JP2001242634A - フォトエッチング方法、フォトエッチング装置 - Google Patents

フォトエッチング方法、フォトエッチング装置

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JP2001242634A
JP2001242634A JP2000057927A JP2000057927A JP2001242634A JP 2001242634 A JP2001242634 A JP 2001242634A JP 2000057927 A JP2000057927 A JP 2000057927A JP 2000057927 A JP2000057927 A JP 2000057927A JP 2001242634 A JP2001242634 A JP 2001242634A
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jig
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resin sheet
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Takeo Kuroda
武夫 黒田
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 立体的なエッチング対象物であっても、エッ
チングを容易に施すことを可能とする。 【解決手段】 真空引き用の穴17、45を有して蓋体
37を支持可能なフレーム7及び治具35と、治具35
に支持された蓋体37の上から被せられて蓋体37のレ
ジスト塗布面に配置された所定露光パターンのマスク3
9の上から蓋体37に密着させるための軟質透明樹脂シ
ート41と、真空引き用の穴17,45に連通されて真
空を発生させることにより軟質透明樹脂シート41をマ
スク39の上から蓋体37に密着させる真空発生部とを
備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、立体的な物にエッ
チング加工を簡単に行うことのできるフォトエッチング
方法、及びフォトエッチング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、立体的な物に所定パターンを印刷
することができるものとして、例えば図9に示すシルク
スクリーン装置がある。このシルクスクリーン装置で
は、例えば枠101に貼ったナイロン、テトロン(登録
商標)、シルク、ステンレス等の基材103に感光乳剤
を塗布し、文字、絵、柄などの所定パターン105を有
するフィルムを裏から貼付し、該フィルム側から露光ラ
ンプによって感光させ、まず版を作成する。このように
作成したシルクスクリーンの版を用いて、平らな対象物
に印刷する場合は、対象物の上に版を水平に配置し、ス
キージ(ゴムのへら)で印刷をする。
【0003】一方、図10のように、印刷を行う対象物
107が円筒形等である場合には、治具に対象物107
を回転可能に支持し、この対象物107とスキージ10
9との間に版111をセットする。この状態でスキージ
109に圧力を加えつつ版111を一定方向へスライド
させ、対象物107の外周面に印刷を施こすことにな
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな方法であると、フィルムに感光乳剤を感光させた版
111を用いて対象物107に間接的に印刷するもので
あるため、緻密な印刷ができなかった。又、立体的な対
象物107の周面全周に印刷をする場合、印刷のスター
ト部分と最後のフィニッシュ部分とが重なって連続性が
損なわれ、外観を損なうという問題がある。
【0005】さらに、前記円筒の対象物107の端面に
は同時に印刷することができず、周面に印刷した後、別
の工程で印刷することになり、印刷工程が増え、煩雑な
作業となっていた。又、対象物107が円筒である場合
はよいが、球面体、多角面体などには印刷困難となるも
のであった。
【0006】一方、対象物107に直接感光乳剤を感光
させて緻密な模様等を得る手段としてフォトエッチング
が行われているが、立体的な対象物にはエッチングが困
