KR20080026471A - 산업 프로세스 평가 장치, 산업 프로세스 평가 방법 및산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체 - Google Patents

산업 프로세스 평가 장치, 산업 프로세스 평가 방법 및산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체 Download PDF

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야스노리 나카무라
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다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
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Abstract

산업용 장치에서 발생한 이상에 적절히 대처하는 것으로서, 알람 검지부(103)는, 제조 장치(1)의 각 구성을 감시하고, 제조 프로세스의 실행에 있어서 발생한 이상을 검지한다. 프로세스 평가부(105)는, 알람 영향도 판정부(1051)에 의해, 상기 이상이 대상물(제품, 반제품, 제작중인 물건 등)에 미친 영향(알람 영향도)을 판정하고, 알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)에 의해, 이상의 재발 방지에 관한 어드바이스(알람 재발 방지 어드바이스)를 판정한다. 출력 디바이스(57)에 표시되는 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에는, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스가 포함된다.

Description

산업 프로세스 평가 장치, 산업 프로세스 평가 방법 및 산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체{INDUSTRIAL PROCESS EVALUATION APPARATUS, INDUSTRIAL PROCESS EVALUATION METHOD AND A RECORDING MEDIA HAVING RECORDED THEREON AN INDUSTRIAL PROCESS EVALUATION PROGRAM}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 형태에 관한 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 전체 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는 제조 장치(1)의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3은 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 4는 제조 장치(1)가 반도체 제조용 세정 장치인 경우의 알람 영향도 테이블(1055)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 5는 제조 장치(1)가 반도체 제조용의 세정 장치인 경우의 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 6은 프로세스 평가 정보(INF1)를 열람할 때에 출력 디바이스(57)에 표시되는 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 7은 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)에 있어서의 상세 정보 열람 버튼(B11)의 누름에 응답하여 출력 디바이스(57)에 표시되는 처리 프로세스 결과 상 세 화면(SC3)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 8은 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에 있어서의 평가 버튼(BT31)의 누름에 응답하여 출력 디바이스(57)에 표시되는 평가 화면(SC5)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 9는 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 프로세스 평가 정보(INF1)를 축적할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 10은 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적된 프로세스 평가 정보(INF1)를 열람할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 11은 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 축적할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 12는 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적된 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 장치(1)의 벤더가 채취할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 13은 알람 영향도 테이블(1055)이나 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 갱신할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
<부호의 설명>
1 : 제조 장치 3 : 제조 프로세스 평가 관리 장치
5 : 관리용 단말 7 : 프로세스 평가용 단말
57 : 출력 디바이스 101 : 프로세스 실행부
103 : 알람 검지부 105 : 프로세스 평가부
109 : 프로세스 평가 정보 갱신부
1051 : 알람 영향도 판정부
1053 : 알람 재발 방지 어드바이스 판정부
1055 : 알람 영향도 테이블
1057 : 알람 재발 방지 어드바이스 테이블
INF1 : 프로세스 평가 정보
INF3 : 프로세스 평가 갱신 정보
INF5 : 프로세스 평가 성적 피드백 정보
PS : 제조 프로세스 평가 시스템
PRG1, PRG3, PRG5, PRG7 : 프로그램
본 발명은, 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 장치, 산업 프로세스 평가 방법 및 산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 제조 장치에서 발생한 이상에 관한 정보를 디스플레이 등에 표시하여 조작자에게 알리는 것이 행해지고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는, 반도체 제조 장치에서 발생한 이상의 원인 및 대처법을 표시하는 기술이 개시되어 있다.
<특허문헌 1> 일본국 특개평 10-21079호 공보
그러나, 종래의 기술에서는, 반도체 제조 장치에서 발생한 이상에 적절하게 대처하는 것이 곤란하다는 문제가 있다.
즉, 반도체 제조 장치에서 이상이 발생한 경우, 상기 반도체 제조 장치의 사용자는, 이상이 발생한 시각에 실행된 제조 프로세스를 특정하고, 상기 제조 프로세스를 실행함으로써 제조된 대상물에 상기 이상이 미친 영향, 환언하면, 해당 대상물을 다음 공정으로 보내도 문제없는지 여부를 해석할 필요가 있다. 이러한 해석 작업은, 막대한 노력을 필요로 하는 것으로, 반도체 제조 장치의 벤더와 협력하지 않으면 안되는 경우도 있다.
또한, 반도체 제조 장치에서 이상이 발생한 경우, 상기 반도체 제조 장치의 사용자는, 이상의 재발 방지를 꾀할 필요가 있는데, 이에 대해서도, 과거의 경험이나 반도체 제조 장치의 벤더로부터의 정보를 바탕으로, 막대한 노력을 소비하여 대처할 필요가 있다.
이들 정보는, 반도체 제조 장치 이외의 제조 장치, 보다 일반적으로는, 사업에 이용되는 산업용 장치 일반에 있어서 동일하다.
본 발명은, 이 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 산업용 장치에서 발생한 이상에 적절히 대처하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1의 발명은, 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 장치로서, 상기 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지하는 검지 수단과, 상기 산업용 장치가 상기 산업 프로세스를 실행함으로써 처리되는 대상물에 상기 이상이 미친 영향을 판정하는 제1 판정 수단과, 상기 제1 판정 수단의 판정 결과를 출력하는 출력 수단을 구비한다.
청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재의 산업 프로세스 평가 장치에 있어서, 상기 제1 판정 수단의 판정의 기초가 되는 데이터를 갱신하는 제1 갱신 수단을 더 구비한다.
청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재의 산업 프로세스 평가 장치에 있어서, 상기 이상의 재발 방지에 관한 어드바이스를 판정하는 제2 판정 수단을 더 구비하고, 상기 출력 수단은, 상기 제1 판정 수단의 판정 결과와 동시에, 상기 제2 판정 수단의 판정 결과를 출력한다.
청구항 4의 발명은, 청구항 3에 기재의 산업 프로세스 평가 장치에 있어서, 상기 제2 판정 수단의 판정의 기초가 되는 데이터를 갱신하는 제2 갱신 수단을 더 구비한다.
