JP2908979B2 - 真空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法 - Google Patents
真空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法Info
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- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、焼付装置、焼付台及び
焼付方法、特に、パターンが形成された原板と感光板と
を密着させて前記パターンを前記感光板に焼き付ける真
空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法に関する。
焼付方法、特に、パターンが形成された原板と感光板と
を密着させて前記パターンを前記感光板に焼き付ける真
空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】実公平２−３８２８２号には、パターン
が形成された原板と感光板とを密着させて当該パターン
を感光板に焼き付ける真空密着焼付装置の焼付台が示さ
れている。その焼付台は、焼付台本体と、前記焼付台本
体上に載置される可撓性シートとを備えている。焼付台
本体の上面は平坦であり、全く段差はない。一方、可撓
性シートの外周縁には保持枠が取り付けられており、ま
た中央部には原板及び感光板を上方に露出するための開
口が形成されている。さらに、可撓性シートには排気管
が連結されている。
が形成された原板と感光板とを密着させて当該パターン
を感光板に焼き付ける真空密着焼付装置の焼付台が示さ
れている。その焼付台は、焼付台本体と、前記焼付台本
体上に載置される可撓性シートとを備えている。焼付台
本体の上面は平坦であり、全く段差はない。一方、可撓
性シートの外周縁には保持枠が取り付けられており、ま
た中央部には原板及び感光板を上方に露出するための開
口が形成されている。さらに、可撓性シートには排気管
が連結されている。
【０００３】前記焼付台を用いて焼付処理を行う場合に
は、焼付台本体上に感光板と原板とを重ねて載置し、そ
の上から可撓性シートを載置する。次に、可撓性シート
に連結された排気管を用いて焼付台本体と可撓性シート
との間の空間を減圧する。これにより、可撓性シート、
原板及び感光板が焼付台本体に密着する。この状態で、
上方から光を照射することで露光処理を行う。
は、焼付台本体上に感光板と原板とを重ねて載置し、そ
の上から可撓性シートを載置する。次に、可撓性シート
に連結された排気管を用いて焼付台本体と可撓性シート
との間の空間を減圧する。これにより、可撓性シート、
原板及び感光板が焼付台本体に密着する。この状態で、
上方から光を照射することで露光処理を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の構成では、
可撓性のシートで原板及び感光板を覆うようにしている
が、可撓性シートの開口の縁部分を正確に原板の縁部分
に一致させる作業は容易ではない。また、平坦な上面を
有する焼付台本体上に載置された可撓性シートは減圧に
伴って不規則に変形する。この変形が、原板と積層板と
の間の積層状態に悪影響を及ぼす。しかも、可撓性シー
ト側に排気管が取り付けられているため、排気管の重量
によって容易に可撓性シートが変形し、作業性をさらに
悪化させる。
可撓性のシートで原板及び感光板を覆うようにしている
が、可撓性シートの開口の縁部分を正確に原板の縁部分
に一致させる作業は容易ではない。また、平坦な上面を
有する焼付台本体上に載置された可撓性シートは減圧に
伴って不規則に変形する。この変形が、原板と積層板と
の間の積層状態に悪影響を及ぼす。しかも、可撓性シー
ト側に排気管が取り付けられているため、排気管の重量
によって容易に可撓性シートが変形し、作業性をさらに
悪化させる。
【０００５】本発明の目的は、焼付時の像歪みを小さく
し、かつ作業性を向上させることにある。
し、かつ作業性を向上させることにある。
【０００６】
（１）本発明に係る真空密着焼付装置は、パターンが形
成された原板と感光板とを密着させて、当該パターンを
感光板に焼き付ける装置である。この装置は、焼付台と
開閉枠と排気部と光源とを備えている。前記焼付台は、
原板と感光板とを重ねて載置するためのものであり、上
面が平坦である。前記開閉枠は、原板及び感光板の外周
部を覆いつつ中央部を上方に露出するための開口を有し
剛性を有する枠本体と、枠本体の下面において開口の外
周縁部に焼付台の上面と共同で密閉空間を形成するため
の弾性シール部とを有し、焼付台上に上方から配置可能
である。前記排気部は、焼付台に設けられており、前記
密閉空間を減圧状態にするためのものである。前記光源
は、焼付台の上方に配置されている。
