JP2001052498A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2001052498A
JP2001052498A JP11222781A JP22278199A JP2001052498A JP 2001052498 A JP2001052498 A JP 2001052498A JP 11222781 A JP11222781 A JP 11222781A JP 22278199 A JP22278199 A JP 22278199A JP 2001052498 A JP2001052498 A JP 2001052498A
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Kenichi Nakamura
健一 中村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 特性の検証評価が容易なクロック同期型の半
導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 クロック信号CLKに基づいて制御信号
発生回路11によりワード線パルス信号WLP、書込み
パルス信号WP、センスアンプパルス信号SAPを生成
してメモリセルアレイのデータ読み出し/書込み制御を
行うSRAMにおいて、モニタ制御信号(PM)入力端
子14と、モニタ用出力バッファ12a〜12c、モニ
タ出力端子13a〜13cとを備えて、内部制御信号を
モニタ可能とした。切り換え制御信号(PCS)入力端
子16と、書込みパルス制御信号(WPC)入力端子1
8、センスアンプパルス制御信号(SAPC)入力端子
20を設けて、書込みパルス信号WP及びセンスアンプ
パルス信号SAPの外部からの制御を可能とした。ワー
ド線パルス信号WLPは、クロック信号入力端子22か
らのクロック信号CLKの入力により、制御を可能とし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、クロック同期型
の半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図10は、従来のクロック同期型のSR
AMの構成を示している。メモリセルアレイ101は、
ビット線対とワード線の各交差部にメモリセルを配置し
て構成される。このメモリセルアレイ101のワード線
を選択駆動するためにロウデコーダ105aとワード線
駆動回路105bが設けられ、ビット線選択を行うため
にカラムデコーダ106とカラムゲート109が設けら
れている。
【0003】アドレスAddはアドレスバッファ104
に取り込まれて、ロウアドレスRAがロウデコーダ10
5aに、カラムアドレスCAがカラムデコーダ106に
それぞれ送られる。アドレスバッファ104はアドレス
ラッチを含み、クロックバッファ102により取り込ま
れるクロック信号CLKに同期してアドレス取り込みが
制御される。チップイネーブル信号/CE、ライトイネ
ーブル信号/WEを取り込むコマンドバッファ107
も、クロック信号CLKにより取り込みが制御される。
出力イネーブル信号/OEは、同期制御されない。
【0004】クロックバッファ102により取り込まれ
たクロック信号CLKは、制御信号発生回路103に送
られて、この制御信号発生回路103によりクロック信
号CLKに同期した各種制御パルス信号が発生される。
具体的に制御信号発生回路103からは、センスアンプ
110を活性化するためのセンスアンプパルス信号SA
P、書込み回路111を活性化するための書込みパルス
信号WP、ワード線駆動回路105bを活性化するため
のワード線パルス信号WLP等が発生される。
【0005】コマンドバッファ107に取り込まれたチ
ップイネーブル信号/CE、ライトイネーブル信号/W
E、及びコマンドバッファ107を転送された出力イネ
ーブル信号/OEは、コマンドデコーダ108において
論理合成されて、センスアンプパルス信号SAPと共に
センスアンプ回路110を活性化するためのセンスアン
プ制御信号SAC、書込みパルス信号WPと共に書き込
み回路111を活性化するための書込み回路制御信号W
CC、及び読み出し用データバッファ112を活性化す
る出力バッファ制御信号OBCを生成する。書込み用デ
ータバッファ113により取り込まれたデータは、書込
みパルス信号WPと書込み回路制御信号WCCにより活
性化される書込み回路111を介して、メモリセルアレ
イ101に供給される。
【0006】図11A及び図11Bは、図10のクロッ
ク同期型SRAMの動作を説明するためのタイミング図
であり、それぞれライトサイクルとこれに引き続くリー
ドサイクルを示している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述のようなクロック
同期型SRAMにおいては、制御信号発生回路103に
より発生する内部制御信号のタイミングとパルス幅が最
適設定されることが必要である。具体的に説明すれば、
次の通りである。
【0008】(a−1)ワード線パルス信号WLPは、
誤ったワード線の選択を防止するために、図11A及び
図11Bに示すように、ロウデコーダ105aの出力信
号が確定した後に発生のタイミングを設定することが必
要である。しかし、このタイミングを遅く設定すると、
引き続き行われる動作が遅れることになり、回路動作速
度の低下につながる。 (a−2)ワード線パルス信号WLPのパルス幅は、ワ
ード線を活性にしている時間を決定する。ワード線活性
化の時間は、メモリセルデータがビット線からデータ線
を介してセンスアンプ110に十分な振幅をもって転送
されるに必要な時間であることが必要である。しかし、
この時間を余り長くすると、メモリセルの消費電流が増
大する。
【0009】(b−1)書込みパルス信号WPは、誤っ
たカラムのビット線へのデータ書込みを防止するため
