JP2008077286A - 産業プロセス評価装置、産業プロセス評価方法及び産業プロセス評価プログラム - Google Patents

産業プロセス評価装置、産業プロセス評価方法及び産業プロセス評価プログラム Download PDF

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Abstract

【課題】産業用装置で発生した異常に適切に対処する。
【解決手段】アラーム検知部１０３は、製造装置１の各構成を監視し、製造プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する。プロセス評価部１０５は、アラーム影響度判定部１０５１により、当該異常が対象物（製品、半製品、仕掛品等）に与えた影響（アラーム影響度）を判定し、アラーム再発防止アドバイス判定部１０５３により、異常の再発防止に関するアドバイス（アラーム再発防止アドバイス）を判定する。出力デバイス５７に表示される処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３には、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスが含まれる。
【選択図】図３

Description

本発明は、産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価装置、産業プロセス評価方法及び産業プロセス評価プログラムに関する。
従来より、半導体製造装置で発生した異常に関する情報をディスプレイ等に表示して操作者に知らせることがおこなわれている。例えば、特許文献１には、半導体製造装置で発生した異常の原因及び対処法を表示する技術が開示されている。
特開平１０−２１０７９号公報
しかし、従来の技術では、半導体製造装置で発生した異常に適切に対処することが困難であるという問題があった。
すなわち、半導体製造装置で異常が発生した場合、当該半導体製造装置のユーザは、異常が発生した時刻に実行されていた製造プロセスを特定し、当該製造プロセスを実行することにより製造された対象物に当該異常が与えた影響、換言すれば、当該対象物を次工程に送っても問題ないか否かを解析する必要があった。このような解析作業は、多大な労力を必要とするものであり、半導体製造装置のベンダと協力しておこなわざるを得ない場合もあった。
また、半導体製造装置で異常が発生した場合、当該半導体製造装置のユーザは、異常の再発防止を図る必要があるが、これについても、過去の経験や半導体製造装置のベンダからの情報を元に、多大な労力を費やして対処する必要があった。
これらの事情は、半導体製造装置以外の製造装置、より一般的には、事業に用いられる産業用装置一般において同様である。
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、産業用装置で発生した異常に適切に対処することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価装置であって、前記産業プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する検知手段と、前記産業用装置が前記産業プロセスを実行することによって処理される対象物に前記異常が与えた影響を判定する第１判定手段と、前記第１判定手段の判定結果を出力する出力手段とを備える。
請求項２の発明は、請求項１に記載の産業プロセス評価装置において、前記第１判定手段の判定の基礎となるデータを更新する第１更新手段をさらに備える。
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の産業プロセス評価装置において、前記異常の再発防止に関するアドバイスを判定する第２判定手段をさらに備え、前記出力手段は、前記第１判定手段の判定結果とともに、前記第２判定手段の判定結果を出力する。
請求項４の発明は、請求項３に記載の産業プロセス評価装置において、前記第２判定手段の判定の基礎となるデータを更新する第２更新手段、をさらに備える。
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の産業プロセス評価装置において、前記出力手段の出力の妥当性の入力を受け付ける受け付け手段、をさらに備える。
請求項６の発明は、産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価方法であって、前記産業プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する検知工程と、前記産業用装置が前記産業プロセスを実行することによって処理される対象物に前記異常が与えた影響を判定する判定工程と、前記判定工程の判定結果を出力する出力工程とを備える。
請求項７の発明は、産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価プログラムであって、コンピュータに、前記産業プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する検知手順と、前記産業用装置が前記産業プロセスを実行することによって処理される対象物に前記異常が与えた影響を判定する判定手順と、前記判定手順の判定結果を出力する出力手順とを実行させる。
本発明によれば、産業プロセスの実行にあたって発生した異常が対象物に与えた影響を知ることができるので、異常に対して適切に対処することができる。
請求項２の発明によれば、第１判定手段の判定の基礎となるデータを適切なものにすることができるので、第１判定手段の判定結果を適切なものにすることができる。
請求項３の発明によれば、産業プロセスの実行にあたって発生した異常の再発防止に関するアドバイスを知ることができるので、異常にさらに適切に対処することができる。
請求項４の発明によれば、第２判定手段の判定の基礎となるデータを適切なものにすることができるので、第２判定手段の判定結果を適切なものにすることができる。
請求項５の発明によれば、出力手段の出力を適切なものにするための情報を得ることができる。
以下では、産業用装置において発生した異常が、当該産業用装置が処理対象とする対象物に与えた影響を評価し、評価結果を出力する技術について説明する。
ここで、「産業用装置」とは、事業に用いられる装置、特に、以下で具体的に説明するような、製品の製造に用いられる製造装置をいう。
＜１ 製造プロセス管理システムの構成＞
図１は、本発明の望ましい実施形態に係る製造プロセス評価システムＰＳの全体概略構成を示す図である。
