JP2005292182A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 プリント基板の露光処理を簡易かつ低コストで手動操作で行えるようにする。【解決手段】 上側原版フィルムＦ１を貼設した透光性材製の上側保持板１０と、所定の下側原版フィルムＦ２をそれぞれ貼設した透光性材製の第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂと、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置した基板Ｋの上に上側保持板１０を整合載置して積層体Ｓを生成する整合室２と、生成した積層体Ｓに露光ランプ５からの光線を照射して露光処理を行う露光室３と、整合室２及び露光室３間に設けて生成した積層体Ｓ、上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂを移動案内させるガイド部３０とからなる。第１下側保持板２０Ａ、第２下側保持板２０Ｂは交互に基板Ｋを固定して、上側保持板１０は基板Ｋを吸着・分離してそれぞれ整合室２、露光室３とを往復する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、プリント基板の製造工程の中の露光工程で使用される露光装置に係り、特に外層基板を効率よく露光処理でき、さらに作業者（オペレーター）の１回の操作によって両面を露光処理できるよう簡易にしかも能率的に作業ができると共に、コスト削減に資することができるようにした露光装置に関する。

従来、この種のプリント基板の露光装置は、例えば外層基板又はソルダーレジスト塗布された基板（以下、基板という。）に、原版フィルムが貼付されたアクリル樹脂等からなる透光性に優れた板状のフィルム保持版を当接してセットすると共に、このフィルム保持版の上から露光ランプで紫外線を照射して露光処理するようにしているのである。

そして、この露光処理のために従来から提案されている手動操作式の露光装置は、整合部において露光処理すべき基板に対して、原版フィルムが貼付されている上面用、下面用の各一対の計２組のアクリル板製のフィルム保持版を交換しながら順番に整合させて配置、固定し、これを露光部に移動させ、露光部で露光処理しているのである。このときの露光部では、露光部の上部に設けられた露光ランプによって基板上に整合固定したフィルム保持版上方から露光処理するものとなっている。また、整合部で整合した後に露光部に基板を移動させて基板の一面を露光処理し、それが終了すると基板を一旦は整合部に戻し、整合部において基板を反転させると共に上面用、下面用のいずれかのフィルム保持版を順番に交換して当接整合後にもう一度露光部に基板を送り込み、他面を露光処理するものとなっているのである。
特になし

しかしながら、上記従来の手動操作式の露光装置において、上下面用のフィルム保持版が整合固定された基板を整合部と露光部との間で交互に２度往復させる必要があると共に、それらの往復移動等の作業は必然的に作業者が基板の出し入れを２度行うものとなるために極めて面倒なものである。そればかりでなく、基板の挿入、取り出しの度に上下面用のフィルム保持版を順番に交換する必要があるから、それも作業上の大きな負担となっているのである。

そこで本発明は叙上のような従来存した諸事情に鑑み創出されたもので、その目的は、基板の上下面の露光処理に際しての従来のような２度のフィルム保持版の整合固定、基板の出し入れ作業をすることなく、１度の出し入れ作業によって基板の上下面に対する整合及び露光を処理できるものとし、作業員は処理すべき基板の投入、露光後の基板の取り出しその関連操作を行うのみの簡便な作業で機器を取り扱うことができ、しかも、低コストで露光処理ができるのであり、特に１度の操作によって基板の両面露光が可能となる露光装置を提供することにある。

上述した課題を解決するため、本発明に係る露光装置１にあっては、所定の上側原版フィルムＦ１を貼設した透光性材からなる上側保持板１０と、所定の下側原版フィルムＦ２をそれぞれ貼設した透光性材からなる第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂと、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置された基板Ｋの上に上側保持板１０を載置し、整合機構５０によって整合位置決めして積層体Ｓを生成する整合室２と、生成された積層体Ｓに露光ランプ５からの光線を照射して露光処理を行うよう整合室２に隣接して設けられた露光室３と、整合室２及び露光室３間に設けられ、生成された積層体Ｓ、上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂそれぞれを案内移動させるガイド部３０と、整合時の基板Ｋを持ち上げる基板持上機構４０とからなり、第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂはいずれか一方が整合室２で基板Ｋに対して整合中であるとき、いずれか他方は露光室３で基板Ｋに対して露光中であると共に、露光室３での露光終了後の上側保持板１０は基板Ｋから分離して露光室３から整合室２に後退移動して戻り、新たな積層体Ｓを生成するようになっていることを特徴とするものである。
このような構成からなる露光装置１は、整合室２において上側保持板１０と２枚の下側保持板２０Ａ，２０Ｂのうちの一方の下側保持板、例えば第１下側保持板２０Ａとで基板Ｋを挟んで、しかも基板Ｋの上下面では上側原版フィルムＦ１、下側原版フィルムＦ２それぞれが整合位置決めされた状態での積層体Ｓを生成させる。このような整合室２での積層体Ｓの生成中においての露光室３ではここに送り込まれた積層体Ｓに対してその上下面を露光処理させている。その露光処理後では基板Ｋから分離した上側保持板１０が露光室３から整合室２に後退移動して戻り、整合室２では、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂの下側原版フィルムＦ２が整合位置決めされた基板Ｋに対して上側保持板１０の上側原版フィルムＦ１が整合位置決めされ、密着されて新たな積層体Ｓを生成させる。そして、整合処理後では積層体Ｓを整合室２から露光室３に前進移動させる一方、露光処理が終了し、上側保持板１０が分離された後の基板Ｋ及び第２下側保持板２０Ｂ又は第１下側保持板２０Ａが露光室３から整合室２に後退移動する。然る後、露光室３では新たな露光処理が開始される一方、整合室２では基板持上機構４０の一時的な上昇退避と共に露光後の基板Ｋの取り出し、新たな基板Ｋの第２下側保持板２０Ｂ又は第１下側保持板２０Ａ上への投入載置が行われ、再度新たな積層体Ｓを生成すべく、整合処理が行われる。この整合処理時では、新たな基板Ｋを載置した第２下側保持板２０Ｂ又は第１下側保持板２０Ａに対し、積層体Ｓが露光処理を終了した後に露光室３から後退移動されて戻る上側保持板１０とで新たな積層体Ｓを生成させる。

