JP2001244187A - 保守システム、保守方法、露光装置及び記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 複数の保守対象装置が異なる場所に分散して
いる場合に、これら保守対象装置を効率的に保守し、迅
速に異常に対応することを可能とする。 【解決手段】 複数の装置（Ｔｉ）を保守管理する保守
システム（１０００）において、各装置（Ｔｉ）の異常
を検出する異常検出手段（１００１）で異常が検出され
た場合であって、かつ、該異常に対処するための保守情
報が保守情報記憶手段（１００８）に記憶されていない
場合に、該異常を対処方法通知手段（１００４）に通知
する異常通知手段（１００２）と、保守情報記憶手段
（１００８）に記憶されている保守情報を更新する保守
情報更新手段（１００３）と、異常通知手段（１００
２）による異常の通知があった場合、該異常に対処する
ために新たに作成された対処方法を、前記複数の装置の
うち少なくとも該異常が検出された装置に通知する対処
方法通知手段（１００４）を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は装置を保守するため
の保守システム、保守方法及び保守方法を実現するプロ
グラムを記録した記録媒体並びに保守機能を備えた露光
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、保守を必要とする装置について異
常が検出された際、保守要員が異常検出された保守対象
装置のオペレータと異常に係わる情報及び異常に係わる
情報を解析した結果等を電話等でやりとりしたり、保守
要員が直接保守対象装置の設置場所に赴いたりしてい
た。また、定期保守は、保守要員が保守対象装置の設置
場所に赴いて行なっていた。異常対応及び定期保守の結
果は、各保守対象装置毎にオペレータが保管するマニュ
アルに定期的に反映されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、保守対象装置
が遠隔地に設置されている場合、異常から保守対象装置
を復旧するために、又は定期保守のために、保守要員が
現地に赴くことは困難であり、かつ、現地に赴いていた
のでは、保守対象装置が異常から復旧するまで時間がか
かるという問題があった。

【０００４】また、保守対象となる装置が複雑な場合や
保守対象となる装置が多数存在する場合、保守対象装置
の異常に対する対応や定期保守に関する保守情報は膨大
になる。膨大な保守情報に基づいて、複雑な装置の異常
を解析することには時間がかかるため、異常から迅速に
復旧することは困難であった。さらに、保守対象装置が
多数存在する場合、各保守対象装置で起こった異常に対
処するために作成された対処方法に基づいて、異常の起
こった保守対象装置のみならず、同じ異常が起こりうる
他の保守対象装置についてもその対処方法を反映するよ
うにマニュアルを改訂することには時間が必要であっ
た。

【０００５】ある保守対象装置で既に発生したことのあ
る異常であっても、マニュアルを改訂するまでの間に他
の保守対象装置で同じ異常が生じることが多い。しか
し、マニュアルの改訂があるまで他の保守対象装置で
は、その異常に対処する対処方法が分からない。対処方
法が分かれば保守要員が対応しなくとも迅速に復旧でき
るような異常であっても、マニュアルの改訂までの間、
保守要員が複数の保守対象装置について同じ作業を何度
も繰り返すという問題もあった。

【０００６】さらに、保守対象装置が特殊な使用環境の
もとで使用されている場合、又は保守対象装置の仕様が
変更されている場合、保守要員が想定していた使用環境
及び仕様と実際の使用環境及び仕様が異なっていたため
に予想もつかなかったような特殊な異常が発生したりす
ることがあった。この場合、異常が起こる前に予め使用
環境等を変更したことを保守要員に通知していなけれ
ば、保守要員が異常に対して適切な対処をすることは難
しい。特に、使用環境等を変更した直後に異常が起こり
やすい傾向にある。しかし、事前に保守対象装置から保
守要員に対して、装置の使用環境や仕様変更に関する情
報を迅速に提供する手だてがなかった。

【０００７】本発明は、上記問題を解決し、特に多数の
保守対象装置が異なる場所に分散している場合に、これ
ら保守対象装置を効率的に保守し、迅速に異常に対応
し、かつ保守対象装置と保守要員が双方向に情報を通信
しあうことを可能とする保守システム、保守方法及び保
守方法を実現するプログラムを記録した記録媒体並びに
保守機能を備えた露光装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段を、実施形態を示す各図に対応づけて説明する。

【０００９】請求項１記載の保守システムは、複数の装
置（Ｔｉ（ｉ＝１、２、・・・、ｎ））を保守管理する
保守システム（１０００）において、各装置（Ｔｉ）の
異常を検出する異常検出手段（１００１）と、各装置
（Ｔｉ）の異常に対処するための各種保守情報を記憶す
る保守情報記憶手段（１００８）と、異常検出手段（１
００１）で異常が検出された場合であって、かつ、該異
常に対処するための保守情報が保守情報記憶手段（１０
０８）に記憶されていない場合に、該異常を対処方法通
知手段（１００４）に通知する異常通知手段（１００
２）と、保守情報記憶手段（１００８）に記憶されてい
る保守情報を更新する保守情報更新手段（１００３）
と、異常通知手段（１００２）による異常の通知があっ
た場合、該異常に対処するために新たに作成された対処
方法を、複数の装置（Ｔｉ）のうち少なくとも異常が検
出された装置に通知する対処方法通知手段（１００４）
を備える。保守情報更新手段（１００３）は、対処方法
通知手段（１００４）から新たな対処方法が通知された
場合に、対処方法に基づき保守情報記憶手段（１００
８）に記憶された保守情報のうち、新たな対処方法が通
知された装置の保守情報を更新する。

【００１０】保守情報記憶手段（１００８）は、各装置
（Ｔｉ）の異常に対処するための各種保守情報を記憶す
る。異常検出手段（１００１）が各装置（Ｔｉ）のうち
いずれかに異常を検出した場合であって、その異常に対
処するための保守情報が保守情報記憶手段（１００８）
に記憶されていない場合に、異常通知手段（１００２）
はその異常を対処方法通知手段（１００４）に通知す
る。対処方法通知手段（１００４）は、異常通知手段
（１００２）による異常の通知があった場合、該異常に
対処するために新たに作成された対処方法を、複数の装
置（Ｔｉ）のうち少なくともその異常が検出された装置
に通知する。保守情報更新手段（１００３）は、対処方
法通知手段（１００４）から新たな対処方法が通知され
た装置の保守情報を更新する。

【００１１】保守情報を保守情報記憶手段（１００８）
に記憶しておき、保守情報記憶手段（１００８）に記憶
してある保守情報では対処方法が分からないような異常
が保守対象装置（Ｔｉ）に検出された場合、異常通知手
段（１００２）は異常を検出したことを対処方法通知手
段（１００３）に通知する。対処方法通知手段（１００
３）は異常の通知に基づいて作成された新たな対処方法
を少なくとも異常を検出された装置に通知する。

【００１２】これにより、ある保守対象装置に異常が起
こり、その異常に対する保守情報が予め記憶されていな
かったような場合であっても、その異常に対する新たな
対処方法が、少なくとも異常の起こった保守対象装置に
迅速に提供されることになる。しかも、異常の起こった
保守対象装置のみならず、他の保守対象装置にも新たな
対処方法が通知されるようにすることも可能である。こ
のようにすれば、ある保守対象装置に起こった異常につ
いて作成された対処方法が有効に他の保守対象装置でも
活用されることになる。延いては、ある保守対象装置で
既に発生したことのある異常が、マニュアルを改訂する
までの間に他の保守対象装置でも起こった場合に、マニ
ュアルの改訂があるまで他の保守対象装置ではその異常
に対する対処方法が分からないために、保守要員が複数
の保守対象装置について同じ作業を何度も繰り返すとい
う問題を解決することが可能となる。