図１に示すように、製造プロセス評価システムＰＳは、製造プロセスを実行する製造装置１と、製造プロセスに対する評価に関する情報（以下、「プロセス評価情報」）ＩＮＦ１を蓄積する製造プロセス評価データベース９を管理する製造プロセス評価管理装置３と、プロセス評価情報ＩＮＦ１の閲覧に用いられるプロセス評価用端末５と、製造プロセス評価システムＰＳの管理に用いられる管理用端末７とを備える。図１では、プロセス評価情報ＩＮＦ１の流れを実線の矢印で、プロセス評価情報ＩＮＦ１の判定の基礎となる判定用データの更新内容に関する情報（以下、「プロセス評価更新情報」）ＩＮＦ３の流れを一点破線の矢印で、プロセス評価情報ＩＮＦ１の妥当性に関する情報（以下、「プロセス評価成績フィードバック情報」）ＩＮＦ５の流れを点線の矢印で示している。なお、図１は、製造プロセス評価システムＰＳが含む製造装置１、プロセス評価用端末５及び管理用端末７の数が１個である場合を示しているが、製造プロセス評価システムＰＳが含む製造装置１、プロセス評価用端末５及び管理用端末７の数が２個以上となってもよい。
製造プロセス評価システムＰＳにおいてサーバとなる製造プロセス評価管理装置３は、ネットワーク８を介して、クライアントとなる製造装置１、プロセス評価用端末５及び管理用端末７と通信可能に接続されている。当該通信に用いるプロトコルは、特に制限されず、独自のプロトコルであってもよいし、ＨＴＴＰやＦＴＰのような汎用のプロトコルであってもよい。
製造装置１には、下記の動作を実現するプログラムＰＲＧ１を実行するため、少なくともＣＰＵ１１とメモリ１３とを備えるコンピュータが組み込まれている。製造装置１は、製造プロセスを実行するたびに、プロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価管理装置３へ送信する。さらに、製造装置１は、製造プロセスの実行にあたって異常が発生した場合、異常の内容に関する情報をプロセス評価情報ＩＮＦ１に付加して製造プロセス評価管理装置３へ送信する。
また、製造装置１は、プロセス評価更新情報ＩＮＦ３を製造プロセス評価管理装置３から受信すると、受信したプロセス評価更新情報ＩＮＦ３に基づいて判定用データを更新する。
製造プロセス評価管理装置３は、下記の動作を実現するプログラムＰＲＧ３を実行するため、少なくともＣＰＵ３１とメモリ３３とを備えるコンピュータである。製造プロセス評価管理装置３は、プロセス評価情報ＩＮＦ１を製造装置１から受信すると、受信したプロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９へ登録し、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５をプロセス評価用端末５から受信すると、受信したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造プロセス評価データベース９へ登録する。
また、製造プロセス評価管理装置３は、プロセス評価更新情報ＩＮＦ３を管理用端末７から受信すると、受信したプロセス評価更新情報ＩＮＦ３を製造装置１へ送信する。
さらに、製造プロセス評価管理装置３は、プロセス評価情報ＩＮＦ１の要求指令をプロセス評価用端末５から受信すると、要求されたプロセス評価情報ＩＮＦ１をプロセス評価用データベース９から取得して、取得したプロセス評価情報ＩＮＦ１をプロセス評価用端末５へ送信する。
また、製造プロセス評価管理装置３は、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の採取指令を管理用端末７から受信すると、採取指令に応じたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５をプロセス評価用データベース９から取得して、取得したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を管理用端末７へ送信する。
プロセス評価用端末５は、少なくともＣＰＵ５１とメモリ５３とを備えるコンピュータであり、ユーザインターフェースとして、キーボードやマウス等の入力デバイス５５と、ディスプレイやプリンタ等の出力デバイス５７とを備える。プロセス評価用端末５では、メモリ５３上のプログラムＰＲＧ５をコンピュータに実行させることにより、以下で説明する各種の機能や動作が実現されている。
プロセス評価用端末５は、入力デバイス５５に対しておこなわれた操作に応じたプロセス評価情報ＩＮＦ１の要求指令を製造プロセス評価管理装置３へ送信し、製造プロセス評価管理装置３から受信したプロセス評価情報ＩＮＦ１を出力デバイス５７へ出力する。
管理用端末７も、少なくともＣＰＵ７１とメモリ７３とを備えるコンピュータであり、ユーザインターフェースとして、キーボードやマウス等の入力デバイス７５と、ディスプレイやプリンタ等の出力デバイス７７とを備える。管理用端末７でも、メモリ７３上のプログラムＰＲＧ７をコンピュータに実行させることにより、以下で説明する各種の機能や動作が実現されている。
管理用端末７は、入力デバイス７５に対しておこなわれた操作に応じたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の採取指令を製造プロセス評価管理装置３へ送信し、製造プロセス評価管理装置３から受信したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を出力デバイス７７へ出力する。
｛製造装置｝
製造装置１は、製造プロセスを実行することにより対象物を処理する。ここで、「製造プロセス」とは、対象物に対する一連の操作をいう。
製造装置１は、対象物を加工する装置を含むことは当然であるが、対象物を加工しなくても、製品の製造に必要な装置で対象物に何らかの影響を及ぼす可能性があるもの、例えば、検査装置、搬送装置、環境管理装置等も含む。製造装置１には、例えば、半導体製造用の洗浄装置、熱処理装置、不純物導入装置、薄膜形成装置、リソグラフィー装置、平坦化装置等が含まれる。ただし、これらの装置は、製造装置１の例示に過ぎず、本発明の適用範囲を制限するものではない。
製造装置１は、製品の製造における一部又は全部の工程を担う。ここで、「一部又は全部の工程」というのは、製品の製造における全部の工程を製造装置１が担う必要はなく、製品の製造における一部の工程を製造装置１が担うのみでもよいという趣旨である。例えば、製造装置１は、洗浄工程、熱処理工程、不純物導入工程、薄膜形成工程、リソグラフィー工程、平坦化工程等を繰り返す半導体の製造における一の洗浄工程を担うのみでもよい。
続いて、製造装置１の概略構成を示す図２のブロック図を参照しつつ、製造装置１について説明する。図２に示すプロセス実行部１０１、アラーム検知部１０３、プロセス評価部１０５（アラーム影響度判定部１０５１、アラーム再発防止アドバイス判定部１０５３を含む）、通信制御部１０７及びプロセス評価情報更新部１０９は、メモリ１３上のプログラムＰＲＧ１をコンピュータが実行することにより実現される機能を模式的に示している。また、図２においては、プロセス評価情報ＩＮＦ１の流れを実線の矢印で、プロセス評価更新情報ＩＮＦ３の流れを一点破線の矢印で示している。
プロセス実行部１０１は、製造装置１の各構成を統括制御することにより、製造プロセスを実行する。
