KR101607933B1 - 클린룸용의 자동 창고 - Google Patents

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KR101607933B1
KR101607933B1 KR1020120102818A KR20120102818A KR101607933B1 KR 101607933 B1 KR101607933 B1 KR 101607933B1 KR 1020120102818 A KR1020120102818 A KR 1020120102818A KR 20120102818 A KR20120102818 A KR 20120102818A KR 101607933 B1 KR101607933 B1 KR 101607933B1
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아츠시 코바야시
카즈히로 이와이
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무라다기카이가부시끼가이샤
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
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Abstract

간단한 제어로 팬 필터 유닛의 소비 전력을 저감한다. 클린룸용의 자동 창고는, 선반과, 선반의 에어리어로 클린 에어를 송풍하는 복수의 팬 필터 유닛과, 창고 내 반송 장치와, 팬 필터 유닛과 창고 내 반송 장치를 제어하는 컨트롤러를 구비하고 있다. 컨트롤러는, 선반을 물품의 입고 위치가 속하는 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 구분하고, 청정 에어리어로의 클린 에어의 송풍량을 에너지 절약 에어리어에 비해 크게 하도록, 복수의 팬 필터 유닛을 제어한다.

Description

클린룸용의 자동 창고{WAREHOUSE FOR CLEAN ROOM}
본 발명은 클린룸(clean room)용의 자동 창고에 관한 것이다.
클린룸용의 자동 창고에서는, 선반의 배면 등에 팬 필터 유닛을 설치하여, 에어리어 내로 클린 에어(clean air)를 공급한다. 클린 에어의 공급에 필요한 전력은 크며, 운영비(running cost)와 CO2 배출량을 저감하기 위하여, 전력 소비량을 줄일 필요가 있다. 여기서 관련된 선행 기술로서, 특허 문헌 1 : JP2009-184794A는 스태커 크레인의 속도에 따라 클린 에어의 공급량을 변경하는 것을 개시하고 있다. 그러나, 팬 필터 유닛에서의 팬의 회전수는 완만하게 밖에 변경할 수 없어, 스태커 크레인의 속도에 추종하여 회전수를 변경하는 것은 어렵다. 이로 인해, 보다 간단한 제어로 팬 필터 유닛의 소비 전력을 저감할 필요가 있다.
특허 문헌 1 : JP 2009 - 184794A
본 발명의 과제는, 간단한 제어로 팬 필터 유닛의 소비 전력을 저감하는 것에 있다.
본 발명은, 클린룸용의 자동 창고로서,
물품을 수용하는 선반과,
선반의 에어리어로 클린 에어를 송풍하는 복수의 팬 필터 유닛과,
자동 창고 내에서 물품을 반송하는 창고 내 반송 장치와,
상기 팬 필터 유닛과 창고 내 반송 장치를 제어하는 컨트롤러(controller)를 구비하고,
상기 컨트롤러는 상기 선반을 물품의 입고 위치가 속하는 청정 에어리어(area)와 에너지 절약 에어리어로 구분하고, 청정 에어리어로의 클린 에어의 송풍량을 에너지 절약 에어리어에 비해 크게 하도록,
상기 복수의 팬 필터 유닛을 제어하는 기능을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 물품의 입고 위치가 포함되도록 청정 에어리어를 결정하여, 다른 에너지 절약 에어리어에 비해, 팬 필터 유닛으로부터의 송풍량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 에어리어 단위로 팬 필터 유닛으로부터의 송풍량을 제어하면, 필요한 에어리어로 충분한 클린 에어를 공급하면서, 팬 필터 유닛의 소비 전력을 저감할 수 있다. 또한, 팬의 회전수 제어의 응답성이 낮아도 제어할 수 있고, 또한 에어리어 단위이므로 제어가 간단하다.
바람직하게는, 물품의 입고 위치의 결정 전에 선반은 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 미리 구분되고, 컨트롤러는 물품의 입고 위치를 청정 에어리어부터 결정하는 기능을 구비하고 있다. 이와 같이, 선반을 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 미리 구분하고, 청정 에어리어부터 입고 위치를 결정하면, 클린 에어의 송풍량을 전체적으로 줄일 수 있다.