に、図11Aに示すように、カラムデコーダ106の出
力信号が確定した後に発生のタイミングを設定すること
が必要である。しかし、このタイミングを遅く設定する
と、引き続き行われる動作が遅れることになり、回路動
作速度の低下につながる。 (b−2)書込みパルス信号WPのパルス幅は、書込み
回路111の活性化期間を決定するが、書込み回路11
1の活性化期間は、データ線及びビット線に書き込みデ
ータが十分に転送されて、メモリセルデータを反転する
に必要な時間であることが必要である。しかしこの時間
を余り長くすると、その後に行うビット線プリチャージ
の開始が遅れ、動作周波数が高い場合には次の読出し動
作時にもビット線上に書き込みデータが残り、データ読
出し動作に悪影響が生じる。
【0010】(c)センスアンプパルス信号SAPは、
図11Bに示すように、データ線上に転送されたデータ
の振幅が十分大きくなってからセンスアンプ110が活
性化されるように発生のタイミングを設定することが必
要である。このタイミングが早すぎると、センスアンプ
110が誤動作するおそれがあり、遅すぎると読出しデ
ータの出力が遅れ、読出し動作速度の低下につながる。
【0011】以上の内部制御信号のタイミングとパルス
幅の設定は、パターンの微細化とメモリ容量の増大に伴
い、信号線の寄生容量や寄生抵抗の影響が増大している
ことから、困難になっている。そして最適設定のために
は、タイミング設定のためのインバータチェーンの段数
等を変えた複数の試作品を作り、これらの試作品の特性
評価を行うといった必要がある。これは、試作評価のた
めに大きなコストと時間がかかり、メモリのコストが高
いものとなる原因となる。また、回路の誤動作を確実に
防止するためには、動作速度や消費電力を犠牲にしたタ
イミング等の設定を行うことが必要になるが、従来は実
際に動作速度や消費電力を過剰に犠牲にしていないかど
うかを確認することができなかった。
【0012】もう一つの問題は、メモリの動作周波数が
高くなったときに、回路動作の検証評価を低い動作周波
数の安価なテスタを用いて行うことができないというこ
とである。高速で動作する高価なテスタを用いない限
り、検証評価ができないということは、それだけメモリ
のコストが高いものとなる。具体的に、図12(a)
(b)は、それぞれ動作周波数が低い場合と高い場合に
ついて、図11Aおよび図11Bに示した動作タイミン
グ図から主要部を抜き出して示したものである。
【0013】ワード線パルス信号WLP及びライトパル
ス信号WPが立ち下がり、メモリセルへの書き込みが終
了すると、ビット線対は、プリチャージ回路によりVCC
に充電される。しかし、ビット線上の書き込みデータ
は、メモリセルからの読出しデータと異なり、“L”側
の電位が低いため、VCCへの充電に時間がかかる。図1
2(a)の場合は、サイクルタイムが長いため、ライト
サイクルでのビット線上の書き込みデータがなくなり、
ビット線対がVCCまで十分にプリチャージされた後に、
センスアンプパルス信号SAPが発生している。この場
合、センスアンプ回路によるデータ読出しが前サイクル
の書き込みデータにより妨害されることはない。しかし
図12(b)のようにサイクルタイムが短くなると、ビ
ット線プリチャージの時間が短くなり、ビット線が十分
VCCに充電される前にセンスアンプパルス信号SAPが
発生される。このためリードサイクルの読出しデータが
その前の書込みデータと逆データであった場合には、正
常なデータ読出しができず、誤動作になるおそれがあ
る。この様な高速動作の検証評価は、従来は高速のテス
タを用いないと不可能であった。
【0014】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、特性の検証評価が容易なクロック同期型の半導
体記憶装置を提供することを目的としている。
【0015】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体記
憶装置は、メモリセルアレイと、クロック信号に基づい
て少なくとも第1乃至第3の制御信号を生成する制御信
号発生回路と、この制御信号発生回路から発生される第
1の制御信号に同期して前記メモリセルアレイのワード
線を駆動するワード線駆動回路と、前記制御信号発生回
路から発生される第2の制御信号に同期して前記メモリ
セルアレイのビット線データの読出しを行うセンスアン
プ回路と、前記制御信号発生回路から発生される第3の
制御信号に同期して前記メモリセルアレイに対してデー
タ書込みを行う書込み回路と、前記制御信号発生回路か
ら発生される第1乃至第3の制御信号の少なくとも一つ
を外部でモニタするためのモニタ手段と、を有すること
を特徴とする。
【0016】この発明によると、モニタ手段を備えてク
ロック信号に基づいて発生される内部制御信号のタイミ
ングやパルス幅をモニタすることを可能としており、こ
れによりメモリ内部回路の検証評価が容易になる。具体
的にこの発明において、制御信号発生回路から発生され
る第1乃至第3の制御信号を用いてデータ読出し/書込
みを行う第1の動作モード(通常動作モード)と、モニ
タ手段を活性化して第1乃至第3の制御信号の少なくと
も一つを出力する第2の動作モード(テスト動作モー
ド)とを持たせることにより、メモリ内部回路の検証評
価ができる。
【0017】またこの発明に係る半導体記憶装置はま
た、メモリセルアレイと、クロック信号に基づいて少な
くとも第1乃至第3の制御信号を生成する制御信号発生
回路と、この制御信号発生回路から発生される第1の制
御信号に同期して前記メモリセルアレイのワード線を駆
動するワード線駆動回路と、前記制御信号発生回路から
発生される第2の制御信号に同期して前記メモリセルア
レイのビット線データの読出しを行うセンスアンプ回路
と、前記制御信号発生回路から発生される第3の制御信
号に同期して前記メモリセルアレイに対してデータ書込
みを行う書込み回路と、前記制御信号発生回路から発生