청구항 5의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재의 산업 프로세스 평가 장치에 있어서, 상기 출력 수단의 출력의 타당성의 입력을 접수하는 접수 수단을 더 구비한다.
청구항 6의 발명은, 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 방법으로서, 상기 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지하는 검지 공정과, 상기 산업용 장치가 상기 산업 프로세스를 실행함으로써 처리되는 대상물에 상기 이상이 미친 영향을 판정하는 판정 공정과, 상기 판정 공정의 판정 결과를 출력하는 출력 공정을 구비한다.
청구항 7의 발명은, 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체로서, 상기 산업 프로세스 평가 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, 상기 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지하는 검지 순서와, 상기 산업용 장치가 상기 산업 프로세스를 실행함으로써 처리되는 대상물에 상기 이상이 미친 영향을 판정하는 판정 순서와, 상기 판정 순서의 판정 결과를 출력하는 출력 순서를 실행시킨다.
<발명을 실시하기위한 최선의 형태>
이하에서는, 산업용 장치에 있어서 발생한 이상이, 해당 산업용 장치가 처리 대상으로 하는 대상물에 미친 영향을 평가하고, 평가 결과를 출력하는 기술에 대해서 설명한다.
여기서, 「산업용 장치」란, 사업에 이용되는 장치, 특히, 이하에 구체적으로 설명하는 것과 같은, 제품의 제조에 이용되는 제조 장치를 말한다.
<1. 제조 프로세스 관리 시스템의 구성>
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 형태에 관한 제조 프로세스 평가 시스 템(PS)의 전체 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 1에 도시하는 바와같이, 제조 프로세스 평가 시스템(PS)은, 제조 프로세스를 실행하는 제조 장치(1)와, 제조 프로세스에 대한 평가에 관한 정보(이하, 「프로세스 평가 정보」)(INF1)를 축적하는 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)를 관리하는 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)와, 프로세스 평가 정보(INF1)의 열람에 이용되는 프로세스 평가용 단말(5)과, 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 관리에 이용되는 관리용 단말(7)을 구비한다. 도 1에서는, 프로세스 평가 정보(INF1)의 흐름을 실선의 화살표로, 프로세스 평가 정보(INF1)의 판정의 기초가 되는 판정용 데이터의 갱신 내용에 관한 정보(이하, 「프로세스 평가 갱신 정보」)(INF3)의 흐름을 일점 파선의 화살표로, 프로세스 평가 정보(INF1)의 타당성에 관한 정보(이하, 「프로세스 평가 성적 피드백 정보」)(INF5)의 흐름을 점선의 화살표로 표시한다. 또한, 도 1은 제조 프로세스 평가 시스템(PS)이 포함하는 제조 장치(1), 프로세스 평가용 단말(5) 및 관리용 단말(7)의 수가 1개인 경우를 나타내는데, 제조 프로세스 평가 시스템(PS)이 포함하는 제조 장치(1), 프로세스 평가용 단말(5) 및 관리용 단말(7)의 수가 2개 이상이 되어도 된다.
제조 프로세스 평가 시스템(PS)에서 서버가 되는 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)는, 네트워크(8)를 통해, 클라이언트가 되는 제조 장치(1), 프로세스 평가용 단말(5) 및 관리용 단말(7)과 통신 가능하게 접속되어 있다. 상기 통신에 이용하는 프로토콜은 특별히 제한되지 않고, 독자의 프로토콜이어도 되고, HTTP나 FTP와 같은 범용의 프로토콜이어도 된다.
제조 장치(1)에는, 하기의 동작을 실현하는 프로그램 (PRG1)을 실행하기 위해서, 적어도 CPU(11)와 메모리(13)를 구비하는 컴퓨터가 조합되어 있다. 제조 장치(1)는, 제조 프로세스를 실행할 때마다, 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로 송신한다. 또한, 제조 장치(1)는, 제조 프로세스의 실행에 있어 이상이 발생한 경우, 이상의 내용에 관한 정보를 프로세스 평가 정보(INF1)에 부가하여 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로 송신한다.
또한, 제조 장치(1)는, 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로부터 수신하면, 수신한 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)에 의거해 판정용 데이터를 갱신한다.
제조 프로세스 평가 관리 장치(3)는, 하기의 동작을 실현하는 프로그램 (PRG3)을 실행하므로, 적어도 CPU(31)와 메모리(33)를 구비하는 컴퓨터이다. 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)는, 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 장치(1)로부터 수신하면, 수신한 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 등록하고, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 프로세스 평가용 단말(5)로부터 수신하면, 수신한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 등록한다.
또한, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)는, 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를 관리용 단말(7)로부터 수신하면, 수신한 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를 제조 장치(1)로 송신한다.
또한, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)는, 프로세스 평가 정보(INF1)의 요 구 지령을 프로세스 평가용 단말(5)로부터 수신하면, 요구된 프로세스 평가 정보(INF1)를 프로세스 평가용 데이터 베이스(9)로부터 취득하고, 취득한 프로세스 평가 정보(INF1)를 프로세스 평가용 단말(5)로 송신한다.
또한, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)는, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 채취 지령을 관리용 단말(7)로부터 수신하면, 채취 지령에 따른 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 프로세스 평가용 데이터 베이스(9)로부터 취득하고, 취득한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 관리용 단말(7)로 송신한다.
프로세스 평가용 단말(5)은, 적어도 CPU(51)와 메모리(53)를 구비하는 컴퓨터이고, 사용자 인터페이스로서, 키보드나 마우스 등의 입력 디바이스(55)와, 디스플레이나 프린터 등의 출력 디바이스(57)를 구비한다. 프로세스 평가용 단말(5)에서는, 메모리(53) 상의 프로그램 (PRG5)을 컴퓨터에 실행시킴으로써, 이하에 설명하는 각종 기능이나 동작이 실현된다.
프로세스 평가용 단말(5)은, 입력 디바이스(55)에 대해 행해진 조작에 따른 프로세스 평가 정보(INF1)의 요구 지령을 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)에 송신하고, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로부터 수신한 프로세스 평가 정보(INF1)를 출력 디바이스(57)에 출력한다.
