JP2880639B2 - 真空密着焼付装置及び方法 - Google Patents
真空密着焼付装置及び方法Info
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- JP2880639B2 JP2880639B2 JP6057770A JP5777094A JP2880639B2 JP 2880639 B2 JP2880639 B2 JP 2880639B2 JP 6057770 A JP6057770 A JP 6057770A JP 5777094 A JP5777094 A JP 5777094A JP 2880639 B2 JP2880639 B2 JP 2880639B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/14—Details
- G03B27/18—Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material
- G03B27/20—Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material by using a vacuum or fluid pressure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/04—Copying apparatus without a relative movement between the original and the light source during exposure, e.g. printing frame or printing box
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、焼付装置及び方法、特
に、重ねられた原板及び感光板に対して露光処理を施す
ことで焼き付け処理を行う真空密着焼付装置に関する。
に、重ねられた原板及び感光板に対して露光処理を施す
ことで焼き付け処理を行う真空密着焼付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空密着焼付装置は、主としてプリント
基板、液晶基板、プラズマディスプレイ用基板、半導体
基板、シャドウマスク等の製造工程において、所定のパ
ターンを焼き付ける露光工程に用いられるマスク原板の
製造時に使用される。この種の焼付装置は、たとえば実
開昭６０−１８１７４１号公報に示されているように、
原板及び感光板を下方から支持する可撓性シートと、シ
ートの上方に配置された枠体と、枠体に固定された透光
板と、シート及び透光板の間を減圧状態にするための減
圧手段とを備えている。可撓性シートは、台上に配置さ
れており、台と枠体とはヒンジにより連結されている。
これによって、枠体は透光板とともに、台に対して開閉
動作ができるようになっている。
基板、液晶基板、プラズマディスプレイ用基板、半導体
基板、シャドウマスク等の製造工程において、所定のパ
ターンを焼き付ける露光工程に用いられるマスク原板の
製造時に使用される。この種の焼付装置は、たとえば実
開昭６０−１８１７４１号公報に示されているように、
原板及び感光板を下方から支持する可撓性シートと、シ
ートの上方に配置された枠体と、枠体に固定された透光
板と、シート及び透光板の間を減圧状態にするための減
圧手段とを備えている。可撓性シートは、台上に配置さ
れており、台と枠体とはヒンジにより連結されている。
これによって、枠体は透光板とともに、台に対して開閉
動作ができるようになっている。
【０００３】上述の真空密着焼付装置では、次のような
方法で焼付動作が実行される。 （Ａ）枠体を開けた状態で、可撓性シート上に原板及び
感光板を載置する。 （Ｂ）枠体を下方に回動させて透光板を原板上に載せ
る。 （Ｃ）可撓性シートと透光板との間を真空ポンプで減圧
し、これによって原板、感光板及び可撓性シートを透光
板の下面に密着させる。 （Ｄ）上方より感光板を光源で照射し、露光処理を行
う。 （Ｅ）減圧状態を解除し、枠体を上方に持ち上げ、可撓
性シート上から原板及び感光板を取り出す。
方法で焼付動作が実行される。 （Ａ）枠体を開けた状態で、可撓性シート上に原板及び
感光板を載置する。 （Ｂ）枠体を下方に回動させて透光板を原板上に載せ
る。 （Ｃ）可撓性シートと透光板との間を真空ポンプで減圧
し、これによって原板、感光板及び可撓性シートを透光
板の下面に密着させる。 （Ｄ）上方より感光板を光源で照射し、露光処理を行
う。 （Ｅ）減圧状態を解除し、枠体を上方に持ち上げ、可撓