される第1乃至第3の制御信号の少なくとも一つに代わ
って、外部制御信号に基づくパルス信号を前記制御信号
発生回路で生成させる制御信号切換手段と、を有するこ
とを特徴とする。この様に、内部的にクロック信号に同
期して発生される制御信号に代わって外部からの制御信
号を用いることにより、タイミングやパルス幅を切り換
えた種々の検証動作が可能になる。この発明において好
ましくは、上述の第1,第2の動作モードら加え、前記
第1乃至第3の制御信号の少なくとも一つに代わって制
御信号切換手段により外部制御信号を供給してデータ読
み出し/書込みを行う第3の動作モードを有するものと
する。
【0018】この発明において、モニタ手段は例えば、
前記制御信号発生回路から発生される第1乃至第3の制
御信号の少なくとも一つを出力するためのモニタ出力端
子と、前記制御信号発生回路から発生される第1乃至第
3の制御信号の少なくとも一つを前記モニタ出力端子に
出力するためのモニタ用出力バッファと、このモニタ用
出力バッファを活性化するためのモニタ制御信号を供給
するモニタ制御入力端子とを備えて構成される。この場
合、モニタ出力端子は、専用端子として設けてもよい
し、少なくとも一部を他の信号端子と共用とすることも
できる。
【0019】更にこの発明において、制御信号切換手段
は例えば、前記制御信号発生回路の少なくとも一部を不
活性化するための切り換え制御信号を入力するための切
り換え制御信号入力端子と、前記外部制御信号を入力す
るための外部制御信号入力端子とを備えて構成される。
またこの場合、前記第1乃至第3の制御信号の少なくと
も一つに対して、外部制御信号入力端子を設けることな
く、クロック信号入力端子からのクロック信号を前記外
部制御信号として利用するようにすることもできる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態を説明する。図1は、この発明の実施の形
態によるクロック同期型SRAMのメモリセルアレイ1
とその周辺の回路構成を示し、図2は更に図1の回路の
周辺に配置される回路の構成を示している。
【0021】メモリセルアレイ1は、複数ずつのビット
線対BL,bBLとワード線WLの各交差部にスタティ
ック型のメモリセルMCを配置して構成される。このメ
モリセルアレイ1のワード線WLを選択駆動するために
ロウデコーダ2とワード線駆動回路3が設けられてい
る。ロウデコーダ2はロウアドレスRAをデコードして
一本のワード線WLを選択するものである。ワード線駆
動回路3は、クロック信号に同期して発生されるワード
線パルス信号WLPにより活性化されてデコード出力を
ワード線WLに転送するANDゲートG1により構成さ
れている。
【0022】メモリセルアレイ1のビット線対BL,b
BLは、カラムデコーダ4とそのデコード出力により制
御されるカラムゲート(CSG)5により選択される。
カラムデコーダ4はカラムアドレスCAをデコードして
一つのカラム選択を行うものであり、そのデコード出力
によりカラムゲート5が選択的にオン駆動されて、ビッ
ト線対BL,bBLがデータ線対DQ,bDQに接続さ
れる。
【0023】データ線対DQ,bDQには、ビット線デ
ータを読み出すためのセンスアンプ回路6と、ビット線
BL,bBLに書き込みデータを転送する書込み回路8
とが設けられている。センスアンプ回路6は、クロック
信号CLKに同期して発生されるセンスアンプパルス信
号SAPと、コマンドに基づいてデータ読み出しモード
で発生されるセンスアンプ制御信号SACとの論理積に
より活性化される。書込み回路8は、クロック信号CL
Kに同期して発生される書込みパルス信号WPと、コマ
ンドに基づいてデータ書込みモードで発生される書込み
制御信号WCCとの論理積により活性化される。
【0024】センスアンプ回路6による読出しデータ
は、読出し用データバッファ7を介してデータ出力端子
DOUTに取り出される。コマンドに基づいて発生され
る出力バッフア制御信号OBCにより活性化される読出
し用データバッファ7を介してデータ出力端子DOUT
に取り出される。書込みデータは、データ入力端子DI
Nから書込み用データバッファ10を介してデータレジ
スタ9に転送保持され、ここから書込み回路8に転送さ
れる。
【0025】メモリセルアレイ1の各ビット線対BL,
bBLにはそれぞれ、ビット線プリチャージ回路PCH
が設けられている。このビット線プリチャージ回路PC
Hは、書込みパルス信号WPと、ワード線パルス信号W
LPとが入力されるNORゲートG2により制御され
る。即ち、NORゲートG2は、ワード線パルス信号W
LPと書込みパルス信号WPが共に“L”のときに
“H”出力を出し、これによりビット線プリチャージ回
路PCHが活性化される。
【0026】内部制御信号であるワード線パルス信号W
LP、書込みパルス信号WP及びセンスアンプパルス信
号SAPを発生するために、図2に示すように制御信号
発生回路11が設けられている。この制御信号発生回路
11を構成するワード線パルス信号(WLP)発生回路
11a、書込みパルス信号(WP)発生回路11b及び
センスアンプパルス信号(SAP)発生回路11cは、
クロックバッファ23によりクロック信号入力端子22
から取り込まれるクロック信号CLKに基づいて、それ
ぞれタイミングとパルス幅が決定されたワード線パルス
信号WLP、書込みパルス信号WP及びセンスアンプパ
ルス信号SAPを発生する。
【0027】この実施の形態では、制御信号発生回路1
1から発生される各内部制御信号のタイミングとパルス
幅を、外部から切り換え可能とするために、切り換え制
御信号PCSを入力するPCS入力端子16、書込みパ
ルス制御信号WPCを入力するWPC入力端子18、セ
ンスアンプパルス制御信号SAPCを入力するSAPC
入力端子20が設けられている。切り換え制御信号PC
S、書込みパルス制御信号WPC及びセンスアンプ制御
