JPS6277534A - クリ−ンル−ムの送排気系 - Google Patents
クリ−ンル−ムの送排気系Info
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- JPS6277534A JPS6277534A JP60214569A JP21456985A JPS6277534A JP S6277534 A JPS6277534 A JP S6277534A JP 60214569 A JP60214569 A JP 60214569A JP 21456985 A JP21456985 A JP 21456985A JP S6277534 A JPS6277534 A JP S6277534A
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- air
- clean room
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、たとえば半導体装置製造ライン用クリーンル
ームのように局所排気装置を有するクリーンルームの送
排気系に関する。
ームのように局所排気装置を有するクリーンルームの送
排気系に関する。
第４図は、半導体装置製造ラインにおける従来の送排気
系を示してお９、部屋１が超高性能フィルタ２、グレー
チングＳによって天井チャンバ室４、クリーンルーム５
、床下６に仕切られている。部屋１の外部には、送風７
１ン７、ヒーティングコイル８、チリングコイル９を内
蔵した空調ユニット１０が設けられ、このユニツ｝ １
０は前記床下６に連通ずるリターンダクト１ノおよび外
気取υ入れ目ｌ２から吸気して恒温・恒湿状態に調和し
たのち送風ダクト１３を通じて前記天井チャンバ室４に
送風する。局所排気装置（以下、局排装置と略記する）
１４・・・は、前記クリーンルーム５内に設けられ九半
導体装置製造ラインでそれぞれたとえばウェット処理を
行なう処理ブースに設けられており、それぞれに連通ず
る分岐排気ダクト１５、共通排気ダクト１６および部屋
１外に位置するスクラバ−１７を通して排気ファン１８
により排気されるようになっている。１９はクリーンル
ーム５の側壁の一部に設けられた室内圧力調節（補償）
用のダンパである。
系を示してお９、部屋１が超高性能フィルタ２、グレー
チングＳによって天井チャンバ室４、クリーンルーム５
、床下６に仕切られている。部屋１の外部には、送風７
１ン７、ヒーティングコイル８、チリングコイル９を内
蔵した空調ユニット１０が設けられ、このユニツ｝ １
０は前記床下６に連通ずるリターンダクト１ノおよび外
気取υ入れ目ｌ２から吸気して恒温・恒湿状態に調和し
たのち送風ダクト１３を通じて前記天井チャンバ室４に
送風する。局所排気装置（以下、局排装置と略記する）
１４・・・は、前記クリーンルーム５内に設けられ九半
導体装置製造ラインでそれぞれたとえばウェット処理を
行なう処理ブースに設けられており、それぞれに連通ず
る分岐排気ダクト１５、共通排気ダクト１６および部屋
１外に位置するスクラバ−１７を通して排気ファン１８
により排気されるようになっている。１９はクリーンル
ーム５の側壁の一部に設けられた室内圧力調節（補償）
用のダンパである。
上記構成の送排気系においては、空調ユニット１０から
天井チャンバ室４に送９込まれ九空気は超高性能フィル
タ２を通過して清浄空気としてクリーンルーム５に送ら
れふ。クリーンルーム５内に送られた空気の一部はグレ
ーチング３を通シ、床下６からリターンダクト１）を通
して空調ユニット１０に戻シ、残りの空気は局排装置Ｊ
４・・・でのウエット処理によ多発生した汚染物質と共
に分岐排気ダクト１５および共通排気ダクトｌ６を通っ
て排気フ７ン１８により排気されるので、上記汚染物質
がクリーンルーム５内に逆流しないようになっている。
天井チャンバ室４に送９込まれ九空気は超高性能フィル
タ２を通過して清浄空気としてクリーンルーム５に送ら
れふ。クリーンルーム５内に送られた空気の一部はグレ
ーチング３を通シ、床下６からリターンダクト１）を通
して空調ユニット１０に戻シ、残りの空気は局排装置Ｊ
４・・・でのウエット処理によ多発生した汚染物質と共
に分岐排気ダクト１５および共通排気ダクトｌ６を通っ
て排気フ７ン１８により排気されるので、上記汚染物質
がクリーンルーム５内に逆流しないようになっている。
また、クリーンルーム５は外部の空気が流入しないよう
に常に正圧に保つ必要があり、上記のようにクリーンル
ーム５内に局排装置１４・・・が存在する場合には，こ
の局排装置１４・・・により排気される空気の総量以上
