
よる発熱に伴なう上昇流に沿って空気を循環させるの
で、ファン２１ａのエネルギー消費量を低減することが
できる。ここで、クリーンスペース１のクリーン度はク
ラス１００程度でよいが、製品を搬送する場合はＳＭＩ
Ｆ（Standard Manufacturing Interface）等の密閉型ボ
ックス３７に製品を収納して搬送する。
えダンパー１９を吸入口１７と外調機２１を接続する側
に切り替え、外調機２１により、吸入口１７から取り込
んだ空気を温湿度調節し、高性能フィルター２３により
清浄化して、エアーリターンスペース２５を介して、ク
リーンスペース１へ供給する。クリーンスペース１にお
ける空気の流れは上昇流になる。作業者や照明、装置に
よる発熱に伴なう上昇流に沿って空気を循環させるの
で、ファン２１ａのエネルギー消費量を低減することが
できる。ここで、クリーンスペース１のクリーン度はク
ラス１００程度でよいが、製品を搬送する場合はＳＭＩ
Ｆ（Standard Manufacturing Interface）等の密閉型ボ
ックス３７に製品を収納して搬送する。
【００２１】ファン７ａを作動させて、クリーンスペー
ス１の空気をヒーター７ｂ及びフィルター７ｃにより温
度調節及び清浄化して局所クリーンスペース５に吹き込
む。装置１１がステッパなどの露光装置の場合、通常ク
ラス１又はそれより高度なクリーン度を必要とするの
で、フィルター７ｃによりクリーンスペース１の空気を
清浄化している。局所クリーンスペース５は、クリーン
スペース１及びエアーリターンスペース２５と連通して
いるが、ファン７ａによる空気の吹込みにより、局所ク
リーンスペース５が陽圧となり、クリーンスペース１及
びエアーリターンスペース２５が負圧となるので、クリ
ーンスペース１及びエアーリターンスペース２５のクリ
ーン度の低い空気が局所クリーンスペース５に流れ込む
ことはない。局所クリーンスペース５とクリーンスペー
ス１の圧力差は例えば９．８ｋパスカル以上あればよ
い。
ス１の空気をヒーター７ｂ及びフィルター７ｃにより温
度調節及び清浄化して局所クリーンスペース５に吹き込
む。装置１１がステッパなどの露光装置の場合、通常ク
ラス１又はそれより高度なクリーン度を必要とするの
で、フィルター７ｃによりクリーンスペース１の空気を
清浄化している。局所クリーンスペース５は、クリーン
スペース１及びエアーリターンスペース２５と連通して
いるが、ファン７ａによる空気の吹込みにより、局所ク
リーンスペース５が陽圧となり、クリーンスペース１及
びエアーリターンスペース２５が負圧となるので、クリ
ーンスペース１及びエアーリターンスペース２５のクリ
ーン度の低い空気が局所クリーンスペース５に流れ込む
ことはない。局所クリーンスペース５とクリーンスペー
ス１の圧力差は例えば９．８ｋパスカル以上あればよ
い。
【００２２】局所クリーンスペース５の温度は、温度セ
ンサー１３からの温度に基づいて温度制御装置９により
ヒーター７ｂを加熱することにより制御され、装置１１
の動作に適当な規定温度、例えば２３℃に調節される。
このとき、外調機２１から供給する空気の温度を制御し
て、クリーンスペース１の温度を規定温度よりも低く、
例えば２２℃に調節しておくことにより、ヒーター７ｂ
を制御して、局所クリーンスペース５の温度を制御性よ
く規定温度に調節することが容易になる。
ンサー１３からの温度に基づいて温度制御装置９により
ヒーター７ｂを加熱することにより制御され、装置１１
の動作に適当な規定温度、例えば２３℃に調節される。
このとき、外調機２１から供給する空気の温度を制御し
て、クリーンスペース１の温度を規定温度よりも低く、
例えば２２℃に調節しておくことにより、ヒーター７ｂ
を制御して、局所クリーンスペース５の温度を制御性よ
く規定温度に調節することが容易になる。
【００２３】装置１１を作動させると、付帯設備１１ａ
の発熱及び排熱管２９からの排気により発熱源スペース
２７の空気の温度が上昇する。発熱源スペース２７の空
気を取り込む場合、切替えダンパー３５を発熱源スペー
ス流路３１側に切り替え、切替えダンパー１９を切替え
ダンパー３５側に接続する。発熱源スペース２７の空気
を空気供給源として利用することにより、例えば冬期に
外気取込み口３３から外気を取り込む場合に比べて、空
気を加温するエネルギーを低減することができる。
の発熱及び排熱管２９からの排気により発熱源スペース
２７の空気の温度が上昇する。発熱源スペース２７の空
気を取り込む場合、切替えダンパー３５を発熱源スペー
ス流路３１側に切り替え、切替えダンパー１９を切替え
ダンパー３５側に接続する。発熱源スペース２７の空気