信号SAPCはそれぞれバッファ17,19,21を介
して取り込まれて、制御信号発生回路11に供給され
る。
【0028】詳細は後述するが、切り換え制御信号PC
Sが入力されないときは、制御信号発生回路11は、タ
イミング及びパルス幅が内部的に予め設定されたワード
線パルス信号WLP、書込みパルス信号WP及びセンス
アンプパルス信号SAPを出力する。切り換え制御信号
PCSが入力されると、制御信号発生回路11の一部が
不活性とされ、外部から供給される書き込みパルス制御
信号WPC、センスアンプパルス制御信号SAPCに基
づいてタイミングが設定された書込みパルス信号WP及
びセンスアンプパルス信号SAPを発生することにな
る。ワード線パルス信号WLPは、外部制御信号を供給
することなく、クロック信号CLKの周期の調整によ
り、タイミング及びパルス幅が調整できるようにしてい
る。
【0029】またこの実施の形態では、図2に示すよう
に、制御信号発生回路11から発生される各内部制御信
号パルスを外部に取り出してモニタするために、各内部
制御信号をそれぞれ外部に出力するためのモニタ用出力
バッファ12a,12b,12cとこれらに対応するモ
ニタ出力端子13a,13b,13cが設けられてい
る。そして、通常のデータ読み出し/書込みの動作モー
ドと、モニタ端子13a,13b,13cを利用した内
部制御信号のモニタを行う動作モードとの切り換えを行
うために、モニタ制御信号PMを入力するPM入力端子
14と入力バッファ15が設けられている。モニタ制御
信号PMは、モニタ動作モードにおいてモニタ用出力バ
ッファ12a,12b,12cを活性化するものであ
る。
【0030】モニタ出力端子13a,13b,13bは
全てモニタ専用端子であってもよいが、この実施の形態
ではその一部を他の端子と共用としている。具体的に、
書込みパルス信号モニタ端子13bは専用端子ではな
く、データ出力端子DOUTを用いている。このため、
出力バッファ制御信号OBCとモニタ制御信号PMの論
理積をとるANDゲートG3が設けられ、このANDゲ
ートG3の出力により、モニタ用出力バッファ12bが
活性化されるようにしている。
【0031】また、この出力バッファ12bの出力は、
図1に示すデータ出力端子DOUTにつながる出力バッ
ファ7にもその活性、不活性を制御する信号として入力
される。即ち、書込みパルス信号WPのモニタ用出力バ
ッファ12bを活性化したときには、データ出力端子D
OUTにつながる出力バッファ7を不活性とする。これ
により、データ出力端子DOUTは、通常動作モードで
の読出しデータ出力と、テスト動作でのモニタ出力とが
衝突しないように共用されることになる。
【0032】アドレス入力端子24から入力される外部
アドレスAddは、クロック信号CLKによりアドレス
バッファ/レジスタ25に取り込まれる。取り込まれた
アドレスAddのうち、ロウアドレスRAはロウデコー
ダ2に、カラムアドレスCAはカラムデコーダ4にそれ
ぞれ供給される。入力端子26,28に与えられるチッ
プイネーブル信号/CE,ライトイネーブル信号/WE
はそれぞれ、クロック信号CLKによりバッファ/レジ
スタ27,29に取り込まれ、コマンドデコーダ32に
送られる。入力端子30から入力される出力イネーブル
信号/OEは、バッファ31を介してコマンドデコーダ
32に供給される。
【0033】コマンドデコーダ32では、供給された信
号の論理合成により、書込み回路制御信号WCC、セン
スアンプ制御信号SAC、及び出力バッファ制御信号O
BCを生成する。具体的に、書込み回路制御信号WCC
は、/CE=/WE=“L”であるデータ書込み動作の
ときにアクティブ(=“H”)となる。センスアンプ制
御信号SACは、/CE=“L”、/WE=“H”であ
るデータ読出し動作のときにアクティブ(=“H”)と
なる。出力バッファ制御信号OBCは、/CE=/OE
=“L”、且つ/WE=“H”であるデータ読出し動作
のときにアクティブ(=“H”)となる。これらの制御
信号がそれぞれ“L”のとき、書込み回路8、センスア
ンプ回路6、出力バッファ7は高出力インピーダンスの
非活性状態に保持される。
【0034】図3は、メモリセルMCとビット線プリチ
ャージ回路PCH、及びカラムゲートCSGの部分の具
体構成を示している。メモリセルMCは、インバータI
1,I2を逆並列接続したラッチと、そのノードをビッ
ト線対BL,bBLに選択的に接続するための選択トラ
ンジスタQ1,Q2とから構成される。ビット線プリチ
ャージ回路PCHは、ゲートG2の出力によりオン駆動
されて電源VCCによりビット線対BL,bBLを充電す
るトランジスタQ3,Q4により構成されている。カラ
ムゲートCSGは、カラムデコーダ出力によりオン駆動
されるCMOSトランスファゲートTG1,TG2によ
り構成されている。
【0035】図4は、センスアンプ回路6の構成を示し
ている。このセンスアンプ回路6は、トランスファゲー
トQP1,QP2を介してそれぞれデータ対DQ,bD
Qに接続されるノードを持つフリップフロップ型センス
アンプ本体601と、このセンスアンプ本体601によ
る読出しデータを保持するためのインバータI45,I
46の逆並列接続からなるラッチ回路602を有する。
また、センスアンプ本体601の活性化トランジスタQ
P3,QN3を制御するために、活性化制御回路603
を有する。
【0036】活性化制御回路603は、クロック信号C
LKに同期して各クロックサイクルで発生されるセンス
アンプパルス信号SAPと、データ読み出しのサイクル
で発生されるセンスアンプ制御信号SACの論理積をと
るANDゲートG42が主体である。センスアンプパル
ス信号SAPは、ORゲートG41と偶数段のインバー
タチェーンによる遅延回路D1により、遅延回路D1の
遅延時間分パルス幅を広げてANDゲートG42に送ら
れる。これにより、センスアンプ本体601は、センス
アンプ制御信号SACが“H”であるデータ読み出しの
