JPH0336538A - フィルム密着方法とフィルム密着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プリント配線板や印刷板（版）に露光用フィ
ルムを密着させる、或いは、プリント配線板にドライフ
ィルムを密着させる等、基材にフィルムを密着させる技
術に関する。

〔従来の技術〕

フィルム密着手段としては、圧着手段と真空手段とが知
られている。

圧着手段の第１は、第３図（（）、（［１）に示すよう
に、平板（ｌＯ）上にフィルム（８）と基材（Ａ）とを
重ね合せた状態に載置し、その上にガラス板等の硬質板
（１１）を載置したのち、その壁質板（１１）をバネや
ねじ締めにより平板（ｌＯ）側に押付けてフィルム（８
）と基材（Ａ）とを密着する手段である。

圧着手段の第２は、第４図（（）、（０）に示すように
、前記の圧着手段において硬質板（１１）を可撓性のシ
ート（１２）に代え、シート（１２）をローラ等でこす
りつつ平板（１０）側に押付ける手段である。

真空手段の第１は、第５図（（）、（０）に示す用に、
上面に通気用の溝（１２ａ）が形成され、かつ、周面に
立上り壁（１３ｂ）が形成されたゴム製の台板（１３）
上に基材（Ａ）とフィルム（８）とを重ね合せた状態に
載置し、その上に硬質板（１０）を前記立上り壁（１３
ａ）に密着する状態に載置し、合板（１３）と硬質板（
１０）とで囲まれた空間内から排気することでその空間
内で減圧し、それに伴う空間内圧と大気圧との差圧で立
上り壁（１３ｂ）を変形させつつ合板（１３）を硬質板
（１０）側に押付ける手段である。

真空手段の第２は、第６図ｍ、（０）に示すように、上
面に通気用の溝（１４ａ）が形成された合板（１４）上
に基材（Ａ）とフィルム（８）とを重ね合せた状態に載
置し、その上に可撓性の気密シート（１５）をそれの周
辺部が合板（１４）の外周部に密着する状態に被せ、そ
の状態で合板（１４）と気密シート（１５）とで囲まれ
た空間内から排気することで空間内を減圧し、それに伴
う空間内圧と大気圧との差圧で気密シート（１５）を合
板（１４）側に引張る手段である。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前記従来技術には次のような欠点があった。

圧着手段によるときは、大気中での作業となるため基材
とフィルムとを重ね合せる際、それら間に空気が残留す
る。そして、第１の圧着手段によるときは、平板と硬質
板とで基材とフィルムとを重ね合せ方向から挟み付ける
ことで密着させるため、残留空気をある程度は排出でき
るものの、空気が残留して密着不良の１つである空気留
りができ易い。また、第２の圧着手段によるときは、シ
ート上をローラ等でこすることにより基材とフィルムと
を密着させるため、全体を均一に密着することがむずか
しく、かつ、ローラ等でこすることにより残留空気を排
出できるものの、作業に手間がかかる。

他方、真空手段によるときは、第１１第２のいずれの場
合も、基材とフィルムとを密着させる押付けが排気とと
もに同時進行するため、前述した第１の圧着手段よりも
残留する空気量が少なくて空気留りができにくいものの
、やはり、空気留りができ易い。詳述すると、例えば、
排気に伴って排気口に遠い箇所から次第に基材とフィル
ムとが密着すれば、空気留りはできないのであるが、密
着対象の１つが可撓性のフィルムであるため、排気に伴
ってフィルムのうち排気口に近い部分が遠い部分よりも
先に基材に密着する現象が多々生じ易い。そのような現
象が生じると、排気口に近い密着部によって、排気口に
遠い箇所からの排気が阻害され、いくら排気を強力に行
ってもその遠い箇所が空気留りとして残るのである。

そして、空気留りができることは、前述の密着不良のみ
ならず、フィルムがプリント配線板や印刷板にパターン
を形勢するための露光用フィルムの場合には、空気留り
により像がぼけるといった露光不良を招来する。

本発明の目的は、空気留りの発生を防止でき、かつ、操
作性の良いフィルム密着方法とそれに好適なフィルム密
着装置とを提供する点にある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によるフィルム密着方法の特徴は、基材とフィル
ムとを密閉空間内に収容し、その状態で密閉空間内から
排気して密閉空間内を真空化し、その真空状態で基材と
フィルムとを重ね合せ方向で押し合せて密着する点にあ
る。

本発明によるフィルム密着装置の特徴構成は、基材とフ
ィルムとを出入自在な密閉空間を形成する耐圧容器と、
その耐圧容器内から排気する゛ための排気手段と、前記
耐圧容器内の基材とフィルムとを重ね合せ方向から押し
合せるための加圧手段とを設けてある点にある。

前記加圧手段が、耐圧容器のうち、対向する２つの壁を
近接移動させてそれら２つの壁により、重ね合せた基材
とフィルムとを重ね合せ方向から挟み込む手段であるこ
とが好ましい。