바람직하게는, 상기 선반은 에어리어의 사이에서 구획하는 벽을 구비하고, 상기 컨트롤러는 상기 벽을 경계로 선반을 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 구분하도록 구성되어 있다. 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어 간의 기류는 벽에 의해 제한되고, 컨트롤러는 벽에 의해 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어를 구분하므로, 청정 에어리어의 클린도를 높게 유지할 수 있다. 벽은 바람직하게는 복수 설치하고, 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어의 구분을 3 단계 이상으로 변경할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 예를 들면 선반의 2 개소에 벽을 설치하여, 선반을 예를 들어 3 에어리어로 구분하면, 상시 청정 에어리어로서 구분하는 에어리어와, 물품의 보관량이 증가할 시에 청정 에어리어로 구분을 변경하는 제1 에너지 절약 에어리어와, 물품의 보관량이 더 증가할 시 청정 에어리어로 구분을 변경하는 제2 에너지 절약 에어리어를 설치할 수 있다.
또한 바람직하게는, 창고 내 반송 장치는 스태커 크레인으로, 선반은 상하 방향을 따라 복수의 에어리어를 구비하고, 선반의 상방의 에어리어가 청정 에어리어, 선반의 하방의 에어리어가 에너지 절약 에어리어로서 구분되어 있다. 선반의 하방의 에어리어는 스태커 크레인이 일으키는 기류의 영향을 받기 쉽지만, 선반의 상방의 에어리어는 일으켜진 기류의 영향을 받기 어렵다. 따라서, 선반의 상방의 에어리어를 청정 에어리어로 하면, 청정 에어리어의 클린도를 용이하게 높게 유지할 수 있다.
바람직하게는 컨트롤러는, 창고 내 반송 장치의 이동 개시 위치(출발 위치)로부터 목적 위치를 포함하는 에어리어를 청정 에어리어로서 구분한다. 이와 같이 하면, 팬 필터 유닛으로부터의 송풍량을 창고 내 반송 장치의 위치에 추종하여 변경할 수 없어도, 필요한 에어리어로의 클린 에어의 송풍량을 증가시킬 수 있다.
도 1은 실시예의 자동 창고의 주요부 평면도이다.
도 2는 실시예의 자동 창고의 주요부 정면도이다.
도 3은 실시예의 자동 창고의 주요부 측면도이다.
도 4는 제2 실시예의 자동 창고의 주요부 측면도이다.
도 5는 제2 실시예의 자동 창고의 주요부 평면도이다.
도 6은 스태커 크레인의 속도에 기초하여 팬 필터 유닛의 송풍량을 변경하는 변형예를 나타낸 파형도이며, 1)은 스태커 크레인의 속도를, 2)는 팬 필터 유닛의 송풍량을 나타낸다.
도 7은 제3 실시예의 자동 창고의 주요부 측면도이다.
도 8은 제3 실시예에서의 팬 필터 유닛의 송풍량을 나타낸 파형도이며, 1)은 스태커 크레인의 위치를, 2)는 팬 필터 유닛의 송풍량을 나타낸다.
이하에, 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는, 특허 청구의 범위의 기재에 기초하여, 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여, 당업자의 이해에 따라 정해져야 한다.
실시예
도 1 ~ 도 8에, 실시예와 그 변형을 나타낸다. 도 1 ~ 도 3은 최초의 실시예를 나타내고, 도면에서 2는 클린룸용의 자동 창고로서, 예를 들면 좌우 한 쌍의 선반(4, 4)을 구비하고, 선반은 자동 창고(2)의 길이 방향과 상하 방향을 따라 각각 복수의 에어리어(6)로 구획되어 있다. 예를 들어, 선반(4, 4)의 배면에 통기 공간(8)이 형성되고, 팬 필터 유닛(FFU)(9)이 예컨대 에어리어(6)마다 설치되어 있다. 도 2에서는, 1 에어리어마다 1 개의 FFU(9)가 설치되어 있는 것으로 도시하지만, 에어리어(6) 당 복수개의 FFU(9)를 설치해도 되고, 혹은 복수의 에어리어(6)에 대하여 1 개의 FFU(9)을 설치해도 된다. 에어리어(6)의 배면으로부터 카세트(18) 등의 물품의 출납을 행할 경우, FFU(9)는 예를 들어 에어리어의 측면, 상면 등에 설치한다. 각 에어리어(6)에 선반 받이(20)가 설치되어, 카세트(18)의 저면(底面)을 지지한다. 또한, 선반 받이(20)는 카세트(18)의 저면의 일부만을 덮어, 선반(4)의 상하의 에어리어(6, 6) 간을 기류가 통과할 수 있다. 또한, 선반(4)을 1 개만 설치해도 된다.