成された原板と感光板とを密着させて、当該パターンを
感光板に焼き付ける装置である。この装置は、焼付台と
開閉枠と排気部と光源とを備えている。前記焼付台は、
原板と感光板とを重ねて載置するためのものであり、上
面が平坦である。前記開閉枠は、原板及び感光板の外周
部を覆いつつ中央部を上方に露出するための開口を有し
剛性を有する枠本体と、枠本体の下面において開口の外
周縁部に焼付台の上面と共同で密閉空間を形成するため
の弾性シール部とを有し、焼付台上に上方から配置可能
である。前記排気部は、焼付台に設けられており、前記
密閉空間を減圧状態にするためのものである。前記光源
は、焼付台の上方に配置されている。
【０００７】なお、前記焼付台は、前記原板及び感光板
の載置位置の外周側に上方に突出するとともに弾性体か
らなる環状の段部を有し、前記弾性シール部は、前記原
板の外周部に弾性的に当接し得る第１環状シールと、前
記段部に当接し得る第２環状シールとを有するのが好ま
しい。前記焼付台の上面は、当該上面と前記感光板との
減圧を容易にするための溝を有しているのが好ましい。 （２）本発明に係る焼付台は、パターンが形成された原
板と感光板とを密着させて、当該パターンを感光板に焼
き付ける真空密着焼付装置の焼付台である。この焼付台
は、焼付台本体と段部と排気部とを備えている。前記焼
付台本体は、原板と感光板とを重ねて載置するためのも
のであり、上面が平坦である。前記段部は、原板及び感
光板の載置位置の外周側において、焼付台本体の上面に
上方に突出するように設けられており、環状の弾性体で
ある。前記排気部は、焼付台本体に設けられており、前
記段部に囲まれた空間を減圧するためのものである。
の載置位置の外周側に上方に突出するとともに弾性体か
らなる環状の段部を有し、前記弾性シール部は、前記原
板の外周部に弾性的に当接し得る第１環状シールと、前
記段部に当接し得る第２環状シールとを有するのが好ま
しい。前記焼付台の上面は、当該上面と前記感光板との
減圧を容易にするための溝を有しているのが好ましい。 （２）本発明に係る焼付台は、パターンが形成された原
板と感光板とを密着させて、当該パターンを感光板に焼
き付ける真空密着焼付装置の焼付台である。この焼付台
は、焼付台本体と段部と排気部とを備えている。前記焼
付台本体は、原板と感光板とを重ねて載置するためのも
のであり、上面が平坦である。前記段部は、原板及び感
光板の載置位置の外周側において、焼付台本体の上面に
上方に突出するように設けられており、環状の弾性体で
ある。前記排気部は、焼付台本体に設けられており、前
記段部に囲まれた空間を減圧するためのものである。
【０００８】なお、前記焼付台本体の上面は、当該上面
と前記感光板との間の減圧を容易にするための溝を有し
ているのが好ましい。 （３）本発明に係る真空密着焼付方法は、パターンが形
成された原板と感光板とを密着させて、当該パターンを
感光板に焼き付ける方法である。この方法は、準備工程
と載置工程とシール工程と排気工程と露光工程とを含ん
でいる。前記準備工程では、原板と感光板とを重ねて載
置するための上面が平坦な焼付台本体と、原板及び感光
板の載置位置の外周側において焼付台本体の上面に上方
に突出するように設けられた環状の弾性体からなる段部
と、焼付台本体に設けられかつ段部に囲まれた空間を減
圧するための排気部とを備えた焼付台を準備する。次
に、載置工程で、焼付台本体上に原板と感光板とを重ね
て載置する。シール工程では、原板の外周部上面と段部
の上面との間をシールする。排気工程では、段部に囲ま
れた空間を排気部により排気する。そして、露光工程に
おいて、焼付台本体上で重ねられた原板及び感光板に対
して上方より露光処理を施す。
と前記感光板との間の減圧を容易にするための溝を有し
ているのが好ましい。 （３）本発明に係る真空密着焼付方法は、パターンが形
成された原板と感光板とを密着させて、当該パターンを
感光板に焼き付ける方法である。この方法は、準備工程
と載置工程とシール工程と排気工程と露光工程とを含ん
でいる。前記準備工程では、原板と感光板とを重ねて載
置するための上面が平坦な焼付台本体と、原板及び感光
板の載置位置の外周側において焼付台本体の上面に上方
に突出するように設けられた環状の弾性体からなる段部
と、焼付台本体に設けられかつ段部に囲まれた空間を減
圧するための排気部とを備えた焼付台を準備する。次
に、載置工程で、焼付台本体上に原板と感光板とを重ね
て載置する。シール工程では、原板の外周部上面と段部
の上面との間をシールする。排気工程では、段部に囲ま
れた空間を排気部により排気する。そして、露光工程に
おいて、焼付台本体上で重ねられた原板及び感光板に対
して上方より露光処理を施す。
【０００９】なお、前記シール工程は、前記原板の外周
部上面と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡
すように貼り付ける工程を含むのが好ましい。さらに、
前記シール工程は、前記原板の上面及び前記段部の上面
を連続的に覆う可撓性透明板を前記原板及び前記段部上
に載置する工程を含むのが好ましい。
部上面と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡
すように貼り付ける工程を含むのが好ましい。さらに、
前記シール工程は、前記原板の上面及び前記段部の上面
を連続的に覆う可撓性透明板を前記原板及び前記段部上
に載置する工程を含むのが好ましい。
【００１０】
（１）本発明に係る真空密着焼付装置では、焼付台上に
原板と感光板とが重ねて載置される。次に、その上に開
閉枠が配置される。これにより、原板及び感光板の外周
部を除く中央部が枠本体の開口から上方に露出した状態
で、開閉枠と焼付台との間に密閉空間が形成される。こ
こでは、原板及び感光板の外周部を覆い得る高剛性の枠
本体を用いているので、密閉空間を形成する作業が容易
である。次に、排気部により前記密閉空間を減圧する。
これによって、焼付台上に原板及び感光板が密着した状
態で固定される。この減圧動作においても、原板及び感
光板の外周部を覆い得る剛性を有する枠本体を用いてい
るので、減圧に伴う変形が少なく、その結果原板と感光
板との間の正確な積層状態が維持される。また、原板と
感光板とは平坦な焼付台の上面に沿って配置されるた
め、原板及び感光板の歪みは少ない。次に光源により露
光処理を施すが、原板及び感光板の正確な積層状態が維
持されており、しかも原板及び感光板の撓みが少ないた
め、焼付時の像歪みは小さくなる。
原板と感光板とが重ねて載置される。次に、その上に開
閉枠が配置される。これにより、原板及び感光板の外周
部を除く中央部が枠本体の開口から上方に露出した状態
で、開閉枠と焼付台との間に密閉空間が形成される。こ
こでは、原板及び感光板の外周部を覆い得る高剛性の枠
本体を用いているので、密閉空間を形成する作業が容易
である。次に、排気部により前記密閉空間を減圧する。
これによって、焼付台上に原板及び感光板が密着した状
態で固定される。この減圧動作においても、原板及び感
光板の外周部を覆い得る剛性を有する枠本体を用いてい
るので、減圧に伴う変形が少なく、その結果原板と感光
板との間の正確な積層状態が維持される。また、原板と
感光板とは平坦な焼付台の上面に沿って配置されるた
め、原板及び感光板の歪みは少ない。次に光源により露
光処理を施すが、原板及び感光板の正確な積層状態が維
持されており、しかも原板及び感光板の撓みが少ないた
め、焼付時の像歪みは小さくなる。
【００１１】なお、前記焼付台が、前記原板及び感光板
の載置位置の外周側に上方に突出するとともに弾性体か
らなる環状の段部を有し、前記弾性シール部が、前記原
板の外周部に弾性的に当接し得る第１環状シールと、前
記段部に当接し得る第２環状シールとを有する場合に
は、前記作用がより顕著になる。前記焼付台の上面が、
当該上面と前記感光板との減圧を容易にするための溝を
有している場合には、前記作用がより顕著になる。 （２）本発明に係る真空密着焼付装置の焼付台では、排
気部が焼付台本体側に設けられている。したがって、排
気部により減圧を行って原板と感光板とを密着させる際
には、排気部がその作業に悪影響を及ぼさない。また、
環状の弾性体からなる段部が焼付台本体に形成されてい
るので、原板及び感光板を焼付台本体に載置した状態
で、原板の上面とその周囲の上端面との間の高さの差を
小さくすることが可能となり、シール作業が容易にな
る。また、減圧時のシール部材の変形が小さくなり、原
板と感光板との正確な積層姿勢を維持し易くなる。この
結果、高い作業性と焼付時の像歪みの減少とが達成でき
る。
の載置位置の外周側に上方に突出するとともに弾性体か
らなる環状の段部を有し、前記弾性シール部が、前記原
板の外周部に弾性的に当接し得る第１環状シールと、前
記段部に当接し得る第２環状シールとを有する場合に
は、前記作用がより顕著になる。前記焼付台の上面が、
当該上面と前記感光板との減圧を容易にするための溝を
有している場合には、前記作用がより顕著になる。 （２）本発明に係る真空密着焼付装置の焼付台では、排
気部が焼付台本体側に設けられている。したがって、排
気部により減圧を行って原板と感光板とを密着させる際
には、排気部がその作業に悪影響を及ぼさない。また、
環状の弾性体からなる段部が焼付台本体に形成されてい
るので、原板及び感光板を焼付台本体に載置した状態
で、原板の上面とその周囲の上端面との間の高さの差を
小さくすることが可能となり、シール作業が容易にな
る。また、減圧時のシール部材の変形が小さくなり、原
板と感光板との正確な積層姿勢を維持し易くなる。この
結果、高い作業性と焼付時の像歪みの減少とが達成でき
る。
【００１２】なお、前記焼付台本体の上面が、当該上面
と前記感光板との間の減圧を容易にするための溝を有し
