JPH0694261A - クリーンルームの室圧制御装置 - Google Patents
クリーンルームの室圧制御装置Info
- Publication number
- JPH0694261A JPH0694261A JP4265562A JP26556292A JPH0694261A JP H0694261 A JPH0694261 A JP H0694261A JP 4265562 A JP4265562 A JP 4265562A JP 26556292 A JP26556292 A JP 26556292A JP H0694261 A JPH0694261 A JP H0694261A
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- air conditioner
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- room
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/0001—Control or safety arrangements for ventilation
- F24F2011/0002—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air
- F24F2011/0004—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air to create overpressure in a room
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームの室内圧をセンサ出力に基づ
いて空調装置からの送風量で制御し、また、空調装置の
停止や異常発生時には排気装置を停止させることで、ク
リーンルーム内の圧力を安定に維持及びシステムの信頼
性の向上を可能にする。 【構成】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調
した空気を送風ファンによってクリーンルーム２に供給
する空調装置１、クリーンルーム２から空気を強制的に
排出させるための排気装置３、及びクリーンルーム２の
室内外の差圧を検出する差圧センサ４の各々を備え、差
圧センサ４の検出信号に基づいて前記送風ファンの回転
を制御して室内圧を維持すると共に、空調装置１の停止
または異常時には空調装置１を停止させる。
いて空調装置からの送風量で制御し、また、空調装置の
停止や異常発生時には排気装置を停止させることで、ク
リーンルーム内の圧力を安定に維持及びシステムの信頼
性の向上を可能にする。 【構成】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調
した空気を送風ファンによってクリーンルーム２に供給
する空調装置１、クリーンルーム２から空気を強制的に
排出させるための排気装置３、及びクリーンルーム２の
室内外の差圧を検出する差圧センサ４の各々を備え、差
圧センサ４の検出信号に基づいて前記送風ファンの回転
を制御して室内圧を維持すると共に、空調装置１の停止
または異常時には空調装置１を停止させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの室圧
を安定に維持するためのクリーンルームの室圧制御装置
に関するものである。
を安定に維持するためのクリーンルームの室圧制御装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造などに用いられるクリーンル
ームは、外部と遮断可能に形成された施設（筐体）に空
調装置で温度及び湿度を調整した空気をフィルタを介し
て供給し、この空気をクリーンルームの外へ排出し、あ
るいは排出される空気の大部分を筐体と空調装置との間
に循環させる構成がとられている。
ームは、外部と遮断可能に形成された施設（筐体）に空
調装置で温度及び湿度を調整した空気をフィルタを介し
て供給し、この空気をクリーンルームの外へ排出し、あ
るいは排出される空気の大部分を筐体と空調装置との間
に循環させる構成がとられている。
【０００３】このようなクリーンルームにおいては、室
内圧を外気圧より高め（正圧）に設定し、外部から塵埃
などが進入するのを防止している。
内圧を外気圧より高め（正圧）に設定し、外部から塵埃
などが進入するのを防止している。
【０００４】このような正圧を得る方法としては、従
来、クリーンルームと外部との境界部に配設されたダン
パの開度を調節することで行っている。この場合、ダン
パが開いていれば、クリーンルーム内の圧力は正圧状態
にあるものと判断することができる。
来、クリーンルームと外部との境界部に配設されたダン
パの開度を調節することで行っている。この場合、ダン
パが開いていれば、クリーンルーム内の圧力は正圧状態
にあるものと判断することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、クリーンルーム内の圧力を正圧にする
に際し、ダンパにより行っているため、正圧の維持を高
精度（例えば、＋３〜５ｍｍＨｇ）に制御することは困
難であった。
技術にあっては、クリーンルーム内の圧力を正圧にする
に際し、ダンパにより行っているため、正圧の維持を高
精度（例えば、＋３〜５ｍｍＨｇ）に制御することは困
難であった。
【０００６】クリーンルーム内を＋３〜５ｍｍＨｇに保
つことは、空調装置に負担をかけることなく、外部から
の塵埃の浸入防止が可能な値であり、このためには高精
度な圧力制御が必要になる。
つことは、空調装置に負担をかけることなく、外部から
の塵埃の浸入防止が可能な値であり、このためには高精
度な圧力制御が必要になる。
【０００７】また、従来においては、クリーンルームか
ら空気を外部に排気するために排気装置を設けた場合、
空調装置が停止あるいは送風量を低減させるような事故
