JP3640218B2 - 半導体集積回路 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、半導体集積回路において、例えばDRAMにおける書き込みマージンの少ないものをリジェクトするためのテストを行う際に、該DRAMの内部信号を外部から操作するための回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図10は、従来のダイナミックランダムアクセスメモリ(以下、DRAMと呼ぶ)の例における信号の流れを示した概略のブロック図である。
図10において、複数のアドレス入力端子A0〜A9から入力されたアドレスを指定する信号はそれぞれアドレスバッファ1に入力され、該アドレスバッファ1は、列デコーダ2及び行デコーダ3に対して上記各アドレス入力端子A0〜A9より入力されたA0〜A9信号からメモリセル4のアドレスのワード線とビット線を示す信号を出力する。
【0003】
行デコーダ3は、メモリセル4のワード線及びビット線を活性化させるタイミングを制御するための信号である内部クロック信号α(以下α信号と呼ぶ)がクロック発生回路6から入力されるとアドレスバッファ1から入力された信号が示すワード線WLを活性化させる。また、列デコーダ2は、クロック発生回路6から上記α信号が入力されるとアドレスバッファ1から入力された信号が示すビット線BLをセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5を介して活性化させる。なお、上記列デコーダ2及び行デコーダ3は、上記α信号が「H」のときにメモリセル4のビット線及びワード線を活性化させるものである。
【0004】
上記クロック発生回路6には、上記α信号を活性化させるための信号であり、メモリセル4への書き込み動作を開始したいタイミングに外部回路から送られてくる行アドレスストローブ信号である外部/RAS信号が入力される外部入力端子/RAS(以下、/RAS端子と呼ぶ)、及びメモリセル4への書き込み動作を開始したいタイミングに外部回路から送られてくる列アドレスストローブ信号である外部/CAS信号が入力される外部入力端子/CAS(以下、/CAS端子と呼ぶ)がそれぞれ接続されている。
【0005】
更に、該クロック発生回路6は、/WE発生回路7に接続され、該/WE発生回路7には、指定アドレスのメモリセルに書き込みを行う書き込み動作にセットするためのライト信号(以下外部/W信号と呼ぶ)が入力される外部入力端子/W(以下、/W端子と呼ぶ)が接続される。なお、外部/W信号は、上記書き込み動作にセットする場合は「L」となり、それ以外は「H」となる。
【0006】
上記/WE発生回路7は、更にデータ入力バッファ8に接続され、データ入力バッファ8に接続された外部入出力端子DQ1,DQ2,DQ3,DQ4から入力される信号データのメモリセル4への書き込みを制御する/WE信号を出力する。また、上記クロック発生回路6は、更にアドレスバッファ1及びATD発生回路10に接続され、該ATD発生回路10は、更にアドレスバッファ1及びI/Oイコライズ回路11に接続されている。なお、上記データ入力バッファ8は、データ出力バッファ9にI/O線と/I/O線という一対のI/O線からなるI/Oで接続されており、更に該接続部からI/Oイコライズ回路11を介してセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5へ上記I/Oで接続されている。なお、上記/I/O線の頭文字の/は、信号レベルの反転を意味するものである。
【0007】
上記ATD発生回路10は、アドレスバッファ1から入力された上記A0〜A9信号から指定されるアドレスの変化を検出すると、内部で発生させるパルス信号であるATD信号(図示せず)を発生させ、該ATD信号を用いて上記I/Oイコライズ回路11に対してイコライズの実行を制御する信号である/IOEQ信号を出力する。上記I/Oイコライズ回路11は、該/IOEQ信号によって、上記I/O線及び/I/O線をイコライズする回路である。
【0008】
図11は、上記I/Oイコライズ回路11の回路例を示した図であり、図11において、I/Oイコライズ回路11は、1つのトランスファゲート15と1つのインバータ回路16とからなり、該トランスファゲート15の両出力によって上記I/O線及び/I/O線が接続され、トランスファゲート15の一方の制御入力15aとインバータ回路16の入力がATD発生回路10に接続され、インバータ回路16の出力はトランスファゲート15の他方の制御入力15bに接続されている。
【0009】
ここで、上記ATD発生回路10から「L」の/IOEQ信号がトランスファゲート15の制御入力15a及びインバータ回路16の入力に入力されると、トランスファゲート15の出力は導通し、I/O線及び/I/O線がイコライズされる。同様に、ATD発生回路10から「H」の/IOEQ信号が出力されると、トランスファゲート15の出力は遮断し、I/O線及び/I/O線はイコライズされなくなる。
【0010】
次に、図10において、更に、データ出力バッファ9は外部入力端子/OEに接続され、該端子から出力イネーブル信号(以下、/OE信号と呼ぶ)が入力されると、データ出力バッファ9に接続された上記外部入出力端子DQ1〜DQ4からメモリセル4に記憶された信号データの読み出しを行う。上記のように、行アドレスの指定データ入出力、列アドレスの指定データ入出力及びイコライズ制御などの信号は、すべてクロック発生回路6からの内部クロック信号であるα信号によりそれぞれ入出力される。
【0011】
また、上記/RAS端子、上記/CAS端子及び/W端子は、/TE発生回路12に接続されており、該/TE発生回路12は、上記外部/CAS信号及び上記外部/W信号がそれぞれ「L」のときに、外部/RAS信号が立ち下がるWCBRのタイミング時にDRAM13をテストモードにセットするための信号である「L」(通常モード時においては「H」)の/TE信号を所定の箇所へ出力するものである。
【0012】
上記のような構成のDRAM13において、「L」の外部/RAS信号及び「L」の外部/CAS信号がクロック発生回路6に入力されると、該クロック発生回路6は、列デコーダ2及び行デコーダ3に対して上記α信号を出力する。該列デコーダ2は、アドレスバッファ1から入力される信号が示すメモリセル4のアドレスのビット線BLをセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5を介して活性化させると共に、該行デコーダ3は、アドレスバッファ1から入力される信号が示すメモリセル4のアドレスのワード線WLを活性化させる。
【0013】
更に、クロック発生回路6から出力された「H」の上記α信号は/WE発生回路7に入力され、該/WE発生回路7の出力からは上記外部/W信号の2値のレベルと同じレベルの信号が出力される。ここで、書き込み動作にセットするための「L」の外部/W信号が/WE発生回路7に入力されると、上記データ入力バッファ8に「L」の/WE信号が入力され、該データ入力バッファ8は書き込み動作に入る。これにより、外部入出力端子DQ1〜DQ4から入力される信号データがデータ入力バッファ8からI/Oイコライズ回路11及びセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5を介して、上記列デコーダ2及び行デコーダ3により活性化されたアドレスのメモリセル4に書き込まれる。
