JPS59205539A - 空調システムの給排気制御方式 - Google Patents
空調システムの給排気制御方式Info
- Publication number
- JPS59205539A JPS59205539A JP58079612A JP7961283A JPS59205539A JP S59205539 A JPS59205539 A JP S59205539A JP 58079612 A JP58079612 A JP 58079612A JP 7961283 A JP7961283 A JP 7961283A JP S59205539 A JPS59205539 A JP S59205539A
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- JP
- Japan
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- air
- exhaust
- conditioned room
- fan
- amount
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１） 発明の技術分野
本発明は、クリーンルーム等の空調室内へ給排気を行う
空調システムの給排気制御装置に係り、特に空調室内の
設備の稼働状況に応じて排気を行うと共に、これにバラ
ンスする量だけの給気を行うことによって空調負荷エネ
ルギーの節減を図シ得る空調システムの給排気制御方式
■） 従来技術と問題点 従来、クリーンルーム等の空調室内へ給排気を行う空調
システムは、第１図に示すように空調室１に対してその
外部から外胴機２及び空調機３で適度の温度、湿度に調
節した外気をフィルタ４を介して矢印Ａのように給気す
ると共に、空調室内を循環させて環気口４′よシ環気さ
せ、上記空調室内を所定の圧力下に保持している。
空調システムの給排気制御装置に係り、特に空調室内の
設備の稼働状況に応じて排気を行うと共に、これにバラ
ンスする量だけの給気を行うことによって空調負荷エネ
ルギーの節減を図シ得る空調システムの給排気制御方式
■） 従来技術と問題点 従来、クリーンルーム等の空調室内へ給排気を行う空調
システムは、第１図に示すように空調室１に対してその
外部から外胴機２及び空調機３で適度の温度、湿度に調
節した外気をフィルタ４を介して矢印Ａのように給気す
ると共に、空調室内を循環させて環気口４′よシ環気さ
せ、上記空調室内を所定の圧力下に保持している。
一方、上記空調室内に設置される複数の生産膜（１５ａ
、５ ｂの稼働において、該生産設備５ａ、５ｂからそ
れぞれガスや、蒸気や、熱等が発生するため、排気吸込
口６ａｓ６ｂからの排気経路７に排気ファン８を設けて
矢印Ｂのように排気が行われる。そして、上記排気ファ
ン８による空調室１内からの排気風値は、第１の生産設
備５ａおよび第２の生産設備５ｂ各々の排気風ｉＶ１、
ｖ２０合計量ｖ３として設定され、この排気風量ｖ３を
外部に排出し得る大きな回転速度で上記排気ファン８を
運転していた。
、５ ｂの稼働において、該生産設備５ａ、５ｂからそ
れぞれガスや、蒸気や、熱等が発生するため、排気吸込
口６ａｓ６ｂからの排気経路７に排気ファン８を設けて
矢印Ｂのように排気が行われる。そして、上記排気ファ
ン８による空調室１内からの排気風値は、第１の生産設
備５ａおよび第２の生産設備５ｂ各々の排気風ｉＶ１、
ｖ２０合計量ｖ３として設定され、この排気風量ｖ３を
外部に排出し得る大きな回転速度で上記排気ファン８を
運転していた。
即ち、上記排気風量■３とバランスさせるために、外調
機２の給気ファン９は（Ｖ３＋α）の給気風量を送シ込
めるだけの大きな回転速度で運転する必要があった。こ
こで、第−及び第二の生産設備５ａ、５ｂは常に同時に
運転されるわけではなく、どちらか一方のみを稼働し他
は休止している場合がちる。しかし、このような場合に
おいても、上記排気ファン８及び給気ファン９はその最
大量のｖ３又は（Ｖ３＋α）の風量をおこす大きな回転
速度で運転されていた。すなわち、上記排気ファン８及
び給気ファン９は、複数の生産設備５ａ、５ｂの稼動状
況に関係なく常に最大風量の回転速度で運転されるため
、生産設備が低稼働時においては盛装以上の排気及び給
気を行うこととなり、空調負荷エネルギが無駄に消費さ