ている場合には、前記作用がより顕著になる。 （３）本発明に係る真空密着焼付方法では、上面が平坦
な焼付台本体において、原板及び感光板の載置位置の外
周側に上方に突出する環状の弾性体からなる段部が設け
られており、また排気部が焼付台本体側に設けられてい
る。したがって、排気部により減圧を行って原板と感光
板とを密着させる際に、排気部がその作業に悪影響を及
ぼさない。また、環状の段部が焼付台本体に形成されて
いるので、原板及び感光板を焼付台本体に載置した状態
で、原板の上面とその周囲の上端面との間の高さの差を
小さくすることが可能となり、シール作業が容易にな
る。また、減圧時のシール部材の変形が小さくなり、原
板と感光板との正確な積層姿勢を維持し易くなる。この
結果、高い作業性と焼付時の像歪みの減少とが達成され
る。
と前記感光板との間の減圧を容易にするための溝を有し
ている場合には、前記作用がより顕著になる。 （３）本発明に係る真空密着焼付方法では、上面が平坦
な焼付台本体において、原板及び感光板の載置位置の外
周側に上方に突出する環状の弾性体からなる段部が設け
られており、また排気部が焼付台本体側に設けられてい
る。したがって、排気部により減圧を行って原板と感光
板とを密着させる際に、排気部がその作業に悪影響を及
ぼさない。また、環状の段部が焼付台本体に形成されて
いるので、原板及び感光板を焼付台本体に載置した状態
で、原板の上面とその周囲の上端面との間の高さの差を
小さくすることが可能となり、シール作業が容易にな
る。また、減圧時のシール部材の変形が小さくなり、原
板と感光板との正確な積層姿勢を維持し易くなる。この
結果、高い作業性と焼付時の像歪みの減少とが達成され
る。
【００１３】なお、前記シール工程が、前記原板の外周
部上面と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡
すように貼り付ける工程を含む場合には、前記作用がよ
り顕著になる。さらに、前記シール工程が、前記原板の
上面及び前記段部の上面を連続的に覆う可撓性透明板を
前記原板及び前記段部上に載置する工程を含む場合に
は、前記作用がより顕著になる。
部上面と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡
すように貼り付ける工程を含む場合には、前記作用がよ
り顕著になる。さらに、前記シール工程が、前記原板の
上面及び前記段部の上面を連続的に覆う可撓性透明板を
前記原板及び前記段部上に載置する工程を含む場合に
は、前記作用がより顕著になる。
【００１４】
〔実施例１〕図１において、本発明の一実施例としての
真空密着焼付装置１は、焼付台２と、焼付台２の上端奥
側部分に回動自在に連結された開閉枠３と開閉枠３の上
方に配置された光源４とを主として有している。
真空密着焼付装置１は、焼付台２と、焼付台２の上端奥
側部分に回動自在に連結された開閉枠３と開閉枠３の上
方に配置された光源４とを主として有している。
【００１５】焼付台２の主要部分を示す図２において、
焼付台２は、脚５と、脚５の上端に水平方向に配置され
た台本体６と、台本体６の上面の外周部に配置された段
部７とを有している。台本体６の上面６ａは高精度に水
平面を構成するとともに、高剛性を有しており、さらに
減圧処理時に有効に作用する溝６ｂを有している。段部
７は、弾性を有しており（例えばゴム製であり）、中央
部に原板５０及び感光板５１を収納し得る開口７ａを有
している。段部７の高さは、上面６ａ上に重ねて載置さ
れた原板５０及び感光板５１の合計厚さと略同等となる
ように設定されている。
焼付台２は、脚５と、脚５の上端に水平方向に配置され
た台本体６と、台本体６の上面の外周部に配置された段
部７とを有している。台本体６の上面６ａは高精度に水
平面を構成するとともに、高剛性を有しており、さらに
減圧処理時に有効に作用する溝６ｂを有している。段部
７は、弾性を有しており（例えばゴム製であり）、中央
部に原板５０及び感光板５１を収納し得る開口７ａを有
している。段部７の高さは、上面６ａ上に重ねて載置さ
れた原板５０及び感光板５１の合計厚さと略同等となる
ように設定されている。
【００１６】原板５０及び感光板５１が上面６ａ上に載
置された状態で、開口７ａと原板５０及び感光板５１と
の間の空隙には、台本体６に形成された排気管８が開口
している。排気管８の他端はバルブ９に連結されてお
り、排気管８はバルブ９を介して大気または減圧ポンプ
１０に連通し得るようになっている。図３に示すよう
に、溝６ｂは格子状に形成されており、その角部に排気
管８の上端が開口している。なお、理解を容易にするた
め、図２及び図３は厚み方向に強調されて描かれてい
る。
置された状態で、開口７ａと原板５０及び感光板５１と
の間の空隙には、台本体６に形成された排気管８が開口
している。排気管８の他端はバルブ９に連結されてお