また、整合機構５０は、整合室２で整合テーブル５２に吸着固定した第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置された基板Ｋを基板持上機構４０によって持ち上げた状態で下側原版フィルムＦ２を基板Ｋに位置合わせさせ、また位置合わせ後の下側原版フィルムＦ２上に載置した基板Ｋを、露光室３からの後退移動で整合室２に戻った上側保持板１０の上側原版フィルムＦ１に整合テーブル５２によって位置合わせさせ、この位置合わせ後に基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを上側保持板１０に密着させることで積層体Ｓを生成するようにしている。
ガイド部３０は、整合室２で生成された積層体Ｓを露光室３に前進移動させ、露光室３で露光終了後の上側保持板１０を整合室２に後退移動させる上側保持板案内レール３０Ｂと、露光終了後の第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂが基板Ｋと共に載置される移動台車２１を整合室２と露光室３との間で前進後退移動させる下側保持板案内レール３０Ａとを備えており、これらの上側保持板案内レール３０Ｂ、下側保持板案内レール３０Ａそれぞれは、前者３０Ｂを後者３０Ａより高い位置に設定して整合室２、露光室３相互間で同一レベル面に設定されているのである。
また、移動台車２１は、整合室２では整合テーブル５２の昇降作動によって、露光室３では昇降シリンダ６５の昇降動作によって第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを着脱自在に載置させるようにしてある。
これによって、整合後においての、上側保持板１０に対して第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂによって吸着させることで基板Ｋを挟んだ状態で生成された積層体Ｓを上側保持板案内レール３０Ｂで整合室２から露光室３に円滑に前進移動させ、また露光処理後で基板Ｋから分離された上側保持板１０のみを露光室３から整合室２に円滑に後退移動させ、新たな積層体Ｓの生成の準備をさせる。一方、露光処理後の積層体Ｓから上側保持板１０を分離した後の基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂは移動台車２１上に載置されて、下側保持板案内レール３０Ａで露光室３から整合室２に後退移動して戻り、基板Ｋの取り出し、新たな基板Ｋの載置を準備させる。

さらに、露光室３における露光ランプ５から照射される光線を反射鏡６を用いて屈曲させて積層体Ｓの両面を露光処理させるものであることができ、積層体Ｓの両面を積層体Ｓを反転させることなく、あるいは反転させて露光処理する。
また、露光ランプ５からの光線を特定方向に反射させる反射鏡１０２と、反射された露光線の露光線路を上下方向のいずれかに切り換えるよう進退する切換反射板１０４と、搬入された積層体Ｓに対してその上下方向から露光線を反射照射するよう放物面状の反射面を有する上下に配置された上下部露光反射板１０５Ａ，１０５Ｂとを備えて成ることで、積層体Ｓの両面を積層体Ｓを反転させることなく、１個の露光ランプ５で積層体Ｓを上下で反転させることなく、切換反射板１０４の進退によってその両面を露光させる。
露光処理する露光ランプ５は１個からなり、積層体Ｓを反転させてその積層体Ｓの両面を露光処理させるものであるとしたり、露光ランプ５は積層体Ｓの上下面をそれぞれ各別に露光させる複数にしてあることで、積層体Ｓを反転させることなく、両面を露光処理させるものであるとしたりできる。

そしてまた、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置された基板Ｋは、基板固定機構７０を用いて第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂにその非露光部分で固定されるもので、この基板固定機構７０は、基板Ｋを第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂの非露光部分へ押圧する押え片７３を有し、この押え片７３は、弾性体７１により常時第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ側に付勢され、弾性体７１に抗して押え片７３が第１下側保持板２０Ａ又はその第２下側保持板２０Ｂから離れる方向に移動されたときに所定角度で回動退避するものである。
更に、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置される基板Ｋは、基板固定機構７０を用いて第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに固定される前に、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置された基板Ｋを基板持上機構４０を用いて第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上から持ち上げた状態で、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを整合機構５０を用いて基板Ｋと第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂそれぞれに貼設した下側原版フィルムＦ２との位置関係が所定の位置となるように整合位置調整が行われるのである。
そしてこの整合位置調整である、基板Ｋに対する上側保持板１０すなわち上側原版フィルムＦ１、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂすなわち下側原版フィルムＦ２の位置決め整合は、基板Ｋに対する上側あるいは下側原版フィルムＦ１，Ｆ２の位置合わせマークを基板カメラ６０によって撮像し、基板Ｋに対する下側原版フィルムＦ２の位置合わせは第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを、また基板Ｋに対する上側原版フィルムＦ１の位置合わせは基板Ｋをそれぞれで対応合致させるように整合機構５０の整合テーブル５２によってＸ方向、Ｙ方向、θ角度で移動させて行うようにしてあるのである。

本発明に係る露光装置１は、上側保持板１０と第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂとで基板Ｋを挟んで積層体Ｓを生成する整合室２と、この整合室２で生成された積層体Ｓを露光ランプ５を用いて露光処理する露光室３とを有するとともに、生成された積層体Ｓは整合室２から露光室３に、露光処理後で基板Ｋから分離された上側保持板１０のみを露光室３から整合室２に、その露光、分離後の基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを露光室３から整合室２にそれぞれガイド部３０で案内移動することができるので、作業員イによる１度の基板Ｋの投入、取り外しに関連して整合室２と露光室３との１往復で基板Ｋの両面を露光処理できるのである。

また、ガイド部３０を下側保持板案内レール３０Ａ、上側保持板案内レール３０Ｂで構成しているので、ガイド部３０を簡単に構成できるとともに、生成された積層体Ｓを上側保持板１０の吸着保持による前進移動で整合室２から露光室３に簡単に移動でき、また、上側保持板１０のみの露光室３から整合室２への戻り作業も円滑に行えるのである。そればかりでなく、露光分離後の基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂの露光室３から整合室２への移動を下側保持板案内レール３０Ａ上で移動する移動台車２１によって簡単に行うことができ、露光処理後の基板Ｋの露光室３から整合室２への取り出し、新たな基板Ｋの載置、整合等を確実に行うことができる。しかも、整合室２では、露光室３からの後退移動で、露光処理後の基板Ｋが第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに載置された状態で戻るから、それを取り出し、また新たな基板Ｋを第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上に載置し、その後の整合のための操作を行うのみの１度の操作で一連の工程を終了でき、また準備できるから、作業能率を大きく向上できる。

そして、露光室３内における基板Ｋに対する露光処理は、反射鏡１０２、切換反射板１０４、上下部露光反射板１０５Ａ，１０５Ｂから成る露光機構とすることで、切換反射板１０４の進退によって積層体Ｓを反転させることなく積層体Ｓの両面を１個の露光ランプ５で露光できるのである。また、露光室３内で積層体Ｓを上下で反転させることでも、１個の露光ランプ５で露光処理ができコストの削減を図ることができる。

また、基板Ｋは基板固定機構７０を用いて第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに固定されるようになっているので、基板Ｋに対する第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂの相対的な移動を効果的に防止できるばかりでなく、整合機構５０による整合後での固定を確実にし、また非露光部分を押え片７３で押さえていることで、露光処理時に邪魔になることもない。しかも、この押え片７３は、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに対する上下動に伴い、基板Ｋの上方位置における押え作動、側方位置における回動退避作動とが行われるので、整合室２内での第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに対する基板Ｋの固定、あるいは取り外し等の着脱操作を簡単に行うことができる。

