TW200823656A - Industrial process evaluation apparatus, industrial process evaluation method and a recording media having recorded thereon an industrial process evaluation program - Google Patents

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200823656 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種評估產業用裝置執行之產業製程的產 業製程評估裝置、產業製程評估方法及記錄產業製程評估 程式之記錄媒體。 【先前技術】

先前，係進行在顯示器等上顯示關於半導體製造裝置發 生之異常的資訊，而讓操作者瞭解。如專利文獻丨中揭示 有顯示㈣體製造裝置上發生之異常的原因及處理方法的 技術。 [專利文獻1]日本特開平1〇_21079號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 但是，先前之技術的問題是不易適切地處理半導體製造 裝置上發生之異常。 亦即，半導體製造裝置上發生異常時，該半導體製造裝 置^使用者須料在發生異常之時刻執行的製程，分析該 異常對藉由執行該製程所製造之對象物的影響，換言之， 需要分析將該對象物送至其次之步驟有無問題。此種分析 :業需要耗費極大的勞力，有時還須與半導體製造裝置之 導體製造裝置上發生異常時，該半導體製造裝 使用者需要謀求防止再度發生異f，但是就此仍需要 μ過去之經驗及來自半導體製造裝置之賣方的資訊，耗 121675.doc 200823656 費極大勞力來處理。 一此等情況於半導體製造裝置以外之製造裝置，更一般而 吕，在一般用於專業的產業用裝置中相同。 本發明係為了解決關職形成者，其目的為適切地處 理產業用裝置上發生之異常。 [解決問題之技術手段] ::解決上述_’請求…之發明係一種產業製程評 人、，其係評估產業用裝置執行之產業製程，且具備： 檢測機構’其係檢測前述產業製程執行時發生之異常；第 疋機構’其係判定前述異t對前述產業用裝置藉由執 订刖述產業製程所處理之對象物的影響；及輸出機構，兑 係輸出前述第一判定機構之判定結果。 項2之發明，係在請求項1之產業製程評估裝置中， '少/、備第一更新機構，其係更新成為前述第一判定機 構之判定基礎的資料。 ϋ 估:求項3之發明’係在請求項1或請求項2之產業製程評 ^ 進步具備第二判定機構，其係判定關於防止 4生前述異常之建議，前述輸出機構輸出··前述第一 疋機構之判定結果與前述第二判定機構之判定結果。 進，發明，係在請求項3之產業製程評估；置中， 2步具備第二更新機構，其係更新成為前述第二判定機 構之判定基礎的資料。 估裝置中之發明，係在請求項1或請求項2之產業製程評 進一步具備受理機構，其係受理前述輸出機構 121675.doc 200823656 之輸出妥當性的輸入。 請求項6之發明係一種產業製程評估方法，其係坪 置執行之產業製程，且具傷：檢測步驟，其係_ 則迷產業製程執行時發生之異常；判定步驟，其係判定前 — 4異常對前述產業用裝置藉由執行前述產業製程所處理之 =物的影響；及輸出步驟’其係輸出前述判定步驟之判 ►結果。 請求項7之發明係-種記錄產業製程評估程式之記錄媒 體^亥程式係評估產業用裝置執行之產業製程，且前述產 業製程評估程式藉由電腦之執行，係使前述電腦執行··檢 /貝J V驟，其係檢測前述產業製程執行時發生之異常；判定 步驟’，其係判定前述異常對前述產業用裝置藉由執行前述 產業製程所處理之對象物的影響；及輸出步驟，其係輸出 前述判定順序之判定結果。 【實施方式】 ^ [發明之效果] 才木用本發明時，由於可瞭解產業製程執行時發生之異常 對於對象物之影響，因此可對異常作適切處理。 抓用請求項2之發明時，由於可使成為第一判定機構之 WJ疋基礎的寅料成為適切者，因此可使第一判定機構之判 定結果成為適切者。 抓用請求項3之發明時，由於可瞭解關於產業製程執行 日夺發生之異常的防止再度發生之建議，因此可更適切地處 理異常。 121675.doc 200823656 採用凊求項4之於明主 ^ Λ明時，由於可使成為第二判宏撒μ 判定基礎的資料成A W疋機構之 丁十成為適切者，因此可使第二 定結果成為適切者。 j疋機構之判 =凊求項5之發明時，可獲得使輸 適切者用的資訊。 诉< W出成為 [實施例] 之異常對作為該產業 並輸出評估結果之技 ^下，說明評估產業用裝置中發生 用竑置之處理對象的對象物之影響， 術。 置，特 丨,所謂「產業用裝置」，係指用於事業之裝 別疋U下具體說明之用於成品製造的製造裳置。 製程管理系統之結構> 統PS的 圖1係顯示本發明較佳之實施形態的製程評估系 全體概略結構圖。 ’、 1圖j所不，製程評估系統？8具備··執行製程之製造裝 管理存儲關於對製程評估之資訊（以下，稱「製程評 貝祝」）INF1之製程評估資料庫9的製程評估管理裝置 、势用於閱覽製程評估資訊INF1之製程評估用終端5，及用 ^ &理製程評估系統PS之管理用終端7。圖1中，以實線之 :釋、示氣私砰估為訊1NF1之流路，以一點虛線之箭頭表 ^ :成為製程評估資訊INF 1之判定基礎的判定用資料之 更新內女ΛΑ '长 的貝訊（以下，稱「製程評估更新資訊」）INF3之 二路以點線箭頭表示關於製程評估資訊INF丨之妥當性之 舌（乂下，稱「製程評估成績反饋資訊」）INF5的流路。 121675.doc 200823656 • 另外，圖1係顯示製程評估系統PS包含之製造裝置1、製程 • 砰估用終端5及管理用終端7數量為1個的情況，不過製程 评估系統PS包含之製造裝置1、製程評估用終端5及管理用 終端7的數量亦可為2個以上。 • 製程評估系統Ps中，成為伺服器之製程評估管理裝置3 ‘ 經由網路8 ,可與成為客戶之製造裝置1、製程評估用終端 5及管理用終端7通信地連接。用於該通信之協定並無特別 0 限制，亦可為獨自之協定，亦可為HTTP或FTP之通用的協 定。 製造裝置1中組裝有至少具備CPUU與記憶體13之電 月句’用以執行實現下述動作的程式PRG1。製造裝置i每次 執行製程時，將製程評估資訊INF丨傳送至製程評估管理裝 置3。再者，製造裝置丨於執行製程中發生異常時，將關於 異常之内容的資訊附加於製程評估資訊INF1，而傳送至製 程評估管理裝置3。 1 t外，製造裝置1自製程評估管理裝置3接收製程評估更 ,凝訊INF3 B夺，依據接收之製程評估更新資訊工來更新 判定用資料。 製评估官理裝置3係至少具備(：1>1；13與記憶體之電 Hx執行實現下述動作之程式PRG3。製程評估管理 裝置3自Μ裝置i接收製程評估資訊聊㈣，將接收之製 程評估資訊腿登錄於製程評估資料庫9,自製程評估用 、冬端5接收製程評估成績反饋資訊mF5時，將接收之製程 評估成績反饋資訊INF5登錄於製程評估資料庫9。 121675.doc 200823656 此外，製程評估管理裝置3 .势 更新資訊mF3時，將接收之^用終端7接收製程評估 製造裝置！。 製程評估更新資訊_傳送至 再者，製程評估管理裝置3自製程評估用終端5接收製程 評估資訊INF1之要求指令時， 表私 自製私评估資料庫9取得要 求之製程評估資訊腿，並將取得之製程評估資訊刪傳 送至製程評估用終端5。 Ο

