CN217821246U - 一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，包括主体、过滤器、隔绝组件，主体上设有内腔、放置孔、透气孔，放置孔与内腔导通，透气孔与放置孔导通，过滤器固定收容于放置孔内，隔绝组件收容于透气孔内并与透气孔的孔壁紧密连接，隔绝组件一端遮挡过滤器；在对光掩模版进行空运前，可以先将隔绝组件取下，使得内腔内的气体能够与外部气体进行交换，避免气压的变化从而导致光罩防尘膜产生破损或吸到光掩膜版表面的情况发生。

Description

一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构

技术领域

本实用新型涉及微电子制造技术领域，尤其涉及一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构。

背景技术

光掩模版(Photo Mask)也称光罩或MASK。是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具或模版。通过曝光、显影、蚀刻等工序，在玻璃铬版上制作客户需要的微观图形，主要应用于微电子平版印刷。制作光掩模版所使用的原材料——铬版，其是一种硬面光掩模材料，即光掩模基版，它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上铬-氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)制成铬版。经过曝光、显影、蚀刻、脱膜等工序，最终在玻璃基板上将铬膜层制作成客户需要的图形。

掩膜版制作图形线缝不断变小，为防止灰尘对图形曝光的影响，需在高精度掩膜版表面贴上Pellicle(光罩防尘膜)，以阻挡灰尘落在图形上，Pellicle(光罩防尘膜)通过铝框高度，将灰尘与图形表面分离开，在曝光时通过焦平面不同的原理，降低灰尘对图形曝光的影响。

为了防止灰尘进入Pellicle(光罩防尘膜)内部，整个Pellicle(光罩防尘膜)被制作成一个密封的空腔，四周用铝框支撑，下边通过框胶和光掩膜表面粘合，上边用Pellicle(光罩防尘膜)膜和铝框粘合，粘合后，Pellicle(光罩防尘膜)内部空间与外部完全隔绝，气体不能交换。

但由于LCD光掩膜面积较大，对应的Pellicle(光罩防尘膜)也比很大，在航空运输过程中，当气压发生变化，如果内外气体不能交换，表面Pellicle(光罩防尘膜)薄膜有破损或吸到光掩膜版表面的可能。

为此，大尺寸Pellicle(光罩防尘膜)在铝框上增加了透气孔，并在透气孔上覆盖一层灰尘过滤纸，在实现透气的过程中，实现阻挡空气中Particle(灰尘)的进入。

Haze(雾状缺陷)是光掩膜版在客户端使用、存储时，由于客户端空气中有较多的化学物质，其与光掩膜表面残留的化学物质发生反应后，在光掩膜表面生成了结晶状的物质，在光掩膜曝光使用时，这些结晶状的物质会相当于灰尘一样，起到阻光的效果，导致客户曝光图形异常。

常规Haze(雾状缺陷)的预防方法是将光掩膜版尽量清洗干净，减少表面化学物质的残留，以防止Haze(雾状缺陷)的生产，但这种方法无法控制客户端空气中化学物质的多少，很难有效的进行改善。

也有客户通过在光刻机、Mask储藏室增加化学过滤器，将进入光刻机、储藏室空气中的化学物质进行过滤、去除，以实现预防Haze(雾状缺陷)产生的方法，但此方法成本高，投入大，且不能完全防止Haze的产生。

为此，有必要提出一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构来解决上述问题。

本实用新型通过以下技术方案实现的：

本实用新型提出一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，包括主体、过滤器、隔绝组件，所述主体上设有内腔、放置孔、透气孔，所述放置孔与所述内腔导通，所述透气孔与所述放置孔导通，所述过滤器固定收容于所述放置孔内，所述隔绝组件收容于所述透气孔内并与所述透气孔的孔壁紧密连接，所述隔绝组件一端遮挡所述过滤器。

进一步的，所述隔绝组件包括隔绝塞、拉动件，所述拉动件与所述隔绝塞铰接。

进一步的，所述隔绝塞一端设有第一连接位，所述拉动件一端设有第二连接位，所述第一连接位与所述第二连接位铰接。

进一步的，所述主体上设有固定槽，所述隔绝塞上设有固定板，所述固定板收容于所述固定槽内并与所述固定槽的槽壁抵接。

进一步的，所述固定板上设有多个周向均布的第一防滑凸起结构。

进一步的，所述主体上设有两个夹持板，所述拉动件位于两个所述夹持板之间，所述拉动件两侧分别与两个所述夹持板抵接。

进一步的，所述夹持板上设有多个依次排列的第二防滑凸起结构。

进一步的，所述拉动件一端设有用于拿捏的手捏板。

进一步的，所述手捏板上设有多个依次排列的第三防滑凸起结构。

进一步的，所述手捏板上设有用于撬动的扣动位。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提出的一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，包括主体、过滤器、隔绝组件，主体上设有内腔、放置孔、透气孔，放置孔与内腔导通，透气孔与放置孔导通，过滤器固定收容于放置孔内，隔绝组件收容于透气孔内并与透气孔的孔壁紧密连接，隔绝组件一端遮挡过滤器；在对光掩模版进行空运前，可以先将隔绝组件取下，使得内腔内的气体能够与外部气体进行交换，避免气压的变化从而导致光罩防尘膜产生破损或吸到光掩膜版表面的情况发生。

