JP3068603B1 - 製品保管装置及びその風量調整方法 - Google Patents
製品保管装置及びその風量調整方法Info
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Abstract
【要約】
【課題】収納保管される製品の収納保管数が変化して
も、製品収納保管部（棚）のエアーの風量そしてクリー
ンストッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、
また、開口部から吹き出すエアーの吹き出し量をも一定
に保つ製品保管装置（クリーンストッカ）及びその風量
調整方法を提供する。 【解決手段】ファンフィルタユニット３が各棚５の個々
に備えられ、クリーンストッカ１の棚５、中心部のダウ
ンフロー部及び開口部４の風速の測定・モニタリングを
リアルタイムに行う各部に設置した風速計８を有し、各
風速計８からリアルタイムに伝達される各部の風速デー
タと各部風速の最適値との比較を行い、クリーンストッ
カ制御部９からリアルタイムに伝達される各棚位置の製
品２の在荷情報を判別し、ファンフィルタユニット３の
ファン３０１のモーター３０３を個別に調整駆動し、フ
ァンフィルタユニット３の風量調整を個別に行う。
も、製品収納保管部（棚）のエアーの風量そしてクリー
ンストッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、
また、開口部から吹き出すエアーの吹き出し量をも一定
に保つ製品保管装置（クリーンストッカ）及びその風量
調整方法を提供する。 【解決手段】ファンフィルタユニット３が各棚５の個々
に備えられ、クリーンストッカ１の棚５、中心部のダウ
ンフロー部及び開口部４の風速の測定・モニタリングを
リアルタイムに行う各部に設置した風速計８を有し、各
風速計８からリアルタイムに伝達される各部の風速デー
タと各部風速の最適値との比較を行い、クリーンストッ
カ制御部９からリアルタイムに伝達される各棚位置の製
品２の在荷情報を判別し、ファンフィルタユニット３の
ファン３０１のモーター３０３を個別に調整駆動し、フ
ァンフィルタユニット３の風量調整を個別に行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製品保管装置及び
その風量調整方法に関し、特に半導体製造工場のクリー
ンルーム内で使用される、半導体ウエハ等の製品の清浄
度を維持して保管する製品保管装置（以下、クリーンス
トッカという）及びその風量調整方法に関する。
その風量調整方法に関し、特に半導体製造工場のクリー
ンルーム内で使用される、半導体ウエハ等の製品の清浄
度を維持して保管する製品保管装置（以下、クリーンス
トッカという）及びその風量調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンストッカ及びその風量調
整方法（従来例１）は、図５のクリーンストッカの説明
図および図６のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
で説明される。
整方法（従来例１）は、図５のクリーンストッカの説明
図および図６のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
で説明される。
【０００３】クリーンストッカ１は、半導体製造工場の
例えば０．１μｍ ＣＬＡＳＳ１の極めて高い清浄度で
あるクリーンルーム内に設置され、キャリヤに収納され
た半導体ウエハ等の製品２の入出庫および保管を行うも
のである。そして、半導体ウエハ等の製品２の清浄度を
維持して保管するものである。
例えば０．１μｍ ＣＬＡＳＳ１の極めて高い清浄度で
あるクリーンルーム内に設置され、キャリヤに収納され
た半導体ウエハ等の製品２の入出庫および保管を行うも
のである。そして、半導体ウエハ等の製品２の清浄度を
維持して保管するものである。
【０００４】そのために、従来のクリーンストッカは、
図５のクリーンストッカの説明図に示すように、製品２
を収納保管する棚５がクリーンストッカ１内の前後に相
対して複数個設けられて、製品収納保管部を構成してい
る。
図５のクリーンストッカの説明図に示すように、製品２
を収納保管する棚５がクリーンストッカ１内の前後に相
対して複数個設けられて、製品収納保管部を構成してい
る。
【０００５】そして、各製品２に対応する各棚５の各外
周部に、棚５の４個程度ごとにファンフィルタユニット
（以下、ＦＦＵともいう）３が１個備えられている。
周部に、棚５の４個程度ごとにファンフィルタユニット
（以下、ＦＦＵともいう）３が１個備えられている。
【０００６】ＦＦＵ３は、ファン３０１とフィルタ３０
２とで構成され、ＦＦＵ３にて浄化されたエアーを棚５
に収納保管された製品２へ送ることによって製品２の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ１内に図６に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ１全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ１内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ１下部の外気取入口６より外気Ｄを取り入れ