【0014】
ここで、書き込み動作時における上記データ入力バッファ8の動作をもう少し詳細に説明する。図12は、上記データ入力バッファ8の従来例を示した概略のブロック図であり、図12において、データ入力バッファ8は、上記/WE発生回路7からの/WE信号から内部WE信号であるWDE信号を生成し出力するWDE発生回路17と、外部入出力端子DQ1〜DQ4から入力される信号データを取り込み、該信号データをメモリセル4に書き込ませるWD信号に変換して出力するデータ入力バッファ部18と、上記WDE信号の2値のレベルにより、上記WD信号のセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5への出力を制御するライトドライバ19とからなる。
【0015】
上記WDE発生回路17とデータ入力バッファ部18は/WE発生回路7に接続されており、ライトドライバ19はWDE発生回路17及びデータ入力バッファ部18に接続され、更にI/Oイコライズ回路11を介してセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5に接続されている。/WE発生回路7から「H」の信号が入力されると、WDE発生回路17はそれに対応したWDE信号をライトドライバ19に出力すると共に、データ入力バッファ部18は外部入出力端子DQ1〜DQ4から信号データを取り込み、WD信号をライトドライバ19に出力する。該ライトドライバ19は、WDE発生回路17からのWDE信号が書き込み許可を示している場合、上記WD信号を上記I/Oイコライズ回路11を介して上記I/Oを通してセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5に出力する。
【0016】
図13は、上記ライトドライバ19の回路例を示した回路図であり、図13において、ライトドライバ19は、2つのnチャンネル型MOSトランジスタ(以下、nMOSトランジスタと呼ぶ)20,21と1つのインバータ回路22とからなり、nMOSトランジスタ20,21の両ゲートは互いに接続され、該接続部はWDE発生回路17に接続されている。また、nMOSトランジスタ20のドレインはデータ入力バッファ部18に接続され、nMOSトランジスタ21のドレインはインバータ回路22の出力に接続され、インバータ回路22の入力はnMOSトランジスタ20のドレインに接続されている。更に、nMOSトランジスタ20のソースはI/OのI/O線に、nMOSトランジスタ21のソースはI/Oの/I/O線に接続されている。
【0017】
ライトドライバ19は、書き込み動作時に、WDE発生回路17から「H」のWDE信号が上記nMOSトランジスタ20,21の両ゲートに入力されると、両nMOSトランジスタ20,21はオンして、データ入力バッファ部18から入力されるWD信号を、nMOSトランジスタ20を介してI/OのI/O線に、インバータ回路22及びnMOSトランジスタ21を介してI/Oの/I/O線に出力する。
【0018】
図14は、上記WDE発生回路17の回路例を示した回路図であり、図14において、WDE発生回路17は、12のインバータ回路30,31,32,33,34,35,36,37,38,39,40,41と2つのNAND回路42,43と1つの遅延回路44とからなり、インバータ回路30にインバータ回路31が同じ方向に直列に接続され、該直列回路を形成するインバータ回路30の入力がNAND回路42の出力に接続され、更に上記インバータ回路31の出力はNAND回路43の一方の入力に接続されている。
【0019】
また、インバータ回路32にインバータ回路33が、該インバータ回路33にインバータ回路34が、該インバータ回路34にインバータ回路35が、該インバータ回路35にインバータ回路36が同じ方向に直列に接続され、該直列回路を形成するインバータ回路32の入力が上記NAND回路43の出力に接続され、上記インバータ回路36の出力は上記ライトドライバ19に接続されている。
【0020】
更にまた、インバータ回路37にインバータ回路38が、該インバータ回路38にインバータ回路39が、該インバータ回路39にインバータ回路40が、該インバータ回路40にインバータ回路41が同じ方向に直列に接続され、該直列回路を形成するインバータ回路37の入力が上記インバータ回路32及び33の接続部に接続され、上記インバータ回路41の出力は上記NAND回路42の一方の入力に接続されている。該NAND回路42の他方の入力は、上記/WE発生回路7に接続されている。
【0021】
更に、上記インバータ回路35及び36の接続部には、遅延回路44の入力が接続され、該遅延回路44の出力は更に上記NAND回路43の他方の入力に接続されている。ここで、インバータ回路41の出力とNAND回路42の入力との上記接続部をノードAとし、遅延回路44とNAND回路43の入力との上記接続部をノードBとし、インバータ回路31の出力とNAND回路43の入力との上記接続部をノードCとする。
【0022】
図15は、上記図14で示した回路におけるタイミングチャート図である。図15におけるA,B,Cは、図14のノードA、ノードB、ノードCにおける信号のタイミングチャートを示している。図15において、ノードAが「H」のときに、/WE信号が「H」から「L」に切り替わると、NAND回路42、インバータ回路30及びインバータ回路31によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてノードCが「L」から「H」に切り替わる。更に、このときノードBが「H」であると、NAND回路43及びインバータ回路32,37,38,39,40,41によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてノードAが「H」から「L」に切り替わると共に、NAND回路43及びインバータ回路32,33,34,35,36によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてWDE信号が「L」から「H」に切り替わる。
【0023】
また、ノードBが「H」のときにノードCが「L」から「H」に切り替わると、NAND回路43、インバータ回路32,33,34,35及び遅延回路44によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてノードBが「H」から「L」に切り替わり、それにより、ノードAは、NAND回路43及びインバータ回路32,37,38,39,40,41によって生じる遅延時間だけ遅れて「L」から「H」に切り替わると共に、WDE信号はNAND回路43及びインバータ回路32,33,34,35,36によって生じる遅延時間だけ遅れて「H」から「L」に切り替わる。
【0024】