さらに、整合機構５０は、基板Ｋと上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂとの位置決め整合に際し、基板Ｋに対する上側あるいは下側の原版フィルムＦ１，Ｆ２の位置合わせマークを基板カメラ６０によって撮像し、それらを対応合致させるように整合テーブル５２によってＸ方向、Ｙ方向、θ角度で、先ずは基板持上機構４０によって持ち上げている基板Ｋに対して第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを整合位置決めし、次いでその位置合わせ後の基板Ｋを上側保持板１０に対して移動させて行うようにしてあるので、基板Ｋと上側あるいは下側の原版フィルムＦ１，Ｆ２とを所定位置で簡単に合わせることができる。また露光後で、基板Ｋから分離される上側保持板１０が上側保持板案内レール３０Ｂによって露光室３から整合室２に戻すように移動された後の上側保持板１０に対する基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂの位置合わせ整合も整合テーブル５２の所定方向への、所定角度での移動調整によって容易、確実に行うことができるのである。

また、基板持上機構４０は、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上に載置された基板Ｋを一旦は持ち上げることで、整合機構５０においての整合テーブル５２による下側原版フィルムＦ２が貼付されている第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを移動させての基板Ｋに対する整合作動を行わせることができると共に、この整合位置決め後で第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上に位置決めされた基板Ｋと上側保持板１０の上側原版フィルムＦ１を整合させるときは上昇退避していることで、上側保持板案内レール３０Ｂによって戻ってくる上側保持板１０に対する基板Ｋ等の整合テーブル５２による整合作動を行わせることができる。更には整合室２の奥部側すなわち露光室３側に前進退避することで、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上方を大きく開放でき、基板Ｋの投入あるいは取り出しを円滑に作業できるものとなる。

なお、この発明の効果の項及び上記課題を解決するための手段の項において使用された符号は、図面中の該当構成部分と参照させて本発明の理解を容易にするためのものであって、本発明を限定するものではない。

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る手動操作式の露光装置１の概略構成図であり、作業員（オペレーター）イが位置する側の手前に、作業員イが処理すべき基板Ｋを投入し、また露光処理後の基板Ｋを取り出すための整合室２が設けられ、この整合室２における作業員イが位置する側と反対側である奥部には、順に露光室３及びランプ室４が設けられている。これらの整合室２、露光室３、ランプ室４は、所定断面の鋼材その他のフレーム躯体によって所定の容積を有するものとして区画構成されており、整合室２の手前部分には、作業員イによって露光装置１を種々に操作するためのスイッチ類、メーターその他が配置されている操作盤が設けられている（図示せず）。

整合室２は、後述する上側保持板１０と２枚の第１、第２の下側保持板２０Ａ，２０Ｂのうちのいずれか一方の下側保持板２０Ａ（２０Ｂ）とで基板Ｋを挟んで積層体Ｓを生成するとき、基板Ｋと上側保持板１０に貼付の上側原版フィルムＦ１、いずれかの下側保持板２０Ａ，２０Ｂに貼付の下側原版フィルムＦ２とを整合位置決めさせるようにしている。また、露光室３は、ランプ室４に配置されている露光ランプ５から照射される紫外線からなる露光線をランプ室４に設けられた反射鏡１０２あるいは６及び露光室３に配置された上下の露光反射板１０５Ａ．１０５Ｂあるいは７を用いて照射して露光処理するに十分な所定の容積を有する室に構成されている。なお、この最良の実施の形態を説明するにあたり、基板Ｋは整合室２において精密な位置決めが必要な外層基板又はソルダーレジスト基板として説明する。

次に、図２乃至図７を用いて整合室２における積層体Ｓの生成のための構成要素と、生成された積層体Ｓを整合室２から露光室３に移動させるための構成要素について説明する。積層体Ｓを生成する上側保持板１０及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂは、共に平面形状が所定の面積を有する四角形を呈し、かつ所定の厚さを有するアクリル樹脂板等の透光性に優れたプレート状の材料から作られている。そして、これら各板１０，２０Ａ，２０Ｂには、従来と同様な露光装置における同様な電気回路等の各種パターンが印刷表示された上側原版フィルムＦ１が上側保持板１０に、下側原版フィルムＦ２が第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂそれぞれに貼設（貼付）されている。すなわち、上側保持板１０の下面（第１下側保持板２０Ａあるいは第２下側保持板２０Ｂに対向する面）に上側原版フィルムＦ１が貼設され、第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂの上面（上側保持板１０に対向する面）に下側原版フィルムＦ２，Ｆ２がそれぞれ貼設されている。なお、第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂにそれぞれ貼設される下側原版フィルムＦ２，Ｆ２は同一形態の原版フィルムである。また、これら原版フィルムＦ１，Ｆ２の厚さは、各板１０，２０Ａ，２０Ｂの厚さに比べて極めて薄いが、図示では誇張して示されている。

また上側保持板１０は、これの周囲が例えばＳＵＳ等からなる鋼製の枠体１１で囲まれることで補強されていて、この枠体１１は後述するガイド部３０における上側保持板案内レール３０Ｂ上で移動走行するように構成されているのであり、この上側保持板案内レール３０Ｂによって案内されることで整合室２と露光室３との間で前進、後退するように移動される。

一方、第１下側保持板２０Ａ及び第２下側保持板２０Ｂは、図７に示すように平面から見て、整合室２側が開放されているコ字形の移動台車２１に着脱自在に載置されるようになっている。なお、この移動台車２１は後述するガイド部３０における下側保持板案内レール３０Ａによって整合室２と露光室３との間で前進、後退するのであり、この前進後退移動に伴い第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂも整合室２と露光室３との間で移動し、更に後述の整合機構５０の整合テーブル５２の昇降作動によって整合室２内で、昇降シリンダ６５の昇降作動によって露光室３内で移動台車２１から分離して昇降されるようになっている。

図中、３０は、本発明における基板Ｋ、上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ、第２下側保持板２０Ｂそれぞれを移動案内させるためのガイド部であって、整合室２、露光室３相互間に渡って設けられている。そして、上述した上側保持板１０の枠体１１、第１下側保持板２０Ａ、第２下側保持板２０Ｂそれぞれを載置させる移動台車２１の両側を載置できる所定の間隔を保って平行にしてフレーム躯体上で左右一対にして配置されており、フレーム躯体の内方側では低く、外方側では高くした内外側方での２段構成に形成されている。そして、このガイド部３０には、左右の内方側の低い部分には、移動台車２１の移動案内を行なう下側保持板案内レール３０Ａが、左右の外方側の高い部分には上側保持板１０の枠体１１の移動案内を行なう上側保持板案内レール３０Ｂがそれぞれ敷設されている。なお、これらの各レール３０Ａ，３０Ｂ等によって上側保持板１０、移動台車２１それぞれを移動させるときには、それぞれスイッチ操作例えば作業員イによるフットスイッチで機械的に走行移動するようになっている。

