JP2001202798A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
の短縮を図り得る試験回路を備えた半導体装置を提供す
る。 【解決手段】内部回路1は、第一の基準クロック信号C
LKに基づいて動作し、入出力回路15は、第二の基準
クロック信号DQSに基づいて、内部回路1から出力さ
れるデータDQの出力動作と、内部回路1へのデータ入
力動作とを行う。比較判定回路16は、第二の基準クロ
ック信号DQSに基づいて、内部回路1から出力される
被判定データDQと該被判定データの期待値EXとが一
致するか否かを比較判定した判定結果TRを出力する。
Description
動作及びデータ読み出し動作をクロック信号に同期して
行うシンクロナスDRAMに関するものである。
にともない、DRAM等のメモリの動作速度の高速化が
進み、データ書き込み動作及びデータ読み出し動作をク
ロック信号に同期して行うシンクロナスDRAM(SD
RAM)が実用化されるに至った。また、SDRAMに
おいても、動作速度の更なる高速化を図るために、SD
R(single data rate)からDDR(double data
rate)へと移行している。そして、このようなDDRS
DRAMの動作試験を確実にかつ低コストで行うことが
必要となっている。
に対して、書き込み動作及び読み出し動作のデータレー
トを2倍に向上させたものである。その読み出し動作を
図16に従って説明する。
ドReadが入力されると、基準クロック信号CLKの
立ち上がりに基づいてその読み出しコマンドReadが
取り込まれ、所定のリードレイテンシーRL後に、第二
の基準クロック信号DQSと、出力データDQの出力が
開始される。
クロック信号DQSの立ち上がり及び立ち下がりに同期
して出力されるため、既存のSDRAMに対し、データ
レートは2倍となる。
信号DQSと入力データDQが入力され、第二の基準ク
ロック信号DQSの立ち上がり及び立ち下がりに同期し
て書き込み動作が行われる。
行うには、そのデータレートが既存の試験装置のデータ
レートを上回っていることがある。そこで、DDRSD
RAMには、試験装置とデータレートを適合させるため
のテスト回路があらかじめ搭載されている。
明する。基準クロック信号CLK及び動作制御信号CM
に基づいて、メモリ回路1から並行して読み出される読
み出しデータDaN,DbNは、マルチプレクサ回路2
に入力される。
り換え回路3により制御される。すなわち、テストモー
ド切り換え回路3は、スイッチ回路SW1,SW2を備
え、通常モード時にはスイッチ回路SW1を介して第二
の基準クロック信号DQSをマルチプレクサ回路2に出
力し、テストモード時には第二の基準クロック信号DQ
Sに加えて、スイッチ回路SW2を介して読み出しデー
タDaN,DbNのいすれかを選択するための選択信号
SLをマルチプレクサ回路2に出力する。
に、第二の基準クロック信号DQSのみが入力される
と、図16に示すように、その立ち上がり及び立ち下が
りに基づいて、読み出しデータDaN,DbNを交互に
出力し、その読み出しデータDaN,DbNが出力回路
4から出力データDQとして出力される。
ード時に、第二の基準クロック信号DQSに加えて、例
えばHレベルの選択信号SLが入力されると、図18に
示すように、読み出しデータDaNを第二の基準クロッ
ク信号DQSの立ち上がりに基づいて出力し、その読み
出しデータDaNが出力回路4から出力データDQとし
て出力される。
ると、読み出しデータDbNを第二の基準クロック信号
DQSの立ち上がりに基づいて出力し、その読み出しデ
ータDbNが出力回路4から出力データDQとして出力
される。
のデータレートを1/2として、動作速度の遅い試験装
置に出力データDQが入力される。そして、試験装置で
は、あらかじめ書き込まれた書き込みデータと、出力デ
ータDQとを比較することにより、当該DDRSDRA
Mが正常に動作しているか否かが判定される。
なテスト回路による動作試験では、試験装置に出力デー
タDQを出力するデータレートが1/2となるため、全
記憶セルのセル情報を読み出す場合、通常のデータレー
トで出力データDQを出力する場合に比して、2倍の時
