JPH0313493B2 - - Google Patents
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- JPH0313493B2 JPH0313493B2 JP60214569A JP21456985A JPH0313493B2 JP H0313493 B2 JPH0313493 B2 JP H0313493B2 JP 60214569 A JP60214569 A JP 60214569A JP 21456985 A JP21456985 A JP 21456985A JP H0313493 B2 JPH0313493 B2 JP H0313493B2
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- differential pressure
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- exhaust
- exhaust system
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、たとえば半導体装置製造ライン用ク
リーンルームのように局所排気装置を有するクリ
ーンルームの送排気系に関する。
リーンルームのように局所排気装置を有するクリ
ーンルームの送排気系に関する。
〔発明の技術的背景〕
第４図は、半導体装置製造ラインにおける従来
の送排気系を示しており、部屋１が超高性能フイ
ルタ２、グレーチング３によつて天井チヤンバ室
４、クリーンルーム５、床下６に仕切られてい
る。部屋１の外部には、送風フアン７、ヒーテイ
ングコイル８、チリングコイル９を内蔵した空調
ユニツト１０が設けられ、このユニツト１０は前
記床下６に連通するリターンダクト１１および外
気取り入れ口１２から吸気して恒温・恒湿状態に
調和したのち送風ダクト１３を通じて前記天井チ
ヤンバ室４に送風する。局所排気装置（以下、局
排装置と略記する）１４…は、前記クリーンルー
ム５内に設けられた半導体装置製造ラインでそれ
ぞれたとえばウエツト処理を行なう処理ブースに
設けられており、それぞれに連通する分岐排気ダ
クト１５、共通排気ダクト１６および部屋１外に
位置するスクラバー１７を通して排気フアン１８
により排気されるようになつている。１９はクリ
ーンルーム５の側壁の一部に設けられた室内圧力
調節（補償）用のダンパである。
の送排気系を示しており、部屋１が超高性能フイ
ルタ２、グレーチング３によつて天井チヤンバ室
４、クリーンルーム５、床下６に仕切られてい
る。部屋１の外部には、送風フアン７、ヒーテイ
ングコイル８、チリングコイル９を内蔵した空調
ユニツト１０が設けられ、このユニツト１０は前
記床下６に連通するリターンダクト１１および外
気取り入れ口１２から吸気して恒温・恒湿状態に
調和したのち送風ダクト１３を通じて前記天井チ
ヤンバ室４に送風する。局所排気装置（以下、局
排装置と略記する）１４…は、前記クリーンルー
ム５内に設けられた半導体装置製造ラインでそれ
ぞれたとえばウエツト処理を行なう処理ブースに
設けられており、それぞれに連通する分岐排気ダ
クト１５、共通排気ダクト１６および部屋１外に
位置するスクラバー１７を通して排気フアン１８
により排気されるようになつている。１９はクリ
ーンルーム５の側壁の一部に設けられた室内圧力
調節（補償）用のダンパである。
上記構成の送排気系においては、空調ユニツト
１０から天井チヤンバ室４に送り込まれた空気は
超高性能フイルタ２を通過して清浄空気としてク
リーンムール５に送られる。クリーンルーム５内
に送られた空気の一部はグレーチング３を通り、
床下６からリターンダクト１１を通して空調ユニ
ツト１０に戻り、残りの空気は局排装置１４…で
のウエツト処理により発生した汚染物質と共に分
岐排気ダクト１５および共通排気ダクト１６を通
つて排気フアン１８により排気されるので、上記
汚染物質がクリーンルーム５内に逆流しないよう
になつている。また、クリーンルーム５は外部の
空気が流入しないように常に正圧に保つ必要があ
り、上記のようにクリーンルーム５内に局排装置
１４…が存在する場合には、この局排装置１４…