り、排気管８はバルブ９を介して大気または減圧ポンプ
１０に連通し得るようになっている。図３に示すよう
に、溝６ｂは格子状に形成されており、その角部に排気
管８の上端が開口している。なお、理解を容易にするた
め、図２及び図３は厚み方向に強調されて描かれてい
る。
【００１７】開閉枠３は概ね四角形状の枠体であり、中
央部に開口３ａを有する四角形状の枠本体３ｂを有して
いる。開閉枠３の奥側端部は、図２に示すようにヒンジ
１１を介して台本体６に回動自在に連結されている。ま
た、開閉枠３と焼付台２との間には１対のガススプリン
グ１２が設けられており、これによって開閉枠３は常時
上方に緩やかに付勢されている。
央部に開口３ａを有する四角形状の枠本体３ｂを有して
いる。開閉枠３の奥側端部は、図２に示すようにヒンジ
１１を介して台本体６に回動自在に連結されている。ま
た、開閉枠３と焼付台２との間には１対のガススプリン
グ１２が設けられており、これによって開閉枠３は常時
上方に緩やかに付勢されている。
【００１８】開閉枠３の下面には、開口３ａを囲むよう
に、２条の環状シール部１３，１４が取り付けられてい
る。内周側の環状シール部１３は、図２に二点鎖線で示
すように開閉枠３が閉じられた時、原板５０の上面外周
部に弾性的に当接し得るようになっている。また、外周
側の環状シール部１４は、開閉枠３が閉じられた時に、
段部７の上面に弾性的に当接し得るようになっている。
この結果、両環状シール部１３，１４、段部７、台本体
６、原板５０及び開閉枠３で囲まれた空間が外部に対し
て気密状態になる。
に、２条の環状シール部１３，１４が取り付けられてい
る。内周側の環状シール部１３は、図２に二点鎖線で示
すように開閉枠３が閉じられた時、原板５０の上面外周
部に弾性的に当接し得るようになっている。また、外周
側の環状シール部１４は、開閉枠３が閉じられた時に、
段部７の上面に弾性的に当接し得るようになっている。
この結果、両環状シール部１３，１４、段部７、台本体
６、原板５０及び開閉枠３で囲まれた空間が外部に対し
て気密状態になる。
【００１９】次に、上述の実施例を用いて、本発明の一
実施例としての焼付方法を説明する。まず、開閉枠３を
開けた状態で、台本体６上に感光板５１を載置し、その
上に原板５０を重ね合わせる。次に、開閉枠３を図２の
実線状態から二点鎖線の状態に回動させて、開閉枠３の
下面に設けられた環状シール部１３，１４をそれぞれ原
板５０の上面及び段部７の上面に圧接させる。次に、減
圧ポンプ１０を動作させるとともに、バルブ９によって
排気管８を減圧ポンプ１０側に連通させる。これによ
り、段部７の開口７ａ内の密閉空間が減圧状態となる。
このとき、台本体６の上面６ａには溝６ｂが形成されて
いるので、迅速な減圧動作が行える。
実施例としての焼付方法を説明する。まず、開閉枠３を
開けた状態で、台本体６上に感光板５１を載置し、その
上に原板５０を重ね合わせる。次に、開閉枠３を図２の
実線状態から二点鎖線の状態に回動させて、開閉枠３の
下面に設けられた環状シール部１３，１４をそれぞれ原
板５０の上面及び段部７の上面に圧接させる。次に、減
圧ポンプ１０を動作させるとともに、バルブ９によって
排気管８を減圧ポンプ１０側に連通させる。これによ
り、段部７の開口７ａ内の密閉空間が減圧状態となる。
このとき、台本体６の上面６ａには溝６ｂが形成されて
いるので、迅速な減圧動作が行える。
【００２０】十分な減圧状態が得られると、台本体６の
上面６ａに原板５０及び感光板５１が密着した状態とな
る。この状態で光源４を点灯し、開閉枠３の開口３ａを
通じて原板５０及び感光板５１に対して露光処理を施
す。露光処理が完了すれば、バルブ９を大気側に切り換
え、減圧ポンプ１０を停止させる。この結果、段部７の
開口７ａで囲まれた密閉空間内が大気圧に戻る。続い
て、ガススプリング１２によって自動的に開閉枠３が図
２の二点鎖線の状態から実線の状態となる。この状態
で、作業者は原板５０及び感光板５１を台本体６の上面
６ａ上から取り出す。
上面６ａに原板５０及び感光板５１が密着した状態とな
る。この状態で光源４を点灯し、開閉枠３の開口３ａを
通じて原板５０及び感光板５１に対して露光処理を施
す。露光処理が完了すれば、バルブ９を大気側に切り換
え、減圧ポンプ１０を停止させる。この結果、段部７の
開口７ａで囲まれた密閉空間内が大気圧に戻る。続い
て、ガススプリング１２によって自動的に開閉枠３が図
２の二点鎖線の状態から実線の状態となる。この状態
で、作業者は原板５０及び感光板５１を台本体６の上面
６ａ上から取り出す。
【００２１】ここでは、剛性を有する開閉枠３の下面に
設けられた環状シール部１３，１４がそれぞれ原板５０
及び段部７に当接することで密閉空間を構成するので、
減圧動作時における正しい原板５０及び感光板５１の積
層状態が維持され易い。また、剛性を有する開閉枠３を
上下させることで作業が行えるため、作業性が高い。こ