間が必要となる。従って、試験時間及び試験コストが増
大するという問題点がある。
ta rateの正常なデータレートで出力データDQを出力
しているか否かを検出することができないという問題点
もある。
は、外部から供給される基準クロック信号を分周する分
周回路を備え、その分周回路の分周信号を上記第二の基
準クロック信号として使用することにより、試験装置に
合わせてデータレートを低下させる構成が開示されてい
る。
の動作遅延時間により、基準クロック信号の立ち上がり
と、分周信号の立ち上がりとの間に時間的ずれが生じる
と、試験装置により書き込みデータの読み出しデータと
の比較を正常に行うことができなくなることがある。
ずれを解消するような制御回路をテスト回路内に搭載す
ると、テスト回路の回路規模及び回路面積が増大し、か
つ素子数の多い分周回路を搭載すること自体、テスト回
路の回路規模及び回路面積を増大させるという問題点が
ある。
ことなく、動作試験時間の短縮を図り得る試験回路を備
えた半導体装置を提供することにある。
説明図である。すなわち、内部回路1は、第一の基準ク
ロック信号CLKに基づいて動作し、入出力回路15
は、第二の基準クロック信号DQSに基づいて、前記内
部回路1から出力されるデータDQの出力動作と、前記
内部回路1へのデータ入力動作とを行う。比較判定回路
16は、前記第二の基準クロック信号DQSに基づい
て、前記内部回路1から出力される被判定データDQと
該被判定データの期待値EXとが一致するか否かを比較
判定した判定結果TRを出力する。
路は、前記被判定データと期待値とを比較した比較結果
を出力する比較回路と、前記比較結果に基づいて、前記
被判定データが正常か否かを判定した判定結果を出力す
る判定回路とから構成した。
較回路は、シリアルデータとして入力される前記被判定
データを、前記第二の基準クロック信号に基づいてパラ
レルデータに変換することにより、該被判定データの出
力周波数を低下させるシリアル−パラレル変換部と、前
記シリアル−パラレル変換部から出力される各被判定デ
ータと前記期待値とが一致するか否かを比較結果として
出力する比較部とから構成し、前記判定回路は、前記比
較結果がすべて正常か否かを判定した前記判定結果を、
前記第二の基準クロック信号に同期して出力する。
パラレル変換部は、前記第二の基準クロック信号の立ち
上がり及び立ち下がりに基づいて交互に導通する一対の
スイッチ回路と、前記各スイッチ回路を介して入力され
る前記被判定データをそれぞれラッチするラッチ回路と
から構成した。
回路は、シリアルデータとして入力される前記被判定デ
ータを前記期待値と順次比較して前記比較結果を出力す
る構成とし、前記判定回路は、シリアルデータとして入
力される前記比較結果を、前記第二の基準クロック信号
に基づいてパラレルデータに変換することにより、該比
較結果の出力周波数を低下させるシリアル−パラレル変
換部と、前記シリアル−パラレル変換部から出力される
比較結果がすべて正常か否かを判定した前記判定結果
を、前記第二の基準クロック信号に同期して出力する判
定部とから構成した。
パラレル変換部は、前記第二の基準クロック信号の立ち
上がり及び立ち下がりに基づいて交互に導通する一対の
スイッチ回路と、前記各スイッチ回路を介して入力され
る前記比較結果をそれぞれラッチするラッチ回路とから
構成した。
及び判定回路には、位相シフト回路を介して前記第二の
基準クロック信号を入力して、該第二の基準クロック信
号の位相を調節可能とした。
の発明を具体化した第一の実施の形態を示す。前記従来
例と同一構成部分は、同一符号を付して説明する。
は、前記従来例と同様であり、基準クロック信号CLK
及び動作制御信号CMが入力される。そして、基準クロ
ック信号CLK及び読み出しコマンドReadの入力に
基づいて、読み出しデータDaN,DbN(N=1,2
・・)をマルチプレクサ回路2に出力する。
ック信号DQSの入力に基づいて、読み出しデータDa
N,DbNを交互に出力する。出力回路4は、マルチプ
レクサ回路2から出力された読み出しデータDaN,D
bNを、外部へ出力データDQとして出力する。
3を介して比較回路5に入力され、前記第二の基準クロ
ック信号DQSは、スイッチ回路SW4を介して比較回
路5に入力される。