また、プロセス実行部１０１は、製造プロセスの実行が完了すると、製造プロセスに関する情報（以下、「製造プロセス情報」）ＩＮＦ７をプロセス評価部１０５へ伝達する。製造プロセス情報ＩＮＦ７は、「装置名」「プロセス実行日時」「実行プロセス名」「実行レシピ名」及び「プロセス実行結果」を含む。「プロセス実行結果」としては、製造プロセスが正常に終了した場合は、「正常終了」を伝達し、製造プロセスの実行にあたって異常が発生した場合は、異常の程度に応じて「アラーム発生」「警告発生」「注意発生」のいずれかを伝達する。
さらに、プロセス実行部１０１は、アラーム検知部１０３から異常の内容に関する情報（以下、「アラーム情報」）ＩＮＦ９が伝達された場合、製造プロセス情報ＩＮＦ７とともにアラーム情報ＩＮＦ９をプロセス評価部１０５へ伝達する。アラーム情報ＩＮＦ９は、「アラーム発生日時」「アラームレベル」「アラーム発生部位」及び「アラーム内容」を含む。「アラームレベル」としては、異常の程度に応じて「アラーム」「警告」「注意」のいずれかを伝達する。
アラーム検知部１０３は、製造装置１の各構成を監視し、製造プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する。また、アラーム検知部１０３は、異常を検知した場合、アラーム情報ＩＮＦ９をプロセス実行部１０１に伝達する。ここで、「異常」とは、製造装置１の動作や状態等があらかじめ定められた許容範囲を超えるこという。
プロセス評価部１０５は、プロセス実行部１０１から伝達されたアラーム情報ＩＮＦ９の有無に基づいて、製造プロセスの実行にあたって異常が発生したか否かを判定し、異常が発生したと判定した場合は、製造プロセスに対する評価をおこなう。
より具体的には、プロセス評価部１０５は、異常が発生したと判定した場合、アラーム影響度判定部１０５１により、当該異常が対象物（製品、半製品、仕掛品等）に与えた影響（以下、「アラーム影響度」）を判定し、アラーム再発防止アドバイス判定部１０５３により、異常の再発防止に関するアドバイス（以下、「アラーム再発防止アドバイス」）を判定する。この場合、プロセス評価部１０５は、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスをアラーム情報ＩＮＦ９に付加した上で、製造プロセス情報ＩＮＦ７及びアラーム情報ＩＮＦ９を含むプロセス評価情報ＩＮＦ１を通信制御部１０７へ伝達する。
一方、プロセス評価部１０５は、異常が発生しなかったと判定した場合、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスを判定しない。この場合、プロセス評価部１０５は、製造プロセス情報ＩＮＦ７をプロセス評価情報ＩＮＦ１として通信制御部１０７へ伝達する。
通信制御部１０７は、製造プロセス評価管理装置３の通信制御部３１１との通信を確立し、プロセス評価部１０５から伝達された製造プロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価管理装置３へ出力するとともに、製造プロセス評価管理装置３から入力されたプロセス評価更新情報ＩＮＦ３をプロセス評価情報更新部１０９へ伝達する。製造装置１と製造プロセス評価管理装置３との間の通信には、一般的な情報授受手段であるＣＯＭ（Component Object MOdel）、ＣＯＲＢＡ（Common Object Request Broker Architecture）及びＳＯＡＰ（Simple Object Access Protocol）等を用いることができる。
なお、製造装置１は、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスの判定の基礎となる判定用データとして、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７をメモリ３３に保持している。なお、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を、ハードディスクドライブ等の補助記憶装置に保持してもよい。
アラーム影響度判定部１０５１及びアラーム再発防止アドバイス判定部１０５３は、それぞれ、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を参照して、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスを判定する。プロセス評価情報更新部１０９は、プロセス評価更新情報ＩＮＦ３が通信制御部１０７から伝達されると、伝達されたプロセス評価更新情報ＩＮＦ３に基づいてアラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を更新する。
｛製造プロセス評価装置｝
図３は、製造プロセス評価管理装置３の概略構成を示すブロック図である。図３に示す、プロセス評価情報登録部３０１、プロセス評価成績フィードバック情報取得部３０３、プロセス評価成績フィードバック情報登録部３０５、プロセス評価情報取得部３０７、プロセス評価情報更新部３０９、通信制御部３１１，３１３，３１５は、メモリ３３上のプログラムＰＲＧ３をコンピュータが実行することにより実現される機能を模式的に示している。また、図３においては、プロセス評価情報ＩＮＦ１の流れを実線の矢印で、プロセス評価更新情報ＩＮＦ３の流れを一点破線の矢印で、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の流れを点線の矢印で示している。
通信制御部３１１は、製造装置１の通信制御部１０７との通信を確立し、製造装置１から入力されたプロセス評価情報ＩＮＦ１をプロセス評価情報登録部３０１へ伝達し、プロセス評価情報更新部３０９から伝達されたプロセス評価更新情報ＩＮＦ３を製造装置１へ出力する。
プロセス評価情報登録部３０１は、通信制御部３１１から伝達されたプロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９へ登録する。製造プロセス評価データベース９へのプロセス評価情報ＩＮＦ１の登録には、一般的な情報授受手段であるＯＤＢＣ（Open DataBase Connectivity）及びＡＤＯ（ActiveX Data Objects）等を用いることができる。
通信制御部３１５は、プロセス評価用端末５との通信を確立し、プロセス評価用端末５から入力されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５をプロセス評価成績フィードバック情報登録部３０５へ伝達し、プロセス評価情報取得部３０７から伝達されたプロセス評価情報ＩＮＦ１をプロセス評価用端末５へ出力する。製造プロセス評価管理装置３とプロセス評価用端末５との間の通信には、一般的な情報授受手段であるＣＯＭ、ＣＯＲＢＡ、ＳＯＡＰ、ＨＴＴＰ等を用いることができる。