の結果、焼付時の像歪みが小さくなり、かつ作業性が向
上する。
設けられた環状シール部１３，１４がそれぞれ原板５０
及び段部７に当接することで密閉空間を構成するので、
減圧動作時における正しい原板５０及び感光板５１の積
層状態が維持され易い。また、剛性を有する開閉枠３を
上下させることで作業が行えるため、作業性が高い。こ
の結果、焼付時の像歪みが小さくなり、かつ作業性が向
上する。
【００２２】なお、開閉枠３として、たとえば、鉄、ス
テンレス等の高剛性を有するもので構成してもよい。
〔実施例２〕図４の実施例では、前述の実施例の開閉枠
３が省略されている。それ以外の構成は基本的に前述の
実施例と同一であり、使用方法も同一である。
テンレス等の高剛性を有するもので構成してもよい。
〔実施例２〕図４の実施例では、前述の実施例の開閉枠
３が省略されている。それ以外の構成は基本的に前述の
実施例と同一であり、使用方法も同一である。
【００２３】但し、開口７ａ内に密閉空間を形成する構
成及び方法が異なる。ここでは、図５に示すように帯状
の真空用テープ２０を、原板５０の外周部上面と段部７
の内周部上面との間に架け渡すように貼り付けること
で、密閉空間が形成される。この場合には、上述の実施
例の効果に加えて、開閉枠を省略できるという効果があ
る。
成及び方法が異なる。ここでは、図５に示すように帯状
の真空用テープ２０を、原板５０の外周部上面と段部７
の内周部上面との間に架け渡すように貼り付けること
で、密閉空間が形成される。この場合には、上述の実施
例の効果に加えて、開閉枠を省略できるという効果があ
る。
【００２４】また、開口７ａに密閉空間を形成するため
の構成として、図６に示すように、可撓性透明板２１を
原板５０及び段部７の上面全体を連続的に覆う構成とし
てもよい。これによっても、図５の実施例と同様の効果
が得られる。
の構成として、図６に示すように、可撓性透明板２１を
原板５０及び段部７の上面全体を連続的に覆う構成とし
てもよい。これによっても、図５の実施例と同様の効果
が得られる。
【００２５】
（１）本発明に係る真空密着焼付装置では、原板及び感
光板の外周部を覆い得る剛性を有する枠本体を用いてい
るので、密閉空間を形成する作業が容易である。また、
原板と感光板との間の正確な積層状態が維持される。さ
らに、原板と感光板とは平坦な焼付台の上面に密着して
配置されるため、原板及び感光板の歪みは少ない。これ
により、焼付時の像歪みは小さくなり、作業性が向上す
る。
光板の外周部を覆い得る剛性を有する枠本体を用いてい
るので、密閉空間を形成する作業が容易である。また、
原板と感光板との間の正確な積層状態が維持される。さ
らに、原板と感光板とは平坦な焼付台の上面に密着して
配置されるため、原板及び感光板の歪みは少ない。これ
により、焼付時の像歪みは小さくなり、作業性が向上す
る。
【００２６】なお、前記焼付台が、前記原板及び感光板
の載置位置の外周側に上方に突出する環状の弾性体から
なる段部を有し、前記弾性シール部が、前記原板の外周
部に弾性的に当接し得る第１環状シールと、前記段部に
当接し得る第２環状シールとを有する場合には、原板及
び感光板を焼付台本体に載置したときに、原板の上面と
その周囲の上端面との間の高さの差が小さくなり、シー
ル作業が容易となる効果がある。前記焼付台の上面に溝
が形成されている場合には、前記上面と感光板との減圧
が容易となり、真空密着に要する時間が短縮される。 （２）本発明に係る真空密着焼付装置の焼付台では、排
気部が焼付台本体側に設けられているので、排気部によ
り減圧を行って原板と感光板とを密着させる際に、排気
部がその作業に悪影響を及ぼさない。また、環状の段部
が焼付台本体に形成されているので、原板及び感光板を
焼付台本体に載置した状態で、原板の上面とその周囲の
上端面との間の高さの差を小さくすることが可能とな
り、シール作業が容易になる。また、減圧時のシール部
材の変形が小さくなり、原板と感光板との正確な積層姿
勢を維持し易くなる。この結果、高い作業性と焼付時の
像歪みの減少とが達成できる。
の載置位置の外周側に上方に突出する環状の弾性体から
なる段部を有し、前記弾性シール部が、前記原板の外周
部に弾性的に当接し得る第１環状シールと、前記段部に
当接し得る第２環状シールとを有する場合には、原板及
び感光板を焼付台本体に載置したときに、原板の上面と
その周囲の上端面との間の高さの差が小さくなり、シー
ル作業が容易となる効果がある。前記焼付台の上面に溝
が形成されている場合には、前記上面と感光板との減圧
が容易となり、真空密着に要する時間が短縮される。 （２）本発明に係る真空密着焼付装置の焼付台では、排
気部が焼付台本体側に設けられているので、排気部によ
り減圧を行って原板と感光板とを密着させる際に、排気
部がその作業に悪影響を及ぼさない。また、環状の段部
が焼付台本体に形成されているので、原板及び感光板を
焼付台本体に載置した状態で、原板の上面とその周囲の