선반(4, 4) 간의 공간이 주행 공간(10)이며, 스태커 크레인(12)이 주행하고, 14는 그 주행용의 레일이다. 스태커 크레인(12)은 승강대(16)를 구비하여, 플랫 패널 디스플레이의 기판을 수용한 카세트(18) 등의 물품을 반송한다. 또한, 반송하는 물품의 종류는 임의이며, 예를 들어 반도체 웨이퍼, 레티클 등을 수용한 카세트, 의약품 등을 반송해도 된다. 또한 승강대(16)에는, 슬라이드 포크 혹은 스칼라 암(scalar arm) 등의 도시하지 않은 이동 재치(載置) 장치가 설치되어 있다. 스태커 크레인(12)은 창고 내 반송 장치의 예이며, 이에 한정되지 않는다. 선반(4, 4)을 에어리어(6)의 단위로 높이 방향으로 구획한 것을 단이라고 하면, 선반(4, 4)의 단마다 레일을 설치하여, 단 마다 반송용의 대차(臺車)를 주행시켜도 된다.
도 1 ~ 도 3의 실시예에서는, 선반(4, 4)은 예를 들면 상하 2 단으로 이루어지고, 상측의 단이 청정 에어리어(22)로, 하측의 단이 에너지 절약 에어리어(24)로 구분되어 있다. 또한, 선반(4, 4)이 3 단 이상일 경우, 예를 들면 상측의 2 단 혹은 1 단을 청정 에어리어로 하고, 나머지인 하측의 1 단 혹은 2 단을 에너지 절약 에어리어로 한다. 청정 에어리어(22)와 에너지 절약 에어리어(24)의 구분은 고정적일 필요는 없고, 자동 창고(2)에서의 카세트(18)의 보관 개수가 증가하면, 에너지 절약 에어리어(24) 중 일부 혹은 전체를 청정 에어리어(22)로 해도 된다. 또한, 카세트(18)의 보관 개수가 감소하면, 청정 에어리어(22) 중 일부를 에너지 절약 에어리어(24)로 해도 된다.
에너지 절약 에어리어(24)의 선반 받이(20)는 진애로 오염되어 있는 경우가 있는데, 청정 에어리어(22)로 변경하고, 소정 시간 이상 FFU(9)로부터 클린 에어를 다량으로 공급하면, 진애는 제거된다. 실시예에서는, 기판을 수용한 카세트(찬 카세트)도 빈 카세트도 모두 청정 에어리어(22)를 입고 위치로 하도록 제어하지만, 찬 카세트만을 청정 에어리어(22)에 입고하고, 빈 카세트는 에너지 절약 에어리어(24)에 입고하도록 해도 된다. 이 경우, 에너지 절약 에어리어(24)에 놓여진 빈 카세트는 진애로 오염되는 경우가 있는데, 물품을 수용하기 전에 청정 에어리어(22)로 옮겨 소정 시간 이상 보관하여, 클린 에어에 의해 진애를 제거하는 것이 바람직하다.
26은 컨트롤러로 자동 창고(2)를 제어하고, 특히 크레인 제어부(27)에 의해 스태커 크레인(12)을 제어하고, 또한 팬 필터 유닛 제어부(28)에 의해 FFU(9)을 제어한다. 청정 에어리어(22)와 에너지 절약 에어리어(24)의 구분의 방법으로서는, 선반(4)의 상단의 에어리어는 청정 에어리어(22)로서 지정되어, 하단에 카세트(18)를 수용할 필요가 없을 경우는, 하단 전체를 에너지 절약 에어리어(24)로 한다. 그러나, 하단에 카세트(18)를 수용할 필요성이 생기면, 에너지 절약 에어리어(24)의 일부 혹은 전부를 청정 에어리어(22)로 변경한다.