図14及び図15から分かるように、WDE信号は、/WE発生回路7からの/WE信号、更には外部/W信号の2値のレベルが切り替わったときのみ/WE発生回路7で設定された所定の遅延時間だけ遅れて2値のレベルが切り替わる。このように、tRWLが十分に長いとき、WDE信号のパルス幅をWDE発生回路17というデバイス内部で作られる。
【0025】
図16は、上記ATD発生回路10の回路例を示した回路図であり、図16においてATD発生回路10は、3つのNAND回路70,71,72と、7つのインバータ回路73,74,75,76,77,78,79と、1つのnMOSトランジスタ81と、1つのpチャンネル型MOSトランジスタ(以下、pMOSトランジスタと呼ぶ)82と、2つのコンデンサ83,84とからなる。NAND回路70と71はR−Sフリップフロップ回路を形成し、NAND回路70の出力はNAND回路72の一方の入力に接続され、該接続部と接地間にはコンデンサ83が接続される。更に、NAND回路71の出力はNAND回路72の他方の入力に接続され、該接続部と接地間にはコンデンサ84が接続される。
【0026】
また、NAND回路72の出力は、インバータ回路73の入力に接続され、インバータ回路73の出力はnMOSトランジスタ81のゲートに接続される。nMOSトランジスタ81のソースは接地されており、nMOSトランジスタ81のドレインはpMOSトランジスタ82のドレインに接続され、該pMOSトランジスタ82のソースはVCC端子に接続されている。インバータ回路74の出力がインバータ回路75の入力に、該インバータ回路75の出力がインバータ回路76の入力に接続されて直列回路を形成し、該インバータ回路74の入力がnMOSトランジスタ81とpMOSトランジスタ82の両ドレインの接続部に接続され、インバータ回路76の出力からATD信号が出力される。
【0027】
更に、インバータ回路77の出力がインバータ回路78の入力に、該インバータ回路78の出力がインバータ回路79の入力に接続されて直列回路を形成し、該インバータ回路77の入力は上記インバータ回路74の出力と上記インバータ回路75の入力との接続部に接続され、上記インバータ回路79の出力は上記pMOSトランジスタ82のゲートに接続されている。
【0028】
なお、ATD発生回路10は、上記NAND回路70,71,72と、インバータ回路73と、コンデンサ83,84からなる回路が、アドレス入力端子の数に対応した数だけあり、該各回路のインバータ回路73からのそれぞれの出力信号を所定の処理を行ってnMOSトランジスタ81の入力に入力されるが、ここでは、説明を簡単にするため、本例の場合のアドレス入力端子A0〜A9からの任意の1つの端子に対応した1つのAn(nは0から9までの整数)信号における回路のみの場合で説明する。
上記NAND回路70の一方の入力にはアドレスバッファ1からのAn信号が、上記NAND回路71の一方の入力には上記An信号の信号レベルを反転させた反転信号/An信号が入力される。
【0029】
図17は、上記図16で示した回路におけるタイミングチャート図である。図17におけるφは、図16のインバータ回路73の出力とnMOSトランジスタ81のゲートとの接続部であるノードφにおける信号のタイミングチャートを示している。図17において、An信号が「H」から「L」に切り替わると、/An信号が「L」から「H」に切り替わる。ここで、コンデンサ83に充電された電位により該電位が放電される間、NAND回路72の両入力は「H」となり、ノードφは、NAND回路70,71,72及びインバータ回路73によって生じる遅延時間だけ遅れて「H」のパルス信号が発生する。更にnMOSトランジスタ81、pMOSトランジスタ82及びインバータ回路74,75,76,77,78,79によって生じる遅延時間だけ遅れて「H」のパルス信号のATD信号が出力される。
【0030】
従来、上記のようなDRAMといった半導体デバイスにおいて、半導体集積回路の書き込みマージンの少ないものをリジェクトするための最も重要なテストの1つとして、メモリセルへの書き込み又は読み出し動作を開始したいタイミングに外部回路から送られてくるダウンエッジの上記外部/RAS信号における「L」の幅を示す時間であるtRASを長くする(以下、Long tRASと呼ぶ)と共に、指定アドレスのメモリセルを書き込み動作にセットするための上記外部/W信号の立ち下がりから上記外部/RAS信号の立ち上がりまでの時間であるtRWLを短くする(以下、Short tRWLと呼ぶ)テストがある。
【0031】
図18は、図10で示したDRAM13のメモリセル4の構造例を示した回路図であり、図18において、トランスファゲート100のゲートはワード線WLに接続されており、該トランスファゲート100のドレインはビット線BLに接続され、更にトランスファゲート100のソースはメモリセル容量Cに接続されている。ワード線WLに流れる信号をWL信号とすると、上記外部/W信号が「L」であり、かつWL信号が「H」のときにメモリセルにデータが書き込まれる。
【0032】
ここで、例えば上記ワード線WLが、高抵抗でアース(VSS)にショートしている不良がある場合、Long tRASにするとWL信号のレベルが次第に下がってくる。これにより、トランスファゲート100のゲート電圧が下がる。更に、Short tRWLにすると、図15で示したWDE信号のパルス幅が狭くなり、図18のビット線BLにデータ信号を印加する時間が短くなることから、上記Long tRAS及びShort tRWLの2つの効果により、メモリセル容量Cに蓄えられた電荷を少なくすることによって書き込みマージンの少ないものをリジェクトしていた。
【0033】
また、DRAM13におけるATD発生回路10は、I/Oイコライズ回路11に対して上記I/Oを動作前にイコライズさせて高速化を図るものであるが、該イコライズが十分でないと、インバリッドデータが発生して逆にアクセスが遅くなる。更に、ATD信号幅を細くしイコライズ不十分となりインバリッドデータが発生するという一連の動作が、クロック発生回路6からのα信号に対してマッチングしていないと間違ったデータが出力されるといったアドレスノイズが発生する。そこで、DRAM13のアクセス速度及びアドレスノイズの発生をテストする方法として、上記ATD信号のパルス幅を狭くして、アクセス速度が遅いもの及びアドレスノイズが発生するものをリジェクトしていた。
【0034】
【発明が解決しようとする課題】
図19は、図10、図11、図12、図13、図14及び図15で示したDRAM13の書き込み動作時における各信号のタイミングチャート図である。図19で示すように、上記書き込み動作は1サイクルで1ビットの信号データの書き込みであることから、上記のようにWDE信号のパルス幅を短くするためには、tRWLの性質上、1ビットずつ上記外部/RAS信号を「L」から「H」に立ち上げる必要があり、1ビットずつ上記のような長いサイクルでテストをしなければならず、テスト時間が非常に長くかかるという問題があった。
【0035】
