JP2001241393A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 外部の容器に連設され該外部の容器内の気体を吸入する吸入口が一端部に形成された外筒部と、
   前記外筒部内に回転可能に収納されるロータ部と、
   前記外筒部内に配設され、前記ロータ部とともに前記吸入口から吸入された前記気体の移送部を形成するステータ部と、
   前記ロータ部を浮上支持する磁気軸受と、
   前記ロータ部を回転駆動させるモータ部と、
   前記外筒部の他端側において前記外筒部及び前記ステータ部を支持するベースと、
   前記外筒部及び前記ステータ部のうちの少なくとも一方と前記ベースとの間に介在配置されて、前記外筒部及び前記ステータ部のうちの前記少なくとも一方を前記ベースに対して変位可能に支持する振動吸収性部材と、を備えた真空ポンプであって、
   前記振動吸収性部材は、定格回転数で回転している前記ロータ部の、コニカルモードにおける章動の固有振動数をｆ１とし、パラレルモードにおける固有振動数をｆ２とし、コニカルモードにおける歳差運動の固有振動数をｆ３とした場合に、Ｆ＝（ｆ１＋ｆ３）／２±（ｆ１−ｆ３）／４の関係を満たす固有振動数Ｆを有するものであることを特徴とする真空ポンプ。
2. 前記振動吸収性部材は、シリコンゲルであることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 前記ステータ部と前記ベースとの間に前記振動吸収性部材が介在配置されており、
   前記ステータ部の前記ベースに対する変位可能な範囲を規制する変位規制手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空ポンプ。
4. 前記ステータ部は、前記ベースの表面に略平行に張り出す張出部を備え、
   前記張出部にはその周回り方向に複数の規制孔が形成されており、
   前記変位規制手段は、前記振動吸収性部材よりも高い剛性の材料で形成され、前記張出部の前記規制孔に遊挿され先端を前記ステータに固定される規制ボルトと、規制部材とを含み、
   前記規制部材は、前記規制ボルトの前記軸の周囲に固定され前記張出部の前記規制孔の周面から離間する規制筒と、該規制筒の両端部それぞれから外方に延設され、前記張出部を間にして該張出部から離間して配置される２つの板状部とを備えることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
5. 外部の容器に連設され該外部の容器内の気体を吸入するための吸入口が形成されたフランジ部と、
   前記フランジ部に一端側が連接又は一体成形された外筒部と、
   前記外筒部の他端側に連接され、前記フランジ部及び前記外筒部とともに前記吸入口を介して前記外部の容器内と連続する中空部を形成するベースと、
   前記ベースに支持され前記中空部内に収納されるステータ部と、
   前記中空部内に収納されるロータ部と、
   前記ロータ部を前記ステータ部に対して回転可能に支承する軸受と、
   前記軸受に支承される前記ロータ部を前記ステータ部に対して回転させるモータと、を備えた真空ポンプであって、
   前記フランジ部、前記外筒部、前記ベース、前記ステータ部、及びこれらの間を連接する連接部、のうちの少なくとも一つに、弾性及び／又は粘性により振動の伝播を低減する振動吸収性の材料を含む振動吸収手段が配設されている
   ことを特徴とする真空ポンプ。
6. 前記外筒部に、前記中空部内の気体を排出するための排出口が形成されており、
   前記振動吸収手段は、前記フランジ部、前記外筒部、及び前記外筒部と前記フランジ部との連接部のうちの少なくとも１つに配設されている
   ことを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプ。
7. 前記ベースに、前記中空部内の気体を排出するための排出口が形成されており、
   前記振動吸収手段は、前記フランジ部、前記外筒部、前記ベース、及びこれらの間の連接部、のうちの少なくとも一つに配設されている
   ことを特徴とする請求項５または請求項６に記載の真空ポンプ。
8. 前記振動吸収手段は、ばね部材、ゴムにより形成されたゴム部材、ゲル材により形成されたゲル部材、及びベローズのうちの少なくとも１つを用いる
   ことを特徴とする請求項５から請求項７のうちの一つの請求項に記載の真空ポンプ。
9. 前記フランジ部は、前記外筒部と別体として形成されており、
   前記振動吸収手段は、前記フランジ部と前記外筒部との連接部に配設されている
   ことを特徴とする請求項５から請求項８のうちの一つの請求項に記載の真空ポンプ。
10. 前記フランジ部の前記外筒部に対する位置を所定範囲内に規制する規制手段を具備する
    ことを特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ。
11. 前記ステータ部及び前記ロータ部をそれらの径方向外方から包囲するシート状の磁気シールド部材を、前記外筒部の内周面に沿って配設する
    ことを特徴とする請求項５から請求項１０のうちのいずれか一つの請求項に記載の真空ポンプ。
12. 前記外筒部と前記フランジ部との連接部に、電気的高絶縁抵抗材料で形成された絶縁部を具備する
    ことを特徴とする請求項５から請求項１１のうちのいずれか一つの請求項に記載の真空ポンプ。