JP3667690B2 - 出力バッファ回路及び半導体集積回路装置 - Google Patents

出力バッファ回路及び半導体集積回路装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路装置の出力バッファ回路に関し、特に外部からの制御信号にしたがって出力インピーダンスの切り替えが可能な出力バッファ回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体集積回路装置を用いたシステムでは、処理の高速化がより一層進んだ結果、例えば、数百MHzのクロックで動作するDRAM(Dynamic Random Access Memory)やSDRAM(Synchronous DRAM)等の記憶装置が用いられるようになってきた。また、低消費電力化の要求に応じて電源電圧が低下し、例えば、1.5V程度の低電圧で動作する半導体集積回路装置も用いられる。
【0003】
このように高速でかつ低電圧で動作するシステムでは、電源電圧や周囲温度の変動、あるいは素子性能の違いに対して、半導体集積回路装置が備える出力バッファ回路の駆動能力やスルーレートの変動を抑制し、ノイズの増大や誤動作を防止することが重要になる。
【0004】
従来の出力バッファ回路のうち、出力インピーダンスを変えて駆動能力を変える構成は、例えば、特開平05−175444号公報、あるいは特開平2−092019号公報等で提案されている。一方、出力パルス波形のtr(立ち上がり時間)/tf(立ち下がり時間)を変えてスルーレートを変えるための構成は、例えば、特開2001−68986号公報、あるいは特開2000−332593号公報等で提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
DDR(Double data rate)−SDRAMのように、システムクロックCLKの立ち上がりと立ち下がりタイミングでそれぞれデータを出力する(図11参照)記憶装置からのデータを受信する半導体集積回路装置では、データ送信側の出力タイミング(図11の立ち上がり波形と立ち下がり波形のクロスポイントCP)がシステムクロックCLKに対して半周期(tck/2)以上ずれると、送信されたデータを正しく受け取ることができなくなる。特に実際のシステムでは、配線による遅延等もあるため、クロスポイントCPの変動を許容するマージン(ウィンドウ)が非常に少なくなる。
【0006】
また、出力バッファ回路のスルーレートが小さくなった場合、高速動作させる際に出力パルスの振幅を最大値にすることができないため、「1」または「0」の論理を正しく判定することができなくなる。一方、出力バッファ回路のスルーレートが大きくなった場合、高周波成分の増大により出力パルスの波形が歪んでしまうため、ノイズが増加することでシステムの誤動作の要因となる。
【0007】
そこで、データ送信側でクロスポイントCPやスルーレートの変動を補償すればよいが、例えば、出力インピーダンスを調整しただけではクロスポイントCPやスルーレートの変動を補償できるものではない。また、スルーレートだけを調整しても、クロスポイントCPやスルーレートは出力インピーダンス及び電源電圧のそれぞれの変動に依存するため、高速でかつ低電圧で動作するシステムで必要な変動範囲内に十分に補償することができない。
【0008】
特に、スルーレートだけを調整した場合は、駆動能力の低下により出力信号のHighレベルが低下したりLowレベルが上昇したときに「1」または「0」の論理を正しく判定することができなくなる。また、出力バッファ回路の出力インピーダンスは、システムに実装された状態でも負荷電流や出力レベルをモニタすることで変動を容易に検出することが可能であるが、スルーレートはモニタすることが容易でないため変動を検出することが困難であるという問題もある。
【0009】
上記したような従来の出力バッファ回路は、出力インピーダンスまたはスルーレートのいずれか一方だけを調整する構成を提案したものであり、システムに実装された状態で、電源電圧や周囲温度の変動に対してクロスポイントやスルーレートの変動を十分に補償することができないという問題があった。
【0010】
また、クロスポイントやスルーレートを制御する場合、以下に記載する問題も生じる。
【0011】
一般に、高速に動作するDDR−DRAM等の半導体集積回路装置を有するシステムでは、システムクロックに該半導体集積回路装置が備える出力バッファ回路のデータ出力タイミングを一致させるために、DLLやPLL等から成る位相同期回路が用いられる。位相同期回路は出力バッファ回路と同様の遅延量を有する回路を利用して出力バッファ回路の遅延量をモニタし、システムクロックから該遅延量を補償するための補償クロックを生成し、生成した補償クロックに出力バッファ回路のデータ出力タイミングを同期させる回路である。
【0012】
システム性能を向上させるために出力バッファ回路のインピーダンスやスルーレートを制御する場合、出力バッファ回路のデータ出力タイミングはインピーダンスやスルーレートを制御することで変動する。
【0013】
したがって、システムクロックに出力バッファ回路のデータ出力タイミングを正確に一致させるためには、上記出力バッファ回路のモニタ回路も出力バッファ回路の遅延量の変動に応じて遅延量を変える必要がある。
【0014】
本発明は上記したような従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、システムに実装された状態でも電源電圧や周囲温度の変動に対して出力パルスの立ち上がり波形と立ち下がり波形のクロスポイントの変動やスルーレートの変動を十分に補償することが可能な出力バッファ回路を提供することを目的とする。
【0015】
また、本発明はインピーダンス及びスルーレートを制御する半導体集積回路においても出力バッファ回路のデータ出力タイミングの変動を十分に補償することが可能な位相同期回路を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の出力バッファ回路は、入力されたパルス波形から成るデータを所定の出力インピーダンス及びスルーレートで出力するための出力バッファ回路であって、
前記データにしたがって負荷を駆動する少なくとも1対の第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタと共に前記負荷を駆動する少なくとも1対の第2のpチャネルMOSトランジスタ及び第2のnチャネルMOSトランジスタを備えたメインドライバ部と、
前記データにしたがって前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第3のpチャネルMOSトランジスタ及び第3のnチャネルMOSトランジスタ、前記データにしたがって前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第4のpチャネルMOSトランジスタ及び第4のnチャネルMOSトランジスタ、前記第3のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第4のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタを備えたプリドライバ部と、