iJ 此外，製程評估管理裝置3自管理用終端7接收製程評估 成績反儀資訊刪之採取指令時，自製程評估資料庫9取 得按照採取指令之製程評估成績反饋資訊刪，並將取得 之製程評估成績反饋資訊INF5傳送至管理用終端7。 製程評估用終端5係至少具備咖51與記憶體53之電 腦，且作為使用者介面，而具備：鍵盤及滑鼠等輸入裝置 55’與顯示器及列印機等輸出裝置”。製程評估用终端$ :系藉由使電腦執行記憶體53上之程式削5，來實現以下 說明之各種功能及動作。 製程評估用終端5將按照對輸人裝置55進行之操作的f 程評估資訊職之要求指令料至製料料理裝置3， 並將自製程評估管縣置3接收之製料估資讎n輸出 至輸出裝置57。 理用、、s鳊7亦係至少具備cpU7丨與記憶體乃之電腦， 且作為使用者介面’而具備：鍵盤及滑鼠等輸入裝置75， 與^器及列印機等輸出裝置77。管理用終端7亦藉由使 電腦執行記憶體73上之程式pRG7，來實現以下說明之各 121675.doc 200823656 種功能及動作。 管理用終端7將按照對輸入裝置75進行之操 =反饋資訊吻之採取指令傳送至製程評理= 3，並將自製程評估瞢 卫展置 估s理凌置3接收之製程評估成績 訊INF5輸出至輸出裝置77。 饋男 {製造裝置丨 製造裝置1藉由執行製程來處 1丁表枉术屣理對象物。此處所謂「 Γ 程」，係指對於對象物的一連串操作。 ^ 製造裝置!當然係包含將對象物加工之裝置，不過，亦 包含並非將對象物加工’而係成品製造時需要之裝置，且 可能帶給對象物某種影響者，如檢查裝置、搬運裝置及環 境管理裝置等。製造裝置i如包含：何體製造用之洗淨 裝置、熱處理裝置、雜質導入裝置、薄膜形成裝置、微彩 裝置^不過’此等裝置只不過為製造裝置 I之例示，並非限制本發明之適用範圍者。 製造裝置！擔任成品製造中之一部分或全部的步驟。此 處所謂「-部分或全部之步驟」，係指製造裝置#須擔任 成品製造中全部之步驟，亦可為製造裝置i僅擔任成品之 製造中一部分的步驟。如製造褒置1亦可僅擔任反覆實施 洗淨步驟、熱處理步驟、雜質導入步驟、薄膜形成步驟、 微影步驟及平坦化步驟等之半導體的製造中之一個洗淨步 驟。 繼續，參照顯示製造裝置1之概略結構的圖2之區塊圖， 來說明製造裝置^圖2所示之製程執行部HH、警報檢夠 121675.d〇( -11 · 200823656 部103、製程評估部1〇5(包含：警報影響程 度判疋部1051 及防止再度發生警報建議判定部1053)、通栌如… … 1δ控制部107及 製程評估資訊更新部1〇9，模式地顯示藉由 电月匈執行記憶 體。之程式觸而實現之功能。此外’圖2中，以實線之 箭頭表示製程評估資訊麵之流路，以一點虛線之箭頭表 示製程評估更新資訊INF3之流路。 製程執行部101藉由統括控制製造裝置1 行製程。 《各結構，來執 此外，製程執行部ΗΠ於製程之執行完成時，將關於製 程之資訊（以下稱「製程資訊」）INF7傳達至製程評估部 105。製程資訊INF7包含：「裝置名稱」、「製程執行日期時 間」、「執行製程名稱」、「執行處理程式名稱」及「製程執 行結果」。「製程執行結果」於製程正常結束時，傳達「正 常結束」，於製程執行中發生異常時，按照異常之程声 傳達「發生警報」「發生警告」「發生注意」之任何：：而 再者，製程執行部101在自警報檢測部1〇3傳達關於 内容之資訊（以下稱為「警報資訊」）聊9時，與製程資^ 刪-起將警報資訊刪傳達至製程評估部⑽。警報次 訊INF9包含：「警報發生曰期時間」、「警報等級」、「警： 發生部位」及「警報内容」。「警報等級」係按照異常： 度而傳達「警報」「警告」「注意」之任何一個。 警報檢測部103監視製造裝 中發生之p “ 之各結構’檢測製程執行 、吊。此外，警報檢測部103於檢測出異常時 將警報資細㈣達至製程執行部⑻ 、 121675.doc -12- 200823656 之動作或狀悲等超出預定之容許範 ;、估41 05依據有無自製程執行 訊INF9,來判定 哥口 ％貝 里當時… 發生異常，判定為發生 異书時，對製程進行評估。 更具體而言，fj 1 #立 I私汗估。卩1〇5判定為發生異常時，藉由 警報影響程度车丨定# 1ης1w ^ 卩1051判疋該異常帶給對象物（成品、