性シート上から原板及び感光板を取り出す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】原板に形成されたパタ
ーンを、上述の真空密着焼付装置を用いて感光板に焼き
付ける構成では、所望のパターンが正確に感光板に焼き
付けられないという問題が発生する。これは、焼き付け
時に原板が歪んでいるからである。焼き付け時に原板が
歪む原因は、枠体の歪みである。透光板は、枠体にネジ
やボルト等で強固に固定されることにより、枠体と透光
板とは一体化されている。また、透光板に対し枠体の剛
性は格段に高い。このため、枠体の歪みに起因して透光
板が歪んでしまう。そして、焼き付け動作時には、歪ん
だ透光板に原板が密着し、さらに原板に感光板が密着
し、枠体の歪みが結果的に焼き付け画像の歪みに転嫁さ
れる。
ーンを、上述の真空密着焼付装置を用いて感光板に焼き
付ける構成では、所望のパターンが正確に感光板に焼き
付けられないという問題が発生する。これは、焼き付け
時に原板が歪んでいるからである。焼き付け時に原板が
歪む原因は、枠体の歪みである。透光板は、枠体にネジ
やボルト等で強固に固定されることにより、枠体と透光
板とは一体化されている。また、透光板に対し枠体の剛
性は格段に高い。このため、枠体の歪みに起因して透光
板が歪んでしまう。そして、焼き付け動作時には、歪ん
だ透光板に原板が密着し、さらに原板に感光板が密着
し、枠体の歪みが結果的に焼き付け画像の歪みに転嫁さ
れる。
【０００５】しかも、焼き付け動作毎に枠体を開閉する
必要があり、その開閉動作毎に微妙に枠体の歪みが変化
する。この結果、調整不能の歪みが発生する。上述のよ
うな点に鑑み、枠体を歪みにくい剛直なものにすること
が考えられる。しかし、剛直な枠体は重くなって作業性
を悪化させる。また軽量で歪みにくい材質の枠体とする
ことも考えられるが、そのような枠体は非常に高価にな
る。
必要があり、その開閉動作毎に微妙に枠体の歪みが変化
する。この結果、調整不能の歪みが発生する。上述のよ
うな点に鑑み、枠体を歪みにくい剛直なものにすること
が考えられる。しかし、剛直な枠体は重くなって作業性
を悪化させる。また軽量で歪みにくい材質の枠体とする
ことも考えられるが、そのような枠体は非常に高価にな
る。
【０００６】本発明の目的は、真空密着焼付処理時の像
の歪みを簡素な構成で減少させることにある。
の歪みを簡素な構成で減少させることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１に
記載の発明は、原板及び感光板を下方から支持する可撓
性シートと、シートの上方に配置され、中央に開口を有
する枠体と、シートと共同で原板及び感光板を挟むよう
に枠体の開口に配置され、枠体に支持されるとともに枠
体に対して移動可能な透光板と、枠体に設けられ、透光
板を移動可能とする許容状態と移動不能とする固定状態
を切り替える切り替え手段と、シートと透光板間の空間
の気密性を保持する気密性保持部材と、シートと透光板
との間を減圧状態にするための減圧手段と、枠体の開口
を通じて、感光板を露光する光源とを備えている真空密
着焼付装置である。
記載の発明は、原板及び感光板を下方から支持する可撓
性シートと、シートの上方に配置され、中央に開口を有
する枠体と、シートと共同で原板及び感光板を挟むよう
に枠体の開口に配置され、枠体に支持されるとともに枠
体に対して移動可能な透光板と、枠体に設けられ、透光
板を移動可能とする許容状態と移動不能とする固定状態
を切り替える切り替え手段と、シートと透光板間の空間
の気密性を保持する気密性保持部材と、シートと透光板
との間を減圧状態にするための減圧手段と、枠体の開口
を通じて、感光板を露光する光源とを備えている真空密
着焼付装置である。
【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の真空密着焼付装置において、切り替え手段は、透光板
が下方から当接する当接部と、透光板を下方から支持す
る昇降部材と、昇降部材を上下に駆動する昇降部材駆動
手段とを有しているものである。請求項３に記載の発明
は、原板及び感光板を可撓性シートに載置する載置工程
と、シートと共同で原板及び感光板を挟むように、中央
の開口に透光板が配置された枠体をシート上に配置する
枠体配置工程と、透光板を枠体に対して移動可能にする
固定解除工程と、シートと透光板との間を減圧する減圧
工程と、透光板、原板を介して感光板を露光する露光工
程とを含む真空密着焼付方法である。
の真空密着焼付装置において、切り替え手段は、透光板
が下方から当接する当接部と、透光板を下方から支持す