を空気供給源として利用することにより、例えば冬期に
外気取込み口３３から外気を取り込む場合に比べて、空
気を加温するエネルギーを低減することができる。
【００２４】外気を取り込む場合は、切替えダンパー３
５により外気取込み口３３と切替えダンパー１９を接続
し、切替えダンパー１９により切替えダンパー３５と外
調機２１を接続する。例えば夏期にクリーンスペース１
内の温度が下がりすぎた場合、外気を取り込むことによ
り、低エネルギーでクリーンスペース１内の温度を上昇
させることができる。また、例えば冬期にクリーンスペ
ース１内の温度が上がりすぎた場合、外気を取り込むこ
とにより、低エネルギーでクリーンスペース１内の温度
を低下させることができる。
５により外気取込み口３３と切替えダンパー１９を接続
し、切替えダンパー１９により切替えダンパー３５と外
調機２１を接続する。例えば夏期にクリーンスペース１
内の温度が下がりすぎた場合、外気を取り込むことによ
り、低エネルギーでクリーンスペース１内の温度を上昇
させることができる。また、例えば冬期にクリーンスペ
ース１内の温度が上がりすぎた場合、外気を取り込むこ
とにより、低エネルギーでクリーンスペース１内の温度
を低下させることができる。
【００２５】
【発明の効果】請求項１の省エネルギー型クリーンルー
ムにおいては、清浄空間内で製造装置を備えて高いクリ
ーン度を必要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆う
ことにより、上記清浄空間を上記装置空間と他の空間と
に区分し、上記装置空間と上記他の空間との間に空気清
浄機能をもつファンフィルターユニットを設け、上記他
の空間の空気をそのファンフィルターユニットを介して
上記装置空間内に吹き込んで上記装置空間内を陽圧に
し、上記他の空間を負圧にするようにしたので、上記装
置空間のみを高クリーン度に維持することにより省エネ
ルギー化を図ることができるとともに、クリーン度の低
い上記他の空間からの塵埃の混入を防ぐことができる。
ムにおいては、清浄空間内で製造装置を備えて高いクリ
ーン度を必要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆う
ことにより、上記清浄空間を上記装置空間と他の空間と
に区分し、上記装置空間と上記他の空間との間に空気清
浄機能をもつファンフィルターユニットを設け、上記他
の空間の空気をそのファンフィルターユニットを介して
上記装置空間内に吹き込んで上記装置空間内を陽圧に
し、上記他の空間を負圧にするようにしたので、上記装
置空間のみを高クリーン度に維持することにより省エネ
ルギー化を図ることができるとともに、クリーン度の低
い上記他の空間からの塵埃の混入を防ぐことができる。
【００２６】請求項２の省エネルギー型クリーンルーム
においては、ファンフィルターユニットに温度制御が可
能な温度制御手段をさらに備えるようにしたので、省エ
ネルギー化を図ることができるとともに、上記装置空間
を高精度に温度制御することができる。
においては、ファンフィルターユニットに温度制御が可
能な温度制御手段をさらに備えるようにしたので、省エ
ネルギー化を図ることができるとともに、上記装置空間
を高精度に温度制御することができる。
【００２７】請求項３の省エネルギー型クリーンルーム
においては、清浄空間内で製造装置を備えて高いクリー
ン度を必要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うこ
とにより、上記清浄空間を上記装置空間と他の空間とに
区分し、上記装置空間と上記他の空間との間に空気清浄
機能及び温度制御機能をもつファンフィルターユニット
を設け、上記装置空間内を規定温度に調節し、上記他の
空間を上記装置空間よりも低い温度に調節するようにし
たので、省エネルギー化を図ることができるとともに、
上記装置空間において高精度な温湿度コントロールを行
なうことができる。
においては、清浄空間内で製造装置を備えて高いクリー
ン度を必要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うこ
とにより、上記清浄空間を上記装置空間と他の空間とに
区分し、上記装置空間と上記他の空間との間に空気清浄
機能及び温度制御機能をもつファンフィルターユニット
を設け、上記装置空間内を規定温度に調節し、上記他の
空間を上記装置空間よりも低い温度に調節するようにし
たので、省エネルギー化を図ることができるとともに、
上記装置空間において高精度な温湿度コントロールを行
なうことができる。
【００２８】請求項４の省エネルギー型クリーンルーム