れていた。
機２の給気ファン９は（Ｖ３＋α）の給気風量を送シ込
めるだけの大きな回転速度で運転する必要があった。こ
こで、第−及び第二の生産設備５ａ、５ｂは常に同時に
運転されるわけではなく、どちらか一方のみを稼働し他
は休止している場合がちる。しかし、このような場合に
おいても、上記排気ファン８及び給気ファン９はその最
大量のｖ３又は（Ｖ３＋α）の風量をおこす大きな回転
速度で運転されていた。すなわち、上記排気ファン８及
び給気ファン９は、複数の生産設備５ａ、５ｂの稼動状
況に関係なく常に最大風量の回転速度で運転されるため
、生産設備が低稼働時においては盛装以上の排気及び給
気を行うこととなり、空調負荷エネルギが無駄に消費さ
れていた。
（３）発明の目的
本発明は上記の問題点を解消するためになされたもので
、空調室内の設備の稼働状況に応じて排気を行うと共に
これにバランスする量だけの給気を行うようにし、空調
負荷エネルギの節減を図ることができる空調システムの
給排気制御方式を提供することを目的とする。
、空調室内の設備の稼働状況に応じて排気を行うと共に
これにバランスする量だけの給気を行うようにし、空調
負荷エネルギの節減を図ることができる空調システムの
給排気制御方式を提供することを目的とする。
（（イ） 発明の構成
そして上記の目的は本発明によれば、複数の生産設備が
設置される空調室内部に外気を供給する外調機、空調機
料々における給気ファン、該外調機の給気ファンの回転
速度を空調室の圧力変化に応じて調節する手段を有する
と共に、初期起動時に上記供給される外気の童を所定の
遅延を有して徐々に可変させる手段とを有する給気制御
部、上記空調室内部の生産設備の稼働状況に応じて該空
調室内からの排気風量を決定する風量設定器、上記排気
風量に応じて排気ファンの回転速度を調節すると共に、
該回転速度を所定の遅延を有して徐々に上昇させる排気
ファン制御部、および上記排気ファンの回転速度に対応
して変化する空調室内の圧力の変化を感知する差圧検出
器とを備え構成したことを゛特徴とする給排気制御装置
を提供することによって達成される。
設置される空調室内部に外気を供給する外調機、空調機
料々における給気ファン、該外調機の給気ファンの回転
速度を空調室の圧力変化に応じて調節する手段を有する
と共に、初期起動時に上記供給される外気の童を所定の
遅延を有して徐々に可変させる手段とを有する給気制御
部、上記空調室内部の生産設備の稼働状況に応じて該空
調室内からの排気風量を決定する風量設定器、上記排気
風量に応じて排気ファンの回転速度を調節すると共に、
該回転速度を所定の遅延を有して徐々に上昇させる排気
ファン制御部、および上記排気ファンの回転速度に対応
して変化する空調室内の圧力の変化を感知する差圧検出
器とを備え構成したことを゛特徴とする給排気制御装置
を提供することによって達成される。
（５）発明の実施例
以下、本発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。
第２図は、本発明一実施例の空調システムの給排気制御
方式を説明するだめの図である。
方式を説明するだめの図である。
図において、空調室１は、空気中の埃の粒子や他の汚染
物を入念に取り除き精巧な機器の組立などに使用される
クリーンルーム寺であり、外調機２、空調機３等によっ
て外気が給気され所定の圧力に保持される。上記空調室
１内には、複数の生産設備、例えば第１の生産設備５ａ
。
物を入念に取り除き精巧な機器の組立などに使用される
クリーンルーム寺であり、外調機２、空調機３等によっ
て外気が給気され所定の圧力に保持される。上記空調室
１内には、複数の生産設備、例えば第１の生産設備５ａ
。
第２の生産設備５ｂが設けられている。そして、この生
産設備５ａ、５ｂの使用に際してはその作業の種類に応
じてガスや蒸気や熱等を発生するので、その上部にはそ
れらを集めて外部へ排出する排気吸込口６ａ、６ｂがそ
れぞれ設けられている。そして、上記排気吸込口６ａ％
６ｂからは排気経路Ｔが延び、その先端部には排気ファ
ン８が設けられておｐ１矢印Ｂのように排気される。
産設備５ａ、５ｂの使用に際してはその作業の種類に応
じてガスや蒸気や熱等を発生するので、その上部にはそ
れらを集めて外部へ排出する排気吸込口６ａ、６ｂがそ
れぞれ設けられている。そして、上記排気吸込口６ａ％
