JP2001202773A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2001202773A
JP2001202773A JP2000011683A JP2000011683A JP2001202773A JP 2001202773 A JP2001202773 A JP 2001202773A JP 2000011683 A JP2000011683 A JP 2000011683A JP 2000011683 A JP2000011683 A JP 2000011683A JP 2001202773 A JP2001202773 A JP 2001202773A
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semiconductor memory
memory device
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Yoshito Nakaoka
義人 中岡
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体記憶装置のアクセスタイムに影響する
こと無く、外部クロックのノイズにより通常モードで動
作中に特殊モードに切り替わることを緩和又は防止す
る。 【解決手段】 制御クロック信号発生回路1a乃至1l
は、複数の外部クロック信号をそれぞれ各入力バッファ
アンプにより内部信号レベルを有する複数の内部クロッ
ク信号に変換した後、変換された複数の内部クロック信
号に基づいて半導体記憶装置の動作を制御する制御クロ
ック信号を発生する。ここで、入力信号の変化に対して
緩やかに変化する時間応答特性を有し、上記複数の外部
クロック信号のうちの少なくとも1つの外部クロック信
号に基づいて、上記半導体記憶装置におけるデータの読
み出し動作又は書き込み動作に係わる通常モードとは別
の特殊モードのための内部クロック信号を発生する特殊
モード用入力バッファアンプ8−1乃至8−4及びノイ
ズフィルタ9−1乃至9−4のうちの少なくとも1つを
備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、クロック非同期型
DRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモ
リ)などの半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図17は、従来例のクロック非同期型D
RAM100の構成を示すブロック図である。
【0003】図17において、外部回路とのインターフ
ェイス端子として、電源端子と接地端子を除くと、各動
作の制御用の外部クロック信号を入力するためのクロッ
ク入力端子T1と、メモリセルアレイ20−1,20−
2,20−3,20−4のアドレスを指定するアドレス
信号を入力するためのアドレス入力端子T2と、メモリ
セルアレイ20−1乃至20−4からデータを読み出
し、又はメモリセルアレイ20−1乃至20−4にデー
タを書き込むためのデータ入出力端子T3とが設けられ
ている。これらの外部クロック信号と、アドレス信号、
データ信号等の外部信号は、バッファアンプ2,4,
5,6及びクロック発生器3を介してDRAM100の
内部回路に入力される。
【0004】まず、データ信号はデータインバッファア
ンプ5に入力され、データインバッファアンプ5は、所
定の外部信号レベルを有するデータ信号を、所定の内部
信号レベル(DRAMの動作電源電圧と同じハイレベル
を有する、いわゆるCMOSレベルをいう。)を有する
データ信号に変換した後、当該内部信号レベルを有する
データ信号をセンスリフレッシュアンプ及び入出力コン
トローラ23−1,23−2,23−3,23−4を介
してメモリセルアレイ20−1乃至20−4に書き込
む。一方、メモリセルアレイ20−1乃至20−4から
センスリフレッシュアンプ及び入出力コントローラ23
−1乃至23−4を介して読み出されたデータ信号はデ
ータアウトバッファアンプ6に入力され、データアウト
バッファアンプ6は当該データ信号の内部信号レベルを
外部信号レベルに変換した後、データ入出力端子T3を
介して出力する。
【0005】また、アドレス信号はアドレスバッファア
ンプ4を介して行デコーダ21−1乃至21−4及び列
デコーダ22−1乃至22−4に入力され、行デコーダ
21−1乃至21−4及び列デコーダ22−1乃至22
−4はそれぞれ入力されるアドレス信号をデコードし
て、デコードされたアドレスを用いてメモリセルアレイ
20−1乃至20−4上の特定の番地を指し示す。
【0006】さらに、外部クロック信号は、制御クロッ
ク信号発生回路1内のクロックバッファアンプ2に入力
される。制御クロック信号発生回路1は、クロックバッ
ファアンプ2と、クロック発生器3とを備える。クロッ
クバッファアンプ2は入力された外部クロック信号を基
本クロック信号に変換して、クロック発生器3に出力す
る。クロック発生器3は、入力される基本クロック信号
を各種の制御クロック信号に変換して、当該制御クロッ
ク信号を用いて行デコーダ21−1乃至21−4、列デ
コーダ22−1乃至22−4、センスリフレッシュアン
プ、入出力コントローラ23−1乃至23−4及び内蔵
テストコントローラ(図示せず。)に対して所定の制御
処理を実行する。
【0007】図18は、図17の制御クロック信号発生
回路1の詳細な構成を示すブロック図である。図18に
おいて、外部クロック信号は、外部/RAS信号と、外
部/CAS信号と、外部/WE信号と、外部/OE信号
とを含む。ここで、”/”は、上線を示し、ローレベル
で活性化するローイネーブルを表す。/RAS信号は、
行アドレスのラッチ、メモリセルアレイからのデータの
増幅、リフレッシュ動作及びDRAMチップ全体のアク
ティブやプリチャージの動作を制御するために用いられ
るロウアドレス制御信号である。また、/CAS信号
は、列アドレスのラッチ、メモリセルアレイからのデー
タの読み出し動作又はメモリセルアレイへのデータの書
き込み動作を制御するためのカラムアドレス制御信号で
ある。さらに、/WE信号は、メモリセルアレイからの
データの読み出し動作又はメモリセルアレイへのデータ
の書き込み動作を制御するためのライトイネーブル信号
である。またさらに、/OE信号は、メモリセルアレイ
からのデータの読み出し動作を制御するためのアウトプ
ットイネーブル信号である。
【0008】外部/RAS信号は入力バッファアンプ7
−1に入力され、入力バッファアンプ7−1は外部信号
レベルを有する外部/RAS信号を、内部信号レベルを
有する内部/RAS信号に変換してクロックバッファア
ンプ2に出力する。また、外部/CAS信号は入力バッ
ファアンプ7−2に入力され、入力バッファアンプ7−
2は外部信号レベルを有する外部/CAS信号を、内部
信号レベルを有する内部/CAS信号に変換してクロッ
クバッファアンプ2に出力する。さらに、外部/WE信
号は入力バッファアンプ7−3に入力され、入力バッフ
ァアンプ7−3は外部信号レベルを有する外部/WE信
号を、内部信号レベルを有する内部/WE信号に変換し
てクロックバッファアンプ2に出力する。またさらに、
外部/OE信号は入力バッファアンプ7−4に入力さ
れ、入力バッファアンプ7−4は外部信号レベルを有す
る外部/OE信号を、内部信号レベルを有する内部/O
E信号に変換してクロックバッファアンプ2に出力す
る。従って、内部クロック信号は、内部/RAS信号
と、内部/CAS信号と、内部/WE信号と、内部/O
E信号とを含む。
【0009】クロックバッファアンプ2と、クロック発
生器3とにより制御クロック発生器30を構成する。こ
こで、クロックバッファアンプ2は、内部/RAS信号
と、内部/CAS信号と、内部/WE信号と、内部/O
E信号とに基づいて、所定の複数の基本クロック信号を
発生してクロック発生器3に出力する。クロック発生器
3は、入力される基本クロック信号に基づいて、制御ク
ロック信号を発生して出力する。ここで、制御クロック
信号は、図18に示すように、行アドレス制御信号と、
列アドレス制御信号と、書き込み及び読み出し制御信号
と、リフレッシュモード制御信号と、テストモード制御
信号とを含む。
【0010】図19は、図18の制御クロック発生器3
0の一例である通常モードのための制御クロック発生器
30aの構成を示す回路図である。図19において、制
御クロック発生器30aは、2つのインバータINV1
及びINV2と、ナンドゲートNAND1と、反転入力
端子付きアンドゲートAND1とを備えて構成され、内
部/RAS信号及び基本クロック信号φ1及びφ2に基
づいて行系制御回路24を制御するための/RASE信
号を発生する。
【0011】図20は、図18の制御クロック発生器3
0の一例である特殊モードである/CAS befor
e /RASリフレッシュモード(以下、CbRモード
と略する。)のための制御クロック発生器30bの構成
を示す回路図である。図20において、制御クロック発
生器30bは、2つのインバータINV3及びINV4
と、2つのナンドゲートNAND2及びNAND3とを
備えて構成され、内部/CAS信号及び内部/RAS信
号に基づいてCbRリフレッシュ制御回路25を制御す
るための/CBR信号を発生する。
【0012】図21は、従来例の通常モードの読み出し
動作時の外部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/
WE信号及び外部/OE信号を示すタイミングチャート
である。従来技術のクロック非同期型DRAMにおいて
は、例えば図21に示すように、外部/RAS信号、外
部/CAS信号、外部/WE信号とを含む外部クロック
信号のエッジとそのレベルで、読み出し動作や書き込み
動作などの通常モードの動作をDRAMのデータブック
の仕様書で規定している。
【0013】図22は、従来例の特殊モードであるCb
Rリフレッシュ動作時の外部/RAS信号、外部/CA
S信号、外部/WE信号及び外部/OE信号を示すタイ
ミングチャートである。例えば図22に示すように、C
bRモードなどの特殊モードも、外部/RAS信号や外
部/CAS信号とを含む外部クロック信号のエッジとそ
のレベルで、当該モードの動作をDRAMのデータブッ
クの仕様書で規定している。当該CbRモードでは、外
部/RAS信号がローイネーブルする前に、外部/CA
S信号がローイネーブルすることにより、当該モードの
条件であるtCSR(外部/CAS信号がセットアップ