そこで、外部/RAS信号を「H」から「L」に立ち下げたままの状態で、外部/CAS信号をクロック入力することで、同一の行アドレス上のデータをアクセスするページモードを用いて、上記Long tRAS及び上記Short tRWLのテストを行うことにより、テスト時間の短縮を図る方法が考えられた。しかし、図20は、図10、図11、図12、図13、図14及び図15で示したDRAM13のページモード時の書き込み動作時における各信号のタイミングチャート図であるが、図20で示すように、ページモード中におけるtRWLは長くなると共に、WDE信号がWDE発生回路17で自動的にパルス幅が決められることから、Short tRWLのテストにならないという問題があった。
【0036】
また、従来のATD発生回路10で発生するATD信号のパルス幅は、該ATD発生回路10によって設定されており、該設定をDRAMのアクセス速度をテストするためにATD信号の幅を細くするようにした場合、テストを行う以外の通常の動作においても、該ATD信号の幅が細くなったままであり、ATD信号幅を細くしイコライズ不十分となりインバリッドデータが発生するという一連の動作がクロック発生回路6からのα信号に対してマッチングしないと間違ったデータが出力されるという問題があり、逆にATD信号幅を太くした場合、イコライズしたままビット線につながることでセルデータを破壊するという問題があった。
【0037】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、半導体デバイスのテストにおいて、テスト時間を短縮すると共に、より厳しくテストを行うことができる半導体集積回路を得るものである。
【0038】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第1外部端子から入力される2値の第1外部信号の状態変更に対応して所定の第1内部信号を生成して出力する第1内部信号出力手段を備える半導体集積回路において、少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、2値の状態を変更して該所定の信号が入力されたことを示す第2内部信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力する第2内部信号出力手段を備えたことを特徴とする半導体集積回路を提供するものである。
【0039】
本願の特許請求の範囲の請求項2に記載の発明において、上記請求項1の第2内部信号出力手段は、上記第2外部端子に所定の信号が入力されると、テストモードを開始させるために2値の状態を変更するテストモード信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力するテストモード信号出力手段であることを特徴とする。
【0040】
本願の特許請求の範囲の請求項3に記載の発明は、第1外部端子から入力される書き込み動作を開始させるように2値の状態を変更するライトイネーブル信号の状態変更に対応して所定の第1内部信号を生成して出力する第1内部信号出力手段を備え、ページモードでの動作を行うDRAMにおける半導体集積回路において、少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、テストモードを開始させるために2値の状態を変更するテストモード信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力するテストモード信号出力手段を備えたことを特徴とするDRAMにおける半導体集積回路を提供するものである。
【0044】
【作用】
特許請求の範囲の請求項1に記載の半導体集積回路は、第2内部信号出力手段で、少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、2値の状態を変更して該所定の信号が入力されたことを示す第2内部信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力し、上記第1内部信号出力手段で、上記第2内部信号出力手段より入力された第2内部信号が所定の状態変更を行った場合、上記第1外部信号の状態変更に対応して2値の状態変更を行う第1内部信号を生成して出力する。
【0045】
特許請求の範囲の請求項2に記載の半導体集積回路においては、テストモード信号出力手段で、少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、テストモードを開始させるために2値の状態を変更するテストモード信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力し、上記第1内部信号出力手段で、上記テストモード信号出力手段より入力されたテストモード信号がテストモードを開始させるように状態変更を行った場合、上記第1外部信号の状態変更に対応して2値の状態変更を行う第1内部信号を生成して出力する。
【0046】
特許請求の範囲の請求項3に記載のDRAMにおける半導体集積回路は、テストモード信号出力手段で、少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、テストモードを開始させるために2値の状態を変更するテストモード信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力し、ページモード動作時において、上記第1内部信号出力手段で、上記テストモード信号出力手段より入力されたテストモード信号がテストモードを開始させるように状態変更を行った場合、上記第1外部信号の状態変更に対応して2値の状態変更を行う第1内部信号を、通常の動作時と同じ経路を用いて生成し出力する。
【0050】
【実施例】
次に、図面に示す実施例に基づき、本発明について詳細に説明する。
実施例1.
図1は、本発明の第1実施例の半導体集積回路を使用したDRAMの概略ブロック図であり、図2は、図1で示したデータ入力バッファの概略ブロック図である。図1及び図2において、上記従来例を示した図10及び図12と同じものは同じ符号で示しており、ここでは図10及び図12との相違点の説明を行う。
【0051】
まず最初に、図1における図10との相違点は、図10における/TE発生回路12をデータ入力バッファ8に接続し、これに伴ってデータ入力バッファ8Aとしたことにある。また、図2における図12との相違点は、図12におけるWDE発生回路17に/TE発生回路12を接続し、これに伴ってWDE発生回路17をWDE発生回路17Aとし、DRAM13をDRAM13Aとしたことにある。
【0052】
なお、上記WDE発生回路17Aは、請求項1から3における第1内部信号出力手段をなし、WDE信号が第1内部信号をなし、/W端子は第1外部端子をなし、外部/W信号が第1外部信号又はライトイネーブル信号をなす。更に上記/TE発生回路12は、請求項1から3における第2内部信号出力手段又はテストモード信号出力手段をなし、/TE信号が第2内部信号又はテストモード信号をなし、/RAS端子及び/CAS端子及び/W端子が第2外部端子をなす。
【0053】