ている。なお、外気取入口６より取り入れる外気Ｄはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
２とで構成され、ＦＦＵ３にて浄化されたエアーを棚５
に収納保管された製品２へ送ることによって製品２の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ１内に図６に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ１全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ１内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ１下部の外気取入口６より外気Ｄを取り入れ
ている。なお、外気取入口６より取り入れる外気Ｄはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
【０００７】ここで、クリーンストッカ１の風量調整
は、ＦＦＵ３の風量の調整で行う。ＦＦＵ３の風量の調
整方法は、ＦＦＵ３毎に設けられたボリューム（図示せ
ず）をマニュアル調整することにより、ＦＦＵ３のファ
ン３０１のモーター（図示せず）の回転数を変化させて
行われる。そして、人間から発生するパーティクルがク
リーンストッカ１内に入り込まないように、クリーンス
トッカ１に設けられた製品２の入出庫を行う開口部４で
の気流Ｃがクリーンストッカ１外部に吹き出すように風
量を調整する。
は、ＦＦＵ３の風量の調整で行う。ＦＦＵ３の風量の調
整方法は、ＦＦＵ３毎に設けられたボリューム（図示せ
ず）をマニュアル調整することにより、ＦＦＵ３のファ
ン３０１のモーター（図示せず）の回転数を変化させて
行われる。そして、人間から発生するパーティクルがク
リーンストッカ１内に入り込まないように、クリーンス
トッカ１に設けられた製品２の入出庫を行う開口部４で
の気流Ｃがクリーンストッカ１外部に吹き出すように風
量を調整する。
【０００８】そして、製品２の出し入れおよび保管は、
開口部４に載せられた製品２を、クリーンストッカ１内
の前後に相対して設けられた棚５の間を上下左右にレー
ル７２上を移動する移載ロボット７１で構成された移載
機７により行われ、クリーンストッカ１の制御部（図示
せず）が自動設定した位置の棚５への製品２の出し入れ
を自動的に行う。
開口部４に載せられた製品２を、クリーンストッカ１内
の前後に相対して設けられた棚５の間を上下左右にレー
ル７２上を移動する移載ロボット７１で構成された移載
機７により行われ、クリーンストッカ１の制御部（図示
せず）が自動設定した位置の棚５への製品２の出し入れ
を自動的に行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のクリー
ンストッカ１は、個々のＦＦＵ３の風量が一定であるた
め、製品収納保管部である棚５に製品２が収納されてい
る場合に比べて、製品２が収納されていない場合は、Ｆ
ＦＵ３から送られて来るエアーへの抵抗が少なく、図６
の製品収納保管部（棚５）からクリーンストッカ１中心
部に流れ込むエアーＡの風量が多くなる。つまり、製品
収納保管数によってエアーＡの風量が変化する。この結
果クリーンストッカ１中心部のダウンフローＢの風量が
変化し、クリーンストッカ１内のエアーの流れ（気流）
が乱れて、エアーに含まれている塵埃やクリーンストッ
カ１内の溜まっていた塵埃が製品２に付着するという問
題が生ずる。
ンストッカ１は、個々のＦＦＵ３の風量が一定であるた
め、製品収納保管部である棚５に製品２が収納されてい
る場合に比べて、製品２が収納されていない場合は、Ｆ
ＦＵ３から送られて来るエアーへの抵抗が少なく、図６
の製品収納保管部（棚５）からクリーンストッカ１中心
部に流れ込むエアーＡの風量が多くなる。つまり、製品
収納保管数によってエアーＡの風量が変化する。この結
果クリーンストッカ１中心部のダウンフローＢの風量が
変化し、クリーンストッカ１内のエアーの流れ（気流）
が乱れて、エアーに含まれている塵埃やクリーンストッ
カ１内の溜まっていた塵埃が製品２に付着するという問
題が生ずる。
【００１０】また、クリーンストッカ１の開口部４の正
面の棚５に製品２が収納されていない場合は、クリーン
ストッカ１内のエアーが開口部４に直接流れ易くなり、
開口部４から吹き出すエアーＣの吹き出し量が変化し、
クリーンルームのダウンフローの流れをも乱してしまう
という問題が生ずる。
面の棚５に製品２が収納されていない場合は、クリーン
ストッカ１内のエアーが開口部４に直接流れ易くなり、
開口部４から吹き出すエアーＣの吹き出し量が変化し、
クリーンルームのダウンフローの流れをも乱してしまう
という問題が生ずる。
【００１１】そして、例えば特開平１０−２９１６０７
号公報（従来例２）には、各製品２に対応する各棚５の
各外周部にＦＦＵ３が１個ずつ備えられている荷保管装
置が示されている。
号公報（従来例２）には、各製品２に対応する各棚５の
各外周部にＦＦＵ３が１個ずつ備えられている荷保管装
置が示されている。
【００１２】この従来例２は、各製品２に対応する各棚
５の各外周部にＦＦＵ３が１個ずつ備えられていること