プロセス評価情報取得部３０７は、要求されたプロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９から取得し、通信制御部３１５へ伝達する。製造プロセス評価データベース９からのプロセス評価情報ＩＮＦ１の取得には、一般的な情報授受手段であるＯＤＢＣ及びＡＤＯ等を用いることができる。
プロセス評価成績フィードバック情報登録部３０５は、通信制御部３１５から伝達されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造プロセス評価データベース９へ登録する。製造プロセス評価データベース９へのプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の登録には、一般的な情報授受手段であるＯＤＢＣ及びＡＤＯ等を用いることができる。
通信制御部３１３は、管理用端末７との通信を確立し、管理用端末７から入力されたプロセス評価更新情報ＩＮＦ３をプロセス評価情報更新部３０９へ伝達し、プロセス評価成績フィードバック情報取得部３０３から伝達されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を管理用端末７へ出力する。
プロセス評価成績フィードバック情報取得部３０３は、要求されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造プロセス評価データベース９から取得し、通信制御部３１３へ伝達する。製造プロセス評価データベース９からのプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の取得には、一般的な情報授受手段であるＯＤＢＣ及びＡＤＯ等を用いることができる。
プロセス評価情報更新部３０９は、通信制御部３１３から伝達されたプロセス評価更新情報ＩＮＦ３を通信制御部３１１へ伝達する。
｛アラーム影響度テーブル｝
図４は、製造装置１が半導体製造用の洗浄装置である場合のアラーム影響度テーブル１０５５の具体例を示す図である。
図４に示すように、アラーム影響度テーブル１０５５は、製造プロセス情報ＩＮＦ７及びアラーム情報ＩＮＦ９から特定することができる「アラーム内容」「アラーム発生部位」及び「プロセス内容」と、アラーム影響度を表す「アラーム影響レベル」及び「アラーム影響内容」とを対応づけたテーブルとなっている。
アラーム影響度判定部１０５１は、アラーム影響度テーブル１０５５を参照することにより、製造プロセス情報ＩＮＦ７及びアラーム情報ＩＮＦ９が与えられるごとに、「アラーム内容」「アラーム発生部位」及び「プロセス内容」を検索キーとして、当該検索キーと対応づけられた「アラーム影響レベル」及び「アラーム影響内容」を検索することにより、アラーム影響度を判定する。つまり、アラーム影響度判定部１０５１は、製造装置１の状態に加えて、製造装置１が実行する製造プロセスの内容も考慮して、アラーム影響度を判定している。
例えば、図４に示すアラーム影響度テーブル１０５５を用いた場合、「アラーム内容」が「動作オーバータイム（５秒未満）」、「アラーム発生部位」が「リフターＮｏ．００１」、「プロセス内容」が「純水洗浄」であれば、「アラーム影響レベル」は「なし」、「アラーム影響内容」は「影響ありません。」となる。しかし、「アラーム内容」及び「アラーム発生部位」が同じであっても、「プロセス内容」が「強酸洗浄」に変化すると、「アラーム影響レベル」は「Ｈ」、「アラーム影響内容」は「プロセスに甚大な影響を与えた可能性があります。検査工程に送ってください。」に変化する。
このように、アラーム情報ＩＮＦ９のみならず製造プロセス情報ＩＮＦ７に応じてアラーム影響度の判定結果を変化させることにより、アラーム影響度を適切に判定することができる。
｛アラーム再発防止アドバイステーブル｝
図５は、製造装置１が半導体製造用の洗浄装置である場合のアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７の具体例を示す図である。
図５に示すように、アラーム再発防止アドバイステーブル１０５７は、アラーム情報ＩＮＦ９から特定することができる「アラーム内容」及び「アラーム発生部位」と、アラーム再発防止アドバイスを表す「アラーム再発防止のアドバイス」とを対応づけたテーブルとなっている。
アラーム再発防止アドバイス判定部１０５３は、アラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を参照することにより、アラーム情報ＩＮＦ９が与えられるごとに、「アラーム内容」及び「アラーム発生部位」を検索キーとして、当該検索キーと対応づけられた「アラーム再発防止のアドバイス」を検索することにより、アラーム再発防止アドバイスを判定する。
例えば、図５に示すアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を用いた場合、「アラーム内容」が「動作オーバータイム（５秒未満）」、「アラーム発生部位」が「リフターＮｏ．００１」であれば、「アラーム再発防止のアドバイス」は「エアシリンダＮｏ．００１用のＮ２流量が足りない可能性があります。Ｎ２バルブＶ１２３の流量を0.5gal/min〜1.0gal/minの範囲で調整してください。また、１ヵ月置きに流量を確認をしてください。」となる。しかし、「アラーム発生部位」が同じであっても、「アラーム内容」が「動作オーバータイム（５秒以上６０秒未満）」に変化すると、「アラーム再発防止のアドバイス」は「エアシリンダＮｏ．００１用のＮ２流量が足りないか、シリンダ故障の可能性があります。Ｎ２バルブＶ１２３の流量を0.5gal/min〜1.0gal/minの範囲で調整してください。流量が適正の場合はシリンダ故障の可能性があります。この場合は弊社エンジニアまでご連絡ください。」に変化する。つまり、アラーム再発防止アドバイス判定部１０５３は、異常の発生原因として考えられる製造装置１の調整不良や故障に対する対処法に関する情報をアラーム再発防止アドバイスとして生成することになる。
このように、アラーム情報ＩＮＦ９に応じてアラーム再発防止アドバイスの判定結果を変化させることにより、アラーム再発防止アドバイスを適切に判定することができる。
｛処理プロセス結果一覧画面｝
図６は、プロセス評価情報ＩＮＦ１を閲覧する際に出力デバイス（以下では、ディスプレイであるとする）５７に表示される処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１の具体例を示す図である。
図６に示すように、処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１は、プロセス評価情報ＩＮＦ１が含む「装置名」「プロセス実行日時」「実行プロセス名」「実行レシピ名」及び「プロセス実行結果」をそれぞれ表示する装置名ラベル、プロセス実行日時ラベル、実行プロセス名ラベル、実行レシピ名ラベル及びプロセス実行結果ラベルを備える。
