JPS6222938A - クリ−ンル−ムの送排気系 - Google Patents
クリ−ンル−ムの送排気系Info
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- JPS6222938A JPS6222938A JP60162542A JP16254285A JPS6222938A JP S6222938 A JPS6222938 A JP S6222938A JP 60162542 A JP60162542 A JP 60162542A JP 16254285 A JP16254285 A JP 16254285A JP S6222938 A JPS6222938 A JP S6222938A
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- Japan
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- exhaust
- clean room
- air
- local
- controlled
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、たとえば半導体装置製造ライン用クリーンル
ームのように局所排気装置を有するクリーンルームの送
排気系に関する。
ームのように局所排気装置を有するクリーンルームの送
排気系に関する。
第４図は、半導体装置製造ラインにおける従来の送排気
系を示しておシ、部屋１が超高性能フィルタ２、グレー
チング３によって天井チャンバ室４、クリーンルーム５
、床下６に仕切られている。部ｍ１の外部には、送風フ
７ン７、ヒーティングコイル８、チリフグコイル９’ｒ
内蔵した空調ユニットＩＯが設けられ、このユ二ットＩ
Ｏは前記床下６Ｖｃ連通するリターンダクトｌＩおよび
外気取入口Ｉ２から吸気して恒温・恒湿に調和したのち
送風ダクト１３を通じて前記天井チャンバ室４ｉＣ送風
する。局所排気装置（以下、局排装置と略記する）１４
・・・は、前記クリーンルーム５内に設けられた半導体
装置製造ラインでそれぞれたとえばウェット処理を行な
う処理ブースに設けられておシ、それぞれに連通する分
岐排気ダクト１５、共通排気ダクトＩ６および部屋１外
に位置するガス処理装置（図示せず）を痛して排気ファ
ン１）によシ排気されるようになっている。Ｉ８はクリ
ーンルーム５の側壁の一部に設けられた室内圧力調節（
補償）用のダンパである。
系を示しておシ、部屋１が超高性能フィルタ２、グレー
チング３によって天井チャンバ室４、クリーンルーム５
、床下６に仕切られている。部ｍ１の外部には、送風フ
７ン７、ヒーティングコイル８、チリフグコイル９’ｒ
内蔵した空調ユニットＩＯが設けられ、このユ二ットＩ
Ｏは前記床下６Ｖｃ連通するリターンダクトｌＩおよび
外気取入口Ｉ２から吸気して恒温・恒湿に調和したのち
送風ダクト１３を通じて前記天井チャンバ室４ｉＣ送風
する。局所排気装置（以下、局排装置と略記する）１４
・・・は、前記クリーンルーム５内に設けられた半導体
装置製造ラインでそれぞれたとえばウェット処理を行な
う処理ブースに設けられておシ、それぞれに連通する分
岐排気ダクト１５、共通排気ダクトＩ６および部屋１外
に位置するガス処理装置（図示せず）を痛して排気ファ
ン１）によシ排気されるようになっている。Ｉ８はクリ
ーンルーム５の側壁の一部に設けられた室内圧力調節（
補償）用のダンパである。
上記構成の送排気系においては、空調ユニットＩＯから
天井チャンバＷ１４に送シ込まれた空気は超高性節フィ
ルタ２を通過して清浄空気としてクリーンルーム５に送
られる。クリーンルーム５内に送られた空気の一部はグ
レーチング３を通り、床下６からリターンダクト１）を
通して空調ユニット１０に戻シ、残シの空気は局排装置
１４・・・でのウェット処理によシ発生した汚染物質と
共に分岐排気ダクト１５および共通排気ダクト１６ｔ−
通って排気ファンＩ７によシ外部へ排気されるので、上
記汚染物質がりＩＪ ＋ンルーム５内に逆流しないよう
罠なっている。
天井チャンバＷ１４に送シ込まれた空気は超高性節フィ
ルタ２を通過して清浄空気としてクリーンルーム５に送