難であるという問題があった。
【0007】本発明は、対象物の外面に緻密なエッチン
グを施すことが可能であると共に、立体的な対象物の表
面にも簡単にエッチングを施すことのできるフォトエッ
チング方法、及びフォトエッチング装置の提供を課題と
する。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、エッ
チング対象物にレジストを塗布するレジスト塗布工程
と、前記エッチング対象物のレジスト塗布面に所定露光
パターンのマスクを配置する工程と、前記マスクの上か
ら軟質透明樹脂シートを被せて真空引きし該軟質透明樹
脂シートをマスクの上から前記エッチング対象物に密着
させる工程と、前記所定露光パターンの露光によりレジ
ストをエッチング対象物に焼き付ける工程と、前記所定
露光パターン以外のレジストを除去する工程とよりなる
ことを特徴とする。
【0009】請求項2の発明は、真空引き用の穴を有し
てエッチング対象物を支持可能な支持体と、該支持体に
支持されたエッチング対象物に被せられて該エッチング
対象物のレジスト塗布面に配置された所定露光パターン
のマスクの上から前記エッチング対象物に密着させるた
めの軟質透明樹脂シートと、前記真空引き用の穴に連通
されて真空を発生させることにより前記軟質透明樹脂シ
ートの前記密着を行わせる真空発生部とを備えたことを
特徴とする。
【0010】請求項3の発明は、請求項2記載のフォト
エッチング装置であって、前記支持体は、前記真空発生
部に連通して真空引き用の穴を兼ねる治具取付穴を備え
たフレームと、前記治具取付穴に取り付けられると共
に、立体的なエッチング対象物の下部開口を嵌合支持す
る凸部を備え、且つ前記凸部に開口し前記治具取付穴に
連通する真空引き用の穴を有する治具とよりなることを
特徴とする。
【0011】請求項4の発明は、請求項3記載のフォト
エッチング装置であって、前記治具の凸部の表面に、前
記凸部に支持させた前記エッチング対象物外へ前記連通
穴を連通させるための溝を設けたことを特徴とする。
【0012】請求項5の発明は、請求項3又は4記載の
フォトエッチング装置であって、前記フレームは、前記
治具取付穴を複数備えたことを特徴とする。
【0013】請求項6の発明は、請求項3〜5の何れか
に記載のフォトエッチング装置であって、前記フレーム
の前面側を囲むリフレクター部と、該リフレクター部の
奥側に位置し前記フレーム側の軟質透明樹脂シートから
離れて配置される露光ランプとを設けた露光装置を備え
たことを特徴とする。
【0014】
【発明の効果】請求項1の発明では、マスクの上から軟
質透明樹脂シートを被せて真空引きし、軟質透明樹脂シ
ートをマスクの上からエッチング対象物に密着させるた
め、軟質透明樹脂シートとマスクとの間の空気を除去
し、レジストを露光により焼き付ける工程において、露
光の漏れを防止し、立体的なエッチング対象物であって
も容易にエッチングを施すことができる。
【0015】請求項2の発明では、真空発生部によって
真空を発生させることにより、軟質透明樹脂シートをマ
スクの上からエッチング対象物に容易かつ確実に密着さ
せることができ、エッチング対象物が立体的な物であっ
ても容易にエッチングを施すことができる。
【0016】請求項3の発明では、請求項2の発明の効
果に加え、支持体は真空発生部に連通して、真空引き用
の穴を兼ねる治具取付穴を備えたフレームと、治具取付
穴に取り付けられると共に立体的なエッチング対象部の
下部開口を嵌合支持する凸部を備え、かつ凸部に開口し
治具取付穴に連通する真空引き用の穴を有する治具とよ
りなるため、治具の凸部に立体的なエッチング対象物の
下部開口を嵌合支持し、真空発生部によって真空を発生
させることにより、軟質透明樹脂シートをマスクの上か
らエッチング対象物に容易に密着させることができる。
従って、立体的なエッチング対象物の表面に、より確実
かつ容易にエッチングを施すことができる。
【0017】請求項4の発明では、請求項3の発明の効
果に加え、治具の凸部の表面に、凸部に支持させたエッ
チング対象物外へ連通穴を連通させるための溝を設けた
ため、真空発生部によって真空を発生させたとき、エッ
チング対象物外から溝を介し連通穴、治具取付穴へと確
実に空気を引き込むことができ、軟質透明樹脂シートを