上端面との間の高さの差を小さくすることが可能とな
り、シール作業が容易になる。また、減圧時のシール部
材の変形が小さくなり、原板と感光板との正確な積層姿
勢を維持し易くなる。この結果、高い作業性と焼付時の
像歪みの減少とが達成できる。
【００２７】なお、前記段部が弾性体で構成されている
場合には、前記効果がより顕著になる。また、前記焼付
台本体の上面が、当該上面と前記感光板との間の減圧を
容易にするための溝を有している場合には、前記効果が
より顕著になる。 （３）本発明に係る真空密着焼付方法では、排気部によ
り減圧を行って原板と感光板とを密着させる際に、排気
部がその作業に悪影響を及ぼさない。また、環状の弾性
体からなる段部が焼付台本体に形成されているので、原
板及び感光板を焼付台本体に載置した状態で、原板の上
面とその周囲の上端面との間の高さの差を小さくするこ
とが可能となり、シール作業が容易になる。また、減圧
時のシール部材の変形が小さくなり、原板と感光板との
正確な積層姿勢を維持し易くなる。この結果、高い作業
性と焼付時の像歪みの減少とが達成される。
場合には、前記効果がより顕著になる。また、前記焼付
台本体の上面が、当該上面と前記感光板との間の減圧を
容易にするための溝を有している場合には、前記効果が
より顕著になる。 （３）本発明に係る真空密着焼付方法では、排気部によ
り減圧を行って原板と感光板とを密着させる際に、排気
部がその作業に悪影響を及ぼさない。また、環状の弾性
体からなる段部が焼付台本体に形成されているので、原
板及び感光板を焼付台本体に載置した状態で、原板の上
面とその周囲の上端面との間の高さの差を小さくするこ
とが可能となり、シール作業が容易になる。また、減圧
時のシール部材の変形が小さくなり、原板と感光板との
正確な積層姿勢を維持し易くなる。この結果、高い作業
性と焼付時の像歪みの減少とが達成される。
【００２８】なお、前記シール工程が、前記原板の外周
部上面と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡
すように貼り付ける工程を含む場合には、前記効果がよ
り顕著になる。さらに、前記シール工程が、前記原板の
上面及び前記段部の上面を連続的に覆う可撓性透明板を
前記原板及び前記段部上に載置する工程を含む場合に
は、前記効果がより顕著になる。
部上面と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡
すように貼り付ける工程を含む場合には、前記効果がよ
り顕著になる。さらに、前記シール工程が、前記原板の
上面及び前記段部の上面を連続的に覆う可撓性透明板を
前記原板及び前記段部上に載置する工程を含む場合に
は、前記効果がより顕著になる。
【図１】本発明の実施例１の斜視図。
【図２】その縦断側面部分概略図。
【図３】その斜視部分図。
【図４】実施例２の図１に相当する図。
【図５】実施例２の一使用状態を示す図２に相当する
図。
図。
【図６】実施例２の別の使用状態を示す図２に相当する
図。
図。
１ 真空密着焼付装置 ２ 焼付台 ３ 開閉枠 ３ａ 開口 ３ｂ 枠本体 ４ 光源 ６ 台本体 ６ａ 上面 ６ｂ 溝 ７ 段部 ７ａ 開口 ８ 排気管 １１ ヒンジ １３，１４ 環状シール部 ５０ 原板 ５１ 感光板 ２０ 真空用テープ ２１ 可撓性透明板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−134321（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−38652（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03B 27/20 G03B 27/02 G03F 7/20 511
Claims (7)
- 【請求項１】パターンが形成された原板と感光板とを密
着させて前記パターンを前記感光板に焼き付ける真空密
着焼付装置であって、前記原板及び感光板の載置位置の外周側に上方に突出す
るとともに弾性体からなる環状の段部を有し、 前記原板
と感光板とを重ねて載置するための、上面が平坦な焼付
台と、 前記原板及び感光板の外周部を覆いつつ中央部を上方に
露出するための開口を有し剛性を有する枠本体と、前記
枠本体の下面において前記開口の外周縁部に前記焼付台
の上面と共同で密閉空間を形成するための弾性シール部
とを有し、前記焼付台上に上方から配置可能な開閉枠
と、 前記焼付台に設けられた、前記密閉空間を減圧状態にす
るための排気部と、 前記焼付台の上方に配置された光源と、 を備え、 前記弾性シール部は、前記原板の外周部に弾性的に当接
し得る第１弾性シールと、前記段部に当接し得る第２弾
性シールとを有する、 真空密着焼付装置。 - 【請求項２】 前記焼付台の上面は、当該上面と前記感光
板との減圧を容易にするための溝を有している、請求項