処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１では、「装置名」が領域Ａ１１に表示される。
また、処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１では、領域Ａ１１に表示された「装置名」のプロセス評価情報ＩＮＦ１ごとに、「プロセス実行日時」「実行プロセス名」「実行レシピ名」及び「プロセス実行結果」が領域Ａ１２に表示される。さらに、処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１は、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３を出力デバイス５７に呼び出すために用いられる詳細情報閲覧ボタンＢ１１を備える。詳細情報閲覧ボタンＢ１１の各々は、領域Ａ１２に表示されたプロセス評価情報ＩＮＦ１の各々に対応する。
処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１では、領域Ａ１３で指定された検索条件に合致するプロセス評価情報ＩＮＦ１のみを抽出して領域Ａ１２に表示することができる。領域Ａ１３では、「プロセス実行日時」「実行プロセス名」「実行レシピ名」及び「プロセス実行結果」を検索条件として指定してプロセス評価情報ＩＮＦ１を絞り込むことができる。これにより、操作者は、所望のプロセス評価情報ＩＮＦ１、例えば、「プロセス実行結果」が「アラーム発生」となっているプロセス評価情報ＩＮＦ１のみを選択して閲覧することができ、プロセス評価に関する業務を効率的に遂行することができる。
｛処理プロセス結果詳細画面｝
図７は、処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１における詳細情報閲覧ボタンＢ１１の押下に応答して出力デバイス５７に表示される処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３の具体例を示す図である。
図７に示すように、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３では、プロセス評価情報ＩＮＦ１の「プロセス実行日時」「実行プロセス名」「実行レシピ名」及び「プロセス実行結果」が領域Ａ３１に表示される。領域Ａ３１に表示されたプロセス評価情報ＩＮＦ１は、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３を表示する直前に処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１において押下された詳細情報閲覧ボタンＢ１１に対応するものである。
また、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３では、領域Ａ３１に表示された製造プロセスの実行に際して発生した異常ごとに「アラーム発生日時」「アラームレベル」「アラーム内容」「アラーム発生部位」「プロセス内容」及び「アラーム影響度（アラーム影響レベル）」が領域Ａ３２に表示される。
さらに、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３では、領域Ａ３２に表示された「アラーム発生日時」をクリックすることにより選択された異常に係る「アラーム影響度（アラーム影響内容）」及び「アラーム再発防止アドバイス（アラーム再発防止のアドバイス）」が領域Ａ３３に表示される。
加えて、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３は、アラーム影響度と再発防止のための評価画面ＳＣ５を出力デバイス５７に呼び出すために用いられる評価ボタンＢＴ３１を備える。
操作者は、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３に表示されたアラーム影響度を閲覧することにより、製造プロセスの実行にあたって発生した異常が対象物に与えた影響を知ることができるので、当該異常に対して適切に対処することができる。例えば、製造装置１が半導体製造用の洗浄装置である場合、洗浄対象のウェーハを検査工程に送るべきか、異常を無視して次工程に送るべきか、再度洗浄処理をおこなうべきかを異常発生時に適切に選択することができる。
さらに、操作者は、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３に表示されたアラーム再発防止アドバイスを閲覧することにより、製造プロセスの実行にあたって発生した異常の再発防止に関するアドバイスを知ることができるので、異常に対してさらに適切に対処することができる。例えば、製造装置１を調整すべきか、製造装置１を故障修理すべきかを異常発生時に適切に選択することができる。
｛評価画面｝
図８は、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３における評価ボタンＢＴ３１の押下に応答して出力デバイス５７に表示される評価画面ＳＣ５の具体例を示す図である。
図８に示すように、評価画面ＳＣ５では、評価画面ＳＣ５を表示する直前に処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３の領域Ａ３１に表示されていた「プロセス実行日時」「実行プロセス名」「実行レシピ名」及び「プロセス実行結果」が領域Ａ５１に表示され、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３の領域Ａ３２に表示されていた「アラーム影響度（アラーム影響内容）」が領域Ｓ５２に表示され、処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３の領域Ａ３３に表示されていた「アラーム再発防止アドバイス（アラーム再発防止のアドバイス）」が領域Ａ５３に表示される。
また、評価画面ＳＣ５は、領域Ａ５２に、「アラーム影響度（アラーム影響内容）」の妥当性（的を射たものであるか否か）の入力を受け付けるチェックボックスＣ５１を備える。さらに、評価画面ＳＣ５は、領域Ａ５３に、「アラーム再発防止アドバイス（アラーム再発防止のアドバイス）」の妥当性（的を射たものであるか否か）の入力を受け付けるチェックボックスＣ５２を備える。