により排気される空気の総量以上の空気を外気取
り入れ口１２から取り入れている。この場合、ク
リーンルーム５内が一定圧力以上になると、ダン
パ１９を開いて排気するようになつている。
１０から天井チヤンバ室４に送り込まれた空気は
超高性能フイルタ２を通過して清浄空気としてク
リーンムール５に送られる。クリーンルーム５内
に送られた空気の一部はグレーチング３を通り、
床下６からリターンダクト１１を通して空調ユニ
ツト１０に戻り、残りの空気は局排装置１４…で
のウエツト処理により発生した汚染物質と共に分
岐排気ダクト１５および共通排気ダクト１６を通
つて排気フアン１８により排気されるので、上記
汚染物質がクリーンルーム５内に逆流しないよう
になつている。また、クリーンルーム５は外部の
空気が流入しないように常に正圧に保つ必要があ
り、上記のようにクリーンルーム５内に局排装置
１４…が存在する場合には、この局排装置１４…
により排気される空気の総量以上の空気を外気取
り入れ口１２から取り入れている。この場合、ク
リーンルーム５内が一定圧力以上になると、ダン
パ１９を開いて排気するようになつている。
ところで、前記局排装置１４…の一例は、第５
図に示すように分岐排気ダクト１５に可変風量バ
ルブ（Variable Air Volume；以下VAVと略記
する）１９が設けられており、単板型お作業用扉
２１が完全に閉じた状態で自動的にオン状態にな
るマイクロスイツチ２２が取り付けられており、
このマイクロスイツチ２２のオン、オフ状態に応
じて前記VAV１９を最小排気状態（最大排気抵
抗）／最大排気状態（最小排気抵抗）に設定制御
するためのVAV制御部２３が設けられている。
図に示すように分岐排気ダクト１５に可変風量バ
ルブ（Variable Air Volume；以下VAVと略記
する）１９が設けられており、単板型お作業用扉
２１が完全に閉じた状態で自動的にオン状態にな
るマイクロスイツチ２２が取り付けられており、
このマイクロスイツチ２２のオン、オフ状態に応
じて前記VAV１９を最小排気状態（最大排気抵
抗）／最大排気状態（最小排気抵抗）に設定制御
するためのVAV制御部２３が設けられている。
したがつて、作業用扉２１が完全に閉じた状態
でVAV１９は最小排気状態になり、作業用扉２
１が開いた状態では局排装置１４の汚染物質がク
リーンルーム内に逆流しないようにVAV１９が
元の最大排気状態に戻る。
でVAV１９は最小排気状態になり、作業用扉２
１が開いた状態では局排装置１４の汚染物質がク
リーンルーム内に逆流しないようにVAV１９が
元の最大排気状態に戻る。
また、前記局排装置１４…の他の例は、第６図
に示すように作業性を向上させるために作業用扉
２４としてそれぞれ単独で移動自在な複数の扉板
を使用し、作業用扉２４の開閉状態はマイクロス
イツチによりチエツクすることが複雑になるの
で、作業者により操作される押釦スイツチ２５に
より検出し、このスイツチ出力状態に応じて
VAV制御部２３により分岐排気ダクト１５の
VAV１９を最大／最小排気状態に設定制御する
ようになつている。
に示すように作業性を向上させるために作業用扉
２４としてそれぞれ単独で移動自在な複数の扉板
を使用し、作業用扉２４の開閉状態はマイクロス
イツチによりチエツクすることが複雑になるの
で、作業者により操作される押釦スイツチ２５に
より検出し、このスイツチ出力状態に応じて
VAV制御部２３により分岐排気ダクト１５の
VAV１９を最大／最小排気状態に設定制御する
ようになつている。
ところで、半導体装置製造ライン用のクリーン
ルームにおける局所排気量は、現在の法律上では
局排装置の作業扉の開口面での面風速が0.5ｍ／
秒になるように設定される必要がある。そして、
従来の送排気系にあつては、通常は局排装置にお
けるウエツト処理の有無に拘らず、排気フアン１
７により最大の負荷に相当する多量（最大定格風
量）の排気を行なつている。この場合、第５図に
示した局排装置１４では、扉２１が完全に閉じた
状態では排気は行なわれないが、扉２１が半開状
態など一部でも開いているとマイクロスイツチ２
２がオフ状態であつてVAV１９は最大排気状態
になるので、必要以上の排気が行なわれることに
なる。しかし、恒温・恒湿状態に調和された処理