また、このガイド部３０における下側保持板案内レール３０Ａの外側方の高い部分の、フレーム躯体の左右の外側縁部における整合部２部分には後述する基板持上機構４０を、基板Ｋの取り出し、載置時に露光室３側に退避させるために移動案内する退避案内レール３０Ｃが敷設されている。

基板持上機構４０は、作業員イによって整合室２に位置する第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上に載置された基板Ｋを、整合機構５０によって下側原版フィルムＦ２と整合位置決めさせるために一旦持ち上げるもので、フレーム躯体の整合部２における左右の外側縁部に敷設した退避案内レール３０Ｃ上に跨いで配装される持上フレーム４１の下面の一部に吸着板４２を設けて構成され、平面から見て左右に長くして構成されている（図７参照）。吸着板４２は、真空ポンプ又は真空タンク等の図示しない減圧源にバルブ（図示せず）を介して接続されているとともに、吸着板４２の下面には、基板Ｋの平面形状内の範囲で所定の間隔を保って複数の吸引孔４２Ａが設けられている（図７参照）。したがって、吸着板４２に基板Ｋが当接されると、吸引孔４２Ａの吸引作用で基板Ｋを吸着板４２に吸着固定することができる。また、この基板持上機構４０の持上フレーム４１には照明用のランプ４３が設けられていて、基板Ｋに光線を照射できるように構成されている。したがって、ランプ４３で基板Ｋに光線が照射されると、基板Ｋに設けられているスルーホールから光線が通過するので、基板Ｋの下方に設けられている後述する基板カメラ６０で、基板Ｋのスルーホール位置と、下側及び上側の原版フィルムＦ２，Ｆ１のフィルムマークとを位置合わせするためにこれらを的確に把握することができるようにしてある。さらに、この基板持上機構４０の持上フレーム４１自体は、退避案内レール３０Ｃ上で走行させる走行ベース上に配置したエアシリンダ４４によって上下動できるように構成されており（図２における左右位置の矢印参照）、また図示を省略した走行駆動機構によって、基板Ｋの取り出し、載置時に露光室３側に退避移動されるものとなっている。

図１，図２及び図５中、５０は、基板Ｋと上側原版フィルムＦ１、下側原版フィルムＦ２とを整合位置決めさせるために位置調整する整合機構であって、エアシリンダ５１で上下動（図２の矢印ロ参照）される整合テーブル５２を上部に有し、この整合テーブル５２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることができるとともに、整合テーブル５２を所定のθ角度で水平方向で回転（揺転）できるように構成されている。また、整合テーブル５２の上面には、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂの平面形状内の範囲で所定の間隔を保って複数の吸引孔（図示せず）が設けられているとともに、後述する基板カメラ６０によって、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上におおよその位置で一旦は載置され、その後に基板持上機構４０によって持ち上げられた基板Ｋと、整合テーブル５２上の第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂとの位置合わせのためのマーク等を撮像するための切欠状の開口５３が例えば側縁の一部に形成されている（図６参照）。したがって、この整合テーブル５２上に第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂが当接され、図示しないバルブが開かれて整合テーブル５２内が真空ポンプ又は真空タンク等の図示しない減圧源に接続されると、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを整合テーブル５２に吸引固定することができる。そして、この吸引固定した状態で基板カメラ６０による位置検出とともに整合機構５０が制御されると、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０ＢをＸ方向、Ｙ方向、θ角度での位置調整を行うことが可能となる。なお、整合テーブル５２の上下動は、整合テーブル５２自体を上下動させる他に、整合機構５０全体を上下動させて行うことも可能である。

この整合機構５０においての整合テーブル５２は、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを昇降させることでこれに貼付の下側原版フィルムＦ２の上下位置を設定させる。すなわちこの下側原版フィルムＦ２は、基板Ｋの投入時、取り出し時では移動台車２１上に下側保持板２０Ａ，２０Ｂが載置されているときが最も低い準備位置（Ｌ０）にあり、基板Ｋあるいは上側原版フィルムＦ１に対して整合する整合位置にあるときは移動台車２１上方に持ち上げられた整合位置（Ｌ１）にあり、上側保持板１０に基板Ｋを挟み込んで積層体Ｓを生成するときには最も高い位置に持ち上げられた生成位置（Ｌ２）にあるのであり、これらの上下位置は整合テーブル５２を昇降させるサーボモータ５１によって、位置決め設定されるようになっている。なお、これらの上下の位置決めは、図１０乃至図１２に示されているも、これらの準備位置、整合位置、生成位置等に特に限定されることなく、適位置で停止保持されるものとしてある。、

次に、図５乃至図７を参照して整合機構５０を用いた基板Ｋと第１下側保持板２０Ａに貼設されている原版フィルムＦ２との位置合わせについて説明する。なお、第１下側保持板２０、第２下側保持板２０Ｂそれぞれが交互に整合室２、露光室３で出入りされるのに伴い、第２下側保持板２０Ｂについても同様に基板Ｋに対して位置決めされるのであり、したがって、第２下側保持板２０Ｂにおける位置合わせについても同様に行われるので、特に指示しない限り、第１下側保持板２０Ａについての位置合わせとして説明する。なお、基板Ｋが原版フィルムＦ１，Ｆ２と精密な位置合わせが必要ない内層基板の場合は、整合機構５０を用いた位置合わせは省略されることもある。

図５は、処理すべき基板Ｋが第１下側保持板２０Ａに載置された後、基板持上機構４０によってその第１下側保持板２０Ａ上から一旦、少し持ち上げられた状態を示している。すなわち第１下側保持板２０Ａは、整合テーブル５２に吸引固定されている状態では整合テーブル５２の上昇によって下側保持板案内レール３０Ａ上にある移動台車２１から持ち上げられている。したがって、この第１下側保持板２０Ａは整合機構５０によってＸ方向及びＹ方向に移動自在で更にθ角度で回動自在に置かれている（図５及び図７のＸＹθ参照）。この状態において、基板Ｋの下面がＣＣＤカメラの如き基板カメラ６０により撮像されると、基板持上機構４０によって持ち上げられている状態の基板Ｋに対する第１下側保持板２０Ａの位置関係がどのような状態にあるかが撮像される。

上記基板カメラ６０は、整合テーブル５２の下方で図示しないフレーム躯体に固定されて例えば左右で一対にした複数台（図示の例では２台）にして配設されている。そして、基板カメラ６０は整合テーブル５２に設けられている切欠状の開口５３を経て基板持上機構４０に持ち上げ固定されている基板Ｋの下面を撮像できるように構成されている。この基板カメラ６０で撮像された画像データは、図示しない画像処理器に入力されて基板Ｋの基準位置、つまり所定のスルーホール位置に対しての第１下側保持板２０Ａに貼設されている原版フィルムＦ２（この原版フィルムＦ２は、第１下側保持板２０Ａの所定位置に正確に貼設されている）のズレが検出される。