図1において、上記/WE発生回路7は、データ入力バッファ8Aに接続され、データ入力バッファ8Aに接続された外部入出力端子DQ1,DQ2,DQ3,DQ4から入力される信号データのメモリセル4への書き込みを制御する/WE信号を出力する。なお、上記データ入力バッファ8Aは、データ出力バッファ9にI/O線と/I/O線という一対のI/O線からなるI/Oで接続されており、更に該接続部からI/Oイコライズ回路11を介してセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5へ上記I/Oで接続されている。
【0054】
また、上記/RAS端子、上記/CAS端子及び/W端子は、更に/TE発生回路12に接続されており、該/TE発生回路12は、上記データ入力バッファ8Aに接続され、上記外部/CAS信号及び上記外部/W信号がそれぞれ「L」のときに、外部/RAS信号が立ち下がるWCBRのタイミング時にDRAM13Aをテストモードにセットするための信号である「L」(通常モード時においては「H」)の/TE信号をデータ入力バッファ8Aへ出力する。
【0055】
ここで、書き込み動作時における上記データ入力バッファ8Aの動作をもう少し詳細に説明する。図2は、上記データ入力バッファ8Aの例を示した概略のブロック図であり、図2において、データ入力バッファ8Aは、上記/WE発生回路7からの/WE信号より内部WE信号であるWDE信号を生成して出力するWDE発生回路17Aと、外部入出力端子DQ1〜DQ4から入力される信号データを取り込み、該信号データをメモリセル4に書き込ませるWD信号に変換して出力するデータ入力バッファ部18と、上記WDE信号の2値のレベルにより、上記WD信号のセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5への出力を制御するライトドライバ19とからなる。
【0056】
上記WDE発生回路17Aとデータ入力バッファ部18は/WE発生回路7に接続されており、ライトドライバ19はWDE発生回路17A及びデータ入力バッファ部18に接続され、更にI/Oイコライズ回路11を介してセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5に接続されている。/WE発生回路7から「H」の信号が入力されると、WDE発生回路17Aはそれに対応したWDE信号をライトドライバ19に出力すると共に、データ入力バッファ部18は外部入出力端子DQ1〜DQ4から信号データを取り込み、WD信号をライトドライバ19に出力する。該ライトドライバ19は、WDE発生回路17AからのWDE信号が書き込み許可を示している場合、上記WD信号を上記I/Oイコライズ回路11を介して上記I/Oを通してセンスリフレッシュアンプ入出力制御回路5に出力する。
【0057】
次に、図3は、上記図2におけるWDE発生回路17Aの回路例を示した回路図である。なお、図3において、従来例を示した図14と同じものは同じ符号で示している。
図3における図14との相違点は、図14におけるインバータ回路41を廃止し、2つのNAND回路60、62及び1つのインバータ回路61を追加したことにある。
【0058】
すなわち、NAND回路43のノードB側の入力と遅延回路44を接続せずに、NAND回路43のノードB側の入力にNAND回路60の出力を接続し、該NAND回路60の一方の入力にインバータ回路61の出力を接続して、該インバータ回路61の入力を遅延回路44に接続することと、上記NAND回路60の他方の入力を/TE発生回路12に接続し、インバータ回路40の出力をNAND回路62の一方の入力に接続して、該NAND回路62の出力はNAND回路42のノードA側の入力に接続し、更に該NAND回路62の他方の入力をNAND回路60の入力と/TE発生回路12との接続部に接続される。
【0059】
図3において、WDE発生回路17Aは、12のインバータ回路30,31,32,33,34,35,36,37,38,39,40,61と4つのNAND回路42,43,60,62と1つの遅延回路44とからなり、インバータ回路30にインバータ回路31が同じ方向に直列に接続され、該直列回路を形成するインバータ回路30の入力がNAND回路42の出力に接続され、更に上記インバータ回路31の出力はNAND回路43の一方の入力に接続されている。
【0060】
また、インバータ回路32にインバータ回路33が、該インバータ回路33にインバータ回路34が、該インバータ回路34にインバータ回路35が、該インバータ回路35にインバータ回路36が同じ方向に直列に接続され、該直列回路を形成するインバータ回路32の入力が上記NAND回路43の出力に接続され、上記インバータ回路36の出力は上記ライトドライバ19に接続されている。
【0061】
更にまた、インバータ回路37にインバータ回路38が、該インバータ回路38にインバータ回路39が、該インバータ回路39にインバータ回路40が同じ方向に直列に接続され、該直列回路を形成するインバータ回路37の入力が上記インバータ回路32及び33の接続部に接続され、上記インバータ回路40の出力は上記NAND回路62の一方の入力に接続されている。該NAND回路62の他方の入力は、上記/TE発生回路12に接続され、NAND回路62の出力はNAND回路42の一方の入力に接続され、該NAND回路42の他方の入力は上記/WE発生回路7に接続されている。
【0062】
更に、上記インバータ回路35及び36の接続部には、遅延回路44の入力が接続され、該遅延回路44の出力はインバータ回路61の入力に接続され、更に該インバータ回路61の出力はNAND回路60の一方の入力に接続される。該NAND回路60の他方の入力は、NAND回路62における/TE発生回路12に接続された入力に接続され、NAND回路60の出力は、上記NAND回路43の他方の入力に接続される。ここで、NAND回路62の出力とNAND回路42の入力との上記接続部をノードAとし、NAND回路60の出力とNAND回路43の入力との上記接続部をノードBとし、インバータ回路31の出力とNAND回路43の入力との上記接続部をノードCとする。
【0063】
図4は、上記図3で示した回路における通常動作を行う通常モード時のタイミングチャート図であり、図5は、上記図3で示した回路におけるテストを行うテストモード時のタイミングチャート図である。図4及び図5におけるA,B,Cは、図3のノードA、ノードB、ノードCにおける信号のタイミングチャートを示しており、最初に通常モードにおけるWDE発生回路17Aの動作を図3及び図4を用いて説明する。
【0064】
図3及び図4において、ノードAが「H」のときに、/WE信号が「H」から「L」に切り替わると、NAND回路42、インバータ回路30及びインバータ回路31によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてノードCが「L」から「H」に切り替わる。更に、このときノードBが「H」であると、NAND回路43及びインバータ回路32,37,38,39,40によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れて、NAND回路62の一方の入力が「H」となり、/TE信号を「H」にして通常モードにしたときにおいて、NAND回路62の両入力は「H」となってノードAが「L」に切り替わると共に、NAND回路43及びインバータ回路32,33,34,35,36によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてWDE信号が「L」から「H」に切り替わる。