관리용 단말(7)도, 적어도 CPU(71)와 메모리(73)를 구비하는 컴퓨터이고, 사용자 인터페이스로서, 키보드나 마우스 등의 입력 디바이스(75)와, 디스플레이나 프린터 등의 출력 디바이스(77)를 구비한다. 관리용 단말(7)이라도, 메모리(73) 상의 프로그램 (PRG7)을 컴퓨터에 실행시킴으로써, 이하에서 설명하는 각종 기능이나 동작이 실현된다.
관리용 단말(7)은, 입력 디바이스(75)에 대해 행해진 조작에 따른 프로세스 평가 성적 피드백 정보 (INF5)의 채취 지령을 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로 송신하고, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로부터 수신한 프로세스 평가 성적 피드백 정보 (INF5)를 출력 디바이스(77)로 출력한다.
{제조 장치}
제조 장치(1)는, 제조 프로세스를 실행함으로써 대상물을 처리한다. 여기서, 「제조 프로세스」는 대상물에 대한 일련의 조작을 말한다.
제조 장치(1)는, 대상물을 가공하는 장치를 포함하는 것은 당연한데, 대상물을 가공하지 않아도, 제품의 제조에 필요한 장치에서 대상물에 어떠한 영향을 미칠 가능성이 있는 것, 예를 들면, 검사 장치, 반송 장치, 환경 관리 장치 등도 포함한다. 제조 장치(1)에는, 예를 들면, 반도체 제조용의 세정 장치, 열 처리 장치, 불순물 도입 장치, 박막 형성 장치, 리소그래피 장치, 평탄화 장치 등이 포함된다. 단, 이들 장치는, 제조 장치(1)의 예시에 지나지 않고, 본 발명의 적용 범위를 제한하는 것은 아니다.
제조 장치(1)는, 제품의 제조에 있어서의 일부 또는 전체 공정을 책임진다. 여기서, 「일부 또는 전체 공정」이라는 것은, 제품의 제조에 있어서의 전체 공정을 제조 장치(1)가 책임질 필요는 없고, 제품의 제조에 있어서의 일부 공정을 제조 장치(1)가 책임지는 것만으로 좋다는 취지이다. 예를 들면, 제조 장치(1)는, 세정 공정, 열처리 공정, 불순물 도입 공정, 박막 형성 공정, 리소그래피 공정, 평탄화 공정 등을 반복하는 반도체의 제조에 있어서의 하나의 세정 공정을 책임지는 것만으로도 된다.
계속해서, 제조 장치(1)의 개략 구성을 도시하는 도 2의 블록도를 참조하면서, 제조 장치(1)에 대해서 설명한다. 도 2에 도시하는 프로세스 실행부(101), 알람 검지부(103), 프로세스 평가부(105)(알람 영향도 판정부(1051), 알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)를 포함한다), 통신 제어부(107) 및 프로세스 평가 정보 갱신부(109)는 메모리(13) 상의 프로그램(PRG1)을 컴퓨터가 실행함으로써 실현되는 기능을 모식적으로 도시한다. 또한, 도 2에 있어서는, 프로세스 평가 정보(INF1)의 흐름을 실선의 화살표로, 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)의 흐름을 일점 파선의 화살표로 표시한다.
프로세스 실행부(101)는, 제조 장치(1)의 각 구성을 통괄 제어함으로써, 제조 프로세스를 실행한다.
또한, 프로세스 실행부(101)는, 제조 프로세스의 실행이 완료하면, 제조 프로세스에 관한 정보(이하, 「제조 프로세스 정보」)(INF7)를 프로세스 평가부(105)에 전달한다. 제조 프로세스 정보(INF7)는, 「장치명」「프로세스 실행 일시」「실행 프로세스명」「실행 레시피명」및「프로세스 실행 결과」를 포함한다. 「프로세스 실행 결과」로는, 제조 프로세스가 정상으로 종료한 경우는, 「정상 종료」를 전달하고, 제조 프로세스의 실행에 있어 이상이 발생한 경우는, 이상의 정도에 따라 「알람 발생」 「경고 발생」 「주의 발생」중 어느 하나를 전달한다.
또한, 프로세스 실행부(101)는, 알람 검지부(103)로부터 이상의 내용에 관한 정보(이하, 「알람 정보」)(INF9)가 전달된 경우, 제조 프로세스 정보 (INF7)와 함께 알람 정보(INF9)를 프로세스 평가부(105)에 전달한다. 알람 정보(INF9)는, 「알람 발생 일시」「알람 레벨」「알람 발생 부위」 및 「알람 내용」을 포함한다. 「알람 레벨」은 이상의 정도에 따라 「알람」 「경고」 「주의」중 어느 하나를 전달한다.
알람 검지부(103)는, 제조 장치(1)의 각 구성을 감시하고, 제조 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지한다. 또한, 알람 검지부(103)는, 이상을 검지한 경우, 알람 정보 (INF9)를 프로세스 실행부(101)에 전달한다. 여기서, 「이상」은 제조 장치(1)의 동작이나 상태 등이 미리 정해진 허용 범위를 넘는 것을 말한다.
프로세스 평가부(105)는, 프로세스 실행부(101)로부터 전달된 알람 정보(INF9)의 유무에 따라서, 제조 프로세스의 실행에 있어 이상이 발생했는지 여부를 판정하고, 이상이 발생했다고 판정한 경우는, 제조 프로세스에 대한 평가를 행한다.
보다 구체적으로는, 프로세스 평가부(105)는, 이상이 발생했다고 판정한 경우, 알람 영향도 판정부(1051)에 의해, 상기 이상이 대상물(제품, 반제품, 제작중인 물건 등)에 미친 영향(이하, 「알람 영향도」)을 판정하여, 알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)에 의해, 이상의 재발 방지에 관한 어드바이스(이하, 「알람 재발 방지 어드바이스」)를 판정한다. 이 경우, 프로세스 평가부(105)는, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 알람 정보 (INF9)에 부가한 다음에, 제조 프 로세스 정보(INF7) 및 알람 정보(INF9)를 포함하는 프로세스 평가 정보(INF1)를 통신 제어부(107)에 전달한다.