なお、基板カメラ６０は整合テーブル５２の下方に、また撮像のための照明用のランプ４３は整合テーブル５２の上方に位置する上記基板持上機構４０における持上フレーム４１にそれぞれ配置してあるも、これらの上下位置関係を逆にしてもよいのであり、基板カメラ６０を上方位置に、ランプ４３を下方位置にそれぞれ位置させて設けてもよいのである。また、液状レジストの場合には、基板カメラ６０、ランプ４３を、反射式にして位置合わせできるように上下に設置することもある。

整合機構５０を駆動制御するＣＰＵを中心に構成された図示しない制御器は、基板Ｋに対する第１下側保持板２０Ａの位置ズレが検出されると、そのズレを解消するように整合機構５０を駆動制御するのである。この整合機構５０の駆動によって基板Ｋに対する第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂに貼付の下側原版フィルムＦ２が所定の正確な位置に対応合致すると、基板持上機構４０の持上フレーム４１が降下して基板Ｋが下側原版フィルムＦ２上、すなわち第１下側保持板２０Ａに載置される。そして、その載置された基板Ｋは、以下に説明する基板固定機構７０によって第１下側保持板２０Ａ上に固定される。

この基板固定機構７０は、図３及び図４に示されるように、例えば第１下側保持板２０Ａの一辺側（図１においての作業員イ側）、すなわち非露光部分である下側原版フィルムＦ２の外方位置で所定の間隔を保って複数組、例えば２組にして設けられている。すなわち、この基板固定機構７０は、第１下側保持板２０Ａ自体に貫通して設けられ、その第１下側保持板２０Ａの下側に設けられたコイルばねからなる弾性体７１で常時下側に付勢されるも、例えば整合室２内に配置のエアシリンダ８０との当接によって上方に持ち上げられるようになっている支軸７２を有している。そして、この支軸７２の第１下側保持板２０Ａの上面側に位置する先端部には、基板Ｋにおける非露光部分である余白部分を押さえるようにしてある押え片７３が設けられているとともに、支軸７２の一部には、螺旋条７４が設けられている。また、第１下側保持板２０Ａには、この螺旋条７４に螺合する螺旋溝７５が、支軸７４が貫挿される貫挿孔の内周面に設けられている。したがって、支軸７２が弾性体７１の弾発力に抗してエアシリンダ８０で持ち上げられると、押え片７３は第１下側保持板２０Ａの上面から離れるに伴い平面上で回動することができる（図３の矢印参照）。螺旋条７４及び螺旋溝７５の関係は、支軸７２が弾性体７１に抗して少し持ち上げられてから回転を開始し、その回転作用は基板Ｋ上方から側方に退避されるように、平面上で例えばほぼ９０度で行われるように決められている。このような基板固定機構７０は、第２下側保持板２０Ｂにも設けられている。なお、図４において、１２は上側保持板１０の下面に設けられた窪みであり、第１下側保持板２０Ａと上側保持板１０とが吸着固定されることで積層体Ｓを生成するときに押え片７３が障害とならないように回避するための逃げである。

なお、この基板固定機構７０は図示を省略したが、基板Ｋの縁部を弾発的に上方から押圧挟持するように基板Ｋ側に常時付勢されている弾性体からなる押さえ片を、この押さえ片の下方から押し上げて基板Ｋに対する押圧作用を解除するようにしたエアシリンダを設けてもよい。いずれにしても基板Ｋの縁部である非露光部分の余白部分を押さえることで基板Ｋを保持すれば足りるから、これらの構造、形状等に限定されるものではない。

次に、図２、図５を用いて積層体Ｓの生成について説明する。上述のように整合室２において、移動台車２１上から僅かに上昇された第１下側保持板２０Ａが基板Ｋに対しての整合位置合わせが終了すると、第１下側保持板２０Ａが上昇して第１下側保持板２０Ａ上に基板Ｋを載置した状態で基板固定機構７０によって両者Ｋ，２０Ａ相互が固定され、その状態で移動台車２１位置まで下降されると共に、基板持上機構４０は上昇し、基板Ｋ上方を開放する。すると、露光室３内での露光処理が終了することで基板Ｋから分離した上側保持板１０が露光室３から整合室２に後退移動して、整合室２にある基板Ｋの上方位置で、そのおおよその位置で復帰停止する。

そして、整合室２内では、上側保持板案内レール３０Ｂ上で位置決めされている上側保持板１０に対して、第１下側保持板２０Ａ上で固定されていることでこれと一体状となっている基板Ｋを第１下側保持板２０Ａと共に整合テーブル５２によって移動台車２１上から持ち上げ、整合テーブル５２の整合位置決め動作によって上側保持板１０の上側原版フィルムＦ１に対して基板Ｋを整合位置決めさせるのである。このとき、上側原版フィルムＦ１の位置合わせマークに対して、基板Ｋのスルーホール等が対応合致しているかどうかを基板カメラ６０によって撮像しており、位置合わせマークと所定のスルーホール位置等とがぴったりと合致していることが撮像されると、これらの位置が整合位置にあるとされ、その状態では、上側保持板１０に対して基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａを上昇させる。次いで後述するように上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ相互間を減圧状態にすることで上側保持板１０に対して基板Ｋを挟んだ状態で第１下側保持板２０Ａを吸着固定させることで積層体Ｓとして生成するのである。なお、この積層体Ｓの生成後では、移動台車２１上から第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂが分離したものとなっており、この空の状態にある移動台車２１は下側保持板案内レール３０Ａに案内されて整合室２から露光室３内に前進移動し、露光終了後の基板Ｋ等を載置するようにその載置位置で待機するものとなっている。

なお、位置合わせマークは、例えば基板Ｋにおける一定位置のスルーホール、吸引テーブルにおける前記開口５３を通過するランプ４３の位置合わせ用の光が、基板Ｋに対して位置合わせさせるに必要な部位で原版フィルムＦ１，Ｆ２それぞれに表示されており、基板カメラ６０によってこれらを撮像することで位置合わせされるのである。このときの位置合わせマークは、基板Ｋの上下に位置される上側あるいは下側の原版フィルムＦ１，Ｆ２それぞれに大小がある例えば円形マークとして表示されている。なお、上側原版フィルムＦ１、下側原版フィルムＦ２それぞれにおける位置合わせマークは、基板カメラ６０が下方から撮像して位置合わせさせるとき、下側原版フィルムＦ２における位置合わせマークは、上側原版フィルムＦ１における位置合わせマークに対して小さくされることで、原版フィルムＦ１，Ｆ２両者の基板Ｋに対する位置決めを確実、容易に設定できるようにしてある。

