JP2000321779A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JP2000321779A
JP2000321779A JP11129944A JP12994499A JP2000321779A JP 2000321779 A JP2000321779 A JP 2000321779A JP 11129944 A JP11129944 A JP 11129944A JP 12994499 A JP12994499 A JP 12994499A JP 2000321779 A JP2000321779 A JP 2000321779A
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坂 博 宮
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上 義 光 村
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空容量が小さく、短時間で真空密着でき、
製版精度を向上し、画像部の付近のみを光露光するた
め、露光面積を小さくし、露光距離の短縮による小型化
並びに安価にするスクリーン印刷用版の露光装置を提供
する。 【解決手段】 底部にスクリーンPS版の感光性樹脂層
を下面側から光を照射するための主露光器を内蔵し、上
端部にマスクフィルムを載置するための水平方向にスラ
イド自在な透明ガラス板を備えていると共に、スクリー
ンPS版の感光性樹脂層と透明ガラス板との間に挟んだ
マスクフィルムをスクリーンPS版に密着させるための
減圧機器を備えた画像部露光用函体部と、天井部分付近
にスクリーンPS版の感光性樹脂層を上面側から光を照
射するための従露光器を内蔵すると共に、該従露光器の
下側にスクリーンPS版を挿入自在としたガイドレール
を配設した画像周辺部露光用函体部と、前記画像部露光
用函体部の上方で前記画像周辺部露光用函体部を昇降自
在とする昇降機とから構成されていることを特徴とする
露光装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス面にスクリ
ーン版の型枠が当たらず、真空にする容積が少ないため
に短時間で減圧することができる露光装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、スクリーン印刷版を製版するため
には、各種の工程を経て製造されているが、その中でも
特に重要な露光工程は、写真製版したマスクフイルムの
画像を精度良く転写するために、マスクフィルムと感光
性樹脂層とを重ね合わせて、両者間を真空に減圧して密
着させなければならない。それ故、一般に以下に示す方
法で露光が行われている。図4の(a)の正面図及び
(b)の右側面図に示すような、上面に真空密着用ゴム
シートカバー20を備えた露光装置21が用いられる。
そして、先ず最初に、図5の(a)に示すように、該露
光装置21の透明ガラス板7の上にマスクフィルム8を
置き、更にその上にスクリーンPS版(Presensitized
Plate)9を置いてマスクフィルム8とスクリーンPS
版9とを重ね合わせる。次に、図5の(b)に示すよう
に、該スクリーンPS版9の上にスポンジ22を載せ
て、真空用ホース23を導き、その上から真空密着用ゴ
ムシートカバー20を被せる。そして、図5の(c)に
示すように、スクリーンPS版9の上の真空用ホース2
3を通じて真空ポンプ13によって真空密着用ゴムシー
トカバー20とガラス板7との間の空気を吸引すること
により真空密着用ゴムシートカバー20で被せられた部
分を真空状態にして、該真空密着用ゴムシートカバー2
0の上から大気圧で押圧して、スクリーンPS版9とマ
スクフィルム8とガラス板7とを密着させる。この様に
密着させた状態で、下方側に配置した露光用ランプ5を
点灯することによりマスクフィルム8を介して露光を行
って、マスクフィルム8の画像を、スクリーンPS版9
の感光樹脂層9aに潜像画像として形成する。露光終了
後に真空ポンプ13を止めて、真空密着用ゴムシートカ
バー20の下側を常圧に戻し、露光したスクリーンPS
版9を取り出し、更に、次の工程で現像・乾燥すること
によりスクリーン印刷用版が製造されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この様にして