の空気を外気取り入れ口１２から取り入れている。この
場合、クリーンルーム５内が一定田力以上になると、ダ
ンパ１９を開いて排気するようになっている。
に常に正圧に保つ必要があり、上記のようにクリーンル
ーム５内に局排装置１４・・・が存在する場合には，こ
の局排装置１４・・・により排気される空気の総量以上
の空気を外気取り入れ口１２から取り入れている。この
場合、クリーンルーム５内が一定田力以上になると、ダ
ンパ１９を開いて排気するようになっている。
ところで、前記局排装置１４・・・の一例は、第５図に
示すように分岐排気ダク｝７５に風億可変パルブ（Ｖａ
ｒｉａｂｌｅ Ａｉｒ Ｖｏｌｕｍｅ ；以下ＶＡＶと
略記する）１９が設けられており、単板型の作業用層２
０が完全に閉じた状態で自動的にオン状態になるマイク
ロスイッチ２２が取り付けられており、このマイクロス
イッチ２２のオン，オフ状態に応じて前記ＶｋＶ１９を
最小排気状態（Ｒ大排気抵抗）／最大排気状態（最小排
気抵抗）に設定制御するためのｖＡｖ制御部２３が設け
られている。
示すように分岐排気ダク｝７５に風億可変パルブ（Ｖａ
ｒｉａｂｌｅ Ａｉｒ Ｖｏｌｕｍｅ ；以下ＶＡＶと
略記する）１９が設けられており、単板型の作業用層２
０が完全に閉じた状態で自動的にオン状態になるマイク
ロスイッチ２２が取り付けられており、このマイクロス
イッチ２２のオン，オフ状態に応じて前記ＶｋＶ１９を
最小排気状態（Ｒ大排気抵抗）／最大排気状態（最小排
気抵抗）に設定制御するためのｖＡｖ制御部２３が設け
られている。
したがって、作業用層２１が完全に閉じた状態でＶＡＶ
Ｊ！９は最小排気状態になり、作業用扉２ノが開い良状
態では局排装置１４の汚染物質がクリーンルーム内に逆
流しないようにＶＡＶＪ９が元の最大排気状態に戻る。
Ｊ！９は最小排気状態になり、作業用扉２ノが開い良状
態では局排装置１４の汚染物質がクリーンルーム内に逆
流しないようにＶＡＶＪ９が元の最大排気状態に戻る。
また、前記局排装置１４・・・の他の例は、第６図に示
すように作業性を向上させるために作業用層２４として
それぞれ単独で移動自在な複数の界板を使用し、作業用
層２４の開閉状態はマイクロスイッチによりチェックす
ることが複雑になるので、作業者により操作される押釦
スイッチ２５によ！′１噴出し、このスイッチ出力状態
に応じて■入Ｖ ｆｒｉｌ１御部２３により分岐排気ダ
クト１５のＶ入ｖ１９を最大／，＆小排気状態に設定制
御するようになっている。
すように作業性を向上させるために作業用層２４として
それぞれ単独で移動自在な複数の界板を使用し、作業用
層２４の開閉状態はマイクロスイッチによりチェックす
ることが複雑になるので、作業者により操作される押釦
スイッチ２５によ！′１噴出し、このスイッチ出力状態
に応じて■入Ｖ ｆｒｉｌ１御部２３により分岐排気ダ
クト１５のＶ入ｖ１９を最大／，＆小排気状態に設定制
御するようになっている。
ところで、半導体装置製造ライン用のクリーンルームに
おける局所排気櫨は、現在の法律上では局排装置の作業
開口面（扉開口面）での面風速が０．５ｍ／秒になるよ
うに設定される必要がある。そして、従来の送排気系に
あっては、通常は局排装置におけるウェット処理の有無
に拘らず、排気７１ン１７により最大の負荷に相当する
多ｆ（最大定格風ｔ）の排気を行なっている。この場合
、第５図に示した局排装置１４では、扉２７が完全に閉
じた状態では排気は行なわれないが、扉２１が半開状態
など一部でも開いているとマイクロスイッチ２２がオフ
状態であってＶＡＶＪ ９は最大排気状態になるので、
必要以上の排気が行なわれることになる。しかし、恒温
・恒湿状態に調和され比処理コストの高い清浄空気を必
要以上に排気することは不経済である。
おける局所排気櫨は、現在の法律上では局排装置の作業
開口面（扉開口面）での面風速が０．５ｍ／秒になるよ
うに設定される必要がある。そして、従来の送排気系に
あっては、通常は局排装置におけるウェット処理の有無
に拘らず、排気７１ン１７により最大の負荷に相当する
多ｆ（最大定格風ｔ）の排気を行なっている。この場合
、第５図に示した局排装置１４では、扉２７が完全に閉
じた状態では排気は行なわれないが、扉２１が半開状態
など一部でも開いているとマイクロスイッチ２２がオフ
状態であってＶＡＶＪ ９は最大排気状態になるので、
必要以上の排気が行なわれることになる。しかし、恒温
・恒湿状態に調和され比処理コストの高い清浄空気を必
要以上に排気することは不経済である。
また、第６図に示し九局排装置１４でも、扉２４が一部
でも開いている場合には押釦スイッチ２５がオフ状態に