前記第2のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第5のnチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御し、前記第2のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第5のpチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御するための制御信号をそれぞれ生成する制御部と、
を有する構成である。
【0017】
このとき、前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第5のpチャネルMOSトランジスタの数とが等しくてもよく、
前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第5のpチャネルMOSトランジスタの数とが異なっていてもよい。
【0018】
また、本発明の他の出力バッファ回路は、入力されたパルス波形から成るデータを所定の出力インピーダンス及びスルーレートで出力するための出力バッファ回路であって、
前記データにしたがって負荷を駆動する少なくとも1対の第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタと共に前記負荷を駆動する少なくとも1対の第2のpチャネルMOSトランジスタ及び第2のnチャネルMOSトランジスタを備えたメインドライバ部と、
前記データにしたがって前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第3のpチャネルMOSトランジスタ及び第3のnチャネルMOSトランジスタ、前記データにしたがって前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第4のpチャネルMOSトランジスタ及び第4のnチャネルMOSトランジスタ、前記第3のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、前記第3のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタ、前記第4のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第6のpチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第4のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第6のnチャネルMOSトランジスタを備えたプリドライバ部と、
前記第2のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第5のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第5のnチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御し、前記第2のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第6のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第6のnチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御するための制御信号をそれぞれ生成する制御部と、
を有する構成である。
【0019】
このとき、前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ、前記第5のpチャネルMOSトランジスタ、前記第6のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第6のpチャネルMOSトランジスタの数とが等しくてもよく、
前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ、前記第5のpチャネルMOSトランジスタ、前記第6のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第6のpチャネルMOSトランジスタの数とが異なっていてもよい。
【0020】
なお、前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタは、
オンした状態で前記メインドライバ部から出力されるパルスの立ち上がり時間及び立ち下がり時間に対する影響が少ない、前記第1のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第1のnチャネルMOSトランジスタよりもゲート幅が狭く形成された小さいデバイスサイズであることが望ましい。
【0021】
一方、本発明の半導体集積回路装置は、上記記載のいずれかの出力バッファ回路と、
前記出力バッファ回路と同様に構成され、前記制御信号にしたがって前記出力バッファ回路と同様にトランジスタの動作がそれぞれ制御される、前記出力バッファ回路とのトランジスタサイズ比に基づいて前記出力バッファ回路の実負荷から求められた擬似負荷が出力に接続されるディレイモニタ回路と、
を有する構成である。
【0022】
または、上記記載のいずれかの出力バッファ回路と、
前記データの出力タイミングをそれぞれ所定量だけ遅延させる複数のキャパシタ、及び前記制御信号にしたがって前記キャパシタによる遅延を有効または無効にそれぞれ切り換える複数のスイッチを備え、前記出力バッファ回路とのトランジスタサイズ比に基づいて前記出力バッファ回路の実負荷から求められた擬似負荷が出力に接続されるディレイモニタ回路と、
を有する構成である。
【0023】
ここで、前記ディレイモニタ回路が備えるトランジスタは、
前記出力バッファ回路が備えるトランジスタよりもゲート幅が狭く形成された小さいデバイスサイズであることが望ましい。
【0024】
上記のように構成された出力バッファ回路では、メインドライバ部に第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタと共に負荷を駆動する少なくとも1対の第2のpチャネルMOSトランジスタ及び第2のnチャネルMOSトランジスタを備え、プリドライバ部に第3のnチャネルMOSトランジスタと共に第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、並びに第4のpチャネルMOSトランジスタと共に第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタを備えることで、同一の制御信号により出力インピーダンス及び出力パルスのスルーレートを同時に調整することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