〔作　用〕

上記本発明方法によれば、基材とフィルムとの間から空
気を排出するに、基材とフィルムとを密閉空間内に収容
してその密閉空間内を真空化することにより、基材とフ
ィルムとの間のみならず、それらの周囲も同様に真空化
するため、基材およびフィルム夫々の表裏両面に作用す
る圧力を等しくて、基材とフィルムとの間からの空気排
出に伴って基材とフィルムとに重ね合せ方向の押し合せ
力を作用させることがない。その結果、基材とフィルム
との間から空気を確実に排出することができる。そして
、そのようにして基材とフィルムとの間からの空気排出
を完了した後に、つまり、空気留りのできる原因となる
空気がない状態で基材とフィルムとを重ね合せ方向に押
し合せて密着するから、押し合せ操作として、空気留り
に留意した煩雑な操作が不要で、単に押し合せるだけの
操作で済む。

また、本発明装置によれば、耐圧容器内に基材とフィル
ムとを収容したのち排気手段を作動させ、排気完了後に
加圧手段を作動させることにより、前記の方法を実施で
きる。

特に、請求項３記載のように、耐圧容器の対向する壁に
より基材とフィルムを押し合せる場合は、耐圧容器と加
圧手段との間での部材の兼化を図り得る。

〔発明の効果〕

以上、本発明は、容易な操作をもって、空気留りを発生
させることなく基材とフィルムとを確実に密着させるこ
とができる方法と装置とを提供できるようになった。

特に、請求項２記載のようにすれば、簡単、安価な装置
とすることができる。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を示す。

第１図及び第２図に示すように、プリント配線板（Ａ）
（基材の一例）とそれに対する露光用フィルム（８）と
を密着させるためのフィルム密着装置は、前記プリント
配線、板（Ａ）と露光用フィルム（８）とを収容する密
閉空間（１〉を形成するための耐圧容器（２）と、その
耐圧容器（２）から排気するための排気手段と、加圧手
段とから成る。

前記耐圧容器（２）は、前記プリント配線板（Ａ）・フ
ィルム（８）を重ね合せ状態で載置するための底壁（２
Ａ）と、その底壁（２Ａ）の周部に固着連設した側壁（
２８）と、前記底壁（２Ａ）に対向する天井壁（２Ｃ）
と、位置保持手段から成る。

前記天井壁（２Ｃ）は、側壁（２８）に対して着脱自在
で、かつ、前記側壁（２８）に嵌合した状態で上下方向
、つまり、底壁（２Ａ）に対する遠近方向に平行移動自
在なものであり、周部には、側壁（２８）の内面に摺動
自在に接触するオーリング等のシール材（２ａ）が付設
されている。

かつ、前記底部（２Ａ）及び天井壁（２Ｃ）は、ガラス
板等の剛性を備えた透明板から構成されている。

前記位置保持手段は、前記プリント配線板（Ａ）と露光
用フィルム（８）との重なり物の厚さ（１）よりもやや
大なる距離（Ｌ）（図面では誇張しである。）を底壁（
２Ａ）上面から天井壁（２Ｃ）の下面が隔てて位置する
設定上下位置に前記天井壁（２Ｃ）を保持する保持状態
と、前記設定上下位置よりも下方への天井壁（２Ｃ）の
移動を許容する解除状態とに゛切替自在な手段である。

具体的には、前記側壁（２８）の周方向に間隔を隔てた
複数箇所の夫々に、前記天井壁（２Ｃ）の周部に付設し
た周枠（２ｂ）を載置支持して伸長状態で前記天井壁（
２Ｃ）を前記設定上下位置に保持し、かつ、収縮するこ
とにより天井壁（２Ｃ）の下方への移動を許容するシリ
ンダ（油圧やエアシリンダ等）（３）を設けて構威しで
ある。なお、前記周枠（２ｂ〉は、天井壁（２Ｃ）の保
持枠を兼ねたものである。

もって、耐圧容器（２〉は、天井壁（２Ｃ）を取外すこ
とにより、プリント配線板（Ａ）・露光用フィルム（８
）を出入れできるように構成されており、かつ、重ね合
せ物を底板（２Ａ）と天井壁（２Ｃ）とで挟み付けた状
態でその重ね合せ物の両面に対する露光を行えるように
構成されている。

前記排気手段は、前記耐圧容器（２）の底壁（２Ａ）に
排気口（４）を貫通形成し、・その排気口（４）に配管
（５）を介して接続する真空ポンプ（６）を設け、前記
配管（５）に排気のみを許容する逆止弁（７）を介装し
、前記配管（５〉のうち逆止弁（７）よりも排気口（４
）側の部分に開閉自在な吸気弁（８）を設けて構成され
ている。