により、各棚５の個々のＦＦＵ３の風量を調整できる点
において効果を奏している。
５の各外周部にＦＦＵ３が１個ずつ備えられていること
により、各棚５の個々のＦＦＵ３の風量を調整できる点
において効果を奏している。
【００１３】しかしながら、この従来例２でも各棚５の
個々のＦＦＵ３の風量の調整を従来例１のようにマニュ
アル調整で行うため、前記従来例１のような問題を生ず
る。
個々のＦＦＵ３の風量の調整を従来例１のようにマニュ
アル調整で行うため、前記従来例１のような問題を生ず
る。
【００１４】従って、本発明の目的は、クリーンストッ
カに収納保管される製品の収納保管数が変化しても、ク
リーンストッカの製品収納保管部（棚）からクリーンス
トッカ中心部に流れ込むエアーの風量そしてクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、ま
た、クリーンストッカの開口部から吹き出すエアーの吹
き出し量をも一定に保つクリーンストッカ及びその風量
調整方法を提供することにある。
カに収納保管される製品の収納保管数が変化しても、ク
リーンストッカの製品収納保管部（棚）からクリーンス
トッカ中心部に流れ込むエアーの風量そしてクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風量を一定に保ち、ま
た、クリーンストッカの開口部から吹き出すエアーの吹
き出し量をも一定に保つクリーンストッカ及びその風量
調整方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンストッ
カは、複数の製品を収納保管する複数の棚と、前記各棚
の各外周部に備えられて前記製品にエアーを送るファン
フィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外気取入
口と、前記製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部に
載せられた前記製品の前記棚への出し入れを行う製品移
載手段と、前記棚位置での前記製品の有無情報を管理制
御するクリーンストッカ制御部と、クリーンストッカ内
各部の風量の調整を自動的に行う風量自動調整手段とを
有するクリーンストッカにおいて、前記風量自動調整手
段として、風速の測定・モニタリングをリアルタイムに
行う、個々の前記棚に設置された風速計と、前記クリー
ンストッカ中心部のダウンフロー部に設置された風速計
と、前記開口部に設置された風速計と、前記各風速計か
らリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所の
風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を行
い、前記クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝
達される前記各棚位置での製品有無情報を判別し、前記
各ファンフィルタユニットの回転数を指示する風速調整
制御部と、前記風速調整制御部からの指示された前記回
転数に応じて前記ファンフィルタユニットのファンのモ
ーターの駆動電圧を調整して前記ファンフィルタユニッ
トの回転数を個別に調整駆動するファンフィルタユニッ
トドライバとを有していることを特徴とする。
カは、複数の製品を収納保管する複数の棚と、前記各棚
の各外周部に備えられて前記製品にエアーを送るファン
フィルタユニットと、内部に外気を取り入れる外気取入
口と、前記製品の入出庫を行う開口部と、前記開口部に
載せられた前記製品の前記棚への出し入れを行う製品移
載手段と、前記棚位置での前記製品の有無情報を管理制
御するクリーンストッカ制御部と、クリーンストッカ内
各部の風量の調整を自動的に行う風量自動調整手段とを
有するクリーンストッカにおいて、前記風量自動調整手
段として、風速の測定・モニタリングをリアルタイムに
行う、個々の前記棚に設置された風速計と、前記クリー
ンストッカ中心部のダウンフロー部に設置された風速計
と、前記開口部に設置された風速計と、前記各風速計か
らリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所の
風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を行
い、前記クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝
達される前記各棚位置での製品有無情報を判別し、前記
各ファンフィルタユニットの回転数を指示する風速調整
制御部と、前記風速調整制御部からの指示された前記回
転数に応じて前記ファンフィルタユニットのファンのモ
ーターの駆動電圧を調整して前記ファンフィルタユニッ
トの回転数を個別に調整駆動するファンフィルタユニッ
トドライバとを有していることを特徴とする。
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】本発明のクリーンストッカの風量調整方法
は、クリーンストッカ内の製品の収納保管部である個々
の棚と、前記クリーンストッカ中心部のダウンフロー部
と、前記製品の入出庫を行う開口部とに設置した風速計
からリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所
