JP2001201710A - 光走査装置及び投影装置 - Google Patents
光走査装置及び投影装置Info
- Publication number
- JP2001201710A JP2001201710A JP2000011821A JP2000011821A JP2001201710A JP 2001201710 A JP2001201710 A JP 2001201710A JP 2000011821 A JP2000011821 A JP 2000011821A JP 2000011821 A JP2000011821 A JP 2000011821A JP 2001201710 A JP2001201710 A JP 2001201710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical system
- scanning
- modulation element
- glv
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/12—Picture reproducers
- H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
- H04N9/3102—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators
- H04N9/3111—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying the colours sequentially, e.g. by using sequentially activated light sources
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0808—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more diffracting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
- H04N5/7416—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/12—Picture reproducers
- H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
- H04N9/3129—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] scanning a light beam on the display screen
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】１次元のＧＬＶと光走査手段を用いて、小型の
投影装置を得ること。 【解決手段】光の伝播状態を変え得る光変調素子４と、
該光変調素子を光で照明する照明光学系（１，２，３，
５）と、該光変調素子からの光を走査する走査光学系
（３，５，６）とを有し、前記走査光学系が、前記光変
調素子からの光のうち所定方向へ伝播する光束を選択し
て該光束を複数の方向に順次偏向する光透過領域付のガ
ルバノミラー５を有すること。
投影装置を得ること。 【解決手段】光の伝播状態を変え得る光変調素子４と、
該光変調素子を光で照明する照明光学系（１，２，３，
５）と、該光変調素子からの光を走査する走査光学系
（３，５，６）とを有し、前記走査光学系が、前記光変
調素子からの光のうち所定方向へ伝播する光束を選択し
て該光束を複数の方向に順次偏向する光透過領域付のガ
ルバノミラー５を有すること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光変調素子に基づ
く画像を投射光学系でスクリーン面などの上に拡大表示
する光走査装置及びそれを用いた投影装置に関し、特に
１次元的に画素を配置した光変調素子で光変調された画
像情報に基づく光束を光走査手段で前記画素の配列方向
と直交する方向へ走査することにより、２次元の画像情
報を表示するようにしたものである。
く画像を投射光学系でスクリーン面などの上に拡大表示
する光走査装置及びそれを用いた投影装置に関し、特に
１次元的に画素を配置した光変調素子で光変調された画
像情報に基づく光束を光走査手段で前記画素の配列方向
と直交する方向へ走査することにより、２次元の画像情
報を表示するようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、フィルム画像や液晶ライトバ
ルブ等に基づく２次元の画像情報を投射レンズでスクリ