次に本発明について図面を参照して説明する。
【0026】
まず、本発明の出力バッファ回路を備える半導体集積回路装置の一例として、DRAM(SDRAM等を含む)の構成を説明する。
【0027】
図1は本発明の出力バッファ回路を備える半導体集積回路装置であるDRAMの一構成例を示すブロック図である。
【0028】
図1に示すように、DRAMは、データが格納される複数のメモリセルから成るメモリアレイ1と、データの書き込み/読み出しを行うメモリセルに対してアクセスするためにアドレス(Ai)をデコードするXデコーダ(X−DEC)2及びYデコーダ(Y−DEC)3と、外部から入力されるアドレスを一時的に保持するROWアドレスバッファ4及びCOLUMアドレスバッファ5と、外部から入力される各種制御信号にしたがってDRAMの動作を制御するコントロール回路6と、外部から入力される各種制御信号にしたがってDRAMを所定の動作モードで動作させるモードコントロール回路7と、メモリアレイ1から読み出された出力データを一時的に保持すると共に所定のタイミングでDQ端子から出力する出力バッファ回路8と、システムクロックCLKに出力バッファ回路のデータ出力タイミングを一致させるための位相同期回路9とを有する構成である。
【0029】
なお、メモリアレイ1に格納されたデータは不図示のセンスアンプによって読み出されて出力バッファ回路8に転送される。また、DRAMに格納するデータはDQ端子を介して入力され、不図示のドライバ回路によって書き込みアドレスに対応するメモリセルに書き込まれる。
【0030】
コントロール回路6には、例えば、/RAS(Row Address Strobe command)、/CAS(Column Address Strobe command)、/WE(Write Enable)、/CS(Chip select)、CKE(Clock Enable)、CLK(Clock)、/CLK、DM(input/output mask)等の制御信号が入力される。なお、「/」はLowレベル時に有意な信号であることを示す。
【0031】
このような構成において、上述したように、メモリアレイ1から不図示のセンスアンプによって読み出されたデータは、不図示のバッファメモリで一旦保持され、コントロール回路6及びモードコントロール回路7による制御タイミングにしたがって出力バッファ回路8からDQ端子を介して外部に出力される。一方、外部からDQ端子を介して入力されたデータは不図示のバッファメモリに一旦保持され、コントロール回路6及びモードコントロール回路7による制御タイミングにしたがって不図示の書き込みアンプを介してメモリアレイ1に書き込まれる。このとき、出力バッファ回路8はコントロール回路6からの制御信号にしたがってその出力がHighインピーダンスで維持される。
【0032】
位相同期回路9は、上述したようにDLLやPLL等から構成され、不図示の出力バッファ回路8と同様の遅延量を有する回路により出力バッファ回路8の遅延量をモニタし、システムクロックCLKから該遅延量を補償するための補償クロックCLKOEを生成し、生成した補償クロックCLKOEを出力バッファ回路8に供給する。出力バッファ回路8は位相同期回路9から供給された補償クロックCLKOEにデータ出力タイミングを同期させて出力する。なお、出力バッファ回路8の遅延量をモニタするための回路は、後述する制御信号φ1〜φN、/φ1〜/φNにより出力インピーダンス、スルーレート、あるいは遅延量が制御される。
【0033】
(第1の実施の形態)
次に本発明の出力バッファ回路の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0034】
図2は本発明の出力バッファ回路の第1の実施の形態の構成を示す回路図である。
【0035】
図2に示すように、本実施形態の出力バッファ回路は、DQ端子に繋がる負荷を駆動する、出力インピーダンスが変更可能なメインドライバ部11と、センスアンプ等から読み出されたデータ(DATA)にしたがってメインドライバ部11を駆動する、該メインドライバ部11の出力パルスのtr/tfを変更するためのプリドライバ部12と、コントロール回路等から供給される制御信号φ1〜φ6にしたがってメインドライバ部11の出力インピーダンス及び出力パルスのtr/tfを変更するための信号を生成する制御部13とを有する構成である。なお、図2に示す制御信号/φ1〜/φ6は、制御信号φ1〜φ6をそれぞれ反転させた信号であり、図2では制御信号φ1〜φ6を反転させるためのインバータ回路がそれぞれ省略されている。制御信号φ1〜φ6は外部から図2に示した出力バッファ回路を含む半導体集積回路装置の外部から入力されるコマンドにしたがって、例えばコントロール回路により生成されて供給される信号である。また、図2に示す出力バッファ回路に供給されるデータは、図1に示した位相同期回路から出力された補償クロックCLKOEに同期させた後の信号とする。
【0036】
メインドライバ部11は、ドレインがそれぞれ共通に接続された4対のpチャネルMOSトランジスタ(以下、pMOSトランジスタと称す)QP1〜QP4及びnチャネルMOSトランジスタ(以下、nMOSトランジスタと称す)QN1〜QN4を有する構成である。
【0037】
pMOSトランジスタQP1〜QP4のソースはそれぞれ電源VDDに接続され、nMOSトランジスタQN1〜QN4のソースはそれぞれ接地電位に接続され、pMOSトランジスタQP1〜QP4及びnMOSトランジスタQN1〜QN4のドレインはそれぞれDQ端子に接続される。また、pMOSトランジスタQP1及びnMOSトランジスタQN1のゲートはそれぞれプリドライバ部12に接続され、pMOSトランジスタQP2〜QP4及びnMOSトランジスタQN2〜QN4のゲートはそれぞれ制御部13に接続される。
【0038】
pMOSトランジスタQP2〜QP4はpMOSトランジスタQP1と共にDQ端子に繋がる負荷を駆動することでメインドライバ部11のHighデータ出力時の出力インピーダンスを調整するためのものである。また、nMOSトランジスタQN2〜QN4はnMOSトランジスタQN1と共に負荷を駆動することでメインドライバ部11のLowデータ出力時の出力インピーダンスを調整するためのものである。
【0039】
pMOSトランジスタQP2〜QP4及びnMOSトランジスタQN2〜QN4は、出力パルスのtr/tfへの影響が少ないpMOSトランジスタQP1及びnMOSトランジスタQN1よりも小さいデバイスサイズ(ゲート幅が狭い)のトランジスタが用いられる。pMOSトランジスタQP1に並列に接続するpMOSトランジスタの数、及びnMOSトランジスタQN1に並列に接続するnMOSトランジスタの数は3つに限定されるものではなく、少なくとも1つ以上であればいくつであってもよい。
【0040】
