KR950027480A - 진공밀착인화장치, 인화대 및 인화방법 - Google Patents
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Abstract
인화시의 상왜곡을 작게하고 또한 작업성을 향사시킨다.
진공밀착인화장치(1)는 패턴이 형성된 원판(50)과 감광판(51)을 밀착시켜 해당 패턴을 감광판(51)에 인화하는 장치이다. 이 장치는 대본체(6)와 개페 프레임(3)과 배기관(8)과 광원(4)을 구비하고 있다. 대본체(6)는 상면(6a)이 평탄하게 되어 있다. 개폐 프레임(3)은 원판(50) 및 감광판(51)의 외주부를 덮으면서 중앙부를 상방으로 노출하기 위한 개구(3a)를 가지는 강성을 가지는 프레임 본체(3b)와, 프레임 본체 (3b)의 하면에 있어서 개구(3a)의 외주 테두리부에 대본체(6)의 상면과 공동으로 밀폐공간을 형성하기 위한 환상실부(13, 14)를 가지고 있다. 배기관(8)은 대본체(6)에 설치되어 있고 상기 밀폐공간을 감압상태로 하기 위한 것이다. 광원(4)은 대본체(6)의 상방에 배치되어 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 그 종단측면 부분개략도.
Claims (8)
- 패턴이 형성된 원핀과 감광판을 밀착시켜 상기 패턴를 상기 감광판에 인화하는 진공밀착인화 장치에 있어서, 상기 원판과 감광판을 겹쳐서 얹어놓기 위해 상면이 평탄한 인화대와, 상기 원판 및 감광판의 외주부를 덮으면서 중앙부를 상방으로 노출하기 위한 개구를 가지고 강성을 가지는 프레임 본체와, 상기 프레임 본체의 하면에서 상기 개구의 외주 테두리부에 상기 인화대의 상면과 공동으로 밀폐공간을 형성하기 위한 탄성실부를 형성히기 위한 탄성실부를 가지고, 상기 인화대상에 상방에서 배치가능한 개페 프레임과, 상기 인하대상에 설치된 상기 밀폐공간을 감압상태로 하기 위한 배기부와, 상기 인화대의 상방에 배치된 광원을 구비한 진공밀착인화장치.
- 제1항에 있어서, 상기 인화대는 상기 원판 및 감광판이 얹혀진 위치의 외주측에 상방으로 돌출함과 동시에 탄성체로 된 환상의 단부를 가지고, 상기 탄성실부는 상기 원판의 외주부에 탄성적으로 맞붙을수 있는 제1탄성실과 상기 단부에 맞붙을 있는 제2탄성실을 가지는 진공밀착인화장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 인화대의 상면은 상기 상면과 상기 감광판과의 감압을 용이하게 하기 위한 홈을 가지고 있는 진공밀착인화장치.
- 패턴이 형성된 원판과 감광판을 밀착시켜 상기 패턴을 상기 감광판에 인화하는 진공밀착인화장치의 인화대에 있어서, 상기 원판과 감광판을 겹쳐서 얹어놓기 위해 평탄한 인화대본체와, 상기 원판 및 감광판이 얹혀진 위치의 외주측에서 상기 인화대본체의 상면에 상방으로 돌출하도록 설치됨과 탄성체로 된 환상의 단부와, 상기 인화체본체에 설치된 상기 단부로 둘러싸인 공간을 감압하기 위한 배기구를 구비한 진공밀착인화장치용 인화대.
- 제4항에 있어서, 상기 인화대의 상면은 상기 상면과 상기 감광판과의 사이의 감압을 용이하게 하기 위한 홈을 가지고 있는 진공밀찰인화장치용 인화대.
- 패턴이 형성된 원판과 감광판을 밀착시켜 상기 패턴을 상기 감광판에 인화하는 진공밀착 인화방법에 있어서, 상기 원판과 감광판을 겹쳐서 얹어놓기 위해 상면이 평탄한 인화대본체와, 상기 원판 및 감광판이 얹혀진 위치의 외주측에서 상기 인화대본체의 상면에 상방으로 돌출하도록 설치됨과 동시에 탄성체로 된 환상의 단부와, 상기 인화대본체에 설치되고 또한 상기 단부로 둘러싸인 공간을 감랍하기 위한 배기부를 구비한 인화대를 준비하는 준비공정과, 상기 인화대본체상에 상기 원판과 감광판을 겹쳐서 얹어놓는 얹어놓기 공정과, 상기 원판의 외주부상면과 상기 단부의 상면과의 사이를 실하는 실공정과, 상기 단부로 둘러싸인 공간을 상기 배기부에 의해 배기하는 배기공정과, 상기 인화대본체상에 겹쳐진 상기 원판 및 감광판에 대하여 상방에서 조광처리를 실시하는 노광공정을 포함하는 진공밀착 인화방법.
- 제6항에 있어서, 상기 실공정은 상기 원판의 외주부상면과 상기 단부의 상면과의 사이에 진공용테이프를 걸쳐놓도록 붙이는 공정을 포함하는 진공밀착 인화방법.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 실공정은 상기 원판의 상면 및 상기단부의 상면을 연속적으로 덮는 가용성 투명판을 상기원판 및 상기 단부상에 얹어놓는 공정을 포함하는 진공밀착 인화방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Family Applications (1)
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1994
- 1994-03-30 JP JP6061621A patent/JP2908979B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-16 KR KR1019940034633A patent/KR100194403B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
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