附图说明

图1为本实用新型的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构的分解图；

图2为本实用新型的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构的剖视图；

图3为本实用新型的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构的主体示意图；

图4为本实用新型的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构的拉动件示意图；

图5为本实用新型的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构的隔绝塞示意图。

具体实施方式

为了更加清楚完整的说明本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参考图1-图5，本实用新型提出一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，包括主体1、过滤器2、隔绝组件3，主体1上设有内腔11、放置孔12、透气孔13，放置孔12与内腔11导通，透气孔13与放置孔12导通，过滤器2固定收容于放置孔12内，隔绝组件3收容于透气孔13内并与透气孔13的孔壁紧密连接，隔绝组件3一端遮挡过滤器2。

在本实施方式中：

主体1为铝框以及光罩防尘膜所组成的结构；

放置孔12用于为过滤器2提供一个放置的空间；

透气孔13用于为隔绝组件3提供一个放置的空间；

过滤器2为柱状过滤器；

隔绝组件3用于遮挡空气进入内腔11内；

具体的，在对光掩模版进行空运前，可以先将隔绝组件3取下，使得内腔11内的气体能够与外部气体进行交换，避免气压的变化从而导致光罩防尘膜产生破损或吸到光掩膜版表面的情况发生。

进一步的，隔绝组件3包括隔绝塞31、拉动件32，拉动件32与隔绝塞31铰接；隔绝塞31一端设有第一连接位311，拉动件32一端设有第二连接位321，第一连接位311与第二连接位321铰接；主体1上设有固定槽14，隔绝塞31上设有固定板312，固定板312收容于固定槽14内并与固定槽14的槽壁抵接；固定板312上设有多个周向均布的第一防滑凸起结构3121；主体1上设有两个夹持板15，拉动件32位于两个夹持板15之间，拉动件32两侧分别与两个夹持板15抵接；夹持板15上设有多个依次排列的第二防滑凸起结构151；拉动件32一端设有用于拿捏的手捏板322；手捏板322上设有多个依次排列的第三防滑凸起结构3221；手捏板322上设有用于撬动的扣动位3222。

在本实施方式中：

隔绝塞31用于隔绝内腔11与外部的空气流动；

第一连接位311用于为隔绝塞31提供一个与拉动件32铰接的结构；

固定板312用于为隔绝塞31提供一个限制塞入位置的结构；

第一防滑凸起结构3121用于增加固定板312放置在固定槽14的固定力；

拉动件32用于为用户提供一个拉动隔绝塞31的结构；

第二连接位321用于为拉动件32提供一个与隔绝塞31铰接的结构；

手捏板322用于为用户提供一个能够捏住拉动件32的结构；

第三防滑凸起结构3221用于增强手捏板322的摩擦力；

扣动位3222用于为用户提供一个能够将拉动件32从两个夹持板15之间扣出来的结构；

固定槽14用于为固定板312提供一个放置的空间；

夹持板15共有2个，用于夹持固定拉动件32；

第二防滑凸起结构151用于增大夹持板15在夹持拉动件32时的摩擦力。

当然，本实用新型还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

Claims (10)

1.一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，包括主体、过滤器、隔绝组件，所述主体上设有内腔、放置孔、透气孔，所述放置孔与所述内腔导通，所述透气孔与所述放置孔导通，所述过滤器固定收容于所述放置孔内，所述隔绝组件收容于所述透气孔内并与所述透气孔的孔壁紧密连接，所述隔绝组件一端遮挡所述过滤器。

2.根据权利要求1所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述隔绝组件包括隔绝塞、拉动件，所述拉动件与所述隔绝塞铰接。

3.根据权利要求2所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述隔绝塞一端设有第一连接位，所述拉动件一端设有第二连接位，所述第一连接位与所述第二连接位铰接。

4.根据权利要求2所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述主体上设有固定槽，所述隔绝塞上设有固定板，所述固定板收容于所述固定槽内并与所述固定槽的槽壁抵接。

5.根据权利要求4所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述固定板上设有多个周向均布的第一防滑凸起结构。

6.根据权利要求2所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述主体上设有两个夹持板，所述拉动件位于两个所述夹持板之间，所述拉动件两侧分别与两个所述夹持板抵接。

7.根据权利要求6所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述夹持板上设有多个依次排列的第二防滑凸起结构。

8.根据权利要求2所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述拉动件一端设有用于拿捏的手捏板。

9.根据权利要求8所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述手捏板上设有多个依次排列的第三防滑凸起结构。

10.根据权利要求8所述的用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构，其特征在于，所述手捏板上设有用于撬动的扣动位。

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