る昇降部材と、昇降部材を上下に駆動する昇降部材駆動
手段とを有しているものである。請求項３に記載の発明
は、原板及び感光板を可撓性シートに載置する載置工程
と、シートと共同で原板及び感光板を挟むように、中央
の開口に透光板が配置された枠体をシート上に配置する
枠体配置工程と、透光板を枠体に対して移動可能にする
固定解除工程と、シートと透光板との間を減圧する減圧
工程と、透光板、原板を介して感光板を露光する露光工
程とを含む真空密着焼付方法である。
【０００９】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の真空密着焼付方法において、固定解除工程は、枠体に
設けられているとともに、透光板を下方から支持する昇
降部材の下降によってなされるものである。
の真空密着焼付方法において、固定解除工程は、枠体に
設けられているとともに、透光板を下方から支持する昇
降部材の下降によってなされるものである。
【００１０】
【作用】請求項１に記載の発明では、可撓性シート上に
原板及び感光板を載置し、その上に枠体に対して移動可
能な透光板を載せる。次に、切り替え手段が透光板を移
動可能な許容状態とする。そして、シートと透光板との
間を減圧状態にし、透光板に対して原板、さらに原板に
感光板を密着させる。この密着状態で、光源により感光
板を露光する請求項２に記載の発明では、透光板を下方
から支持する昇降部材を上下に駆動させる。
原板及び感光板を載置し、その上に枠体に対して移動可
能な透光板を載せる。次に、切り替え手段が透光板を移
動可能な許容状態とする。そして、シートと透光板との
間を減圧状態にし、透光板に対して原板、さらに原板に
感光板を密着させる。この密着状態で、光源により感光
板を露光する請求項２に記載の発明では、透光板を下方
から支持する昇降部材を上下に駆動させる。
【００１１】請求項３に記載の発明では、原板及び感光
板を可撓性シートに載置し、シートと共同で原板及び感
光板を挟むように、中央の開口に透光板が配置された枠
体をシート上に配置し、透光板を枠体に対して移動可能
にすることで固定を解除し、シートと透光板との間を減
圧し、透光板、原板を介して感光板を露光する。請求項
４に記載の発明では、昇降部材を下降させることで固定
を解除する。
板を可撓性シートに載置し、シートと共同で原板及び感
光板を挟むように、中央の開口に透光板が配置された枠
体をシート上に配置し、透光板を枠体に対して移動可能
にすることで固定を解除し、シートと透光板との間を減
圧し、透光板、原板を介して感光板を露光する。請求項
４に記載の発明では、昇降部材を下降させることで固定
を解除する。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例としての真空密着焼付装置
を示す図１において、この真空密着焼付装置は、焼付台
１と、焼付台１の奥側一辺に１対のヒンジ１ａを介して
連結された枠体３と、枠体３の上方に配置された光源２
とを備えている。焼付台１の上面には可撓性シート４が
配置されており、可撓性シート４の外周縁には環状のパ
ッキン５が取り付けられている。枠体３には、透光板６
が支持されている。
を示す図１において、この真空密着焼付装置は、焼付台
１と、焼付台１の奥側一辺に１対のヒンジ１ａを介して
連結された枠体３と、枠体３の上方に配置された光源２
とを備えている。焼付台１の上面には可撓性シート４が
配置されており、可撓性シート４の外周縁には環状のパ
ッキン５が取り付けられている。枠体３には、透光板６
が支持されている。
【００１３】枠体３は中央部に開口３ａを有しており、
開口３ａを通じて透光板６が上方に露出している。ま
た、枠体３には４か所に切り換え機構７が設けられてお
り、この切り換え機構７によって透光板６の保持及び分
離が行えるようになっている。さらに、枠体３のヒンジ
１ａと反対の側には、把手３ｂが取り付けられている。
切り換え機構７は、図３に示すように、枠体３の外側面
に固定されたエアシリンダ１０と、エアシリンダ１０か
ら下方に突出するピストンロッド１１に固定されたＬ型
ブロック１２とを有している。Ｌ型ブロック１２は、透
光板６の外周側下面に下方からゴムシート１３を介して
当接している。これにより、透光板６はＬ型ブロック１
２によって下方から支持されている。一方、透光板６の
外周側の上面は、ゴムシート１４を介して枠体３の下端
面に当接している。図３の実線の状態では、シリンダ１
０によってＬ型ブロック１２が上方に配置されており、
これによって透光板６は枠体３に一体的に固定されてい
る。
開口３ａを通じて透光板６が上方に露出している。ま
た、枠体３には４か所に切り換え機構７が設けられてお