【００１３】請求項２記載の保守システムは、保守の対
象となる複数の装置（Ｔｉ）と、複数の装置（Ｔｉ）を
保守管理する管理手段（Ｍ）と、複数の装置（Ｔｉ）と
管理手段（Ｍ）との間の情報通信を可能にする通信手段
（１００９（Ｍ）、１００９（Ｔｉ））とを備える保守
システム（１０００' ）において、複数の装置（Ｔｉ）
のそれぞれは、装置（Ｔｉ）の異常を検出する異常検出
手段（１００１（Ｔｉ））と、装置（Ｔｉ）の異常に対
処するための各種保守情報を記憶する保守情報記憶手段
（１００８（Ｔｉ））と、異常検出手段（１００１（Ｔ
ｉ））で異常が検出された場合であって、かつ、異常に
対処するための保守情報が保守情報記憶手段（１００８
（Ｔｉ））に記憶されていない場合に、通信手段（１０
０９（Ｔｉ））を介して異常を対処方法通知手段（１０
０４（Ｍ））に通知する異常通知手段（１００２（Ｔ
ｉ））と、保守情報記憶手段（１００８（Ｔｉ））に記
憶されている保守情報を更新する保守情報更新手段（１
００３（Ｔｉ））とを備える。一方、管理手段（Ｍ）
は、異常通知手段（１００２（Ｔｉ））による異常の通
知があった場合、その異常に対処するために新たに作成
された対処方法を、複数の装置（Ｔｉ）のうち少なくと
も異常が検出された装置へ通信手段（１００９（Ｍ））
を介して通知する対処方法通知手段（１００４（Ｍ））
を備える。保守情報更新手段（１００３（Ｔｉ））は、
対処方法通知手段（１００４（Ｍ））から新たな対処方
法が通知された場合に、その対処方法に基づき保守情報
記憶手段（１００８（Ｔｉ））の保守情報を更新する。

【００１４】保守システム１０００を構成する各手段を
保守対象装置（Ｔｉ）と管理装置（Ｍ）とに分けて配置
している。各保守対象装置（Ｔｉ）の異常検出手段（１
００１（Ｔｉ））は装置本体の異常を検出し、各保守対
象装置（Ｔｉ）の保守情報記憶手段（１００８（Ｔ
ｉ））は各装置についての保守情報を記憶する。異常検
出手段（１００１（Ｔｉ））で異常が検出された場合で
あって、かつ、異常に対処するための保守情報が保守情
報記憶手段（１００８（Ｔｉ））に記憶されていない場
合に、異常通知手段（１００２（Ｔｉ））は通信手段
（１００９（Ｔｉ））を介して異常を管理装置（Ｍ）に
備えられた対処方法通知手段（１００４（Ｍ））に通知
する。管理手段（Ｍ）の対処方法通知手段（１００４
（Ｍ））は、異常通知手段（１００２（Ｔｉ））による
異常の通知があった場合、その異常に対処するために新
たに作成された対処方法を、複数の装置（Ｔｉ）のうち
少なくとも異常が検出された装置へ通信手段（１００９
（Ｍ））を介して通知する。新たな対処方法の通知を受
けた装置の保守情報更新手段（１００３（Ｔｉ））は、
その対処方法に基づき保守情報記憶手段（１００８（Ｔ
ｉ））の保守情報を更新する。

【００１５】保守システム（１０００）を構成する各手
段の一部を保守対象装置（Ｔｉ）に備える。請求項１と
同様の利点がある。請求項３によれば、保守情報は、異
常と対処方法とを関連づけた情報を含むようにすること
か可能である。

【００１６】請求項４によれば、保守システム（１００
０、１０００' ）は、さらに、各装置（Ｔｉ）について
の個別情報を記憶する個別情報記憶手段（１００５、１
００５（Ｍ））と、個別情報記憶手段（１００５、１０
０５（Ｍ））に記憶された個別情報及び異常の通知に基
づいて、複数の装置（Ｔｉ）のうちで同じ異常が起こり
うる他の装置を判定する判定手段（１００６、１００６
（Ｍ））とをさらに備え、対処方法通知手段（１００
４、１００４（Ｍ））は新たな対処方法を、異常の検出
された装置及び同じ異常の起こりうる他の装置に通知
し、保守情報更新手段（１００３、１００３（Ｔｉ））
は、対処方法に基づいて、保守情報記憶手段（１００
８、１００８（Ｔｉ））に記憶されている前記異常が検
出された装置及び他の装置の保守情報を更新する。

【００１７】個別情報記憶手段（１００５、１００５
（Ｍ））は各装置（Ｔｉ）についての個別情報を記憶
し、判定手段（１００６、１００６（Ｍ））は個別情報
記憶手段（１００５、１００５（Ｍ））に記憶された個
別情報及び異常の通知に基づいて、複数の装置（Ｔｉ）
のうちで同じ異常が起こりうる他の装置を判定する。対
処方法通知手段（１００４、１００４（Ｍ））は新たな
対処方法を異常の検出された装置及び同じ異常の起こり
うる他の装置に通知し、保守情報更新手段（１００３、
１００３（Ｔｉ））は、通知された対処方法に基づい
て、保守情報記憶手段（１００８、１００８（Ｔｉ））
に記憶されている異常が検出された装置及び他の装置の
保守情報を更新する。

【００１８】異常の通知及び個別情報に基づいて、検出
された異常と同じ異常が起こりうる保守対象装置を判定
し、同じ異常が起こりうると判定された保守対象装置に
新たに作成された対処方法を通知し、通知された対処方
法に基づいて保守情報を更新する。従って、異常が起こ
った保守対象装置以外の他の保守対象装置は、起こりう
る異常についての対処方法を異常に先立って入手するこ
とができ、ある保守対象装置に起こった異常について作
成された対処方法を他の装置でも有効に活用することが
可能となる。さらに、異常が起こる前に予め、装置の使
用環境や仕様変更に関する情報を通知するため、異常が
起こったときに適切な対応を取ることが可能となる。

【００１９】請求項５によれば、前記個別情報は、各装
置のタイプ、仕様及び使用環境についての情報を含むよ
うにすることが可能である。請求項６によれば、保守シ
ステム（１０００、１０００' ）は、保守情報記憶手段
（１００８、１００８（Ｔｉ））を検索する検索手段
（１００７、１００７（Ｔｉ））をさらに備え、前記異
常検出手段（１００１、１００１（Ｔｉ））が異常を検
出した場合であって、検索手段（１００７、１００７
（Ｔｉ））がその異常が検出された装置の保守情報を検
索した結果、その異常に係わる該保守情報が存在する場
合に、検索手段（１００７、１００７（Ｔｉ））は検索
された保守情報を異常が検出された装置に通知し、異常
通知手段（１００２、１００２（Ｔｉ））は異常を対処
方法通知手段（１００４、１００４（Ｍ））に通知しな
い。

【００２０】異常検出手段（１００１、１００１（Ｔ
ｉ））が異常を検出した場合に、検索手段（１００７、
１００７（Ｔｉ））は、保守情報記憶手段（１００８、
１００８（Ｔｉ））に記憶された異常が検出された装置
の保守情報を検索し、検索した結果、検出された異常に
係わる保守情報が存在する場合に、検索手段（１００
７、１００７（Ｔｉ））は、検索された保守情報を異常
が検出された装置に通知する。この場合、新たな対処方
法は不要なため、異常通知手段（１００２、１００２
（Ｔｉ））は異常を対処方法通知手段（１００４、１０
０４Ｍ））に通知しない。

【００２１】これにより、検出された異常に対する対処
方法を保守情報記憶手段（１００８）に記憶された保守
情報を効率的に活用することが可能となる。さらに、新
たな対処方法が不要な場合に、対処方法通知手段（１０
０４）は異常を通知しないため、保守要員が装置の保守
に当てる時間を低減することが可能となる。

【００２２】請求項７によれば、保守対象装置（Ｔｉ）
は露光装置（１００）とすることが可能である。請求項
８によれば、複数の装置（Ｔｉ）は回線（２００）を介
して前記保守システム（１０００、１０００' ）に接続
されていることを特徴とする。