컨트롤러(26)는, 선반(4)의 어느 에어리어(6)에 어느 카세트(18)가 보관되어 있는지의 재고 파일을 기억한 장치를 구비하고 있다. 컨트롤러(26)는, 자동 창고(2)의 외부로부터 카세트(18)를 입고할 경우, 혹은 자동 창고(2)의 내부에서 카세트(18)의 위치를 변경할 경우, 카세트의 입고 위치를 청정 에어리어(22)부터 결정한다. 그리고 팬 필터 유닛 제어부(28)는, FFU가 구비하는 팬의 회전량을 많게 함으로써, 청정 에어리어(22)로의 클린 에어의 송풍량을 에너지 절약 에어리어(24)에서의 송풍량보다 많게 한다. 극단적인 경우, 에너지 절약 에어리어(24)에서의 클린 에어의 송풍량은 0으로 해도 된다.
이상과 같이 하여, 청정 에어리어(22)를 깨끗하게 유지하면 되기 때문에, 클린 에어의 송풍량과 소비 전력을 저감하면서, 카세트(18)를 깨끗한 환경에 보관할 수 있다. 또한, FFU(9)로부터의 송풍량은 에어리어(22, 24) 단위로 제어하므로, 제어가 간단하다. 특히, 스태커 크레인(12)의 위치와 주행 속도 등에 추종하여, FFU(9)으로부터의 송풍량을 변경할 필요가 없다. 따라서, FFU(9)의 송풍량의 제어에대한 응답성이 낮아도 된다.
도 4, 도 5는, 제 2 실시예의 클린룸용의 자동 창고(32)를 나타내고, 특히, 지적한 점 이외에는 도 1 ~ 도 3의 실시예와 동일하며, 동일한 부호는 동일한 것을 나타낸다. 34는 통기성이 없는 벽으로, 수직 방향을 따라 설치되어 있고, 주행 공간(10)을 제외하고, 도 4, 도 5에서의 자동 창고(32) 내의 좌우 방향의 기류를 차단한다. 그리고, 벽(34)의 위치를 기준으로, 선반(4, 4)은 청정 에어리어(36)와 에너지 절약 에어리어(38)로 구분된다.
예를 들면 도 4, 도 5의 경우, 선반(4, 4)이 2 개 있고, 선반(4)당 2 매의 벽(34, 34)을 설치하고 있다. 이 때문에, 전체로서 선반(4, 4)은 6 개의 에어리어로 구분되고, 예를 들면 그 중 2 개의 에어리어가 청정 에어리어(36)가 되고, 다른 에어리어가 에너지 절약 에어리어(38)로 되어 있다. 또한 도 4, 도 5에서는, 청정 에어리어(36, 36)를 마주하도록 설치했지만, 반드시 그럴 필요는 없다. 그리고, 자동 창고(32)에 수용하는 카세트(18)의 수에 따라, 에너지 절약 에어리어(38)와 청정 에어리어(36)의 구분을 벽(34)으로 구획된 에어리어 단위로 변경한다. 이와 같이 하면, 카세트(18)의 수용 수에 따라, 청정 에어리어(36)와 에너지 절약 에어리어(38)로 구분할 수 있어, 청정 에어리어(36)만을 집중적으로 청정하게 하면 된다.