られる。クリーンルーム５内に送られた空気の一部はグ
レーチング３を通り、床下６からリターンダクト１）を
通して空調ユニット１０に戻シ、残シの空気は局排装置
１４・・・でのウェット処理によシ発生した汚染物質と
共に分岐排気ダクト１５および共通排気ダクト１６ｔ−
通って排気ファンＩ７によシ外部へ排気されるので、上
記汚染物質がりＩＪ ＋ンルーム５内に逆流しないよう
罠なっている。
また、クリーンルーム５は外部の空気が流入しないよう
に常に正圧に保つ必要があ夛、上記のようにクリーンル
ーム５内に局排装置１４・・・が存在する場合には、こ
の局排装置１４によシ排気される空気の総量以上の外気
を外気取入口１゛２から取シ入れてクリーンルーム５内
を正圧に保っている。この場合、クリーンルーム５内が
一定圧力以上になると、ダンパ１８を開いて排気するよ
うになっている。また、前記分岐排気ダクト１５内には
全開状態または全閉状態に設定可能な排気ダンパ（図示
せず）が設けられることもある。
に常に正圧に保つ必要があ夛、上記のようにクリーンル
ーム５内に局排装置１４・・・が存在する場合には、こ
の局排装置１４によシ排気される空気の総量以上の外気
を外気取入口１゛２から取シ入れてクリーンルーム５内
を正圧に保っている。この場合、クリーンルーム５内が
一定圧力以上になると、ダンパ１８を開いて排気するよ
うになっている。また、前記分岐排気ダクト１５内には
全開状態または全閉状態に設定可能な排気ダンパ（図示
せず）が設けられることもある。
ところで、半導体装置製造ライン用のクリーンルームだ
おける局所排気量は、現在の法律上では局排装置の作業
開口面での面風速が０．５ｍ／秒になるように設定され
ている。モして、前記従来の送排気系にあっては、通常
は局排装置におけるウェット処理の有無に拘らず、排気
ファンＺ７により最大の負荷に相当する多量（最大定格
風量）の排気を行なっておシ、局排装置の作業開口面に
扉を設けて作業開口面を狭くしたときでも作業開口面が
全開のときと同じ状態で排気が行なわれる。しかし、恒
温噂恒湿に調和された処理コストの高い清浄空気を多量
に排気することは不経済であシ、この排気量に相当する
処理コスト（損失）はクリーンルームのクリーン度を維
持するためのランニングコストの４０％を占めている。
おける局所排気量は、現在の法律上では局排装置の作業
開口面での面風速が０．５ｍ／秒になるように設定され
ている。モして、前記従来の送排気系にあっては、通常
は局排装置におけるウェット処理の有無に拘らず、排気
ファンＺ７により最大の負荷に相当する多量（最大定格
風量）の排気を行なっておシ、局排装置の作業開口面に
扉を設けて作業開口面を狭くしたときでも作業開口面が
全開のときと同じ状態で排気が行なわれる。しかし、恒
温噂恒湿に調和された処理コストの高い清浄空気を多量
に排気することは不経済であシ、この排気量に相当する
処理コスト（損失）はクリーンルームのクリーン度を維
持するためのランニングコストの４０％を占めている。
また、一部の局排装置の不使用中にそれに連通する分岐
排気ダクト内の排気ダンパを全閉状態にしたとしても、
この排気ダンパの開閉に無関係に排気ファン１７を運転
しているので、残シの局排装置を通して排気が行なわれ
るから、排気量は減らない０ま几１上記排気ダンパａ１
早に全開状態または全閉状態にしか設定できず、局排装
置での作業者に対する安全度を考慮してそれに連通ずる
分岐排気ダクトの排気量“を微調制御することはできな
い。
排気ダクト内の排気ダンパを全閉状態にしたとしても、
この排気ダンパの開閉に無関係に排気ファン１７を運転
しているので、残シの局排装置を通して排気が行なわれ
るから、排気量は減らない０ま几１上記排気ダンパａ１
早に全開状態または全閉状態にしか設定できず、局排装
置での作業者に対する安全度を考慮してそれに連通ずる
分岐排気ダクトの排気量“を微調制御することはできな
い。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、クリーン
ルーム内の局所排気装置における必要排気量の排気が可
能であると共にクリーンルームのクリーン度を維持する
ためのランニングコストを著しく低減し得るクリーンル
ームの送排気系を提供する本のである。