マスクの上からエッチング対象物に容易かつ確実に密着
させることができる。
【0018】請求項5の発明では、請求項3又は4の発
明の効果に加え、フレームは治具取付穴を複数備えたた
め、各治具取付穴に複数の治具をそれぞれ取り付け、該
複数の治具にそれぞれエッチング対象物を支持させるこ
とによって、複数のエッチング対象物に容易かつ確実に
エッチングを施すことができる。
【0019】請求項6の発明では、請求項3〜5の何れ
かの発明の効果に加え、フレームの前面側を囲むリフレ
クター部と、リフレクター部の奥側に位置しフレーム側
の軟質透明樹脂シートから離れて配置される露光ランプ
とを設けた露光装置を備えたため、エッチング対象物に
レジストを露光により焼き付けるとき、露光ランプの熱
で軟質透明樹脂シートが溶けるようなことがなく、確実
にエッチングを施すことができる。
【0020】
【発明の実施の形態】図1〜図5は、本発明の一実施形
態に係るフォトエッチング装置を示している。まず図1
は、本発明の一実施形態に係るフォトエッチング装置の
概要を示したもので、このフォトエッチング装置はフレ
ーム1と露光装置3とを備えている。
【0021】前記フレーム1は、側面図で示されてお
り、図2にその正面図を示している。これら図1,図2
のように、フレーム1は、脚部5に受け部7を回転軸9
を中心に回転自在に支持したものである。脚部5には載
置部11が後方に突設されている。又、脚部5にはスト
ッパ13が設けられている。ストッパ13は脚部5に螺
合支持されており、ストッパ13を捩じ込んで受け部7
の側面に先端を当接させることにより、受け部7を脚部
5に対し図1,図2のような垂直状態で固定することが
できる。又、脚部5の下端には、移動用のキャスタ15
が取り付けられている。
【0022】前記受け部7は、矩形の箱状に形成され、
内部は中空となっている。受け部7の前面には、治具取
付穴17が複数、例えば9個備えられている。この治具
取付穴17は、真空引き用の穴を兼ねるものである。受
け部7の側面には、真空発生部のホースを接続する接続
口19が設けられている。
【0023】前記露光装置3は、リフレクター部21
と、露光ランプ23とからなっている。リフレクター部
21は、前面25が開口し、内面が光を反射して前面2
5側に収束させるリフレクター面となっている。前記前
面25の開口は、前記フレームの前面側である受け部7
の前面ほぼ全体を囲む構成となっている。このリフレク
ター部21は、脚部27に支持されている。前記露光ラ
ンプ23は、リフレクター部21の奥側に位置し、前記
フレーム1側の後述する軟質透明樹脂シートから離れて
配置される構成となっている。
【0024】図3は、前記フレーム7に真空発生部であ
る真空ポンプ29を接続した状態を示す斜視図である。
真空ポンプ29は、ホース31を介し前記フレーム7の
接続口19に接続されている。ホース31には、コック
33が設けられ、真空引きのオン/オフを行うことがで
きるようになっている。
【0025】図4は、前記フレーム7の治具取付穴17
に取り付けた治具35と、エッチング対象物としてファ
ンデーションケースの蓋部37と、マスク39と、軟質
透明樹脂シート41との関係を示した断面図である。
【0026】前記治具35は、前記フレーム7と共にエ
ッチング対象物である蓋体37を支持する支持体1を構
成するものである。この治具35は、フレーム7に対し
着脱自在に構成しているが、一体に構成することも可能
である。治具35は、上面に凸部43を備え、中央に連
通穴45を有している。前記凸部43は前記立体的なエ
ッチング対象物である蓋体37を嵌合支持するもので、
蓋体37に合わせて若干球面状に形成され、隅部47は
蓋体37を位置決めるためにアールが設けられている。
【0027】前記連通穴45は、前記凸部35上面に開
口している。また連通穴45は下部のボス部49の下端
に開口し、前記治具取付穴17に連通している。前記治
具35の凸部43上には、図5のように溝51が十字状
に設けられている。溝51の内端部は前記連通穴45に
連通し、同外端部は凸部43の周囲に設けられた凹部5
3に連通している。
【0028】図4において前記マスク39はポジフィル
ムあるいはネガフィルムなどによって構成され、文字、