チェックボックスＣ５１においては、「全く正しい」「正しい」「普通」「当てはまらない」及び「全く当てはまらない」の５個の選択肢から１個を選択することができ、チェックボックスＣ５２においては、「かなり役立った」「役立った」「普通」「役立たなかった」及び「全く役立たなかった」の５個の選択肢から１個を選択することができる。このように、複数の選択肢から最も適切なものを選択するようにすれば、操作者に過大な負荷を与えることなくプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を操作者から得ることができ、取得したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を容易に処理することができるが、このことは、これ以外の方法によりプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を取得することを妨げるものではない。例えば、妥当性に応じた点数を入力するようにしてもよいし、妥当性についての見解を文章で入力するようにしてもよい。
加えて、評価画面ＳＣ５は、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の登録を指示するために用いられる登録ボタンＢ５１を備える。
＜２ 製造プロセス管理システムの動作＞
｛プロセス評価情報の蓄積｝
図９は、製造プロセス評価データベース９へプロセス評価情報ＩＮＦ１を蓄積する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。
図９に示すように、プロセス評価情報ＩＮＦ１の蓄積にあたっては、まず、製造装置１において、プロセス実行部１０１が製造プロセスを実行する（ステップＳ１０１）。
このとき、製造プロセスの実行にあたって発生した異常をアラーム検知部１０３が検出すると（ステップＳ１０２で"YES"）、アラーム検知部１０３は、アラーム情報ＩＮＦ９をプロセス実行部１０１へ伝達し（ステップＳ１０３）、プロセス実行部１０１は、製造プロセス情報ＩＮＦ７及びアラーム情報ＩＮＦ９をプロセス評価部１０５へ伝達する（ステップＳ１０４）。これにより、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスの判定に必要となる情報、より具体的には、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７に対する検索に必要な検索キーの準備が整ったことになる。
これに応答して、アラーム影響度判定部１０５１は、アラーム影響度テーブル１０５５を参照してアラーム影響度を判定し（ステップＳ１０５）、アラーム再発防止アドバイス判定部１０５３は、アラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を参照してアラーム再発防止アドバイスを判定し（ステップＳ１０６）、プロセス評価部１０５は、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスをアラーム情報ＩＮＦ９に付加した上で、製造プロセス情報ＩＮＦ７及びアラーム情報ＩＮＦ９を含むプロセス評価情報ＩＮＦ１を、通信制御部１０７，３１１を経由して、製造プロセス評価管理装置３のプロセス評価情報登録部３０１へ送信する（ステップＳ１０９）。
一方、アラーム検知部１０３が異常を検知しない場合、プロセス実行部１０１は、製造プロセス情報ＩＮＦ７をプロセス評価部１０５へ伝達し（ステップＳ１０７）、プロセス評価部１０５は、製造プロセス情報ＩＮＦ７をプロセス評価情報ＩＮＦ１として、通信制御部１０７，３１１を経由して、プロセス評価情報登録部３０１へ送信する（ステップＳ１０９）。
これに対して、プロセス評価情報登録部３０１は、受信したプロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９に格納する（ステップＳ１１０）。
製造プロセス評価システムＰＳ１では、製造プロセスを実行するたびにステップＳ１０１〜Ｓ１１０を繰り返し実行することにより、全ての製造プロセスについてのプロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９に蓄積する。ただし、このことは、ステップＳ１０７〜Ｓ１０８を実行せず、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスが付加されたプロセス評価情報ＩＮＦ１のみを製造プロセス評価データベース９に蓄積することや、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスが付加されたプロセス評価情報ＩＮＦ１の一部のみ、例えば、アラーム影響レベルが「Ｈ」のプロセス評価情報ＩＮＦ１のみを製造プロセス評価データベース９に蓄積することを本発明から除外するものではない。
｛プロセス評価情報の閲覧｝
図１０は、製造プロセス評価データベース９に蓄積されたプロセス評価情報ＩＮＦ１を閲覧する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。
図１０に示すように、プロセス評価情報ＩＮＦ１の閲覧にあたっては、まず、プロセス評価用端末５が、入力デバイス５５を用いて操作者が指定した「装置名」のプロセス評価情報ＩＮＦ１の要求指令を、通信制御部３１５を経由して、プロセス評価情報取得部３０７に対して発行する。もちろん、要求指令の発行にあたって、「装置名」以外を操作者が指定できるようにしてもよい。なお、製造プロセス評価管理装置３にＷｅｂサーバを実装すれば、Ｗｅｂブラウザがインストールされた汎用のパーソナルコンピュータをプロセス評価用端末５として利用することができ、ＨＴＴＰリクエストとして要求指令を発行することができる。
これに対して、プロセス評価情報取得部３０７は、要求指令に応じたプロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９から取得し（ステップＳ２０２）、取得したプロセス評価情報ＩＮＦ１を、通信制御部３１５を経由して、プロセス評価用端末５へ送信する（ステップＳ２０３）。そして、プロセス評価用端末５は、受信したプロセス評価情報ＩＮＦ１を含む処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１を出力デバイス５７に表示する（ステップＳ２０４）。
製造プロセス評価システムＰＳでは、プロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベース９へいったん蓄積し、蓄積されたプロセス評価情報ＩＮＦ１をプロセス評価用端末５を用いて閲覧するので、所望のプロセス評価情報ＩＮＦ１だけを選択して閲覧することが可能であり、プロセス評価に関する業務を効率的に遂行することができる。
｛プロセス評価成績フィードバック情報の蓄積｝
図１１は、製造プロセス評価データベース９へプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を蓄積する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。