한편, 프로세스 평가부(105)는, 이상이 발생하지 않았다고 판정한 경우, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 판정하지 않는다. 이 경우, 프로세스 평가부(105)는, 제조 프로세스 정보(INF7)를 프로세스 평가 정보 (INF1)로서 통신 제어부(107)로 전달한다.
통신 제어부(107)는, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 통신 제어부(311)와의 통신을 확립하여, 프로세스 평가부(105)로부터 전달된 제조 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로 출력하는 동시에, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)로부터 입력된 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를 프로세스 평가 정보 갱신부(109)로 전달한다. 제조 장치(1)와 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)와의 사이의 통신에는, 일반적인 정보 수수 수단인 COM(Component Object Model), CORBA(Common Object Request Broker Architecture) 및 SOAP(Simple Object Access Protocol) 등을 이용할 수 있다.
또한, 제조 장치(1)는, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스 판정의 기초가 되는 판정용 데이터로서, 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 메모리(33)에 유지한다. 또한, 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을, 하드 디스크 드라이브 등의 보조 기억 장치에 유지해도 된다.
알람 영향도 판정부(1051) 및 알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)는, 각각 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 참조하여, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 판정한다. 프로세스 평가 정보 갱신부(109)는, 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)가 통신 제어부(107)로부터 전달되면, 전달된 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)에 의거해 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 갱신한다.
{제조 프로세스 평가 장치}
도 3은 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 개략 구성을 도시하는 블록도이다. 도 3에 도시하는, 프로세스 평가 정보 등록부(301), 프로세스 평가 성적 피드백 정보 취득부(303), 프로세스 평가 성적 피드백 정보 등록부(305), 프로세스 평가 정보 취득부(307), 프로세스 평가 정보 갱신부(309), 통신 제어부(311, 313, 315)는, 메모리(33) 상의 프로그램(PRG3)을 컴퓨터가 실행함으로써 실현되는 기능을 모식적으로 도시한다. 또한, 도 3에 있어서는, 프로세스 평가 정보(INF1)의 흐름을 실선의 화살표로, 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)의 흐름을 일점 파선의 화살표로, 프로세스 평가 성적 피드 백 정보(INF5)의 흐름을 점선의 화살표로 표시한다.
통신 제어부(311)는 제조 장치(1)의 통신 제어부(107)와의 통신을 확립하여, 제조 장치(1)로부터 입력된 프로세스 평가 정보(INF1)를 프로세스 평가 정보 등록부(301)에 전달하고, 프로세스 평가 정보 갱신부(309)로부터 전달된 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를 제조 장치(1)로 출력한다.
프로세스 평가 정보 등록부(301)는, 통신 제어부(311)로부터 전달된 프로세 스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 등록한다. 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에의 프로세스 평가 정보(INF1)의 등록에는, 일반적인 정보 수수 수단인 ODBC(Open Database Connectivity) 및 ADO(ActiveX Data Objects) 등을 이용할 수 있다.
통신 제어부(315)는, 프로세스 평가용 단말(5)과의 통신을 확립하여, 프로세스 평가용 단말(5)로부터 입력된 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 프로세스 평가 성적 피드백 정보 등록부(305)에 전달하고, 프로세스 평가 정보 취득부(307)로부터 전달된 프로세스 평가 정보(INF1)를 프로세스 평가용 단말(5)로 출력한다. 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)와 프로세스 평가용 단말(5)과의 사이의 통신에는, 일반적인 정보 수수 수단인 COM, CORBA, SOAP, HTTP 등을 이용할 수 있다.
프로세스 평가 정보 취득부(307)는, 요구된 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)로부터 취득하여, 통신 제어부(315)로 전달한다. 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)로부터의 프로세스 평가 정보(INF1)의 취득에는, 일반적인 정보 수수 수단인 ODBC 및 ADO 등을 이용할 수 있다.
프로세스 평가 성적 피드백 정보 등록부(305)는, 통신 제어부(315)로부터 전달된 프로세스 평가 성적 피드백 정보 (INF5)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 등록한다. 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에의 프로세스 평가 성적 피드백 정보 (INF5)의 등록에는, 일반적인 정보 수수 수단인 ODBC 및 ADO 등을 이용할 수 있다.
통신 제어부(313)는, 관리용 단말(7)과의 통신을 확립하여, 관리용 단말(7)로부터 입력된 프로세스 평가 갱신 정보 (INF3)를 프로세스 평가 정보 갱신부(309)로 전달하고, 프로세스 평가 성적 피드백 정보 취득부(303)로부터 전달된 프로세스 평가 성적 피드백 정보 (INF5)를 관리용 단말(7)로 출력한다.
프로세스 평가 성적 피드백 정보 취득부(303)는 요구된 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)로부터 취득하여, 통신 제어부(313)로 전달한다. 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)로부터의 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 취득에는, 일반적인 정보 수수 수단인 ODBC 및 ADO 등을 이용할 수 있다.
프로세스 평가 정보 갱신부(309)는 통신 제어부(313)로부터 전달된 프로세스 평가 갱신 정보 (INF3)를 통신 제어부(311)에 전달한다.
{알람 영향도 테이블}
도 4는, 제조 장치(1)가 반도체 제조용의 세정 장치인 경우의 알람 영향도 테이블(1055)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 4에 도시하는 바와같이, 알람 영향도 테이블(1055)은 제조 프로세스 정보 (INF7) 및 알람 정보 (INF9)로부터 특정할 수 있는 「알람 내용」「알람 발생 부위」및「프로세스 내용」과, 알람 영향도를 나타내는 「알람 영향 레벨」및「알람 영향 내용」을 대응시킨 테이블로 되어 있다.
알람 영향도 판정부(1051)는, 알람 영향도 테이블(1055)을 참조함으로써, 제조 프로세스 정보(INF7) 및 알람 정보(INF9)가 주어질 때 마다, 「알람 내용」「알 람 발생 부위」및「프로세스 내용」을 검색 키로 하여, 해당 검색 키에 대응시킨 「알람 영향 레벨」및「알람 영향 내용」을 검색함으로써, 알람 영향도를 판정한다. 즉, 알람 영향도 판정부(1051)는, 제조 장치(1)의 상태에 추가해, 제조 장치(1)가 실행하는 제조 프로세스의 내용도 고려하여, 알람 영향도를 판정한다.