각 실시예에서는, 청정 에어리어(22, 36)와 에너지 절약 에어리어(24, 38)의 구분에 의해 FFU(9)으로부터의 송풍량을 결정하고, 스태커 크레인(12)의 위치 및 속도 등을 송풍량의 제어에는 반영시키지 않았다. 이는, FFU(9)의 송풍량은 급속히는 전환되지 않는 것과, 제어를 단순화하기 위함이다. 스태커 크레인(12)의 속도에 따라, FFU(9)으로부터의 송풍량을 변경하도록 한 변형예를 도 6에 나타낸다. 크레인 제어부(27)에 의해 스태커 크레인(12)의 주행을 개시시키기 전에, 컨트롤러(26)는 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어의 쌍방에 대하여 송풍량(Q)을 증가시킨다. 그리고, 송풍량(Q)이 증가한 후에 스태커 크레인(12)의 주행을 개시시킨다. 스태커 크레인(12)을 정지시킨 후에도, 주행에 의해 일으켜진 공기가 도시하지 않은 배기구로부터 배기될 때까지 지연 시간을 두고, FFU(9)으로부터의 송풍량(Q)을 저하시킨다. 이 제어에서는 스태커 크레인(12)의 위치와 속도 자체는 송풍량 제어에 반영하고 있지 않으므로, 스태커 크레인의 위치 등에 추종하면서 송풍량(Q)을 변경할 필요는 없다. 따라서, 간단한 제어로 클린도를 높게 유지할 수 있다. 그러나, 스태커 크레인(12)의 주행을 개시하기 전에, FFU(9)의 송풍량(Q)이 증가하는 것을 기다릴 필요가 있기 때문에, 지연이 발생한다.
도 7, 도 8은 제3 실시예의 클린룸용의 자동 창고(42)를 나타내고, 특히 지적한 점 이외에는 도 1 ~ 도 3의 실시예와 동일하며, 동일한 부호는 동일한 것을 나타낸다. 도 1 ~ 도 3의 실시예에서는, 선반(4, 4)을 상층과 하층으로 나누고, 상층을 청정 에어리어(22), 하층을 에너지 절약 에어리어(24)로 했다. 이에 대하여 도 7, 도 8의 실시예에서는, 스태커 크레인(12)의 이동 개시 위치(From 위치)로부터 목적 위치(To 위치)를 포함하는 에어리어를 청정 에어리어(44)로 하고, 그 이외의 에어리어를 에너지 절약 에어리어(46)로 한다. 이동 개시 위치와 목적 위치는 스태커 크레인(12)의 1 회의 이동마다 결정하고, 스태커 크레인(12)이 주행하지 않고 승강대(16)가 승강만을 행할 경우, 이동 개시 위치와 목적 위치는 동일한 위치로 한다. 그리고, 이동 개시 위치와 목적 위치에 대하여, 도 7의 좌우 방향, 즉 스태커 크레인(12)의 주행 방향을 따라, 소정의 마진, 여기서는 1 에어리어분의 마진을 더한 것을 청정 에어리어(44)로 한다. 주행 방향 전방의 마진과 후방의 마진은 동일할 필요는 없다.
도 8의 실선으로 청정 에어리어(44)에서의 FFU(9)의 송풍량(Q)을 나타내고, 파선으로 에너지 절약 에어리어에서의 송풍량을 나타내고, 이 송풍량은 일정하다. 청정 에어리어(44)와 에너지 절약 에어리어(46)는 처음에는 모두 송풍량이 적고, 스태커 크레인(12)이 기동하기 전에 청정 에어리어에서의 송풍량을 증가시키며, 이 사이에 예를 들면 10 ~ 20 초 정도가 필요하다. 청정 에어리어에서 FFU(9)의 송풍량이 소정치까지 증가하면, 스태커 크레인을 기동한다. 그리고, 스태커 크레인이 목적 위치(To)에서 정지한 후, 주행풍이 멈출 때까지의 지연 시간을 기다려, 청정 에어리어(44)에서의 송풍량을 저하시킨다. 자동 창고(42)에서의 오염의 원인 중 하나는 스태커 크레인(12)의 주행이며, 도 7, 도 8의 실시예에서는 그 영향이 미치는 범위를 국소적으로 청정 에어리어(44)로 하여 집중적으로 클린 에어를 공급한다. FFU(9)은 송풍량의 변경에 시간이 걸리므로, 스태커 크레인(12)의 기동 전에 송풍량을 소정치까지 증가시킨다. 그리고, 스태커 크레인(12)이 정지한 후에도 일으켜진 공기가 남으므로, 이것이 배제될 때까지 송풍량을 높은 값으로 유지한다.