モリ回路1にあらかじめ書き込まれた書き込みデータが
期待値EXとして入力される。そして、比較回路5は、
出力データDQと期待値EXとを比較して、その比較結
果CRを判定回路6に出力する。
ック信号DQSがスイッチ回路SW4を介して入力さ
れ、その第二の基準クロック信号DQSと前記比較結果
CRとに基づいて、判定結果TRを外部試験装置に出力
する。
トモード切り換え回路を構成し、テストモード時に導通
するように構成される。そして、前記スイッチ回路SW
3,SW4及び比較回路5及び判定回路6とで試験回路
が構成される。
す。すなわち、図3に示す比較回路5aは、前記出力デ
ータDQが転送ゲート9aを介してラッチ回路8aに入
力され、転送ゲート9bを介してラッチ回路8bに入力
される。
記転送ゲート9aのNチャネル側ゲートに入力されると
ともに、前記転送ゲート9bのPチャネル側ゲートに入
力される。
は、インバータ回路10aを介して前記転送ゲート9a
のPチャネル側ゲートに入力されるとともに、前記転送
ゲート9bのNチャネル側ゲートに入力される。
SがHレベルとなると、転送ゲート9aが導通するとと
もに、転送ゲート9bが不導通となる。また、第二の基
準クロック信号DQSがLレベルとなると、転送ゲート
9aが導通するとともに、転送ゲート9bが不導通とな
る。
回路7aに入力され、そのEOR回路7aには、期待値
EXが入力される。前記ラッチ回路8bの出力信号は、
EOR回路7bに入力され、そのEOR回路7bには、
期待値EXが入力される。
1が出力され、EOR回路7bから比較結果CR2が出
力される。このように構成された比較回路5aでは、入
力データDQとして読み出しデータDaN,DbNが交
互に入力されると、第二の基準クロック信号DQSの立
ち上がり及び立ち下がりに基づいて、読み出しデータD
aNがラッチ回路8aに順次ラッチされ、読み出しデー
タDbNがラッチ回路8bに順次ラッチされる。
がEOR回路7a,7bで期待値EXと比較され、ラッ
チ回路8a,8bの出力信号と期待値EXとが一致する
と、Lレベルの比較結果CR1,CR2が出力され、ラ
ッチ回路8a,8bの出力信号と期待値EXとが一致し
ないと、Hレベルの比較結果CR1,CR2が出力され
る。
す。図4に示す判定回路6aは、前記比較回路5aから
出力される比較結果CR1,CR2がOR回路12aに
入力され、そのOR回路12aの出力信号がNチャネル
MOSトランジスタTr1を介してラッチ回路8cに入力
される。
の基準クロック信号DQSがインバータ回路10bを介
して入力される。そして、ラッチ回路8cから判定結果
TRが出力される。
比較回路5aから出力される比較結果CR1,CR2が
ともにLレベルとなると、OR回路12aの出力信号が
Lレベルとなり、少なくともいずれかがHレベルとなる
とOR回路12aの出力信号がHレベルとなる。
立ち下がりに基づいて、OR回路12aの出力信号がラ
ッチ回路8cでラッチされて、判定信号TRとして出力
される。
RAMの試験回路の動作を図5に従って説明する。メモ
リ回路1内の各記憶セルには、試験に先立って、たとえ
ば「1」のセル情報を書き込む。次いで、テストモード
を設定すると、スイッチ回路SW3,SW4が導通状態
となる。
信号CLK及び読み出し制御信号Readが入力され、
メモリ回路1において読み出し制御信号Readを取り
込んでから、所定のレイテンシーRLを経た後(図5に
おいてはRL=2)、マルチプレクサ回路2に第二の基
準クロック信号DQSが入力されると、メモリ回路1か
ら読み出しデータDaN,DbNが出力され、第二の基
準クロック信号DQSの立ち上がり及び立ち下がりに基
づいて、マルチプレクサ回路2から読み出しデータDa
N,DbNが交互に出力され、その読み出しデータDa
N,DbNが出力回路4から出力データDQとして出力
される。
QS及び出力データDQが入力されると、第二の基準ク
ロック信号DQSの立ち上がり及び立ち下がりに基づい
て、ラッチ回路8a,8bに読み出しデータDaN,D
bNが順次ラッチされる。
と、期待値EXとがEOR回路7a,7bで順次比較さ
れ、その比較結果CR1,CR2が第二の基準クロック
信号DQSの半周期分ずれた状態で、順次出力される。