コストの高い清浄空気を必要以上に排気すること
は不経済である。
ルームにおける局所排気量は、現在の法律上では
局排装置の作業扉の開口面での面風速が0.5ｍ／
秒になるように設定される必要がある。そして、
従来の送排気系にあつては、通常は局排装置にお
けるウエツト処理の有無に拘らず、排気フアン１
７により最大の負荷に相当する多量（最大定格風
量）の排気を行なつている。この場合、第５図に
示した局排装置１４では、扉２１が完全に閉じた
状態では排気は行なわれないが、扉２１が半開状
態など一部でも開いているとマイクロスイツチ２
２がオフ状態であつてVAV１９は最大排気状態
になるので、必要以上の排気が行なわれることに
なる。しかし、恒温・恒湿状態に調和された処理
コストの高い清浄空気を必要以上に排気すること
は不経済である。
また、第６図に示した局排装置１４でも、扉２
４が一部でも開いている場合には押釦スイツチ２
５がオフ状態に操作されるので、やはりVAV１
９は最大排気状態になつて必要以上の排気が行な
われる。また、作業者が押釦スイツチ２５の操作
を誤つたとき、扉２４が開いた状態でVAV１９
が最小排気状態になると、汚染物質の送流が生
じ、作業上の安全面で危険な状態となる。
４が一部でも開いている場合には押釦スイツチ２
５がオフ状態に操作されるので、やはりVAV１
９は最大排気状態になつて必要以上の排気が行な
われる。また、作業者が押釦スイツチ２５の操作
を誤つたとき、扉２４が開いた状態でVAV１９
が最小排気状態になると、汚染物質の送流が生
じ、作業上の安全面で危険な状態となる。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
局排装置の作業扉の開口面の面風速を作業扉の開
口度に依らずほぼ一定の規定値に保つと共に必要
以上の排気を行なわないように自動的に制御で
き、省エネルギを実現し得ると共に作業上の安全
面で危険な状態をまねくことを防止し得るクリー
ンルームの送排気系を提供するものである。
局排装置の作業扉の開口面の面風速を作業扉の開
口度に依らずほぼ一定の規定値に保つと共に必要
以上の排気を行なわないように自動的に制御で
き、省エネルギを実現し得ると共に作業上の安全
面で危険な状態をまねくことを防止し得るクリー
ンルームの送排気系を提供するものである。
即ち、本発明のクリーンルームの送排気系は、
局所排気装置の内外差圧の変化を検出する微差圧
検出器を設け、この検出器の検出出力を受けて上
記差圧をほぼ一定に保つように局所排気装置に連
通する排気ダクト内に設けられている可変風量バ
ルブの開口量（排気量）を制御するバルブ制御部
を設けてなることを特徴とするものである。
局所排気装置の内外差圧の変化を検出する微差圧
検出器を設け、この検出器の検出出力を受けて上
記差圧をほぼ一定に保つように局所排気装置に連
通する排気ダクト内に設けられている可変風量バ
ルブの開口量（排気量）を制御するバルブ制御部
を設けてなることを特徴とするものである。
局所排気装置の作業扉の開口面の面風速および
その内外差圧は、その作業扉の開口度によつて変
化するものであり、この開口度の変化を微差圧検
出器で検出することができ、の検出出力によりバ
ルブ制御部を制御することによつて、上記開口度
に依らず作業扉の開口面の面風速をほぼ一定の規
定値に保つと共に上記開口度に応じて前記バルブ
の排気量を可変制御することができる。これによ
つて、必要以上の排気が行なわれなくなり、省エ
ネルギが可能になり、従来例のような押釦スイツ
チに対する誤つた操作により作業上の安全面で危
険な状態をまねくおそれはなくなる。
その内外差圧は、その作業扉の開口度によつて変
化するものであり、この開口度の変化を微差圧検
出器で検出することができ、の検出出力によりバ
ルブ制御部を制御することによつて、上記開口度
に依らず作業扉の開口面の面風速をほぼ一定の規
定値に保つと共に上記開口度に応じて前記バルブ
の排気量を可変制御することができる。これによ
つて、必要以上の排気が行なわれなくなり、省エ
ネルギが可能になり、従来例のような押釦スイツ
チに対する誤つた操作により作業上の安全面で危