ルーム内の局所排気装置における必要排気量の排気が可
能であると共にクリーンルームのクリーン度を維持する
ためのランニングコストを著しく低減し得るクリーンル
ームの送排気系を提供する本のである。
（発明の概要〕
即ち、本発明は、内部に局所排気装置を有するクリーン
ルームに対する送風を行なう送風ファン卦よび上記局所
排気装置に連通ずる排気ダクトを通じてクリーンルーム
から排気を行なう排気ファンをそれぞれクリーンルーム
外に設けてなるクリーンルームの送排気系において、前
記排気ダクト内に風景可変バルブを設け、前記局所排気
装置における状況に応じてその必要排気量を決定し、こ
の必要排気量に応じて前記可変風量バルブおよび排気フ
ァンを制御すると共にクリーンルーム内を適正圧力に維
持するように前記送風ファンの送風量を制御する制御手
段を設けてなることを特徴とするものである。
ルームに対する送風を行なう送風ファン卦よび上記局所
排気装置に連通ずる排気ダクトを通じてクリーンルーム
から排気を行なう排気ファンをそれぞれクリーンルーム
外に設けてなるクリーンルームの送排気系において、前
記排気ダクト内に風景可変バルブを設け、前記局所排気
装置における状況に応じてその必要排気量を決定し、こ
の必要排気量に応じて前記可変風量バルブおよび排気フ
ァンを制御すると共にクリーンルーム内を適正圧力に維
持するように前記送風ファンの送風量を制御する制御手
段を設けてなることを特徴とするものである。
これによって、局所排気装置における必要排気量の排気
が可能であシながらクリーンルームの総排気量が低減す
るので、省エネルギに伴ないクリーンルームのランニン
グコストが低減し、しかもクリーンルーム内は適正圧力
に維持されることによってクリーン度が維持されること
になる。
が可能であシながらクリーンルームの総排気量が低減す
るので、省エネルギに伴ないクリーンルームのランニン
グコストが低減し、しかもクリーンルーム内は適正圧力
に維持されることによってクリーン度が維持されること
になる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図に示す半導体装デ製造うイン用クリーンルームの
送排気系は、第４図を参照して前述した従来の送排気系
に比べて、分岐排気ダクト１５・・・それぞれに開口度
に比例して流量が変化する風量可変バルブ（Ｖａｒｉａ
ｂｌｅ Ａｉｒ Ｖｏｌｕｍｅ ：以下ＶＡＶと略記す
る）２０を設け、このＶＡＶ２０・・・、送風ファン９
、排気ファン１７の各制御部をコンピュータ制御によル
所定の制御を行なうようＫした点が異な夛、第４図中と
同一部分には同一符号を付してその説８Ａを省略する〇
局側装置１４・・・それぞれは、第２図に示すようにそ
れぞれにおける処理内容を制御する局側制御部２Ｉと、
この制御部２Ｉに処理内容の指令をキー操作とか磁気カ
ード挿入などの方法により入力するための操作部２２と
、作業開口面を開閉するための扉２３と、この扉２３の
、開口度を検出する扉センサ（図示せず）などを備えて
おり、この扉センナの扉開口度検出信号が局側制御部２
１にをシ込まれ、局側制御部２Ｉは局側装置の状況を表
わす局側状況信号を出力するようになっている。
送排気系は、第４図を参照して前述した従来の送排気系
に比べて、分岐排気ダクト１５・・・それぞれに開口度
に比例して流量が変化する風量可変バルブ（Ｖａｒｉａ
ｂｌｅ Ａｉｒ Ｖｏｌｕｍｅ ：以下ＶＡＶと略記す
る）２０を設け、このＶＡＶ２０・・・、送風ファン９
、排気ファン１７の各制御部をコンピュータ制御によル
所定の制御を行なうようＫした点が異な夛、第４図中と
同一部分には同一符号を付してその説８Ａを省略する〇
局側装置１４・・・それぞれは、第２図に示すようにそ
れぞれにおける処理内容を制御する局側制御部２Ｉと、
この制御部２Ｉに処理内容の指令をキー操作とか磁気カ
ード挿入などの方法により入力するための操作部２２と
、作業開口面を開閉するための扉２３と、この扉２３の
、開口度を検出する扉センサ（図示せず）などを備えて
おり、この扉センナの扉開口度検出信号が局側制御部２
１にをシ込まれ、局側制御部２Ｉは局側装置の状況を表
わす局側状況信号を出力するようになっている。
一方、２４はクリーンルーム排気系を制御するためにコ