き込みデータに基づいてHレベルであるので、読み出し
データDaN,DbNがHレベルであれば、比較結果C
R1,CR2はLレベルとなる。
2がOR回路12aに入力され、そのOR回路12aの
出力信号が第二の基準クロック信号DQSの立ち下がり
に基づいて、判定結果TRとして出力される。
Lレベルであれば、判定結果TRもLレベルとなる。一
方、図5に示すように、例えば読み出しデータDa3に
エラーが発生してLレベルとなると、比較結果CR1は
第二の基準クロック信号DQSの立ち上がりに基づいて
Hレベルとなる。
ロック信号DQSの次の立ち下がりに基づいてHレベル
の判定結果TRを出力する。この結果、試験装置では、
当該DDRSDRAMの動作不良を検出可能となる。
の試験回路では、次に示す作用効果を得ることができ
る。 (1)DDRSDRAMの読み出し動作のデータレート
を外部試験装置に合わせて低下させることなく、動作試
験を行うことができるので、試験時間の短縮を図ること
ができる。
させることなく、DDRSDRAMの通常のデータレー
トで動作試験を行うことができるので、外部試験装置の
動作速度の向上を図る必要はない。
RAMに搭載する試験回路は小規模な回路であるので、
DDRSDRAMのチップ面積の増大を防止することが
できる。 (第二の実施の形態)この実施の形態は、前記第一の実
施の形態の比較回路5a及び判定回路6aの構成を変更
したものである。
〜9f、インバータ回路10c,10d、ラッチ回路8
d〜8g及びEOR回路7d〜7gは、前記比較回路5
aを二組ならべた構成であり、転送ゲート9c,9dに
は前記出力データDQがNチャネルMOSトランジスタ
Tr2を介して入力され、転送ゲート9e,9fには前記
出力データDQがNチャネルMOSトランジスタTr3を
介して入力される。
は、カウンタ回路11aの出力信号が入力され、そのカ
ウンタ回路11aには、前記第二の基準クロック信号D
QSが入力される。
第二の基準クロック信号DQSをカウントして、第二の
基準クロック信号DQSの1周期毎に、トランジスタT
r2,Tr3を交互にオンさせるようになっている。
出力データDQ及び第二の基準クロック信号DQSが入
力されると、まず第二の基準クロック信号DQSの立ち
上がりでラッチ回路8dに読み出しデータDa1がラッ
チされ、次の第二の基準クロック信号DQSの立ち下が
りでラッチ回路8eに読み出しデータDb1がラッチさ
れ、次の第二の基準クロック信号DQSの立ち上がりで
ラッチ回路8fに読み出しデータDa2がラッチされ、
次の第二の基準クロック信号DQSの立ち下がりでラッ
チ回路8gに読み出しデータDb2がラッチされ、この
ような動作が順次繰り返される。
読み出しデータが第二の基準クロック信号DQSの半周
期分ずつずれた状態で、それぞれ2周期の間ラッチされ
る。そして、各ラッチ回路8d〜8gの出力信号がEO
R回路7d〜7gで期待値EXと比較され、比較結果C
R3〜CR6がEOR回路7d〜7gから出力される。
6を入力する判定回路は、前記第一の実施の形態の判定
回路6aのOR回路12aを4入力とした構成とすれば
よい。
第一の実施の形態と同様な作用効果を得ることができる
とともに、ラッチ回路8d〜8gの出力信号の周波数を
第一の実施の形態のラッチ回路8a,8bの出力信号の
1/2とすることができるので、さらに安定した比較動
作及び判定動作を行うことができる。 (第三の実施の形態)この実施の形態は、前記第一の実
施の形態の比較回路5a及び判定回路6aの構成を変更
したものである。
4から出力される出力データDQと期待値EXが入力さ
れるEOR回路7hで構成される。このような構成によ
り、比較回路5cは出力データDQと期待値EXが一致
したときLレベル、一致しないときHレベルの比較結果
CRを出力する。
示すように、ラッチ回路8hを介して出力データDQを
EOR回路7iに入力した比較回路5dとしてもよい。
この比較回路5dは、ラッチ回路8hの動作により、比
較回路5cに比して、比較動作が安定する。なお、この
比較回路5c,5dには、第二の基準クロック信号DQ
Sを入力する必要はない。
CRが転送ゲート9gを介してラッチ回路8iに入力さ
れ、転送ゲート9hを介してラッチ回路8jに入力され