した後に、外部/RAS信号がローイネーブルとなる)
の条件を満たす。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】図18に示すように、
外部クロック信号は入力バッファアンプ7−1乃至7−
4に入力され、入力バッファアンプ7−1乃至7−4に
より内部クロック信号に変換された後、制御クロック発
生器30により制御クロック信号に変換して、通常モー
ド用の制御回路に出力されるとともに、同時に特殊モー
ド用の制御回路にも出力される。そのため、通常モード
の動作中に外部クロック信号にノイズが重畳することに
より、通常モードから特殊モードに切り替わり期待しな
い動作(不具合)をしてしまう可能性があった。
【0015】図23はデータの読み出し動作中に外部/
RAS信号にノイズが重畳しCbRモードのタイミング
が生じてしまった例である。外部/RAS信号や外部/
CAS信号が共にローレベルの期間中に上述のtCSR
の条件を満たすようにポジティブノイズ(信号レベルに
対して正の方向に変化するようなレベルを有するノイズ
をいう。)が重畳すると、CbRモードの条件が成立し
リフレッシュ動作を開始する。ここで問題となるのは、
tCSRの条件の時間により多少変わるが、主に正規の
手順でビット活性を行わないためにおこるメモリセルデ
ータの破壊である。また、この例に示すように、通常モ
ードの動作を途中で中断(非正常終了)させてしまうよ
うな特殊モードへのエントリーはアクセスパスに乗るノ
イズより致命的である。何故ならアクセスパスに乗るノ
イズは末端の回路が動作するまでに多数のゲートを通過
するというアクセスパスの性質上大部分のノイズは消え
てしまう可能性が高いからである。これに対して、特殊
モードへのエントリーは外部クロック信号の入力端から
数ゲートで決まってしまうのでノイズに敏感である。
【0016】従来例のDRAM100の回路構成では、
通常モードと特殊モードは外部クロック信号のエッジと
そのレベルだけで区別されている。そのため外部クロッ
ク信号に重畳するノイズが両者の区別を混乱させてしま
う可能性があった。
【0017】本発明の目的は以上の問題点を解決し、半
導体記憶装置のアクセスタイムに影響すること無く、外
部クロックのノイズにより通常モードで動作中に特殊モ
ードに切り替わることを緩和又は防止することができる
半導体記憶装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体記憶
装置は、複数の外部クロック信号をそれぞれ、各入力バ
ッファアンプにより、内部信号レベルを有する複数の内
部クロック信号に変換した後、変換された複数の内部ク
ロック信号に基づいて半導体記憶装置の動作を制御する
制御クロック信号を発生する信号発生回路を備えた半導
体記憶装置において、入力信号の変化に対して緩やかに
変化する時間応答特性を有し、上記複数の外部クロック
信号のうちの少なくとも1つの外部クロック信号に基づ
いて、上記半導体記憶装置におけるデータの読み出し動
作又は書き込み動作に係わる通常モードとは別の特殊モ
ードのための内部クロック信号を発生する発生手段を備
えたことを特徴とする。
【0019】また、上記半導体記憶装置において、上記
発生手段は、好ましくは、上記入力バッファアンプに設
けられたことを特徴とする。
【0020】さらに、もしくは、上記半導体記憶装置に
おいて、上記発生手段は、好ましくは、上記入力バッフ
ァアンプの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延させ
て出力信号として出力するノイズフィルタであることを
特徴とする。
【0021】またさらに、上記発生手段は、好ましく
は、上記複数の外部クロック信号のうちの少なくとも2
つの外部クロック信号に対して設けられ、複数の発生手
段のうちの1つの発生手段は上記入力バッファアンプに
設けられる一方、上記複数の発生手段のうちの別の1つ
の発生手段は上記入力バッファアンプの後段に設けられ
たノイズフィルタであることを特徴とする。
【0022】本発明の第1の態様に係る上記半導体記憶
装置において、上記複数の外部クロック信号は、好まし
くは、外部/RAS信号と、外部/CAS信号とを含
み、上記発生手段は、上記外部/RAS信号及び外部/
CAS信号に対して設けられたことを特徴とする。
【0023】また、本発明の第2の態様に係る上記半導
体記憶装置において、上記複数の外部クロック信号は、
好ましくは、外部/RAS信号と、外部/CAS信号
と、外部/WE信号とを含み、上記発生手段は、上記外
部/RAS信号、外部/CAS信号及び外部/WE信号
に対して設けられたことを特徴とする。
【0024】さらに、本発明の第3の態様に係る上記半
導体記憶装置において、上記複数の外部クロック信号
は、好ましくは、外部/RAS信号と、外部/CAS信
号と、外部/WE信号と、外部/OE信号とを含み、上
記発生手段は、上記外部/RAS信号、外部/CAS信
号、外部/WE信号及び外部/OE信号に対して設けら
れたことを特徴とする。
【0025】上記本発明の第1の態様に係る半導体記憶
装置において、上記外部/RAS信号及び上記外部/C
AS信号に対して設けられた各発生手段は、好ましく
は、上記入力バッファアンプに設けられた発生手段であ
ることを特徴とする。
【0026】また、上記本発明の第1の態様に係る半導
体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び上記外
部/CAS信号に対して設けられた各発生手段は、好ま
しくは、上記入力バッファアンプの後段に設けられ、入
力信号の変化を遅延させて出力信号として出力するノイ
ズフィルタであることを特徴とする。
【0027】さらに、上記本発明の第1の態様に係る半
導体記憶装置において、上記外部/RAS信号に対して
設けられた発生手段は、好ましくは、上記入力バッファ
アンプに設けられ、上記外部/CAS信号に対して設け
られた発生手段は、上記入力バッファアンプの後段に設
けられ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出
力するノイズフィルタであることを特徴とする。
【0028】またさらに、上記本発明の第1の態様に係
る半導体記憶装置において、上記外部/RAS信号に対
して設けられた発生手段は、好ましくは、上記入力バッ
ファアンプの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延さ
せて出力信号として出力するノイズフィルタであり、上
記外部/CAS信号に対して設けられた発生手段は、上
記入力バッファアンプに設けられたことを特徴とする。
【0029】上記本発明の第2の態様に係る半導体記憶
装置において、上記外部/RAS信号、上記外部/CA
S信号及び上記外部/WE信号に対して設けられた各発
生手段は、好ましくは、上記入力バッファアンプに設け
られたことを特徴とする。
【0030】また、上記本発明の第2の態様に係る半導
体記憶装置において、上記外部/RAS信号、上記外部
/CAS信号及び上記外部/WE信号に対して設けられ
た各発生手段は、好ましくは、上記入力バッファアンプ
の後段に設けられ、入力信号の変化を遅延させて出力信
号として出力するノイズフィルタであることを特徴とす
る。
【0031】さらに、上記本発明の第2の態様に係る半
導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び上記
外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段は、好
ましくは、上記入力バッファアンプに設けられ、上記外
部/WE信号に対して設けられた発生手段は上記入力バ
ッファアンプの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延
させて出力信号として出力するノイズフィルタであるこ
とを特徴とする。
【0032】またさらに、上記本発明の第2の態様に係
る半導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び
上記外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段
は、好ましくは、上記入力バッファアンプの後段に設け
られ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出力
するノイズフィルタであり、上記外部/WE信号に対し
て設けられた発生手段は上記入力バッファアンプに設け
られたことを特徴とする。
【0033】上記本発明の第3の態様に係る半導体記憶
装置において、上記外部/RAS信号、上記外部/CA
S信号、上記外部/WE信号及び上記外部/OE信号に
対して設けられた各発生手段は、好ましくは、上記入力
バッファアンプに設けられたことを特徴とする。
【0034】また、上記本発明の第3の態様に係る半導
体記憶装置において、上記外部/RAS信号、上記外部
/CAS信号、上記外部/WE信号及び上記外部/OE
信号に対して設けられた各発生手段は、好ましくは、上
記入力バッファアンプの後段に設けられ、入力信号の変
化を遅延させて出力信号として出力するノイズフィルタ
であることを特徴とする。
【0035】さらに、上記本発明の第3の態様に係る半
導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び上記
外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段は、好
ましくは、上記入力バッファアンプに設けられ、上記外
部/WE信号及び上記外部/OE信号に対して設けられ
た各発生手段は、上記入力バッファアンプの後段に設け
られ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出力
するノイズフィルタであることを特徴とする。
【0036】またさらに、上記本発明の第3の態様に係
る半導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び
上記外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段
は、好ましくは、上記入力バッファアンプの後段に設け
られ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出力
するノイズフィルタであり、上記外部/WE信号及び上