製版されたスクリーン印刷版は、 .真空密着が必要な画像部以外の部分の、スクリーン
PS版の枠を含めた状態で真空密着を行わなければなら
ないため、真空に減圧しなければならない部分の容積が
大きくなり、減圧機で真空にして密着させるまでに30
秒から1分間の時間を必要としていた。それ故、露光工
程の生産効率が向上せず、経済的にも不利なものであっ
た。 .上部から真空密着用ゴムシートカバーを被せるた
め、ゴムシートカバーが露光時に紫外線を受けて老化し
消耗するので、該ゴムシートカバーを屡々交換取り替え
をしなければならないとの欠点があった .露光用の透明ガラス板に直接スクリーンPS版を金
属製の枠ごと載せるため、スクリーンPS版の金属枠と
透明ガラス板とが接触して、更に、真空にして密着させ
る必要があるために、強く減圧にするのでガラス面が傷
つき易い。この様な傷の付いた透明ガラス板上で露光さ
れた版で露光すれば、品質を悪化させるので、時々、透
明ガラス板の交換をしなければならなかった。 .未露光部分があると、印刷時にインキが透過して、
不鮮明な画像にしてしまうので、スクリーンPS版全体
を露光させなければならなく、スクリーンPS版全体を
露光しなければならなかった。それ故、光源及びレンズ
が大型のものでなければならず、露光エリアが大きくな
るのに伴い、装置費やランニングコストが顕著に増加す
るだけでなく、製版精度も低下する。 .真空にしなければならない部分の容積が大きいた
め、真空密着用ゴムシートカバーが真空時に大きく伸び
て張力がかかった状態でスクリーンPS版等を押圧す
る。それ故、スクリーンPS版が張力がかかった状態で
露光されるので、得られる版の精度を低下させてしま
う。等の欠点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記問題点
に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、真空にする容積を少な
くするため、スクリーンPS版全体を覆うことなく、部
分的に露光して露光精度を向上させ、未露光部分はスク
リーンPS版の感光性樹脂層の両面から露光することに
より、上記課題を解決し得るとの知見に基づき本発明を
完成するに至ったものである。すなわち、本発明の露光
装置は、底部にスクリーンPS版の感光性樹脂層を下面
側から光を照射するための主露光器を内蔵し、上端部に
マスクフィルムを載置するための水平方向にスライド自
在な透明ガラス板を備えていると共に、スクリーンPS
版の感光性樹脂層と透明ガラス板との間に挟んだマスク
フィルムをスクリーンPS版に密着させるための減圧機
器を備えた画像部露光用函体部と、天井部分付近にスク
リーンPS版の感光性樹脂層を上面側から光を照射する
ための従露光器を内蔵すると共に、該従露光器の下側に
スクリーンPS版を挿入自在としたガイドレールを配設
した画像周辺部露光用函体部と、前記画像部露光用函体
部の上方で前記画像周辺部露光用函体部を昇降自在とす
る昇降機とから構成されていること、を特徴とするもの
である。
【0005】
【発明の実施の形態】[I] 露光装置 (1) 構成要素 本発明の露光装置1は、図1及び図2に示す様な、画像
部露光用函体部2と、画像周辺部露光用函体部3と、該
画像周辺部露光用函体部3を前記画像部露光用函体部2
の上方で昇降自在とした昇降機4とから基本的に構成さ
れている。 (A) 画像部露光用函体部 上記画像部露光用函体2には、図1に示すように、該函
体2内の底部2aに配置される主露光器5と、該函体2
の上端部に配置されるマスクフィルム8を載置するため
の水平方向にスライド自在な透明ガラス板7と、スクリ
ーンPS版9の感光性樹脂層9aと透明ガラス板7とを
密着させるための減圧機器14とが配置されている。
【0006】(a) 主露光器 上記画像部露光用函体2内の底部2aに配置される主露
光器5は、その上部に主露光器5の光源5aより放射さ
れた光線5bを平行光線5cとするためのフレンネル6
が配置されている。それ故、函体2の上端部2bの透明
ガラス板7に到達する際には平行光線5cであり、その
上に載置されたマスクフィルム8には平行光線5cとし
て照射される。この様な主露光器5はスクリーンPS版
9の感光性樹脂層9a全体を照射する必要がないことか
ら、上記透明ガラス板7との距離を大きく離す必要がな
いので、主露光器5の光源5aに大出力のものを使用す
る必要がなく、露光装置1をコンパクトに設計して安価