サイクルにおいて、センスアンプパルス信号SAPの拡
大されたパルス幅の時間活性化される。
【0037】活性化制御回路603は、センスアンプパ
ルス信号SAPとセンスアンプ制御信号SACの論理積
をとるANDゲートG43を有する。また、このAND
ゲートG43の出力により制御されるクロックト・イン
バータ604がセンスアンプ本体601とデータラッチ
602の間に設けられている。即ち、センスアンプ本体
601により読み出されたデータは、インバータI42
を介し、クロックト・インバータ604を介してラッチ
回路602に転送される。活性化制御回路603の遅延
回路D1は、クロックト・インバータ604がオフにな
った後にセンスアンプ本体601が不活性になるよう
に、センスアンプ本体601の活性化時間を制御してい
ることになる。
【0038】図5は、書込み回路8の構成を示してい
る。書込み回路8は、相補データをデータ線対DQ,b
DQに供給するための出力回路81,82を有する。こ
れらの出力回路81,82をデータ入力端子DINのデ
ータに基づいて相補的に制御するために、インバータI
51〜I53、NORゲートG52,G53を有する。
NANDゲートG51は、クロック信号CLKに同期し
て各クロックサイクルで発生される書込みパルスWP
と、データ書込み動作モードのサイクルでのみ発生され
る書込み回路制御信号WCCとの一致検出を行う。この
NANDゲートG51の出力が“L”のとき、NORゲ
ートG52,G53の出力は、書込みデータに応じて一
方が“H”,他方が“L”となる。これにより出力回路
81,82により、データ線対DQ,bDQに相補信号
が与えられる。
【0039】図6は、制御信号発生回路11の具体的な
構成である。切り換え制御信号PCSは前述のように、
制御信号発生回路11の一部の活性、非活性を制御し、
予め設定されたパルス幅とタイミングでワード線パルス
信号WLP、書込みパルス信号WP及びセンスアンプパ
ルス信号SAPを発生する(通常動作モード)か、或い
はこれらのパルス幅やタイミングを外部制御信号により
切り換える(テスト動作モード)かの制御を行うもので
ある。通常動作モードのときは、切り換え制御信号PC
S=“L”である。このとき、WLP発生回路11a,
WP発生回路11b及びSAP発生回路11cではそれ
ぞれ、ANDゲートG60,G63及びG66が非活性
に保たれ、ANDゲートG61,G64及びG67が活
性に保たれる。
【0040】そしてこの通常動作モードのとき、WLP
発生回路11aでは、クロック信号CLKと、これを奇
数段のインバータチェーンからなる遅延回路61により
遅延した信号との積がANDゲートG61によりとら
れ、更にこのANDゲートG61の出力がORゲートG
62を介し、偶数段のインバータチェーンからなる遅延
回路62を介して、ワード線パルス信号WLPとして取
り出される。遅延回路61は、ワード線パルス信号WL
Pのパルス幅を決定し、遅延回路62の遅延時間τ1
は、ワード線パルス信号WLPのクロック信号立ち上が
りからのタイミングを決定する。
【0041】通常動作モードでのWP発生回路11bに
よる書込みパルス信号WPの発生の動作も同様である。
即ち、クロック信号CLKとこれを奇数段のインバータ
チェーンからなる遅延回路63により遅延した信号との
積がANDゲートG64により取られ、その出力がOR
ゲートG65を介し、偶数段のインバータチェーンから
なる遅延回路64を介して、書込みパルス信号WPとし
て取り出される。遅延回路63は、書込みパルス信号W
Pのパルス幅を決定し、遅延回路64の遅延時間τ2
は、書込みパルス信号WPのクロック信号立ち上がりか
らのタイミングを決定する。
【0042】通常動作モードでのSAP発生回路11c
によるセンスアンプパルス信号SAPの発生の動作も同
様である。クロック信号CLKとこれを奇数段のインバ
ータチェーンからなる遅延回路65により遅延した信号
との積がANDゲートG67により取られ、その出力が
ORゲートG68を介し、偶数段のインバータチェーン
からなる遅延回路66を介して、センスアンプパルス信
号SAPとして取り出される。遅延回路65は、センス
アンプパルス信号SAPのパルス幅を決定し、遅延回路
66の遅延時間τ3は、センスアンプパルス信号SAP
のクロック立ち上がりからのタイミングを決定する。
【0043】PCS=“H”となるテストモードでは、
WLP発生回路11a,WP発生回路11b及びSAP
発生回路11cでそれぞれ、ANDゲートG60,G6
3及びG66が活性に保たれ、ANDゲートG61,G
64及びG67が非活性に保たれる。このとき、WLP
発生回路11aでは、クロック信号CLKがANDゲー
トG60及びORゲートG62を通り、遅延回路62を
通って、ワード線パルス信号WLPとして出力される。
即ち、WLP発生回路11aでは外部制御信号を用いる
ことなく、クロック信号CLKそのものをワード線パル
ス信号WLPとして利用している。クロック信号CLK
のパルス幅と遅延回路62による遅延時間が、ワード線
パルス信号WLPのパルス幅及びタイミングを決定す
る。
【0044】一方、WP発生回路11bにおいては、外
部制御信号である書込みパルス制御信号WPCが、PC
S=“H”により活性化されているANDゲートG63
に入る。そしてこのANDゲートG63の出力がORゲ
ートG65を介し、遅延回路64を介して、書込みパル
ス信号WPとして出力される。即ちこのとき、外部から
供給する書込みパルス制御信号WPCのパルス幅を制御
することにより、書込みパルス信号WPのパルス幅が決
定される。書込みパルス信号WPの発生タイミングは、
遅延回路64による遅延時間τ2と、供給される制御信
号WPCのクロック信号CLKに対する遅延分の和によ
り決定される。
【0045】SAP発生回路11cにおいても同様に、
外部制御信号であるセンスアンプパルス制御信号SAP
Cが、PCS=“H”により活性化されているANDゲ