の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を
行い、クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝達
される各前記棚位置での前記製品の有無の在荷情報を判
別し、前記各設置箇所の風速の変化と前記製品の在荷状
況の変化に応じて、前記棚個々に備えられているファン
フィルタユニットの風量を個別にリアルタイムに自動調
整し、前記製品の在荷が無い前記棚位置の前記ファンフ
ィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記クリー
ンストッカ中心部に流れ込むエアーの風速を保ったま
ま、前記クリーンストッカ中心部のダウンフローの風速
及び前記開口部からの吹き出しエアーの風速が最適な風
速を保つように調整することを特徴とする。
は、クリーンストッカ内の製品の収納保管部である個々
の棚と、前記クリーンストッカ中心部のダウンフロー部
と、前記製品の入出庫を行う開口部とに設置した風速計
からリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇所
の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を
行い、クリーンストッカ制御部からリアルタイムに伝達
される各前記棚位置での前記製品の有無の在荷情報を判
別し、前記各設置箇所の風速の変化と前記製品の在荷状
況の変化に応じて、前記棚個々に備えられているファン
フィルタユニットの風量を個別にリアルタイムに自動調
整し、前記製品の在荷が無い前記棚位置の前記ファンフ
ィルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記クリー
ンストッカ中心部に流れ込むエアーの風速を保ったま
ま、前記クリーンストッカ中心部のダウンフローの風速
及び前記開口部からの吹き出しエアーの風速が最適な風
速を保つように調整することを特徴とする。
【００２０】
【００２１】
【００２２】また、前記クリーンストッカの前記各設置
箇所の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比
較を行い、前記各棚位置の製品の在荷情報を判別し、前
記個々のファンフィルタユニットの設定する回転数に対
応したファンのモーターの速度設定電圧を設定し、前記
個々のファンフィルタユニットのファンのモーターの回
転数を検出することにより速度信号電圧を検出し、前記
速度設定電圧と前記速度信号電圧の差により、前記ファ
ンフィルタユニットが設定した回転数になるように前記
差に応じた電圧を個別に前記ファンのモーターに与え
て、個々のファンフィルタユニットの風量を個別に自動
調整する。
箇所の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比
較を行い、前記各棚位置の製品の在荷情報を判別し、前
記個々のファンフィルタユニットの設定する回転数に対
応したファンのモーターの速度設定電圧を設定し、前記
個々のファンフィルタユニットのファンのモーターの回
転数を検出することにより速度信号電圧を検出し、前記
速度設定電圧と前記速度信号電圧の差により、前記ファ
ンフィルタユニットが設定した回転数になるように前記
差に応じた電圧を個別に前記ファンのモーターに与え
て、個々のファンフィルタユニットの風量を個別に自動
調整する。
【００２３】この様な本発明によれば、クリーンストッ
カ内の各部の風速を常時測定・モニタリングし、風速の
変化を常にフィードバックし、各棚位置の製品の在荷情
報を判別し、個々のファンフィルタユニットの風量を個
別に調整することによって、製品の収納保管数が変化し
ても、クリーンストッカの製品収納保管部（棚）からク
リーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つ。ま
た、クリーンストッカの開口部からのエアー吹き出し
を、わずかにクリーンストッカ外側向きに一定に保つ。
カ内の各部の風速を常時測定・モニタリングし、風速の
変化を常にフィードバックし、各棚位置の製品の在荷情
報を判別し、個々のファンフィルタユニットの風量を個
別に調整することによって、製品の収納保管数が変化し
ても、クリーンストッカの製品収納保管部（棚）からク
リーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンス
トッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つ。ま
た、クリーンストッカの開口部からのエアー吹き出し
を、わずかにクリーンストッカ外側向きに一定に保つ。
【００２４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態を示す説明図、図２は図１のクリーンストッカ
内の気流を示す説明図、図３は図１のクリーンストッカ
内の風量の調整制御システムを示す構成図そして図４は
図３の個々のＦＦＵの回転数の調整方法を示す説明図で
ある。
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態を示す説明図、図２は図１のクリーンストッカ