においては、清浄空間内で製造装置を備えて高いクリー
ン度を必要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うこ
とにより、上記清浄空間を上記装置空間と上記他の空間
とに区分し、上記他の空間では床から清浄空気が吹き出
し、天井から上記他の空間の空気を吸い込み、作業者な
どの発熱に起因する上昇流に沿って他の空間内で空気を
流通させるようにしたので、省エネルギー化を図ること
ができる。
においては、清浄空間内で製造装置を備えて高いクリー
ン度を必要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うこ
とにより、上記清浄空間を上記装置空間と上記他の空間
とに区分し、上記他の空間では床から清浄空気が吹き出
し、天井から上記他の空間の空気を吸い込み、作業者な
どの発熱に起因する上昇流に沿って他の空間内で空気を
流通させるようにしたので、省エネルギー化を図ること
ができる。
【００２９】請求項５の省エネルギー型クリーンルーム
においては、清浄空間とは別に、発熱源となる機器を収
容した発熱源空間を設け、上記清浄空間内の空調負荷を
低減するようにしたので、省エネルギー化を図ることが
できる。
においては、清浄空間とは別に、発熱源となる機器を収
容した発熱源空間を設け、上記清浄空間内の空調負荷を
低減するようにしたので、省エネルギー化を図ることが
できる。
【００３０】請求項６の省エネルギー型クリーンルーム
においては、上記発熱源空間の空気を空調手段の空気取
込み口側に供給するための発熱源空間流路と、上記発熱
源空間流路から空調手段の空気取込み口側への空気の供
給及び遮断を切り替える切替え手段とをさらに備え、上
記発熱源空間の空気を冬期に利用して発熱負荷を低減す
るようにしたので、省エネルギー化を図ることができ
る。
においては、上記発熱源空間の空気を空調手段の空気取
込み口側に供給するための発熱源空間流路と、上記発熱
源空間流路から空調手段の空気取込み口側への空気の供
給及び遮断を切り替える切替え手段とをさらに備え、上
記発熱源空間の空気を冬期に利用して発熱負荷を低減す
るようにしたので、省エネルギー化を図ることができ
る。
【００３１】請求項７の省エネルギー型クリーンルーム
においては、上記清浄空間内に配置された装置の排熱を
上記発熱源空間へ導く熱排気流路をさらに備え、上記清
浄空間内の空調負荷を低減するようにしたので、省エネ
ルギー化を図ることができる。
においては、上記清浄空間内に配置された装置の排熱を
上記発熱源空間へ導く熱排気流路をさらに備え、上記清
浄空間内の空調負荷を低減するようにしたので、省エネ
ルギー化を図ることができる。
【００３２】請求項８の省エネルギー型クリーンルーム
においては、清浄空間から排気される空気又は室外の空
気を空調手段へ切り替えて供給するための切替え手段を
備え、外気と清浄空間空気とを選択することができるよ
うにしたので、省エネルギー化を図ることができる。
においては、清浄空間から排気される空気又は室外の空
気を空調手段へ切り替えて供給するための切替え手段を
備え、外気と清浄空間空気とを選択することができるよ
うにしたので、省エネルギー化を図ることができる。
【図１】 従来のクリーンルームを示す断面図である。
【図２】 一実施例としてのクリーンルームを示す断面
図である。
図である。
１ クリーンスペース（清浄空間） ３ パーティション ５ 局所クリーンスペース（装置空間） ７ ファン／ヒーター／フィルターユニット ７ａ，２１ａ ファン ７ｂ，２１ｃ ヒーター ７ｃ，２３ 高性能フィルター ９ 温度制御装置 １１ 半導体製造装置 １３ 温度センサー １５ 吸入スペース １７ 吸入口 １９，３５ 切替えダンパー ２１ 外調機 ２１ｂ 冷却コイル ２５ エアーリターンスペース ２７ 発熱源スペース（発熱源空間） ２９ 排熱管 ３０ 排気バルブ ３１ 発熱源スペース流路（発熱源空間流路） ３３ 外気取込み口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岸本 好雄 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 西村 匡史 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 Ｆターム(参考） 3L058 BD06 BE02 BF03 BG03 BG04
Claims (8)
- 【請求項１】 清浄空間から排気される空気又は室外の
空気を取り込んで温度及び湿度を調節し、フィルターを
介して清浄空気として前記清浄空間に吹き込む空調手段