が発生すると、両設備の運転に連携がとられていないた
めにクリーンルーム内に負圧が生じるために、汚染物質
をクリーンルーム内に吸引し、さらには破損を招く恐れ
もある。
ら空気を外部に排気するために排気装置を設けた場合、
空調装置が停止あるいは送風量を低減させるような事故
が発生すると、両設備の運転に連携がとられていないた
めにクリーンルーム内に負圧が生じるために、汚染物質
をクリーンルーム内に吸引し、さらには破損を招く恐れ
もある。
【０００８】本発明の目的は、クリーンルーム内の圧力
を安定に維持及びシステムの信頼性の向上が可能なクリ
ーンルームの室圧制御装置を提供することにある。
を安定に維持及びシステムの信頼性の向上が可能なクリ
ーンルームの室圧制御装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する空調装置と、前記クリーンルームから空気を強制
的に排出させるための排気装置と、前記クリーンルーム
内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、該
センサの検出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制
御すると共に前記空調装置の停止または異常時に前記排
気装置を停止させる制御手段とを設けるようにしてい
る。
に、本発明は、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する空調装置と、前記クリーンルームから空気を強制
的に排出させるための排気装置と、前記クリーンルーム
内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、該
センサの検出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制
御すると共に前記空調装置の停止または異常時に前記排
気装置を停止させる制御手段とを設けるようにしてい
る。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、クリーンルームの室内
圧はセンサの出力に基づいて空調装置からの送風量を増
減（すなわち送風ファンの回転数を可変）することで所
望値に制御することができ、一方、空調装置の停止や異
常発生時には、クリーンルーム内に負圧が発生するのを
防止するために、排気装置を停止させる。この結果、ク
リーンルームの室内圧は所望値に維持され、かつ、クリ
ーンルーム内に負圧を生じないようにできるので、運転
の信頼性を向上させることができる。
圧はセンサの出力に基づいて空調装置からの送風量を増
減（すなわち送風ファンの回転数を可変）することで所
望値に制御することができ、一方、空調装置の停止や異
常発生時には、クリーンルーム内に負圧が発生するのを
防止するために、排気装置を停止させる。この結果、ク
リーンルームの室内圧は所望値に維持され、かつ、クリ
ーンルーム内に負圧を生じないようにできるので、運転
の信頼性を向上させることができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明によるクリーンルームの室圧制
御装置の一実施例を示す系統図である。
御装置の一実施例を示す系統図である。
【００１２】外気を取り込んでクリーンルーム２が必要
とする温度及び湿度に制御した空調空気を得るために空
調装置（外調機）１が設けられ、その空調空気はクリー
ンルーム２に供給される。なお、空調装置１はフィルタ
を内蔵しているので、クリーンルーム２に供給される空
気は、温湿度が適正にされていると同時に高度に清浄化
の施されたものとなっている。クリーンルーム２内の空
気は、ファンを備えた排気装置３によって床部または床
面近傍の側壁を通して外部へ排出される。
とする温度及び湿度に制御した空調空気を得るために空
調装置（外調機）１が設けられ、その空調空気はクリー
ンルーム２に供給される。なお、空調装置１はフィルタ
を内蔵しているので、クリーンルーム２に供給される空
気は、温湿度が適正にされていると同時に高度に清浄化
の施されたものとなっている。クリーンルーム２内の空
気は、ファンを備えた排気装置３によって床部または床
面近傍の側壁を通して外部へ排出される。
【００１３】外気とクリーンルーム２内の圧力差を検知
するために、差圧センサ４がクリーンルーム２内に設置
され、その検出信号は空調装置１に取り込まれる。ま
た、空調装置１は、差圧センサ４の検出信号に基づいて
排気装置３の運転制御も行っている。
するために、差圧センサ４がクリーンルーム２内に設置
され、その検出信号は空調装置１に取り込まれる。ま
た、空調装置１は、差圧センサ４の検出信号に基づいて
排気装置３の運転制御も行っている。
【００１４】以上の構成において、空調装置１が稼働を
始めると、外気が取り込まれ、この外気に対してクリー
ンルーム２の要求する温度及び湿度（たとえば、温度２
３±１℃、湿度４５±３％）に空調し、さらに内蔵する
フィルタを介してクリーンルーム２へ供給する。クリー
ンルーム２内の圧力と外気圧との差圧は、差圧センサ４
によって常時監視されており、その検出値に応じて空調
装置１内のインバータを制御する。このインバータは空
調装置１に内蔵されるファン（クリーンルーム２に空気
を送り込むための動力源）の回転数を制御する。この回
転数制御は、クリーンルーム２内の圧力差＋δが＋３〜
５ｍｍＨｇ程度であるため、インバータによる制御は容
易である。このため、圧力差＋δを生じさせるためにダ
ンパや別途に設備を設ける必要がなく、経済的であると
共に設置スペースが小さくて済むことになる。そして、
インバータは差圧センサ４の検出値が一定値を維持する
ようにファンの回転数を制御する。
始めると、外気が取り込まれ、この外気に対してクリー
ンルーム２の要求する温度及び湿度（たとえば、温度２
３±１℃、湿度４５±３％）に空調し、さらに内蔵する
フィルタを介してクリーンルーム２へ供給する。クリー