内の気流を示す説明図、図３は図１のクリーンストッカ
内の風量の調整制御システムを示す構成図そして図４は
図３の個々のＦＦＵの回転数の調整方法を示す説明図で
ある。
【００２５】図１に示すように、本実施形態のクリーン
ストッカでは、製品２を収納保管する棚５がクリーンス
トッカ１内の前後に相対して複数個設けられて、製品収
納保管部を構成している。
ストッカでは、製品２を収納保管する棚５がクリーンス
トッカ１内の前後に相対して複数個設けられて、製品収
納保管部を構成している。
【００２６】そして、各製品２に対応する各棚５の各外
周部に、ＦＦＵ３が１個ずつ備えられている。
周部に、ＦＦＵ３が１個ずつ備えられている。
【００２７】ＦＦＵ３は、ファン３０１とフィルタ３０
２とで構成され、ＦＦＵ３にて浄化されたエアーを棚５
に収納保管された製品２へ送ることによって製品２の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ１内に図２に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ１全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ１内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ１下部の外気取入口６より外気Ｄを取り入れ
ている。なお、外気取入口６より取り入れる外気Ｄはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
２とで構成され、ＦＦＵ３にて浄化されたエアーを棚５
に収納保管された製品２へ送ることによって製品２の清
浄度を保つと共に、クリーンストッカ１内に図２に矢印
で示す気流を形成し、クリーンストッカ１全体の清浄度
を保持する。気流は基本的に内部循環であるが、クリー
ンストッカ１内の温度上昇を防ぐために、一部はクリー
ンストッカ１下部の外気取入口６より外気Ｄを取り入れ
ている。なお、外気取入口６より取り入れる外気Ｄはク
リーンルーム内の極めて清浄度の高いエアーである。
【００２８】そして、クリーンストッカ１には、製品２
の入出庫を行う開口部４が設けられており、製品２の出
し入れおよび保管は、開口部４に載せられた製品２を、
クリーンストッカ１内の前後に相対して設けられた棚５
の間を上下左右にレール７２上を移動する移載ロボット
７１で構成された移載機７により行われ、クリーンスト
ッカ１の制御部９（図３に図示）が自動設定した位置の
棚５への製品２の出し入れを自動的に行う。
の入出庫を行う開口部４が設けられており、製品２の出
し入れおよび保管は、開口部４に載せられた製品２を、
クリーンストッカ１内の前後に相対して設けられた棚５
の間を上下左右にレール７２上を移動する移載ロボット
７１で構成された移載機７により行われ、クリーンスト
ッカ１の制御部９（図３に図示）が自動設定した位置の
棚５への製品２の出し入れを自動的に行う。
【００２９】ここで、クリーンストッカ１の各部の風量
の調整は、各部の風速を測定・モニタリングしリアルタ
イムに各部の風速を調整して行っている。
の調整は、各部の風速を測定・モニタリングしリアルタ
イムに各部の風速を調整して行っている。
【００３０】そして図３に示すように、クリーンストッ
カ１の風量の調整制御システムは構成され、動作する。
カ１の風量の調整制御システムは構成され、動作する。
【００３１】まず、図１及び図２に示すように、クリー
ンストッカ１内の各部に風速計８が設置されており、各
部の風速の測定・モニタリングをリアルタイムに行って
いる。風速計８はクリーンストッカ１の製品保管部であ
る棚５には個々に、開口部４には２個所そしてクリーン
ストッカ中心部のダウンフロー部には左右中央部に合計
３個所、移載ロボット７１に１個所設置されている。
ンストッカ１内の各部に風速計８が設置されており、各
部の風速の測定・モニタリングをリアルタイムに行って
いる。風速計８はクリーンストッカ１の製品保管部であ
る棚５には個々に、開口部４には２個所そしてクリーン
ストッカ中心部のダウンフロー部には左右中央部に合計
３個所、移載ロボット７１に１個所設置されている。
【００３２】そして、図３に示すように、クリーンスト
ッカ１内の各部に設置した各風速計８は各部の風速デー
タを測定・モニタリングしリアルタイムに風速調整制御
部１０に伝達する。また、クリーンストッカ制御部９は
各棚５に位置する製品２の有り無しつまり在荷情報をリ
アルタイムに風速調整制御部１０に伝達する。風速調整
制御部１０は各部風速の最適値と測定データの比較を行
い、各棚５に位置する製品２の在荷情報を判別し、ＦＦ
Ｕドライバ１１に対して、個々のＦＦＵ３の回転数を指
示する。ＦＦＵドライバ１１はこれに応じてＦＦＵ３１
〜３Ｎの回転数を個別に調整駆動する。そして、クリー
ンストッカ１内の各部の風速データは風速調整制御部１
０に常にフィードバックされ、個々のＦＦＵ３の風量は
リアルタイムに調整される。
ッカ１内の各部に設置した各風速計８は各部の風速デー
タを測定・モニタリングしリアルタイムに風速調整制御
部１０に伝達する。また、クリーンストッカ制御部９は
各棚５に位置する製品２の有り無しつまり在荷情報をリ
アルタイムに風速調整制御部１０に伝達する。風速調整