６ｂからは排気経路Ｔが延び、その先端部には排気ファ
ン８が設けられておｐ１矢印Ｂのように排気される。
このとき、排気ファン８の回転に伴う空調室１内の排気
風量は、生産設備５ａ、５ｂの稼働に応じて、例えば生
産設備５ａのみのときはＶｌと決定し、生産設備５ｂの
みのときはｖ２と決定し、更には生産設備５ａ、５ｂ両
方のときはＶ３（＝Ｖ１＋Ｖ２）と決定される。ソシテ
、上記排気風量Ｖｌ、Ｖ２、あるいはｖ３について風蓋
設定器１５によって排気ファン８の回転速度を調節する
排気ファン制御部２１の第１の回転数制御装置１７にそ
れに対応する信号ｓ１を遅延回路１６を介して送出する
。
風量は、生産設備５ａ、５ｂの稼働に応じて、例えば生
産設備５ａのみのときはＶｌと決定し、生産設備５ｂの
みのときはｖ２と決定し、更には生産設備５ａ、５ｂ両
方のときはＶ３（＝Ｖ１＋Ｖ２）と決定される。ソシテ
、上記排気風量Ｖｌ、Ｖ２、あるいはｖ３について風蓋
設定器１５によって排気ファン８の回転速度を調節する
排気ファン制御部２１の第１の回転数制御装置１７にそ
れに対応する信号ｓ１を遅延回路１６を介して送出する
。
即ち、排気ファン８は上記信号ｓ１に応じた回転速度で
回転されると共に、該回転に際しては遅延回路１６によ
って設定される遅延を有して徐々に回転速度が上昇され
、上記生産設備の稼働に応じた排気が行われる。
回転されると共に、該回転に際しては遅延回路１６によ
って設定される遅延を有して徐々に回転速度が上昇され
、上記生産設備の稼働に応じた排気が行われる。
次に、上記生産設備５ａ、５ｂの稼働に伴う空調室１内
の排気によって、該空調室１内の圧力が低下する。該空
調室１内の圧力の低下については、圧力センナ１８にょ
シ感知すると共に、その圧力低下を給気ファン制御部２
２における第２の回転数制御装置２ｏに信号ｓ２として
送出する。
の排気によって、該空調室１内の圧力が低下する。該空
調室１内の圧力の低下については、圧力センナ１８にょ
シ感知すると共に、その圧力低下を給気ファン制御部２
２における第２の回転数制御装置２ｏに信号ｓ２として
送出する。
即ち、上記第２の回転数制御装置２ｏは上記空調室１内
の圧力低下を信号Ｓ２に応じて給気ファン９０回転速度
を可変させ、上記生産設備５ａｓｓｂの稼働に伴う空調
室１内の圧力低下にバランスするだけの給気を行う。こ
れによって、上記空調室１内の圧力は所定設定値に常に
略一定圧力として保持される。
の圧力低下を信号Ｓ２に応じて給気ファン９０回転速度
を可変させ、上記生産設備５ａｓｓｂの稼働に伴う空調
室１内の圧力低下にバランスするだけの給気を行う。こ
れによって、上記空調室１内の圧力は所定設定値に常に
略一定圧力として保持される。
尚、ここで注意すべき点は上す己生産設＊Ｓａ。
５ｂの稼動に伴う空調室１内の排気風量の設定に際して
、排気ファン８０回転速度を可変し得る第１の回転数制
御装置１７への排気風量を決定する信号Ｓ１について、
遅延回路１６を介して送出することであり、上記空Ｘ室
１内の圧力低下をゆるやかな変化として送出し得るもの
である。そして、上記空調室１内の圧力低下をゆるやか
な変化として、この圧力の変花を感知する圧力センサ１
Ｂに感知させ、該感知に対応する信号Ｓ２を直接給気フ
ァン９に入力し、それに応じた給気を行い得るようにし
ている。上記排気に際する圧力の変化について、第４図
を参照して詳述する。
、排気ファン８０回転速度を可変し得る第１の回転数制
御装置１７への排気風量を決定する信号Ｓ１について、
遅延回路１６を介して送出することであり、上記空Ｘ室
１内の圧力低下をゆるやかな変化として送出し得るもの
である。そして、上記空調室１内の圧力低下をゆるやか
な変化として、この圧力の変花を感知する圧力センサ１
Ｂに感知させ、該感知に対応する信号Ｓ２を直接給気フ
ァン９に入力し、それに応じた給気を行い得るようにし
ている。上記排気に際する圧力の変化について、第４図
を参照して詳述する。
第４図において、波形Ｃは遅延回路１６を介さない場合
における空調室１内の圧力の変化を示し、波形ｄは遅延
回路１６を介した場合における空調室１内の圧力の変化
を示す各々の波形特性である。そして、図中設定値とは
上記空調室１内において保持すべき圧力であシ、生産設
備が稼働しない通常の状態における圧力を示している。
における空調室１内の圧力の変化を示し、波形ｄは遅延