ンルーム２内の圧力と外気圧との差圧は、差圧センサ４
によって常時監視されており、その検出値に応じて空調
装置１内のインバータを制御する。このインバータは空
調装置１に内蔵されるファン（クリーンルーム２に空気
を送り込むための動力源）の回転数を制御する。この回
転数制御は、クリーンルーム２内の圧力差＋δが＋３〜
５ｍｍＨｇ程度であるため、インバータによる制御は容
易である。このため、圧力差＋δを生じさせるためにダ
ンパや別途に設備を設ける必要がなく、経済的であると
共に設置スペースが小さくて済むことになる。そして、
インバータは差圧センサ４の検出値が一定値を維持する
ようにファンの回転数を制御する。
【００１５】ここで、停電や故障などによって空調装置
１が稼働を停止し、あるいは異常を生じた場合、これに
応じて空調装置１は排気装置３を停止させる。従来のよ
うに、空調装置１が停止または送風量が減少した状態の
まま排気装置３の稼働を続行すると、空調装置１からの
空気供給が無くなった状態（または減少した状態）でク
リーンルーム２内の空気が排気装置３によって排出され
る結果、クリーンルーム２に負圧が形成される。このよ
うな状態が生じると、汚染物質を吸入したり、最悪の場
合にはクリーンルーム２の破損を招くことになる。しか
し、本発明によれば、空調装置１の停止や異常動作の発
生と同時に排気装置３も停止するので、クリーンルーム
２内には負圧は生じず、上記した事態を招くことはな
い。
１が稼働を停止し、あるいは異常を生じた場合、これに
応じて空調装置１は排気装置３を停止させる。従来のよ
うに、空調装置１が停止または送風量が減少した状態の
まま排気装置３の稼働を続行すると、空調装置１からの
空気供給が無くなった状態（または減少した状態）でク
リーンルーム２内の空気が排気装置３によって排出され
る結果、クリーンルーム２に負圧が形成される。このよ
うな状態が生じると、汚染物質を吸入したり、最悪の場
合にはクリーンルーム２の破損を招くことになる。しか
し、本発明によれば、空調装置１の停止や異常動作の発
生と同時に排気装置３も停止するので、クリーンルーム
２内には負圧は生じず、上記した事態を招くことはな
い。
【００１６】また、本発明では、クリーンルーム２内を
絶対圧力（例えば、７６０ｍｍＨｇ）に保つ制御も可能
である。このためには、差圧センサ４に代えて気圧セン
サをクリーンルーム２に設置し、その検出値が所望値を
維持するように空調装置１のインバータを制御すればよ
い。このように、室内圧を一定に維持することで、半導
体製造における所望条件が設定でき、製品ばらつきを無
くすことが可能になる。このような技術は現状では顕著
な効果を上げることはできないが、将来、半導体の実装
密度が現在より高くなったときに実感できるであろう。
絶対圧力（例えば、７６０ｍｍＨｇ）に保つ制御も可能
である。このためには、差圧センサ４に代えて気圧セン
サをクリーンルーム２に設置し、その検出値が所望値を
維持するように空調装置１のインバータを制御すればよ
い。このように、室内圧を一定に維持することで、半導
体製造における所望条件が設定でき、製品ばらつきを無
くすことが可能になる。このような技術は現状では顕著
な効果を上げることはできないが、将来、半導体の実装
密度が現在より高くなったときに実感できるであろう。
【００１７】なお、上記実施例においては、クリーンル
ーム２内外の圧力差を差圧センサ４によって検出するも
のとしたが、クリーンルーム２の内部と外部に各１つの
気圧センサを設置し、これらセンサの検出値の差分を求
めて差圧値を得るようにしてもよい。
ーム２内外の圧力差を差圧センサ４によって検出するも
のとしたが、クリーンルーム２の内部と外部に各１つの
気圧センサを設置し、これらセンサの検出値の差分を求
めて差圧値を得るようにしてもよい。
【００１８】また、前記実施例においては、排気装置３
と空調装置１の連携制御を空調装置１に内蔵した制御装
置によって行うものとしたが、設部から分離して独立し
た制御盤として構成してもよい。
と空調装置１の連携制御を空調装置１に内蔵した制御装
置によって行うものとしたが、設部から分離して独立し
た制御盤として構成してもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上より明らかな如く、本発明によれ
ば、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調した空
気を送風ファンによってクリーンルームに供給する空調
装置と、前記クリーンルームから空気を強制的に排出さ
せるための排気装置と、前記クリーンルーム内の室内圧
または室内外の差圧を検出するセンサと、該センサの検
出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制御すると共
に前記空調装置の停止または異常時に前記排気装置を停
止させる制御手段とを設けるようにしたので、クリーン
ルームの室内圧を所望値に維持できると共に、クリーン
ルーム内に負圧が生じないようにして運転の信頼性を向
上させることができる。
ば、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調した空
気を送風ファンによってクリーンルームに供給する空調
装置と、前記クリーンルームから空気を強制的に排出さ
せるための排気装置と、前記クリーンルーム内の室内圧
または室内外の差圧を検出するセンサと、該センサの検
出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制御すると共
に前記空調装置の停止または異常時に前記排気装置を停
止させる制御手段とを設けるようにしたので、クリーン
ルームの室内圧を所望値に維持できると共に、クリーン
ルーム内に負圧が生じないようにして運転の信頼性を向
上させることができる。
【図１】本発明のクリーンルームの室圧制御装置の一実
施例を示す系統図である。
施例を示す系統図である。