制御部１０は各部風速の最適値と測定データの比較を行
い、各棚５に位置する製品２の在荷情報を判別し、ＦＦ
Ｕドライバ１１に対して、個々のＦＦＵ３の回転数を指
示する。ＦＦＵドライバ１１はこれに応じてＦＦＵ３１
〜３Ｎの回転数を個別に調整駆動する。そして、クリー
ンストッカ１内の各部の風速データは風速調整制御部１
０に常にフィードバックされ、個々のＦＦＵ３の風量は
リアルタイムに調整される。
【００３３】なおここで、個々のＦＦＵ３の回転数の調
整は、図４に示すように、個々のＦＦＵ３のファン３０
１のモーター３０３の駆動電圧を調整することにより行
われる。風速調整制御部１０は各部風速の最適値と測定
データの比較を行い、各棚位置の製品２の在荷情報を判
別し、ＦＦＵドライバ１１に対して、個々のＦＦＵ３の
設定する回転数に対応したモーター３０３の速度設定電
圧Ｓ１を指示する。ＦＦＵドライバ１１はこれに応じ
て、個々のＦＦＵ３１〜３Ｎのファン３０１のモーター
３０３の回転数を検出することにより速度信号電圧Ｓ２
を検出し、ＦＦＵドライバ１１の比較増幅部１１１は速
度設定電圧Ｓ１と速度信号電圧Ｓ２との差の電圧Ｓ３を
電圧制御部１１２に出力し、ＦＦＵドライバ１１の電圧
制御部１１２は設定した回転数になるように比較増幅部
１１１からの出力に応じた駆動電圧Ｓ４を個別にモータ
ー３０３に与える。
整は、図４に示すように、個々のＦＦＵ３のファン３０
１のモーター３０３の駆動電圧を調整することにより行
われる。風速調整制御部１０は各部風速の最適値と測定
データの比較を行い、各棚位置の製品２の在荷情報を判
別し、ＦＦＵドライバ１１に対して、個々のＦＦＵ３の
設定する回転数に対応したモーター３０３の速度設定電
圧Ｓ１を指示する。ＦＦＵドライバ１１はこれに応じ
て、個々のＦＦＵ３１〜３Ｎのファン３０１のモーター
３０３の回転数を検出することにより速度信号電圧Ｓ２
を検出し、ＦＦＵドライバ１１の比較増幅部１１１は速
度設定電圧Ｓ１と速度信号電圧Ｓ２との差の電圧Ｓ３を
電圧制御部１１２に出力し、ＦＦＵドライバ１１の電圧
制御部１１２は設定した回転数になるように比較増幅部
１１１からの出力に応じた駆動電圧Ｓ４を個別にモータ
ー３０３に与える。
【００３４】ここで、クリーンストッカ１の各部の風量
調整は、個々のＦＦＵ３の風量の調整で行っており、ク
リーンストッカ１の風量自動調整の方法について説明す
る。クリーンストッカ１内の製品２の収納保管数の変化
等により、図２のクリーンストッカ１中心部のダウンフ
ローＢの風速及び開口部４からの吹き出しエアーＣの風
速が変化すると、各部の風速データ，製品２の在荷状況
の変化に応じて各ＦＦＵ３の風量調整が行われる。これ
は具体的には、主に製品２の在荷が無い棚位置のＦＦＵ
３の風速を落とすことによって行われる。調整は、製品
２の収納保管数の変化に関わらず、製品２の収納保管部
である棚５からクリーンストッカ１中心部に流れ込むエ
アーＡの風速を保ったまま、ダウンフローＢの風速及び
開口部４からの吹き出しエアーＣの風速が最適な風速に
なるように行われる。そして、特に開口部４からの吹き
出しエアーＣの吹き出しは若干外側になるように行われ
る。
調整は、個々のＦＦＵ３の風量の調整で行っており、ク
リーンストッカ１の風量自動調整の方法について説明す
る。クリーンストッカ１内の製品２の収納保管数の変化
等により、図２のクリーンストッカ１中心部のダウンフ
ローＢの風速及び開口部４からの吹き出しエアーＣの風
速が変化すると、各部の風速データ，製品２の在荷状況
の変化に応じて各ＦＦＵ３の風量調整が行われる。これ
は具体的には、主に製品２の在荷が無い棚位置のＦＦＵ
３の風速を落とすことによって行われる。調整は、製品
２の収納保管数の変化に関わらず、製品２の収納保管部
である棚５からクリーンストッカ１中心部に流れ込むエ
アーＡの風速を保ったまま、ダウンフローＢの風速及び
開口部４からの吹き出しエアーＣの風速が最適な風速に
なるように行われる。そして、特に開口部４からの吹き
出しエアーＣの吹き出しは若干外側になるように行われ
る。
【００３５】図２に各部の最適風速の例を示す。すなわ
ち、エアーＡの製品有りの場合の最適風速は０．２５〜
０．３５ｍ／ｓ、ダウンフローＢの最適風速は３〜４ｍ
／ｓそして吹き出しエアーＣの最適風速は０．１〜０．
２ｍ／ｓである。
ち、エアーＡの製品有りの場合の最適風速は０．２５〜
０．３５ｍ／ｓ、ダウンフローＢの最適風速は３〜４ｍ
／ｓそして吹き出しエアーＣの最適風速は０．１〜０．
２ｍ／ｓである。
【００３６】また、本実施形態では、クリーンストッカ
１内の各部の風量の測定・モニタリングに風速計８を設
け各部の風速を調整制御したがこれに限定されず、各部
に風量計を設け各部の風量を調整制御しても良い。
１内の各部の風量の測定・モニタリングに風速計８を設
け各部の風速を調整制御したがこれに限定されず、各部
に風量計を設け各部の風量を調整制御しても良い。
【００３７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ク
リーンストッカ内の各部の風速を常時測定・モニタリン
グし、風速の変化を常にフィードバックし、各棚位置の
製品の在荷情報を判別し、個々のＦＦＵの風量を個別に
調整することによって、製品の収納保管数が変化して
も、クリーンストッカの製品収納保管部（棚）からクリ
ーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンスト
ッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つため、ク
リーンストッカ内の気流の乱れを防ぎ、収納保管した製
品の清浄度を維持することができる。また、クリーンス
トッカの開口部からのエアー吹き出しを、わずかにクリ
ーンストッカ外側向きに一定に保つことができ、クリー
ンルームの一定したダウンフロー確保にも有効である。
リーンストッカ内の各部の風速を常時測定・モニタリン
グし、風速の変化を常にフィードバックし、各棚位置の
製品の在荷情報を判別し、個々のＦＦＵの風量を個別に
調整することによって、製品の収納保管数が変化して
も、クリーンストッカの製品収納保管部（棚）からクリ
ーンストッカ中心部に流れ込むエアー及びクリーンスト
ッカ中心部のダウンフローの風速を一定に保つため、ク
リーンストッカ内の気流の乱れを防ぎ、収納保管した製
品の清浄度を維持することができる。また、クリーンス
トッカの開口部からのエアー吹き出しを、わずかにクリ
ーンストッカ外側向きに一定に保つことができ、クリー
ンルームの一定したダウンフロー確保にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製品保管装置（クリーンストッカ）の
一実施形態を示す説明図である。
一実施形態を示す説明図である。
【図２】図１のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
である。
である。
【図３】図１のクリーンストッカ内の風量の調整制御シ
ステムを示す構成図である。
ステムを示す構成図である。
【図４】図３の個々のＦＦＵの回転数の調整方法を示す
説明図である。
説明図である。
【図５】従来技術の製品保管装置（クリーンストッカ）
を説明する説明図である。
を説明する説明図である。
【図６】図５のクリーンストッカ内の気流を示す説明図
である。
である。
１ クリーンストッカ ２ 製品 ３，３１〜３Ｎ ファンフィルタユニット（ＦＦＵ） ３０１ ファン ３０２ フィルタ ３０３ モーター ４ 開口部 ５ 棚 ６ 外気取入口 ７ 移載機 ７１ 移載ロボット ７２ レール ８ 風速計 ９ クリーンストッカ制御部 １０ 風速調整制御部 １１ ＦＦＵドライバ １１１ 比較増幅部 １１２ 電圧制御部 Ａ 製品収納保管部（棚）からクリーンストッカ中心
部に流れ込むエアー Ｂ クリーンストッカ中心部のダウンフロー Ｃ 開口部からの吹き出しエアー Ｄ 外気 Ｓ１ 速度設定電圧 Ｓ２ 速度信号電圧 Ｓ３ 速度設定電圧と速度信号電圧との差の電圧 Ｓ４ 駆動電圧
部に流れ込むエアー Ｂ クリーンストッカ中心部のダウンフロー Ｃ 開口部からの吹き出しエアー Ｄ 外気 Ｓ１ 速度設定電圧 Ｓ２ 速度信号電圧 Ｓ３ 速度設定電圧と速度信号電圧との差の電圧 Ｓ４ 駆動電圧
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 F24F 7/04 - 7/06
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の製品を収納保管する複数の棚と、
前記各棚の各外周部に備えられて前記製品にエアーを送
るファンフィルタユニットと、内部に外気を取り入れる
外気取入口と、前記製品の入出庫を行う開口部と、前記
開口部に載せられた前記製品の前記棚への出し入れを行
う製品移載手段と、前記棚位置での前記製品の有無情報
を管理制御する製品保管装置制御部と、装置内各部の風
量の調整を自動的に行う風量自動調整手段とを有する製
品保管装置において、前記風量自動調整手段として、風
速の測定・モニタリングをリアルタイムに行う、個々の
前記棚に設置された風速計と、前記製品保管装置中心部
のダウンフロー部に設置された風速計と、前記開口部に
設置された風速計と、前記各風速計からリアルタイムに
伝達される前記風速計の各設置箇所の風速データと前記
各設置箇所風速の最適値との比較を行い、前記製品保管
装置制御部からリアルタイムに伝達される前記各棚位置
での製品有無情報を判別し、前記各ファンフィルタユニ
ットの回転数を指示する風速調整制御部と、前記風速調
整制御部からの指示された前記回転数に応じて前記ファ
ンフィルタユニットのファンのモーターの駆動電圧を調
整して前記ファンフィルタユニットの回転数を個別に調
整駆動するファンフィルタユニットドライバとを有して
いることを特徴とする製品保管装置。 - 【請求項２】 製品保管装置内の製品の収納保管部であ
る個々の棚と、前記製品保管装置中心部のダウンフロー
部と、前記製品の入出庫を行う開口部とに設置した風速
計からリアルタイムに伝達される前記風速計の各設置箇
所の風速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較
を行い、製品保管装置制御部からリアルタイムに伝達さ
れる各前記棚位置での前記製品の有無の在荷情報を判別
し、前記各設置箇所の風速の変化と前記製品の在荷状況
の変化に応じて、前記棚個々に備えられているファンフ
ィルタユニットの風量を個別にリアルタイムに自動調整
し、前記製品の在荷が無い前記棚位置の前記ファンフィ