絵等の所定露光パターンを有している。前記軟質透明樹
脂シート41は、いわゆるポリエチレンシートであり、
ある程度耐熱性があり、真空引きにより密閉性を保てる
程度の柔らかさを有し、かつ透光性のあるものであれば
その材質は特に限定されるものではない。
【0029】図6は、前記フォトエッチング装置を用い
てエッチング対象物、例えば前記蓋体37にエッチング
を施す場合のフォトエッチング方法の各工程を示したも
のである。すなわち、このフォトエッチング方法におい
ては、レジストを塗布する工程としての感光乳剤塗布工
程55と、マスクを配置する工程としてのパターンフィ
ルム貼付工程と、軟質透明樹脂シートを密着させる工程
としてのシート密着工程59と、レジストを焼き付ける
工程としての露光工程61と、レジストを除去する工程
としての仕上げ工程63とからなっている。
【0030】前記感光乳剤塗布塗工55においては、エ
ッチング対象物である前記蓋体37にレジスト(感光乳
剤)を塗布する。前記パターンフィルム貼付工程57に
おいては、図4の蓋体37のレジストを塗布した上面
に、マスク39を配置、貼付する。
【0031】前記シート密着工程59においては、まず
図3のように、ストッパ13を緩めて、フレーム7を回
転軸9を中心に回転させ、載置部11上に支持させて水
平状態に保持する。かかる状態において、治具35を各
治具取付穴17にそれぞれ支持させる。この治具35に
対し前記マスク35を貼付した蓋体37を取り付ける。
この取付けは、蓋体37の下部開口65を前記凸部35
に嵌合支持させることにより行う。この状態で、開口6
5の周縁は、凸部35の隅部47周囲に係合し、凹部5
3上に乗ることになるが、凹部53と溝51とは、蓋体
37の開口65周縁の下側を通って連通している。
【0032】こうして各治具取付穴17に各治具35が
取り付けられ、さらにマスク35を貼付した蓋体37が
取り付けられた状態において、その上から軟質透明樹脂
シート41を被せる。この場合、軟質透明樹脂シート4
1は、フレーム7のほぼ全体を覆う程度の大きさとなっ
ている。但し、軟質透明樹脂シート7は、各蓋体37毎
に備えられ、各蓋体37及び治具35に被せる構成にす
ることもできる。
【0033】軟質透明樹脂シート41を被せた後は、図
3で示すコック33を開いて真空引きを行う。この真空
引きは、真空ポンプ29の駆動によって行われる。すな
わちコック33を開くと、真空ポンプ29の作用によっ
てフレーム7内のエアが抜かれる。これによってフレー
ム7上のエアが治具35の凹部53、溝51などから連
通穴45を通り、フレーム7内に導かれる。従って、フ
レーム7上のエアが全体的に真空引きされることにな
る。
【0034】かかる真空引きによって、軟質透明樹脂シ
ート41は、マスク39の上からエッチング対象物であ
る蓋体37に密着することになる。この密着により、蓋
体37が球面状態であっても、軟質透明樹脂シート41
と、マスク39と、蓋体37との間に空気が存在せず、
光線漏れがないようにすることができる。
【0035】前記露光工程61では、前記蓋体37上に
所定露光パターンの露光によりレジストを焼き付ける。
すなわち前記真空引きした状態において、フレーム7を
回転させて垂直状態に起こし、ストッパ13を捩じ込ん
で図1のように垂直状態に位置決めする。かかる状態に
おいて、支持体1を矢印のように移動させ、フレーム7
の前面周囲全体を露光装置3の前面25によって覆うよ
うにセットする。
【0036】次いで、露光ランプ23によって紫外線を
照射し、蓋体37の表面にマスク39の所定露光パター
ンによるレジストを焼き付ける。この場合、露光ランプ
23は、露光装置3によってフレーム7から離れた位置
にセットされる構成となるため、フレーム7上の軟質透
明樹脂シート41が多少熱に弱いものであっても、熱の
影響を極力抑えることができ、レジストの焼き付けを円
滑に行うことができる。
【0037】前記仕上工程63においては、前記レジス
トの焼き付け後に現像液に浸してリンスし、焼き付けた
レジスト以外のレジストを除去する。これによって、蓋
体37の表面に所定露光パターンによる文字、模様等を
形成することができる。
【0038】上記のようにして、所定パターンの模様が
形成された蓋体37は、乾燥されてアルミニウムの場合