１ 空調装置 ２ クリーンルーム ３ 排気装置 ４ 差圧センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土山 博志 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 川上 寛明 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 伏見 光雅 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 中島 英二 東京都千代田区神田駿河台４−６ 株式会 社日立製作所内 (72)発明者 小西 俊一 東京都千代田区内神田１−１−14 日立プ ラント建設株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する空調装置と、前記クリーンルームから空気を強制
的に排出させるための排気装置と、前記クリーンルーム
内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、該
センサの検出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制
御すると共に前記空調装置の停止または異常時に前記排
気装置を停止させる制御手段とを具備することを特徴と
するクリーンルームの室圧制御装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265562A JPH0694261A (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | クリーンルームの室圧制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265562A JPH0694261A (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | クリーンルームの室圧制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694261A true JPH0694261A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=17418838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265562A Pending JPH0694261A (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | クリーンルームの室圧制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694261A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3060389U (ja) * | 1996-09-24 | 1999-08-31 | 三和油脂株式会社 | 麩糠類から形成した多孔性炭素材製品 |
| JP2011040039A (ja) * | 2009-08-14 | 2011-02-24 | Fujitsu Technology Solutions Intellectual Property Gmbh | 冷却装置、サーバラックおよび冷却装置を制御する方法 |
| JP2014005986A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Dai-Dan Co Ltd | 給排気ファン制御システム |
| JP2014138869A (ja) * | 2006-05-24 | 2014-07-31 | American Innovative Research Corp | 正の気圧隔離システム |
| CN104456860A (zh) * | 2013-09-22 | 2015-03-25 | 深圳市深蓝电子有限公司 | 一种空调工作状态反馈系统及方法 |
| CN103206764B (zh) * | 2012-01-17 | 2017-04-12 | 力博特公司 | 一种空调及其自清洁的方法 |
| CN112902417A (zh) * | 2021-02-06 | 2021-06-04 | 青岛市中心医院 | 一种静配间组合空气处理设备 |
| WO2023273328A1 (zh) * | 2021-06-29 | 2023-01-05 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 用于控制空调的方法及装置、空调、存储介质 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6441754A (en) * | 1987-08-06 | 1989-02-14 | Taikisha Kk | Air conditioner |
-
1992
- 1992-09-09 JP JP4265562A patent/JPH0694261A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6441754A (en) * | 1987-08-06 | 1989-02-14 | Taikisha Kk | Air conditioner |
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| CN104456860A (zh) * | 2013-09-22 | 2015-03-25 | 深圳市深蓝电子有限公司 | 一种空调工作状态反馈系统及方法 |
| CN104456860B (zh) * | 2013-09-22 | 2017-02-08 | 深圳市深蓝电子股份有限公司 | 一种空调工作状态反馈系统及方法 |
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