回路１６を介した場合における空調室１内の圧力の変化
を示す各々の波形特性である。そして、図中設定値とは
上記空調室１内において保持すべき圧力であシ、生産設
備が稼働しない通常の状態における圧力を示している。
ここで、例えば生産設備５ａ、５ｂを稼働した場合には
、空調室１内は急激な圧力の低下を生じ波形Ｃとなる。
、空調室１内は急激な圧力の低下を生じ波形Ｃとなる。
これは、遅延回路１６を介さなかったときに、上記生産
設備５ａ％５ｂの稼動に伴う排気風量の設定によって排
気ファン８が最大の回転速度で回転し、上記空調室１内
の圧力を急激に低下させるためである。
設備５ａ％５ｂの稼動に伴う排気風量の設定によって排
気ファン８が最大の回転速度で回転し、上記空調室１内
の圧力を急激に低下させるためである。
一方、遅延回路１６を介した場合には生産設備５ａ、５
ｂの稼働に伴う排気風量の設定についてＱｒ定の遅延を
有して徐々に排気ファン８の回転速度を上昇させるため
、急激な圧力の変化を招くことがない。
ｂの稼働に伴う排気風量の設定についてＱｒ定の遅延を
有して徐々に排気ファン８の回転速度を上昇させるため
、急激な圧力の変化を招くことがない。
部ち、該排気ファン８の回転速度を可変とし得る第１の
回転数制御装置１１へ送出される信号Ｓ１を遅延させな
がら送出することによって、上記生産設備５ａ、５ｂの
稼働に伴う圧力低下をゆるやかにでき、該ゆるやかな圧
力低下に対応させて給気が行うことができて急激な変化
を生じない波形ｄとし得るものである。
回転数制御装置１１へ送出される信号Ｓ１を遅延させな
がら送出することによって、上記生産設備５ａ、５ｂの
稼働に伴う圧力低下をゆるやかにでき、該ゆるやかな圧
力低下に対応させて給気が行うことができて急激な変化
を生じない波形ｄとし得るものである。
更に、外調機２の初期起動に際しては、外気取入ダンパ
ー２３を遅延回路１９を介して徐々に開き、外気の取入
量を徐々に上昇させることによって同等の効果を達成し
得る。これは、第３図に示すように遅延回路１９を介さ
なかった場合における急激な圧力変化（図中、波形ａ）
を、上記遅延回路１９を介することによって給気ファン
９の回転速度をゆるやかに上昇させ、波形すとすること
で空調室１内への給気をゆるやかにできるからである。
ー２３を遅延回路１９を介して徐々に開き、外気の取入
量を徐々に上昇させることによって同等の効果を達成し
得る。これは、第３図に示すように遅延回路１９を介さ
なかった場合における急激な圧力変化（図中、波形ａ）
を、上記遅延回路１９を介することによって給気ファン
９の回転速度をゆるやかに上昇させ、波形すとすること
で空調室１内への給気をゆるやかにできるからである。
（６） 発明の効果
本発明は以上のように構成されたので、空調室１内の生
産設備５ａ、５ｂの稼働状況に応じて排気すべき風量の
大小を決定すると共に排気ファン８０回転速度を調節し
て排気し、このときの空調室１内の圧力変化を感知して
上記空調菟１内へ給気すべき風量を決定すると共に、初
期起動時における第一〇給気ファン９で取入れる外気量
を１節して給気することができる。したがって、必要な
量だけの排気を行うと共にこれにバランスする童だけの
給気を行い、従来のように常に最大風量の回転速度で排
気ファン及び給気ファンを運転させることなく、空調負
荷エネルギの節減を図ることができる。また、排気ファ
ン８への排気信号Ｓ１の入力は、遅延回路１６を介して
行い、又、給気ファン９の初期起動時の外気取入量も、
遅延回路１９を介して変化させるようにしたので空調室
１内の圧力の急激な変化を生じさせることなく、短時間
で安定した状態に復帰させることができ常時該空調室１
内を略一定圧力の状態に保つことができる。
産設備５ａ、５ｂの稼働状況に応じて排気すべき風量の
大小を決定すると共に排気ファン８０回転速度を調節し
て排気し、このときの空調室１内の圧力変化を感知して
上記空調菟１内へ給気すべき風量を決定すると共に、初
期起動時における第一〇給気ファン９で取入れる外気量
を１節して給気することができる。したがって、必要な
量だけの排気を行うと共にこれにバランスする童だけの
給気を行い、従来のように常に最大風量の回転速度で排
気ファン及び給気ファンを運転させることなく、空調負
荷エネルギの節減を図ることができる。また、排気ファ