操作されるので、やはシｖＡｖ１９は最大排気状態にな
って必要以上の排気が行なわれる。また、作業者が押釦
スイッチ２５の操作を誤つ次とき、扉２４が開いた状態
でＶＡＶＪ９が最小排気状態になると、汚染物質の送流
が生じ、作業上の安全面で危険な状態となる。
でも開いている場合には押釦スイッチ２５がオフ状態に
操作されるので、やはシｖＡｖ１９は最大排気状態にな
って必要以上の排気が行なわれる。また、作業者が押釦
スイッチ２５の操作を誤つ次とき、扉２４が開いた状態
でＶＡＶＪ９が最小排気状態になると、汚染物質の送流
が生じ、作業上の安全面で危険な状態となる。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、局排装置
の作業開口面の面風速を作業界の開口度に依らずほぼ一
定の規定直に保つと共に必要以上の排気を行なわないよ
うに自動的に制御でき、省エネルギを実現し得ると共に
作業上の安全面で危険な状態をまねくことを防止し得る
クリーンルームの送排気系を提供するものである。
の作業開口面の面風速を作業界の開口度に依らずほぼ一
定の規定直に保つと共に必要以上の排気を行なわないよ
うに自動的に制御でき、省エネルギを実現し得ると共に
作業上の安全面で危険な状態をまねくことを防止し得る
クリーンルームの送排気系を提供するものである。
即ち、本発明のクリーンルームの送排気系ハ、局所排気
装置の内外差圧の変イヒを検出する微差圧検出器を設け
、この検出器の検出出力を受けて上記差圧をほぼ一定に
保つように局所排気装置に連通ずる排気ダクト内に設け
られている可変風波バルブの開口量（排気ｔ）を制御す
るバルブ制御部を設けてなることを特徴とするものであ
る。
装置の内外差圧の変イヒを検出する微差圧検出器を設け
、この検出器の検出出力を受けて上記差圧をほぼ一定に
保つように局所排気装置に連通ずる排気ダクト内に設け
られている可変風波バルブの開口量（排気ｔ）を制御す
るバルブ制御部を設けてなることを特徴とするものであ
る。
局所排気装置の作業開口面の面風速およびその内外差圧
は、その作業界の開口度によって変化するものであり、
この開口度の変化を微差圧検出器で検出することができ
、この検出出力によυバルブ制御部を制御することによ
って、上記開口度に依らず作業開口面の面風速をほぼ一
定の規定値に保つと共に上記開口度に応じて前記バルブ
の排気量を可変制御することができる。
は、その作業界の開口度によって変化するものであり、
この開口度の変化を微差圧検出器で検出することができ
、この検出出力によυバルブ制御部を制御することによ
って、上記開口度に依らず作業開口面の面風速をほぼ一
定の規定値に保つと共に上記開口度に応じて前記バルブ
の排気量を可変制御することができる。
これによって、必要以上の排気が行なわれなくなり、省
エネルギが可能になり、従来例のような押釦スイッチに
対する誤った操作により作業上の安全面で危険な状態を
まねくおそれはなくなる。
エネルギが可能になり、従来例のような押釦スイッチに
対する誤った操作により作業上の安全面で危険な状態を
まねくおそれはなくなる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図に示す半導体装置製造ライン用クリーンルームの
送排気系は、第４図を参照して前述した従来の送排気系
に比べて、（１）局排装置１４内トクリーンルーム５と
の差圧を検出する第１の微差圧検出器（たとえば微差圧
発振器）３１を設け、この検出器３１の出力信号を受け
るＶＡＴ制御部３２により分岐排気ダクト１５内のＶ入
Ｖ３３を制御している点、（２）共通排気ダクト１６の
内外差圧を検出するための第２の微差圧検出器３４を設
け、この検出器３４の出力信号により排気ファン制御部
（たとえばインバータ式制御部）３５を制御して排気フ
ァン１８による総排気量を制御している点、（３）クリ
ーンルーム５の内外差圧を検出するための第３の微差圧
検出器３６ｔ−設け、この検出器３６の出力信号によシ
送風フ１ン制御部（たとえばインバータ式制御部）３７
を制御して送風７１ン７による送風量、外気取り入れ虚
を制御している点が異なり、その他は同じであるので第
４図中と同一符号を付している。
送排気系は、第４図を参照して前述した従来の送排気系
に比べて、（１）局排装置１４内トクリーンルーム５と
の差圧を検出する第１の微差圧検出器（たとえば微差圧
発振器）３１を設け、この検出器３１の出力信号を受け
るＶＡＴ制御部３２により分岐排気ダクト１５内のＶ入
Ｖ３３を制御している点、（２）共通排気ダクト１６の
内外差圧を検出するための第２の微差圧検出器３４を設
