JPH07219234A - 露光機の密着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 密着誤差が少なく、エア抜けのよい密着装置
を提供する。 【構成】 基板１が配置されるテーブル１１と、テーブ
ル１１と狭い間隔ｔ₁ を隔てて配置されており、原版フ
ィルム２が貼付され、開口部１６ａと連通孔１６ｂを有
するフィルム枠１６と、フィルム枠と広い間隔ｔ₂ を隔
てて配置された光透過性板１２と、テーブルとフィルム
枠との間に気密室Ａ１を形成するパッキン１３と、フィ
ルム取付枠と光透過性部材との間に、気密室Ａ１と連通
孔１６ｂによって連通する気密室Ａ２を形成するスペー
サ１５と、気密室内Ａ１，Ａ２を減圧にする吸引装置１
４とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、露光機によって露光す
るときに、感光性を有する基板と絵柄が形成された原版
フィルムとを密着させる密着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、回路パターンが形成された原
版フィルムを、感光性のある基板に密着させて、露光す
ることにより、回路パターンを基板に焼き付けてプリン
ト基板を製造する露光機が知られている。この場合に、
原版フィルムと基板とを密着させる密着装置が用いられ
る。

【０００３】図２は、露光機の密着装置の従来例を示す
模式図である。従来の密着装置は、基板１が位置決め載
置されたテーブル３１と、原版フィルム２が下面に予め
位置決め貼付されたアクリル板又はガラス板などの光透
過性板３２とを、それらの周辺部でパッキン３３によっ
て封止し、テーブル３１、光透過性板３２及びパッキン
３３により形成される気密室Ｃを、真空装置３４によっ
て真空吸引し、基板１と原版フィルム２を密着させてい
た。基板１と原版フィルム２が密着した後に、光透過性
板３２の上方に配置された不図示の露光ランプによっ
て、露光を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の密着装置では、基板１と原版フィルム２との間隔を小
さくすると、精度はよいものの、真空吸引によって周辺
部が先に密着してしまい、中心部のエアーが抜けずに密
着不良になる、という問題があった。

【０００５】逆に、基板１と原版フィルム２との間隔を
大きくすると、光透過性板３２が大きく湾曲して、中心
部から密着してエア抜けはよいももの、原版フィルム２
の伸びやズレが生じて密着誤差が生ずる、という問題が
あった。

【０００６】本発明の目的は、前述した２つの相反する
課題を同時に解決して、密着誤差が少なく、しかも、エ
ア抜けのよい露光機の密着装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、実施例に対応する符号を付して説明す
るが、これに限定されるものではない。すなわち、本発
明による露光機の密着装置は、感光性を有する基板
（１）と絵柄が形成された原版フィルム（２）とを密着
させて露光する露光機において、前記基板が配置される
テーブル（１１）と、前記テーブルと第１の間隔を隔て
て配置されており、前記原版フィルムが貼付され、その
原版フィルムの有効部分に対応する位置に光透過部を有
するとともに、その有効部分以外の部分に連通孔を有す
るフィルム取付部材（１６）と、前記フィルム取付部材
と前記第１の間隔よりも大きい第２の間隔を隔てて配置
された光透過性部材（１２）と、前記テーブルと前記フ
ィルム取付部材との間に第１の気密室を形成する第１の
封止手段（１３）と、前記フィルム取付部材と前記光透
過性部材との間に、前記第１の気密室と前記連通孔によ
って連通する第２の気密室を形成する第２の封止手段
（１５）と、前記第１及び／又は第２の気密室内を減圧
にする減圧手段（１４）とを備えたことを特徴としてい
る。

【０００８】

【作用】本発明によれば、基板と原版フィルムを狭い第
１の間隔により配置できるので、密着精度がよく、第１
及び第２の気密室を同時に減圧していくので、光透過性
板が中央部から撓むとともに、基板と原版フィルムの間
の空気も吸引するので、エア抜けもよい。

【０００９】

【実施例】以下、図面等を参照して、実施例について、
さらに詳しくに説明する。図１は、本発明による密着装
置の実施例を示す模式図である。なお、前述した従来例
と同様な機能を果たす部分には、末尾の符号を統一して
付し、重複する説明を適宜省略する。