【0065】
また、ノードBが「H」のときにノードCが「L」から「H」に切り替わると、NAND回路60の一方の入力は、インバータ回路61の出力を経て「L」から「H」に切り替わり、/TE信号が「H」であることから、NAND回路60の出力は「L」となり、NAND回路43、インバータ回路32,33,34,35、遅延回路44、インバータ回路61及びNAND回路60によってそれぞれ生じる遅延時間を足した遅延時間だけ遅れてノードBが「H」から「L」に切り替わる。それにより、ノードAは、NAND回路43、インバータ回路32,37,38,39,40及びNAND回路62によって生じる遅延時間だけ遅れて「L」から「H」に切り替わると共に、WDE信号はNAND回路43及びインバータ回路32,33,34,35,36によって生じる遅延時間だけ遅れて「H」から「L」に切り替わる。
【0066】
次に、テストモードにおけるWDE発生回路17Aの動作を図3及び図5を用いて説明する。
図3及び図5において、/TE信号を「L」にしてテストモードにしたときにおいては、ノードA及びノードBは共に「H」となり、/WE信号が「H」から「L」に切り替わると、NAND回路42、インバータ回路30,31、NAND回路43及びインバータ回路32,33,34,35,36によってそれぞれ生じる遅延時間を足した時間だけ遅れてWDE信号が「L」から「H」となり、/WE信号が「L」から「H」に切り替わると、NAND回路42、インバータ回路30,31、NAND回路43及びインバータ回路32,33,34,35,36によってそれぞれ生じる遅延時間を足した時間だけ遅れてWDE信号が「H」から「L」に切り替わる。
【0067】
上記のように、本発明の第1実施例によると、/TE信号を「H」にして通常モードにしたときにおいて、WDE信号は、/WE発生回路7からの/WE信号、更には外部/W信号が「H」から「L」に切り替わったときのみ/WE発生回路7で設定された所定の遅延時間だけ遅れて「L」から「H」に切り替わり、更にWDE発生回路17Aに設定された所定の時間の後、自動的に「H」から「L」に切り替わる。
【0068】
上記通常モードに対して、図6は、テストモード時における図1で示したDRAM13Aの各信号のページモードでのタイミングチャート図であり、/TE信号を「L」にしてテストモードにしたときにおいては、WDE信号は、/WE信号の2値のレベルの切り替わりに応じて2値のレベルを切り替えることができ、1つの回路における通常モード時と同じ回路経路を使用して、図6で示すように、Long tRAS及びShort tRWLのテストをページモードで行うことができる。
【0069】
以上の説明から明らかなように、本発明の半導体集積回路において、第1実施例におけるWDE発生回路は、通常は、/WE信号の所定の2値の状態変化があると所定のパルス幅のパルス信号を出力するが、/TE発生回路から出力された/TE信号の2値の状態変化により、/WE信号のパルス幅、すなわち外部/W信号のパルス幅に対応したパルス幅のWDE信号をWDE発生回路の同じ経路で出力することができる。このことから、半導体集積回路のテストを行うときに、外部からの信号で半導体集積回路の内部信号を操作することができるため、例えば、DRAMにおけるLong tRAS及びShort tRWLという一連のテストにおけるテスト時間を短縮することができると共に、該テストを厳しい条件で行うことができる。
【0070】
更に、上記のようにWDE発生回路は、/TE信号の2値の状態変化により、WDE信号を外部/W信号のパルス幅に対応したパルス信号にすることができるため、DRAMにおけるページモードという高速動作モードでのLong tRAS及びShort tRWLという一連のテストを行うことができ、該テストを厳しい条件で行いながら一層の時間短縮を行うことができる。
【0071】
実施例2.
図7は、本発明の第2実施例の半導体集積回路を使用したDRAMの概略ブロック図であり、図7において、上記従来例を示した図10と同じものは同じ符号で示しており、ここでは図10との相違点の説明を行う。
まず最初に、図7における図10との相違点は、図10における/TE発生回路12をATD発生回路に接続し、これに伴ってATD発生回路10Bとし、更に、外部入力端子/MT(以下、/MT端子と呼ぶ)を新たに設け、これらのことからDRAM13をDRAM13Bとしたことにある。
【0072】
なお、上記ATD発生回路10Bは請求項4から6における第1内部信号出力手段をなし、ATD信号が第1内部信号をなし、入力端子A0〜A9は第1外部端子をなし、該入力端子A0〜A9から入力されるアドレスを指定する信号が第1外部信号をなす。更に上記/TE発生回路12は請求項4から6における第2内部信号出力手段又はテストモード信号出力手段をなし、/TE信号が第2内部信号またはテストモード信号をなし、/RAS端子及び/CAS端子及び/W端子は第2外部端子をなすと共に、上記/MT端子は第3外部端子をなし、/MT信号が第3外部信号をなす。
【0073】
図7において、ATD発生回路10Bは、アドレスバッファ1、クロック発生回路6及びI/Oイコライズ回路11に接続され、更に外部入力端子の/MT端子に接続されている。上記ATD発生回路10Bは、アドレスバッファ1から入力された上記A0〜A9信号から指定されるアドレスの変化を検出すると、内部で発生させるパルス信号であるATD信号(図示せず)を発生させ、該ATD信号を用いて上記I/Oイコライズ回路11に対してイコライズの実行を制御する信号である/IOEQ信号を出力する。上記I/Oイコライズ回路11は、該/IOEQ信号によって、上記I/O線及び/I/O線をイコライズする回路である。
【0074】
なお、本第2実施例におけるI/Oイコライズ回路11は、図11で示したI/Oイコライズ回路11の回路例において、トランスファゲート15の一方の制御入力15aとインバータ回路16の入力がATD発生回路10Bに接続されている。上記ATD発生回路10Bから「L」の/IOEQ信号がトランスファゲート15の制御入力15a及びインバータ回路16の入力に入力されると、トランスファゲート15の出力は導通し、I/O線及び/I/O線がイコライズされる。同様に、ATD発生回路10Bから「H」の/IOEQ信号が出力されると、トランスファゲート15の出力は遮断し、I/O線及び/I/O線はイコライズされなくなる。
【0075】
また、上記/RAS端子、上記/CAS端子及び/W端子は、更に/TE発生回路12に接続されており、該/TE発生回路12は、上記ATD発生回路10Bに接続され、上記外部/CAS信号及び上記外部/W信号がそれぞれ「L」のときに、外部/RAS信号が立ち下がるWCBRのタイミング時にDRAM13Bをテストモードにセットするための信号である「L」(通常モード時においては「H」)の/TE信号をATD発生回路10Bへ出力する。
【0076】
次に、図8は、上記図7におけるATD発生回路10Bの回路例を示した回路図である。なお、図8において、従来例を示した図16と同じものは同じ符号で示している。