プリドライバ部12は、メインドライバ部11のpMOSトランジスタQP1を駆動するためのpMOSトランジスタQP11及びnMOSトランジスタQN11と、nMOSトランジスタQN11によるpMOSトランジスタQP1の駆動能力を調整するためのnMOSトランジスタQN12〜QN14と、nMOSトランジスタQN12〜QN14をON/OFFさせるnMOSトランジスタQN15〜QN17と、メインドライバ部11のnMOSトランジスタQN1を駆動するためのpMOSトランジスタQP21及びnMOSトランジスタQN21と、pMOSトランジスタQP21によるnMOSトランジスタQN1の駆動能力を調整するためのpMOSトランジスタQP22〜QP24と、pMOSトランジスタQP22〜QP24をON/OFFさせるpMOSトランジスタQP25〜QP27とを有する構成である。nMOSトランジスタQN15〜QN17は制御信号φ1〜φ3で制御され、pMOSトランジスタQP25〜QP27は制御信号/φ4〜/φ6で制御される。なお、図2では、pMOSトランジスタQP11及びnMOSトランジスタQN11を外部から供給されるデータ(DATA)にしたがって駆動するインバータINV1、及びpMOSトランジスタQP21及びnMOSトランジスタQN21を外部から供給されるデータ(DATA)にしたがって駆動するインバータINV2を備える構成を例示しているが、インバータINV1、INV2は論理上問題がなければ無くてもよく、論理を反転しないドライバ回路であってもよい。
【0041】
nMOSトランジスタQN12〜QN14は、nMOSトランジスタQN11と共に負荷であるpMOSトランジスタQP1を駆動することでpMOSトランジスタQP1がOFFからONする時間、すなわちメインドライバ部11の出力パルスの立ち上がり時間trを調整するためのものである。また、pMOSトランジスタQP22〜QP24は、pMOSトランジスタQP21と共に負荷であるnMOSトランジスタQN1を駆動することでnMOSトランジスタQN1がOFFからONする時間、すなわちメインドライバ部11の出力パルスの立ち下がり時間tfを調整するためのものである。nMOSトランジスタQN11に並列に接続するnMOSトランジスタの数、pMOSトランジスタQP21に並列に接続するpMOSトランジスタの数は3つに限定されるものではなく、少なくとも1つ以上であればいくつであってもよい。
【0042】
制御部13は、外部から供給される制御信号φ1〜φ6にしたがって、メインドライバ部11のpMOSトランジスタQP2〜QP4及びnMOSトランジスタQN2〜QN4、並びにプリドライバ部12のnMOSトランジスタQN15〜QN17及びpMOSトランジスタQP25〜QP27とをそれぞれON/OFFさせるための信号を生成する論理和ゲートNOR1〜3、論理積ゲートNAND1〜3、及びインバータINV11〜16から成る論理回路である。
【0043】
なお、図2では、上述したようにnMOSトランジスタQN15〜QN17のON/OFFを制御信号φ1〜φ3で制御することで、nMOSトランジスタQN12〜QN14をnMOSトランジスタQN11と共に駆動させ、pMOSトランジスタQP25〜QP27のON/OFFを制御信号/φ4〜/φ6で制御することで、pMOSトランジスタQP22〜QP24をpMOSトランジスタQP21と共に駆動させる構成を示している。しかしながら、プリドライバ部12は、メインドライバ部11と同様に、制御部13の論理回路から出力される制御信号によりnMOSトランジスタQN12〜QN14及びpMOSトランジスタQP22〜QP24をそれぞれ直接動作させて、nMOSトランジスタQN12〜QN14をnMOSトランジスタQN11と共に駆動させ、pMOSトランジスタQP22〜QP24をpMOSトランジスタQP21と共に駆動させる構成であってもよい。
【0044】
逆に、メインドライバ部11は、プリドライバ部12と同様に、pMOSトランジスタQP2〜QP4に対してそれぞれ直列にpMOSトランジスタXP2〜XP4を接続し、nMOSトランジスタQN2〜QN4に対してそれぞれ直列にnMOSトランジスタXN2〜XN4を接続し、pMOSトランジスタXP2〜XP4のON/OFFを制御信号/φ1〜/φ3で制御することで、pMOSトランジスタQP2〜QP4をpMOSトランジスタQP1と共に駆動させ、nMOSトランジスタXN2〜XN4のON/OFFを制御信号φ4〜φ6で制御することで、nMOSトランジスタQN2〜QN4をnMOSトランジスタQN1と共に駆動させる構成であってもよい。
【0045】
このような構成において、図2に示した出力バッファ回路の出力インピーダンスを調整する場合、上述したように、制御信号/φ1〜/φ3をLowレベルにすることで、対応するpMOSトランジスタQP2〜QP4をONさせ、Highデータ出力時の出力インピーダンスを小さくする。このとき、ONさせるpMOSトランジスタの数が多いほど出力インピーダンスはより小さい値になる。同様に、制御信号φ4〜φ6をHighレベルにすることで、対応するnMOSトランジスタQN2〜QN4をONさせ、Lowデータ出力時の出力インピーダンスを小さくする。このとき、ONさせるnMOSトランジスタの数が多いほど出力インピーダンスはより小さい値になる。
【0046】
一方、出力パルスのtr/tf(スルーレート)を調整する場合、制御信号φ1〜φ3をHighレベルにすることで、対応するnMOSトランジスタQN12〜QN14をONさせ、LowデータからHighデータへの切り換わり時の立ち上がり時間trを短くする。このとき、ONさせるnMOSトランジスタの数が多いほど立ち上がり時間trはより短縮する。同様に、制御信号/φ4〜/φ6をLowレベルにすることで、対応するpMOSトランジスタQP22〜QP24をONさせ、HighデータからLowデータへの切り換わり時の立ち下がり時間tfを短くする。このとき、ONさせるpMOSトランジスタの数が多いほど立ち下がり時間tfはより短縮する。
【0047】
本実施形態では、出力インピーダンスの調整とtr/tfの調整とを同時に行う構成であり、例えば、出力インピーダンスを1段階下げるために制御信号/φ1をLowレベル、制御信号φ4をHighレベルにすると、同時に、/φ1を反転させたφ1がHighレベルになってnMOSトランジスタQN12、QN15をそれぞれONさせ、φ4を反転させた/φ4がLowレベルになってpMOSトランジスタQP22、QP25をそれぞれONさせるため、tr/tfがそれぞれ1段階づつ短縮する。同様に、出力インピーダンスを2段階下げればtr/tfもそれぞれ2段階短縮し、出力インピーダンスを3段階下げればtr/tfもそれぞれ3段階短縮する。なお、Highデータ出力時の出力インピーダンスと立ち上がり時間tr、あるいはLowデータ出力時の出力インピーダンスと立ち下がり時間tfは、それぞれ独立して調整することも可能である。
【0048】