ーン上に拡大投影する投射装置が種々提案、実用化され
ている。
ルブ等に基づく２次元の画像情報を投射レンズでスクリ
ーン上に拡大投影する投射装置が種々提案、実用化され
ている。
【０００３】図１７は、複数の液晶パネルにより構成さ
れる２次元カラー画像情報を拡大投影する液晶プロジェ
クタの構成を示したものである。不図示の光源からの光
束を照明光学系１０２（１０２ａ，１０２ｂ，１０２
ｃ）で均一化し、各色光に対応した液晶パネル１０３
（１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃ）をそれぞれ照明す
る。
れる２次元カラー画像情報を拡大投影する液晶プロジェ
クタの構成を示したものである。不図示の光源からの光
束を照明光学系１０２（１０２ａ，１０２ｂ，１０２
ｃ）で均一化し、各色光に対応した液晶パネル１０３
（１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃ）をそれぞれ照明す
る。
【０００４】各液晶パネル１０３ａ，１０３ｂ，１０３
ｃは、例えば赤・緑・青色のカラーに対応する。液晶パ
ネル１０３に表示された画像は、投射光学系１０４によ
りスクリーン１０５上に拡大投影される。この例では、
液晶パネル１０３を透過型の液晶パネルとしているが、
反射型の液晶パネルなどの２次元画像表示素子を用いた
ものなどがある。
ｃは、例えば赤・緑・青色のカラーに対応する。液晶パ
ネル１０３に表示された画像は、投射光学系１０４によ
りスクリーン１０５上に拡大投影される。この例では、
液晶パネル１０３を透過型の液晶パネルとしているが、
反射型の液晶パネルなどの２次元画像表示素子を用いた
ものなどがある。
【０００５】近年、スクリーン面上に投射された画像の
解像度を上げることが要求されている。２次元の画像表
示素子で、より解像度を上げるためには、２次元の画像
表示素子の画素数を上げていくことが考えられる。
解像度を上げることが要求されている。２次元の画像表
示素子で、より解像度を上げるためには、２次元の画像
表示素子の画素数を上げていくことが考えられる。
【０００６】２次元の画像表示素子の画素数を上げてい
く方法として、１つ１つの構成する画素を小さくして多
数画素を並べていく方法と、画素の大きさはそのままで
多数画素を並べていく方法がある。
く方法として、１つ１つの構成する画素を小さくして多
数画素を並べていく方法と、画素の大きさはそのままで
多数画素を並べていく方法がある。
【０００７】前者は、各画素が小さくなるため、開口効
率が低下するなどの問題を生じる。また、後者では２次
元の画像表示素子が大型化するため、投射光学系なども
大型化してしまう。
率が低下するなどの問題を生じる。また、後者では２次
元の画像表示素子が大型化するため、投射光学系なども
大型化してしまう。
【０００８】これに対して、１次元の画像表示素子から
の光束を光走査手段で走査しながらスクリーン上に投影
し、スクリーン上に２次元画像を形成する方法がある。
の光束を光走査手段で走査しながらスクリーン上に投影
し、スクリーン上に２次元画像を形成する方法がある。
【０００９】１次元の画素表示素子として、回折格子を
用いた画像表示素子があり、アメリカのSilicon Light
Machines社のホームページで示されている。なお、回折
格子を用いた２次元の画像表示素子につていは、USP 5,
311,360、Solid State Sensors and Actuators Worksho
p, Hilton Head Island,SC, June 13-16, 1994で示され
ている。
用いた画像表示素子があり、アメリカのSilicon Light
Machines社のホームページで示されている。なお、回折
格子を用いた２次元の画像表示素子につていは、USP 5,
311,360、Solid State Sensors and Actuators Worksho
p, Hilton Head Island,SC, June 13-16, 1994で示され
ている。
【００１０】Silicon Light Machines社のホームページ
で示されている技術における１次元の画像表示素子は、
１次元のグレーティングライトバルブ(Grating Light V
alve：以下「ＧＬＶ」と記述）と呼ばれる。このＧＬＶ
は光の回折を利用したマイクロマシン位相反射型回折格
子より成っている。
で示されている技術における１次元の画像表示素子は、
１次元のグレーティングライトバルブ(Grating Light V
alve：以下「ＧＬＶ」と記述）と呼ばれる。このＧＬＶ
は光の回折を利用したマイクロマシン位相反射型回折格
子より成っている。
【００１１】このＧＬＶを利用すると、光のｏｎ−ｏｆ