ンピュータシステムの中央処理装置（ＣＰＵ）であ〕、
前前記局側制御部Ｉ・・・からの周側状況信号、分岐排
気ダクト１５・・・内に設けられた流速（または流量）
センサ２５・・・からの局所排気量検出信号、共通排気
ダク）１６内に設けられた流速（または流量）センサ２
６からの総排気量検出信号、送風ダクト１３内に設けら
ｎた流速（または流ｆ）センサ２７からの送風量検出信
号および図示しないクリーンルーム内外差圧センサから
の室内外差圧検出信号を取フ込み、所定の制御プログラ
ムに基いて排気ファン制御部（インバータなど）２８を
制御するための排気ファン制御信号、送風ファン制御部
（インバータなど）３０を制御するための送風ファン制
御信号、ＶＡＶ制御部２９・・・を制御するためのＶＡ
Ｖ制御伯号を出力するようＫなっている。なお、前記Ｖ
ＡＶ制御部２９・・・は前記流速センサ２５・・・から
の局所排気Ｓ−検出信号によっても制御されるようにな
っている。また、前記各流速センサ２５．２６．２７と
して耐薬品性に優れたものが使用はれる。また、前記流
速センサ２５・・・、２６．２７として実質的に流速（
流量）が検出可能なその他のセンナ（たとえば差圧検出
センサ）ｆｔ用いてもよい。
ンピュータシステムの中央処理装置（ＣＰＵ）であ〕、
前前記局側制御部Ｉ・・・からの周側状況信号、分岐排
気ダクト１５・・・内に設けられた流速（または流量）
センサ２５・・・からの局所排気量検出信号、共通排気
ダク）１６内に設けられた流速（または流量）センサ２
６からの総排気量検出信号、送風ダクト１３内に設けら
ｎた流速（または流ｆ）センサ２７からの送風量検出信
号および図示しないクリーンルーム内外差圧センサから
の室内外差圧検出信号を取フ込み、所定の制御プログラ
ムに基いて排気ファン制御部（インバータなど）２８を
制御するための排気ファン制御信号、送風ファン制御部
（インバータなど）３０を制御するための送風ファン制
御信号、ＶＡＶ制御部２９・・・を制御するためのＶＡ
Ｖ制御伯号を出力するようＫなっている。なお、前記Ｖ
ＡＶ制御部２９・・・は前記流速センサ２５・・・から
の局所排気Ｓ−検出信号によっても制御されるようにな
っている。また、前記各流速センサ２５．２６．２７と
して耐薬品性に優れたものが使用はれる。また、前記流
速センサ２５・・・、２６．２７として実質的に流速（
流量）が検出可能なその他のセンナ（たとえば差圧検出
センサ）ｆｔ用いてもよい。
次に、上記構成による送排気系の動作を説明する。局側
装置１４・・・において、局側制御部２１は局側装置で
の処理（作業）内容と扉開口度検出信号とに基いて局側
杖況出力伯号’ｋ ＣＰＵ２４に送る。ＣＰＵ２４は、
複数台の局側装置１４・・・からの局側状況出力信号を
受け、所定の制御プログラムに基いて各局側装置Ｚ４・
・・のＶＡｖ２ｏに対する制御の優先順位（たとえば扉
２３が閉状態から開状態になった局側装置に対しては逆
流防止のために直ちにＵｉ・気を行なうような優先順位
を与える）にしたがって適正な局所排気量、（局側装置
Ｉ４での作業者の安全を維持するために必要な排気ジ以
上）を決定してＶ Ａ Ｖ ｉｌ＋御部２９を制御する
。この場合、分岐排気ダクト１５・・・内の流速センサ
２５・・・からの局所排気量検出信号をモニタしながら
上記局所排気量制御を行なう。また、ＣＰＵ２４は、上
記局所排気量の変化に応じて排気ファン制御部２８を制
御して総排気量を変化させ、クリーンルーム５ｆｔ適正
な圧力（正圧〕に維持してクリーン度を維持するために
送風ファン制御部３０を制御して送風ｆｉ：を制御する
。この場合、共通排気ダクト１６内の流速センナ２６か
らの総排気量検出信号をモニタしながら総、排気量の制
御を行ない、クリーンルーム内外差圧センサからの室内
外差圧検出信号および送風ダクト１３内の流速センサ２
７からの送風量検出信号をモニタしながら適正圧力、送
風量の制御を行なう。
装置１４・・・において、局側制御部２１は局側装置で
の処理（作業）内容と扉開口度検出信号とに基いて局側
杖況出力伯号’ｋ ＣＰＵ２４に送る。ＣＰＵ２４は、
複数台の局側装置１４・・・からの局側状況出力信号を
受け、所定の制御プログラムに基いて各局側装置Ｚ４・
・・のＶＡｖ２ｏに対する制御の優先順位（たとえば扉