る。前記第二の基準クロック信号DQSは、前記転送ゲ
ート9gのNチャネル側ゲートに入力されるとともに、
前記転送ゲート9hのPチャネル側ゲートに入力され
る。
は、インバータ回路10eを介して前記転送ゲート9g
のPチャネル側ゲートに入力されるとともに、前記転送
ゲート9hのNチャネル側ゲートに入力される。
SがHレベルとなると、転送ゲート9gが導通するとと
もに、転送ゲート9hが不導通となる。また、第二の基
準クロック信号DQSがLレベルとなると、転送ゲート
9hが導通するとともに、転送ゲート9gが不導通とな
る。
OR回路12bに入力され、そのOR回路12bの出力
信号は、NチャネルMOSトランジスタTr4を介してラ
ッチ回路8kに入力される。
二の基準クロック信号DQSがインバータ回路10fを
介して入力される。そして、ラッチ回路8kから前記判
定結果TRが出力される。
第二の基準クロック信号DQSがHレベルとなると、転
送ゲート9gが導通するとともに、転送ゲート9hが不
導通となる。すると、比較結果CRが転送ゲート9gを
介してラッチ回路8iでラッチされ、OR回路12bに
出力される。
ルとなると、転送ゲート9hが導通するとともに、転送
ゲート9gが不導通となる。すると、比較結果CRが転
送ゲート9hを介してラッチ回路8jでラッチされ、O
R回路12bに出力される。
の出力信号のOR論理を出力する。そして、第二の基準
クロック信号DQSがLレベルとなると、トランジスタ
Tr4がオンされて、OR回路12bの出力信号がラッチ
回路8kでラッチされ、判定結果TRとして出力され
る。
データDQとして出力される読み出しデータDaN,D
bNが比較回路5c若しくは同5dで期待値EXと順次
比較され、比較結果CRが判定回路6bに入力される。
の比較回路5aと類似した動作により、読み出しデータ
DaN,DbNの比較結果CRがラッチ回路8i,8j
に順次ラッチされ、そのラッチ回路8i,8jの出力信
号がOR回路12bに入力される。
jの出力信号がともにLレベルの場合に限り、Lレベル
の出力信号を出力する。そして、第二の基準クロック信
号DQSの立ち下がりに基づいて、OR回路12bの出
力信号が判定結果TRとして出力される。
試験回路では、前記第一の実施の形態と同様な作用効果
を得ることができる。 (第四の実施の形態)この実施の形態は、前記第三の実
施の形態の判定回路6bの構成を、図10に示す判定回
路6cに変更したものであり、比較回路は第三の実施の
形態の比較回路5c若しくは同5dと同様である。
11b、トランジスタTr5,Tr6、転送ゲート9i〜9
m、インバータ回路10g,10h及びラッチ回路8l
〜8pの構成及び動作は、図6に示す比較回路5bと同
様である。
R回路12cに入力され、そのOR回路12cの出力信
号はNチャネルMOSトランジスタTr7を介してラッチ
回路8qに入力される。
ロック信号DQSをカウントする毎にカウント信号N
1,N2を交互にHレベルとして、トランジスタTr5,
Tr6を交互にオンさせる。
に入力され、そのAND回路13には、第二の基準クロ
ック信号DQSがインバータ回路10iを介して入力さ
れている。そして、AND回路13の出力信号が前記ト
ランジスタTr7のゲートに入力される。
号N2がHレベルの状態で、第二の基準クロック信号D
QSがLレベルに立ち下がると、AND回路13の出力
信号がHレベルとなってトランジスタTr7がオンされ、
OR回路12cの出力信号がラッチ回路8qでラッチさ
れて、判定信号TRとして出力される。
図11に従って説明する。テストモードが設定されて、
出力回路4から読み出しデータDaN,DbNが出力デ
ータDQとして出力されるまでは、前記第一の実施の形
態と同様である。
ータDaN,DbNが入力されると、その読み出しデー
タDaN,DbNと期待値EXとの比較結果CRが判定
回路6cに順次出力される。
N,DbNがカウンタ回路11bのカウント信号N1,
N2及び第二の基準クロック信号DQSに基づいてラッ
チ回路8l〜8pに順次ラッチされ、各ラッチ回路8l
〜8pの出力信号のOR論理がOR回路12cから出力
される。
る状態で、第二の基準クロック信号DQSがLレベルに
立ち下がると、OR回路12cの出力信号がラッチ回路
8qでラッチされて、判定結果TRとして出力される。