ルタユニットの風速を落とし、前記棚から前記製品保管
装置中心部に流れ込むエアーの風速を保ったまま、前記
製品保管装置中心部のダウンフローの風速及び前記開口
部からの吹き出しエアーの風速が最適な風速を保つよう
に調整することを特徴とする製品保管装置の風量調整方
法。 - 【請求項３】 前記製品保管装置の前記各設置箇所の風
速データと前記各設置箇所風速の最適値との比較を行
い、前記各棚位置の製品の在荷情報を判別し、前記個々
のファンフィルタユニットの設定する回転数に対応した
ファンのモーターの速度設定電圧を設定し、前記個々の
ファンフィルタユニットのファンのモーターの回転数を
検出することにより速度信号電圧を検出し、前記速度設
定電圧と前記速度信号電圧の差により、前記ファンフィ
ルタユニットが設定した回転数になるように前記差に応
じた電圧を個別に前記ファンのモーターに与えて、個々
のファンフィルタユニットの風量を個別に自動調整する
請求項２記載の製品保管装置の風量調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11083256A JP3068603B1 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 製品保管装置及びその風量調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11083256A JP3068603B1 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 製品保管装置及びその風量調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3068603B1 true JP3068603B1 (ja) | 2000-07-24 |
| JP2000272711A JP2000272711A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13797270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11083256A Expired - Fee Related JP3068603B1 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 製品保管装置及びその風量調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3068603B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103010640A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 村田机械株式会社 | 无尘室用的自动仓库 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004026023A1 (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-01 | Taiyo Kogyo Co., Ltd. | 育苗装置 |
| US7896602B2 (en) * | 2006-06-09 | 2011-03-01 | Lutz Rebstock | Workpiece stocker with circular configuration |
| JP2009184776A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫と自動倉庫へのクリーンエアの供給方法 |
| SG11202007824YA (en) * | 2018-04-12 | 2020-09-29 | Mitsubishi Electric Corp | Air-conditioning system, air-conditioning management server, air-conditioning management method and air-conditioning management program |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP11083256A patent/JP3068603B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103010640A (zh) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 村田机械株式会社 | 无尘室用的自动仓库 |
| CN103010640B (zh) * | 2011-09-22 | 2016-06-22 | 村田机械株式会社 | 无尘室用的自动仓库 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000272711A (ja) | 2000-10-03 |
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|---|---|---|---|
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