け、この検出器３４の出力信号により排気ファン制御部
（たとえばインバータ式制御部）３５を制御して排気フ
ァン１８による総排気量を制御している点、（３）クリ
ーンルーム５の内外差圧を検出するための第３の微差圧
検出器３６ｔ−設け、この検出器３６の出力信号によシ
送風フ１ン制御部（たとえばインバータ式制御部）３７
を制御して送風７１ン７による送風量、外気取り入れ虚
を制御している点が異なり、その他は同じであるので第
４図中と同一符号を付している。
前記第１の微差圧検出器３１は、局排装置１４の作業界
３８の開口度に応じて変化する局排装置１４内の差圧を
検出するものであり、クリーンルーム５内の空気が局排
装置１４内に流れ込む速度を検出して差圧検出を行なう
ようになりており、局排装置１４内の汚染物質によって
汚染されることはない。
３８の開口度に応じて変化する局排装置１４内の差圧を
検出するものであり、クリーンルーム５内の空気が局排
装置１４内に流れ込む速度を検出して差圧検出を行なう
ようになりており、局排装置１４内の汚染物質によって
汚染されることはない。
上記局排装置１４に対する第１の微差圧検出器３１の取
付状態の相異なる例を第２図（ａｔ 、 （ｂｌ、（Ｃ
）に示している。なお、ここでは、局排装置１４として
、たとえば単板型の作業用扉３８を有するものを示して
いるが、第６図に示したような複数の扉板を有する作業
用扉を使用してもよい。即ち、第２図（ａｌにおいては
、局排装置１４の外側（クリーンルーム５内）にｉｌの
微差圧検出器３１の本体３１．を設け、この本体３１）
に連通するパイプ３１宜の先熾を局排装置１４の作業開
口面１４□に対向しない側壁１４、を貫通させて局排装
置内部に連通させている。上記微差圧検出器３１は、ク
リーンルーム５内から上記検出器本体３ノ□、パイプ３
１□を通じて流れ込む空気の流速を検出し、それを差圧
に変換し、この差圧を開口面風速に変換する（なお、検
出流速と面風速とは比例関係にある）ことによって、ク
リーンルーム５内から作業開口面に流れ込む空気を間接
的に検出している。
付状態の相異なる例を第２図（ａｔ 、 （ｂｌ、（Ｃ
）に示している。なお、ここでは、局排装置１４として
、たとえば単板型の作業用扉３８を有するものを示して
いるが、第６図に示したような複数の扉板を有する作業
用扉を使用してもよい。即ち、第２図（ａｌにおいては
、局排装置１４の外側（クリーンルーム５内）にｉｌの
微差圧検出器３１の本体３１．を設け、この本体３１）
に連通するパイプ３１宜の先熾を局排装置１４の作業開
口面１４□に対向しない側壁１４、を貫通させて局排装
置内部に連通させている。上記微差圧検出器３１は、ク
リーンルーム５内から上記検出器本体３ノ□、パイプ３
１□を通じて流れ込む空気の流速を検出し、それを差圧
に変換し、この差圧を開口面風速に変換する（なお、検
出流速と面風速とは比例関係にある）ことによって、ク
リーンルーム５内から作業開口面に流れ込む空気を間接
的に検出している。
ま次、第２図（ｂ）においては、局排装置内部に作業開
口面１４□からの風を遮蔽する遮風板１４ｓを側壁１４
：から突設させ、局排装置１４外の第１の微差圧検出器
３１の本体３１゜からのパイプ３１．を上記側壁１４！
を貫通させ、ざらに上記遮風板１４．を貫通させて局排
装置１４内部で遮風板１４ｍにより作業開口面１４、か
ら遮蔽された部分に連通させている。
口面１４□からの風を遮蔽する遮風板１４ｓを側壁１４
：から突設させ、局排装置１４外の第１の微差圧検出器
３１の本体３１゜からのパイプ３１．を上記側壁１４！
を貫通させ、ざらに上記遮風板１４．を貫通させて局排
装置１４内部で遮風板１４ｍにより作業開口面１４、か
ら遮蔽された部分に連通させている。
また、第２図（ｃｌにおいては、局排装置１４外の第１
の微差圧検出器３１の本体３１）からのパイプ３１．を
分岐排気ダクｔ１５を貫通させ、局排装置内部で作業開
口ｃｆＪ１４□に対向させている。
の微差圧検出器３１の本体３１）からのパイプ３１．を
分岐排気ダクｔ１５を貫通させ、局排装置内部で作業開
口ｃｆＪ１４□に対向させている。
ま几、分岐排気ダクト１５に設けられているＶｋＶ３３
は、半導体装置製造に際して使用される酸、アルカリ系
薬品に対する耐薬品性に優れたものが使用される。
は、半導体装置製造に際して使用される酸、アルカリ系
薬品に対する耐薬品性に優れたものが使用される。
上記クリーンルームの送排気系において、局排装置１４
の作業扉３８の開口度が第１の微差１ ″′″″１
ｍ３１）１Ｃ″！′＋ｆｌ；′″１゛°°″ｈｍｍｉｔ
−受けるＶ Ａ Ｖ ｆｌｉ制御部３２は局排装置Ｉ４