記外部/OE信号に対して設けられた各発生手段は、上
記入力バッファアンプに設けられたことを特徴とする。
【0037】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る実施の形態について説明する。以下の図面において、
同様の構成要素については同一の符号を付している。
【0038】実施の形態1.図1は、本発明に係る実施
の形態1であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1aの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態1の制御クロック信号発生回路1a
は、図18に図示した従来例の制御クロック信号発生回
路1に比較して以下の点が異なる。 (1)クロックバッファアンプ2は、通常モード用の基
本クロック信号を発生するための通常モード用クロック
バッファアンプ2aと、特殊モード用の基本クロック信
号を発生するための特殊モード用クロックバッファアン
プ2bとに分割したこと、及び(2)図18の入力バッ
ファアンプと同じである通常モード用入力バッファアン
プ7−1乃至7−4(以下、総称して符号7を付す。)
とは異なり、入力される外部クロック信号の立ち上がり
エッジ又は立ち下がりエッジに対する時間応答特性又は
感度を、通常モード用入力バッファアンプ7に比較して
低下させてなる特殊モード用クロックバッファアンプ8
−1及び8−2を、外部/RAS信号及び外部/CAS
信号に対して設けたこと。
【0039】なお、通常モードとは、データの読み出し
又は書き込み動作などの通常動作をいう。また、特殊モ
ードとは、通常モード以外の動作モードであって、例え
ば、CbRモード、/RASオンリ・リフレッシュモー
ド、ヒドン・リフレッシュモード、内蔵テストモードな
どの動作モードをいう。ここで、/RASオンリ・リフ
レッシュモードとは、外部/RAS信号のみによりDR
AMをリフレッシュする動作モードであり、消費電流が
大きくならず、外部/CAS信号をアクティブにしない
でリフレッシュすることができるという特徴を有する。
また、リフレッシュ・サイクルに入る前のサイクルが読
み出しサイクルの場合、次のサイクルでリフレッシュが
実行されると、外部/CAS信号を一度立ち上げるた
め、出力は高インピーダンス状態となる。これを避ける
ために、外部/CAS信号がローレベルのまま次のリフ
レッシュ・サイクルに入るモードをヒドン・リフレッシ
ュモードという。さらに、内蔵テストモードとは、DR
AM内の各回路をテストする動作モードである。
【0040】図1において、外部/RAS信号は、通常
モード用入力バッファアンプ7−1及び特殊モード用入
力バッファアンプ8−1に入力され、入力バッファアン
プ7−1は、入力される外部信号レベルを有する外部/
RAS信号を、内部信号レベルを有する通常モード用内
部/RAS信号に変換して通常モード用クロックバッフ
ァアンプ2aに出力する。また、入力バッファアンプ8
−1は、入力される外部信号レベルを有する外部/RA
S信号を、内部信号レベルを有する特殊モード用内部/
RAS信号に変換して特殊モード用クロックバッファア
ンプ2bに出力する。外部/CAS信号は、通常モード
用入力バッファアンプ7−2及び特殊モード用入力バッ
ファアンプ8−2に入力され、入力バッファアンプ7−
2は、入力される外部信号レベルを有する外部/CAS
信号を、内部信号レベルを有する通常モード用内部/C
AS信号に変換して通常モード用クロックバッファアン
プ2aに出力する。また、入力バッファアンプ8−2
は、入力される外部信号レベルを有する外部/CAS信
号を、内部信号レベルを有する特殊モード用内部/CA
S信号に変換して特殊モード用クロックバッファアンプ
2bに出力する。
【0041】さらに、外部/WE信号は、通常モード用
入力バッファアンプ7−3に入力され、入力バッファア
ンプ7−3は、入力される外部信号レベルを有する外部
/WE信号を、内部信号レベルを有する通常モード用内
部/WE信号に変換して通常モード用クロックバッファ
アンプ2a及び特殊モード用クロックバッファアンプ2
bに出力する。またさらに、外部/OE信号は、通常モ
ード用入力バッファアンプ7−4に入力され、入力バッ
ファアンプ7−4は、入力される外部信号レベルを有す
る外部/OE信号を、内部信号レベルを有する通常モー
ド用内部/OE信号に変換して通常モード用クロックバ
ッファアンプ2a及び特殊モード用クロックバッファア
ンプ2bに出力する。
【0042】通常モード用クロックバッファアンプ2a
は、入力される内部クロック信号に基づいて通常モード
用の基本クロック信号を発生してクロック発生器3に出
力する。また、特殊モード用クロックバッファアンプ2
bは、入力される内部クロック信号に基づいて特殊モー
ド用の基本クロック信号を発生してクロック発生器3に
出力する。さらに、クロック発生器3は、入力される基
本クロック信号を、各種の制御クロック信号に変換し
て、当該制御クロック信号を用いて、それぞれ図17の
DRAMに図示された、行デコーダ21−1乃至21−
4、列デコーダ22−1乃至22−4、センスリフレッ
シュアンプ、入出力コントローラ23−1乃至23−4
及び内蔵テストコントローラ(図示せず。)に対して所
定の制御処理を実行する。ここで、各種の制御クロック
信号は、図1に示すように、行アドレス制御信号と、列
アドレス制御信号と、書き込み及び読み出し制御信号
と、リフレッシュモード制御信号と、テストモード制御
信号とを含む。
【0043】図13は、実施の形態で用いる通常モード
用入力バッファアンプ7の構成を示す回路図である。図
13に示すように、通常モード用入力バッファアンプ7
は、5つのMOS型電界効果トランジスタ(以下、MO
SFETという。)TR1乃至TR5と、インバータI
NV11とを備えて構成される。
【0044】図13において、外部クロック信号はPチ
ャンネルMOSFETTR1のゲート及びソース接地の
NチャンネルMOSFETTR2のゲートに入力され、
当該DRAMがスタンバイ状態のときに消費電流を軽減
するためにパワーオンのときにハイレベルとなるインタ
ーロック信号はPチャンネルMOSFETTR3のゲー
ト及びソース接地のNチャンネルMOSFETTR4の
ゲートに入力される。また、MOSFETTR1のソー
スは直流電圧源Vddに接続され、MOSFETTR1
のドレインはPMOSFETTR3のソースに接続され
る。さらに、MOSFETTR3のドレインは、MOS
FETTR2のドレイン、MOSFETTR4のソー
ス、PチャンネルMOSFETTR5のドレイン及びイ
ンバータINV11の入力端子に接続され、MOSFE
TTR5のソースは直流電圧源Vddに接続される。ま
た、インバータINV11から出力される内部クロック
信号はMOSFETTR5のゲートにも入力される。
【0045】以上のように構成された通常モード用入力
バッファアンプ7は、公知の一般的なNOR型入力バッ
ファアンプ回路である。外部クロック信号はローレベル
でアクティブ状態と規定されているので、NOR型の入
力初段を持つことが一般的である。また、入力初段はレ
ベル変換を行い、次段は波形整形及び駆動力の向上を行
う。入力初段のレベル変換について説明すると、例えば
外部クロック信号のハイレベル及びローレベルをそれぞ
れ2.0V、0.8Vとし、当該DRAMの動作電源電
圧を3.3Vとした場合、外部クロック信号及び内部ク
ロック信号の各論理しきい値レベルはそれぞれ1.4
V、1.65Vであり、互いに異なる。この違いは入力
初段のプルアップ及びプルダウンの電流比を外部クロッ
ク信号の論理しきい値レベルに合わせて最適化する。こ
れにより、外部クロック信号のハイレベル及びローレベ
ルを内部の動作電源電圧のレベルのローレベル及びハイ
レベルに変換する。また、外部クロック信号においてハ
イレベル及びローレベルが確定していてもその振幅が小
さいため、入力初段のトランジスタを十分にカットオフ
できないために、常時貫通電流が流れることになる。そ
のため、DRAMがスタンドバイ状態のときの省電流対
策でインターロック信号を入力している。
【0046】図14は、実施の形態で用いる特殊モード
用入力バッファアンプ8の構成を示す回路図である。図
14に示すように、特殊モード用入力バッファアンプ8
は、5つのMOSFETTR11乃至TR14及びTR
5と、インバータINV11とを備えて構成され、ここ
で、図13のMOSFETTR1乃至TR4は図14の
MOSFETTR11乃至TR14に対応し、特殊モー
ド用入力バッファアンプ8は、通常モード用入力バッフ
ァアンプ7と同様の回路構成を有する。しかしながら、
当該特殊モード用入力バッファアンプ8においては、M
OSFETTR11乃至TR14のゲート長Lを図13
のMOSFETTR1乃至TR4のそれに比較して長く
することにより、直流電圧源VddからMOSFETT
R11及びTR13を介してMOSFETTR12及び
TR14に流れるドレイン電流Id2を、図13の対応
するドレイン電流Id1よりも小さくしている。
【0047】すなわち、入力初段の電流を絞り、外部ク
ロック信号のレベルの遷移に対する時間応答特性を下げ
ることにより、外部クロック信号に重畳されるノイズの
影響を少なくする。時間応答特性又は感度は、上述のよ
うに、MOSFETTR11乃至TR14のゲート長L
を長くしてドレイン電流Id2を、図13のドレイン電
流Id1よりも減らすことにより下げることができる。
ここで入力初段のプルアップとプルダウンの電流比は変
わらないように設定される。
【0048】図15は、図13の通常モード用入力バッ
ファアンプ7における入力電圧に対する出力電圧の時間
応答特性、及び図14の特殊モード用入力バッファアン
プ8における入力電圧に対する出力電圧の時間応答特性
を示す特性図である。図15に示すように、立ち上がり
の入力電圧に対して、通常モード用入力バッファアンプ
7はほとんどリアルタイムに立ち下がっているが、特殊
モード用入力バッファアンプ8は、立ち上がりの入力電
圧に対して、通常モード用入力バッファアンプ7の特性
に比較して遅延して立ち下がっており、すなわち、緩や
かに立ち下がる時間応答特性を有し、言い換えれば、時
間応答特性又は感度が悪い。また、立ち下がりの入力電
圧についても同様である。従って、特殊モード用入力バ
ッファアンプ8は通常モード用入力バッファアンプ7に
比較して、入力信号の変化に対して緩やかに変化する時
間応答特性を有するので、外部クロック信号に重畳させ
るノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を
大幅に軽減させることができる。
【0049】以上説明したように、実施の形態1に係る
制御クロック信号発生回路1aによれば、通常モード用
入力バッファアンプ7−1乃至7−4に比較して、入力
信号の変化に対して緩やかに変化する時間応答特性を有
し、特殊モード用内部/RAS信号及び特殊モード用内
部/CAS信号を発生する特殊モード用入力バッファア
ンプ8−1,8−2を設けたので、外部/RAS信号や
外部/CAS信号などの外部クロック信号に重畳させる
ノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大
幅に軽減させることができる。これにより、外部クロッ
ク信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出
しや書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断
(非正常終了)させてしまうような特殊モードへのエン
トリーを緩和、あるいは防止できる。
【0050】実施の形態2.図2は、本発明に係る実施
の形態2であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1bの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態2の制御クロック信号発生回路1b
は、図2に示すように、図1の制御クロック信号発生回
路1aに比較して、通常モード用入力バッファアンプ7
−1乃至7−4に比較して、入力信号の変化に対して緩
やかに変化する時間応答特性を有し、外部/WE信号に
応答して特殊モード用内部/WE信号を発生して特殊モ
ード用クロックバッファアンプ2bに出力する特殊モー
ド用入力バッファアンプ8−3をさらに設けたことを特
徴としている。従って、外部/RAS信号、外部/CA
S信号及び外部/WE信号などの外部クロック信号に重
畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの
影響を大幅に軽減させることができる。これにより、外
部クロック信号に重畳されるノイズによる誤動作、特
に、読み出しや書き込み動作等の通常モードの動作を途
中で中断(非正常終了)させてしまうような特殊モード
へのエントリーを緩和、あるいは防止できる。
【0051】実施の形態3.図3は、本発明に係る実施
の形態3であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1cの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態3の制御クロック信号発生回路1c
は、図3に示すように、図2の制御クロック信号発生回
路1bに比較して、通常モード用入力バッファアンプ7
−1乃至7−4に比較して、入力信号の変化に対して緩
やかに変化する時間応答特性を有し、外部/OE信号に
応答して特殊モード用内部/OE信号を発生して特殊モ
ード用クロックバッファアンプ2bに出力する特殊モー
ド用入力バッファアンプ8−4をさらに設けたことを特
徴としている。従って、外部/RAS信号、外部/CA
S信号、外部/WE信及び外部/OE信号号などの外部
クロック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させ
て、そのノイズの影響を大幅に軽減させることができ
る。これにより、外部クロック信号に重畳されるノイズ
による誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常
モードの動作を途中で中断(非正常終了)させてしまう
ような特殊モードへのエントリーを緩和、あるいは防止
できる。
【0052】実施の形態4.図4は、本発明に係る実施
の形態4であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1dの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態4の制御クロック信号発生回路1d
は、図18に図示した従来例の制御クロック信号発生回
路1に比較して以下の点が異なる。 (1)クロックバッファアンプ2は、実施の形態1と同
様に、通常モード用の基本クロック信号を発生するため
の通常モード用クロックバッファアンプ2aと、特殊モ
ード用の基本クロック信号を発生するための特殊モード
用クロックバッファアンプ2bとに分割したこと、及び
(2)入力される外部クロック信号に重畳されるノイズ
を除去するためのノイズフィルタ9−1,9−2をそれ
ぞれ、入力バッファアンプ7−1,7−2の後段であっ
て、内部/RAS信号及び内部/CAS信号に対して設
けたこと。以下、従来例及び実施の形態1との相違点に
ついて説明する。
【0053】図4において、入力バッファアンプ7−1
は、入力される外部信号レベルを有する外部/RAS信
号を、内部信号レベルを有する通常モード用内部/RA
S信号に変換して通常モード用クロックバッファアンプ
2a及びノイズフィルタ9−1に出力する。ノイズフィ
ルタ9−1は入力される通常モード用内部/RAS信号
に重畳されるノイズを除去した後、ノイズ除去後の信号
を特殊モード用内部/RAS信号として特殊モード用ク
ロックバッファアンプ2bに出力する。また、入力バッ
ファアンプ7−2は、入力される外部信号レベルを有す
る外部/RAS信号を、内部信号レベルを有する通常モ
ード用内部/RAS信号に変換して通常モード用クロッ
クバッファアンプ2a及びノイズフィルタ9−2に出力
する。ノイズフィルタ9−2は入力される通常モード用
内部/CAS信号に重畳されるノイズを除去した後、ノ
イズ除去後の信号を特殊モード用内部/CAS信号とし
て特殊モード用クロックバッファアンプ2bに出力す
る。
【0054】図16は、実施の形態で用いるノイズフィ
ルタ9の構成を示す回路図である。ノイズフィル9は、
2つのインバータINV21,INV22と、PMOS
FETTR21と、ゲート接地のNチャンネルMOSF
ETTR22とを備えて構成される。図16において、
入力信号は2つのインバータINV21及びINV22
を介して出力信号として出力される。2つのインバータ
INV21及びINV22の接続点は、MOSFETT
R21のソース及びドレインに接続されるとともに、M
OSFETTR22のソース及びドレインに接続され
る。また、MOSFETTR21のゲートは直流電圧源
Vddに接続される。ここで、各MOSFETTR21
及びTR22はそれぞれ、いわゆるMOSキャパシタを
構成しており、2つのインバータINV21及びINV
22の接続点を通過する信号の時間応答特性を緩やかに
変化させる。従って、ノイズフィルタ9は、入力信号の
立ち上がりエッジに遅延して緩やかに立ち上がる一方、
立ち下がりエッジに遅延して緩やかに立ち下がるような
時間応答特性を有する。すなわち、ノイズフィルタ9
は、入力信号の変化に対して緩やかに変化する時間応答
特性を有する。従って、ノイズフィルタ9により、外部
クロック信号にそれぞれ重畳され、正の電圧方向に変化
して重畳するポジティブノイズと、負の電圧方向に変化
して重畳するネガティブノイズの両方のノイズを除去す
ることができる。
【0055】以上説明したように、実施の形態4に係る
制御クロック信号発生回路1dによれば、入力信号の変
化に対して緩やかに変化する時間応答特性を有し、通常
モード用内部/RAS信号及び通常モード用内部/CA
S信号に応答してそれぞれ特殊モード用内部/RAS信
号及び特殊モード用内部/CAS信号を発生するノイズ
フィルタ9−1,9−2を設けたので、外部/RAS信
号や外部/CAS信号などの外部クロック信号に重畳さ
せるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響
を大幅に軽減させることができる。これにより、外部ク
ロック信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読
み出しや書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中
断(非正常終了)させてしまうような特殊モードへのエ
ントリーを緩和、あるいは防止できる。
【0056】実施の形態5.図5は、本発明に係る実施
の形態5であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1eの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態5の制御クロック信号発生回路1e
は、図5に示すように、図4の制御クロック信号発生回
路1dに比較して、入力信号の変化に対して緩やかに変
化する時間応答特性を有し、入力バッファアンプ7−3
から出力される通常モード用内部/WE信号に応答して
特殊モード用内部/WE信号を発生するノイズフィルタ
9−3をさらに設けたことを特徴としている。従って、
外部/RAS信号、外部/CAS信号及び外部/WE信
号などの外部クロック信号に重畳させるノイズを遅延し
かつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減させる
ことができる。これにより、外部クロック信号に重畳さ
れるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き込み動
作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常終了)さ
せてしまうような特殊モードへのエントリーを緩和、あ
るいは防止できる。
【0057】実施の形態6.図6は、本発明に係る実施
の形態6であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1fの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態5の制御クロック信号発生回路1f
は、図6に示すように、図5の制御クロック信号発生回
路1eに比較して、入力信号の変化に対して緩やかに変
化する時間応答特性を有し、入力バッファアンプ7−4
から出力される通常モード用内部/OE信号に応答して
特殊モード用内部/OE信号を発生するノイズフィルタ
9−3をさらに設けたことを特徴としている。従って、