に製造することができる。
【0007】(b) 透明ガラス板小型化 上記透明ガラス板7は、スクリーンPS版9の感光性樹
脂層9a全体を照射する必要がないことから、透明ガラ
ス板7もスクリーンPS版9の感光性樹脂層9aよりも
大きくする必要がないし、小型化することもできる。そ
れ故、透明ガラス板7がスクリーンPS版9の枠9bの
金属と接触することがないので傷が付かず、透明ガラス
板の交換が不要となった。スライドレール 上記透明ガラス板7は、図2に示すように、マスクフィ
ルム8を上面に載置して、位置決め操作を行わなければ
ならないため、透明ガラス板7を手前側(左側)にスラ
イドさせて取り出すことができる様にスライドレール1
0a,10bが設けられている。また、該マスクフィル
ム8を上面に載置した透明ガラス板7には、マスクフィ
ルム8と透明ガラス板7とを密着させるために、マスク
フィルム8の上から押圧するローラー11を備えている
ことが好ましい。凸状周縁部 上記透明ガラス板7の周縁部には、マスクフィルム8の
厚みとほぼ同等の厚みの凸状周縁部7aを形成すること
が好ましく、この凸状周縁部7aがスクリーンPS版9
の感光性樹脂層9aと当接することにより、このスクリ
ーンPS版9の感光性樹脂層9aと透明ガラス板7と該
凸状周縁部7aとによって囲まれた空間部分12を後記
減圧機器13に接続された減圧用ホース14によって減
圧することができる。
【0008】(c) 減圧機器 上記減圧機器13は、スクリーンPS版9の感光性樹脂
層9aと透明ガラス板7との間に挟んだマスクフィルム
8をスクリーンPS版9の感光性樹脂層9aに密着させ
るため、透明ガラス板7に孔7bが開けられて、該孔7
bの下方側に減圧用ホース14が接続されており、この
減圧用ホース14を通じて前記感光性樹脂層7aと透明
ガラス板7との空間部12の空気を吸引することによっ
て真空となり、感光性樹脂層7aが大気圧によって押圧
されて、感光性樹脂層7aとマスクフィルム8とが透明
ガラス板7上で密着する。なお、真空ポンプ等の減圧機
13と連結された真空用ホース14は、透明ガラス板7
に固着されていることから、透明ガラス板7がスライド
レール10a,10b上をスライドして出入りする際に
も伸縮して透明ガラス板7を前後に移動させることがで
きる。
【0009】(B) 画像周辺部露光用函体部 上記画像周辺部露光用函体部3は、函体3内の天井部分
3aにスクリーンPS版9の感光性樹脂層9aの上面側
から光を照射するための従露光器15を内蔵し、函体3
内の該従露光器15の下側にはスクリーンPS版9を挿
入自在としたガイドレール16a,16bが配置されて
いる。 (a) 従露光器 上記画像周辺部露光用函体3内の天井部分3a付近に
は、スクリーンPS版9の感光性樹脂層9aの上面側か
ら感光性樹脂層9aの全面に光を照射して感光性樹脂層
9aの全面を光硬化させるための従露光器15が内蔵さ
れている。
【0010】(b) スクリーンPS版挿入用ガイドレール 該画像周辺部露光用函体3内の従露光器15の下側に
は、スクリーンPS版9を挿入自在としたガイドレール
16a,16bが配置されている。凸状遮光板の載置 スクリーンPS版9の感光性樹脂層9aの上面の中心部
付近の画像形成部分に凸状遮光板17を載置することに
より、その重みで、その中心部付近を頂点として下方側
に凸状に撓む。それ故、画像周辺部露光用函体部3を降
下させてマスクフィルム8上に積層して、減圧ポンプ1
4で吸引すると、凸状遮光板17を載置した感光性樹脂
層9aの中心部より徐々に密着して減圧することができ
るので、空気を巻き込んだ状態で密着することがない。
この凸状遮光板17は、スクリーンPS版9の感光性樹
脂層9aの画像形成を予定する部分に配置されて、従露
光器15より照射された光を遮蔽することによりスクリ
ーンPS版9の感光性樹脂層9aが露光しないようにし
て、主露光器5の光源5aより放射された平行光線5c
のみをマスクフィルム8を介して露光するのでマスクフ
ィルム8の正確な画像を形成することができる。
【0011】(C) 昇降機 上記画像周辺部露光用函体部3を前記画像部露光用函体
部2の上方で昇降自在とする昇降機4は、画像周辺部露
光用函体部3全体を降下させて、画像周辺部露光用函体
部3に配置されているガイドレール16a,16b上の
スクリーンPS版9の感光性樹脂層9aを、前記画像部
露光用函体部2の透明ガラス板7上に載置されたマスク
