JP2015187533A - クリーンルーム - Google Patents
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Abstract
Description
この態様によれば、第1エリアより気圧の低い第2エリアの空気を取り込んで、第1エリアに供給するので、第1エリアに供給される空気の温度調節及び湿度調節を行うコストを削減することができる。
これによれば、第2エリアで若干温度変化した空気を再び空調機で処理することができる。
これによれば、第2エリア以外の外部から第1エリアに空気が流入することを抑制できる。
これによれば、第2エリアの気圧を低くすることに伴って第1エリアの気圧も低くできることに加え、第3エリアから第2エリアへの空気の流入をエアーロック室によって抑制することができる。
これによれば、エアーロック室又は第3エリアから第1エリアに空気が流入することを抑制できる。
図1は、本発明の実施形態に係るクリーンルームの平面図である。このクリーンルームは、クリーンエリア10と、グレイエリア11と、バッファーエリア12と、二次更衣室13と、一次エリア14と、エアーロック室15と、を有している。それぞれのエリア又は室は、壁、天井及び床によって互いに隔離され、それぞれ内部の空気が調整及び管理される。空気の調整及び管理は、空気の温度、湿度、清浄度及び気圧の調整及び管理を含む。クリーンエリア10又はグレイエリア11が、本発明の第1エリアに相当し、バッファーエリア12が、本発明の第2エリアに相当し、二次更衣室13が、本発明の第3エリアに相当する。
グレイエリア11は、半導体製品を製造するための製造装置11aが設置されるエリアである。グレイエリア11は、クリーンエリア10の周りを囲んで位置している。グレイエリア11は、製造装置11aから出る排熱などに対処するため、クリーンエリア10とは別に内部の空気が調整及び管理される。グレイエリア11には、クリーンエリア10に次ぐ高い清浄度が要求される。
二次更衣室13は、バッファーエリア12の外側に、エアーロック室15の隣に位置している。二次更衣室13は、作業者が無塵衣を着脱するための更衣室である。二次更衣室13にも、ある程度の清浄度が要求されるが、グレイエリア11ほど高い清浄度ではなくてもよい。
図2は、図1に示されるそれぞれのエリア又は室における気圧を示すグラフである。
クリーンエリア10は、グレイエリア11より高い気圧を有するように調整される。これにより、グレイエリア11から洗浄度の高いクリーンエリア10に空気が流入することを抑制できる。クリーンエリア10又はグレイエリア11の気圧は、本発明における第1の気圧に相当する。
図1を再び参照すると、クリーンエリア10及びグレイエリア11には、第1配管21によって外部空気が導入される。第1配管21には、ファン23と、フィルター25と、空調機26とが設けられている。ファン23は、第1配管21に空気流を発生させることにより、外部空気を強制的に取り込んでクリーンエリア10及びグレイエリア11に供給する。フィルター25は、外部空気に含まれる塵埃などを取り除いて外部空気を清浄化する。
図3及び図4は、図1に示されるクリーンルームの上下の構造を示す側面透視図である。図3及び図4には、天井エリア16と、リターンチャンバー17と、ユーティリティーエリア18と、空気循環エリア19とが示されている。天井エリア16は、クリーンエリア10及びグレイエリア11の上層に位置する。リターンチャンバー17及びユーティリティーエリア18は、クリーンエリア10及びグレイエリア11の下層に位置する。空気循環エリア19は、バッファーエリア12よりも内側の位置において、リターンチャンバー17と天井エリア16とを接続する。ユーティリティーエリア18は、電源装置や薬液の配管などが配置されたエリアであり、クリーンエリア10又はグレイエリア11ほどの清浄度を要求されないエリアである。
Claims (5)
- 第1の気圧を有する第1エリアと、
前記第1エリアの隣に位置し、前記第1の気圧より低い第2の気圧を有する第2エリアと、
外部空気を取り込んで前記第1エリアに供給する第1配管と、
前記第2エリアの空気を取り込んで前記第1配管に供給する第2配管と、
を具備する、クリーンルーム。 - 前記第1配管に配置された空調機をさらに具備し、
前記第2配管は、前記第1配管の前記空調機が配置された位置よりも、上流側の位置において、前記第2エリアの空気を前記第1配管に供給する、
請求項1記載のクリーンルーム。 - 前記第1エリアは、前記第2エリアに囲まれて位置する、
請求項1又は請求項2記載のクリーンルーム。 - 前記第2エリアの隣に位置するエアーロック室と、
前記エアーロック室の隣に位置し、前記第2の気圧より高い第3の気圧を有する第3エリアと、
をさらに具備する、請求項1又は請求項2記載のクリーンルーム。 - 前記第1エリアは、前記第2エリアに囲まれて位置し、
前記エアーロック室及び前記第3エリアは、前記第1エリアを囲む前記第2エリアの外側に位置する、
請求項4記載のクリーンルーム。
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JP2001263748A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-09-26 | Ricoh Co Ltd | 省エネルギー型クリーンルーム |
JP2003047457A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-18 | Sanyo Electric Medica Systems Co Ltd | ベクター作製施設およびベクター作製方法 |
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2014
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Patent Citations (3)
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