=成σ口、在製品等）的影響（以下稱「警報影響程度」），並 藉由防止再度發生警報建議判定部1053判定關於防止再度 發生異常之建議(以下稱「防止再度發生警報建議」）。： 時;製程評估部1G5將警報影響程度及防止再度發生警報 建識附加於警報責訊INF9後，將包含製程資訊及警報 資訊1刪之製程評估資謂F1傳達至通信控制部107/ 另外，製程評估部105判定為並未發生異常時，不判定 警報影響程度及防止再度發生警報建議。此時，製程評估

系」，係指製造裳置 圍。 部105係將製程資訊INF7作為製程評估資訊mFi而傳達至 通信控制部107。 通信控制部107確立與製程評估管理裝置3之通信控制部 3 11的通信，而將自製程評估部1〇5傳達之製程評估資訊 INF丨輸出至製程評估管理裝置3，並且將自製程評估管理 裝置3輸入之製程評估更新資訊INF3傳達至製程評估資訊 更新部109。製造裝置1與製程評估管理裝置3間之通信 中，可使用一般資訊收發機構之c〇M(組件物件模型 (Component Object Model))、CORB A(—般物件請求代理 121675.doc -13- 200823656 人結構（Common Objdet Request Broker Architecture))及 SOAP(簡單物件存取協定（Simple 〇bject Aceess PrQt()eQl)) 等。 另外’製造裝置1就作為警報影響程度及防止再度發生 警報建議之判定基礎的判定用資料，係將警報影響程度表 1055及防止再度發生警報建議表1057保持於記憶體33。另 外，亦可將警報影響程度表1055及防止再度發生警報建議 表1057保持於硬碟驅動器等之輔助記憶裝置中。 警報影響程度判定部1051及防止再度發生警報建議判定 部1053分別參照警報影響程度表1055及防止再度發生警報 建議表1057，判定警報影響程度及防止再度發生警報建 議。製程評估資訊更新部109於自通信控制部1 〇7傳達製程 評估更新資訊INF3時，依據所傳達之製程評估更新資訊 INF3，來更新警報影響程度表1055及防止再度發生警報建 議表1057。 {製程評估裝置} 圖3係顯示製程評估管理裝置3之概略結構的區塊圖。圖 3所示之製程評估資訊登錄部301、製程評估成績反饋資訊 取得部303、製程評估成績反饋資訊登錄部3〇5、製程評估 資訊取得部307、製程評估資訊更新部3〇9及通信控制部 3 11，3 13，3 1 5，模式地顯示藉由電腦執行記憶體3 3上之程 式PRG3而實現之功能。此外，圖3中，以實線之箭頭表示 製程評估資訊INF1之流路，以一點虛線之箭頭表示製程評 估更新資訊INF3之流路，以點線之箭頭表示製程評估成績 121675.doc -14- 200823656 反饋資訊INF5之流路。 通信控制部311確立與製造裝置1之通信控制部ι〇7的通 仏，將自製造裝置1輸入之製程評估資訊INF1傳達至製程 砰估資訊登錄部301，並將自製程評估資訊更新部3〇9傳達 . 之製程評估更新資訊INF3輸出至製造裝置1。 製程評估資訊登錄部30丨將自通信控制部3丨丨傳達之製程 5平估賁訊INF 1登錄至製程評估資料庫9。對製程評估資料 ^ 庫9登錄製程評估資訊INF 1時，可使用一般之資訊收發機 構的 ODBC(開放資料庫連接（〇peil DataBase Conectivity)) 及 AD〇(ActiveX Data Objects)等。 通信控制部315確立與製程評估用終端5之通信，將自製 程評估用終端5輸入之製程評估成績反饋資訊…以傳達至 製程評估成績反饋資訊登錄部305，並將自製程評估資訊 取得部307傳達之製程評估資訊INF1輸出至製程評估用終 、5。製程評估管理裝置3與製程評估用終端5之間通信 (., 時’可使用一般之資訊收發機構的COM、C0RBA、 SOAP、HTTP等。 