外部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/WE信号
及び外部/OE信号などの外部クロック信号に重畳させ
るノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を
大幅に軽減させることができる。これにより、外部クロ
ック信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み
出しや書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断
(非正常終了)させてしまうような特殊モードへのエン
トリーを緩和、あるいは防止できる。
【0058】実施の形態7.図7は、本発明に係る実施
の形態7であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1gの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態5の制御クロック信号発生回路1g
は、図7に示すように、外部/RAS信号に対して図1
の実施の形態1に係る入力バッファアンプ7−1及び8
−1を設ける一方、外部/CAS信号に対して図4の実
施の形態4に係る入力バッファアンプ7−2及びノイズ
フィルタ9−2を設けたことを特徴としている。従っ
て、外部/RAS信号及び外部/CAS信号などの外部
クロック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させ
て、そのノイズの影響を大幅に軽減させることができ
る。これにより、外部クロック信号に重畳されるノイズ
による誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常
モードの動作を途中で中断(非正常終了)させてしまう
ような特殊モードへのエントリーを緩和、あるいは防止
できる。
【0059】実施の形態8.図8は、本発明に係る実施
の形態8であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1hの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態8の制御クロック信号発生回路1h
は、図8に示すように、外部/RAS信号に対して図4
の実施の形態4に係る入力バッファアンプ7−1及びノ
イズフィルタ9−1を設ける一方、外部/CAS信号に
対して図1の実施の形態1に係る入力バッファアンプ7
−2及び8−2を設けたことを特徴としている。従っ
て、外部/RAS信号及び外部/CAS信号などの外部
クロック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させ
て、そのノイズの影響を大幅に軽減させることができ
る。これにより、外部クロック信号に重畳されるノイズ
による誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常
モードの動作を途中で中断(非正常終了)させてしまう
ような特殊モードへのエントリーを緩和、あるいは防止
できる。
【0060】実施の形態9.図9は、本発明に係る実施
の形態9であるクロック非同期型DRAMのための制御
クロック信号発生回路1iの構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態9の制御クロック信号発生回路1i
は、図9に示すように、図1の実施の形態1に係る制御
クロック信号発生回路1aの構成に加えて、外部/WE
信号に対して図4の実施の形態4に係るノイズフィルタ
9−3をさらに設けたことを特徴としている。従って、
外部/RAS信号、外部/CAS信号及び外部/WE信
号などの外部クロック信号に重畳させるノイズを遅延し
かつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減させる
ことができる。これにより、外部クロック信号に重畳さ
れるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き込み動
作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常終了)さ
せてしまうような特殊モードへのエントリーを緩和、あ
るいは防止できる。
【0061】実施の形態10.図10は、本発明に係る
実施の形態10であるクロック非同期型DRAMのため
の制御クロック信号発生回路1jの構成を示すブロック
図である。この実施の形態10の制御クロック信号発生
回路1jは、図10に示すように、図1の実施の形態4
に係る制御クロック信号発生回路1dの構成に加えて、
外部/WE信号に対して図2の実施の形態2に係る特殊
モード用入力バッファアンプ8−3をさらに設けたこと
を特徴としている。従って、外部/RAS信号、外部/
CAS信号及び外部/WE信号などの外部クロック信号
に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイ
ズの影響を大幅に軽減させることができる。これによ
り、外部クロック信号に重畳されるノイズによる誤動
作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モードの動
作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような特殊
モードへのエントリーを緩和、あるいは防止できる。
【0062】実施の形態11.図11は、本発明に係る
実施の形態11であるクロック非同期型DRAMのため
の制御クロック信号発生回路1kの構成を示すブロック
図である。この実施の形態11の制御クロック信号発生
回路1kは、図11に示すように、図1の実施の形態1
に係る制御クロック信号発生回路1aの構成に加えて、
外部/WE信号に対して図6の実施の形態6に係るノイ
ズフィルタ9−3をさらに設けるとともに、外部/OE
信号に対して図6の実施の形態6に係るノイズフィルタ
9−4をさらに設けたことを特徴としている。従って、
外部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/WE信号
及び外部/OE信号などの外部クロック信号に重畳させ
るノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を
大幅に軽減させることができる。これにより、外部クロ
ック信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み
出しや書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断
(非正常終了)させてしまうような特殊モードへのエン
トリーを緩和、あるいは防止できる。
【0063】実施の形態12.図12は、本発明に係る
実施の形態12であるクロック非同期型DRAMのため
の制御クロック信号発生回路1lの構成を示すブロック
図である。この実施の形態12の制御クロック信号発生
回路1lは、図12に示すように、図4の実施の形態4
に係る制御クロック信号発生回路1dの構成に加えて、
外部/WE信号に対して図3の実施の形態3に係る特殊
モード用入力バッファアンプ8−3をさらに設けるとと
もに、外部/OE信号に対して図3の実施の形態3に係
る特殊モード用入力バッファアンプ8−4をさらに設け
たことを特徴としている。従って、外部/RAS信号、
外部/CAS信号、外部/WE信号及び外部/OE信号
などの外部クロック信号に重畳させるノイズを遅延しか
つ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減させるこ
とができる。これにより、外部クロック信号に重畳され
るノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き込み動作
等の通常モードの動作を途中で中断(非正常終了)させ
てしまうような特殊モードへのエントリーを緩和、ある
いは防止できる。
【0064】変形例.以上の実施の形態においては、特
殊モード用入力バッファアンプ8−1乃至8−4及び/
又はノイズフィルタ9−1乃至9−4を用いているが、
本発明はこれに限らず、複数の外部クロック信号をそれ
ぞれ、各入力バッファアンプにより、内部信号レベルを
有する複数の内部クロック信号に変換した後、変換され
た複数の内部クロック信号に基づいて半導体記憶装置の
動作を制御する制御クロック信号を発生する信号発生回
路を備えた半導体記憶装置において、入力信号の変化に
対して緩やかに変化する時間応答特性を有し、上記複数
の外部クロック信号のうちの少なくとも1つの外部クロ
ック信号に基づいて、上記半導体記憶装置におけるデー
タの読み出し動作又は書き込み動作に係わる通常モード
とは別の特殊モードのための内部クロック信号を発生す
る発生手段を備えればよい。上記発生手段は、好ましく
は、上記入力バッファアンプに設けられ、又は、上記入
力バッファアンプの後段に設けられたノイズフィルタで
あり、もしくはそれらの組み合わせである。
【0065】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る半導体
記憶装置は、複数の外部クロック信号をそれぞれ、各入
力バッファアンプにより、内部信号レベルを有する複数
の内部クロック信号に変換した後、変換された複数の内
部クロック信号に基づいて半導体記憶装置の動作を制御
する制御クロック信号を発生する信号発生回路を備えた
半導体記憶装置において、入力信号の変化に対して緩や
かに変化する時間応答特性を有し、上記複数の外部クロ
ック信号のうちの少なくとも1つの外部クロック信号に
基づいて、上記半導体記憶装置におけるデータの読み出
し動作又は書き込み動作に係わる通常モードとは別の特
殊モードのための内部クロック信号を発生する発生手段
を備える。従って、外部クロック信号に重畳させるノイ
ズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に
軽減させることができる。これにより、外部クロック信
号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや
書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正
常終了)させてしまうような特殊モードへのエントリー
を緩和、あるいは防止できる。
【0066】また、上記半導体記憶装置において、上記