はアルマイト(登録商標)加工され、他の金属の場合は
メッキ加工されることになる。蓋体37が金属以外の場
合は、前記のようにしてレジストを除去した面は着色さ
れ、その面が保護されることになる。
【0039】このように本発明の実施形態においては、
エッチング対象物である蓋体37が球面等の立体であっ
ても、軟質透明樹脂シート41を真空引きによって密着
させるだけで簡単にエッチングを施すことができる。
【0040】図7はエッチング対象物の他の例を示した
もので、例えば口紅ケースのキャップを示している。キ
ャップ67は円筒状である。
【0041】図7のような円筒形状のキャップ67にエ
ッチングを施す場合には、上記実施形態の治具35とは
別の治具35を用いることになる。この場合、キャップ
67の内部に嵌合する形状の高い凸部43を有する治具
35を用いることになる。かかる治具35においては、
上記実施形態のような溝51は設けられず、キャップ6
7の内面に嵌合する治具35の凸部43の下部に横方向
に穴79が設けられると共に、凸部43の中心部に横方
向の穴79に連通すると共に、治具取付穴に連通する連
通穴45を設けることになる。
【0042】又、キャップ67のような形状のエッチン
グ対象物の場合には、キャップ67の外形形状に応じた
指サック状の軟質透明樹脂シート81を用いることにな
る。そして指サック状の軟質透明樹脂シート81の下端
部は、治具35の下部に形成された横方向の穴79を内
部に位置させるようにして下部が治具35に輪ゴム83
などで密閉状に止められることになる。これによって真
空引きをすると、治具35の連通穴45から下部の横方
向の穴79を通して指サック状の軟質透明樹脂シート8
1内の空気が真空引きされ、前記同様にマスク(図7で
は図示していない)の上からキャップ67に指サック状
の軟質透明樹脂シート81を密着させることができる。
従って、上記と同様にキャップ67の場合でも、容易に
エッチングを施すことができる。
【0043】円筒状のキャップ67の場合、周面71に
印刷を施すことは従来の図9,図10の装置によっても
可能である。しかし周面71に従来の印刷を施す場合に
は、上記のように始点と終点とが重なるなど外観を損な
う恐れがある。一方、本発明の実施形態においては、周
面71にエッチングを施す場合に、始点、終点の境がな
くなり、一度にエッチングを施すことによって、継ぎ目
のない完璧な模様を形成することができる。
【0044】又、従来では円筒状のキャップ67の上面
73には、一度にエッチングを施すことは困難であった
が、本発明の実施形態では、周面71と上面73とを同
時にエッチングすることができ、かかる円筒状のキャッ
プ67に極めて容易にエッチングを施すことができる。
【0045】尚、キャップ67のような場合において
も、フレーム7全体を覆うようなシートを用いることも
できる。例えば、軟質透明樹脂シートの全体的な大きさ
をフレーム7に対応したものとし、治具35の凸部43
に対応する部分だけ指サック状に突出させ、キャップ6
7に被せるようにすることができる。こうすることによ
って、輪ゴムにより指サック状の軟質透明樹脂シートの
下部を止める必要はなくなり、真空引きをするだけで軟
質透明樹脂シートをマスクの上からキャップ67に密着
させることができる。
【0046】又、図8の四角筒状のキャップ69におい
ても、円筒状のキャップ67と同様にその側面75,上
面77に容易にエッチングを施すことが可能である。そ
の他の多角筒状のキャップなどにおいても容易にエッチ
ングを施すことができる。これら多角筒状のエッチング
対象物の場合は、前記治具35の凸部43も多角断面に
形成すると真空引きの際にエッチング対象物を治具に安
定して支持させることができる。
【0047】上記実施形態において、前記フレーム7の
上面と各治具35の底面とにゴムを設けることによって
相互の密着度を高め、真空引きをより確実に行わせるこ
ともできる。前記溝51は、真空引きを行うときの空気
通路となっているが、溝51や凹部53を省略しても真
空引きを行うことは可能である。
【0048】エッチング対象物としては、上記以外に口
紅ケースの本体部分、アトマイザーケース等が含まれる
ことはもちろんであるが、これに限定はされない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るフォトエッチング装