製耘評估資訊取得部307自製程評估資料庫9取得被要求 之製私评估資訊INF 1，並傳達至通信控制部3丨5。自製程 評估資料庫9取得製程評估資訊以？1時，可使用一般之資 訊收發機構的ODBC及ADO等。 製程評估成績反饋資訊登錄部3〇5將自通信控制部315傳 達之製程评估成績反饋資訊INF5登錄至製程評估資料庫 9。對製程評估資料庫9登錄製程評估成績反饋資訊INF5 121675.doc -15- 200823656 時，可使用一般之資訊收發機構的ODBC及ADO等。 通信控制部3 13確立與管理用終端7之通信，將自管理用 終端7輸入之製程評估更新資訊INF3傳達至製程評估資訊 更新部309，並將自製程評估成績反饋資訊取得部3〇3傳達 之製程評估成績反饋資訊INF5輸出至管理用終端7。 製程評估成績反饋資訊取得部303自製程評估資料庫9取 得被要求之製程評估成績反饋資訊INF5，並傳達至通信控 制部313。自製程評估資料庫9取得製程評估成績反饋資訊 INF5時，可使用一般之資訊收發機構的〇dbc&ad〇等。 製程評估資訊更新部3〇9將自通信控制部313傳達之製程 評估更新資訊INF3，傳達至通信控制部311。 {警報影響程度表} 圖4係顯示製造裝置丨係半導體製造用之洗淨裝置時的警 報影響程度表1055之具體例圖。 如圖4所不，警報影響程度表1〇55成為將可自製程資訊 υ INF7及警報資訊INF9特定之「警報内容」「警報發生部 位」及「製程内容」，與表示警報影響程度之「警報影響 等級」及「警報影響内容」相對應之表。 警報影響程度判定部1051藉由參照警報影響程度表 1055，在每次提供製程資訊mF7及警報資訊ΐΝρ9時，將 「警報内容」「警報發生部位」及「製程内容」作為檢索 鍵，藉由檢索與該檢f鍵相對應之「警報影響等級」及 「警報影響内容」，來判定警報影響程度。亦即，警報影 響程度判定部1051除了製造裝置1之狀態外，亦考慮製造 121675.doc -16- 200823656 波置1執行之製程的内容，來判定警報影響程度。 如使用圖4所示之警報影響程度表1055時，若「警報内 谷」為「動作逾時（未達5秒）」，「警報發生部位」為「起重 機Νο·〇〇ΐ」’「製程内容」為「純水洗淨」時，則係「警報 影響等級」為「無」，「警報影響内容」為「無影響」。但 Ρ使吕報内谷」及「警報發生部位」相同，而「製 私内谷」變成「強酸洗淨」日寺，則變成「警報影像等級」 為Η」，「警報影像内容」為「可能帶給製程甚大影響。 請送至檢查步驟。」。 如此，除了警報資訊INF9之外，還藉由按照製程資訊 INF7改變警報影響程度之判定結果，可適切地判定警報影 響程度。 ~ {防止再度發生警報建議表} 圖5係顯示製造裝置1係半導體製造用之洗淨裝置時的防 止再度發生警報建議表1057之具體例圖。 如圖5所示，防止再度發生警報建議表1〇57成為將可自 警報資訊INF9特定之「警報内容」及「警報發生部位」與 表示防止再度發生警報建議之「防止再度發生警報之建 議」相對應之表。 防止再度發生警報建議判定部1053藉由參照防止再度發 生舌報建議表1057，在每次提供警報資訊INF9時，將「鑿 報内容」&「警報發生部位」作為檢索鍵，藉由檢索^ 檢索鍵相對應之「防止再度發生警報之建議」，來判== 止再度發生警報建議。 121675.doc -17- 200823656 如使用圖5所示之防止再度發生警報建議表1〇57時，若 「警報内容」為「動作逾時（未達5秒）」，「警報發生部位」 為「起重機No.001」時，則「防止再度發生警報之建議」 成為「氣筒Νο·〇〇1用之氮（N2)可能流量不足。請將氮閥門 V123之流量調整成〇·5 gal/min〜1〇 gal/min之範圍。此外，