り、この切り換え機構７によって透光板６の保持及び分
離が行えるようになっている。さらに、枠体３のヒンジ
１ａと反対の側には、把手３ｂが取り付けられている。
切り換え機構７は、図３に示すように、枠体３の外側面
に固定されたエアシリンダ１０と、エアシリンダ１０か
ら下方に突出するピストンロッド１１に固定されたＬ型
ブロック１２とを有している。Ｌ型ブロック１２は、透
光板６の外周側下面に下方からゴムシート１３を介して
当接している。これにより、透光板６はＬ型ブロック１
２によって下方から支持されている。一方、透光板６の
外周側の上面は、ゴムシート１４を介して枠体３の下端
面に当接している。図３の実線の状態では、シリンダ１
０によってＬ型ブロック１２が上方に配置されており、
これによって透光板６は枠体３に一体的に固定されてい
る。
【００１４】透光板６は、硝子製である。ただし、光源
２の光を透過させ、しかも気密保持が可能なように気体
を透過させない（あるいはほとんど透過させない）材質
及び形状のものであればよい。透光板６の厚さは１０〜
３０ｍｍであるのが好ましい。厚さが１０ｍｍ未満であ
ると、原板２０の持つ歪みを透光板６が矯正しにくくな
る。また、厚さが３０ｍｍ以上となれば、重量が過大と
なって扱いにくくなる。
２の光を透過させ、しかも気密保持が可能なように気体
を透過させない（あるいはほとんど透過させない）材質
及び形状のものであればよい。透光板６の厚さは１０〜
３０ｍｍであるのが好ましい。厚さが１０ｍｍ未満であ
ると、原板２０の持つ歪みを透光板６が矯正しにくくな
る。また、厚さが３０ｍｍ以上となれば、重量が過大と
なって扱いにくくなる。
【００１５】焼付台１の上面に配置された可撓性シート
４は、その外周縁部がビス１５によって焼付台１に固定
されている。ただし、可撓性シート４の中央部は、それ
自体の伸縮性によって、焼付台１から上方に自在に分離
可能である。パッキン５は、可撓性シート４の外周縁の
ビス１５よりも内周側に環状に取り付けられている。パ
ッキン５はゴム製であり、その上端が透光板６の下端面
に密着することで気密性が保持され得るようになってい
る。
４は、その外周縁部がビス１５によって焼付台１に固定
されている。ただし、可撓性シート４の中央部は、それ
自体の伸縮性によって、焼付台１から上方に自在に分離
可能である。パッキン５は、可撓性シート４の外周縁の
ビス１５よりも内周側に環状に取り付けられている。パ
ッキン５はゴム製であり、その上端が透光板６の下端面
に密着することで気密性が保持され得るようになってい
る。
【００１６】可撓性シート４の中央部に重ねて配置され
る原板２０及び感光板２１とパッキン５との間におい
て、可撓性シート４の４隅部には開口２２が設けられて
いる。開口２２には取付金具２５を介して排気管２３の
一端が連結されている。図２に示すように、排気管２３
の他端は減圧ポンプ２４に連結されている。次に、上述
の実施例を用いて、本発明の一実施例としての真空密着
焼付方法を説明する。
る原板２０及び感光板２１とパッキン５との間におい
て、可撓性シート４の４隅部には開口２２が設けられて
いる。開口２２には取付金具２５を介して排気管２３の
一端が連結されている。図２に示すように、排気管２３
の他端は減圧ポンプ２４に連結されている。次に、上述
の実施例を用いて、本発明の一実施例としての真空密着
焼付方法を説明する。
【００１７】図１のように枠体３を上方に開けた状態
で、まず可撓性シート４の中央部に感光板２１を載置す
る。そして、感光板２１上に重ねて原板２０を載置す
る。この段階では、シリンダ１０によってＬ型ブロック
１２は上方に配置されており、透光板６は枠体３に固定
された状態にある。これにより、透光板６を枠体３と一
体に取り扱うことができる。
で、まず可撓性シート４の中央部に感光板２１を載置す
る。そして、感光板２１上に重ねて原板２０を載置す
る。この段階では、シリンダ１０によってＬ型ブロック
１２は上方に配置されており、透光板６は枠体３に固定
された状態にある。これにより、透光板６を枠体３と一
体に取り扱うことができる。
【００１８】感光板２１及び原板２０のセットが完了す
ると、枠体３を下方に降ろし、透光板６を図２に示すよ
うに原板２０上に重ねる。この状態で、図４に概念的に
示すように、パッキン５の上端が透光板６の下端面に当
接することで、可撓性シート４と透光板６との間に密閉
空間Ａが形成される。次に、シリンダ１０を動作させ、
Ｌ型ブロック１２を下方に移動させて図３に一点鎖線で
示す位置に配置する。この結果、透光板６の枠体３によ
る保持が解除されて分離され、透光板６はパッキン５の
みにより下方から支持された状態となる。