【００１０】この実施例の密着装置は、基板１が位置決
め配置されるテーブル１１と、光透過性板１２の間に、
原版フィルム２を位置決め貼付するフィルム枠１６が新
たに付加されている。フィルム枠１６は、ステンレス等
の金属板で作製されており、中央部に露光に必要な広さ
の開口部１６ａが形成されるとともに、四隅に連通孔１
６ｂが形成されている。フィルム枠１６は、ステンレス
等の金属板であるので、原版フィルム２をフィルム枠１
６に貼ったときに、従来のアクリル製などの光透過性板
に直接貼るのと比較して、温度の影響を受けにくい。

【００１１】フィルム枠１６とテーブル１１とは、周辺
部に設けられたパッキン１３によって、間隔ｔ₁ を隔て
て配置されるとともに、テーブル１１、フィルム枠１６
（開口部１６ａを原版フィルム２によって塞がれてい
る）、パッキン１３によって気密室Ａ１が形成される。
また、フィルム枠１６は、周辺部に設けられた気密性の
よいスペーサ１５によって、光透過性板１２に対して、
間隔ｔ₁ よりも大きい間隔ｔ₂ を隔てて配置されるとと
もに、光透過性板１２、フィルム枠１６、スペーサ１５
によって、気密室Ａ２が形成される。各気密室Ａ１，Ａ
２は、フィルム枠１６の連通孔１６ｂによって連通され
ている。

【００１２】この実施例では、吸引装置１４によって、
気密室Ａ１内の空気を吸引するとともに、連通孔１６ｂ
を介して、気密室Ａ２内の空気も吸引する。このとき
に、テーブル１１とフィルム枠１６との間隔ｔ₁ は、狭
くしてあるので、基板１と原版フィルム２が精度よく密
着できる。また、基板１と原版フィルム２との間隔を狭
くしても、気密室Ａ１と気密室Ａ２を同時に吸引してい
くので、光透過性板１２の撓みによって中央部から撓む
とともに、基板１と原版フィルム２の間も吸引するの
で、エア抜けもよい。

【００１３】以上説明した実施例に限定されず、種々の
変形や変更が可能であって、それらも本発明に含まれ
る。例えば、フィルム枠は、光透過性のある材料で作製
すれば、開口部を設ける必要はない。また、スペーサ１
５は、パッキンなどを用いてもよい。なお、基板と原版
フィルムとの位置決めは、テーブル側を位置決め整合し
てもよいし、フィルム取付部材側を位置決め整合しても
よい。また、前工程で整合したものを位置関係を保った
まま搬送してきてもよい。

【００１４】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、基板と原版フィルムを狭い第１の間隔により配置
できるので、密着精度がよく、第１及び第２の気密室を
同時に減圧していくので、光透過性板が中央部から撓む
とともに、基板と原版フィルムの間の空気も吸引するの
で、エア抜けもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による密着装置の実施例を示す模式図で
ある。

【図２】密着装置の従来例を示す模式図である。

【符号の説明】

１１，３１ テーブル １２，３２ 光透過性板 １３，３３ パッキン １４ 吸引装置 １５ スペーサ １６ フィルム枠

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性を有する基板と絵柄が形成された
   原版フィルムとを密着させて露光する露光機において、 前記基板が配置されるテーブルと、 前記テーブルと第１の間隔を隔てて配置されており、前
   記原版フィルムが貼付され、その原版フィルムの有効部
   分に対応する位置に光透過部を有するとともに、その有
   効部分以外の部分に連通孔を有するフィルム取付部材
   と、 前記フィルム取付部材と前記第１の間隔よりも大きい第
   ２の間隔を隔てて配置された光透過性部材と、 前記テーブルと前記フィルム取付部材との間に第１の気
   密室を形成する第１の封止手段と、 前記フィルム取付部材と前記光透過性部材との間に、前
   記第１の気密室と前記連通孔によって連通する第２の気
   密室を形成する第２の封止手段と、 前記第１及び／又は第２の気密室内を減圧にする減圧手
   段とを備えたことを特徴とする露光機の密着装置。