図8における図16との相違点は、図16の回路に4つのインバータ回路90,91,92,93と、3つのnMOSトランジスタ94,95,96と、1つのコンデンサ97を追加したことにある。
【0077】
図8において、NAND回路70と71はR−Sフリップフロップ回路を形成し、NAND回路70の出力はNAND回路72の一方の入力に接続され、該接続部と接地間にはコンデンサ83が接続される。更に、NAND回路71の出力はNAND回路72の他方の入力に接続され、該接続部と接地間にはコンデンサ84が接続される。
【0078】
また、NAND回路72の出力は、インバータ回路73の入力に接続され、インバータ回路73の出力はnMOSトランジスタ94のドレインに接続され、該nMOSトランジスタ94のゲートは/TE発生回路12に接続され、更にnMOSトランジスタ94のソースはnMOSトランジスタ81のゲートに接続される。nMOSトランジスタ81のソースは接地されており、nMOSトランジスタ81のドレインはpMOSトランジスタ82のドレインに接続され、該pMOSトランジスタ82のソースはVCC端子に接続されている。
【0079】
インバータ回路90の出力がインバータ回路91の入力に、該インバータ回路91の出力がインバータ回路92の入力に接続されて直列回路を形成し、インバータ回路90の入力は/MT端子に接続されている。更に、インバータ回路92の出力はnMOSトランジスタ95のドレインに接続され、該nMOSトランジスタ95のゲートはインバータ回路93の入力に接続され、該インバータ回路93の入力は/TE発生回路12に接続される。インバータ回路90の出力とインバータ回路91の入力との接続部と接地間にはコンデンサ97が接続され、nMOSトランジスタ95のソースは上記nMOSトランジスタ81のゲートとnMOSトランジスタ94のソースとの接続部に接続されると共に、pMOSトランジスタ82のゲートに接続される。
【0080】
また、インバータ回路74の出力がインバータ回路75の入力に、該インバータ回路75の出力がインバータ回路76の入力に接続されて直列回路を形成し、該インバータ回路74の入力がnMOSトランジスタ81とpMOSトランジスタ82の両ドレインの接続部に接続され、インバータ回路76の出力からATD信号が出力される。
【0081】
更に、インバータ回路77の出力がインバータ回路78の入力に、該インバータ回路78の出力がインバータ回路79の入力に接続されて直列回路を形成し、該インバータ回路77の入力は上記インバータ回路74の出力と上記インバータ回路75の入力との接続部に接続される。上記インバータ回路79の出力はnMOSトランジスタ96のソースに接続され、該nMOSトランジスタ96のドレインは上記pMOSトランジスタ82のゲートに接続されている。
【0082】
なお、ATD発生回路10Bにおいても、上記NAND回路70,71,72と、インバータ回路73と、コンデンサ83,84からなる回路が、アドレス入力端子の数に対応した数だけあり、該各回路のインバータ回路73からのそれぞれの出力信号を所定の処理を行ってnMOSトランジスタ81の入力に入力されるが、ここでは、説明を簡単にするため、本実施例の場合のアドレス入力端子A0〜A9からの任意の1つの端子に対応した1つのAn(nは0から9までの整数)信号における回路のみの場合で説明する。
上記NAND回路70の一方の入力にはアドレスバッファ1からのAn信号が、上記NAND回路71の一方の入力には上記An信号の信号レベルを反転させた反転信号/An信号が入力される。
【0083】
図9は、上記図8で示した回路のテストモード時におけるタイミングチャート図である。図17におけるφは、図8のインバータ回路73の出力とnMOSトランジスタ94のドレインとの接続部であるノードφにおける信号のタイミングチャートを示している。図9において、/TE信号を「L」にしてテストモードにしたときにおいては、図8のnMOSトランジスタ94及び96がオフし、nMOSトランジスタ95がオンする。
【0084】
このことから、上記An信号及び/An信号の2値の状態の変化に関係なく、/MT端子からの/MT信号が「H」から「L」に切り替わると、nMOSトランジスタ81がオンすると共に、pMOSトランジスタ82がオフすることから、ATD信号が「L」から「H」に切り替わり、/MT端子からの/MT信号が「L」から「H」に切り替わると、nMOSトランジスタ81がオフすると共に、pMOSトランジスタ82がオンすることから、ATD信号が「H」から「L」に切り替わる。
【0085】
なお、/TE信号を「H」にして通常の動作モードにしたときの図8の回路における各信号のタイミングチャートは、nMOSトランジスタ94及び96がオンし、nMOSトランジスタ95がオフすることから、上記図17で示したタイミングチャート図と同じであるのでここでは省略する。
【0086】
上記のように、本発明の第2実施例によると、/TE信号を「H」にして通常モードにしたときにおいては、ATD信号は、コンデンサ83及び84の容量によってパルス幅が決まるノードφのパルス信号に対して、nMOSトランジスタ94,81及びインバータ回路74,75,76の回路によって生じる遅延時間、又は、nMOSトランジスタ94,96、pMOSトランジスタ82及びインバータ回路74,75,76,77,78,79の回路によって生じる遅延時間だけ遅れて2値の状態が切り替わる。すなわち、An信号における2値の状態の切り替わりに対してATD発生回路10Bで設定されたパルス幅のATD信号が自動的に出力される。
【0087】
上記通常モードに対して、/TE信号を「L」にしてテストモードにしたときにおいては、上記図9で示したように、ATD信号は、外部信号である/MT信号の2値のレベルの切り替わりに応じて2値のレベルを切り替えることができ、外部信号を用いて内部信号であるATD信号を操作することができ、通常モード時のATD発生回路の設定を変えることなく、DRAMのアクセス速度及びアドレスノイズの発生をテストすることができる。
【0088】
このように、第2実施例におけるATD発生回路は、通常は、An信号の所定の2値の状態変化があると所定のパルス幅のパルス信号を出力するが、/TE発生回路から出力された/TE信号の2値の状態変化により、外部信号である/MT信号のパルス幅に対応したパルス幅のATD信号を出力することができる。このことから、半導体集積回路のテストを行うときに、外部からの信号で半導体集積回路の内部信号を操作することができるため、例えば、DRAMにおいて、上記ATD信号のパルス幅を狭くして、アクセス速度が遅いもの及びアドレスノイズが発生するものをリジェクトするテストを行うことができ、該テストを厳しい条件で行うことができる。
【0089】
上記第1実施例及び第2実施例で示したデータ入力バッファ、/TE発生回路、ATD発生回路及び/MT端子等を1つのDRAMの半導体集積回路に用いてもよく、このように本発明は、様々な変形例が考えられ、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって定められるべきものであることは言うまでもない。なお、本明細書において、I/Oと記した/以外の/は、信号レベルの反転を示すものである。