上述したように、pMOSトランジスタQP2〜QP4及びnMOSトランジスタQN2〜QN4は、pMOSトランジスタQP1及びnMOSトランジスタQN1に比べてtr/tfへの影響が少ない小さいデバイスサイズのトランジスタであるため、図2に示した構成では、pMOSトランジスタQP1及びnMOSトランジスタQN1でのみtr/tfを調整する構成を示している。pMOSトランジスタQP2〜QP4及びnMOSトランジスタQN2〜QN4のサイズがそれぞれ大きい場合は、各々のトランジスタでtr/tfを調整する構成であってもよい。その場合、インバータINV11〜INV16をそれぞれプリドライバ部と同様な構成にする必要があるため、回路規模が大きくなってしまう。したがって、図2に示すような1対のpMOSトランジスタQP1及びnMOSトランジスタQN1でtr/tfを調整する構成が好ましい。
【0049】
また、図2に示した構成では、出力インピーダンスの調整段階とtr/tfの調整段階の数がそれぞれ等しい構成を示しているが、これらは一致している必要はなく異なっていてもよい。例えば、図3に示すように、メインドライバ部に8対のpMOSトランジスタとnMOSトランジスタを設け、出力インピーダンスが7段階に調整可能な構成にし、tr/tfは図2と同様に3段階に調整する構成にしてもよい。
【0050】
一般に、出力バッファ回路の出力インピーダンスが電源電圧や周囲温度の変動によって大きくなると、出力パルスのtr/tfも大きく(長く)なる方向に変化する。したがって、予め出力バッファ回路の出力インピーダンスの変化量とtr/tfの変化量の関係を求めておけば、その出力インピーダンスの補正量と出力パルスのtr/tfの補正量が定まるので、同一の制御信号で出力インピーダンスと出力パルスのtr/tfとを同時に補正することができる。これにより、データ受信側における誤動作が防止され、電源電圧や周囲温度が変動しても正常に動作するシステムを得ることができる。
【0051】
本実施形態では、出力インピーダンスを大きくすると共にtr/tfが長くなるように制御して出力バッファ回路の出力レベルと出力信号のクロスポイントの変動を補正している。例えば、図4のシミュレーション結果で示すように、tr/tfを制御しない場合に比べてtr/tfを制御した場合の方が、tr/tfのクロスポイントの変動幅が約2/3程度に抑制されていることが分かる。なお、図4では、tr/tfが最悪の状態(worst condition)に対して、tr/tfを制御する場合、tr/tfを制御しない場合のそれぞれの最良の状態(best condition)を示している。また、図4では、tr/tfを制御する場合、tr/tfを制御しない場合共に出力インピーダンスの制御を行っている場合のシミュレーション結果を示している。
【0052】
また、図5のシミュレーション結果で示すように、tr/tfを制御しない場合に比べてtr/tfを制御した場合の方がスルーレートの変動幅が約1/3程度に抑制されていることが分かる。なお、図5では、tr/tfを制御しない場合で、かつ電源電圧が最小でスルーレートが最も遅くなる素子の高温時の波形(a:Device worst)に対し、tr/tfを制御しない場合で、かつ電源電圧が最大でスルーレートが最も速い素子の低温時の波形(b:Device best)、及びtr/tfを制御する場合で、かつ電源電圧が最大でスルーレートが最も速い素子の低温時の波形(c:Device best)をそれぞれ示している。また、図5では、tr/tfを制御する場合、tr/tfを制御しない場合共に出力インピーダンスの制御を行っている場合のシミュレーション結果を示している。
【0053】
したがって、本実施形態の出力バッファ回路によれば、出力インピーダンスの調整に加えて出力パルスのtr/tfを同時に制御することで、制御信号の数や試験工数を削減することができるため製造コストの増大が抑制され、これらを独立して制御する場合に比べて複雑な試験を行なう必要がなくなる。また、システム側は出力バッファ回路の出力インピーダンスのみモニタして調整すればスルーレートも自動的に改善されるためシステム性能を向上させることができる。
【0054】
(第2の実施の形態)
次に本発明の出力バッファ回路の第2の実施の形態について図面を用いて説明する。
【0055】
図6は本発明の出力バッファ回路の第2の実施の形態の構成を示す回路図である。
【0056】
図6に示すように、本実施形態の出力バッファ回路は、図1に示した第1の実施の形態の出力バッファ回路が有するプリドライバ部に、pMOSトランジスタQP11によるpMOSトランジスタQP1の駆動能力を上げるためのpMOSトランジスタQP31〜QP33と、pMOSトランジスタQP31〜QP33をON/OFFさせるpMOSトランジスタQP34〜QP36と、nMOSトランジスタQN21によるnMOSトランジスタQN1の駆動能力を上げるためのnMOSトランジスタQN31〜QN33と、nMOSトランジスタQN31〜QN33をON/OFFさせるnMOSトランジスタQN34〜QN36とを追加した構成である。
【0057】
pMOSトランジスタQP34〜QP36は制御信号/φ1〜/φ3で制御され、nMOSトランジスタQN34〜QN36は制御信号φ4〜φ6で制御される。したがって、pMOSトランジスタQP31〜QP33は、図1に示したnMOSトランジスタQN12〜QN14と同じタイミングでON/OFFが制御され、nMOSトランジスタQN31〜QN33は、図1に示したpMOSトランジスタQP22〜QP24と同じタイミングでON/OFFが制御される。その他の構成及び動作は第1の実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。
【0058】
第1の実施の形態では、メインドライバ部のpMOSトランジスタQP1を駆動するために設けられたpMOSトランジスタQP11及びnMOSトランジスタQN11のうち、nMOSトランジスタQN11側の駆動能力のみ向上させ、メインドライバ部のnMOSトランジスタQN1を駆動するために設けられたpMOSトランジスタQP21及びnMOSトランジスタQN21のうち、pMOSトランジスタQP11側の駆動能力のみ向上させている。
【0059】
このような構成では、例えば、図7(a)に示すようにpMOSトランジスタQP11がONからOFFに切り換わり、nMOSトランジスタQN11がOFFからONに切り換わる場合に、nMOSトランジスタQN11側のみ駆動能力が大きくOFFからONへ切り換わるスピードが速まると、pMOSトランジスタQP11及びnMOSトランジスタQN11がそれぞれONする期間が生じ、電源から接地電位に貫通電流が流れてしまう。この貫通電流はノイズ源になると共に出力バッファ回路の消費電流を増大させる要因になる。
【0060】
本実施形態では、図1に示した構成にpMOSトランジスタQP31〜QP36を追加することで、図7(b)に示すようにpMOSトランジスタQP11側とnMOSトランジスタQN11側の双方の駆動能力を同様に向上させる。このようにすることで、第1の実施の形態の効果に加えて貫通電流が生じることによるノイズの発生や消費電流の増大が防止される。同様に、図1に示した構成にnMOSトランジスタQN31〜QN36を追加し、pMOSトランジスタQP21側とnMOSトランジスタQN21側の双方の駆動能力を同様に向上させることで、貫通電流が生じることによるノイズの発生や消費電流の増大が防止される。
【0061】