険な状態をまねくおそれはなくなる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
第１図に示す半導体装置製造ライン用クリーン
ルームの送排気系は、第４図を参照して前述した
従来の送排気系に比べて、(1)局排装置１４内とク
リーンルーム５との差圧を検出する第１の微差圧
検出器（たとえば微差圧発振器）３１を設け、こ
の検出器３１の出力信号を受けるVAV制御部３
２により分岐排気ダクト１５内のVAV３３を制
御している点、(2)共通排気ダクト１６の内外差圧
を検出するための第２の微差圧検出器３４を設
け、この検出器３４の出力信号により排気フアン
制御部（たとえばインバータ式制御部）３５を制
御して排気フアン１８による総排気量を制御して
いる点、(3)クリーンルーム５の内外差圧を検出す
るための第３の微差圧検出器３６を設け、この検
出器３６の出力信号により送風フアン制御部（た
とえばインバータ式制御部）３７を制御して送風
フアン７による送風量、外気取り入れ量を制御し
ている点が異なり、その他は同じであるので第４
図中と同一符号を付している。
ルームの送排気系は、第４図を参照して前述した
従来の送排気系に比べて、(1)局排装置１４内とク
リーンルーム５との差圧を検出する第１の微差圧
検出器（たとえば微差圧発振器）３１を設け、こ
の検出器３１の出力信号を受けるVAV制御部３
２により分岐排気ダクト１５内のVAV３３を制
御している点、(2)共通排気ダクト１６の内外差圧
を検出するための第２の微差圧検出器３４を設
け、この検出器３４の出力信号により排気フアン
制御部（たとえばインバータ式制御部）３５を制
御して排気フアン１８による総排気量を制御して
いる点、(3)クリーンルーム５の内外差圧を検出す
るための第３の微差圧検出器３６を設け、この検
出器３６の出力信号により送風フアン制御部（た
とえばインバータ式制御部）３７を制御して送風
フアン７による送風量、外気取り入れ量を制御し
ている点が異なり、その他は同じであるので第４
図中と同一符号を付している。
前記第１の微差圧検出器３１は、局排装置１４
の作業扉３８の開口度に応じて変化する局排装置
１４内の差圧を検出するものであり、クリーンル
ーム５内の空気が局排装置１４内に流れ込む速度
を検出して差圧検出を行なうようになつており、
局排装置１４内の汚染物質によつて汚染されるこ
とはない。
の作業扉３８の開口度に応じて変化する局排装置
１４内の差圧を検出するものであり、クリーンル
ーム５内の空気が局排装置１４内に流れ込む速度
を検出して差圧検出を行なうようになつており、
局排装置１４内の汚染物質によつて汚染されるこ
とはない。
上記局排装置１４に対する第１の微差圧検出器
３１の取付状態の相異なる例を第２図ａ，ｂ，ｃ
に示している。なお、ここでは、局排装置１４と
して、たとえば単板型の作業用扉３８を有するも
のを示しているが、第６図に示したような複数の
扉板を有する作業用扉を使用してもよい。即ち、
第２図ａにおいては、局排装置１４の外側（クリ
ーンルーム５内）に第１の微差圧検出器３１の本
体３１1を設け、この本体３１1に連通するパイプ
３１2の先端を局排装置１４の作業扉の開口面１
４1に対向しない側壁１４2を貫通させて局排装置
内部に連通させている。上記微差圧検出器３１
は、クリーンルーム５内から上記検出器本体３１
１、パイプ３１2を通じて流れ込む空気の流速を検
出し、それを差圧に変換し、この差圧を開口面風
速に変換する（なお、検出流速と面風速とは比例
関係にある）ことによつて、クリーンルーム５内
から作業扉の開口面に流れ込む空気を間接的に検
出している。
３１の取付状態の相異なる例を第２図ａ，ｂ，ｃ
に示している。なお、ここでは、局排装置１４と
して、たとえば単板型の作業用扉３８を有するも
のを示しているが、第６図に示したような複数の
扉板を有する作業用扉を使用してもよい。即ち、
第２図ａにおいては、局排装置１４の外側（クリ
ーンルーム５内）に第１の微差圧検出器３１の本
体３１1を設け、この本体３１1に連通するパイプ
３１2の先端を局排装置１４の作業扉の開口面１
４1に対向しない側壁１４2を貫通させて局排装置
内部に連通させている。上記微差圧検出器３１
は、クリーンルーム５内から上記検出器本体３１