【0090】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、本発明の半導体集積回路によれば、第1内部信号出力手段は、通常は、第1外部信号の所定の2値の状態変化があると所定のパルス幅のパルス信号を出力するが、第2内部信号出力手段(又はテストモード信号出力手段)から出力された第2内部信号(又はテストモード信号)の2値の状態変化により、第1外部信号のパルス幅に対応したパルス幅の第1内部信号を第1内部信号出力手段の同じ経路で出力することができる。このことから、半導体集積回路のテストを行うときに、外部からの信号で半導体集積回路の内部信号を操作することができるため、例えば、DRAMにおけるLong tRAS及びShort tRWLという一連のテストにおけるテスト時間を短縮することができると共に、該テストを厳しい条件で行うことができる。
【0091】
更に、上記のように第1内部信号出力手段は、テストモード信号の2値の状態変化により、第1内部信号をライトイネーブル信号のパルス幅に対応したパルス信号にすることができるため、DRAMにおけるページモードという高速動作モードでのLong tRAS及びShort tRWLという一連のテストを行うことができ、該テストを厳しい条件で行いながら一層の時間短縮を行うことができる。
【0092】
また、第1内部信号出力手段は、通常は、第1外部信号(又はアドレス指定信号)の所定の2値の状態変化があると所定のパルス幅の第1内部信号を出力するが、第2内部信号出力手段(又はテストモード信号出力手段)から出力された第2内部信号(又はテストモード信号)の2値の状態変化により、第3外部信号のパルス幅に対応したパルス幅の第1内部信号を出力することができる。このことから、半導体集積回路のテストを行うときに、外部からの信号で半導体集積回路の内部信号を操作することができるため、例えば、DRAMにおいて、上記ATD信号のパルス幅を狭くして、アクセス速度が遅いもの及びアドレスノイズが発生するものをリジェクトするテストを行うことができ、該テストを厳しい条件で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例の半導体集積回路を使用したDRAMの概略ブロック図である。
【図2】 図1で示したデータ入力バッファ8Aの概略ブロック図である。
【図3】 図2で示したWDE発生回路17Aの回路例を示した回路図である。
【図4】 図3で示した回路における通常動作を行う通常モード時のタイミングチャート図である。
【図5】 図3で示した回路におけるテストを行うテストモード時のタイミングチャート図である。
【図6】 テストモード時における図1で示したDRAM13Aの各信号のページモードでのタイミングチャート図である。
【図7】 本発明の第2実施例の半導体集積回路を使用したDRAMの概略ブロック図である。
【図8】 図7で示したATD発生回路10Bの回路例を示した回路図である。
【図9】 図8で示した回路におけるテストを行うテストモード時のタイミングチャート図である。
【図10】 従来例の半導体集積回路を使用したDRAMの概略ブロック図である。
【図11】 図10で示したI/Oイコライズ回路11の例を示した概略のブロック図である。
【図12】 図10で示したデータ入力バッファ8の例を示した概略のブロック図である。
【図13】 図12で示したライトドライバ19の回路例を示した回路図である。
【図14】 図12で示したWDE発生回路17の回路例を示した回路図である。
【図15】 図14で示した回路におけるタイミングチャート図である。
【図16】 図10で示したATD発生回路10の回路例を示した回路図である。
【図17】 図16で示した回路におけるタイミングチャート図である。
【図18】 図10で示したDRAM13のメモリセル4の構造例を示した回路図である。
【図19】 図10、図11、図12、図13、図14及び図15で示したDRAM13の書き込み動作時における各信号のタイミングチャート図である。
【図20】 図10、図11、図12、図13、図14及び図15で示したDRAM13のページモード時の書き込み動作時における各信号のタイミングチャート図である。
【符号の説明】
1 アドレスバッファ、7 /WE発生回路、8,8A データ入力バッファ、10,10B ATD発生回路、12 /TE発生回路、13,13A,13B DRAM、17,17A WDE発生回路、18 データ入力バッファ部、19 ライトドライバ、/RAS,/CAS,/W,/MT,A0〜A9 外部入力端子
Claims (3)
- 第1外部端子から入力される2値の第1外部信号の状態変更に対応して所定の第1内部信号を生成して出力する第1内部信号出力手段を備える半導体集積回路において、
少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、2値の状態を変更して該所定の信号が入力されたことを示す第2内部信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力する第2内部信号出力手段を備え、
上記第1内部信号出力手段は、上記第2内部信号出力手段より入力された第2内部信号が所定の状態変更を行った場合、上記第1外部信号の状態変更に対応して2値の状態変更を行う第1内部信号を生成して出力することを特徴とする半導体集積回路。 - 請求項1に記載の半導体集積回路にして、上記第2内部信号出力手段は、上記第2外部端子に所定の信号が入力されると、テストモードを開始させるために2値の状態を変更するテストモード信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力するテストモード信号出力手段であり、上記第1内部信号出力手段は、上記テストモード信号出力手段より入力されたテストモード信号がテストモードを開始させるように状態変更を行った場合、上記第1外部信号の状態変更に対応して2値の状態変更を行う第1内部信号を生成して出力することを特徴とする半導体集積回路。
- 第1外部端子から入力される書き込み動作を開始させるように2値の状態を変更するライトイネーブル信号の状態変更に対応して所定の第1内部信号を生成して出力する第1内部信号出力手段を備え、ページモードでの動作を行うDRAMにおける半導体集積回路において、
少なくとも1つの外部端子からなる第2外部端子に所定の信号が入力されると、テストモードを開始させるために2値の状態を変更するテストモード信号を生成して上記第1内部信号出力手段に出力するテストモード信号出力手段を備え、
ページモード動作時において、上記第1内部信号出力手段は、上記テストモード信号出力手段より入力されたテストモード信号がテストモードを開始させるように状態変更を行った場合、上記第1外部信号の状態変更に対応して2値の状態変更を行う第1内部信号を、通常の動作時と同じ経路を用いて生成し出力することを特徴とするDRAMにおける半導体集積回路。
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