なお、本実施形態の出力バッファ回路も、出力インピーダンスの調整段階とtr/tfの調整段階の数がそれぞれ等しい構成である必要はなく、第1の実施の形態の図3で示した構成と同様に異なっていてもよい。
【0062】
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態では、第1の実施の形態及び第2の実施の形態で示した出力バッファ回路の構成を他の回路に適用する例について説明する。
【0063】
上述したように、高速に動作するDDR−SDRAM等の半導体集積回路装置には、出力バッファ回路8のデータ出力タイミングをシステムクロックCLKに同期させるための位相同期回路9を備えている。
【0064】
位相同期回路9は、例えば、図8に示すようなDLLで構成され、システムクロックCLKが入力される入力バッファ回路21と、入力バッファ回路21から出力されるクロックCLK1を遅延させ、出力バッファ回路8のデータ出力タイミングを補償するための補償クロックCLKOEを出力する可変遅延回路22と、補償クロックCLKOEが入力される、出力バッファ回路8の遅延量をモニタするためのディレイモニタ回路23と、ディレイモニタ回路23の出力信号が入力され、遅延量のモニタ結果である帰還クロックCLKFBを出力する入力バッファレプリカ回路24と、入力バッファ回路21から出力されるクロックCLK1と帰還クロックCLKFBの位相差に比例する値を出力する位相比較器(PD)25と、位相比較器25の出力値にしたがって可変遅延回路22による遅延量を制御するカウンタ回路(Counter)26とを有する構成である。
【0065】
このような構成では、入力バッファ回路21から出力されるクロックCLK1と帰還クロックCLKFBの位相が一致するように動作するため(正確にはクロックCLK1に対して帰還クロックCLKFBが1周期遅れて一致する)、可変遅延回路22から出力される補償クロックCLKOEには、ディレイモニタ回路23及び入力バッファレプリカ回路24による遅延量を相殺するための位相情報を持つようになる。したがって、マルチプレクサ(MUX)27を用いて補償クロックCLKOEにメモリアレイ1から読み出したデータ(DATAR,DATAF)を同期させることで、出力バッファ回路8のデータ出力タイミングをシステムクロックCLKに一致させることができる。
【0066】
ここで、出力バッファ回路8と同様の遅延量を有するディレイモニタ回路23として、半導体集積回路装置内に出力バッファ回路を余分に設け、その余分な出力バッファ回路を用いて遅延量をモニタする構成でもよいが、消費電流や回路面積を低減するために、各トランジスタのサイズをそれぞれ小さくした出力バッファ回路と同様構成の回路(レプリカ回路)を用いることが好ましい。
【0067】
その場合、レプリカ回路の出力には、出力バッファ回路とレプリカ回路のトランジスタサイズ比に基づいて実負荷(シミュレーション値等)から求めた擬似負荷を接続すれば、周囲温度や電源電圧の変動による出力バッファ回路の遅延量の変化もモニタすることができる。なお、図8では擬似負荷がレプリカ回路(ディレイモニタ回路23)内に含まれる構成を示している。
【0068】
例えば、図9(a)に示すように、実負荷の負荷抵抗値RTが25Ω、負荷容量値CLが30pF、実配線抵抗値RSが25Ωであり、レプリカ回路の各トランジスタサイズを出力バッファ回路の1/10にした場合、図9(b)に示すように、擬似負荷には、実負荷の10倍の負荷抵抗(RT=250Ω)、1/10の負荷容量(CL=3pF)、及び実配線抵抗の10倍の配線抵抗(RS=250Ω)をそれぞれ接続すればよい。擬似負荷には、周囲温度や電源電圧の変動に応じて抵抗値や容量値が変化する回路(例えば、負荷のレプリカ)を作る必要はなく、これらの影響を受け難い構成であってもよい。
【0069】
なお、図9(a)、(b)に示したpMOSトランジスタWP1は図2で示したメインドライバ部のpMOSトランジスタQP1〜QP4をまとめて示し、nMOSトランジスタWN1は図2で示したメインドライバ部のnMOSトランジスタQN1〜QM4をまとめて示している。また、図9(a)、(b)に示したインバータ(WP2,WN2)は図2または図6で示したプリドライバ部のpMOSトランジスタQP11、QP31〜QP36、nMOSトランジスタQN11〜QN17をまとめて示し、インバータ(WP3,WN3)は図2または図6で示したプリドライバ部のpMOSトランジスタQP21〜QP27、nMOSトランジスタQN21,QN31〜QN36をまとめて示している。
【0070】
図9(a)、(b)では、図2または図6で示した制御部と、制御部からメインドライバ部のpMOSトランジスタQP2〜QP4及びnMOSトランジスタQN2〜QN4、並びにプリドライバ部のpMOSトランジスタQP25〜QP27、pMOSトランジスタQP34〜QP36、nMOSトランジスタQN15〜QN17、及びnMOSトランジスタQN34〜QN36に供給される制御信号φ1〜φ6、/φ1〜/φ6がそれぞれ省略されているが、これらの構成及び制御信号も図2または図6で示した回路と同様に備えている。
【0071】
また、レプリカ回路に入力されるデータRDATA(=CLKOE)は、出力バッファ回路に入力されるデータDATAとは異なって、所定の周期で「0」、「1」が切り換わるデータである。
【0072】
本実施形態では、図8に示したディレイモニタ回路23を、第1の実施の形態または第2の実施の形態で示した出力バッファ回路と同様構成で、かつ該出力バッファ回路よりも小さいデバイスサイズのトランジスタで構成する。そして、第1の実施の形態及び第2の実施の形態と同様に制御信号φ1〜φN、/φ1〜/φN(Nは正の整数)で各トランジスタをそれぞれ動作させることで、ディレイモニタ回路23の出力インピーダンス及び出力パルスのtr/tfを同時に制御する。なお、ディレイモニタ回路と出力バッファ回路の出力インピーダンス及び出力パルスのtr/tfの調整段階の数は一致させる必要はなく、ディレイモニタ回路の調整段階の数は出力バッファ回路よりも少なくてよい。
【0073】
このようなディレイモニタ回路23を構成することで、半導体集積回路装置が第1の実施の形態または第2の実施の形態で示した出力バッファ回路8を用いる場合に、該出力バッファ回路8の出力インピーダンスや出力パルスのtr/tfの調整値がディレイモニタ回路23に反映されるため、上記位相同期回路9を用いたシステムクロックCLKと出力バッファ回路のデータ出力タイミングとの同期調整がより正確に実施される。
【0074】
ところで、ディレイモニタ回路23では出力バッファ回路8で調整された出力インピーダンスや出力パルスのtr/tfに応じて変動する遅延量のみ調整できればよい。したがって、図10に示すように、出力インピーダンス及び出力パルスのtr/tfを制御しない構成のディレイモニタ回路23のプリドライバ部に、遅延量を変えるための複数のキャパシタ(図10ではC1〜C6)、及び該キャパシタとインバータINV1,2の出力とを接続するための複数のスイッチ(図10ではSW1〜SW6)を設け、制御信号/φ1〜/φN(図10ではN=6)で各スイッチのON/OFFを制御する構成にしてもよい。この場合、予め各キャパシタによる遅延量を、出力バッファ回路の出力インピーダンス及び出力パルスのtr/tfの調整後の遅延量にそれぞれ一致するようにしておけば、上記と同様の効果を得ることができる。