内の差圧を一定に保つようにＶ入Ｖ３３の排気量を制御
御する。これによシ、局排装置１４は作業扉
３８の開口度（開口面の半分とか１／３ｆｆ１度が開い
ている状態）に依らずに開口面の面風速がほぼ一定値（
規定埴）に保友れると共に局排装置１４から必要以上の
排気は行なわれなくなり、省エネルギが可能になり、ク
リーンルーム運転のランニングコストが低減する。
の作業扉３８の開口度が第１の微差１ ″′″″１
ｍ３１）１Ｃ″！′＋ｆｌ；′″１゛°°″ｈｍｍｉｔ
−受けるＶ Ａ Ｖ ｆｌｉ制御部３２は局排装置Ｉ４
内の差圧を一定に保つようにＶ入Ｖ３３の排気量を制御
御する。これによシ、局排装置１４は作業扉
３８の開口度（開口面の半分とか１／３ｆｆ１度が開い
ている状態）に依らずに開口面の面風速がほぼ一定値（
規定埴）に保友れると共に局排装置１４から必要以上の
排気は行なわれなくなり、省エネルギが可能になり、ク
リーンルーム運転のランニングコストが低減する。
一方、上記したような局排装置１４における排気量制御
によって排気量が低下すると、共通排気ダクト１６内の
差圧が上昇し、この変化が第２の微差検出器３４により
検出され、この検出出力を受ける排気ファン制御部３５
は共通排気ダクト１６内の差圧を一定て保っように排気
ファン１８の回転数を落とし、全体の排気量を減少させ
る。このとき、排気フ１ン１８の回転数が落ちることに
より、その消費心力が節約されることになる。なお、排
気ファン１８は必らずしも排気ファン制御部３５による
回転数制御を行なうことなく、常に一定の回転数で動作
はせるようにしてもよい。
によって排気量が低下すると、共通排気ダクト１６内の
差圧が上昇し、この変化が第２の微差検出器３４により
検出され、この検出出力を受ける排気ファン制御部３５
は共通排気ダクト１６内の差圧を一定て保っように排気
ファン１８の回転数を落とし、全体の排気量を減少させ
る。このとき、排気フ１ン１８の回転数が落ちることに
より、その消費心力が節約されることになる。なお、排
気ファン１８は必らずしも排気ファン制御部３５による
回転数制御を行なうことなく、常に一定の回転数で動作
はせるようにしてもよい。
また、上述したような排気量の制御によってクリーンル
ーム５内の差圧が変動するが、この差圧変動が第３の微
差圧検出器３６により検出され、この検出出力を受ける
送風ファン制御部３７はクリーンルーム５内の差圧を一
定に保つように送風ファン７０回転数を制御し、送風量
および外気取り入れ−を制御する。これによって、クリ
ーンルーム５は適正な圧力（正圧）に維持されてクリー
ン度が維持される。
ーム５内の差圧が変動するが、この差圧変動が第３の微
差圧検出器３６により検出され、この検出出力を受ける
送風ファン制御部３７はクリーンルーム５内の差圧を一
定に保つように送風ファン７０回転数を制御し、送風量
および外気取り入れ−を制御する。これによって、クリ
ーンルーム５は適正な圧力（正圧）に維持されてクリー
ン度が維持される。
上記したクリーンルームの送排気系において、局排装置
１４の作業扉３８の開口度と定格に対する排気量（制？
Ｉ！＋結果）と開口面風速（制御結果）の関係を第３図
中に実線で示し、従来例における上記関係を点線で示し
ている。従来例の局排装置では、作業扉が全閉状態にな
るまでは排気量は殆んど変化せず、全閉状態にしない限
ジは省エネルギ効果が得られない。これに対して、本発
明では、作業扉の開口度に依存せずに規定の面風速（０
，５Ｎ／秒）以上に維持可能であり、かつ開口度に応じ
て排気量が制御可能であるので省エネルギ効果が得られ
る。
１４の作業扉３８の開口度と定格に対する排気量（制？
Ｉ！＋結果）と開口面風速（制御結果）の関係を第３図
中に実線で示し、従来例における上記関係を点線で示し
ている。従来例の局排装置では、作業扉が全閉状態にな
るまでは排気量は殆んど変化せず、全閉状態にしない限
ジは省エネルギ効果が得られない。これに対して、本発
明では、作業扉の開口度に依存せずに規定の面風速（０
，５Ｎ／秒）以上に維持可能であり、かつ開口度に応じ
て排気量が制御可能であるので省エネルギ効果が得られ
る。
この場合、第２図（ａ） 、 （ｂｌに示したように微
差圧検出器３）を取り付けた場合には、作業開口面から
流れ込む空気の風Ｆｆ、（勤王）の影響を直接て受ける
ことはなく、静圧のみ検出するので、差圧検出の特性の
直線性が良く、風量制御特性の直線性が良い。これに対
して、第２図（ｃ）に示したように微差圧検出器３ノを
取り付けた場合には、上記静圧だけでなく勤王の影響を
も受けるので、差圧検出特性の直線が少し悪くなシ、風