【００２３】回線（２００）を介して装置（Ｔｉ）を接
続し、保守することにより、保守対象装置が遠隔地にあ
る場合であっても、迅速に異常に対処することが可能と
なる。

【００２４】請求項９記載の保守方法によれば、複数の
装置（Ｔｉ）を保守管理する方法において、前記複数の
装置（Ｔｉ）のそれぞれについて、該装置の異常に対処
するための各種保守情報を保守情報記憶手段（１００
８、１００８（Ｔｉ））に記憶する過程と、該装置のそ
れぞれについて異常を検出した場合であって、かつ、該
装置の異常に対処するための各種保守情報が保守情報記
憶手段（１００８、１００８（Ｔｉ））に記憶されてい
ない場合に、その異常に対処するための対処方法を作成
する過程と、新たな対処方法を複数の装置（Ｔｉ）のう
ち少なくとも異常の検出された装置へ通知する過程と、
新たな対処方法に基づいて、新たな対処方法の通知され
た装置についての保守情報記憶手段（１００８、１００
８（Ｔｉ））に記憶された保守情報を更新する過程とを
含む。

【００２５】前記複数の装置（Ｔｉ）のそれぞれについ
て、装置の異常に対処するための各種保守情報を保守情
報記憶手段（１００８、１００８（Ｔｉ））に記憶し、
該装置のそれぞれについて異常を検出した場合であっ
て、かつ、装置の異常に対処するための各種保守情報が
保守情報記憶手段（１００８、１００８（Ｔｉ））に記
憶されていない場合に、その異常に対処するための対処
方法を作成し、新たな対処方法を複数の装置（Ｔｉ）の
うち少なくとも異常の検出された装置へ通知し、新たな
対処方法に基づいて、新たな対処方法の通知された装置
についての保守情報記憶手段（１００８、１００８（Ｔ
ｉ））に記憶された保守情報を更新する。

【００２６】請求項１０記載の保守方法によれば、通信
手段（１００９、１００９（Ｔｉ）、１００９（Ｍ））
を介して複数の装置（Ｔｉ）を管理手段（Ｍ）で保守管
理する方法において、複数（Ｔｉ）の装置のそれぞれ
が、装置の異常に対処するための各種保守情報を保守情
報記憶手段（１００８、１００８（Ｔｉ））に記憶する
過程と、装置（Ｔｉ）のそれぞれが、異常を検出した場
合であって、かつ、装置の異常に対処するための各種保
守情報が保守情報記憶手段（１００８、１００８（Ｔ
ｉ））に記憶されていない場合に、その異常を通信手段
（１００９、１００９（Ｔｉ）、１００９（Ｍ））を介
して管理手段（Ｍ）に通知する過程と、該異常を通知さ
れた管理手段（Ｍ）が、その異常に対処するために新た
に作成された対処方法を複数の装置（Ｔｉ）のうち少な
くとも異常の検出された装置へ通信手段（１００９、１
００９（Ｔｉ）、１００９（Ｍ））を介して通知する過
程と、その新たな対処方法を通知された装置が、その対
処方法に基づいて保守情報記憶手段（１００８、１００
８（Ｔｉ））の保守情報を更新する。

【００２７】請求項９及び１０記載の保守方法によれ
ば、ある保守対象装置に異常が起こり、この異常に対す
る保守情報が予め記憶されていなかったような場合であ
っても、その異常に対する新たな対処方法が、少なくと
も異常の起こった保守対象装置に迅速に提供されること
になる。しかも、異常の起こった保守対象装置のみなら
ず、他の保守対象装置にも新たな対処方法が通知される
ようにすることも可能である。このようにすれば、ある
保守対象装置に起こった異常について作成された対処方
法が、通知を受けた他の保守対象装置でも有効にその対
処方法を活用することが可能となる。延いては、マニュ
アルの改訂があるまでの間、複数の装置について同じ異
常に対処するために保守要員が同じ作業を繰り返す必要
があったという問題を解決することが可能となる。

【００２８】請求項１１記載の記録媒体は、複数の装置
を保守する保守方法を実現するプログラムを記録した、
コンピュータによって読み込み可能な記録媒体であっ
て、請求項９及び１０記載の方法における各過程を実行
するコンピュータプログラムを格納するものである。

【００２９】請求項１２記載の記録媒体によれば、前記
個別情報として、各装置のタイプ、仕様及び使用環境に
ついての情報を記憶するプログラムを格納する領域をさ
らに含むようにすることも可能である。

【００３０】請求項１３によれば、記録媒体に、対処方
法と異常とを関連づけて保守情報として記憶するプログ
ラムを格納する領域をさらに含むようにすることも可能
である。

【００３１】請求項１４によれば、請求項１１乃至請求
項１３記載の保守方法を露光装置の保守方法に適用する
ことも可能である。請求項１５乃至請求項１９記載の露
光装置によれば、マスクのパターンを基板上に投影する
ことによって前記基板に露光する露光装置（Ｔｉ）に、
請求項２乃至請求項６記載の保守システム（１０００'
）を構成する各手段の一部を備えるようにすることも
可能である。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。本実施形態に係わる保守システムは
任意の装置に適用できるが、ここでは保守対象装置を露
光装置と仮定して説明する。露光装置は、例えば半導体
素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ、Ｃｈａｒｇｅ
Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）及び薄膜磁気ヘッド
等の製造工程におけるフォトリソグラフィー工程におい
て、半導体層や金属配線層に回路パターンを形成させる
ために用いられる。この露光装置では、回路パターンの
形成されたレチクルやフォトマスク等（以下、レチクル
と総称する）を用いる。露光装置のレチクルステージに
レチクルを載置し、フォトレジスト等の感光剤が塗布さ
れた半導体ウエハや液晶基板等（以下、基板と総称す
る）を基板ステージに載置する。そして、レチクルに形
成された回路パターンを基板に転写する。

【００３３】図１は、露光装置の装置構成を示す図であ
る。露光装置１００は、露光部１０及び制御部２０から
構成される。露光部１０は、上述の露光処理を行なうも
のであり、ユニット群で構成される。制御部２０は、露
光部を構成する各ユニットを制御する。露光部１０は、
露光ユニット１１、アライメントユニット１２、フォー
カスユニット１３、ステージユニット１４及びローダユ
ニット１５を備える。

【００３４】露光ユニット１１は、不図示の露光光源、
楕円鏡、コンデンサーレンズ等を備える。これら一連の
装置を用いて露光光の平均化等を行ない、ステージユニ
ット１４に露光光を投影する。

【００３５】アライメントユニット１２は、露光すべき
回路パターンの各層を正確に重ねあわせるためにアライ
メントを行なう。ステージユニット１４を構成する不図
示のレチクルステージ及び基板ステージに載置されたレ
チクル及び基板の相対位置を測定し、その測定結果に基
づいてレチクルや基板のアライメントを行なう。

【００３６】フォーカスユニット１３は、露光ユニット
１１からの露光光を不図示の投影光学系を介して不図示
の基板ステージ上の基板にフォーカスさせる。ステージ
ユニット１４は、不図示のレチクルや基板を載置する不
図示のレチクルステージ及び基板ステージ及びそれらの
ステージを駆動する駆動系を備える。

【００３７】ローダユニット１５は、不図示のレチクル
ステージ及び基板ステージにそれぞれ不図示のレチクル
及び基板を搬送する。制御部２０は、ユニット制御部２
１、入出力部２２、記憶部２３を備える。ユニット制御
部２１は、上述の露光部１０を構成する各ユニット１１
乃至１５を制御する。入出力部２２は、装置の外部から
装置に命令やデータ等を入力するための入力装置、装置
から外部にデータ等を出力するための出力装置である。