ると、枠体３を下方に降ろし、透光板６を図２に示すよ
うに原板２０上に重ねる。この状態で、図４に概念的に
示すように、パッキン５の上端が透光板６の下端面に当
接することで、可撓性シート４と透光板６との間に密閉
空間Ａが形成される。次に、シリンダ１０を動作させ、
Ｌ型ブロック１２を下方に移動させて図３に一点鎖線で
示す位置に配置する。この結果、透光板６の枠体３によ
る保持が解除されて分離され、透光板６はパッキン５の
みにより下方から支持された状態となる。
【００１９】透光板６を枠体３から分離した状態で減圧
ポンプ２４を作動させると、密閉空間Ａ内が減圧状態と
なり、原板２０、感光板２１及び可撓性シート４が透光
板６側に引き寄せられて透光板６に密着した状態とな
る。このときの状態を概念的に図５に示す。ここでは、
透光板６が枠体３から分離された状態にあるので、枠体
３の歪みは透光板６に対して悪影響を及ぼさない。
ポンプ２４を作動させると、密閉空間Ａ内が減圧状態と
なり、原板２０、感光板２１及び可撓性シート４が透光
板６側に引き寄せられて透光板６に密着した状態とな
る。このときの状態を概念的に図５に示す。ここでは、
透光板６が枠体３から分離された状態にあるので、枠体
３の歪みは透光板６に対して悪影響を及ぼさない。
【００２０】上述の密着状態を維持しながら、光源２を
点灯させて露光処理を行う。光は、透光板６を通して原
板２０及び感光板２１に到達する。この露光処理時に
は、透光板６が枠体３の歪みによる悪影響を受けていな
いので、歪みが少ない状態で露光処理が行える。この結
果、感光板２１に得られる像の歪みは少なくて済む。露
光処理が完了すれば、密閉空間Ａ内を大気圧に戻し、次
にＬ型ブロック１２を上昇させることで枠体３に透光板
６を固定する。そして、枠体３を上方に持上げ、露光処
理の済んだ原板２０及び感光板２１を可撓性シート４上
から取り出す。
点灯させて露光処理を行う。光は、透光板６を通して原
板２０及び感光板２１に到達する。この露光処理時に
は、透光板６が枠体３の歪みによる悪影響を受けていな
いので、歪みが少ない状態で露光処理が行える。この結
果、感光板２１に得られる像の歪みは少なくて済む。露
光処理が完了すれば、密閉空間Ａ内を大気圧に戻し、次
にＬ型ブロック１２を上昇させることで枠体３に透光板
６を固定する。そして、枠体３を上方に持上げ、露光処
理の済んだ原板２０及び感光板２１を可撓性シート４上
から取り出す。
【００２１】なお、切り換え機構７として、手操作によ
るクランプ機構を採用してもよい。
るクランプ機構を採用してもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明では、枠体が透光板を移動可能な許容状
態と移動不能な固定状態との間で切り替える切り替え手
段により、透光板が枠体に対して移動可能であるため
に、透光板は枠体の歪みを受けにくい。その結果、単純
な構成にもかかわらず、焼き付け時の像の歪みを減少で
きる。
１に記載の発明では、枠体が透光板を移動可能な許容状
態と移動不能な固定状態との間で切り替える切り替え手
段により、透光板が枠体に対して移動可能であるため
に、透光板は枠体の歪みを受けにくい。その結果、単純
な構成にもかかわらず、焼き付け時の像の歪みを減少で
きる。
【００２３】請求項２に記載の発明では、切り替え手段
が、透光板が下方から当接する当接部と、透光板を下方
から支持する昇降部材と、昇降部材を上下に駆動する昇
降部材駆動手段とを有しているので、透光板は枠体の歪
みを受けにくい。請求項３に記載の発明では、シートと
透光板との間を減圧する減圧工程の前に、透光板を枠体
に対して移動可能にする固定解除工程があることによ
り、透光板は枠体の歪みを受けにくい。その結果、焼き
付け時の像の歪みを減少できる。
が、透光板が下方から当接する当接部と、透光板を下方
から支持する昇降部材と、昇降部材を上下に駆動する昇
降部材駆動手段とを有しているので、透光板は枠体の歪
みを受けにくい。請求項３に記載の発明では、シートと
透光板との間を減圧する減圧工程の前に、透光板を枠体
に対して移動可能にする固定解除工程があることによ
り、透光板は枠体の歪みを受けにくい。その結果、焼き
付け時の像の歪みを減少できる。
【００２４】請求項４に記載の発明では、昇降部材を下
降することにより固定を解除するので、透光板は枠体の
歪みを受けにくい。
降することにより固定を解除するので、透光板は枠体の
歪みを受けにくい。
【図１】本発明の一実施例としての真空密着焼付装置の
斜視概略図。
斜視概略図。
【図２】その側面概略図。
【図３】その切り換え機構部分の縦断面部分図。
【図４】その一動作状態を示す概念図。
【図５】その別の一動作状態を示す概念図。