１、パイプ３１2を通じて流れ込む空気の流速を検
出し、それを差圧に変換し、この差圧を開口面風
速に変換する（なお、検出流速と面風速とは比例
関係にある）ことによつて、クリーンルーム５内
から作業扉の開口面に流れ込む空気を間接的に検
出している。
また、第２図ｂにおいては、局排装置内部に作
業扉の開口面１４1からの風を遮蔽する遮風板１
４3を側壁１４2から突設させ、局排装置１４外の
第１の微差圧検出器３１の本体３１1からのパイ
プ３１2を上記側壁１４2を貫通させ、さらに上記
遮風板１４3を貫通させて局排装置１４内部で遮
風板１４3により作業扉の開口面１４1から遮蔽さ
れた部分に連通させている。
業扉の開口面１４1からの風を遮蔽する遮風板１
４3を側壁１４2から突設させ、局排装置１４外の
第１の微差圧検出器３１の本体３１1からのパイ
プ３１2を上記側壁１４2を貫通させ、さらに上記
遮風板１４3を貫通させて局排装置１４内部で遮
風板１４3により作業扉の開口面１４1から遮蔽さ
れた部分に連通させている。
また、第２図ｃにおいては、局排装置１４外の
第１の微差圧検出器３１の本体３１1からのパイ
プ３１2を分岐排気ダクト１５を貫通させ、局排
装置内部に作業扉の開口面１４1に対向させてい
る。
第１の微差圧検出器３１の本体３１1からのパイ
プ３１2を分岐排気ダクト１５を貫通させ、局排
装置内部に作業扉の開口面１４1に対向させてい
る。
また、分岐排気ダクト１５に設けられている
VAV３３は、半導体装置製造に際して使用され
る酸、アルカリ系薬品に対する耐薬品性に優れた
ものが使用される。
VAV３３は、半導体装置製造に際して使用され
る酸、アルカリ系薬品に対する耐薬品性に優れた
ものが使用される。
上記クリーンルームの送排気系において、局排
装置１４の作業扉３８の開口度が第１の微差圧検
出器３１により検出され、この検出出力を受ける
VAV制御部３２は局排装置１４内の差圧を一定
に保つようにVAV３３の排気量を制御する。こ
れにより、局排装置１４は作業扉３８の開口度
（開口面の半分とか1/3程度が開いている状態）に
依らずに開口面の面風速がほぼ一定値（規定値）
に保たれると共に局排装置１４から必要以上の排
気は行なわれなくなり、省エネルギが可能にな
り、クリーンルーム運転のランニングコストが低
減する。
装置１４の作業扉３８の開口度が第１の微差圧検
出器３１により検出され、この検出出力を受ける
VAV制御部３２は局排装置１４内の差圧を一定
に保つようにVAV３３の排気量を制御する。こ
れにより、局排装置１４は作業扉３８の開口度
（開口面の半分とか1/3程度が開いている状態）に
依らずに開口面の面風速がほぼ一定値（規定値）
に保たれると共に局排装置１４から必要以上の排
気は行なわれなくなり、省エネルギが可能にな
り、クリーンルーム運転のランニングコストが低
減する。
一方、上記したような局排装置１４における排
気量制御によつて排気量が低下すると、共通排気
ダクト１６内の差圧が上昇し、この変化が第２の
微差検出器３４により検出され、この検出出力を
受ける排気フアン制御部３５は共通排気ダクト１
６内の差圧を一定に保つように排気フアン１８の
回転数を落とし、全体の排気量を減少させる。こ
のとき、排気フアン１８の回転数が落ちることに
より、その消費電力が節約されることになる。な
お、排気フアン１８は必らずしも排気フアン制御
部３５による回転数制御を行なうことなく、常に
一定の回転数で動作させるようにしてもよい。
気量制御によつて排気量が低下すると、共通排気
ダクト１６内の差圧が上昇し、この変化が第２の
微差検出器３４により検出され、この検出出力を
受ける排気フアン制御部３５は共通排気ダクト１
６内の差圧を一定に保つように排気フアン１８の
回転数を落とし、全体の排気量を減少させる。こ
のとき、排気フアン１８の回転数が落ちることに
より、その消費電力が節約されることになる。な
お、排気フアン１８は必らずしも排気フアン制御
部３５による回転数制御を行なうことなく、常に
一定の回転数で動作させるようにしてもよい。
また、上述したような排気量の制御によつてク
リーンルーム５内の差圧が変動するが、この差圧
変動が第３の微差圧検出器３６により検出され、
この検出出力を受ける送風フアン制御部３７はク