【００３８】記憶部２３は、露光装置１００を制御する
ために必要な情報等を記憶する。図２は、本発明の原理
構成図である。図２に示すように、本発明の保守システ
ム１００は、複数の保守対象装置Ｔｉ（ｉ＝１、２、・
・・、ｎ）を保守する。複数の保守対象装置Ｔｉは、任
意の装置であり、例えば図１に示す露光装置１００であ
ってもよい。各保守対象装置Ｔｉはネットワーク２００
を介して保守システムに接続されている。ネットワーク
２００として、例えば、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ
Ｎｅｔｗｏｒｋ）やインターネットのようなＷＡＮ
（ＷｉｄｅＡｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、公衆回線、専
用回線等が考えられる。図２において、保守対象装置Ｔ
１及びＴ２はＷＡＮ２０１を介して保守システム１００
０に接続され、保守対象装置Ｔｎは回線２０２を介して
保守システム１０００に接続されている。

【００３９】保守システム１０００は、異常検出部１０
０１、異常通知部１００２、保守情報更新部１００３、
対処方法通知部１００４、個別情報記憶部１００５、判
定部１００６、検索部１００７、保守情報記憶部１００
８、通信部１００９及び入出力部１０１０を備える。

【００４０】異常検出部１００１は、各保守対象装置Ｔ
ｉの動作をネットワーク２００を介して監視し、異常を
検出する。異常検出部１００１は、入力に基づいて、又
は、予め設定された時間に各保守対象装置Ｔｉの動作を
監視する。さらに、異常検出部１００１は各保守対象装
置Ｔｉの仕様等を監視し、仕様変更等があった場合に、
各保守対象装置Ｔｉの個別情報を作成することも可能で
ある。さらにまた、異常検出部１００１は、定期保守の
際に保守対象装置Ｔｉの動作に係わる情報を収集するこ
とも可能である。

【００４１】１つの異常検出部１００１が複数の保守対
象装置Ｔｉについて異常を検出する構成としてもよい
し、異常検出部１００１を各保守対象装置Ｔｉについて
設けて、各異常検出部１００１が別々に各保守対象装置
Ｔｉの異常を検出する構成としてもよい。

【００４２】異常通知部１００２は、異常検出部１００
１が保守対象装置Ｔｉのいずれかに異常を検出した場合
であって、検出された異常に対処するための保守情報が
保守情報記憶部１００８に記憶されていない場合に、検
出された異常を対処方法通知部１００４に通知する。異
常の通知には、例えば、エラーコード、エラーの発生し
たプロセス等についての情報が含まれる。検出された異
常に対処するための保守情報が保守情報記憶部１００８
に記憶されているかどうかは、後述の検索部１００７が
保守情報記憶部１００８に記憶されている保守情報を検
索することにより分かる。

【００４３】対処方法通知部１００４は、異常通知手段
１００２から異常の通知があった場合に、異常の通知に
基づいて新たに作成された対処方法を、複数の保守対象
装置Ｔｉのうち少なくとも異常が検出された装置に通知
する。新たな対処方法を通知すべき保守対象装置の判定
は、後述の判定部１００６が行なう。ここで、新たな対
処方法は、例えば、異常通知部１００２から通知された
異常に係わる情報に基づいて、保守要員等が作成し、入
出力部１０１０を介して入力する。

【００４４】保守情報更新部１００３は、対処方法通知
部１００４から新たな対処方法が通知された場合に、そ
の対処方法に基づいて保守情報記憶部１００８に記憶さ
れた保守情報を更新する。

【００４５】これにより、迅速に保守情報を保守対象装
置を使用するオペレータに提供することが可能となる。
個別情報記憶部１００５は、保守システム１０００が保
守する各保守対象装置Ｔｉの個別情報を記憶する。個別
情報は、例えば、各保守対象装置Ｔｉの型番（タイ
プ）、仕様、使用環境、用途等が考えられる。例えば、
保守対象装置が露光装置である場合、露光装置の型番、
アライメント方式、露光方式、露光光源、使用している
部屋の空気清浄度、ユーザ名等が考えられる。個別情報
は、入出力部１０１０による入力に基づいて、又は上述
の異常検出部１００１により作成される。

【００４６】判定部１００６は、個別情報記憶部１００
５に記憶された個別情報に基づいて、複数の保守対象装
置Ｔｉのうちで、同じ異常が起こりうる他の装置を判定
する。例えば、保守対象装置Ｔ１で異常が検出され、そ
の異常に対処するための新たな対処方法が作成された場
合、判定部１００６は、他の保守対象装置Ｔ２・・・Ｔ
ｎの個別情報に基づいて、同じ異常が各保守対象装置に
起こりうるかどうかを判定する。対処方法通知部１００
４は、異常が検出された保守対象装置だけでなく、同じ
異常が起こりうると判定された装置にも作成された新た
な対処方法を通知する。保守情報更新部１００３は、対
処方法通知部１００４から新たな対処方法の通知があっ
た場合、保守情報記憶部１００８に記憶された保守情報
を更新する。

【００４７】従って、ある保守対象装置で起こった異常
について作成された対処方法が、異常が検出された保守
対象装置だけでなく、まだその異常は起こってはいない
が、同じ異常が起こりうる保守対象装置にも通知され、
その対処方法は、保守情報として、通知を受けた保守対
象装置の保守情報として保守情報記憶部１００８に記憶
される。保守情報記憶部１００８に異常についての保守
情報が記憶されているため、次に同じ異常がこれら通知
を受けた保守対象装置に起こった場合に、検索部１００
７が保守情報記憶部１００８に記憶された保守情報を検
索することにより、対処方法を知ることができる。延い
ては、既にある保守対象装置で起こった異常であって
も、マニュアルの改訂があるまで他の保守対象装置のオ
ペレータには対処方法が分からないため、対処方法が分
かれば保守要員が対応しなくとも復旧できるような異常
であっても、マニュアルの改訂までの間、保守要員が複
数の装置について同じ作業を何度も繰り返すという従来
の問題を解決することが可能となる。

【００４８】検索部１００７は、保守情報記憶部１００
８に記憶された保守情報を検索する。より具体的には、
異常が検出された場合、異常の通知に基づいて、保守情
報記憶部１００８に記憶された異常が検出された装置の
保守情報を検索する。異常の通知には、エラーコードや
プロセス等が含まれているので、検索部１００７はこれ
らに基づいて、保守情報記憶部１００８に記憶された保
守情報を検索する。検索の結果、検出された異常に係わ
る保守情報が存在する場合、検索された保守情報を異常
が検出された保守対象装置に通知する。検出された異常
に係わる保守情報が存在する場合、検索された保守情報
に基づいて対処方法が分かるため、その異常に対処する
ための新たな対処方法を作成する必要はない。従って、
異常通知部１００２は異常を対処方法通知部１００４に
通知しない。

【００４９】これにより、保守対象装置が複雑であった
り、保守情報が膨大であったりする場合でも、迅速に異
常に対処する対処方法を知ることができるため、保守対
象装置を迅速に異常から復旧させることが可能となる。
なお、検索部１００７は、保守対象装置Ｔｉに異常が検
出されなくとも、入出力部１０１０からの入力に従って
保守情報記憶部１００８に記憶された保守情報を検索す
ることも可能である。

【００５０】保守情報記億部１００８は、各保守対象装
置Ｔｉについての保守情報を記憶する。保守情報は、少
なくとも異常と対処方法を関連付けた情報である。従っ
て、ある異常に係わる保守情報から、その異常に対処す
る対処方法を知ることができる。

【００５１】通信部１００９はネットワーク２００を介
して保守対象装置Ｔｉを保守する場合に、各保守対象装
置Ｔｉとの情報のやり取りのインターフェースを行な
う。これにより、異常が検出された場合、又は定期保守
をする場合に、保守対象装置Ｔｉを保守する保守要員は
保守対象装置Ｔｉの設置場所まで赴かなくとも、異常に
係わる情報、又は装置の動作状態に関する情報を入手す
ることができる。延いては、異常から復旧するまでに要
する時間及び定期保守に要する時間を短縮することが可
能となる。