を備えたクリーンルームにおいて、 前記清浄空間内で製造装置を備えて高いクリーン度を必
要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うことによ
り、前記清浄空間を装置空間と他の空間とに区分し、前
記装置空間と前記他の空間との間に空気清浄機能をもつ
ファンフィルターユニットを設け、前記他の空間の空気
をそのファンフィルターユニットを介して前記装置空間
内に吹き込んで前記装置空間内を陽圧にし、前記他の空
間を負圧にすることを特徴とする省エネルギー型クリー
ンルーム。 - 【請求項２】 前記ファンフィルターユニットは温度制
御が可能な温度制御手段をさらに備えた請求項１に記載
の省エネルギー型クリーンルーム。 - 【請求項３】 清浄空間から排気される空気又は室外の
空気を取り込んで温度及び湿度を調節し、フィルターを
介して清浄空気として前記清浄空間に吹き込む空調手段
を備えたクリーンルームにおいて、 前記清浄空間内で製造装置を備えて高いクリーン度を必
要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うことによ
り、前記清浄空間を装置空間と他の空間とに区分し、前
記装置空間と前記他の空間との間に空気清浄機能及び温
度制御機能をもつファンフィルターユニットを設け、前
記装置空間内を規定温度に調節し、前記他の空間を前記
装置空間よりも低い温度に調節することを特徴とする省
エネルギー型クリーンルーム。 - 【請求項４】 清浄空間から排気される空気又は室外の
空気を取り込んで温度及び湿度を調節し、フィルターを
介して清浄空気として前記清浄空間に吹き込む空調手段
を備えたクリーンルームにおいて、 前記清浄空間内で製造装置を備えて高いクリーン度を必
要とする装置空間の周囲の一部を隔壁で覆うことによ
り、前記清浄空間を装置空間と他の空間とに区分し、前
記他の空間では床から清浄空気が吹き出し、天井から前
記清浄空間の空気を吸い込む流路構成を備えたことを特
徴とする省エネルギー型クリーンルーム。 - 【請求項５】 清浄空間から排気される空気又は室外の
空気を取り込んで温度及び湿度を調節し、フィルターを
介して清浄空気として前記清浄空間に吹き込む空調手段
を備えたクリーンルームにおいて、 前記清浄空間とは別に、発熱源となる機器を収容した発
熱源空間を設けたことを特徴とする省エネルギー型クリ
ーンルーム。 - 【請求項６】 前記発熱源空間の空気を前記空調手段の
空気取込み口側に供給するための発熱源空間流路と、前
記発熱源空間流路から前記空調手段の空気取込み口側へ
の空気の供給及び遮断を切り替える切替え手段と、をさ
らに備えた請求項５に記載の省エネルギー型クリーンル
ーム。 - 【請求項７】 前記清浄空間内に配置された装置の排熱
を前記発熱源空間へ導く熱排気流路をさらに備えた請求
項５又は６に記載の省エネルギー型クリーンルーム。 - 【請求項８】 清浄空間から排気される空気又は室外の
空気を取り込んで温度及び湿度を調節し、フィルターを
介して清浄空気として前記清浄空間に吹き込む空調手段
を備えたクリーンルームにおいて、 前記清浄空間から排気される空気又は室外の空気を前記
空調手段へ切り替えて供給するための切替え手段を備え
たことを特徴とする省エネルギー型クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000084841A JP3833041B2 (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | 省エネルギー型クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000084841A JP3833041B2 (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | 省エネルギー型クリーンルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001263748A true JP2001263748A (ja) | 2001-09-26 |
| JP3833041B2 JP3833041B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=18601264