リーンルーム５内の差圧を一定に保つように送風
フアン７の回転数を制御し、送風量および外気取
り入れ量を制御する。これによつて、クリーンル
ーム５は適正な圧力（正圧）に維持されてクリー
ン度が維持される。
リーンルーム５内の差圧が変動するが、この差圧
変動が第３の微差圧検出器３６により検出され、
この検出出力を受ける送風フアン制御部３７はク
リーンルーム５内の差圧を一定に保つように送風
フアン７の回転数を制御し、送風量および外気取
り入れ量を制御する。これによつて、クリーンル
ーム５は適正な圧力（正圧）に維持されてクリー
ン度が維持される。
上記したクリーンルームの送排気系において、
局排装置１４の作業扉３８の開口度と定格に対す
る排気量（制御結果）と開口面風速（制御結果）
の関係を第３図中に実線で示し、従来例における
上記関係を点線で示している。従来例の局排装置
では、作業扉が全閉状態になるまでは排気量は殆
んど変化せず、全閉状態にしない限りは省エネル
ギ効果が得られない。これに対して、本発明で
は、作業扉の開口度に依存せずに規定の面風速
（0.5ｍ／秒）以上に維持可能であり、かつ開口度
に応じて排気量が制御可能であるので省エネルギ
効果が得られる。
局排装置１４の作業扉３８の開口度と定格に対す
る排気量（制御結果）と開口面風速（制御結果）
の関係を第３図中に実線で示し、従来例における
上記関係を点線で示している。従来例の局排装置
では、作業扉が全閉状態になるまでは排気量は殆
んど変化せず、全閉状態にしない限りは省エネル
ギ効果が得られない。これに対して、本発明で
は、作業扉の開口度に依存せずに規定の面風速
（0.5ｍ／秒）以上に維持可能であり、かつ開口度
に応じて排気量が制御可能であるので省エネルギ
効果が得られる。
この場合、第２図ａ，ｂに示したように微差圧
検出器３１を取り付けた場合には、作業開口面か
ら流れ込む空気の風圧（動圧）の影響を直接に受
けることなく、静圧のみ検出するので、差圧検出
の特性の直線性が良く、風量制御特性の直線性が
良い。これに対して、第２図ｃに示したように微
差圧検出器３１を取り付けた場合には、上記静圧
だけでなく動圧の影響をも受けるので、差圧検出
特性の直線が少し悪くなり、風量制御特性の直線
が少し悪くなるが、本発明の目的は達成可能であ
る。
検出器３１を取り付けた場合には、作業開口面か
ら流れ込む空気の風圧（動圧）の影響を直接に受
けることなく、静圧のみ検出するので、差圧検出
の特性の直線性が良く、風量制御特性の直線性が
良い。これに対して、第２図ｃに示したように微
差圧検出器３１を取り付けた場合には、上記静圧
だけでなく動圧の影響をも受けるので、差圧検出
特性の直線が少し悪くなり、風量制御特性の直線
が少し悪くなるが、本発明の目的は達成可能であ
る。
また、本発明の局排装置においては、扉開閉状
態を作業者の操作による押釦スイツチの出力によ
り検出することなく、第１の微差圧検出器により
扉開口度を検出して自動的に排気量制御を行なう
ので、作業者が押釦スイツチの操作を誤つて局排
装置内からクリーンルーム内に汚染物質が流出す
ることによつて、作業上の安全面で危険な状態を
まねくおそれがなくなる。
態を作業者の操作による押釦スイツチの出力によ
り検出することなく、第１の微差圧検出器により
扉開口度を検出して自動的に排気量制御を行なう
ので、作業者が押釦スイツチの操作を誤つて局排
装置内からクリーンルーム内に汚染物質が流出す
ることによつて、作業上の安全面で危険な状態を
まねくおそれがなくなる。
上述したように本発明のクリーンルームの送排
気系によれば、局排装置の作業開口面の面風速を
作業扉の開口度に依らずほぼ一定の規定値に保つ
と共に必要以上の排気を行なわないように自動的
に制御でき、省エネルギを実現できると共に作業
上の安全面で危険な状態をまねくことを防止でき
るので、半導体装置製造ライン用クリーンルーム
などに適用して効果的である。
気系によれば、局排装置の作業開口面の面風速を
作業扉の開口度に依らずほぼ一定の規定値に保つ
と共に必要以上の排気を行なわないように自動的
に制御でき、省エネルギを実現できると共に作業
上の安全面で危険な状態をまねくことを防止でき
るので、半導体装置製造ライン用クリーンルーム
などに適用して効果的である。