ートG66に入る。そしてこのANDゲートG66の出
力がORゲートG68を介し、遅延回路66を介して、
センスアンプパルス信号SAPとして出力される。この
とき、外部から供給するセンスアンプパルス制御信号S
APCのパルス幅を制御することにより、センスアンプ
パルス信号SAPのパルス幅が決定される。センスアン
プパルス信号SAPの発生タイミングは、遅延回路66
による遅延時間τ3と、供給される制御信号SAPCの
クロック信号CLKに対する遅延分の和により決定され
る。
【0046】以上のように構成されたクロック同期型S
RAMの通常のデータ読み出し/書込みの動作は、従来
と変わらない。この通常動作のとき、前述のようにモニ
タ制御信号PMは“L”であり、また切り換え制御信号
PCSは“L”である。次に、内部制御信号のモニタ動
作を行う場合には、PCS=“L”のまま、モニタ制御
信号PMを“H”にして、アドレス入力、データ入力を
行う。具体的に、ライトサイクルと引き続くリードサイ
クルを実行したときの動作波形を、図7A及び図7Bに
示す。図7Aと図7Bは、一部時間をオーバーラップさ
せて、連続するサイクルであることを示している。
【0047】ライトサイクルでは、ロウアドレスRAと
してアドレス#p1、カラムアドレスCAとしてアドレ
ス#q1を入力したデータ書込み動作を示している。こ
のとき、ワード線パルス信号WLPは、クロック信号C
LKの立ち上がりエッジから時間τ1(図6の遅延回路
62の遅延時間)のタイミングで発生し、書込みパルス
信号WPは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジか
ら時間τ2(図6の遅延回路64の遅延時間)のタイミ
ングで発生している。書込み回路8は、書込みパルス信
号WPと、書込み回路制御信号WCCのANDにより活
性化される。
【0048】図7Aでは、ロウデコーダ(RD)出力が
活性になった後、ワード線パルス信号WLPが活性にな
り、カラムデコード(CD)出力が活性になった後、書
込みパルス信号WPが活性になっている。これにより、
正常なデータ書込み動作が行われ、カラムアドレス#q
1対応のビット線対BL,bBLに書き込みデータが転
送されている。そしてこの実施の形態の場合、これらの
パルス信号に対応して、WLPモニタ出力が図2のモニ
タ端子13aに出力され、WPモニタ出力は、図2のモ
ニタ端子13b(即ち、共用端子であるデータ出力端子
DOUT)に出力されている。
【0049】ライトサイクルに引き続くリードサイクル
では、図7Bに示すように、ロウアドレスRAとしてア
ドレス#p2、カラムアドレスCAとしてアドレス#q
2を入力したデータ読出し動作を示している。このとき
も、ワード線パルス信号WLPは、クロック信号CLK
の立ち上がりエッジから時間τ1(図6の遅延回路62
の遅延時間)のタイミングで発生している。またセンス
アンプパルス信号SAPは、クロック信号CLKの立ち
上がりエッジから時間τ3(図6の遅延回路66の遅延
時間)のタイミングで発生している。これらの制御信号
に対応して、WLPモニタ出力がモニタ端子13aに、
またSAPモニタ出力がモニタ端子13cにそれぞれ得
られている。
【0050】以上のように、モニタ制御信号PM=
“H”、切り換え制御信号PCS=“L”の条件でデー
タ書込み/読出し動作を行わせることにより、内部制御
信号であるワード線パルス信号WLP、書込みパルス信
号WP及びセンスアンプパルス信号SAPをモニタする
ことができる。これにより、最適な内部制御信号のタイ
ミング及びパルス幅との比較による評価検証が可能にな
る。
【0051】次に、モニタ制御信号PM=“H”、切り
換え制御信号PCS=“H”の条件で、内部制御信号を
外部制御信号により切り換えてテスト動作を行ったとき
の動作タイミングを図8A及び図8Bに示す。この場合
も、図8Aはライトサイクル、図8Bは引き続くリード
サイクルであり、両者の時間を一部オーバーラップさせ
て示している。チップイネーブル信号/CE、ライトイ
ネーブル信号/WE、アドレスAdd入力、データ入力
DINは、図7A及び図7Bと同様であるので、省略し
てある。
【0052】このテスト動作モードでは、図8Aに示す
ように、ワード線パルス信号WLPは、クロック信号C
LKのパルス幅で決まるパルス幅をもって、クロック信
号CLKの立ち上がりエッジから時間τ1のタイミング
で発生される。図6で説明したように、ワード線パルス
信号WLPに対しては、外部制御信号は用いていない
が、図8Aに破線と実線で示したように、クロック信号
CLKの幅を変化させることにより、ワード線パルス信
号WLPのパルス幅を設定することができる。そしてこ
のワード線パルス信号WLPについて、モニタ端子13
aからWLPモニタ出力が得られる。
【0053】書込みパルス信号WPについては、外部制
御信号である書込みパルス制御信号WPCの供給によ
り、この書込みパルス制御信号WPCのパルス幅でパル
ス幅が決まる。また書込みパルス信号WPの発生タイミ
ングは、図8Aに示したように、書込みパルス制御信号
WPCの立ち上がりエッジから時間τ2となる。そして
この書込みパルス信号WPのロウデコーダRD出力やカ
ラムデコーダCD出力とのタイミング関係は、破線と実
線で示したように、外部からの書込みパルス制御信号W
PCの供給タイミングにより設定することができる。こ
の書込みパルス信号WPのモニタ出力は、図7Aの場合
と同様に、読出しデータ出力端子DOUTから得られ
る。
【0054】センスアンプパルス信号SAPについて
も、外部制御信号であるセンスアンプパルス制御信号S
APCの供給により、この制御信号SAPCのパルス幅
でパルス幅が決まる。またセンスアンプパルス信号SA
Pの発生タイミングは、図8Bに示したように、制御信
号SAPCの立ち上がりエッジから時間τ3となる。こ
のセンスアンプパルス信号SAPのデコーダ出力とのタ