発生手段は、好ましくは、上記入力バッファアンプに設
けられる。従って、外部クロック信号に重畳させるノイ
ズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に
軽減させることができる。これにより、外部クロック信
号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや
書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正
常終了)させてしまうような特殊モードへのエントリー
を緩和、あるいは防止できる。
【0067】さらに、もしくは、上記半導体記憶装置に
おいて、上記発生手段は、好ましくは、上記入力バッフ
ァアンプの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延させ
て出力信号として出力するノイズフィルタである。従っ
て、外部クロック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ
減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減させること
ができる。これにより、外部クロック信号に重畳される
ノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等
の通常モードの動作を途中で中断(非正常終了)させて
しまうような特殊モードへのエントリーを緩和、あるい
は防止できる。
【0068】さらに、とって代わって、上記半導体記憶
装置において、上記発生手段は、好ましくは、上記複数
の外部クロック信号のうちの少なくとも2つの外部クロ
ック信号に対して設けられ、複数の発生手段のうちの1
つの発生手段は上記入力バッファアンプに設けられる一
方、上記複数の発生手段のうちの別の1つの発生手段は
上記入力バッファアンプの後段に設けられたノイズフィ
ルタである。従って、外部クロック信号に重畳させるノ
イズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅
に軽減させることができる。これにより、外部クロック
信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出し
や書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非
正常終了)させてしまうような特殊モードへのエントリ
ーを緩和、あるいは防止できる。また特に、上記ノイズ
フィルタにより、外部クロック信号にそれぞれ重畳さ
れ、正の電圧方向に変化して重畳するポジティブノイズ
と、負の電圧方向に変化して重畳するネガティブノイズ
の両方のノイズを除去することができる。
【0069】本発明の第1の態様に係る上記半導体記憶
装置において、上記複数の外部クロック信号は、好まし
くは、外部/RAS信号と、外部/CAS信号とを含
み、上記発生手段は、上記外部/RAS信号及び外部/
CAS信号に対して設けられる。従って、外部クロック
信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、その
ノイズの影響を大幅に軽減させることができる。これに
より、外部クロック信号に重畳されるノイズによる誤動
作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モードの動
作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような特殊
モードへのエントリーを緩和、あるいは防止できる。
【0070】また、本発明の第2の態様に係る上記半導
体記憶装置において、上記複数の外部クロック信号は、
好ましくは、外部/RAS信号と、外部/CAS信号
と、外部/WE信号とを含み、上記発生手段は、上記外
部/RAS信号、外部/CAS信号及び外部/WE信号
に対して設けられる。従って、外部クロック信号に重畳
させるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影
響を大幅に軽減させることができる。これにより、外部
クロック信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、
読み出しや書き込み動作等の通常モードの動作を途中で
中断(非正常終了)させてしまうような特殊モードへの
エントリーを緩和、あるいは防止できる。
【0071】さらに、本発明の第3の態様に係る上記半
導体記憶装置において、上記複数の外部クロック信号
は、好ましくは、外部/RAS信号と、外部/CAS信
号と、外部/WE信号と、外部/OE信号とを含み、上
記発生手段は、上記外部/RAS信号、外部/CAS信
号、外部/WE信号及び外部/OE信号に対して設けら
れる。従って、外部クロック信号に重畳させるノイズを
遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減
させることができる。これにより、外部クロック信号に
重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き
込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常終
了)させてしまうような特殊モードへのエントリーを緩
和、あるいは防止できる。
【0072】上記本発明の第1の態様に係る半導体記憶
装置において、上記外部/RAS信号及び上記外部/C
AS信号に対して設けられた各発生手段は、好ましく
は、上記入力バッファアンプに設けられた発生手段であ
る。従って、外部クロック信号に重畳させるノイズを遅
延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減さ
せることができる。これにより、外部クロック信号に重
畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き込
み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常終
了)させてしまうような特殊モードへのエントリーを緩
和、あるいは防止できる。
【0073】また、上記本発明の第1の態様に係る半導
体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び上記外
部/CAS信号に対して設けられた各発生手段は、好ま
しくは、上記入力バッファアンプの後段に設けられ、入
力信号の変化を遅延させて出力信号として出力するノイ
ズフィルタである。従って、外部クロック信号に重畳さ
せるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響
を大幅に軽減させることができる。これにより、外部ク
ロック信号に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読
み出しや書き込み動作等の通常モードの動作を途中で中
断(非正常終了)させてしまうような特殊モードへのエ
ントリーを緩和、あるいは防止できる。また特に、上記
ノイズフィルタにより、外部クロック信号にそれぞれ重
畳され、正の電圧方向に変化して重畳するポジティブノ
イズと、負の電圧方向に変化して重畳するネガティブノ
イズの両方のノイズを除去することができる。
【0074】さらに、上記本発明の第1の態様に係る半
導体記憶装置において、上記外部/RAS信号に対して
設けられた発生手段は、好ましくは、上記入力バッファ
アンプに設けられ、上記外部/CAS信号に対して設け
られた発生手段は、上記入力バッファアンプの後段に設
けられ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出
力するノイズフィルタである。従って、外部クロック信
号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノ
イズの影響を大幅に軽減させることができる。これによ
り、外部クロック信号に重畳されるノイズによる誤動
作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モードの動
作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような特殊
モードへのエントリーを緩和、あるいは防止できる。ま
た特に、上記ノイズフィルタにより、外部クロック信号
にそれぞれ重畳され、正の電圧方向に変化して重畳する
ポジティブノイズと、負の電圧方向に変化して重畳する
ネガティブノイズの両方のノイズを除去することができ
る。
【0075】またさらに、上記本発明の第1の態様に係
る半導体記憶装置において、上記外部/RAS信号に対
して設けられた発生手段は、好ましくは、上記入力バッ
ファアンプの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延さ
せて出力信号として出力するノイズフィルタであり、上
記外部/CAS信号に対して設けられた発生手段は、上
記入力バッファアンプに設けられる。従って、外部クロ
ック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、
そのノイズの影響を大幅に軽減させることができる。こ
れにより、外部クロック信号に重畳されるノイズによる
誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モード
の動作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような
特殊モードへのエントリーを緩和、あるいは防止でき
る。また特に、上記ノイズフィルタにより、外部クロッ
ク信号にそれぞれ重畳され、正の電圧方向に変化して重
畳するポジティブノイズと、負の電圧方向に変化して重
畳するネガティブノイズの両方のノイズを除去すること
ができる。
【0076】上記本発明の第2の態様に係る半導体記憶
装置において、上記外部/RAS信号、上記外部/CA
S信号及び上記外部/WE信号に対して設けられた各発
生手段は、好ましくは、上記入力バッファアンプに設け
られる。従って、外部クロック信号に重畳させるノイズ
を遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽
減させることができる。これにより、外部クロック信号