また、これらの位置合わせ、整合に際しての前記位置合わせマークは、通常は適当な間隔で離れている一対にして表示されるものとし、これに対して基板カメラ６０も一対にして固定的に配置されるも、複数の位置合わせマークに対して基板カメラ６０を移動式にしてこれらをそれぞれ撮像することで整合処理を行うようにすることもできる。

そして上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ（又は第２下側保持板２０Ｂ、以下同様）の上下の間隙における周縁間には、基板Ｋの高さに比し小さくはない高さのパッキン部材２２を介在させてある。すなわち、上側保持板１０又は第１下側保持板２０Ａもしくは第２下側保持板２０Ｂのいずれか一方（本実施の形態では上側保持板１０）にパッキン部材２２が設けられているので、パッキン部材２２よりも内側の空間部分の空気が吸引されると、上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ相互が接近して、上側保持板１０、上側原版フィルムＦ１、基板Ｋ、下側原版フィルムＦ２、第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂによって積層構造となる積層体Ｓが生成される。なお、上側保持板１０又は第１下側保持板２０Ａもしくは第２下側保持板２０Ｂには、パッキン部材２２よりも内側の室の空気を吸引するための真空ポンプ又は真空タンク等の図示しない減圧源に接続されたバルブを有する接続孔が設けられているが、ここでは省略されている。このような積層体Ｓの生成は、第２下側保持板２０Ｂを用いても同様に行われるのは勿論である。

また露光室３は図１に示すように、積層体Ｓを反転させることなく両面を露光処理できるようにした両面露光機構のものとして構成されているものである。すなわち、この露光機構においては、露光室３の前方に構成したランプ室４内に配置された露光ランプ５からの紫外線等を特定方向に反射させる反射鏡１０２と、反射された紫外線等の露光線を集光する集光レンズ１０３と、集光された露光線の露光線路を上下方向のいずれかに切り換えるよう進退する切換反射板１０４と、搬入された積層体Ｓに対してその上下方向から露光線を反射照射するよう放物面状の反射面を有する上下に配置された上下部露光反射板１０５Ａ，１０５Ｂとを備えて成るものである。この露光機構によれば、積層体Ｓを上下方向で反転させる必要がなく、搬入された状態の姿勢のままで露光処理でき、しかも構成を簡素化することができるとともに、放物面状の反射面を利用することで積層体Ｓに対して平行光を形成でき、基板Ｋに対する露光処理に好適なものとできる。なお、反射鏡１０２、切換反射板１０４等はランプ室４に設けられるも、露光室２内に設けるも任意に選定できるものである。

尚、図においての露光ランプ５は、積層体Ｓ位置における上方に配置されていて、下方に照射される紫外線等を反射鏡１０２によって上方に反射するものとしてある。そして、切換反射板１０４はその下面が反射面となっていることで、積層体Ｓ側に前進したときには紫外線等を反射して下部露光反射板１０５Ｂによって上方に反射させることで積層体Ｓの下面側を露光し、逆に切換反射板１０４が後退したときには反射鏡１０２からの紫外線等をそのまま上部露光反射板１０５Ａによって下方に反射させることで積層体Ｓの上面側を露光するようになっている。もとより、この露光機構において、露光ランプ５、反射鏡１０２、集光レンズ１０３、切換反射板１０４等を上下位置を反転させることで構成することも可能である。

したがって、反射鏡１０２が実線位置に位置しているときは、上部露光反射板１０５Ａを介して積層体Ｓの上面を露光処理することができ、反射鏡１０２が鎖線位置に位置しているときは、下部露光反射板１０５Ｂを介して積層体Ｓの下面を露光処理することができる。このように、上下部露光反射板１０５Ａ，１０５Ｂ及び可動する反射鏡１０２を用いたときは、積層体Ｓを反転させる必要がなく、したがって反転に伴う露光室３の機構を簡素化することができる。

また図８、図９においては別の実施の形態が示されており、整合室２で生成された積層体Ｓが、図８に示すように１個の露光ランプ５によって露光処理される場合の露光室３に移動されてきたときに反転される状態を示している。すなわち、積層体Ｓは、上側保持板案内レール３０Ｂに案内されて露光室３に移動してくると、その上側保持板案内レール３０Ｂから離れると同時にその積層体Ｓを形成する上側保持板１０の両側部の中央部にそれぞれ設けられている揺転支軸９０が露光室３に設けられている揺転溝９１に受けられるように構成されている。また、積層体Ｓが揺転支軸９０を中心に回転可能に成った時点で露光室３に設けられているマグネットチャック９２で保持されるように構成されている。このマグネットチャック９２は、積層体Ｓを整合室２側（図９においての左側）に引くと積層体Ｓの固定を解除できるので、積層体Ｓを１８０°回転させて（反転させて）、再度、マグネットチャック９２で保持させることができる。このように、積層体Ｓを反転させることができるので、積層体Ｓの両面を交互に露光反射板７側に容易に位置させることができる。また、この積層体Ｓの反転は、作業員イが行ってもよく、自動的に行うようにしてもよいのであり、自動回転の場合は、例えば揺転支軸９０にピニオンを設け、このピニオンをラックで回転させることで行うことができる。

更にこの露光室３には、露光処理後の積層体Ｓにおける第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを基板Ｋと共に保持して下降させ、移動台車２１上に載置させる昇降シリンダ６５が設けられている。この昇降シリンダ６５は、露光処理中の積層体Ｓが、その上側保持板１０によって上側保持板案内レール３０Ｂに支持されているとき、その露光処理が終了したときに上側保持板１０を分離させるべく、積層体Ｓにおける減圧状態の解除されるときに上昇し、基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを保持した状態で下降するのである。その下降後では、その前に整合室２から前進移動で露光室３内に位置している移動台車２１に基板Ｋ及び第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂを載置し、移動台車２１の後退移動で露光室３から整合室２に露光処理後の基板Ｋを戻すようにしてある。

次に、図１０乃至図１２を用いて本発明に係る露光装置１の使用例・動作について説明するに、基板持上機構４０、整合機構５０、基板固定機構７０、露光室３における露光処理等は作業員にイによっての操作盤におけるスイッチ類、フットスイッチ等によって、特に断らない限り、機械的に作動されるものとなっているのである。すなわち作業員イは露光装置１の手前側である整合室２の前方に位置して操作盤を操作して作業を行うのであり、今、露光装置１の奥部に配置されている露光室３では前回生成された積層体Ｓが露光処理中であり、露光装置１の前部に配置されている整合室２では第１下側保持板２０Ａを用いることで積層体Ｓの構成の準備中であるとする。先ず、作業員イによって移動台車２１上に載置されている第１下側保持板２０Ａに貼設されている下側原版フィルムＦ２上のおおよその所定位置に基板Ｋを載置する（図１０（Ａ）における左端の鎖線矢印参照）。このときの基板持上機構４０は、図１０（Ａ）の実線位置に退避された状態にあって、整合テーブル５２がセットされている第１下側保持板２０Ａ又は第２下側保持板２０Ｂ上方は大きく開放されていることで基板Ｋの投入を容易にしている。