フィルム8に密着させることができる。該昇降機4は、
前記画像部露光用函体部2及び画像周辺部露光用函体部
3にそれぞれ一部が収納されて、モーターの回転によ
り、或いは、エアーシリンダー18や油圧等によって画
像周辺部露光用函体部3を画像部露光用函体部2の上方
で昇降自在とさせている。
【0012】[II] 操 作 本発明の露光装置の操作は、次のようにして実施され
る。 (1) マスクフィルムのセット 先ず最初に、透明ガラス板7をスライドさせて引き出
し、該透明ガラス板7上にポジフイルム等のマスクフィ
ルム8を載置し、その位置を決めて、フィルム密着用ロ
ーラー11によりその上から押圧してポジフィルム8と
透明ガラス板7との間の空気を追い出して、ポジフィル
ム8を透明ガラス板7上に密着固定する。その後、透明
ガラス板7を画像部露光用函体部2内にスライドさせて
挿入する。
【0013】(2) スクリーンPS版のセット 図3(a)に示すように、別途製作したスクリーンPS
版9の印刷面側を下側に向け、スクリーンPS版9の裏
側のスキージー面を上側に向けて、更に、スクリーンP
S版9の中央部付近の画像形成部分に画像部凸状遮光板
17の凸状面を下側に向けて載置する。この様に画像部
凸状遮光板17をセットしたスクリーンPS版9を、ス
クリーンPS版挿入用ガイドレール16a,16b上に
挿入する。
【0014】(3) 画像周辺部露光函体の降下 図3(b)に示すように、画像周辺部露光函体3の壁面
に形成された制御盤19のスイッチを入れて昇降機4の
エアーシリンダー18を作動させて、画像周辺部露光函
体3全体を降下させ、画像周辺部露光函体3のスクリー
ンPS版挿入用ガイドレール16a,16b上に挿入さ
れるスクリーンPS版9の最下部を透明ガラス板7の凸
状周縁部7aやポジフィルム8に接触するまで降下さ
せ、スクリーンPS版9の感光性樹脂層7aを透明ガラ
ス板7の凸状周縁部7aに当接する。次いで、制御盤1
9のスイッチを入れて減圧装置13を作動させ、減圧用
ホース14より吸引してスクリーンPS版9の感光性樹
脂層9aと透明ガラス板7と該凸状周縁部7aとによっ
て囲まれた空間部分12を真空に減圧する。それによっ
て、画像部凸状遮光板17を乗せたスクリーンPS版9
の中心部のポジフイルム8と接触した部分から同心円上
にスクリーンPS版9の外周に向かって真空密着され、
完全に空気溜まりがない状態で密着することができる。
【0015】(4) 露 光 感光性樹脂層9aとポジフィルム8とが密着されると、
図3(c)に示すように、制御盤19のスイッチを入れ
て予め設定された露光条件の通り条件で露光が行われ
る。露光時間は画像を形成する主露光ランプ5と画像周
辺部を露光する従露光ランプ15とに時間差があるのが
通常である。
【0016】(5) スクリーンPS版の取り出し 両露光ランプ5,15の露光が終了した時、制御盤19
の露光終了ランプが点灯し、減圧装置13が停止とな
り、昇降機4のエアーシリンダー18が作動して、画像
周辺部露光函体3が上昇して、スクリーンPS版9が1
0mm上昇することにより、露光されたスクリーンPS
版9が取り出し可能な状態となる。そして、画像部凸状
遮光板17を取り除き、スクリーンPS版9をその後の
工程の現像工程に移動させる。本発明の露光装置1は、
制御盤19の自動又は手動をスイッチの切り替えによっ
て自動操作、手動操作を自由に選択することができる。
【0017】[III] 用 途 この様な本発明の露光装置は、スクリーン印刷用版を製
版する際の最も重要な露光装置として用いることがで
き、しかも、その露光の際に、必要な画像部の付近のみ
を真空にするため、真空容量を小さくして、短時間で真
空密着させることができるので、露光工程の作業時間を
短縮できる。更に、スクリーンPS版とマスクフィルム
との空間が殆ど無く、真空容積が小さいため、真空によ
る感光性樹脂層の伸びが小さい状態で露光するので、製
版精度が著しく向上し、良好な画像が得られる。スクリ
ーンPS版の画像部の付近のみを光露光するため、露光
面積を小さくすることができ、露光距離の短縮に伴う光
源とレンズ等の小型化を行うことができるので、装置を
安価にすることができる。また、従来法に比較して、ス
クリーンPS版の金属の枠が透明ガラス板に直接触れる
ことがないため、ガラス損傷が防止され、ガラス板の取
り替えが不要となる。更に、従来法に比較して、真空密
着用ゴムシートカバーを使用しないため、露光によるゴ
ムシートカバーの劣化による交換がないので、取り替え