예를 들면, 도 4에 도시하는 알람 영향도 테이블(1055)을 이용한 경우, 「알람 내용」이「동작 오버타임(5초 미만)」,「알람 발생 부위」가「리프터 No.001」, 「프로세스 내용」이「순수 물 세정」이면, 「알람 영향 레벨」은「무」,「알람 영향 내용」은「영향없습니다」로 된다. 그러나, 「알람 내용」및「알람 발생 부위」가 동일해도, 「프로세스 내용」이「강산 세정」으로 변화하면, 「알람 영향 레벨」은「H」, 「알람 영향 내용」은 「프로세스에 막대한 영향을 미칠 가능성이 있습니다. 검사 공정으로 보내주십시오」로 변화한다.
이와 같이, 알람 정보(INF9)뿐만 아니라 제조 프로세스 정보(INF7)에 따라 알람 영향도의 판정 결과를 변화시킴으로써, 알람 영향도를 적절히 판정할 수 있다.
{알람 재발 방지 어드바이스 테이블}
도 5는, 제조 장치(1)가 반도체 제조용의 세정 장치인 경우의 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 5에 도시하는 바와같이, 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)은 알람 정보(INF9)로부터 특정할 수 있는 「알람 내용」및「알람 발생 부위」와, 알람 재발 방지 어드바이스를 나타내는 「알람 재발 방지의 어드바이스」를 대응시킨 테이 블로 되어 있다.
알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)는, 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 참조함으로써, 알람 정보(INF9)가 주어질 때 마다, 「알람 내용」및「알람 발생 부위」를 검색 키로 하여, 해당 검색 키와 대응된 「알람 재발 방지의 어드바이스」를 검색함으로써, 알람 재발 방지 어드바이스를 판정한다.
예를 들면, 도 5에 도시하는 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 이용한 경우, 「알람 내용」이「동작 오버타임(5초 미만)」, 「알람 발생 부위」가「리프터 No.001」이면, 「알람 재발 방지의 어드바이스」는「에어 실린더 No.001용의 N2 유량이 부족할 가능성이 있습니다. N2 밸브(V123)의 유량을 0.5gal/min∼1.0ga1/min의 범위로 조정하여 주십시오. 또한, 1개월걸러 유량을 확인해 주십시오」로 된다. 그러나, 「알람 발생 부위」가 동일하더라도, 「알람 내용」이「동작 오버타임(5초 이상 60초 미만)」으로 변화하면, 「알람 재발 방지의 어드바이스」는「에어 실린더 No.001용의 N2 유량이 부족하거나, 실린더 고장의 가능성이 있습니다. N2 밸브(V123)의 유량을 0.5gal/min∼1.0gal/min의 범위로 조정해 주십시오. 유량이 적정한 경우는 실린더 고장의 가능성이 있습니다. 이 경우는 폐사 엔지니어에게 연락주십시오」로 변화한다. 즉, 알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)는, 이상의 발생 원인으로서 생각되는 제조 장치(1)의 조정 불량이나 고장에 대한 대처법에 관한 정보를 알람 재발 방지 어드바이스로서 생성하게 된다.
이와 같이, 알람 정보(INF9)에 따라 알람 재발 방지 어드바이스의 판정 결과를 변화시킴으로써, 알람 재발 방지 어드바이스를 적절히 판정할 수 있다.
{처리 프로세스 결과 일람 화면}
도 6은 프로세스 평가 정보 (INF1)를 열람할 때에 출력 디바이스(이하에서는, 디스플레이로 한다)(57)에 표시되는 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 6에 도시하는 바와같이, 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)은, 프로세스 평가 정보(INF1)가 포함하는 「장치명」「프로세스 실행 일시」「실행 프로세스명」「실행 레시피명」및「프로세스 실행 결과」를 각각 표시하는 장치명 라벨, 프로세스 실행 일시 라벨, 실행 프로세스명 라벨, 실행 레시피명 라벨 및 프로세스 실행 결과 라벨을 구비한다.
처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)에서는, 「장치명」이 영역(A11)로 표시된다.
또한, 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)에서는, 영역(A11)으로 표시된 「장치명」의 프로세스 평가 정보(INF1)마다, 「프로세스 실행 일시」「실행 프로세스명」 「실행 레시피명」및「프로세스 실행 결과」가 영역(A12)으로 표시된다. 또한, 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)은, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)을 출력 디바이스(57)에 호출하기 위해서 이용되는 상세 정보 열람 버튼(B11)을 구비한다. 상세 정보 열람 버튼(B11)의 각각은, 영역(A12)으로 표시된 프로세스 평가 정보 (INF1)의 각각에 대응한다.
처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)에서는, 영역(A13)로 지정된 검색 조건에 합치하는 프로세스 평가 정보(INF1)만을 추출하여 영역(A12)로 표시할 수 있다. 영역(A13)에서는, 「프로세스 실행 일시」「실행 프로세스명」「실행 레시피명」및「프로세스 실행 결과」를 검색 조건으로서 지정하여 프로세스 평가 정보(INF1)를 좁힐 수 있다. 이에 따라, 조작자는, 원하는 프로세스 평가 정보(INF1), 예를 들면, 「프로세스 실행 결과」가「알람 발생」으로 되는 프로세스 평가 정보(INF1)만을 선택하여 열람할 수 있어, 프로세스 평가에 관한 업무를 효율적으로 수행할 수 있다.
{처리 프로세스 결과 상세 화면}
도 7은 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)에 있어서의 상세 정보 열람 버튼(B11)의 누름에 응답하여 출력 디바이스(57)에 표시되는 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 7에 도시하는 바와같이, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에서는, 프로세스 평가 정보(INF1)의「프로세스 실행 일시」「실행 프로세스명」「실행 레시피명」및「프로세스 실행 결과」가 영역(A31)에 표시된다. 영역(A31)에 표시된 프로세스 평가 정보(INF1)는, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)을 표시하는 직전에 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)에 있어서 눌려진 상세 정보 열람 버튼(B11)에 대응하는 것이다.