１に記載の真空密着焼付装置。 - 【請求項３】 パターンが形成された原板と感光板とを密
着させて前記パターンを前記感光板に焼き付ける真空密
着焼付装置の焼付台であって、 前記原板と感光板とを重ねて載置するための、上面が平
坦な焼付台本体と、 前記原板及び感光板の載置位置の外周側において、前記
焼付台本体の上面に上方に突出するように設けられると
ともに、弾性体からなる環状の段部と、 前記焼付台本体に設けられた、前記段部に囲まれた空間
を減圧するための排気部と、 を備えた真空密着焼付装置用焼付台。 - 【請求項４】 前記焼付台の上面は、当該上面と前記感光
板との間の減圧を容易にするための溝を有している、請
求項３に記載の真空密着焼付装置用焼付台。 - 【請求項５】 パターンが形成された原板と感光板とを密
着させて前記パターンを前記感光板に焼き付ける真空密
着焼付方法であって、 前記原板と感光板とを重ねて載置するための上面が平坦
な焼付台本体と、前記原板及び感光板の載置位置の外周
側において、前記焼付台本体の上面に上方に突出するよ
うに設けられるとともに、弾性体からなる環状の段部
と、前記焼付台本体に設けられかつ前記段部に囲まれた
空間を減圧するための排気部とを備えた焼付台を準備す
る準備工程と、 前記焼付台本体上に前記原板と感光板とを重ねて載置す
る載置工程と、 前記原板の外周部上面と前記段部の上面との間をシール
するシール工程と、 前記段部に囲まれた空間を前記排気部により排気する排
気工程と、 前記焼付台本体上で重ねられた前記原板及び感光板に対
して上方より露光処理を施す露光工程と、 を含む真空密着焼付方法。 - 【請求項６】 前記シール工程は、前記原板の外周部上面
と前記段部の上面との間に真空用テープを架け渡すよう
に貼り付ける工程を含む、請求項５に記載の真空密着焼
付方法。 - 【請求項７】 前記シール工程は、前記原板の上面及び前
記段部の上面を連続的に覆う可撓性透明板を前記原板及
び前記段部上に載置する工程を含む、請求項５に記載の
真空密着焼付方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6061621A JP2908979B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 真空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法 |
| KR1019940034633A KR100194403B1 (ko) | 1994-03-30 | 1994-12-16 | 진공밀착인화장치,인화대 및 인화방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6061621A JP2908979B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 真空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270926A JPH07270926A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2908979B2 true JP2908979B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=13176443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6061621A Expired - Fee Related JP2908979B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 真空密着焼付装置、焼付台及び焼付方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908979B2 (ja) |
| KR (1) | KR100194403B1 (ja) |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6061621A patent/JP2908979B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-16 KR KR1019940034633A patent/KR100194403B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100194403B1 (ko) | 1999-06-15 |
| JPH07270926A (ja) | 1995-10-20 |
| KR950027480A (ko) | 1995-10-18 |
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