量制御特性の直線が少し悪くなるが、本発明の目的は達
成可能である。
差圧検出器３）を取り付けた場合には、作業開口面から
流れ込む空気の風Ｆｆ、（勤王）の影響を直接て受ける
ことはなく、静圧のみ検出するので、差圧検出の特性の
直線性が良く、風量制御特性の直線性が良い。これに対
して、第２図（ｃ）に示したように微差圧検出器３ノを
取り付けた場合には、上記静圧だけでなく勤王の影響を
も受けるので、差圧検出特性の直線が少し悪くなシ、風
量制御特性の直線が少し悪くなるが、本発明の目的は達
成可能である。
また、本発明の局排装置においては、扉開閉状態を作業
者の操作による押釦スイッチの出力により検出すること
なく、第１の微差圧検出器により扉開口車を検出して自
動的に排気°瀘制御を行なうので、作業者が押釦スイッ
チの操作を誤って局排装置内からクリーンルーム内に汚
染物質が流出することによって、作業上の安全面で危険
な状態をまねくおそれがなくなる。
者の操作による押釦スイッチの出力により検出すること
なく、第１の微差圧検出器により扉開口車を検出して自
動的に排気°瀘制御を行なうので、作業者が押釦スイッ
チの操作を誤って局排装置内からクリーンルーム内に汚
染物質が流出することによって、作業上の安全面で危険
な状態をまねくおそれがなくなる。
上述したように本発明のクリーンルームの送排気系によ
れば、局排装置の作業開口面の面風速を作業扉の開口度
に依らずほぼ一定の規定値に保つと共に必要以上の排気
を行なわないように自動的に制御でき、省エネルギを実
現できると共に作業上の安全面で危険な状態をまねくこ
とを防止できるので、半導体装置製造ライン用クリーン
ルームなどに適用して効果的である。
れば、局排装置の作業開口面の面風速を作業扉の開口度
に依らずほぼ一定の規定値に保つと共に必要以上の排気
を行なわないように自動的に制御でき、省エネルギを実
現できると共に作業上の安全面で危険な状態をまねくこ
とを防止できるので、半導体装置製造ライン用クリーン
ルームなどに適用して効果的である。
第１図は本発明のクリーンルームの送排気系の一実施例
を示す構成説明図、第２図ｆａｔ 、 （ｂ） 。 ｉｃ）はそれぞれ第１図中の局排装置における微差圧検
出器の取付状態の相異なる例を示す構成説明図、第３図
は第２図に示した局排装置における作業扉開口度と排気
量２面風速との関係を示す特性ＩＡ、第４図は従来のク
リーンルームの送排気系を示す構成説明図、！５図およ
び第６図はそれぞれ第４図中の局排装置の相異なる例を
示す構成説明図である。 ５・・・クリーンルーム、７・・・送風ファン、１４・
・・局所排気装置、１４．・・・側壁、１４ｍ・・・作
業開口扉、１４．・・・遮風板、１８・・・排気ファン
、３１．３４．３６・・・微差圧噴出器、３１）・・・
検出器本体、３ノ！・・・パイプ、３２・・・バルブ制
御部、３３・・・ｖＡｖ（可変）載量バルブ）、３５・
・・排気ファン制御部、３７・・・送風ファン制御部、
３８・・・作業扉。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦什茶瀞ＤＭ口度
（％） 第３図 第５図 ＩＣ 第６図 特許庁長官 宇賀 通ｆＳ 殿 １、事件の表示 特願昭６０−２１４５６９号 ２、発明の名称 クリーンルームの送排気系 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）株式会社 東芝 （ばか１名）４、代理人 東阜都港区虎ノ門１丁目２６ｆ１５号第１７森ビル６、
補正の対象 明細よ全文 ７、補正の内容
を示す構成説明図、第２図ｆａｔ 、 （ｂ） 。 ｉｃ）はそれぞれ第１図中の局排装置における微差圧検
出器の取付状態の相異なる例を示す構成説明図、第３図
は第２図に示した局排装置における作業扉開口度と排気
量２面風速との関係を示す特性ＩＡ、第４図は従来のク
リーンルームの送排気系を示す構成説明図、！５図およ
び第６図はそれぞれ第４図中の局排装置の相異なる例を
示す構成説明図である。 ５・・・クリーンルーム、７・・・送風ファン、１４・
・・局所排気装置、１４．・・・側壁、１４ｍ・・・作
業開口扉、１４．・・・遮風板、１８・・・排気ファン
、３１．３４．３６・・・微差圧噴出器、３１）・・・
検出器本体、３ノ！・・・パイプ、３２・・・バルブ制
御部、３３・・・ｖＡｖ（可変）載量バルブ）、３５・
・・排気ファン制御部、３７・・・送風ファン制御部、
３８・・・作業扉。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦什茶瀞ＤＭ口度