【００５２】入出力部１０１０は、保守システム１００
０にデータ等を入力したり、保守システム１０００から
データ等を出力したりするためのものである。保守シス
テム１０００を構成する各部は、ネットワークを介して
接続された任意の装置に、任意に配置することが可能で
ある。図３は、保守システム１０００を構成する各部の
配置の一例を示す図である。

【００５３】図３に示すように、保守システム１０００
を構成する各部を保守対象装置Ｔｉ及び管理装置Ｍに分
散させて配置することも可能である。図３において、装
置Ｔｉは、図１に示す装置本体に加えて、保守システム
１０００を構成する各部のうち、異常検出部１００１
（Ｔｉ）、異常通知部１００２（Ｔｉ）、保守情報更新
部１００３（Ｔｉ）、検索部１００７（Ｔｉ）、保守情
報記憶部１００８（Ｔｉ）、通信部１００９（Ｔｉ）及
び入出力部１０１０（Ｔｉ）を備える。管理装置Ｍは対
処方法通知部１００４（Ｍ）、個別情報記憶部１００５
（Ｍ）、判定部１００６（Ｍ）、通信部１００９（Ｍ）
及び入出力部１０１０（Ｍ）を備える。

【００５４】ここで、管理装置Ｍから、ネットワーク２
００を介して、各保守対象装置Ｔｉに接続し、各保守対
象装置Ｔｉに備えられた異常検出部１００１（Ｔｉ）等
の保守システム１０００を構成する各部の一部又は全部
を遠隔操作できるようにすることも可能である。逆に、
各保守対象装置Ｔｉから、管理装置Ｍに備えられた保守
システム１０００' を構成する各部の一部又は全部を遠
隔操作できるようにすることも可能である。遠隔操作で
きるようにする場合、管理装置Ｍ及び保守対象装置Ｔｉ
との間の接続を確立する際に、パスワード等でデータの
安全を確保するように設定することも可能である。

【００５５】各保守対象装置Ｔｉに保守システム１００
０' を構成する機能の一部を備えることにより、より迅
速に異常を検出し、異常に対する対処方法を提示するこ
とが可能となる。また、保守対象装置以外の装置とネッ
トワーク２００を介して情報をやりとりする頻度を低減
することが可能となる。

【００５６】また、保守情報記憶部１００８（Ｔｉ）を
保守対象装置に備えることにより、各保守対象装置Ｔｉ
のオペレータが保守情報を編集することにより、使用し
ている保守対象装置についての異常の発生頻度を把握し
たり、保守情報を入出力部１０１０（Ｔｉ）に出力する
際の表示方法を最適化したり等することが可能となる。
保守情報記憶部１００８を管理装置Ｍに備え、保守情報
を管理装置Ｍで一元管理することももちろん可能であ
る。

【００５７】図４は、図２に示す露光装置１００の制御
部２０及び管理装置Ｍの装置構成の一例を示す図であ
る。図４において、制御部２０又は管理装置Ｍは、各
々、バス３７に接続されたＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐ
ｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）３１、外部記憶部３
２、メモリ３３、入力部３４、出力部３５及び通信イン
ターフェース３６を備える。

【００５８】ＣＰＵ３１は、バス３７を介して接続され
た外部記憶部３２、メモリ３３等の各機器の動作を制御
する。保守システムを構成する各部の有する各機能を実
現するためのプログラムコードが、外部記憶部３２及び
・又はメモリ３３から読み出され、ＣＰＵ３１がこれら
を実行することによって、各機能の処理が達成される。
保守システムを構成する各部が図３に示すように配置さ
れている場合、保守対象装置Ｔｉの各制御部２０のＣＰ
Ｕ３１は、異常検出部１００１（Ｔｉ）、異常通知部１
００２（Ｔｉ）及び保守情報更新部１００３（Ｔｉ）の
機能を実現し、管理装置ＭのＣＰＵ３１は、対処方法通
知部１００４（Ｍ）及び判定部１００６（Ｍ）の機能を
実現する。

【００５９】外部記憶部３２は、プログラムやデータ等
を記録する。記録媒体として、ＨＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓ
ｋ）、ＦＤ（Ｆｌｏｐｐｙ Ｄｉｓｋ）等のＭＤ（Ｍａ
ｇｎｅｔｉｃ Ｄｉｓｋ）、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄ
ｉｓｋ）及びＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｏｐｔｉｃａｌ
ｄｉｓｋ）等の光ディスク及び磁気テープが考えられ
る。外部記憶部３２は、図３に示す各保守対象装置Ｔｉ
の保守情報記憶部１００８（Ｔｉ）及び管理装置Ｍの個
別情報記憶部１００５（Ｔｉ）の各機能を実現する。

【００６０】メモリ３３は、実行中のプログラムや処理
中のデータ等を記録する。例えば、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏ
ｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ
Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）等が考えられる。保守シス
テムの機能を実現するためのプログラムは、外部記憶部
３２から読み出したり、通信インターフェース３６を介
して不図示のネットワークからダウンロードしたりする
ことによっても入手可能である。

【００６１】入力部３４は、露光装置１００及び管理装
置Ｍを操作するオペレータ等が、指示やデータ等を入力
するための装置である。例えば、マウス、キーボード等
が考えられる。出力部３５は、露光装置１００及び管理
装置Ｍからオペレータに対し、情報を出力するための装
置である。例えば、ディスプレイ、プロジェクタ、プリ
ンタ、音響装置等が考えられる。入力部３４及び出力部
３５は、保守対象装置Ｔｉの入出力部１０１０（Ｔｉ）
及び管理装置Ｍの入出力部１０１０（Ｍ）の機能を実現
する。

【００６２】以下、保守システムが行なう保守手順につ
いて説明する。図５は保守対象装置のうちいずれかに異
常を検出した際の保守手順を示すフローチャートであ
る。ここで、保守システムを構成する各部は、図３に示
すように配置されていると仮定する。各部が図３に示す
配置と異なる場合であっても、各機能からの情報がネッ
トワーク２００を介してやり取りされるかどうかの違い
であり、各部の動作は基本的に同様である。以下、保守
対象装置Ｔａについての保守手順に着目して説明する。
他の保守対象装置Ｔｉでも同様の動作を行なう。

【００６３】各保守対象装置Ｔｉは、個別情報を作成す
る( ステップＳ１）。各保守対象装置Ｔｉは、通信部１
００９（Ｔｉ）及びネットワーク２００を介して、管理
装置Ｍに通知する。管理装置Ｍの個別情報記憶部１００
５（Ｍ）は、通知された個別情報を記憶する( ステップ
Ｓ２）。個別情報は、保守対象装置Ｔｉの入出力部１０
１０（Ｔｉ）からの入力に基づいて作成されてもよい
し、各保守対象装置Ｔｉの異常検出部１００１（Ｔｉ）
による監視の過程で作成されてもよい。

【００６４】保守対象装置Ｔａの異常検出部１００１
（Ｔａ）は定期的に又は不定期的に各保守対象装置Ｔａ
の動作を監視する（ステップＳ３）。監視の結果、異常
が検出されなかった場合に（ステップＳ３、Ｎｏ）、保
守対象装置Ｔａの異常検出部１００１（Ｔａ）は、さら
に監視を続けるかどうか判定する（ステップＳ１３）。
例えば、装置本体１００（Ｔａ）が動作している間は定
期的に監視をするように命令されている場合に、異常検
出部１００１（Ｔａ）は監視を続けるべきと判定し（ス
テップＳ１３、Ｙｅｓ）、ステップＳ３に戻る。監視を
続けるように命令されていない場合に（ステップＳ１
３、Ｎｏ）、異常検出部１００１（Ｔａ）は保守対象装
置Ｔａの監視を終了するため、保守手順も終了する。