【0075】
なお、図10に示したpMOSトランジスタWP1及びnMOSトランジスタWN1は図2で示した構成と異なってそれぞれ1つのMOSトランジスタで構成すればよく、インバータ(WP2,WN2)、(WP3,WN3)は図2または図6で示した構成と異なってそれぞれ一組のpMOSトランジスタ及びnMOSトランジスタで構成すればよい。
【0076】
【発明の効果】
本発明は以上説明したように構成されているので、以下に記載する効果を奏する。
【0077】
メインドライバ部に第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタと共に負荷を駆動する少なくとも1対の第2のpチャネルMOSトランジスタ及び第2のnチャネルMOSトランジスタを備え、プリドライバ部に第3のnチャネルMOSトランジスタと共に第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、並びに第4のpチャネルMOSトランジスタと共に第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタを備えることで、同一の制御信号により出力インピーダンスだけでなく出力パルスのクロスポイント及びスルーレートが同時に調整されるため、データ受信側における誤動作が防止されて、電源電圧や周囲温度が変動しても正常に動作するシステムを得ることができる。
【0078】
また、出力インピーダンスと出力パルスの立ち上がり時間/立ち下がり時間を同時に制御することで、これらを独立して制御する場合に比べて制御信号の数や試験工数を削減することができるため、製造コストの増大が抑制される。
【0079】
さらに、システム側は出力バッファ回路の出力インピーダンスのみモニタして調整すればスルーレートも自動的に改善されるためシステム性能を向上させることができる。
【0080】
また、プリドライバ部に、第3のnチャネルMOSトランジスタと共に第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、第3のpチャネルMOSトランジスタと共に第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタ、第4のpチャネルMOSトランジスタと共に第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第6のpチャネルMOSトランジスタ、並びに第4のnチャネルMOSトランジスタと共に第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第6のnチャネルMOSトランジスタを備えることで、第3のnチャネルMOSトランジスタと第3のpチャネルMOSトランジスタの双方の駆動能力が同様に向上し、第4のpチャネルMOSトランジスタと第4のnチャネルMOSトランジスタの双方の駆動能力が同様に向上する。したがって、第1のpチャネルMOSトランジスタと第1のnチャネルMOSトランジスタに貫通電流が流れることが防止され、貫通電流が生じることによるノイズの発生や消費電流の増大が防止される。
【0081】
また、上記出力バッファ回路と同様に構成され、制御信号にしたがって出力バッファ回路と同様にトランジスタの動作がそれぞれ制御される、出力バッファ回路とのトランジスタサイズ比に基づいて出力バッファ回路の実負荷から求められた擬似負荷が出力に接続される構成、あるいはデータの出力タイミングをそれぞれ所定量だけ遅延させる複数のキャパシタ、及び制御信号にしたがってキャパシタによる遅延を有効または無効にそれぞれ切り換える複数のスイッチを備え、出力バッファ回路とのトランジスタサイズ比に基づいて出力バッファ回路の実負荷から求められた擬似負荷が出力に接続される構成のディレイモニタ回路を有することで、半導体集積回路装置に上述した第1の実施の形態または第2の実施の形態で示した出力バッファ回路を用いている場合に、該出力バッファ回路の出力インピーダンスや出力パルスのtr/tfの調整値がディレイモニタ回路に反映されるため、システムクロックと出力バッファ回路のデータ出力タイミングとの同期調整がより正確に実施される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の出力バッファ回路を備える半導体集積回路装置であるDRAMの一構成例を示すブロック図である。
【図2】本発明の出力バッファ回路の第1の実施の形態の構成を示す回路図である。
【図3】第1の実施の形態の出力バッファ回路の変形例の構成を示す回路図である。
【図4】第1の実施の形態の出力バッファ回路のシミュレーション結果を示す図であり、tr/tfを制御する場合及びtr/tfを制御しない場合の出力パルス波形を示す波形図である。
【図5】第1の実施の形態の出力バッファ回路のシミュレーション結果を示す図であり、tr/tfを制御する場合及びtr/tfを制御しない場合の出力パルス波形を示す波形図である。
【図6】本発明の出力バッファ回路の第2の実施の形態の構成を示す回路図である。
【図7】本発明の出力バッファ回路の要部の動作の様子を示す波形図である。
【図8】図1に示した位相同期回路の一構成例を示すブロック図である。
【図9】ディレイモニタ回路の使用例を示す回路図である。
【図10】本発明のディレイモニタ回路の一構成例を示す回路図である。
【図11】従来の出力バッファ回路の動作の問題点を説明するための模式図である。
【符号の説明】
1 メモリアレイ
2 Xデコーダ
3 Yデコーダ
4 ROWアドレスバッファ
5 COLUMアドレスバッファ
6 コントロール回路
7 モードコントロール回路
8 出力バッファ回路
9 位相同期回路
11 メインドライバ部
12 プリドライバ部
13 制御部
21 入力バッファ回路
22 可変遅延回路
23 ディレイモニタ回路
24 入力バッファレプリカ回路
25 位相比較器
26 カウンタ回路
27 マルチプレクサ
QP1〜QP4,QP21〜QP27,QP31〜QP36 pMOSトランジスタ
QN1〜QN4,QN11〜QN17,QN31〜QN36 nMOSトランジスタ
INV1,INV2,INV11〜INV16 インバータ
NOR1〜NOR3 論理和ゲート
NAND1〜NAND3 論理積ゲート

Claims (10)

  1. 入力されたパルス波形から成るデータを所定の出力インピーダンス及びスルーレートで出力するための出力バッファ回路であって、
    前記データにしたがって負荷を駆動する少なくとも1対の第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタと共に前記負荷を駆動する少なくとも1対の第2のpチャネルMOSトランジスタ及び第2のnチャネルMOSトランジスタを備えたメインドライバ部と、