基板Ｋを第１下側保持板２０Ａ上におおよその位置で載置すると、基板持上機構４０が手前側（図１０（Ｂ）において左側）に後退移動することで引き寄せられるようになる（図１０（Ｂ）の矢印ａ参照）。そして、この引き寄せ後、基板持上機構４０を降下すると共に（図１０（Ｂ）の矢印ｂ参照）、第１下側保持板２０Ａを整合機構５０によって移動台車２１から分離させて持ち上げ（図１０（Ｂ）の矢印ｃ参照）、基板Ｋを基板持上機構４０の吸着板４２に当接させてこの吸着板４２によって基板Ｋを吸着支持する。

基板Ｋが基板持上機構４０に吸引固定されると、整合機構５０の整合テーブル５２が降下して第１下側保持板２０Ａも降下させ、第１下側保持板２０Ａを基板Ｋから分離させる（図１０（Ｃ）参照）。そして、第１下側保持板２０Ａに対して第１下側保持板２０Ａの下側原版フィルムＦ２を、基板カメラ６０が撮像した画像データに基づいて整合機構５０の整合テーブル５２を用いて基板Ｋに対する位置合わせを行う（図１１（Ａ）参照）。この位置合わせによって基板持上機構４０に吸引固定させてある基板Ｋに対して第１下側保持板２０Ａに貼設されている下側原版フィルムＦ２の位置関係が所定位置（整合終了）になると、その所定位置を保ったまま第１下側保持板２０Ａを整合機構５０の上昇によって移動台車２１から分離させて持ち上げ（図１１（Ｂ）の矢印ｄ参照）、第１下側保持板２０Ａを基板Ｋに当接させる。そして、この当接後で、基板Ｋが基板固定機構７０によって第１下側保持板２０Ａに固定される。このときの空になった移動台車２１は整合室２から露光室３に前進移動し、露光処理後の基板Ｋ等を載置させる位置で待機する。

基板Ｋが整合テーブル５２上で第１下側保持板２０Ａに基板固定機構７０によって固定されると、基板持上機構４０の吸着板４２による吸着を解除して基板持上機構４０を上昇させる（図１１（Ｃ）の矢印ｅ参照）。そして、基板Ｋを固定した第１下側保持板２０Ａが、整合機構５０が位置調整を行う前の所定のホームポジションに復帰された後、降下され（図１１（Ｃ）の矢印ｆ参照）、この状態では基板Ｋの上方が開放されることで、露光室３内で露光が終了したときの上側保持板１０が整合室２に後退移動する前の待ち状態になるようにする（図１１（Ｃ）参照）。

一方、この間、露光室３では、積層体Ｓを露光処理しており、その露光処理が終了すると、基板Ｋの上下面が上側保持板１０、第２下側保持板２０Ｂによって基板Ｋが挟まれるようにすることで生成されていた積層体Ｓにおいては減圧真空状態から解除され、昇降シリンダ６５によって第２下側保持板２０Ｂが基板Ｋと共に降下して、下側保持板案内レール３０Ａで支持されている移動台車２１上に載置される（図１１（Ｃ）の矢印ｇ参照）。一方、基板Ｋ、第２下側保持板２０Ｂを分離した上側保持板１０は、上側保持板案内レール３０Ｂによって後退移動するよう案内されて露光室３から整合室２に戻される（図１２（Ａ）の矢印ｈ参照）。

こうして上側保持板１０が整合室２の所定位置まで後退移動して、基板Ｋを固定している第１下側保持板２０Ａ上のおおよその位置で停止する。このとき、整合機構５０の整合テーブル５２が上昇して上側保持板１０と所定の間隔を保持した状態にあるとき、基板カメラ６０によって上側保持板１０に貼設されている上側原版フィルムＦ１の位置合わせマークを撮像して、上側原版フィルムＦ１に対する基板Ｋを整合する所定位置（整合終了）に位置合わせ設定する。整合終了後では整合機構５０によって基板Ｋを第１下側保持板２０Ａと共に上昇させて（図１２（Ｂ）の矢印ｉ参照）、上側保持板１０に当接させる（図１２（Ｂ）参照）。この当接によって当接後では、基板Ｋを挟んだ状態で上側保持板１０、第１下側保持板２０Ａそれぞれがパッキン部材２２を介して接合状態にあり、その内側の空間部分内の空気を吸引して新たな積層体Ｓを生成する。

このようにして新たに生成された積層体Ｓは、上側保持板案内レール３０Ｂによって案内されて露光室３に前進移動されて露光処理が行われると共に（図１２（Ｃ）の矢印ｊ参照）、露光室３で上側保持板１０とは分離されていた露光処理済みの基板Ｋを第２下側保持板２０Ｂと共に載置した移動台車２１を、下側保持板案内レール３０Ａによって整合室２に後退移動させて引き寄せる（図１２（Ｃ）の矢印ｋ参照）。

露光室３における露光処理開始前には、移動台車２１が露光室３から整合室２への後退移動によって戻り、この後退移動で第２下側保持板２０Ｂと共に基板Ｋを整合室２に引き寄せた後、その第２下側保持板２０Ｂに設けられている基板固定機構７０によって固定されている露光処理済みの基板Ｋを、その基板固定機構７０による固定を解除して作業員イによって第２下側保持板２０Ｂ上から取り出すのである（図１２（Ｃ）における左端の鎖線矢印参照）。そして、その第２下側保持板２０Ｂ上に新たな基板Ｋを作業員イによっておおよその位置で載置して（図１０（Ａ）における左端の鎖線矢印参照）、同様に作業を行うのである。

本発明に係る露光装置の概略構成図である。 整合室における整合時の要部拡大断面図である。 基板を下側保持板に固定する基板固定機構の平面図である。 基板固定機構の断面図である。 整合機構を示す断面図である。 整合時における基板カメラの平面図である。 基板持上機構及び整合機構による整合状態を示す平面図である。 他の実施の形態における露光装置の概略構成図である。 露光処理機構の他の例を示す側面図である。 本発明に係る露光装置の処理動作を示し、その（Ａ）乃至（Ｃ）は基板の投入から基板と下側原版フィルムとの整合処理前までを説明する概略側面図である。 本発明に係る露光装置の処理動作を示し、その（Ａ）乃至（Ｃ）は基板と下側原版フィルムとの整合処理から下側保持板と基板との固定までを説明する概略側面図である。 本発明に係る露光装置の処理動作を示し、その（Ａ）乃至（Ｃ）は基板と上側原版フィルムとの整合処理から露光終了後の基板の取り出しまでを説明する概略側面図である。