【００６５】監視の結果、異常が検出された場合に（ス
テップＳ３、Ｙｅｓ）、保守対象装置Ｔａの検索部１０
０７（Ｔａ）は、検出された異常に基づいて保守情報記
憶部１００８（Ｔａ）に記憶されている保守情報を検索
する（ステップＳ４）。検索の結果、検出された異常に
係わる保守情報が保守情報記憶部１００８（Ｔａ）に記
憶されていた場合に（ステップＳ４、Ｙｅｓ）、保守情
報は、少なくとも、異常とその異常に対する対処方法を
関連付けた情報を含む。従って、検索された保守情報に
基づいて、検出された異常に対処するための対処方法が
分かるため、保守対象装置Ｔａの入出力部１０１０（Ｔ
ａ）は検索された保守情報に基づいて対処方法を出力す
る（ステップＳ５）。

【００６６】保守対象装置Ｔａは検出された異常に対処
する対処方法を知ることができるため、保守対象装置Ｔ
ａは新たな対処方法は必要としない。従って、保守対象
装置Ｔａの異常通知手段１００２（Ｔａ）は、管理装置
Ｍの対処方法通知手段１００４（Ｍ）に異常を通知しな
い。保守対象装置Ｔａは出力された保守情報に基づいて
復旧する（ステップＳ１１）。保守対象装置Ｔａの保守
情報更新部１００３（Ｔａ）は、検出した異常に係わる
情報及びその異常に対する対処方法を関連付けて新たな
保守情報として、保守情報記憶部１００８（Ｔａ）に保
存された保守情報を更新する（ステップＳ１２）。

【００６７】復旧後、異常検出部１００１（Ｔａ）はさ
らに監視を続けるかどうか判定する（ステップＳ１
３）。ステップＳ１３の判定は、予め異常検出部１００
２（Ｔａ）に与えられた設定又は、入力に基づいて行な
う。さらに監視を続ける場合に（ステップＳ１３、Ｙｅ
ｓ）、ステップＳ３に戻る。監視を終了する場合に（ス
テップＳ１３、Ｎｏ）、手順は終了する。

【００６８】検出された異常に係わる保守情報が保守情
報記憶部１００８（Ｔａ）に記憶されていない場合に
（ステップＳ３、Ｎｏ）、保守対象装置Ｔａの入出力部
１０１０（Ｔａ）は検出された異常に係わる保守情報が
保守情報記憶部１００８（Ｔａ）にない旨を出力する
（ステップＳ６）。保守情報に基づいてでは対処方法が
分からないため、検出された異常に対処するための対処
方法を作成する必要がある。従って、保守対象装置Ｔａ
の異常通知部１００２（Ｔａ）は、通信部１００９（Ｔ
ａ）及びネットワーク２００を介して、検出した異常を
管理装置Ｍの対処方法通知部１００４（Ｍ）に通知する
（ステップＳ６）。異常通知部１００２（Ｔａ）は検出
された異常に対する対処方法が不明なため、管理装置Ｍ
に異常を通知する旨を保守対象装置Ｔａの入出力部１０
１０（Ｔａ）に出力する（ステップＳ６）。

【００６９】管理装置Ｍの入出力部１０１０（Ｍ）は装
置Ｔａの異常通知部１００２（Ｔａ）から異常の通知を
受けた旨を出力する（ステップＳ７）。管理装置Ｍ側に
は、保守要員が待機している。保守要員は保守対象装置
Ｔａの異常通知部１００２（Ｔａ）から通知された異常
に係わる情報及び個別情報記憶部１００５（Ｍ）に記憶
された装置Ｔａの個別情報等に基づいて、対処方法を作
成し、作成された対処方法を管理装置Ｍに入出力部１０
１０（Ｍ）を介して入力する（ステップＳ７）。

【００７０】管理装置Ｍの判定部１００６（Ｍ）は、管
理装置Ｍの個別情報記憶部１００５（Ｍ）に記憶された
各保守対象装置Ｔｉの個別情報に基づいて、保守対象装
置Ｔａ以外の同じ異常が起こりうる保守対象装置を判定
する（ステップＳ８）。個別情報には、各保守対象装置
Ｔｉの型番、仕様、使用環境等の情報が含まれている。
例えば、対処方法を作成する際に、検出された異常が、
異常の検出された保守対象装置の型番に固有の異常であ
ることが分かった場合に、管理装置Ｍの判定部１００６
（Ｍ）は、個別情報に基づいて同じ型番の保守対象装置
を同じ異常が起こりうる保守対象装置として判定する。
また、例えば、検出された異常が、ある使用環境で使用
されている保守対象装置に固有の異常であることが分か
った場合に、管理装置Ｍの判定部１００６（Ｍ）は、個
別情報に基づいて同じ使用環境で使用される保守対象装
置を、同じ異常が起こりうる保守対象装置として判定す
る。ここで、ステップＳ８の判定の結果、保守対象装置
Ｔｂが、同じ異常が起こりうる装置として判定されたと
する。

【００７１】管理装置Ｍの対処方法通知部１００４
（Ｍ）は、通信部１００９（Ｍ）及びネットワーク２０
０を介して、異常の検出された保守対象装置Ｔａ及び同
様の異常が起こりうると判定された保守対象装置Ｔｂ
に、新たに作成された対処方法を通知する（ステップＳ
９）。管理装置Ｍの入出力部１０１０（Ｍ）は、保守対
象装置Ｔａ及びＴｂに対処方法を通知した旨を出力す
る。

【００７２】異常を検出された保守対象装置Ｔａの入出
力部１０１０（Ｔａ）は、通知された新たな対処方法を
出力する（ステップＳ５）。保守対象装置Ｔａは出力さ
れた保守情報に基づいて復旧する（ステップＳ１１）。
保守対象装置Ｔａの保守情報更新部１００３（Ｔａ）
は、検出した異常に係わる情報及びその異常に対する対
処方法を関連付けて新たな保守情報として、保守情報記
憶部１００８（Ｔａ）に保存された保守情報を更新する
（ステップＳ１２）。さらに、上述と同様に監視を続け
るかどうかを判定（ステップＳ１３）等行なう。

【００７３】新たな対処方法を通知された保守対象装置
Ｔｂの入出力部１０１０（Ｔｂ）は、新たな対処方法を
通知された旨を出力する。保守情報更新部１００３（Ｔ
ｂ）は、通知された対処方法に基づいて新たな保守情報
を作成し、保守情報記憶部１００８（Ｔｂ）に記憶され
ている保守情報を更新する（ステップＳ１０）。

【００７４】これにより、ある装置で起こった異常につ
いて作成された対処方法が、異常が検出された保守対象
装置だけでなく、まだその異常は起こってはいないが、
同じ異常が起こりうる保守対象装置にも通知され、その
対処方法は、保守情報として、通知を受けた保守対象装
置の保守情報として保守情報記憶部１００８に記憶され
る。ある装置に起こった異常について作成された対処方
法が、その対処方法が有用であると考えられる他の装置
でも有効に活用されることが可能となる。延いては、マ
ニュアルの改訂があるまでの間、複数の装置について同
じ異常に対処するために保守要員が同じ作業を繰り返す
ことを回避することが可能となる。

【００７５】図６は定期保守手順を示すフローチャート
である。定期保守手順は、上述の保守手順と同様であ
る。ここで、保守システムを構成する各部は、図２に示
すような配置であると仮定する。各部が図２に示す配置
と異なる場合であっても、回線やネットワークを介する
かどうかの違いであり、各部の動作は基本的に同様であ
る。以下、定期保守において異常検出部１００１は、保
守対象装置Ｔａの動作に係わる情報を収集すると仮定し
て説明する。