２ 光源 ３ 枠体 ３ａ 開口 ４ 可撓性シート ６ 透光板 ７ 切り換え機構 ２０ 原板 ２１ 感光板 ２４ 減圧ポンプ
Claims (4)
- 【請求項１】重ねられた原板及び感光板に対して露光す
ることで焼き付けを行う真空密着焼付装置であって、 前記原板及び感光板を下方から支持する可撓性シート
と、 前記シートの上方に配置され、中央に開口を有する枠体
と、 前記シートと共同で前記原板及び感光板を挟むように前
記枠体の開口に配置され、前記枠体に支持されるととも
に前記枠体に対して移動可能な透光板と、 前記枠体に設けられ、前記透光板を移動可能とする許容
状態と移動不能とする固定状態を切り替える切り替え手
段と、 前記シートと前記透光板間の空間の気密性を保持する気
密性保持部材と、 前記シートと前記透光板との間を減圧状態にするための
減圧手段と、 前記枠体の開口を通じて、感光板を露光する光源と、を
備えた真空密着焼付装置。 - 【請求項２】前記切り替え手段は、 前記透光板が下方から当接する当接部と、 前記透光板を下方から支持する昇降部材と、 前記昇降部材を上下に駆動する昇降部材駆動手段と、を
有している請求項１に記載の真空密着焼付装置。 - 【請求項３】重ねられた原板及び感光板に対して露光す
ることで焼き付けを行う真空密着焼付方法であって、 前記原板及び感光板を可撓性シートに載置する載置工程
と、 前記シートと共同で前記原板及び感光板を挟むように、
中央の開口に透光板が配置された枠体を前記シート上に
配置する枠体配置工程と、 前記透光板を前記枠体に対して移動可能にする固定解除
工程と、 前記シートと透光板との間を減圧する減圧工程と、 前記透光板、原板を介して感光板を露光する露光工程
と、を含む真空密着焼付方法。 - 【請求項４】前記固定解除工程は、枠体に設けられてい
るとともに、前記透光板を下方から支持する昇降部材の
下降によってなされる請求項３に記載の真空密着焼付方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6057770A JP2880639B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 真空密着焼付装置及び方法 |
| KR1019940034421A KR0162937B1 (ko) | 1994-03-28 | 1994-12-15 | 진공밀착 인화장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6057770A JP2880639B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 真空密着焼付装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270925A JPH07270925A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2880639B2 true JP2880639B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=13065119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6057770A Expired - Fee Related JP2880639B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 真空密着焼付装置及び方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2880639B2 (ja) |
| KR (1) | KR0162937B1 (ja) |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP6057770A patent/JP2880639B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-15 KR KR1019940034421A patent/KR0162937B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0162937B1 (ko) | 1999-05-01 |
| KR950027481A (ko) | 1995-10-18 |
| JPH07270925A (ja) | 1995-10-20 |
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