イミング関係は、破線と実線で示したように、外部から
のセンスアンプパルス制御信号SAPCの供給タイミン
グにより設定することができる。このセンスアンプパル
ス信号SAPのモニタ出力は、図7Bの場合と同様に、
専用のモニタ端子13cから得られる。リードサイクル
の後半では、出力バッファ制御信号OBCが“H”にな
り、読出しデータが出力端子DOUTに取り出される。
このとき、図2のモニタ用出力バッファ12bは、出力
バッファ制御信号OBC=“H”により非活性となり、
モニタ出力と読出しデータ出力の衝突は避けられる。
【0055】以上のようにこのテスト動作モードを実行
すれば、制御信号発生回路を変更することなく、各内部
制御信号のタイミングやパルス幅を調整した動作テスト
を行うことができ、最適条件の検証が可能になる。具体
的には、高速データ読出しのためのセンスアンプ回路活
性化の最適条件、高速データ書込みのための書込み回路
活性化の最適条件、メモリセル電流削減のためのワード
線活性化の最適条件等の検証が可能である。
【0056】なお、図8A,図8Bの動作説明では、モ
ニタ制御信号をPM=“H”に固定して、ライトサイク
ル及びリードサイクルを実行したが、内部制御信号のタ
イミング関係の確認がとれた後は、PM=“L”に固定
してもよい。この場合、リード用データ端子DOUTに
は、メモリセルアレイからの読出しデータのみが出力さ
れる。従って、ライトサイクルからリードサイクルへの
切り換えの際に、書込みパルス信号WPのモニタ出力端
子として共用しているデータ出力端子DOUTにWPモ
ニタ出力が出ることによるその後の読出しデータへの悪
影響が防止される。
【0057】次に、上述のテスト動作モードにおいて、
先に図12(b)で説明した高周波クロックでの動作波
形と同様の動作波形を、低周波クロックにより実現する
例を説明する。図9はその動作波形である。これは、基
本的に図8A及び図8Bと同様に、切り換え信号PCS
=“H”として、内部パルス制御信号を外部から制御し
ている。このとき、書込みパルス信号WPのパルス幅を
長くすることにより、ライトサイクルでの書込みデータ
による次のリードサイクルへの影響を評価しようという
ものである。クロック信号CLKの周波数は低いものを
用いているが、ライトサイクルでの書き込みデータによ
るリードサイクルのビット線への影響が現れており、図
12(b)と等価の動作波形となっている。この様な条
件で、動作周波数の低い安価なテスタを用いてメモリ特
性の評価を行えば、動作周波数を高くして高速のテスタ
を用いて行う特性評価と等価の特性評価が可能になる。
【0058】この発明は、上記実施の形態に限られな
い。例えば上記実施の形態では、内部制御信号としてワ
ード線パルス信号WLP、書込みパルス信号WP及びセ
ンスアンプパルス信号SAPの三つについてのモニタ及
び外部制御を説明したが、モニタ及び外部制御を行うの
はこれらのうちいずれか一つであっても意味がある。ま
た上記実施の形態では、内部制御パルスのクロックエッ
ジからのタイミングを決定する遅延回路を、外部制御の
場合の外部制御信号エッジからのタイミングを決定する
遅延回路としてそのまま用いたが、これらの遅延回路を
別々に設けるようにしてもよい。
【0059】更に上記実施の形態では、内部制御信号の
モニタと外部からの可変制御を可能としたが、モニタだ
け、或いは外部からの可変制御だけを可能としても十分
にメモリの特性評価に効果がある。また、上記実施の形
態では、ワード線パルス信号WLPについては外部制御
信号端子を設けず、クロック信号端子からのクロック信
号を利用して、ワード線パルス信号WLPのタイミング
とパルス幅制御を行ったが、他の制御信号に対すると同
様に特別の外部制御信号端子を用意してもよい。更に、
ワード線パルス信号WLPではなく、書込みパルス信号
WP又はセンスアンプパルス信号SAPについて、上記
実施の形態でのワード線パルス信号WLPに対すると同
様に、クロック信号を外部制御信号として利用するよう
にしても良い。更にまた、実施の形態ではSRAMを説
明したが、これに限らず、クロック同期型の他の各種半
導体記憶装置に同様に適用することが可能である。
【0060】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ク
ロック信号に基づいて発生される内部制御信号のタイミ
ングやパルス幅をモニタすることを可能とすることによ
り、クロック同期型半導体記憶装置の内部回路の検証評
価が容易になる。またこの発明において、内部制御信号
のタイミングやパルス幅を外部から切り換え制御可能と
することにより、一層多様なメモリ特性の評価検証が可
能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態によるSRAMのセルア
レイ及びその周辺の構成を示す図である。
【図2】同実施の形態の更に周辺の回路構成を示す図で
ある。
【図3】同実施の形態のメモリセル、ビット線プリチャ
ージ回路及びカラムゲートの構成を示す図である。
【図4】同実施の形態のセンスアンプ回路の構成を示す
図である。
【図5】同実施の形態の書込み回路の構成を示す図であ
る。
【図6】同実施の形態の制御信号発生回路の構成を示す
図である。
【図7A】同実施の形態の内部制御信号のモニタ動作を
説明するためのタイミング図である。
【図7B】同実施の形態の内部制御信号のモニタ動作を
説明するためのタイミング図である。
【図8A】同実施の形態の内部制御信号の切り換え制御
によるテスト動作を説明するためのタイミング図であ
る。
【図8B】同実施の形態の内部制御信号の切り換え制御
によるテスト動作を説明するためのタイミング図であ
る。
【図9】同実施の形態の内部制御信号の切り換え制御に
よるテスト動作を説明するためのタイミング図である。
【図10】従来のSRAMの構成を示す図である。
【図11A】従来のSRAMの動作を説明するためのタ
イミング図である。