U 請每隔1個月確認流量。」但是，即使「警報發生部位」 相同而警報内各」變成「動作逾時（5秒以上，未達6〇 秒）」時，則「防止再度發生警報之建議」變成「可能氣 筒No.001用之氮流量不足，或是筒故障。請將氮閥門 之々丨l i凋整成0.5 gal/min〜ι·〇 gai/min之範圍。流量適當 時，有可能筒故障。此種情況，請與敝公司工程師連 絡。」亦即，防止再度發生警報建議判定部1〇53係產生關 於對異常發生原目❿考慮之製造裝i 1的言周整不良或故障 之處理方法的資訊，作為防止再度發生警報建議。 如此，藉由按照警報資訊INF9來改變防止再度發生警報 建議之判定結果，可適切地判定防止再度發生警報建議。 {處理製程結果一覽晝面） 、圖6係顯示閱覽製程評估資訊刪時，顯示於輸出裝置 (以下’係作為顯示器)57之處理製程結果一覽畫面的 ，如圖6所不，處理製程結果—覽晝面sci具備：分別顯示 製程評估資訊INF1包含之「裝置名「 _ * ’ pe 「批y 1々将」I %執仃日期時 二果仃製程名稱」「執行處理程式名稱」及「製程執行 、°」&置名稱標籤、製程執行日期時間標籤、執行製 121675.doc 18 200823656 程名稱標籤、執行處理程式名稱標籤及製程 籤。 仃…果標 處理製程結果一覽畫面SCI中，「裝置名稱」顯示於 料，處理製程結果-覽晝面SC1中，顯示於區域Μ 之「裝置名稱」的各製程評估資訊INF1，「程式執行日期 時間」「執行製程名稱」「執行處理程式名稱」及「製程執 行結果」顯示於區域A12。再者，處理製程結果—覽=面 奶具備用於將處理製程結果詳細畫面奶叫出於輸=裝 置Η的詳細資訊閱覽按細】。各個詳細資訊閱覽按紐叫 對應於顯示於區域A12之各個製程評估資訊infi。 處理製程結果一覽畫面SC1可僅抽出與在區域Μ指定 之檢索條件相符的製程評估資訊剛，而顯示於區曰域 A12。區域A13可指定「程式執行日㈣間」「執行製程名 稱」「執行處理程式名稱」及「製程執行結果」

C 區域

All 條件，來規範製程評估資訊卿丨。藉此，操作者可僅=擇 希望之製料估資謂F1，如僅選擇「製程執行結果 報」之製程評估資訊1刚來閱覽，而可有效㈣ 仃關於製程評估的業務。 {處理製程結果詳細畫面} 圖7係顯示對按下處理製程結果_覽畫面⑽ 訊閱覽按鈕B11回應，而黯—认认 汗貝 要^金 口應而顯不於輪出裝置57之處理製程結 果坪細畫面SC3的具體例圖。 如圖7所不’處理製程結果詳細晝面们係將製程評估資 121675.doc •19- 200823656 訊INF1之「程式執行日期時間」「執行製程名稱」「執行處 里，式名稱」及「製程執行結果」顯示於區域A3 1。顯示 =區域A31之製程評估資訊INF1，係在顯示處理製程結果 洋細晝面SC3之前，對應於處理製程結果一覽晝面sci中 按下之詳細資訊閱覽按鈕B11者。

=外，處理製程結果詳細晝面SO係將顯示於區域A3 i 之製私執仃時發生之各異常的「警報發生日期時間」「警 報等級」「警報内容」「警報發生部位」「製程内容」： 「警報影響程度(警報影響等級)」顯示於區域A”。 再者，處理製程結果詳細晝面scs係將藉由點選顯示於 區域A32之「警報發生曰期時間」而選出之異常的「警報 衫響程度（警報影㈣容）」及「防止再度發生警報建議（防 止再度Ιχ生警報之建議）」顯示於區域A3 3。 此外處理製程結果詳細畫面SC3具備用於將警報影響 轾度與用於防止再度發生之評估畫面SC5叫出於輸出裝置 57的評估按紅BT31。 由於知作者藉由閱覽顯示於處理製程結果詳細畫面SC3 之-報衫響程度’可瞭解製程執行中發生之異常帶給 物之影響，因此可對該異常作適切地處理。如製造 造用之洗淨裝置時，可於發生異常時適切地選 擇·應將冼淨對象之晶圓送至檢查步驟，應忽略異 至其次步騾，或應再度進行洗淨處理。 、迗 再者由於操作者藉由閲覽顯示於處理製程結果詳參查 面⑽之防止再度發生警報建議，可瞭解關於製程執 121675.doc -20· 200823656 發生之異常的防止再度發生 # 、 行厌知生之建礅，因此可對異常進行更 適切之處理。如可於發；ψ里舍主、态 %生呉^時適切地選擇··應調整製造 裝置1或是應修理製造裝置1之故障。 {評估畫面} 圖8係顯示對按下處理製程結果詳細畫面s c 3中之評估按 鈕BT31回應，而顯示於輸出裝置57之評估晝面的具體 例圖。 Ο