또한, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에서는, 영역(A31)에 표시된 제조 프로세스의 실행에 있어서 발생한 이상마다 「알람 발생 일시」「알람 레벨」「알람 내용」「알람 발생 부위」「프로세스 내용」및「알람 영향도(알람 영향 레벨)」이 영역(A32)에 표시된다.
또한, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에서는, 영역(A32)에 표시된 「알람 발생 일시」를 클릭함으로써 선택된 이상에 관한 「알람 영향도(알람 영향 내용)」및「알람 재발 방지 어드바이스(알람 재발 방지 어드바이스)」가 영역(A33)에 표시된다.
덧붙여, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)은, 알람 영향도와 재발 방지를 위한 평가 화면(SC5)을 출력 디바이스(57)에 호출하기 위해서 이용되는 평가 버튼(BT31)을 구비한다.
조작자는, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에 표시된 알람 영향도를 열람함으로써, 제조 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상이 대상물에 미친 영향을 알 수 있으므로, 상기 이상에 대해 적절히 대처할 수 있다. 예를 들면, 제조 장치(1)가 반도체 제조용의 세정 장치인 경우, 세정 대상의 웨이퍼를 검사 공정으로 보내야할지, 이상을 무시하여 다음 공정으로 보내야될지, 다시 세정 처리를 행할지를 이상 발생시에 적절히 선택할 수 있다.
또한, 조작자는, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에 표시된 알람 재발 방지 어드바이스를 열람함으로써, 제조 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상의 재발 방지에 관한 어드바이스를 알 수 있으므로, 이상에 대해 더욱 적절하게 대처할 수 있다. 예를 들면, 제조 장치(1)를 조정할것인지, 제조 장치(1)를 고장 수리할것인지를 이상 발생시에 적절히 선택할 수 있다.
{평가 화면}
도 8은 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)에 있어서의 평가 버튼(BT31)의 누름에 응답하여 출력 디바이스(57)에 표시되는 평가 화면(SC5)의 구체예를 도시하는 도면이다.
도 8에 도시하는 바와같이, 평가 화면(SC5)에서는, 평가 화면(SC5)을 표시하는 직전에 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)의 영역(A31)에 표시된 「프로세스 실행 일시」「실행 프로세스명」「실행 레시피명」및「프로세스 실행 결과」가 영역(A51)에 표시되고, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)의 영역(A32)에 표시된 「알람 영향도(알람 영향 내용)」이 영역(S52)에 표시되고, 처리 프로세스 결과 상세 화면(SC3)의 영역(A33)에 표시된 「알람 재발 방지 어드바이스(알람 재발 방지 어드바이스)」가 영역(A53)에 표시된다.
또한, 평가 화면(SC5)은, 영역(A52)에, 「알람 영향도(알람 영향 내용)」의 타당성(목적에 맞는지 여부)의 입력을 접수하는 체크 박스(C51)를 구비한다. 또한, 평가 화면(SC5)은, 영역(A53)에, 「알람 재발 방지 어드바이스(알람 재발 방지 어드바이스)」의 타당성(목적에 맞는지 여부)의 입력을 접수하는 체크 박스(C52)를 구비한다.
체크 박스(C51)에 있어서는, 「완전히 맞는다」「맞는다」「보통」「맞지 않는다」및「전혀 맞지 않는다」의 5개의 선택 갈래에서 1개를 선택할 수 있고, 체크 박스(C52)에 있어서는,「꽤 도움이 된다」「도움이 된다」「보통」「도움이 되지 않는다」및「전혀 도움이 되지 않는다」의 5개의 선택 갈래로부터 1개를 선택할 수 있다. 이와 같이, 복수의 선택 갈래에서 가장 적절한 것을 선택하도록 하면, 조작자에게 과대한 부하를 주지 않고 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 조작자 로부터 얻을 수 있고, 취득한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 용이하게 처리할 수 있는데, 이는 이 이외의 방법에 의해 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 취득하는 것을 방해하지 않는다. 예를 들면, 타당성에 따른 점수를 입력하도록 해도 되고, 타당성에 대한 견해를 문장으로 입력하도록 해도 된다.
덧붙여, 평가 화면(SC5)은, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 등록을 지시하기 위해서 이용되는 등록 버튼(B51)을 구비한다.
<2 제조 프로세스 관리 시스템의 동작>
{프로세스 평가 정보의 축적}
도 9는, 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 프로세스 평가 정보(INF1)를 축적할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 9에 도시하는 바와같이, 프로세스 평가 정보(INF1)의 축적에 있어서는, 우선, 제조 장치(1)에 있어서, 프로세스 실행부(101)가 제조 프로세스를 실행한다(단계 S101).
이 때, 제조 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 알람 검지부(103)가 검출하면(단계 S102에서 “YES”), 알람 검지부(103)는, 알람 정보(INF9)를 프로세스 실행부(101)로 전달하고(단계 S103), 프로세스 실행부(101)는, 제조 프로세스 정보(INF7) 및 알람 정보(INF9)를 프로세스 평가부(105)에 전달한다(단계 S104). 이에 따라, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스의 판정에 필요해지는 정보, 보다 구체적으로는, 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이 블(1057)에 대한 검색에 필요한 검색 키의 준비가 갖추어지게 된다.
이에 응답하여, 알람 영향도 판정부(1051)는, 알람 영향도 테이블(1055)을 참조하여 알람 영향도를 판정하고(단계 S105), 알람 재발 방지 어드바이스 판정부(1053)는, 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 참조하여 알람 재발 방지 어드바이스를 판정하고(단계 S106), 프로세스 평가부(105)는, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 알람 정보(INF9)에 부가한 후에, 제조 프로세스 정보(INF7) 및 알람 정보(INF9)를 포함하는 프로세스 평가 정보(INF1)를, 통신 제어부(107, 311)를 경유하여, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 프로세스 평가 정보 등록부(301)로 송신한다(단계 S109).