レベルの比較結果CRが入力されつづければ、判定結果
TRもLレベルとなる。一方、例えば読み出しデータD
a3にエラーが発生してLレベルとなると、比較結果C
Rは読み出しデータDa3の入力に基づいてHレベルと
なる。
がラッチ回路8mにラッチされた後、カウント信号N2
がHレベルとなり、かつ第二の基準クロック信号DQS
がLレベルに立ち下がった時点で、Hレベルの判定結果
TRを出力する。この結果、試験装置では、当該DDR
SDRAMの動作不良を検出可能となる。
の試験回路では、前記第一の実施の形態で得られた作用
効果に加えて、次に示す作用効果を得ることができる。 (1)ラッチ回路8l〜8pの出力信号の周波数を第一
の実施の形態のラッチ回路8a,8bの出力信号の1/
2とすることができるので、さらに安定した判定動作を
行うことができる。
データDQの出力周波数の1/8とし、かつ第二の基準
クロック信号DQSの1/4とすることができるので、
外部試験装置により、動作不良の判定を確実に行うこと
ができる。 (第五の実施の形態)図12は、第一の実施の形態のメ
モリ回路1のリードレイテンシーRLが2.5に設定さ
れている場合の試験回路の動作を示す。
a及び判定回路6aは、基準クロック信号CLKに関わ
らず、第二の基準クロック信号DQSのみに基づいて動
作するため、リードレイテンシーRLが変化しても、ま
ったく同様に動作する。
リードレイテンシーRLに関わらず、安定して動作す
る。また、前記第二〜第四の実施の形態の試験回路につ
いても、同様にメモリ回路1のリードレイテンシーRL
に関わらず、安定して動作する。 (第六の実施の形態)図13は、第六の実施の形態を示
す。この実施の形態は、前記第一の実施の形態の試験回
路に位相シフト回路14を加えたものであり、第二の基
準クロック信号DQSが位相シフト回路14を介して比
較回路5及び判定回路6に供給されている。
示す。すなわち、第二の基準クロック信号DQSは、イ
ンバータ回路10jに入力され、そのインバータ回路1
0jの入力端子には複数のNチャネルMOSトランジス
タTrnのドレインが接続される。
れ容量Cを介してグランドGNDに接続される。前記ト
ランジスタTrnのゲートには、それぞれ位相制御信号P
Hが入力される。前記位相制御信号PHは、例えば外部
試験装置から入力され、前記トランジスタTrnのうちい
ずれのトランジスタTrnをオン動作させるかを選択可能
となっている。
インバータ回路10kを介して位相シフト信号DQSP
として出力される。このように構成された位相シフト回
路14では、位相制御信号PHにより、オンさせるトラ
ンジスタTrnの数を調節することにより、インバータ回
路10jの入力端子の容量が調節される。
の容量値により、位相シフト信号DQSPは第二のクロ
ック信号DQSに対し遅延した信号となり、その容量値
を調節することにより、位相シフト信号DQSPの遅延
量を調節可能である。
た試験回路では、図15に示すように、テストモード時
に位相シフト信号DQSPの遅延量を調節することによ
り、比較回路5aでの読み出しデータDaN,DbNの
ラッチタイミングの変更が可能となる。
を調節して、Lレベルの判定信号TRが正常に出力され
る範囲を検出することにより、各読み出しデータDa
N,DbNのデータ出力期間等の測定を行うことができ
る。
ることもできる。 ・DDRSDRAMに搭載する試験回路以外に、高速で
データを出力する半導体装置の試験回路として使用して
もよい。
積を増大させることなく、動作試験時間の短縮を図り得
る試験回路を備えた半導体装置を提供することができ
る。
ある。
ある。
形図である。
ある。
ある。
路図である。
ある。
である。
波形図である。
波形図である。
る。
回路図である。
波形図である。
波形図である。
ブロック図である。
る。
Claims (10)
- 【請求項1】 第一の基準クロック信号に基づいて動作
する内部回路と、 第二の基準クロック信号に基づいて、前記内部回路から
出力されるデータの出力動作と、前記内部回路へのデー
タ入力動作とを行う入出力回路とを備えた半導体装置で
あって、 前記第二の基準クロック信号に基づいて、前記内部回路
から出力される被判定データと、該被判定データの期待