如圖8所示，評估晝面SC5係將顯示評估晝面叱5之前， 顯不於處理製程結果詳細晝面SC3之區域A3i的「程式執 行日期時間」「執行製程名稱」「執行處理程式名稱」及 「製程執行結果」顯示於區域A51，將顯示於處理製程結 果詳細晝面SC3之區域A32的r警報影響程度（警報影響内 容）」顯示於區域S52，並將顯示於處理製程結果詳細畫面 SC3之區域A33的「防止再度發生警報建議（防止再度發生 警報之建議）」顯示於區域A53。 此外，$平估畫面S C 5在區域A 5 2中具備受理「馨報影塑 程度（警報影響内容）」之妥當性（是否為正中目標者）之輸 入的檢查盒C51。再者，評估畫面sC5在區域a53中具備受 理「防止再度發生警報建議（防止再度發生警報之建議）」 之妥當性（是否為正中目標者）之輸入的檢查盒C52。 檢查盒C51中，可自「完全正確」「正確」「普通」「不適 合」及「完全不適合」之5個選擇項中選擇丨個。檢查盒 C52中，可自「相當有幫助」「有幫助」「普通」「無幫助」 及「完全無幫助」之5個選擇項中選擇1個。如此，自數個 121675.doc • 21 - 200823656 ^擇項選擇最適切者時，不致帶給操作者過大之負擔，而 可自操作者獲得製程評估成績反饋資訊inf5，可輕易處理 /旱之製各δ平估成績反饋資訊INF 5，不過，這並不妨礙藉 由二以外之方法而取得製程評估成績反饋資訊ΐΝρ5。如亦 1輸人按照妥當性之分數，亦可以文章輸人就妥當性之 解。 此外，评估晝面SC5具備用於指示製程評估成績反饋資 訊1NF5之登錄的登錄按鈕B51。 <2製程管理系統之動作> {製程評估資訊之存儲） 圖9係顯示對製程評估資料庫9存儲製程評估資訊爪^時 之製程評估系統ps的動作流程圖。 如圖9所示，製程評估資訊顶^存儲時’首先在製造裝 置1中，製程執行部101執行製程（步驟S101)。 此時，警報檢測部103檢測出製程執行中發生之異常時 C> (在步驟S102中為"Yes")，警報檢測部103將警報資訊INF9 傳達至製程執行部1G1(步驟咖），製程執行部⑻將製程 資訊刪及警報資訊腳9傳達至製程評估部1〇5(步骤 S104)。藉此，完成對警報影響程度及防止再度發生警報 It議判定時需要之資訊’更具體而言，係對警報影響程度 表1〇55及防止再度發生警報建議表1〇57檢索時需要之檢索 鍵的準備。 警報影響程度判定部則對其回應，而參照警報影響程 度表1055 ’來判定警報景彡響程度（步·1()5)，防止再度發 121675.doc • 22 - 200823656 生警報建議判定部1053參照防止再度發生警報建議表 1057’來判定防止再度發生警報建議（步驟sl〇6)，製程評 估部105將警報影響程度及防止再度發生警報建議附加於 警報資訊INF9後，將包含製程資訊爪厂及警報資訊取^^ 之製程評估資訊爪^經由通信控制部1〇7, 311，而傳送至 製程評估管理裝置3之製程評估資訊登錄部3〇1(步驟 S109) 〇 ^ f

U 另外，警報檢測部103未檢測出異常時，製程執行部ι〇ι 將製程資訊INF7傳達至製程評估部1〇5(步驟sl〇7)，製程 評估部105將製程資訊INF7作為製程評估資訊mFi，經二 通信控制部107, 311而傳送至製程評估資訊登錄部％ 驟S 109)。 乂 對此，製程評估資訊登錄部301將接收之製程評估資訊 INF1儲存於製程評估資料庫9(步驟su〇)。 、- 製程評估系統PS1於每次執行製程時，藉由反覆執行+ 驟請卜⑽，而將全部製程之製程評估資訊mF1存儲: 製程評估資料庫9。但是，這並非從本發明排除不執行牛 驟SW8’而僅將附加㈣報影響程度及防止再= 生警報建議的製程評估資訊刪存儲於製程評估資^ 9’或是僅將附加有警報影響程度及防止再度發生盤報建 議之製程評估資訊刪的—部分，如僅㈣報影料^ 「H」之製程評估資訊侧存儲於製程評估資 。 {製程評估資訊之閱覽} 圖1〇係顯示閱覽存儲於製程評估資料庫9之製程評估資 121675.doc •23· 200823656 以删時之製程評估系統ps的動作流程圖。 如圖1〇所示’閱覽製程評估資訊 估用終端5使用於