符号の説明

イ…作業員
Ｋ…基板 Ｓ…積層体
１…露光装置 ２…整合室
３…露光室 ４…ランプ室
５…露光ランプ ６…反射鏡
７…露光反射板
１０…上側保持板 １１…枠体
１２…窪み Ｆ1…上側原版フィルム
２０Ａ…第１下側保持板 ２０Ｂ…第２下側保持板
２１…移動台車 ２２…パッキン部材
Ｆ２…下側原版フィルム
３０…ガイド部 ３０Ａ…下側保持板案内レール
３０Ｂ…上側保持板案内レール ３０Ｃ…退避案内レール
４０…基板持上機構 ４１…持上フレーム
４２…吸着板 ４２Ａ…吸引孔
４３…ランプ ４４…エアシリンダ
５０…整合機構 ５１…サーボモータ
５２…整合テーブル ５３…開口
６０…基板カメラ ６５…昇降シリンダ
７０…基板固定機構 ７１…弾性体
７２…支軸 ７３…押え片
７４…螺旋条 ７５…螺旋溝
８０…エアシリンダ
９０…揺転支軸 ９１…揺転溝
９２…マグネットチャック
１０２…反射鏡 １０３…集光レンズ
１０４…切換反射板 １０５Ａ…上部露光反射板
１０５Ｂ…下部露光反射板

Claims (13)

1. 所定の上側原版フィルムを貼設した透光性材からなる上側保持板と、所定の下側原版フィルムをそれぞれ貼設した透光性材からなる第１下側保持板及び第２下側保持板と、第１下側保持板又は第２下側保持板に載置された基板の上に上側保持板を載置し、整合機構によって整合位置決めして積層体を生成する整合室と、生成された積層体に露光ランプからの光線を照射して露光処理を行うよう整合室に隣接して設けられた露光室と、整合室及び露光室間に設けられ、生成された積層体、上側保持板、第１下側保持板及び第２下側保持板それぞれを案内移動させるガイド部と、整合時の基板を持ち上げる基板持上機構とからなり、第１下側保持板及び第２下側保持板はいずれか一方が整合室で基板に対して整合中であるとき、いずれか他方は露光室で基板に対して露光中であると共に、露光室での露光終了後の上側保持板は基板から分離して露光室から整合室に後退移動して戻り、新たな積層体を生成するようになっていることを特徴とする露光装置。
2. 請求項１に記載の露光装置において、整合機構は、整合室で整合テーブルに吸着固定した第１下側保持板又は第２下側保持板に載置された基板を基板持上機構によって持ち上げた状態で下側原版フィルムを基板に位置合わせさせ、また位置合わせ後の下側原版フィルム上に載置した基板を、露光室からの後退移動で整合室に戻った上側保持板の上側原版フィルムに整合テーブルによって位置合わせさせ、この位置合わせ後に基板及び第１下側保持板又は第２下側保持板を上側保持板に密着させることで積層体を生成するようにしていることを特徴とする露光装置。
3. 請求項１又は２に記載の露光装置において、ガイド部は、整合室で生成された積層体を露光室に前進移動させ、露光室で露光終了後の上側保持板を整合室に後退移動させる上側保持板案内レールと、露光終了後の第１下側保持板又は第２下側保持板が基板と共に載置される移動台車を整合室と露光室との間で前進後退移動させる下側保持板案内レールとを備えていることを特徴とする露光装置。
4. 請求項３に記載の露光装置において、上側保持板案内レール、下側保持板案内レールそれぞれは、前者を後者より高い位置に設定して整合室、露光室相互間で同一レベル面に設定されていることを特徴とする露光装置。
5. 請求項３又は４に記載の露光装置において、移動台車は、整合室では整合テーブルの昇降作動によって、露光室では昇降シリンダの昇降動作によって第１下側保持板又は第２下側保持板を着脱自在に載置させるようにしてあることを特徴とする露光装置。
6. 請求項１乃至５のいずれかに記載の露光装置において、露光ランプから照射される光線を反射鏡を用いて屈曲させて積層体の両面を露光処理させるものであることを特徴とする露光装置。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置において、露光ランプからの光線を特定方向に反射させる反射鏡と、反射された露光線の露光線路を上下方向のいずれかに切り換えるよう進退する切換反射板と、搬入された積層体に対してその上下方向から露光線を反射照射するよう放物面状の反射面を有する上下に配置された上下部露光反射板とを備えて成るものであることを特徴とする露光装置。
8. 請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置において、露光ランプは１個からなり、積層体を反転させてその積層体の両面を露光処理させるものであることを特徴とする露光装置。
9. 請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置において、露光ランプは積層体の上下面をそれぞれ各別に露光させる複数にしてあることを特徴とする露光装置。
10. 請求項１乃至９のいずれかに記載の露光装置において、第１下側保持板又は第２下側保持板に載置された基板は、基板固定機構を用いて第１下側保持板又は第２下側保持板にその非露光部分で固定されるものであることを特徴とする露光装置。
11. 請求項１０に記載の露光装置において、基板固定機構は、基板を第１下側保持板又は第２下側保持板の非露光部分へ押圧する押え片を有し、この押え片は、弾性体により常時第１下側保持板又は第２下側保持板側に付勢され、弾性体に抗して押え片が第１下側保持板又は第２下側保持板から離れる方向に移動されたときに所定角度で回動退避するものであることを特徴とする露光装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の露光装置において、第１下側保持板又は第２下側保持板に載置される基板は、基板固定機構を用いて第１下側保持板又は第２下側保持板に固定される前に、第１下側保持板又は第２下側保持板に載置された基板を基板持上機構を用いて第１下側保持板又は第２下側保持板上から持ち上げた状態で、第１下側保持板又は第２下側保持板を整合機構を用いて基板と第１下側保持板又は第２下側保持板それぞれに貼設した下側原版フィルムとの位置関係が所定の位置となるように整合位置調整が行われることを特徴とする露光装置。
13. 請求項１乃至１２のいずれかに記載の露光装置において、基板に対する上側保持板、第１下側保持板又は第２下側保持板に貼付してある上側あるいは下側原版フィルムの位置決め整合は、基板に対する上側あるいは下側原版フィルムの位置合わせマークを基板カメラによって撮像し、基板に対する下側原版フィルムの位置合わせは第１下側保持板又は第２下側保持板を、また基板に対する上側原版フィルムの位置合わせは基板をそれぞれで対応合致させるように整合機構の整合テーブルによってＸ方向、Ｙ方向、θ角度で移動させて行うようにしてあることを特徴とする露光装置。
    

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