置の側面図である。
【図2】一実施形態に係り、支持体の正面図である。
【図3】一実施形態に係り、支持体及び真空発生部の関
係を示す斜視図である。
【図4】一実施形態に係り、フレーム、治具、キャッ
プ、マスク、軟質透明樹脂シートとの関係を示す断面図
である。
【図5】一実施形態に係り、治具の斜視図である。
【図6】本発明の一実施形態に係るフォトエッチング方
法の工程図である。
【図7】エッチング対象物の他の例、及び治具等を示す
斜視図である。
【図8】一実施形態に係り、エッチング対象物のさらに
他の例を示す斜視図である。
【図9】従来例に係り、シルクスクリーンの版形成を示
す斜視図である。
【図10】従来例に係り、印刷状態の側面図である。
【符号の説明】
1 支持体 3 露光装置 7 フレーム 17 治具取付穴 21 リフレクター部 23 露光ランプ 35 治具 37 蓋体(エッチング対象物) 39 マスク 41 軟質透明樹脂シート 43 凸部 45 連通穴 55 感光乳剤塗布工程(レジストを塗布する工程) 57 パターンフィルム塗布工程(マスクを配置する工
程) 59 シート密着工程(密着させる工程) 61 露光工程(焼き付ける工程) 63 仕上げ工程(除去する工程) 67、69 キャップ(エッチング対象物)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 エッチング対象物にレジストを塗布する
    レジスト塗布工程と、 前記エッチング対象物のレジスト塗布面に所定露光パタ
    ーンのマスクを配置する工程と、 前記マスクの上から軟質透明樹脂シートを被せて真空引
    きし該軟質透明樹脂シートをマスクの上から前記エッチ
    ング対象物に密着させる工程と、 前記所定露光パターンの露光によりレジストをエッチン
    グ対象物に焼き付ける工程と、 前記所定露光パターン以外のレジストを除去する工程と
    よりなることを特徴とするフォトエッチング方法。
  2. 【請求項2】 真空引き用の穴を有してエッチング対象
    物を支持可能な支持体と、 該支持体に支持されたエッチング対象物に被せられて該
    エッチング対象物のレジスト塗布面に配置された所定露
    光パターンのマスクの上から前記エッチング対象物に密
    着させるための軟質透明樹脂シートと、 前記真空引き用の穴に連通されて真空を発生させること
    により前記軟質透明樹脂シートの前記密着を行わせる真
    空発生部とを備えたことを特徴とするフォトエッチング
    装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載のフォトエッチング装置で
    あって、 前記支持体は、前記真空発生部に連通して真空引き用の
    穴を兼ねる治具取付穴を備えたフレームと、前記治具取
    付穴に取り付けられると共に、立体的なエッチング対象
    物の下部開口を嵌合支持する凸部を備え、且つ前記凸部
    に開口し前記治具取付穴に連通する真空引き用の穴を有
    する治具とよりなることを特徴とするフォトエッチング
    装置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載のフォトエッチング装置で
    あって、 前記治具の凸部の表面に、前記エッチング対象物外へ前
    記真空引き用の穴を連通させるための溝を設けたことを
    特徴とするフォトエッチング装置。
  5. 【請求項5】 請求項3又は4記載のフォトエッチング
    装置であって、 前記フレームは、前記治具取付穴を複数備えたことを特
    徴とするフォトエッチング装置。
  6. 【請求項6】 請求項3〜5の何れかに記載のフォトエ
    ッチング装置であって、 前記フレームの前面側を囲むリフレクター部と、該リフ
    レクター部の奥側に位置し前記フレーム側の軟質透明樹
    脂シートから離れて配置される露光ランプとを設けた露
    光装置を備えたことを特徴とするフォトエッチング装
    置。
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