用輪入$置55，將操作者指定之「裝置名 寺冉」的製程評估I …，對製程，枯-要求指令經由通信控制部 .令時，操作者亦可VI料部307發行。當然在發行要求指 • 、 ’、°曰疋裝置名稱」以外者。另外，在掣 程評t管理裝置3中安裝Web伺服器時，可利用安裝有㈣ 之通用的個人電腦作為製程評估用終端5，而 為HTTP請求來發行要求指令。 j作 對此，、製程評估資訊取得部3〇7自製程評估資料庫9 按"、、要长扣7之製程評估資訊爪扪（步驟s2〇2)，並將取 之製程評估資訊刪經由通信控制部315而傳送至製程評 估用終端5(步驟S2G3)。而後，製程評估用終端^包含接 收之製程評估資訊刪的處理製程結果一覽畫面m顯示 於輸出裝置57上（步驟S204)。 - 製程評估“PS暫時將製程評估資訊刪存餘製程呼 估資料庫9,由於係使用製程評估用終端5來閱覽所存儲之 製程評估資訊剛，因此可僅選擇希望之製程評估資1 刪來閱覽，而可有效地遂行關於製程評估之業務。、 {製程評估成績反饋資訊之存儲} 圖11係顯示對製程評估資料庫9存館製程評估成績反铲 貝§fl INF5時之製程評估系統pS的動作流程圖。 如圖u所示’存儲製程評估成績反饋資訊_5 先’製程評估用終端5對按下登錄按㈣ι回應，而將使用 121675.doc -24- 200823656 檢查盒C5i，C52所輸入之製程評估成績反饋資訊mF5經由 通信控制部315，而傳送至製程評估管理裝置3之製程評估 成績反饋資訊登錄部305(步驟S301)。 對此，製程評估成績反饋資訊登錄部305將接收之製程 評估成績反饋資訊INF5儲存於製程評估資料庫9(步< = S302) 〇 厂 製程評估系統PS1在評估畫面SC5上評估警報資訊及防 止再度發生警報建議之妥當性，於每次按下登錄按紐叫 時1由反覆執行步驟讓〜S3〇2,而將製程評估成績反 饋資訊INF5存儲於製程評估資料庫9。 {製程評估成績反饋資訊之採取} 圖12係顯示製造裝41之賣方採取存儲於製程評估資料 庫9之製程評估成績反饋資訊刪時製程評估系統ps的動 作流程圖。 如圖12所示，採取製程評估成績反饋資訊刪時，首 先’官理用終端7按照操作者對輸人裝置75之採取操作， 而將採取指令經由通信控制部313，對製程評估管理梦置3 之製程評估成績反饋資訊取得部3G3發行（步驟84叫。當 行採取指令時，亦可減應採取之製程評估成績二 饋負訊INF 5的登錄日期時間等。 =此，製程評估成績反饋資訊取得部3㈣製程評估資 =取得按照絲指令之製程㈣錢反㈣謂 ^控制部313而傳送至管理用終端7(步驟s 、 121675.doc -25- 200823656 系貝反饋資訊INF 5顯示 將製程評估成績反饋 可除了將製程評估成 外，將接收之製程評 管理用終端7將接收之製程評估成 於輸出裝置77上（步驟S4〇4)。舍 資訊INF5顯示於輸出裝置77以外，還 系貝反饋寅§TL INF 5顯示於輸出裝置π之 ’而轉送至其他電腦 估成績反饋資訊INF 5保存於存儲5| (如製造裝置1之賣方設施内的電腦）。

參照如此採取之製程評估成績反饋資訊INF5時，可瞭解 提供「不適合」「完全不適合」等否定的評估之缺乏妥當 性（脫離目標）的警報影響程度，並且可瞭解提供「無幫助」 「完全無幫助」等否定的評估之缺乏妥當性（脫離目標）的 防止再度發生警報建議，而可驗證警報影響程度表1〇55及 防止再度發生警報建議表1〇57之妥當性。 如此，製程評估系統PS可通過製造裝置1之使用者存儲 製程評估成績反饋資訊INF5，與製造裝置i之賣方採取製 程評估成績反饋資訊，而自製造裝置1之使用者對賣方反 饋對警報影響程度及防止再度發生警報建議之評估。 {判定用資料之更新} 圖13係顯示更新判定用資料，亦即更新警報影響程度表 1055及防止再度發生警報建議表1057時之製程評估系統ps 的動作流程圖。判定用資料之更新，主要係在驗證判定用 資料之妥當性的結果，判定為判定用資料缺乏妥當性時進 行0 如圖13所示，於更新判定用資料時，首先，管理用終端 7將包含適切地修正後之新的判定用資料之製程評估更新 121675.doc -26- 200823656 資訊INF3，經由通信控制部3丨3，而傳送至製程評估管理 裝置3之製程評估資訊更新部309(步驟S501)。另外，對管 理用終端7輸入新的判定用資料，亦可使用輸入裝置75來 進行，亦可從其他電腦（如製造裝置丨之賣方設施内的電腦） 轉送亦可由管理用終端7讀取記憶了新之判定用資料的 記憶媒體。 對此，製程評估資訊更新部3〇9將接收之製程評估更新 € 資訊1NF3經由通信控制部3 11、1 07，而傳送至製造裝置j 之製程評估資訊更新部109(步驟S502)。 而後，製程評估資訊更新部1〇9依據接收之製程評估更 新資訊INF3，來更新警報影響程度表1〇55及防止再度發生 警報建議表1057(步驟S503)。藉此，警報影響程度表1〇55 及防止再度發生警報建議表1057替換成適切地修正者，警 報影響程度判定部1〇51及防止再度發生警報建議表1〇57可 進行適切之判定。結果，警報影響程度表1〇55及防止再度 I, 發生警報建議表1057更新後，存儲於製程評估資料庫9之 製程評估資訊INF1成為適切者，而產生自製造裝置i之使 用者對賣方反饋評估。 <其他> 上述實施形態係與發生異常同步地判定警報影響程度及 防止再度發生警報建議，不過，亦可在發生異常時，預先 存儲製程資訊INF7及警報資訊INF9,而與製程評估資訊 INF1之要求指令同步，來判定警報影響程度及防止再度發 生警報建議。此外，亦可無須在製造裝置丨之内部判定鑿 121675.doc -27- 200823656 7度及防止再度發生警報建議’而在製程評估管理 ^。之内。卩判疋警報影響程度及防止再度發生警報建 : 上述只施形態係顯示將製程評估資訊inf 1暫時存 ^於^程評估資料庫9’而使用製程評估用終…閱覽所存 之製程評估資訊INF1之例，不過，將製程評估資訊刪 即時輸出至設於製造裝置i或製程評估管理裝置3之顯示器