第１図は本発明のクリーンルームの送排気系の
一実施例を示す構成説明図、第２図ａ，ｂ，ｃは
それぞれ第１図中の局排装置における微差圧検出
器の取付状態の相異なる例を示す構成説明図、第
３図は第２図に示した局排装置における作業扉開
口度と排気量、面風速との関係を示す特性図、第
４図は従来のクリーンルームの送排気系を示す構
成説明図、第５図および第６図はそれぞれ第４図
中の局排装置の相異なる例を示す構成説明図であ
る。 ５……クリーンルーム、７……送風フアン、１
４……局所排気装置、１４1……作業扉の開口面、
１４2……側壁、１４3……遮風板、１８……排気
フアン、３１，３４，３６……微差圧検出器、３
１1……検出器本体、３１2……パイプ、３２……
バルブ制御部、３３……VAV（可変風量バルブ）、
３５……排気フアン制御部、３７……送風フアン
制御部、３８……作業扉。
一実施例を示す構成説明図、第２図ａ，ｂ，ｃは
それぞれ第１図中の局排装置における微差圧検出
器の取付状態の相異なる例を示す構成説明図、第
３図は第２図に示した局排装置における作業扉開
口度と排気量、面風速との関係を示す特性図、第
４図は従来のクリーンルームの送排気系を示す構
成説明図、第５図および第６図はそれぞれ第４図
中の局排装置の相異なる例を示す構成説明図であ
る。 ５……クリーンルーム、７……送風フアン、１
４……局所排気装置、１４1……作業扉の開口面、
１４2……側壁、１４3……遮風板、１８……排気
フアン、３１，３４，３６……微差圧検出器、３
１1……検出器本体、３１2……パイプ、３２……
バルブ制御部、３３……VAV（可変風量バルブ）、
３５……排気フアン制御部、３７……送風フアン
制御部、３８……作業扉。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 作業扉を有する局所排気装置をクリーンルー
ム内に備え、このクリーンルームに対し送風を行
う送風フアン及び前記局所排気装置に連通する排
気ダクトを通じてクリーンルームから排気を行う
排気フアンをそれぞれ前記クリーンルームの外に
設けてなるクリーンルームの送排気系において、 前記排気ダクト内に設けられた可変風量バルブ
と、 前記局所排気装置内とクリーンルーム内との差
圧の変化を検出する微差圧検出器と、 前記微差圧検出器の検出出力を受けて前記差圧
をほぼ一定に保つように前記可変風量バルブの排
気量を制御し、前記局所排気装置における作業扉
の開口度に依らず、この作業扉の開口面の面風速
をほぼ一定に保つバルブ制御部と を具備したことを特徴とするクリーンルームの送
排気系。 ２ 前記可変風量バルブと排気フアンとの間にお
ける排気ダクトの一部に第２の微差圧検出器を設
けて排気ダクト内、外の差圧を検出し、この検出
出力を排気フアン制御部により受けて前記差圧を
ほぼ一定に保つように前記排気フアンの回転数を
制御するように構成されたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のクリーンルームの送排気
系。 ３ 前記クリーンルーム内、外の差圧を検出する
第３の微差圧検出器を設け、この検出器の出力を
送風フアン制御部により受けて前記差圧をほぼ一
定に保つように前記送風フアンの回転数を制御す
るように構成されたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のクリーンルームの送排気系。 ４ 前記局所排気装置内、外の差圧を検出する微
差圧検出器はクリーンルーム内から前記局所排気
装置の作業開口面に流れ込む空気の流速を間接的
に検出することによつて差圧検出を行うことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンル
ームの送排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60214569A JPS6277534A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60214569A JPS6277534A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6277534A JPS6277534A (ja) | 1987-04-09 |