値とが一致するか否かを比較判定した判定結果を出力す
る比較判定回路を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 前記比較判定回路は、 前記被判定データと期待値とを比較した比較結果を出力
する比較回路と、 前記比較結果に基づいて、前記被判定データが正常か否
かを判定した判定結果を出力する判定回路とから構成し
たことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項3】 前記比較回路は、 シリアルデータとして入力される前記被判定データを、
前記第二の基準クロック信号に基づいてパラレルデータ
に変換することにより、該被判定データの出力周波数を
低下させるシリアル−パラレル変換部と、 前記シリアル−パラレル変換部から出力される各被判定
データと前記期待値とが一致するか否かを比較結果とし
て出力する比較部とから構成し、 前記判定回路は、 前記比較結果がすべて正常か否かを判定した前記判定結
果を、前記第二の基準クロック信号に同期して出力する
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 【請求項4】 前記シリアル−パラレル変換部は、 前記第二の基準クロック信号の立ち上がり及び立ち下が
りに基づいて交互に導通する一対のスイッチ回路と、 前記各スイッチ回路を介して入力される前記被判定デー
タをそれぞれラッチするラッチ回路とから構成したこと
を特徴とする請求項3記載の半導体装置。 - 【請求項5】 前記シリアル−パラレル変換部は、 前記第二の基準クロック信号の立ち上がり及び立ち下が
りに基づいて交互に導通する複数対のスイッチ回路と、 前記各スイッチ回路を介して入力される前記被判定デー
タをそれぞれラッチするラッチ回路と、 前記第二の基準クロック信号をカウントしたカウント値
に基づいて、前記複数対のスイッチ回路の中からいずれ
かの対を順次選択して、前記被判定データを選択した対
のスイッチ回路に出力する選択回路とから構成したこと
を特徴とする請求項3記載の半導体装置。 - 【請求項6】 前記比較回路は、 シリアルデータとして入力される前記被判定データを前
記期待値と順次比較して前記比較結果を出力する構成と
し、 前記判定回路は、 シリアルデータとして入力される前記比較結果を、前記
第二の基準クロック信号に基づいてパラレルデータに変
換することにより、該比較結果の出力周波数を低下させ
るシリアル−パラレル変換部と、 前記シリアル−パラレル変換部から出力される比較結果
がすべて正常か否かを判定した前記判定結果を、前記第
二の基準クロック信号に同期して出力する判定部とから
構成したことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 【請求項7】 前記シリアル−パラレル変換部は、 前記第二の基準クロック信号の立ち上がり及び立ち下が
りに基づいて交互に導通する一対のスイッチ回路と、 前記各スイッチ回路を介して入力される前記比較結果を
それぞれラッチするラッチ回路とから構成したことを特
徴とする請求項6記載の半導体装置。 - 【請求項8】 前記シリアル−パラレル変換部は、 前記第二の基準クロック信号の立ち上がり及び立ち下が
りに基づいて交互に導通する複数対のスイッチ回路と、 前記各スイッチ回路を介して入力される前記比較結果を
それぞれラッチするラッチ回路と、 前記第二の基準クロック信号をカウントしたカウント値
に基づいて、前記複数対のスイッチ回路の中からいずれ
かの対を順次選択して、前記比較結果を選択した対のス
イッチ回路に出力する選択回路とから構成したことを特
徴とする請求項6記載の半導体装置。 - 【請求項9】 前記比較回路及び判定回路には、位相シ
フト回路を介して前記第二の基準クロック信号を入力し
て、該第二の基準クロック信号の位相を調節可能とした
ことを特徴とする請求項2乃至8のいずれかに記載の半
導体装置。 - 【請求項10】 前記被判定信号は、DDRSDRAM
の読み出しデータとしたことを特徴とする請求項1乃至
9のいずれかに記載の半導体装置。
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