或列印機等輸出裝置時’對須緊急處理之異常亦可 處理。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示本發明較佳之實施形態的製程評估系統!>8之 全體概略結構圖。 圖2係顯不製造裝置丨之概略結構區塊圖。 圖3係顯示製程評估管理裝置3之概略結構區塊圖。 圖4係顯示製造裝L係半導體製造用之洗淨裝置時的邀 報影響程度表1055之具體例圖。 。 圖5係顯示製造裝置1係半導體製造用之防止再度發生警 報建議表1 〇 5 7之具體例圖。 ^ 圖6係顯示閱覽製程評估資訊ΙΝη時顯示於輸出裝置η 之處理製程結果一覽畫面SC1的具體例圖。 义 圖7係顯示對按下處理製程結果一覽畫面s(：i中之詳細次 訊閱覽按鈕BU回應’而顯示於輸出裝置57之處理製：二 果詳細畫面SC3的具體例圖。 、壬… 圖8係顯示對按下處理製程結果詳細畫面SC3中之評估按 121675.doc •28- 200823656 鈕扣1回應， 例圖。 '"置57之砰估畫面SC5的具體 圖9係顯示對製程 之製程評估系二 =存㈣”括資訊_時 ㈣估資料庫⑽一資 τ表杈矛估糸統卩8的動作流程圖。 圖η係顯示對製程評估資料庫9存储 資訊1NF5時製程評估系㈣的動作流程圖。 饋 圖！2係顯示製造裝以之賣方採取存儲於製程評估資料 庫9之製程評估成績反饋資訊侧時製程評估系統 作流程圖。 圖13係顯示更新警報影響程度表1〇55及防止再度發生罄 報建議表10 5 7時製程評估系統p s之動作流程圖。 【主要元件符號說明】 1 製造裝置 3 製程評估管理裝置 5 製程評估用終端 7 管理用終端 57 輸出裝置 101 製程執行部 103 警報檢測部 105 製程評估部 109 製程評估資訊更新部 1051 警報影響程度判定部 121675.doc -29- 200823656 1053 1055 1057 INF1 INF3 INF5 PS PRG1，PRG3, PRG5, PRG7 防止再度發生警報建議判定部 警報影響程度表 防止再度發生警報建議表 製程評估資訊 製程評估更新資訊 製程評估成績反饋資訊 製程評估系統 程式

121675.doc 30-

Claims (1)

1. 200823656 十、申請專利範圍： 1. 一種產業製程評估裝置，其特徵為：係評估產業用裝置 執行之產業製程，且具備： 仏測機構’其係檢測前述產業製程執行時發生之異 常； ' -I:判定機構，其係判定前述異f對前述產業用裝置 執行前述產業製程所處理之對象物的影響；及 =機構’其係輸出前述第一判定機構之判定結果。 .未項1之產業製程評估裝置，其中進一步且備第一 更新機構’其係更新成為 的資料。 弟判疋機構之判定基礎 3·如印求項1或請求項2之產業製程評 具備第二判定機構、〃中進-步 常之建議， U疋關於防止再度發生前述異 前述輪出機構輸出··前述第— U 前述第二^機構之衫結果。&機構之匈定結果與 4_如請求項3之產業製程評估裝置 更新機構，其係更新成為前述第步具備第二 的資料。 彳疋機構之判定基礎 5.如請求項1或請求項2之 具備受理機槿，、1程評估裝置，其中$ . 6. 輪入。 又理别迷輪出機構之輪出妥當性的 種產業製程評估方法，直 置執行之產I制& 八特徵為：係評估甚* 產業襄程’且具備： 產業用裝 I21675.doc 200823656 檢測步驟，其係檢測前述產業製程執行時發生之異 常； 判定步驟’其係、判定前述異常對前述產業用裝置藉由 執行前述產業製程所處理之對象物的影響；及 輸出步驟，其係輸出前述判定步驟之判定結果。 一種記錄產業製程評估程式之記錄媒體，其特徵為··該 程式係評估產業用裝置執行之產業製程’且前述產業製 程評估程式藉由電腦之執行，係使前述電腦執行下述步 驟： 檢测步驟，其係檢測前述產業製程執行時發生之異 常； /、 判定步驟，其係判定前述異常對前述產業用裝置藉由 執行前述產業製程所處理之對象物的影響；及 輸出步驟，其係輸出前述判定順序之判定結果。 J 121675.doc