前記加圧手段は、前記耐圧容器（２）内に収容されたプ
リント配線板（Ａ）と露光用フィルム（８）とを重なり
合い方向から押し合わせるための手段である。具体的に
は、天井壁（２Ｃ）を設定上下位置に保持した状態の耐
圧容器（２）内が排気手段の作動で真空化されたのち、
天井壁（２Ｃ）に対する保持を解除することにより、耐
圧容器（２）内の圧力と大気圧との圧力差および天井壁
（２Ｃ）の自重を駆動力として、天井壁（２Ｃ）を下方
に移動させることにより、底壁（２Ａ）を天井壁（２Ｃ
）とで重なり物を重ね合わせ方向から挟み込む手段であ
る。

（９）はクツションである。

前記フィルム密着装置を用いて密着する方法を次に述べ
る。

［１］重なり物を耐圧容器（２）内、つまり、密閉空間
（１）に収容し、天井壁（２Ｃ）を設定上下位置に保持
する。

［２コその状態で排気手段を作動させて密閉空間（１）
を設定圧まで真空化する。

［３］その真空状態で位置保持手段を解除状態に切替え
てプリント配線板（Ａ）と露光用フィルムＣ８）とを密
着する。

［４コその状態で露光を行って露光用フィルム（８）の
パターンをプリント配線板（Ａ）に焼付ける。

［５］吸気弁（８）を開いて密閉空間（１）の真空を解
除Ｌ１天井壁（２Ｃ）を取外して重なり物を取り出す。

なお、前記［３］の工程は、排気手段を継続して作動さ
せた状態と停止させた状態のいずれで行っても良い。特
に排気手段を停止させて前記［３コの工程を行う場合は
、［２］の工程での真空化によって残留空気量をゼロに
することは不可能に近く、真空ポンプ（６）のコスト面
等から密閉空間（１）に空気が多少、残留する一方、天
井壁（２Ｃ）の下方への移動に伴って密閉空間（１）の
容積が減少することにより、天井壁（２Ｃ）の下方への
移動に伴って密閉空間（１）の空気密度が上がるから、
プリント配線板（Ａ）と露光用フィルム（８）とを押し
合わせているときの密閉空間（１）の残留空気量を少な
くするために、天井壁（２Ｃ）が設定上下位置にあると
きの密閉空間（１）を可及的、小さくすることが好まし
い。

〔別実施例〕

以下に本発明の別実施例を示す。

［１］上記実施例では、プリント配線板（Ａ）と露光用
フィルム（８）とを密着対象としたが、本発明は、印刷
板と露光用フィルムとの密着、プリント配線板とドライ
フィルムとの密着等、各種産業分野における基材（Ａ）
とフィルム（８）との密着および接着に適用できる。

［２］本発明でいうフィルム（８）とは、露光用フィル
ムのように一般にフィルムと呼ばれているものばかりで
なく、シート、板と呼ばれているものも含む。もちろん
、硬質のものも、軟質のものも含む。

［３］上記実施例における耐圧容器（２）の形状・構造
および、その耐圧容器（２）における位置保持手段の形
状・構造は適宜変更可能である。

［４］上記実施例では、加圧手段として、耐圧容器（２
）の天井壁（２Ｃ）と底壁（２８）とで基材（Ａ）とフ
ィルム（８）とを押し合せるものを示したが、加圧手段
としては、耐圧容器（２）内に位置してローラや板で基
材（Ａ）とフィルム（８）とを押し合せるものであって
も良い。

［５］尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利に
する為に符号を記すが、該記入により本発明は添付図面
の構造に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の実施例を示し、第１図は密
着前の縦断面図、第２図は密着状態の縦断面図である。 第３図乃至第６図は夫々従来例を示し、第３図乃至第６
図の（イ）は密着前の縦断面図、第３図乃至第６図の（
０）は密着状態の縦断面図である。 （Ａ）・・・・・・基材、（８）・・・・・・フィルム
、　（１）・・・・・・密閉空間、（２）・・・・・・
耐圧容器、（２Ａ）、　（２Ｃ）・・・・・・壁。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．基材（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを密閉空間（１）内
   に収容し、その状態で密閉空間（１）内から排気して密
   閉空間（１）内を真空化し、その真空状態で基材（Ａ）
   とフィルム（Ｂ）とを重ね合せ方向で押し合せて密着す
   るフィルム密着方法。
2. ２．基材（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを出入自在な密閉空
   間（１）を形成する耐圧容器（２）と、その耐圧容器（
   ２）内から排気するための排気手段と、前記耐圧容器（
   ２）内の基材（Ａ）とフィルム（Ｂ）とを重ね合せ方向
   から押し合せるための加圧手段とを設けてあるフィルム
   密着装置。
3. ３．前記加圧手段が、耐圧容器（２）のうち、対向する
   ２つの壁（２Ａ），（２Ｃ）を近接移動させてそれら２
   つの壁（２Ａ），（２Ｃ）により、重ね合せた基材（Ａ
   ）とフィルム（８）とを重ね合せ方向から挟み込む手段
   である請求項２記載のフィルム密着装置。