図１１に示すように、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の蓄積にあたっては、まず、プロセス評価用端末５が、登録ボタンＢ５１の押下に応答して、チェックボックスＣ５１，Ｃ５２を用いて入力されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を、通信制御部３１５を経由して、製造プロセス評価管理装置３のプロセス評価成績フィードバック情報登録部３０５へ送信する（ステップＳ３０１）。
これに対して、プロセス評価成績フィードバック情報登録部３０５は、受信したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造プロセス評価データベース９へ格納する（ステップＳ３０２）。
製造プロセス評価システムＰＳ１では、評価画面ＳＣ５においてアラーム情報及びアラーム再発防止アドバイスの妥当性が評価され、登録ボタンＢ５１が押下されるごとにステップＳ３０１〜Ｓ３０２を繰り返し実行することにより、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造プロセス評価データベース９に蓄積する。
｛プロセス評価成績フィードバック情報の採取｝
図１２は、製造プロセス評価データベース９に蓄積されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造装置１のベンダが採取する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。
図１２に示すように、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の採取にあたっては、まず、管理用端末７が、入力デバイス７５に対する操作者の採取操作に応じて、採取指令を、通信制御部３１３を経由して、製造プロセス評価管理装置３のプロセス評価成績フィードバック情報取得部３０３に対して発行する（ステップＳ４０１）。もちろん、採取指令の発行にあたって、採取すべきプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の登録日時等を指定できるようにしてもよい。
これに対して、プロセス評価成績フィードバック情報取得部３０３は、採取指令に応じたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造プロセス評価データベース９から取得し（ステップＳ４０２）、取得したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を、通信制御部３１３を経由して、管理用端末７へ送信する（ステップＳ４０３）。
管理用端末７は、受信したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を出力デバイス７７に表示する（ステップＳ４０４）。もちろん、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を出力デバイス７７に表示するのに代えて、又は、プロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を出力デバイス７７に表示するのに加えて、受信したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５をストレージに保存したり、他のコンピュータ（例えば、製造装置１のベンダの施設内のコンピュータ）に転送したりするようにしてもよい。
このようにして採取したプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を参照すれば、「当てはまらない」「全く当てはまらない」等の否定的な評価が与えられた、妥当性を欠く（的外れの）アラーム影響度を知ることができるとともに、「役立たなかった」「全く役立たなかった」等の否定的な評価が与えられた、妥当性を欠く（的外れの）アラーム再発防止アドバイスを知ることができ、アラーム影響度テーブル１０５５やアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７の妥当性を検証することができる。
このように、製造プロセス評価システムＰＳでは、製造装置１のユーザによるプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５の蓄積と、製造装置１のベンダによるプロセス評価成績フィードバック情報の採取とを通して、アラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスに対する評価を製造装置１のユーザからベンダへフィードバックできるようになっている。
｛判定用データの更新｝
図１３は、判定用データ、すなわち、アラーム影響度テーブル１０５５やアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を更新する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。判定用データの更新は、主に、判定用データの妥当性を検証した結果、判定用データが妥当性を欠くことが判明した場合におこなわれる。
図１３に示すように、判定用データの更新にあたっては、まず、管理用端末７が、適切に修正された新たな判定用データを含むプロセス評価更新情報ＩＮＦ３を、通信制御部３１３を経由して、製造プロセス評価管理装置３のプロセス評価情報更新部３０９へ送信する（ステップＳ５０１）。なお、管理用端末７への新たな判定用データの入力は、入力デバイス７５を用いて行ってもよいし、他のコンピュータ（例えば、製造装置１のベンダの施設内のコンピュータ）から転送するようにしてもよいし、新たな判定用データを記憶した記憶媒体を管理用端末７に読み取らせるようにしてもよい。
これに対して、プロセス評価情報更新部３０９は、受信したプロセス評価更新情報ＩＮＦ３を、通信制御部３１１、１０７を経由して、製造装置１のプロセス評価情報更新部１０９へ送信する（ステップＳ５０２）。
そして、プロセス評価情報更新部１０９は、受信したプロセス評価更新情報ＩＮＦ３に基づいて、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を更新する（ステップＳ５０３）。これにより、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７は、適切に修正されたものに置き換えられ、アラーム影響度判定部１０５１及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７は、適切な判定をおこなうことができるようになる。その結果として、アラーム影響度テーブル１０５５及びアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７の更新後に製造プロセス評価データベース９に蓄積されるプロセス評価情報ＩＮＦ１は適切なものとなり、製造装置１のユーザからベンダへの評価のフィードバックが生かされたことになる。
＜その他＞