ン８への排気信号Ｓ１の入力は、遅延回路１６を介して
行い、又、給気ファン９の初期起動時の外気取入量も、
遅延回路１９を介して変化させるようにしたので空調室
１内の圧力の急激な変化を生じさせることなく、短時間
で安定した状態に復帰させることができ常時該空調室１
内を略一定圧力の状態に保つことができる。
また、上記急激な圧力の変化を軽減することで空調室内
の壁、天井等の破損を防止させる効果を有する。
の壁、天井等の破損を防止させる効果を有する。
第１図は従来の空調システムの給排気の状態テムの給排
気制御方式を示す説明図、第３図、第４図は本発明によ
る空調システムの給排気制御方式における圧力の変化を
示す波形付法を示す説明図である。 １・・・−・・空ＷＭ室 ２・・・・・・外脚機 ３・・・・・・空調機 ４・・・・・・フィルタ ５ａ・・・・・・第一の生産設備 ５ｂ・・・・・・第二の生産設備 ５ａ、５ｂ・・・・・・排気吸込口 Ｉ・・・・・・排気経路 ８・−・・・・排気ファン ９・・・・・・第一〇給気ファン １０・・・・・・第二〇給気７アン １１・・・・・・給気経路 １５・・・・・・風量設定器 １６・・・・・・第一の遅延回路 １７・・・・・・第一の回転数制御装置１８・・・・・
・圧力センサ １９・・・・・・第二の遅延回路 ２０・・・・・・第二の回転数制御装置２１・・・・・
・排気ファン制御部 ２２・・・・・・給気側＃部 ｖｌ、ｖ２、Ｖ３・・・・・・排気風量ｖ１＋α１、ｖ
２＋α２、ｖ３＋α・・・・・・給気風量２３・・・・
・・外気取入ダンパー 出願人 富士通株式会社 同 （株）日本設計事務所 同 （株）朝日工業社 同 （株）大気社 第３図 を 第４図 第１頁の続亀− ０発 明 者 斉藤正信 ５、東京都新宿区西新宿２丁目６番 １号株式会社大気社内 ■出 願 人 株式会社日本設計事務所東京都新宿区西
新宿２丁目１番 １号 ＠出 願 人 株式会社朝日工業社 東京都港区浜松町１丁目２５番７ 号 ■出 願 人 株式会社大気社 東京都新宿区西新宿２丁目６番 １号
気制御方式を示す説明図、第３図、第４図は本発明によ
る空調システムの給排気制御方式における圧力の変化を
示す波形付法を示す説明図である。 １・・・−・・空ＷＭ室 ２・・・・・・外脚機 ３・・・・・・空調機 ４・・・・・・フィルタ ５ａ・・・・・・第一の生産設備 ５ｂ・・・・・・第二の生産設備 ５ａ、５ｂ・・・・・・排気吸込口 Ｉ・・・・・・排気経路 ８・−・・・・排気ファン ９・・・・・・第一〇給気ファン １０・・・・・・第二〇給気７アン １１・・・・・・給気経路 １５・・・・・・風量設定器 １６・・・・・・第一の遅延回路 １７・・・・・・第一の回転数制御装置１８・・・・・
・圧力センサ １９・・・・・・第二の遅延回路 ２０・・・・・・第二の回転数制御装置２１・・・・・
・排気ファン制御部 ２２・・・・・・給気側＃部 ｖｌ、ｖ２、Ｖ３・・・・・・排気風量ｖ１＋α１、ｖ
２＋α２、ｖ３＋α・・・・・・給気風量２３・・・・
・・外気取入ダンパー 出願人 富士通株式会社 同 （株）日本設計事務所 同 （株）朝日工業社 同 （株）大気社 第３図 を 第４図 第１頁の続亀− ０発 明 者 斉藤正信 ５、東京都新宿区西新宿２丁目６番 １号株式会社大気社内 ■出 願 人 株式会社日本設計事務所東京都新宿区西
新宿２丁目１番 １号 ＠出 願 人 株式会社朝日工業社 東京都港区浜松町１丁目２５番７ 号 ■出 願 人 株式会社大気社 東京都新宿区西新宿２丁目６番 １号
Claims (1)
- 複数の生産設備が設置される空調室内部に外気を供給す
る外胴機、空調機料々における給気ファン、該外胴機の
給気ファンの回転速度を空調室の圧力変化に応じて調節
する手段を有すると共に、初期起動時に上記供給される
外気の量を所定の遅延を有して徐々に可変させる手段と
を有する給気制御部、上記空調室内部の生産設備の稼働
状況に応じて該空調室内からの排気風景を決定する風量
設定器、上記排気風量に応じて排気ファンの回転速度を
調節すると共に、該回転速度を所定の遅延を有して徐々
に上昇させる排気ファン制御部、および上記排気ファン
の回転速度に対応して変化する空調室内の圧力の変化を
感知する差圧検出器とを備え構成し、初期起動における
上記外胴機よシ上記空調室内部への外気の供給を所定の
遅延を有して行う・と共に、上記生産設備の稼働状況に