（％） 第３図 第５図 ＩＣ 第６図 特許庁長官 宇賀 通ｆＳ 殿 １、事件の表示 特願昭６０−２１４５６９号 ２、発明の名称 クリーンルームの送排気系 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）株式会社 東芝 （ばか１名）４、代理人 東阜都港区虎ノ門１丁目２６ｆ１５号第１７森ビル６、
補正の対象 明細よ全文 ７、補正の内容
Claims (4)
- （１）内部に局所排気装置を有するクリーンルームに対
する送風を行なう送風ファンおよび上記局所排気装置に
連通する排気ダクトを通じてクリーンルームから排気を
行なう排気ファンをそれぞれクリーンルーム外に設けて
なるクリーンルームの送排気系において、前記排気ダク
ト内に風量可変バブを設け、前記局所排気装置内とクリ
ーンルーム内との差圧の変化を検出する微差圧検出器を
設け、この微差圧検出器の検出出力を受けて前記差圧を
ほぼ一定に保つように前記可変風量バルブの排気量を制
御するバルブ制御部とを具備し、局所排気装置の作業扉
の開口度に依らず作業開口面の面風速をほぼ一定の規定
値に保つと共に上記開口度に応じて排気量を可変制御す
るようにしてなることを特徴とするクリーンルームの送
排気系。 - （２）前記可変風量バルブと排気ファンとの間における
排気ダクトの一部に第２の微差圧検出器を設けて排気ダ
クト内、外の差圧を検出し、この検出出力を排気ファン
制御部により受けて上記差圧をほぼ一定に保つように前
記排気ファンの回転数を制御するようにしてなることを
特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載のクリーンル
ームの送排気系。 - （３）前記クリーンルーム内、外の差圧を検出する第３
の微差圧検出器を設け、この検出器の出力を送風ファン
制御部により受けて上記差圧をほぼ一定に保つように前
記送風ファンの回転数を制御するようにしてなることを
特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載のクリーンル
ームの送排気系。 - （４）前記局所排気装置内、外の差圧を検出する微差圧
検出器は、クリーンルーム内から局所排気装置の作業開
口面に流れ込む空気の流速を間接的に検出することによ
って差圧検出を行なうことを特徴とする前記特許請求の
範囲第１項記載のクリーンルームの送排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60214569A JPS6277534A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60214569A JPS6277534A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6277534A true JPS6277534A (ja) | 1987-04-09 |
| JPH0313493B2 JPH0313493B2 (ja) | 1991-02-22 |
Family
ID=16657886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60214569A Granted JPS6277534A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | クリ−ンル−ムの送排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6277534A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206498A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Kajima Corp | 排気ファン風量制御システム |
| KR100394046B1 (ko) * | 2001-01-09 | 2003-08-09 | 주식회사 디에스테크 | 청소기 겸용 공조장치 |
| US6966364B1 (en) * | 1999-02-12 | 2005-11-22 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
| WO2005113169A1 (de) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Skan Ag | Verfahren und apparatur für den phasenwechsel in einem isolator |