上述の実施形態では、異常の発生に同期してアラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスを判定するようにしていたが、異常が発生した時点では製造プロセス情報ＩＮＦ７及びアラーム情報ＩＮＦ９を蓄積しておき、プロセス評価情報ＩＮＦ１の要求指令に同期また、製造装置１の内部でアラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスを判定することも必須ではなく、製造プロセス評価管理装置３の内部でアラーム影響度及びアラーム再発防止アドバイスを判定するようにしてもよい。
また、上述の実施形態では、プロセス評価情報ＩＮＦ１を製造プロセス評価データベースＩＮＦ１へいったん蓄積し、蓄積されたプロセス評価情報ＩＮＦ１をプロセス評価用端末５を用いて閲覧する例を示したが、プロセス評価情報ＩＮＦ１を製造装置１や製造プロセス評価管理装置３に設けられたディスプレイやプリンタ等の出力デバイスにリアルタイムに出力するようにすれば、緊急に対処すべき異常にも容易に対処することができる。
本発明の望ましい実施形態に係る製造プロセス評価システムＰＳの全体概略構成を示す図である。 製造装置１の概略構成を示すブロック図である。 製造プロセス評価管理装置３の概略構成を示すブロック図である。 製造装置１が半導体製造用の洗浄装置である場合のアラーム影響度テーブル１０５５の具体例を示す図である。 製造装置１が半導体製造用の洗浄装置である場合のアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７の具体例を示す図である。 プロセス評価情報ＩＮＦ１を閲覧する際に出力デバイス５７に表示される処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１の具体例を示す図である。 処理プロセス結果一覧画面ＳＣ１における詳細情報閲覧ボタンＢ１１の押下に応答して出力デバイス５７に表示される処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３の具体例を示す図である。 処理プロセス結果詳細画面ＳＣ３における評価ボタンＢＴ３１の押下に応答して出力デバイス５７に表示される評価画面ＳＣ５の具体例を示す図である。 製造プロセス評価データベース９へプロセス評価情報ＩＮＦ１を蓄積する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。 製造プロセス評価データベース９に蓄積されたプロセス評価情報ＩＮＦ１を閲覧する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。 製造プロセス評価データベース９へプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を蓄積する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。 製造プロセス評価データベース９に蓄積されたプロセス評価成績フィードバック情報ＩＮＦ５を製造装置１のベンダが採取する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。 アラーム影響度テーブル１０５５やアラーム再発防止アドバイステーブル１０５７を更新する際の製造プロセス評価システムＰＳの動作を示すフローチャートである。
符号の説明
１ 製造装置
３ 製造プロセス評価管理装置
５ 管理用端末
７ プロセス評価用端末
５７ 出力デバイス
１０１ プロセス実行部
１０３ アラーム検知部
１０５ プロセス評価部
１０９ プロセス評価情報更新部
１０５１ アラーム影響度判定部
１０５３ アラーム再発防止アドバイス判定部
１０５５ アラーム影響度テーブル
１０５７ アラーム再発防止アドバイステーブル
ＩＮＦ１ プロセス評価情報
ＩＮＦ３ プロセス評価更新情報
ＩＮＦ５ プロセス評価成績フィードバック情報
ＰＳ 製造プロセス評価システム
ＰＲＧ１，ＰＲＧ３，ＰＲＧ５，ＰＲＧ７ プログラム

Claims (7)

  1. 産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価装置であって、
    前記産業プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する検知手段と、
    前記産業用装置が前記産業プロセスを実行することによって処理される対象物に前記異常が与えた影響を判定する第１判定手段と、
    前記第１判定手段の判定結果を出力する出力手段と、
    を備えることを特徴とする産業プロセス評価装置。
  2. 請求項１に記載の産業プロセス評価装置において、
    前記第１判定手段の判定の基礎となるデータを更新する第１更新手段、
    をさらに備えることを特徴とする産業プロセス評価装置。
  3. 請求項１又は請求項２に記載の産業プロセス評価装置において、
    前記異常の再発防止に関するアドバイスを判定する第２判定手段、
    をさらに備え、
    前記出力手段は、前記第１判定手段の判定結果とともに、前記第２判定手段の判定結果を出力する、
    ことを特徴とする産業プロセス評価装置。
  4. 請求項３に記載の産業プロセス評価装置において、
    前記第２判定手段の判定の基礎となるデータを更新する第２更新手段、
    をさらに備えることを特徴とする産業プロセス評価装置。
  5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の産業プロセス評価装置において、
    前記出力手段の出力の妥当性の入力を受け付ける受け付け手段、
    をさらに備えることを特徴とする産業プロセス評価装置。
  6. 産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価方法であって、
    前記産業プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する検知工程と、
    前記産業用装置が前記産業プロセスを実行することによって処理される対象物に前記異常が与えた影響を判定する判定工程と、
    前記判定工程の判定結果を出力する出力工程と、
    を備えることを特徴とする産業プロセス評価方法。
  7. 産業用装置が実行した産業プロセスを評価する産業プロセス評価プログラムであって、コンピュータに、
    前記産業プロセスの実行にあたって発生した異常を検知する検知手順と、
    前記産業用装置が前記産業プロセスを実行することによって処理される対象物に前記異常が与えた影響を判定する判定手順と、
    前記判定手順の判定結果を出力する出力手順と、
    を実行させることを特徴とする産業プロセス評価プログラム。
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