JPH01139238U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01139238U JPH01139238U JP3540888U JP3540888U JPH01139238U JP H01139238 U JPH01139238 U JP H01139238U JP 3540888 U JP3540888 U JP 3540888U JP 3540888 U JP3540888 U JP 3540888U JP H01139238 U JPH01139238 U JP H01139238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- curved surface
- plastic member
- suction chamber
- pattern mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は従来の一例を示す断面図、第３図は従来の一
使用例を示す断面図である。 １……特定の波長の光を発するランプ、２……
光散乱板、３……感光剤を塗布された三次元曲面
をもつプラスチツク部材、４……位置決め固定台
、５……原画パターンマスク、６……吸引室、７
……真空ポンプ、８……カバー、９……マスク押
え治具、１０……装置カバー蝶番部、１１……装
置カバー取手、１２……特定の波長の光を発する
ランプ、１３……反射鏡、１４……カラーフイル
ム、１５……露光台、１６……真空ポンプ、１７
……感光剤を塗布された平面プリント基板、１８
……原画パターンマスク、１９……感光剤を塗布
された三次元曲面をもつプラスチツク部材、２０
……原画パターンマスク、２１……パツキング、
２２……穴。
図は従来の一例を示す断面図、第３図は従来の一
使用例を示す断面図である。 １……特定の波長の光を発するランプ、２……
光散乱板、３……感光剤を塗布された三次元曲面
をもつプラスチツク部材、４……位置決め固定台
、５……原画パターンマスク、６……吸引室、７
……真空ポンプ、８……カバー、９……マスク押
え治具、１０……装置カバー蝶番部、１１……装
置カバー取手、１２……特定の波長の光を発する
ランプ、１３……反射鏡、１４……カラーフイル
ム、１５……露光台、１６……真空ポンプ、１７
……感光剤を塗布された平面プリント基板、１８
……原画パターンマスク、１９……感光剤を塗布
された三次元曲面をもつプラスチツク部材、２０
……原画パターンマスク、２１……パツキング、
２２……穴。
Claims (1)
- 装置上部に位置し所定の波長の光を発するラン
プと、前記ランプの下に位置し表面に凸凹を有す
る透明な光散乱板と、前記光散乱板をはさんで前
記ランプに対向した位置の一面に三次元曲面を持
つプラスチツク部材の対面を位置決め固定する台
と、前記プラスチツク部材の三次元曲面と同一の
曲面をもち対象物によつて変換可能で可とう性、
気密性をもちしかも全周を押え治具で装置に密着
固定できる原画パターンマスクと、一面を前記原
画パターンマスクで密封した吸引室と、前記吸引
室に接続した真空ポンプと、内部を紫外線遮断す
る開閉自在なカバーとを含むことを特徴とする三
次元パターン形成用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3540888U JPH01139238U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3540888U JPH01139238U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139238U true JPH01139238U (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=31262056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3540888U Pending JPH01139238U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139238U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003066615A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Nec Toppan Circuit Solutions Inc | パターン露光方法 |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3540888U patent/JPH01139238U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003066615A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Nec Toppan Circuit Solutions Inc | パターン露光方法 |
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