に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書
き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常
終了)させてしまうような特殊モードへのエントリーを
緩和、あるいは防止できる。
【0077】また、上記本発明の第2の態様に係る半導
体記憶装置において、上記外部/RAS信号、上記外部
/CAS信号及び上記外部/WE信号に対して設けられ
た各発生手段は、好ましくは、上記入力バッファアンプ
の後段に設けられ、入力信号の変化を遅延させて出力信
号として出力するノイズフィルタである。従って、外部
クロック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させ
て、そのノイズの影響を大幅に軽減させることができ
る。これにより、外部クロック信号に重畳されるノイズ
による誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常
モードの動作を途中で中断(非正常終了)させてしまう
ような特殊モードへのエントリーを緩和、あるいは防止
できる。また特に、上記ノイズフィルタにより、外部ク
ロック信号にそれぞれ重畳され、正の電圧方向に変化し
て重畳するポジティブノイズと、負の電圧方向に変化し
て重畳するネガティブノイズの両方のノイズを除去する
ことができる。
【0078】さらに、上記本発明の第2の態様に係る半
導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び上記
外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段は、好
ましくは、上記入力バッファアンプに設けられ、上記外
部/WE信号に対して設けられた発生手段は上記入力バ
ッファアンプの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延
させて出力信号として出力するノイズフィルタである。
従って、外部クロック信号に重畳させるノイズを遅延し
かつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽減させる
ことができる。これにより、外部クロック信号に重畳さ
れるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書き込み動
作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常終了)さ
せてしまうような特殊モードへのエントリーを緩和、あ
るいは防止できる。また特に、上記ノイズフィルタによ
り、外部クロック信号にそれぞれ重畳され、正の電圧方
向に変化して重畳するポジティブノイズと、負の電圧方
向に変化して重畳するネガティブノイズの両方のノイズ
を除去することができる。
【0079】またさらに、上記本発明の第2の態様に係
る半導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び
上記外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段
は、好ましくは、上記入力バッファアンプの後段に設け
られ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出力
するノイズフィルタであり、上記外部/WE信号に対し
て設けられた発生手段は上記入力バッファアンプに設け
られる。従って、外部クロック信号に重畳させるノイズ
を遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽
減させることができる。これにより、外部クロック信号
に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書
き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常
終了)させてしまうような特殊モードへのエントリーを
緩和、あるいは防止できる。また特に、上記ノイズフィ
ルタにより、外部クロック信号にそれぞれ重畳され、正
の電圧方向に変化して重畳するポジティブノイズと、負
の電圧方向に変化して重畳するネガティブノイズの両方
のノイズを除去することができる。
【0080】上記本発明の第3の態様に係る半導体記憶
装置において、上記外部/RAS信号、上記外部/CA
S信号、上記外部/WE信号及び上記外部/OE信号に
対して設けられた各発生手段は、好ましくは、上記入力
バッファアンプに設けられる。従って、外部クロック信
号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノ
イズの影響を大幅に軽減させることができる。これによ
り、外部クロック信号に重畳されるノイズによる誤動
作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モードの動
作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような特殊
モードへのエントリーを緩和、あるいは防止できる。
【0081】また、上記本発明の第3の態様に係る半導
体記憶装置において、上記外部/RAS信号、上記外部
/CAS信号、上記外部/WE信号及び上記外部/OE
信号に対して設けられた各発生手段は、好ましくは、上
記入力バッファアンプの後段に設けられ、入力信号の変
化を遅延させて出力信号として出力するノイズフィルタ
である。従って、外部クロック信号に重畳させるノイズ
を遅延しかつ減少させて、そのノイズの影響を大幅に軽
減させることができる。これにより、外部クロック信号
に重畳されるノイズによる誤動作、特に、読み出しや書
き込み動作等の通常モードの動作を途中で中断(非正常
終了)させてしまうような特殊モードへのエントリーを
緩和、あるいは防止できる。また特に、上記ノイズフィ
ルタにより、外部クロック信号にそれぞれ重畳され、正
の電圧方向に変化して重畳するポジティブノイズと、負
の電圧方向に変化して重畳するネガティブノイズの両方
のノイズを除去することができる。
【0082】さらに、上記本発明の第3の態様に係る半
導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び上記
外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段は、好
ましくは、上記入力バッファアンプに設けられ、上記外
部/WE信号及び上記外部/OE信号に対して設けられ
た各発生手段は、上記入力バッファアンプの後段に設け
られ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出力
するノイズフィルタである。従って、外部クロック信号
に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、そのノイ
ズの影響を大幅に軽減させることができる。これによ
り、外部クロック信号に重畳されるノイズによる誤動
作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モードの動
作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような特殊
モードへのエントリーを緩和、あるいは防止できる。ま
た特に、上記ノイズフィルタにより、外部クロック信号
にそれぞれ重畳され、正の電圧方向に変化して重畳する
ポジティブノイズと、負の電圧方向に変化して重畳する
ネガティブノイズの両方のノイズを除去することができ
る。
【0083】またさらに、上記本発明の第3の態様に係
る半導体記憶装置において、上記外部/RAS信号及び
上記外部/CAS信号に対して設けられた各発生手段
は、好ましくは、上記入力バッファアンプの後段に設け
られ、入力信号の変化を遅延させて出力信号として出力
するノイズフィルタであり、上記外部/WE信号及び上
記外部/OE信号に対して設けられた各発生手段は、上
記入力バッファアンプに設けられる。従って、外部クロ
ック信号に重畳させるノイズを遅延しかつ減少させて、
そのノイズの影響を大幅に軽減させることができる。こ
れにより、外部クロック信号に重畳されるノイズによる
誤動作、特に、読み出しや書き込み動作等の通常モード
の動作を途中で中断(非正常終了)させてしまうような
特殊モードへのエントリーを緩和、あるいは防止でき
る。また特に、上記ノイズフィルタにより、外部クロッ
ク信号にそれぞれ重畳され、正の電圧方向に変化して重
畳するポジティブノイズと、負の電圧方向に変化して重
畳するネガティブノイズの両方のノイズを除去すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る実施の形態1であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1a
の構成を示すブロック図である。
【図2】 本発明に係る実施の形態2であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1b
の構成を示すブロック図である。
【図3】 本発明に係る実施の形態3であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1c
の構成を示すブロック図である。
【図4】 本発明に係る実施の形態4であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1d
の構成を示すブロック図である。
【図5】 本発明に係る実施の形態5であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1e
の構成を示すブロック図である。
【図6】 本発明に係る実施の形態6であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1f
の構成を示すブロック図である。
【図7】 本発明に係る実施の形態7であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1g
の構成を示すブロック図である。
【図8】 本発明に係る実施の形態8であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1h
の構成を示すブロック図である。