| US20100061865A1 (en) * | 2008-09-10 | 2010-03-11 | Lucent Technologies, Inc. | System and/or method for monitoring and/or controlling the relative internal air pressure of a facility |
| JP2011054491A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Techno Ryowa Ltd | イオナイザーシステム及び局所排気システム |
| CN102620377A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-01 | 天津龙川鑫汇实验设备制造有限公司 | 民用及办公环境室内空气净化系统 |
| JP2017125641A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 株式会社日立製作所 | クリーンルーム用排気ユニット及びそれを備えるクリーンルーム用空調システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59153046A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 集中吸排気装置 |
| JPS6064145A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Asahi Kogyosha:Kk | 同一空気系内複数室の各室を特定室内圧に保持する給排気制御方式 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60214569A patent/JPS6277534A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS59153046A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 集中吸排気装置 |
| JPS6064145A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Asahi Kogyosha:Kk | 同一空気系内複数室の各室を特定室内圧に保持する給排気制御方式 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6966364B1 (en) * | 1999-02-12 | 2005-11-22 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
| US7389813B2 (en) * | 1999-02-12 | 2008-06-24 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
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| JP4606601B2 (ja) * | 2001-01-10 | 2011-01-05 | 鹿島建設株式会社 | 排気ファン風量制御システム |
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| CN102620377A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-01 | 天津龙川鑫汇实验设备制造有限公司 | 民用及办公环境室内空气净化系统 |
| CN102620377B (zh) * | 2012-04-23 | 2015-09-02 | 天津龙川鑫汇实验设备制造有限公司 | 民用及办公环境室内空气净化系统 |
| JP2017125641A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 株式会社日立製作所 | クリーンルーム用排気ユニット及びそれを備えるクリーンルーム用空調システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0313493B2 (ja) | 1991-02-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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