【００７６】まず、上述のステップＳ１及びＳ２の手順
により、予め各保守対象装置Ｔｉから個別情報を管理装
置Ｍに通知し、管理装置Ｍの個別情報記憶部１００５
（Ｍ）は、通知された個別情報を記憶しているものとす
る。定期保守対象装置Ｔａの異常検出部１００１（Ｔ
ａ）は、予め設定された時間又は入力等に基づいて、装
置本体１００（Ｔａ）の動作に係わる情報を収集する。
ここで、管理装置Ｍが、ネットワーク２００を介して、
異常検出部１００１（Ｔａ）を遠隔操作することとして
もよい。動作に係わる情報を収集する際に、装置の個別
情報を同時に収集することとしてもよい（ステップＳ２
１）。

【００７７】保守対象装置Ｔａの異常通知部１００２
（Ｔａ）は、通信部１００９（Ｔａ）及びネットワーク
２００を介して、動作に係わる情報を管理装置Ｍに通知
する（ステップＳ２２）。保守対象装置Ｔａの入出力部
１０１０（Ｔａ）は動作に係わる情報を管理装置Ｍに通
知した旨を出力する。

【００７８】管理装置Ｍは、通知された動作に係わる情
報を解析し、解析結果を保守情報として作成する（ステ
ップＳ２３）。管理装置Ｍの判定部１００７（Ｍ）は、
作成された保守情報が有用であると考えられる他の保守
対象装置を判定する（ステップＳ２４）。ここで、保守
対象装置Ｔｂが、作成された保守情報が有用であると判
定されたとする。

【００７９】管理装置Ｍの対処方法通知部１００４
（Ｍ）は、作成された保守情報を保守対象装置Ｔａ及び
Ｔｂに通知する（ステップＳ２５）。管理装置Ｍの入出
力部１０１０（Ｍ）は、作成された保守情報を保守対象
装置Ｔａ及びＴｂに通知した旨を出力する。

【００８０】新たな対処方法を通知された保守対象装置
Ｔａ及びＴｂの入出力部１０１０（Ｔａ）及び１０１０
（Ｔｂ）は、新たな対処方法を通知された旨を出力す
る。保守情報更新部１００３（Ｔａ）及び１００３（Ｔ
ｂ）は、通知された新たな保守情報に基づいて、それぞ
れ保守情報記憶部１００８（Ｔａ）及び１００８（Ｔ
ｂ）に記憶された保守情報を更新する（ステップＳ２６
及びＳ２７）。

【００８１】このようにして、保守要員が保守対象装置
の設置場所に赴かなくとも、定期保守を行なうことが可
能となる。さらに、ある保守対象装置について作成され
た保守情報が他の保守対象装置においても有用であると
判定された場合に、当該他の装置にも、作成された保守
情報を通知することにより、保守情報の効率的な活用が
可能となる。

【００８２】さらに、異常に対する対処方法だけでな
く、保守対象装置の仕様変更に伴なう操作方法の変更、
あるいは仕様変更を伴なわない効率的な操作方法につい
ての情報を、図６のステップＳ２３以降の手順と同様に
して通知することが可能である。

【００８３】以上、実施形態について説明したが、上述
の実施形態に限定されるものではなく、様々な変更が可
能である。例えば、各保守対象装置Ｔｉと保守装置Ｍと
の情報のやりとりは暗号化して行なうようにすることも
可能である。

【００８４】また、例えば、各保守対象装置Ｔｉ及び管
理装置Ｍは、ネットワーク２００を介して接続を常時確
立することとしてもよいし、随時確立することとしても
よい。接続を随時確立する場合、保守対象装置Ｔｉが接
続を切断している際に、管理装置Ｍ等から必要に応じて
保守対象装置Ｔｉとの接続を確立することができるよう
にすることも可能である。

【００８５】さらに、複数のレンズから構成される照明
光学系及び投影光学系（又は電子光学系）を露光装置本
体に組み込み光学調整するとともに、レチクルステー
ジ、基板ステージ及び本実施形態に係わる保守システム
を構成する各部を露光装置の制御部に設け、さらに総合
調整（電気調整、動作確認等）をすることにより、上記
実施形態の露光装置を製造することができる。なお、露
光装置の製造は温度及び空気清浄度等が管理されたクリ
ーンルームで行なうことが望ましい。

【００８６】

【発明の効果】異常から装置を復旧するために又は定期
保守のために、保守要員が保守対象装置の設置場所に赴
くことを不要とし、保守対象装置が異常から復旧するま
での時間を短縮する。

【００８７】保守情報の効率的な活用を可能とする。さ
らに、保守対象装置が複数存在する場合、各保守対象装
置で起こった異常について作成された対処方法を、異常
の起こった装置のみならず、同様の異常が起こりうる他
の保守対象装置においても有効に活用することを可能と
する。

【００８８】保守対象装置から保守要員に対して、装置
の使用環境や仕様変更に関する情報を迅速に通知するこ
とを可能とする。

【図面の簡単な説明】

【図１】露光装置の機能構成図である。

【図２】保守システムの原理構成図である。

【図３】保守システムを構成する各部の配置の一例を示
す図である。

【図４】露光装置の制御部及び管理装置装置構成の一例
を示す図である。

【図５】保守手順を示すフローチャートである。

【図６】定期保守手順を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１０ 露光部 １１ 露光ユニット １２ アライメントユニット １３ フォーカスユニット １４ ステージユニット １５ ローダユニット ２０ 制御部 ２１ ユニット制御部 ２２ 入出力部 ２３ 記憶部 ３１ ＣＰＵ ３２ 外部記憶部 ３３ メモリ ３４ 入力部 ３５ 出力部 ３６ 通信インターフェース ３７ バス １００ 露光装置 ２００ ネットワーク ２０１ ＷＡＮ ２０２ 回線 １０００、１０００' 保守システム １００１、１００１（Ｔｉ） 異常検出部 １００２、１００２（Ｔａ）、１００２（Ｔｉ） 異常
通知部 １００３、１００３（Ｔａ）、１００３（Ｔｉ） 保守
情報更新部 １００４、１００４（Ｍ） 対処方法通知部 １００５、１００４（Ｍ） 個別情報記憶部 １００６、１００６（Ｍ） 判定部 １００７、１００７（Ｔａ）、１００７（Ｔｉ） 検索
部 １００８、１００８（Ｔａ）、１００８（Ｔｉ） 保守
情報記憶部 １００９、１００９（Ｍ）、１００９（Ｔｉ） 通信部 １０１０、１０１０（Ｔａ）、１０１０（Ｍ） 入出力
部 Ｍ 管理装置 Ｔ１、Ｔ２、Ｔｎ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｔｂ 保守対象装置