ｆ制御を電気的にコントロールして、画像情報を形成す
ることができ、デジタル画像表示素子として使用するこ
とができる。
ｆ制御を電気的にコントロールして、画像情報を形成す
ることができ、デジタル画像表示素子として使用するこ
とができる。
【００１２】以下に、ＧＬＶの構成および動作原理につ
いて、図１４、１５、１６を参照し説明する。図１４は
１つのＧＬＶの斜視図であり、図１５、１６はその動作
原理である。
いて、図１４、１５、１６を参照し説明する。図１４は
１つのＧＬＶの斜視図であり、図１５、１６はその動作
原理である。
【００１３】図１４は１つの画素を示すＧＬＶである。
図１４に示すように、ＧＬＶは基板１４上に、枠１５が
スペーサ１６を介して配置された構成をしている。基板
１４の上面１４ａとリボン１７との間にはスペーサ１６
の厚みと同じ空隙１６ａが形成され、両者は非接触とな
っている。
図１４に示すように、ＧＬＶは基板１４上に、枠１５が
スペーサ１６を介して配置された構成をしている。基板
１４の上面１４ａとリボン１７との間にはスペーサ１６
の厚みと同じ空隙１６ａが形成され、両者は非接触とな
っている。
【００１４】スペーサ１６で定まる空隙の厚み、および
リボン１７の厚みは、いずれも使用される光源の波長で
決定され、使用する光源の波長がλのとき、それぞれλ
／４に形成されている。
リボン１７の厚みは、いずれも使用される光源の波長で
決定され、使用する光源の波長がλのとき、それぞれλ
／４に形成されている。
【００１５】図１４に示す画素がＸ方向（１次元方向）
に多数配置している。このようなＧＬＶは微細半導体製
造技術で作製することができる。詳細な作製方法は、前
述の文献に記載されている。
に多数配置している。このようなＧＬＶは微細半導体製
造技術で作製することができる。詳細な作製方法は、前
述の文献に記載されている。
【００１６】１次元アレイ化されたＧＬＶを用いて走査
して２次元画像を得る場合と２次元画像表示素子（液晶
パネル）の画素数を比較した場合、ＧＬＶでは、縦方向
の画素数は同じになるが、横方向は少なくとも１個あれ
ば良いので少なくなる。そのため、装置の小型化が期待
できる。
して２次元画像を得る場合と２次元画像表示素子（液晶
パネル）の画素数を比較した場合、ＧＬＶでは、縦方向
の画素数は同じになるが、横方向は少なくとも１個あれ
ば良いので少なくなる。そのため、装置の小型化が期待
できる。
【００１７】例として、高精細度テレビ(1920×1080画
素、HDTV:High Definit ion Television)において、２次
元画像表示素子と１次元アレイ化画像表示素子の画素数
を比較する。２次元画像表示素子は、約２００万画素、
１次元アレイ化ＧＬＶは約１０００画素である。
素、HDTV:High Definit ion Television)において、２次
元画像表示素子と１次元アレイ化画像表示素子の画素数
を比較する。２次元画像表示素子は、約２００万画素、
１次元アレイ化ＧＬＶは約１０００画素である。
【００１８】つまり１次元アレイ化ＧＬＶを用いる場合
は、２次元画像表示素子の１／２０００の数の画素で、
２次元画像を得ることが可能となる。
は、２次元画像表示素子の１／２０００の数の画素で、
２次元画像を得ることが可能となる。
【００１９】ＧＬＶの動作は、リボン１７と基板１４と
の間に印加する電圧のｏｎ−ｏｆｆで制御され、図１５
（Ａ）に、電圧ｏｆｆ時のＧＬＶのｘ断面、同図（Ｂ）
にＧＬＶのｙ断面を示す。図１５に示すとおり電圧ｏｆ
ｆ時のＧＬＶの表面は平面状態になっている。図１６
（Ａ）は同様に電圧ｏｎ時のＧＬＶのｘ断面、図１６
（Ｂ）はＧＬＶのｙ断面を示す。１７ｂは可動のリボ
ン、１７ａは固定のリボンである。
の間に印加する電圧のｏｎ−ｏｆｆで制御され、図１５
（Ａ）に、電圧ｏｆｆ時のＧＬＶのｘ断面、同図（Ｂ）
にＧＬＶのｙ断面を示す。図１５に示すとおり電圧ｏｆ
ｆ時のＧＬＶの表面は平面状態になっている。図１６
（Ａ）は同様に電圧ｏｎ時のＧＬＶのｘ断面、図１６
（Ｂ）はＧＬＶのｙ断面を示す。１７ｂは可動のリボ
ン、１７ａは固定のリボンである。
【００２０】図１５（Ａ），（Ｂ）に示すように、ＧＬ
Ｖのｏｆｆ時、リボン１７ｂはリボン１７ａと同様に基
板１４から一定の距離を保っており、この状態で照明光
束Ｌａが入射すると、交互に設けてあるリボン１７ａお
よびリボン１７ｂにおいて反射された各反射光束の全光
路差は生じずに、平面鏡として作用し、照明光束をほと
んど回折及び偏向せずに正反射する（尚、ここで光が偏
向されるとは正反射を含まない）。
Ｖのｏｆｆ時、リボン１７ｂはリボン１７ａと同様に基
板１４から一定の距離を保っており、この状態で照明光
束Ｌａが入射すると、交互に設けてあるリボン１７ａお