作業と取り替え品のコストがかからない。
【0018】
【実施例】以下に示す実施例によって、本発明を更に具
体的に説明する。 実施例1マスクフィルムのセット 透明ガラス板をガラス板枠に取り付けて、透明ガラス板
をガラス板枠と共にガラス板ガイド上にセットされて、
画像部露光用函体部の正面側に透明ガラス板ガイド面上
をスライドできるように形成されており、画像部露光用
函体部の正面側に引き出すことができる用になってい
る。この様にして引き出した透明ガラス板上で、ポジフ
イルムの位置を決め、フィルム密着用ローラーで透明ガ
ラス板とポジフィルムとの間の空気を追い出して、ポジ
フィルムを透明ガラス板上に密着固定し、透明ガラス板
をスライドさせて画像露光装置内にポジフィルムを載置
した透明ガラス板を挿入する。この様な装置とすること
によりポジフィルムのセットが容易になり、位置が決め
易く確認もできる。
【0019】スクリーンPS版のセット 別途製作したスクリーンPS版の印刷面側を下側に向
け、スクリーンPS版の裏側のスキージー面を上側にし
て、更に、画像部凸状遮光板の凸状面を下側に向けてス
クリーンPS版の中央部付近に載せ、該凸状遮光板の重
みでスクリーンPS版の中央部が逆円錐状に下がるよう
に形成する。この様に画像部凸状遮光板をセットしたス
クリーンPS版をスクリーンPS版挿入用ガイドレール
上に挿入する。
【0020】画像周辺部露光函体の降下 スクリーンPS版挿入用ガイドレール上に挿入したスク
リーンPS版を、画像周辺部露光函体の壁面に形成され
た制御盤のスイッチを入れて昇降装置を作動して、スク
リーンPS版の最下部を透明ガラス板上のポジフィルム
に接触するまで降下させる。透明ガラス板には微細な真
空用溝が付けられており、更に、透明ガラス板の周縁部
分にマスクフィルムの厚みとほぼ同等の厚みの凸状周縁
部が形成されており、この凸状周縁部をスクリーンPS
版の感光性樹脂層と当接することにより、このスクリー
ンPS版の感光性樹脂層と透明ガラス板と該凸状周縁部
とによって囲まれた空間部分を制御盤のスイッチを入れ
て真空ポンプを作動させ、減圧用ホースより吸引して真
空に減圧することができる。上記真空ポンプを作動させ
ることによって、画像部凸状遮光板を乗せたスクリーン
PS版の中心部のポジフイルムと接触した部分から同心
円上にスクリーンPS版の外周に向かって真空密着さ
れ、完全に空気溜まりがない状態で密着させることがで
きる。
【0021】露 光 感光性樹脂層とポジフィルムとが密着されると、予め設
定された露光条件の通り条件で露光が行われる。露光時
間は画像を形成する主露光のランプと画像周辺部を露光
する従露光ランプとに時間差があり、両ランプの露光が
終了した時、制御盤の露光終了ランプが点灯し、真空ポ
ンプが停止となり、スクリーンPS版の昇降機が作動し
てスクリーンPS版が10mm上昇して露光されたスク
リーンPS版が取り出し可能な状態となる。
【0022】スクリーンPS版の取り出し 露光されたスクリーンPS版を取り出し、画像部凸状遮
光板を取り除き、スクリーンPS版をその後の工程の現
像工程に移動させる。なお、真空ポンプと連結された真
空用ホースは、透明ガラス板に固着されていることか
ら、透明ガラス板がスライドレール上をスライドして出
入りする際にも伸縮して前後に移動する。
【0023】
【発明の効果】このような本発明の露光装置は、スクリ
ーン印刷用版を製版する際の最も重要な露光装置として
用いることができ、しかも、その露光の際に、必要な画
像部の付近のみを真空にするため、真空容量を小さくし
て、短時間で真空密着させることができるので、露光工
程の作業時間を短縮できる。更に、スクリーンPS版と
マスクフィルムとの空間が殆ど無く、真空容積が小さい
ため、真空による感光性樹脂層の伸びが小さい状態で露
光するので、製版精度が著しく向上し、良好な画像が得
られる。スクリーンPS版の画像部の付近のみを光露光
するため、露光面積を小さくすることができ、露光距離
の短縮に伴う光源とレンズ等の小型化を行うことができ
るので、装置を安価にすることができる。また、従来法
に比較して、スクリーンPS版の金属の枠が透明ガラス
板に直接触れることがないため、ガラス損傷が防止さ
れ、ガラス板の取り替えが不要となる。更に、従来法に
比較して、真空密着用ゴムシートカバーを使用しないた
め、露光によるゴムシートカバーの劣化による交換がな
いので、取り替え作業と取り替え品のコストがかからな