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の装置を保守管理する保守システム
   において、 各装置の異常を検出する異常検出手段と、 各装置の異常に対処するための各種保守情報を記憶する
   保守情報記憶手段と、 前記異常検出手段で異常が検出された場合であって、か
   つ、該異常に対処するための保守情報が前記保守情報記
   憶手段に記憶されていない場合に、該異常を対処方法通
   知手段に通知する異常通知手段と、 前記保守情報記憶手段に記憶されている保守情報を更新
   する保守情報更新手段と、 前記異常通知手段による異常の通知があった場合、該異
   常に対処するために新たに作成された対処方法を、前記
   複数の装置のうち少なくとも該異常が検出された装置に
   通知する対処方法通知手段を備え、 前記保守情報更新手段は、前記対処方法通知手段から新
   たな対処方法が通知された場合に、該対処方法に基づき
   前記保守情報記憶手段に記憶された保守情報のうち、前
   記新たな対処方法が通知された装置の保守情報を更新す
   ることを特徴とする保守システム。
2. 【請求項２】 保守の対象となる複数の装置と、該複数
   の装置を保守管理する管理手段と、該複数の装置と該管
   理手段との間の情報通信を可能にする通信手段とを備え
   る保守システムにおいて、 前記複数の装置のそれぞれは、 該装置の異常を検出する異常検出手段と、 該装置の異常に対処するための各種保守情報を記憶する
   保守情報記憶手段と、 前記異常検出手段で異常が検出された場合であって、か
   つ、該異常に対処するための保守情報が前記保守情報記
   憶手段に記憶されていない場合に、前記通信手段を介し
   て該異常を対処方法通知手段に通知する異常通知手段
   と、 前記保守情報記憶手段に記憶されている保守情報を更新
   する保守情報更新手段とを備え、 前記管理手段は、 前記異常通知手段による異常の通知があった場合、該異
   常に対処するために新たに作成された対処方法を、前記
   複数の装置のうち少なくとも該異常が検出された装置へ
   前記通信手段を介して通知する前記対処方法通知手段を
   備え、 前記保守情報更新手段は、前記対処方法通知手段から新
   たな対処方法が通知された場合に、該対処方法に基づき
   前記保守情報記憶手段の保守情報を更新することを特徴
   とする保守システム。
3. 【請求項３】 前記保守情報は、異常と対処方法とを関
   連づけた情報を含むことを特徴とする請求項１又は請求
   項２記載の保守システム。
4. 【請求項４】 前記保守システムは、 各装置についての個別情報を記憶する個別情報記憶手段
   と、 前記個別情報記憶手段に記憶された個別情報及び前記異
   常の通知に基づいて、 前記複数の装置のうちで前記異常が起こりうる他の装置
   を判定する判定手段とをさらに備え、 前記対処方法通知手段は前記新たな対処方法を前記異常
   の検出された装置及び前記他の装置に通知し、 前記保守情報更新手段は、前記対処方法に基づいて、前
   記保守情報記憶手段に記憶されている前記異常が検出さ
   れた装置及び前記他の装置の保守情報を更新することを
   特徴とする請求項1乃至請求項３いずれか記載の保守シ
   ステム。
5. 【請求項５】 前記個別情報は、各装置のタイプ、仕様
   及び使用環境についての情報を含むことを特徴とする請
   求項４記載の保守システム。
6. 【請求項６】 前記保守システムは、 前記保守情報記憶手段を検索する検索手段をさらに備
   え、 前記異常検出手段が異常を検出した場合であって、前記
   検索手段が前記異常が検出された装置の保守情報を検索
   した結果、前記異常に係わる保守情報が存在する場合
   に、前記検索手段は、前記検索された保守情報を前記異
   常が検出された装置に通知し、前記異常通知手段は前記
   異常を前記対処方法通知手段に通知しないことを特徴と
   する請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の保守シス
   テム。
7. 【請求項７】 前記装置は露光装置であることを特徴と
   する請求項１乃至請求項６いずれか記載の保守システ
   ム。
8. 【請求項８】 前記複数の装置は回線を介して前記保守
   システムに接続されていることを特徴とする請求項１乃
   至請求項７いずれか記載の保守システム。
9. 【請求項９】 複数の装置を保守管理する方法におい
   て、 前記複数の装置のそれぞれについて、該装置の異常に対
   処するための各種保守情報を保守情報記憶手段に記憶す
   る過程と、 該装置のそれぞれについて異常を検出した場合であっ
   て、かつ、該装置の異常に対処するための各種保守情報
   が前記保守情報記憶手段に記憶されていない場合に、該
   異常に対処するための対処方法を作成する過程と、 該新たな対処方法を前記複数の装置のうち少なくとも該
   異常の検出された装置へ通知する過程と、 該対処方法に基づいて、該新たな対処方法の通知された
   装置についての前記保守情報記憶手段に記憶された保守
   情報を更新する過程とを含むことを特徴とする保守方
   法。
10. 【請求項１０】 通信手段を介して複数の装置を管理手
    段で保守管理する方法において、 前記複数の装置のそれぞれが、該装置の異常に対処する
    ための各種保守情報を保守情報記憶手段に記憶する過程
    と、 該装置のそれぞれが、異常を検出した場合であって、か
    つ、該装置の異常に対処するための各種保守情報が前記
    保守情報記憶手段に記憶されていない場合に、該異常を
    前記通信手段を介して前記管理手段に通知する過程と、 該異常を通知された前記管理手段が、該異常に対処する
    ために新たに作成された対処方法を前記複数の装置のう
    ち少なくとも該異常の検出された装置へ前記通信手段を
    介して通知する過程と、 該新たな対処方法を通知された装置が、該対処方法に基
    づいて前記保守情報記憶手段の保守情報を更新すること
    を特徴とする保守方法。
11. 【請求項１１】 複数の装置を保守する保守方法を実現
    するプログラムを記録した、コンピュータによって読み
    込み可能な記録媒体であって、 前記複数の装置の個別情報と、装置に生じた異常とに基
    づいて、前記複数の装置のうちで前記異常が起こりうる
    他の装置を判定するプログラムを格納する領域と、 前記異常に対する対処方法を前記異常の検出された装置
    及び前記他の装置に通知するプログラムを格納する領域
    と、 前記対処方法に基づいて、前記異常の検出された装置及
    び前記他の装置の保守情報を更新するプログラムを格納
    する領域とを含むことを特徴とする記録媒体。
12. 【請求項１２】 前記個別情報として、各装置のタイ
    プ、仕様及び使用環境についての情報を記憶するプログ
    ラムを格納する領域をさらに含むことを特徴とする請求
    項１１記載の記録媒体。
13. 【請求項１３】 対処方法と異常とを関連づけて保守情
    報として記憶するプログラムを格納する領域をさらに含
    むことを特徴とする請求項１８又は請求項１９いずれか
    記載の記録媒体。
14. 【請求項１４】 前記保守方法は露光装置の保守方法で
    あることを特徴とする請求項１１乃至請求項１３いずれ
    か記載の記録媒体。
15. 【請求項１５】 マスクのパターンを基板上に投影する
    ことによって前記基板を露光する露光装置において、 前記露光装置の異常を検出する異常検出手段と、 前記露光装置の異常に対処するための各種保守情報を記
    憶する保守情報記憶手段と、 前記異常検出手段で異常が検出された場合であって、か
    つ、該異常に対処するための保守情報が前記保守情報記
    憶手段に記憶されていない場合に、該異常を対処方法通
    知手段に通知する異常通知手段と、 前記保守情報記憶手段に記憶されている保守情報を更新
    する保守情報更新手段と、 新たに作成された対処方法を通知する対処方法通知手段
    を備えた管理手段に通信回線を介して接続されており、
    前記通信回線を介して前記露光装置の異常及び対処方法
    に関する情報を前記管理手段との間で通信する通信手段
    と、 前記通信手段が前記管理手段から得た対処方法に基づい
    て、前記保守情報記憶手段に記憶されている保守情報を
    更新する更新手段と、 を備えることを特徴とする露光装置。
16. 【請求項１６】 前記保守情報は、異常と対処方法とを
    関連づけた情報を含むことを特徴とする請求項１５記載
    の露光装置。
17. 【請求項１７】 前記露光装置は、さらに個別情報を作
    成し、 前記露光装置の前記通信手段は、前記個別情報を前記管
    理手段に通知し、 前記管理手段の前記対処方法通知手段は、前記個別情報
    及び前記異常の通知の少なくとも一方に基づいて、前記
    新たな対処方法を通知することを特徴とする請求項１５
    又は請求項１６記載の露光装置。
18. 【請求項１８】 前記個別情報は、各装置のタイプ、仕
    様及び使用環境についての情報を含むことを特徴とする
    請求項１７記載の露光装置。
19. 【請求項１９】 前記露光装置は、 前記保守情報記憶手段を検索する検索手段をさらに備
    え、 前記異常検出手段が異常を検出した場合であって、前記
    検索手段が前記異常に係わる前記異常が検出された装置
    の保守情報を検索した結果、該保守情報が存在する場合
    に、前記検索手段は、前記検索された保守情報を前記異
    常が検出された露光装置に通知し、前記異常通知手段は
    前記異常を前記対処方法通知手段に通知しないことを特
    徴とする請求項１５乃至請求項１８のいずれか記載の露
    光装置。