２３が閉状態から開状態になった局側装置に対しては逆
流防止のために直ちにＵｉ・気を行なうような優先順位
を与える）にしたがって適正な局所排気量、（局側装置
Ｉ４での作業者の安全を維持するために必要な排気ジ以
上）を決定してＶ Ａ Ｖ ｉｌ＋御部２９を制御する
。この場合、分岐排気ダクト１５・・・内の流速センサ
２５・・・からの局所排気量検出信号をモニタしながら
上記局所排気量制御を行なう。また、ＣＰＵ２４は、上
記局所排気量の変化に応じて排気ファン制御部２８を制
御して総排気量を変化させ、クリーンルーム５ｆｔ適正
な圧力（正圧〕に維持してクリーン度を維持するために
送風ファン制御部３０を制御して送風ｆｉ：を制御する
。この場合、共通排気ダクト１６内の流速センナ２６か
らの総排気量検出信号をモニタしながら総、排気量の制
御を行ない、クリーンルーム内外差圧センサからの室内
外差圧検出信号および送風ダクト１３内の流速センサ２
７からの送風量検出信号をモニタしながら適正圧力、送
風量の制御を行なう。
上記クリーンルームの送排気系にあっては、局側装ｆＩ
ＬＩ４・・・における処理状況に応じて作業者の安全を
維持するために必要な量の排気だけ行なうと共に、クリ
ーンルーム５を正圧に維持することによってクリーン度
を維持するようにコンピュータシステムによる排気制御
が行なわれるものであシ、共通排気ダクトＩ６から排気
される総排気量の時間変動は、たとえば第３図中に実線
で示すようになる。この特性を、図中４８で示す従来例
の特性と対比すると、総排気量が５０％以上も低減して
おり、省エネルギ化によってランニングコストが大ＥＫ
減少することが分る。
ＬＩ４・・・における処理状況に応じて作業者の安全を
維持するために必要な量の排気だけ行なうと共に、クリ
ーンルーム５を正圧に維持することによってクリーン度
を維持するようにコンピュータシステムによる排気制御
が行なわれるものであシ、共通排気ダクトＩ６から排気
される総排気量の時間変動は、たとえば第３図中に実線
で示すようになる。この特性を、図中４８で示す従来例
の特性と対比すると、総排気量が５０％以上も低減して
おり、省エネルギ化によってランニングコストが大ＥＫ
減少することが分る。
なお、上記実施例の複数台の局側装置を有するクリーン
ルームの送排気系を示したが、局側装置が１台の場合に
はＣＰＵｚ ４の機能を局側制御部２１に持たせるよう
にしてもよい。
ルームの送排気系を示したが、局側装置が１台の場合に
はＣＰＵｚ ４の機能を局側制御部２１に持たせるよう
にしてもよい。
上述したように本発明のクリーンルームの送排気系によ
れば、クリーンルーム内の局所排気装置における必要排
気量の排気が可能であると共に、クリーンルームのクリ
ーン度を維持するためのランニングコストを著しく低減
することができるので、半導体装ｆｌｌテライン用ＩＪ
−ンルームなどに適用して効果的である０
れば、クリーンルーム内の局所排気装置における必要排
気量の排気が可能であると共に、クリーンルームのクリ
ーン度を維持するためのランニングコストを著しく低減
することができるので、半導体装ｆｌｌテライン用ＩＪ
−ンルームなどに適用して効果的である０
第１図は本発明に係るクリーンルームの送排気系の一実
施例を示す構成説明図、第２図は第１図中の局所排気装
置を取シ出してその一例に示す構成説明図、第３図は第
１図のクリーンルー・ム゛における総排気量の時間的変
化の一例を示す図、第４図は従来のクリーンルームの送
排気系を示す構成説明図である。 ５・・・クリーンルーム、９・・・送風ファン、ＩＪ・
・・送風ダクト、１４・・・局側装置、１５・・・分岐
排気ダクト、１６・・・共通排気ダクト、１７・・・排
気ファン、２０・・・ＶＡＶ（可変風音バルブ）、２１
・・・局側制御部、２４．・・・ＣＰＵ、２５１２６．
２７・・・流速センサ、２８・・・排気ファン制御部、
２９・・・ＶＡＶ制御部、３０・・・送風ファン制御部
。
施例を示す構成説明図、第２図は第１図中の局所排気装
置を取シ出してその一例に示す構成説明図、第３図は第
１図のクリーンルー・ム゛における総排気量の時間的変
化の一例を示す図、第４図は従来のクリーンルームの送
排気系を示す構成説明図である。 ５・・・クリーンルーム、９・・・送風ファン、ＩＪ・