【図11B】従来のSRAMの動作を説明するためのタ
イミング図である。
【図12】従来のSRAMの動作速度の影響を説明する
ためのタイミング図である。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ、2…ロウデコーダ、3…ワード
線駆動回路、4…カラムデコーダ、5…カラムゲート、
6…センスアンプ回路、7…リード用データバッファ、
8…書込み回路、9…データレジスタ、10…ライト用
データバッファ、11…制御信号発生回路、11a…ワ
ード線パルス信号(WLP)発生回路、11b…書込み
パルス信号(WP)発生回路、11c…センスアンプパ
ルス信号(SAP)発生回路、12a〜12c…モニタ
用出力バッファ、13a〜13c…モニタ出力端子、1
4…モニタ制御信号(PM)入力端子、16…切り換え
制御信号(PCS)入力端子、18…書込みパルス制御
信号(WPC)入力端子、20…センスアンプパルス制
御信号(SAPC)入力端子、22…クロック信号(C
LK)入力端子、24…アドレス信号(Add)入力端
子、15,17,19,21,23,31…入力バッフ
ァ、25…アドレスバッファ/レジスタ、27,29…
バッファ/レジスタ、32…コマンドデコーダ。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルアレイと、 クロック信号に基づいて少なくとも第1乃至第3の制御
    信号を生成する制御信号発生回路と、 この制御信号発生回路から発生される第1の制御信号に
    同期して前記メモリセルアレイのワード線を駆動するワ
    ード線駆動回路と、 前記制御信号発生回路から発生される第2の制御信号に
    同期して前記メモリセルアレイのビット線データの読出
    しを行うセンスアンプ回路と、 前記制御信号発生回路から発生される第3の制御信号に
    同期して前記メモリセルアレイに対してデータ書込みを
    行う書込み回路と、 前記制御信号発生回路から発生される第1乃至第3の制
    御信号の少なくとも一つを外部でモニタするためのモニ
    タ手段と、を有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記制御信号発生回路から発生される第
    1乃至第3の制御信号を用いてデータ読出し/書込みを
    行う第1の動作モードと、 前記モニタ手段を活性化して前記第1乃至第3の制御信
    号の少なくとも一つを出力する第2の動作モードと、を
    有することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装
    置。
  3. 【請求項3】 前記第1乃至第3の制御信号の少なくと
    も一つに代わって制御信号切換手段により外部制御信号
    を供給してデータ読み出し/書込みを行う第3の動作モ
    ードを有することを特徴とする請求項1記載の半導体記
    憶装置。
  4. 【請求項4】 前記モニタ手段は、 前記制御信号発生回路から発生される第1乃至第3の制
    御信号の少なくとも一つを出力するためのモニタ出力端
    子と、 前記制御信号発生回路から発生される第1乃至第3の制
    御信号の少なくとも一つを前記モニタ出力端子に出力す
    るためのモニタ用出力バッファと、 このモニタ用出力バッファを活性化するためのモニタ制
    御信号を供給するモニタ制御入力端子と、を有すること
    を特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記モニタ出力端子は、専用端子として
    設けられていることを特徴とする請求項4記載の半導体
    記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記モニタ出力端子は、少なくとも一部
    が他の信号端子と共有とされていることを特徴とする請
    求項4記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 メモリセルアレイと、 クロック信号に基づいて少なくとも第1乃至第3の制御
    信号を生成する制御信号発生回路と、 この制御信号発生回路から発生される第1の制御信号に
    同期して前記メモリセルアレイのワード線を駆動するワ
    ード線駆動回路と、 前記制御信号発生回路から発生される第2の制御信号に
    同期して前記メモリセルアレイのビット線データの読出
    しを行うセンスアンプ回路と、 前記制御信号発生回路から発生される第3の制御信号に
    同期して前記メモリセルアレイに対してデータ書込みを
    行う書込み回路と、 前記制御信号発生回路から発生される第1乃至第3の制
    御信号の少なくとも一つに代わって、外部制御信号に基
    づくパルス信号を前記制御信号発生回路で生成させる制
    御信号切換手段と、を有することを特徴とする半導体記
    憶装置。
  8. 【請求項8】 前記制御信号切換手段は、 前記制御信号発生回路の少なくとも一部を不活性化する
    ための切り換え制御信号を入力するための切り換え制御
    信号入力端子と、 前記外部制御信号を入力するための外部制御信号入力端
    子とを有することを特徴とする請求項3又は請求項7記
    載の半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 前記第1乃至第3の制御信号の少なくと
    も一つに対して、外部制御信号入力端子を設けることな
    く、クロック信号入力端子からのクロック信号を前記外
    部制御信号として利用するようにしたことを特徴とする
    請求項3又は請求項7記載の半導体記憶装置。
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