한편, 알람 검지부(103)가 이상을 검지하지 않은 경우, 프로세스 실행부(101)는, 제조 프로세스 정보(INF7)를 프로세스 평가부(105)로 전달하고 (단계 S107), 프로세스 평가부(105)는 제조 프로세스 정보(INF7)를 프로세스 평가 정보(INF1)로서, 통신 제어부(107, 311)를 경유하여, 프로세스 평가 정보 등록부(301)로 송신한다(단계 S109).
이에 대해, 프로세스 평가 정보 등록부(301)는 수신한 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 격납한다(단계 S110).
제조 프로세스 평가 시스템(PS1)에서는, 제조 프로세스를 실행할 때마다 단계 S101∼S110를 반복하여 실행함으로써, 모든 제조 프로세스에 대한 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적한다. 단, 이는 단계 S107∼S108를 실행하지 않고, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스가 부 가된 프로세스 평가 정보(INF1)만을 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적하는 것이나, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스가 부가된 프로세스 평가 정보(INF1)의 일부만, 예를 들면, 알람 영향 레벨이「H」의 프로세스 평가 정보(INF1)만을 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적하는 것을 본 발명으로부터 제외한 것은 아니다.
{프로세스 평가 정보의 열람}
도 10은 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적된 프로세스 평가 정보(INF1)를 열람할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 10에 도시하는 바와같이, 프로세스 평가 정보(INF1)의 열람에 있어서는, 우선, 프로세스 평가용 단말(5)이, 입력 디바이스(55)를 이용해 조작자가 지정한 「장치명」의 프로세스 평가 정보(INF1)의 요구 지령을, 통신 제어부(315)를 경유하여, 프로세스 평가 정보 취득부(307)에 대해 발행한다. 물론, 요구 지령의 발행에 있어, 「장치명」이외를 조작자가 지정할 수 있도록 해도 된다. 또한, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)에 Web 서버를 설치하면, Web 브라우저가 인스톨된 범용의 퍼스널 컴퓨터를 프로세스 평가용 단말(5)로서 이용할 수 있고, HTTP 리퀘스트로서 요구 지령을 발행할 수 있다.
이에 대해, 프로세스 평가 정보 취득부(307)는, 요구 지령에 따른 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)로부터 취득하고(단계 S202), 취득한 프로세스 평가 정보(INF1)를, 통신 제어부(315)를 경유하여, 프로세 스 평가용 단말(5)로 송신한다(단계 S203). 그리고, 프로세스 평가용 단말(5)은, 수신한 프로세스 평가 정보(INF1)를 포함하는 처리 프로세스 결과 일람 화면(SC1)을 출력 디바이스(57)에 표시한다(단계 S204).
제조 프로세스 평가 시스템(PS)에서는, 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 일단 축적하고, 축적된 프로세스 평가 정보(INF1)를 프로세스 평가용 단말(5)을 이용해 열람하므로, 원하는 프로세스 평가 정보(INF1)만을 선택하여 열람하는 것이 가능하고, 프로세스 평가에 관한 업무를 효율적으로 수행할 수 있다.
{프로세스 평가 성적 피드백 정보의 축적}
도 11은 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 축적할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 11에 도시하는 바와같이, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 축적에 있어서는, 우선, 프로세스 평가용 단말(5)이, 등록 버튼(B51)의 누름에 응답하고, 체크 박스(C51, C52)를 이용해 입력된 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를, 통신 제어부(315)를 경유하여, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 프로세스 평가 성적 피드백 정보 등록부(305)로 송신한다(단계 S301).
이에 대해, 프로세스 평가 성적 피드백 정보 등록부(305)는 수신한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 격납한다(단계 302).
제조 프로세스 평가 시스템(PS1)에서는, 평가 화면(SC5)에 있어서 알람 정보 및 알람 재발 방지 어드바이스의 타당성이 평가되고, 등록 버튼(B51)이 눌려질 때 마다 단계 S301∼S302를 반복 실행함으로써, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적한다.
{프로세스 평가 성적 피드백 정보의 채취}
도 12는 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적된 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 장치(1)의 벤더가 채취할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다.
도 12에 도시하는 바와같이, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 채취에 있어서는 우선, 관리용 단말(7)이, 입력 디바이스(75)에 대한 조작자의 채취 조작에 따라, 채취 지령을, 통신 제어부(313)를 경유하여, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 프로세스 평가 성적 피드백 정보 취득부(303)에 대해 발행한다(단계 S401). 물론, 채취 지령의 발행에 있어, 채취해야 할 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 등록 일시 등을 지정할 수 있도록 해도 된다.
이에 대해, 프로세스 평가 성적 피드백 정보 취득부(303)는, 채취 지령에 따른 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)로부터 취득하고(단계 S402), 취득한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를, 통신 제어부(313)를 경유하여, 관리용 단말(7)로 송신한다(단계 S403).
관리용 단말(7)은, 수신한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 출력 디바이스(77)에 표시한다(단계 S404). 물론, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5) 를 출력 디바이스(77)에 표시하는데 대신해, 또는, 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 출력 디바이스(77)에 표시하는데 추가해, 수신한 프로세스 평가 성적 피드 백 정보(INF5)를 스토리지에 보존하거나, 다른 컴퓨터(예를 들면, 제조 장치(1)의 벤더의 시설 내의 컴퓨터)에 전송하도록 해도 된다.
이렇게 하여 채취한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)를 참조하면, 「맞지 않는다」「전혀 맞지 않는다」등의 부정적인 평가가 주어진, 타당성이 결여된(목적에서 벗어난) 알람 영향도를 알 수 있음과 동시에, 「도움이 되지 않는다」「전혀 도움이 되지 않는다」등의 부정적인 평가가 주어진, 타당성이 결여된(목적에서 벗어난) 알람 재발 방지 어드바이스를 알 수 있어, 알람 영향도 테이블(1055)이나 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)의 타당성을 검증할 수 있다.
이와 같이, 제조 프로세스 평가 시스템(PS)에서는, 제조 장치(1)의 사용자에 의한 프로세스 평가 성적 피드백 정보(INF5)의 축적과, 제조 장치(1)의 벤더에 의한 프로세스 평가 성적 피드백 정보의 채취를 통해서, 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스에 대한 평가를 제조 장치(1)의 사용자로부터 벤더에 피드백할 수 있도록 되어 있다.