【図9】 本発明に係る実施の形態9であるクロック非
同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路1i
の構成を示すブロック図である。
【図10】 本発明に係る実施の形態10であるクロッ
ク非同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路
1jの構成を示すブロック図である。
【図11】 本発明に係る実施の形態11であるクロッ
ク非同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路
1kの構成を示すブロック図である。
【図12】 本発明に係る実施の形態12であるクロッ
ク非同期型DRAMのための制御クロック信号発生回路
1lの構成を示すブロック図である。
【図13】 実施の形態で用いる通常モード用入力バッ
ファアンプ7の構成を示す回路図である。
【図14】 実施の形態で用いる特殊モード用入力バッ
ファアンプ8の構成を示す回路図である。
【図15】 図13の通常モード用入力バッファアンプ
7における入力電圧に対する出力電圧の時間応答特性、
及び図14の特殊モード用入力バッファアンプ8におけ
る入力電圧に対する出力電圧の時間応答特性を示す特性
図である。
【図16】 実施の形態で用いるノイズフィルタ9の構
成を示す回路図である。
【図17】 従来例のクロック非同期型DRAM100
の構成を示すブロック図である。
【図18】 図17の制御クロック信号発生回路1の構
成を示すブロック図である。
【図19】 図18の制御クロック発生器30の一例で
ある通常モードのための制御クロック発生器30aの構
成を示す回路図である。
【図20】 図18の制御クロック発生器30の一例で
ある特殊モードのための制御クロック発生器30bの構
成を示す回路図である。
【図21】 従来例の通常モードの読み出し動作時の外
部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/WE信号及
び外部/OE信号を示すタイミングチャートである。
【図22】 従来例の特殊モードのCbRリフレッシュ
動作時の外部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/
WE信号及び外部/OE信号を示すタイミングチャート
である。
【図23】 図21の通常モードの読み出し動作におい
てノイズが発生したときの問題点を示す図であって、外
部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/WE信号及
び外部/OE信号を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
1,1a,1b,1c,1d,1e,1f,1g,1
h,1i,1j,1k,1l 制御クロック信号発生回
路、2a 通常モード用バッファアンプ、2b 特殊モ
ード用バッファアンプ、3 クロック発生器、7,7−
1乃至7−4 通常モード用バッファアンプ、8,8−
1乃至8−4 特殊モード用バッファアンプ、9,9−
1乃至9−4 ノイズフィルタ、TR1,TR2,TR
3,TR4,TR5,TR11,TR12,TR13,
TR14,TR21,TR22 MOS型電界効果トラ
ンジスタ(MOSFET)、INV11,INV21,
INV22 インバータ、100 クロック非同期型D
RAM。

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の外部クロック信号をそれぞれ、各
    入力バッファアンプにより、内部信号レベルを有する複
    数の内部クロック信号に変換した後、変換された複数の
    内部クロック信号に基づいて半導体記憶装置の動作を制
    御する制御クロック信号を発生する信号発生回路を備え
    た半導体記憶装置において、 入力信号の変化に対して緩やかに変化する時間応答特性
    を有し、上記複数の外部クロック信号のうちの少なくと
    も1つの外部クロック信号に基づいて、上記半導体記憶
    装置におけるデータの読み出し動作又は書き込み動作に
    係わる通常モードとは別の特殊モードのための内部クロ
    ック信号を発生する発生手段を備えたことを特徴とする
    半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 上記発生手段は、上記入力バッファアン
    プに設けられたことを特徴とする請求項1記載の半導体
    記憶装置。
  3. 【請求項3】 上記発生手段は、上記入力バッファアン
    プの後段に設けられ、入力信号の変化を遅延させて出力
    信号として出力するノイズフィルタであることを特徴と
    する請求項1記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 上記発生手段は、上記複数の外部クロッ
    ク信号のうちの少なくとも2つの外部クロック信号に対
    して設けられ、複数の発生手段のうちの1つの発生手段
    は上記入力バッファアンプに設けられる一方、上記複数
    の発生手段のうちの別の1つの発生手段は上記入力バッ
    ファアンプの後段に設けられたノイズフィルタであるこ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 上記複数の外部クロック信号は、外部/
    RAS信号と、外部/CAS信号とを含み、上記発生手
    段は、上記外部/RAS信号及び外部/CAS信号に対
    して設けられたことを特徴とする請求項1記載の半導体
    記憶装置。
  6. 【請求項6】 上記複数の外部クロック信号は、外部/
    RAS信号と、外部/CAS信号と、外部/WE信号と
    を含み、上記発生手段は、上記外部/RAS信号、外部
    /CAS信号及び外部/WE信号に対して設けられたこ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 上記複数の外部クロック信号は、外部/
    RAS信号と、外部/CAS信号と、外部/WE信号
    と、外部/OE信号とを含み、上記発生手段は、上記外
    部/RAS信号、外部/CAS信号、外部/WE信号及
    び外部/OE信号に対して設けられたことを特徴とする
    請求項1記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 上記外部/RAS信号及び上記外部/C
    AS信号に対して設けられた各発生手段は、請求項2記
    載の発生手段であることを特徴とする請求項5記載の半
    導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 上記外部/RAS信号及び上記外部/C
    AS信号に対して設けられた各発生手段は、請求項3記
    載の発生手段であることを特徴とする請求項5記載の半
    導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 上記外部/RAS信号に対して設けら
    れた発生手段は、請求項2記載の発生手段であり、上記
    外部/CAS信号に対して設けられた発生手段は、請求
    項3記載の発生手段であることを特徴とする請求項5記
    載の半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 上記外部/RAS信号に対して設けら
    れた発生手段は、請求項3記載の発生手段であり、上記
    外部/CAS信号に対して設けられた発生手段は、請求
    項2記載の発生手段であることを特徴とする請求項5記
    載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 上記外部/RAS信号、上記外部/C
    AS信号及び上記外部/WE信号に対して設けられた各
    発生手段は、請求項2記載の発生手段であることを特徴
    とする請求項6記載の半導体記憶装置。
  13. 【請求項13】 上記外部/RAS信号、上記外部/C
    AS信号及び上記外部/WE信号に対して設けられた各
    発生手段は、請求項3記載の発生手段であることを特徴
    とする請求項6記載の半導体記憶装置。
  14. 【請求項14】 上記外部/RAS信号及び上記外部/
    CAS信号に対して設けられた各発生手段は、請求項2
    記載の発生手段であり、上記外部/WE信号に対して設
    けられた発生手段は請求項3記載の発生手段であること
    を特徴とする請求項6記載の半導体記憶装置。
  15. 【請求項15】 上記外部/RAS信号及び上記外部/
    CAS信号に対して設けられた各発生手段は、請求項3
    記載の発生手段であり、上記外部/WE信号に対して設
    けられた発生手段は請求項2記載の発生手段であること
    を特徴とする請求項6記載の半導体記憶装置。
  16. 【請求項16】 上記外部/RAS信号、上記外部/C
    AS信号、上記外部/WE信号及び上記外部/OE信号
    に対して設けられた各発生手段は、請求項2記載の発生
    手段であることを特徴とする請求項7記載の半導体記憶
    装置。
  17. 【請求項17】 上記外部/RAS信号、上記外部/C
    AS信号、上記外部/WE信号及び上記外部/OE信号
    に対して設けられた各発生手段は、請求項3記載の発生
    手段であることを特徴とする請求項7記載の半導体記憶
    装置。
  18. 【請求項18】 上記外部/RAS信号及び上記外部/
    CAS信号に対して設けられた各発生手段は、請求項2
    記載の発生手段であり、上記外部/WE信号及び上記外
    部/OE信号に対して設けられた各発生手段は、請求項
    3記載の発生手段であることを特徴とする請求項7記載
    の半導体記憶装置。
  19. 【請求項19】 上記外部/RAS信号及び上記外部/
    CAS信号に対して設けられた各発生手段は、請求項3
    記載の発生手段であり、上記外部/WE信号及び上記外
    部/OE信号に対して設けられた各発生手段は、請求項
    2記載の発生手段であることを特徴とする請求項7記載
    の半導体記憶装置。
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