| JPH0313493B2 true JPH0313493B2 (ja) | 1991-02-22 |
Family
ID=16657886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60214569A Granted JPS6277534A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6277534A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6966364B1 (en) * | 1999-02-12 | 2005-11-22 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
| KR100394046B1 (ko) * | 2001-01-09 | 2003-08-09 | 주식회사 디에스테크 | 청소기 겸용 공조장치 |
| JP4606601B2 (ja) * | 2001-01-10 | 2011-01-05 | 鹿島建設株式会社 | 排気ファン風量制御システム |
| US20080196786A1 (en) * | 2004-05-20 | 2008-08-21 | Volker Sigwarth | Method and Apparatus for the Phase Change in an Isolator |
| US20100061865A1 (en) * | 2008-09-10 | 2010-03-11 | Lucent Technologies, Inc. | System and/or method for monitoring and/or controlling the relative internal air pressure of a facility |
| JP5541564B2 (ja) * | 2009-09-03 | 2014-07-09 | 株式会社テクノ菱和 | イオナイザーシステム |
| CN102620377B (zh) * | 2012-04-23 | 2015-09-02 | 天津龙川鑫汇实验设备制造有限公司 | 民用及办公环境室内空气净化系统 |
| JP2017125641A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 株式会社日立製作所 | クリーンルーム用排気ユニット及びそれを備えるクリーンルーム用空調システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59153046A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 集中吸排気装置 |
| JPS6064145A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Asahi Kogyosha:Kk | 同一空気系内複数室の各室を特定室内圧に保持する給排気制御方式 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60214569A patent/JPS6277534A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59153046A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 集中吸排気装置 |
| JPS6064145A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Asahi Kogyosha:Kk | 同一空気系内複数室の各室を特定室内圧に保持する給排気制御方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6277534A (ja) | 1987-04-09 |
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