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明実施例の露光装置の正面断面図
である。
【図2】図2は、図1のA−A線断面図である。
【図3】図3の(a)、(b)及び(c)は、本発明実
施例の露光装置の作動説明図であり、 (a)は透明ガ
ラス板にマスクフィルムをローラーで密着させている断
面図であり、(b)は透明ガラス板とマスクフィルムと
スクリーンPS版の感光性樹脂層を積層し、真空ポンプ
で減圧にして密着させた状態を表す断面図であり、
(c)はスクリーンPS版の感光性樹脂層に両面露光を
行っている状態を表す断面図である。
【図4】図4の(a)及び(b)は、従来の露光装置の
正面図及び右側面図である。
【図5】図5の(a)、(b)及び(c)は、従来の露
光装置の作動説明図である。
【符号の説明】
1 露光装置 2 画像部露光用函体部 2a 底部 2b 上端部 3 画像周辺部露光用函体部 3a 天井部分 4 昇降機 5 主露光器 5a 光源 5b 放射された光線 5c 平行光線 6 フレンネル 7 透明ガラス板 7a 凸状周縁部 7b 孔 8 マスクフィルム 9 スクリーンPS版 9a 感光性樹脂層 9b 枠 10a,10b スライドレール 11 ローラー 12 空間部分 13 減圧機器 14 減圧用ホース 15 従露光器 16a,16b ガイドレール 17 凸状遮光板 18 エアーシリンダー 19 制御盤 20 真空密着用ゴムシートカバー 21 従来の露光装置 22 スポンジ 23 真空用ホース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉 澤 海 山 東京都墨田区横川5−3−10 株式会社ム ラカミ内 Fターム(参考) 2H097 AA01 AA08 GA07 GA22 GA23 GA27 LA05

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】底部にスクリーンPS版の感光性樹脂層を
    下面側から光を照射するための主露光器を内蔵し、上端
    部にマスクフィルムを載置するための水平方向にスライ
    ド自在な透明ガラス板を備えていると共に、スクリーン
    PS版の感光性樹脂層と透明ガラス板との間に挟んだマ
    スクフィルムをスクリーンPS版に密着させるための減
    圧機器を備えた画像部露光用函体部と、天井部分付近に
    スクリーンPS版の感光性樹脂層を上面側から光を照射
    するための従露光器を内蔵すると共に、該従露光器の下
    側にスクリーンPS版を挿入自在としたガイドレールを
    配設した画像周辺部露光用函体部と、前記画像部露光用
    函体部の上方で前記画像周辺部露光用函体部を昇降自在
    とする昇降機とから構成されていることを特徴とする露
    光装置。
  2. 【請求項2】画像周辺部露光用函体部のガイドレールに
    挿入したスクリーンPS版の感光性樹脂層の上面に、該
    スクリーンPS版の感光性樹脂層の画像形成部分に凸状
    遮光板を載置した、請求項1に記載の露光装置。
  3. 【請求項3】透明ガラス板の周縁部に、スクリーンPS
    版の感光性樹脂層に当接自在とした凸状周縁部を形成し
    た、請求項1又は2に記載の露光装置。
  4. 【請求項4】透明ガラス板上に載置したマスクフィルム
    を押圧するローラーを備えた、請求項1〜3のいずれか
    に記載の露光装置。
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JP2007171974A (ja) * 2005-12-24 2007-07-05 Josef Lindthaler スクリーン印刷に用いるスクリーンのレーザー感光法および装置
CN103293851A (zh) * 2013-06-26 2013-09-11 南昌欧菲光科技有限公司 一种丝网印刷水菲林制版封版制作工艺

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007171974A (ja) * 2005-12-24 2007-07-05 Josef Lindthaler スクリーン印刷に用いるスクリーンのレーザー感光法および装置
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