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000084841A Expired - Fee Related JP3833041B2 (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | 省エネルギー型クリーンルーム |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3833041B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155209A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Nikon Corp | 温調システム |
| CN103010640A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 村田机械株式会社 | 无尘室用的自动仓库 |
| KR101453820B1 (ko) * | 2012-11-05 | 2014-10-23 | 우범제 | 반도체 공정장비의 배기장치 |
| JP2015503079A (ja) * | 2011-12-05 | 2015-01-29 | アエシント トプコ ベスローテン フェンノートシャップ | 医薬品を調製するための機械 |
| JP2015187533A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | セイコーエプソン株式会社 | クリーンルーム |
| JP2018186210A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
-
2000
- 2000-03-24 JP JP2000084841A patent/JP3833041B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155209A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Nikon Corp | 温調システム |
| CN103010640A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 村田机械株式会社 | 无尘室用的自动仓库 |
| JP2013067493A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Murata Machinery Ltd | クリーンルーム用の自動倉庫 |
| KR101607933B1 (ko) | 2011-09-22 | 2016-03-31 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 클린룸용의 자동 창고 |
| CN103010640B (zh) * | 2011-09-22 | 2016-06-22 | 村田机械株式会社 | 无尘室用的自动仓库 |
| TWI564521B (zh) * | 2011-09-22 | 2017-01-01 | Murata Machinery Ltd | Clean room with automatic warehouse |
| JP2015503079A (ja) * | 2011-12-05 | 2015-01-29 | アエシント トプコ ベスローテン フェンノートシャップ | 医薬品を調製するための機械 |
| US9849432B2 (en) | 2011-12-05 | 2017-12-26 | Aesynt B.V. | Method for preparation of pharmaceutical products |
| JP2018025384A (ja) * | 2011-12-05 | 2018-02-15 | アエシント トプコ ベスローテン フェンノートシャップ | 医薬品を調製するための方法 |
| KR101453820B1 (ko) * | 2012-11-05 | 2014-10-23 | 우범제 | 반도체 공정장비의 배기장치 |
| JP2015187533A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | セイコーエプソン株式会社 | クリーンルーム |
| JP2018186210A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
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| JP3833041B2 (ja) | 2006-10-11 |
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