応じた排気について上記排気ファンの回転速度を徐々に
上昇すせ上記空調室内の排気を行うことを特徴とする空
調システムの給排気制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079612A JPS59205539A (ja) | 1983-05-07 | 1983-05-07 | 空調システムの給排気制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079612A JPS59205539A (ja) | 1983-05-07 | 1983-05-07 | 空調システムの給排気制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59205539A true JPS59205539A (ja) | 1984-11-21 |
Family
ID=13694860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58079612A Pending JPS59205539A (ja) | 1983-05-07 | 1983-05-07 | 空調システムの給排気制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59205539A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5538471A (en) * | 1994-11-15 | 1996-07-23 | Innovative Air Systems, Inc. | Dynamic particulate control system and method of operation |
| JP2002039580A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Okumura Corp | 高度清浄施設における室圧制御方法 |
| EP1512921A1 (en) * | 2003-09-08 | 2005-03-09 | Lg Electronics Inc. | Method for controlling flow rate of ventilating air in air conditioner |
| US7201787B2 (en) | 2003-09-15 | 2007-04-10 | Lg Electronics Inc. | Air cleaner and method of controlling operation thereof |
-
1983
- 1983-05-07 JP JP58079612A patent/JPS59205539A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5538471A (en) * | 1994-11-15 | 1996-07-23 | Innovative Air Systems, Inc. | Dynamic particulate control system and method of operation |
| JP2002039580A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Okumura Corp | 高度清浄施設における室圧制御方法 |
| JP4558152B2 (ja) * | 2000-07-27 | 2010-10-06 | 株式会社奥村組 | 高度清浄施設における室圧制御方法 |
| EP1512921A1 (en) * | 2003-09-08 | 2005-03-09 | Lg Electronics Inc. | Method for controlling flow rate of ventilating air in air conditioner |
| US7201787B2 (en) | 2003-09-15 | 2007-04-10 | Lg Electronics Inc. | Air cleaner and method of controlling operation thereof |
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