{판정용 데이터의 갱신}
도 13은 판정용 데이터, 즉, 알람 영향도 테이블(1055)이나 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 갱신할 때의 제조 프로세스 평가 시스템(PS)의 동작을 도시하는 플로우 챠트이다. 판정용 데이터의 갱신은, 주로, 판정용 데이터의 타당성을 검증한 결과, 판정용 데이터가 타당성이 결여하는 것이 판명된 경우에 행해진 다.
도 13에 도시하는 바와같이, 판정용 데이터의 갱신에 있어서는, 우선, 관리용 단말(7)이, 적절히 수정된 새로운 판정용 데이터를 포함하는 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를, 통신 제어부(313)를 경유하여, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 프로세스 평가 정보 갱신부(309)로 송신한다(단계 S501). 또한, 관리용 단말(7)에의 새로운 판정용 데이터의 입력은, 입력 디바이스(75)를 이용해 행해도 되고, 다른 컴퓨터(예를 들면, 제조 장치(1)의 벤더의 시설 내의 컴퓨터)로부터 전송하도록 해도 되고, 새로운 판정용 데이터를 기억한 기억 매체를 관리용 단말(7)에 읽히도록 해도 된다.
이에 대해, 프로세스 평가 정보 갱신부(309)는, 수신한 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)를, 통신 제어부(311, 107)를 경유하여, 제조 장치(1)의 프로세스 평가 정보 갱신부(109)에 송신한다(단계 S502).
그리고, 프로세스 평가 정보 갱신부(109)는, 수신한 프로세스 평가 갱신 정보(INF3)에 의거해, 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)을 갱신한다(단계 S503). 이에 따라, 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)은 적절히 수정된 것으로 치환되고, 알람 영향도 판정부(1051) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)은 적절한 판정을 할 수 있게 된다. 그 결과로서, 알람 영향도 테이블(1055) 및 알람 재발 방지 어드바이스 테이블(1057)의 갱신후에 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(9)에 축적되는 프로세스 평가 정보(INF1)는 적절하게 되고, 제조 장치(1)의 사용자로부터 벤더에 의 평가의 피드백이 발휘된다.
<기타>
상술의 실시 형태에서는, 이상의 발생에 동기하여 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 판정하도록 했는데, 이상이 발생한 시점에서는 제조 프로세스 정보(INF7) 및 알람 정보(INF9)를 축적해 두고, 프로세스 평가 정보(INF1)의 요구 지령에 동기하여 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 판정하도록 해도 된다. 또한, 제조 장치(1)의 내부에서 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 판정하는 것도 필수가 아니라, 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)의 내부에서 알람 영향도 및 알람 재발 방지 어드바이스를 판정하도록 해도 된다.
또한, 상술의 실시 형태에서는, 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 프로세스 평가 데이터 베이스(INF1)에 일단 축적하고, 축적된 프로세스 평가 정보(INF1)를 프로세스 평가용 단말(5)을 이용해 열람하는 예를 나타냈는데, 프로세스 평가 정보(INF1)를 제조 장치(1)나 제조 프로세스 평가 관리 장치(3)에 설치된 디스플레이나 프린터 등의 출력 디바이스에 리얼 타임으로 출력하도록 하면, 긴급히 대처해야 할 이상에도 용이하게 대처할 수 있다.
본 발명에 의하면, 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상이 대상물에 미친 영향을 알 수 있으므로, 이상에 대해 적절히 대처할 수 있다.
청구항 2의 발명에 의하면, 제1 판정 수단의 판정의 기초가 되는 데이터를 적절한 것으로 할 수 있으므로, 제1 판정 수단의 판정 결과를 적절하게 할 수 있 다.
청구항 3의 발명에 의하면, 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상의 재발 방지에 관한 어드바이스를 알 수 있으므로, 더욱 적절하게 이상에 대처할 수 있다.
청구항 4의 발명에 의하면, 제2 판정 수단의 판정의 기초가 되는 데이터를 적절한 것으로 할 수 있으므로, 제2 판정 수단의 판정 결과를 적절하게 할 수 있다.
청구항 5의 발명에 의하면, 출력 수단의 출력을 적절한 것으로 하기 위한 정보를 얻을 수 있다.

Claims (7)

  1. 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 장치로서,
    상기 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지하는 검지 수단과,
    상기 산업용 장치가 상기 산업 프로세스를 실행함으로써 처리되는 대상물에 상기 이상(異常)이 미친 영향을 판정하는 제1 판정 수단과,
    상기 제1 판정 수단의 판정 결과를 출력하는 출력 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 판정 수단의 판정의 기초가 되는 데이터를 갱신하는 제1 갱신 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 이상의 재발 방지에 관한 어드바이스를 판정하는 제2 판정 수단을 더 구비하고,
    상기 출력 수단은, 상기 제1 판정 수단의 판정 결과와 함께, 상기 제2 판정 수단의 판정 결과를 출력하는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제2 판정 수단의 판정의 기초가 되는 데이터를 갱신하는 제2 갱신 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 출력 수단의 출력의 타당성의 입력을 접수하는 접수 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 장치.
  6. 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 방법으로서,
    상기 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지하는 검지 공정과,
    상기 산업용 장치가 상기 산업 프로세스를 실행함으로써 처리되는 대상물에 상기 이상이 미친 영향을 판정하는 판정 공정과,
    상기 판정 공정의 판정 결과를 출력하는 출력 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 방법.
  7. 산업용 장치가 실행한 산업 프로세스를 평가하는 산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체로서, 상기 산업 프로세스 평가 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에,
    상기 산업 프로세스의 실행에 있어 발생한 이상을 검지하는 검지 순서와,
    상기 산업용 장치가 상기 산업 프로세스를 실행함으로써 처리되는 대상물에 상기 이상이 미친 영향을 판정하는 판정 순서와,
    상기 판정 순서의 판정 결과를 출력하는 출력 순서
    를 실행시키는 것을 특징으로 하는 산업 프로세스 평가 프로그램을 기록한 기록 매체.
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