실시예에서는 선반(4)을 상하로 구분하는 예, 선반(4)을 벽(34)으로 좌우로 구분하는 예, 스태커 크레인(12)의 주행 범위를 기준으로서 선반(4)을 구분하는 예의 3 가지를 나타냈지만, 이들의 구분을 조합해도 된다. 예를 들면 도 4, 도 5의 실시예에서, 벽(34)으로 구획된 소정의 범위의 상층의 에어리어를 청정 에어리어로 해도 된다. 또한 도 1 ~ 도 3의 실시예에서, 상층의 에어리어 중에서, 스태커 크레인(12)의 이동 개시 위치(From)와 목적 위치(To)를 포함하는 소정의 범위를 청정 에어리어로 해도 된다.
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 청정 에어리어(22, 36, 44)에 대하여 집중적으로 클린 에어를 공급하므로, FFU(9)의 소비 전력을 저감할 수 있다.
(2) 도 1 ~ 도 5의 각 실시예와 같이, 청정 에어리어(22, 36)를 스태커 크레인(12)의 이동 범위와 무관계로 설정하면, FFU(9)의 송풍량 변경에 시간이 걸려도 된다. 이 때문에, 스태커 크레인(12)의 위치 혹은 속도 등에 따라 계속하여 송풍량을 변경할 경우에 비해, 간단한 제어로 확실한 효과가 얻어진다.
(3) 스태커 크레인(12)의 이동 범위에 기초하여 청정 에어리어(44)를 결정하면, 간단한 제어로 되고, 또한 FFU(9)의 송풍량 변경에 시간이 걸려도 된다.
(4) (3)의 경우에서, 스태커 크레인(12)의 기동 전에 송풍량을 증가시키면, 송풍량 변경에 시간이 걸리는 FFU(9)에서도 오염이 발생하기 어렵다. 또한, 스태커 크레인의 정지 후에도 지연 시간 동안 송풍량을 높은 값으로 유지하면, 스태커 크레인(12)의 주행으로 일으켜진 공기의 영향을 회피할 수 있다.
다른 실시예
이상, 본 발명의 일실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시예 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.
2, 32, 42 : 자동 창고
4 : 선반
6 : 에어리어
8 : 통기 공간
9 : 팬 필터 유닛(FFU)
10 : 주행 공간
12 : 스태커 크레인
14 : 레일
16 : 승강대
18 : 카세트
20 : 선반 받이
22, 36, 44 : 청정 에어리어
24, 38, 46 : 에너지 절약 에어리어
26 : 컨트롤러
27 : 크레인 제어부
28 : 팬 필터 유닛 제어부
34 : 벽

Claims (5)

  1. 클린룸용의 자동 창고로서,
    물품을 수용하는 선반과,
    상기 선반의 에어리어로 클린 에어를 송풍하는 복수의 팬 필터 유닛과,
    자동 창고 내에서 물품을 반송하는 창고 내 반송 장치와,
    상기 팬 필터 유닛과 창고 내 반송 장치를 제어하는 컨트롤러를 구비하고,
    상기 컨트롤러는 상기 선반을 물품의 입고 위치가 속하는 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 구분하고, 청정 에어리어로의 클린 에어의 송풍량을 에너지 절약 에어리어에 비해 크게 하도록, 상기 복수의 팬 필터 유닛을 제어하는 기능을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 클린룸용의 자동 창고.
  2. 제1항에 있어서,
    물품의 입고 위치의 결정 전에 선반은 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 미리 구분되고, 상기 컨트롤러는 물품의 입고 위치를 청정 에어리어부터 결정하는 기능을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 클린룸용의 자동 창고.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 선반은 에어리어의 사이에서 구획하는 벽을 구비하고, 상기 컨트롤러는 상기 벽을 경계로 선반을 청정 에어리어와 에너지 절약 에어리어로 구분하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 클린룸용의 자동 창고.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 창고 내 반송 장치는 스태커 크레인으로서, 상기 선반은 상하 방향을 따라 복수의 에어리어를 구비하고, 선반의 상방의 에어리어가 청정 에어리어, 선반의 하방의 에어리어가 에너지 절약 에어리어로서 구분되어 있는 것을 특징으로 하는 클린룸용의 자동 창고.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 창고 내 반송 장치의 이동 개시 위치로부터 목적 위치를 포함하는 에어리어를 청정 에어리어로서 구분하는 것을 특징으로 하는 클린룸용의 자동 창고.
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