・・送風ダクト、１４・・・局側装置、１５・・・分岐
排気ダクト、１６・・・共通排気ダクト、１７・・・排
気ファン、２０・・・ＶＡＶ（可変風音バルブ）、２１
・・・局側制御部、２４．・・・ＣＰＵ、２５１２６．
２７・・・流速センサ、２８・・・排気ファン制御部、
２９・・・ＶＡＶ制御部、３０・・・送風ファン制御部
。
Claims (2)
- （１）内部に局所排気装置を有するクリーンルームに対
する送風を行なう送風ファンおよび 上記局所排気装置に連通する排気ダクトを 通じてクリーンルームから排気を行なう排気ファンをそ
れぞれクリーンルーム外に設けてなるクリーンルームの
送排気系において、前気排気ダクト内に風量可変バルブ
を設け、前記局所排気装置における状況に応じてその必
要排気量を決定し、この必要排気量に応じて前記可変風
量バルブおよび排気ファンを制御すると共にクリーンル
ーム内を適正圧力に維持するように前記送風ファンの送
風量を制御する制御手段を設けてなることを特徴とする
クリーンルームの送排気系。 - （２）前記局所排気装置は複数台有り、これらはそれぞ
れ分岐排気ダクトを経て共通の排気ダクトに連通し、各
分岐排気ダクト内に前記可変風量バルブが設けられ、前
記制御手段は複数台の局所排気装置からそれぞれ状況信
号を受け、所定の優先順位にしたがって前記各可変風量
バルブを制御するようにしてなることを特徴とする前記
特許請求の範囲第１項記載のクリーンルームの送排気系
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60162542A JPS6222938A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60162542A JPS6222938A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6222938A true JPS6222938A (ja) | 1987-01-31 |
Family
ID=15756581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60162542A Pending JPS6222938A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6222938A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01144726U (ja) * | 1988-03-26 | 1989-10-04 | ||
| US5133690A (en) * | 1990-05-21 | 1992-07-28 | Bowe Gerald J | Booth with controlled environment for aircraft maintenance |
| US5665128A (en) * | 1995-12-05 | 1997-09-09 | Nuaire, Inc. | Clean air cabinet with valved exhaust |
| US5972060A (en) * | 1996-10-09 | 1999-10-26 | Ch2Mhill Industrial Design Corporation | Apparatus for providing a purified resource in a manufacturing facility |
| JP2010255914A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Tosho Inc | 調剤用クリーンルームユニット |
-
1985
- 1985-07-23 JP JP60162542A patent/JPS6222938A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01144726U (ja) * | 1988-03-26 | 1989-10-04 | ||
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