    前記データにしたがって前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第3のpチャネルMOSトランジスタ及び第3のnチャネルMOSトランジスタ、前記データにしたがって前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第4のpチャネルMOSトランジスタ及び第4のnチャネルMOSトランジスタ、前記第3のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第4のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタを備えたプリドライバ部と、
    前記第2のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第5のnチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御し、前記第2のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第5のpチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御するための制御信号をそれぞれ生成する制御部と、
    を有する出力バッファ回路。
  2. 前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第5のpチャネルMOSトランジスタの数とが等しい請求項1記載の出力バッファ回路。
  3. 前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第5のpチャネルMOSトランジスタの数とが異なる請求項1記載の出力バッファ回路。
  4. 入力されたパルス波形から成るデータを所定の出力インピーダンス及びスルーレートで出力するための出力バッファ回路であって、
    前記データにしたがって負荷を駆動する少なくとも1対の第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第1のpチャネルMOSトランジスタ及び第1のnチャネルMOSトランジスタと共に前記負荷を駆動する少なくとも1対の第2のpチャネルMOSトランジスタ及び第2のnチャネルMOSトランジスタを備えたメインドライバ部と、
    前記データにしたがって前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第3のpチャネルMOSトランジスタ及び第3のnチャネルMOSトランジスタ、前記データにしたがって前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1対の第4のpチャネルMOSトランジスタ及び第4のnチャネルMOSトランジスタ、前記第3のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のnチャネルMOSトランジスタ、前記第3のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のpチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第5のpチャネルMOSトランジスタ、前記第4のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第6のpチャネルMOSトランジスタ、並びに前記第4のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第1のnチャネルMOSトランジスタを駆動する少なくとも1つの第6のnチャネルMOSトランジスタを備えたプリドライバ部と、
    前記第2のpチャネルMOSトランジスタと共に前記第5のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第5のnチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御し、前記第2のnチャネルMOSトランジスタと共に前記第6のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第6のnチャネルMOSトランジスタの動作・非動作を制御するための制御信号をそれぞれ生成する制御部と、
    を有する出力バッファ回路。
  5. 前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ、前記第5のpチャネルMOSトランジスタ、前記第6のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第6のpチャネルMOSトランジスタの数とが等しい請求項4記載の出力バッファ回路。
  6. 前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタの数と、前記第5のnチャネルMOSトランジスタ、前記第5のpチャネルMOSトランジスタ、前記第6のnチャネルMOSトランジスタ及び前記第6のpチャネルMOSトランジスタの数とが異なる請求項4記載の出力バッファ回路。
  7. 前記第2のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第2のnチャネルMOSトランジスタは、
    オンした状態で前記メインドライバ部から出力されるパルスの立ち上がり時間及び立ち下がり時間に対する影響が少ない、前記第1のpチャネルMOSトランジスタ及び前記第1のnチャネルMOSトランジスタよりもゲート幅が狭く形成された小さいデバイスサイズである請求項1乃至6のいずれか1項記載の出力バッファ回路。
  8. 請求項1乃至7のいずれか1項記載の出力バッファ回路と、
    前記出力バッファ回路と同様に構成され、前記制御信号にしたがって前記出力バッファ回路と同様にトランジスタの動作がそれぞれ制御される、前記出力バッファ回路とのトランジスタサイズ比に基づいて前記出力バッファ回路の実負荷から求められた擬似負荷が出力に接続されるディレイモニタ回路と、
    を有する半導体集積回路装置。
  9. 請求項1乃至7のいずれか1項記載の出力バッファ回路と、
    前記データの出力タイミングをそれぞれ所定量だけ遅延させる複数のキャパシタ、及び前記制御信号にしたがって前記キャパシタによる遅延を有効または無効にそれぞれ切り換える複数のスイッチを備え、前記出力バッファ回路とのトランジスタサイズ比に基づいて前記出力バッファ回路の実負荷から求められた擬似負荷が出力に接続されるディレイモニタ回路と、
    を有する半導体集積回路装置。
  10. 前記ディレイモニタ回路が備えるトランジスタは、
    前記出力バッファ回路が備えるトランジスタよりもゲート幅が狭く形成された小さいデバイスサイズである請求項8または9記載の半導体集積回路装置。
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