よびリボン１７ｂにおいて反射された各反射光束の全光
路差は生じずに、平面鏡として作用し、照明光束をほと
んど回折及び偏向せずに正反射する（尚、ここで光が偏
向されるとは正反射を含まない）。
【００２１】図１５（Ｂ）ではリボン１７ｂが静電力で
引き下げられてはおらずリボン１７ａとリボン１７ｂが
同じ状態である為、リボン１７ｂのみを示している。
引き下げられてはおらずリボン１７ａとリボン１７ｂが
同じ状態である為、リボン１７ｂのみを示している。
【００２２】一方、図１６（Ａ），（Ｂ）のように、Ｇ
ＬＶのｏｎ時、各リボン１７ｂは基板１４の側に静電力
で引き下げられており、ここで照明光束Ｌａが入射する
とリボン１７ａ群で反射される光束とリボン１７ｂ群で
反射される光束間の全光路差は半波長（λ／２）とな
る。これにより、ＧＬＶが反射型回折格子として作用す
ることとなり、正反射光束（０次光）同志は干渉して打
ち消し合い他の次数の回折光（ここでは１次光）が生じ
る。
ＬＶのｏｎ時、各リボン１７ｂは基板１４の側に静電力
で引き下げられており、ここで照明光束Ｌａが入射する
とリボン１７ａ群で反射される光束とリボン１７ｂ群で
反射される光束間の全光路差は半波長（λ／２）とな
る。これにより、ＧＬＶが反射型回折格子として作用す
ることとなり、正反射光束（０次光）同志は干渉して打
ち消し合い他の次数の回折光（ここでは１次光）が生じ
る。
【００２３】また、このような機械的動作を実現するた
めに、リボン１７の長手方向（ｙ方向）の寸法、引っ張
り応力等が、必要な動作速度・復元性等を考慮して決定
される。前述の文献によれば、図１４に示すリボン１７
における長手方向（ｙ方向）の回折有効領域の寸法であ
るｙ０が２０μｍで、２０ｎｓｅｃの動作速度が得られ
る。
めに、リボン１７の長手方向（ｙ方向）の寸法、引っ張
り応力等が、必要な動作速度・復元性等を考慮して決定
される。前述の文献によれば、図１４に示すリボン１７
における長手方向（ｙ方向）の回折有効領域の寸法であ
るｙ０が２０μｍで、２０ｎｓｅｃの動作速度が得られ
る。
【００２４】このときのＧＬＶ１個のｙ方向の大きさ
は、枠１５まで含めると約２５μｍとなる。また、リボ
ン１７の幅ｘ０は、照明光束の波長、回折角θdによっ
て ｄsinθd＝ｍλ ・・・…（１） によって決定される。ｄは回折格子の格子ピッチに相当
するリボン１７の幅ｘ０で決定され、リボン１７ａ同志
やリボン１７ｂ同志の間隔に等しくなる。θdはＧＬＶ
からの反射光束の角度、λは照明光束の波長、ｍは回折
次数である。
は、枠１５まで含めると約２５μｍとなる。また、リボ
ン１７の幅ｘ０は、照明光束の波長、回折角θdによっ
て ｄsinθd＝ｍλ ・・・…（１） によって決定される。ｄは回折格子の格子ピッチに相当
するリボン１７の幅ｘ０で決定され、リボン１７ａ同志
やリボン１７ｂ同志の間隔に等しくなる。θdはＧＬＶ
からの反射光束の角度、λは照明光束の波長、ｍは回折
次数である。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】従来の、ＧＬＶ等の主
として回折又は偏向又は散乱によって光を変調する光変
調素子を用いて光の伝播状態を制御する光学系や装置
は、大きさの点で改善の余地が有った。そこで本発明
は、従来よりも小型化できる光走査装置及び投影装置の
提供を目的とする。
として回折又は偏向又は散乱によって光を変調する光変
調素子を用いて光の伝播状態を制御する光学系や装置
は、大きさの点で改善の余地が有った。そこで本発明
は、従来よりも小型化できる光走査装置及び投影装置の
提供を目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明の光走査
装置は、光の伝播状態を変え得る光変調素子と、該光変
調素子を光で照明する照明光学系と、該光変調素子から
の光を走査する走査光学系とを有し、前記走査光学系
が、前記光変調素子からの光のうち所定方向へ伝播する
光束を選択して該光束を複数の方向に順次偏向する光偏
向器を有することを特徴とする光走査装置。
装置は、光の伝播状態を変え得る光変調素子と、該光変
調素子を光で照明する照明光学系と、該光変調素子から
の光を走査する走査光学系とを有し、前記走査光学系
が、前記光変調素子からの光のうち所定方向へ伝播する
光束を選択して該光束を複数の方向に順次偏向する光偏
向器を有することを特徴とする光走査装置。
【００２７】請求項２の発明は請求項１の発明におい
て、前記光変調素子は、主として回折又は偏向又は散乱
により光を変調し、入力信号に応じて、回折又は偏向又
は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱しな
い光を形成したりする機能を有し、例えば、電気機械素
子または液晶素子より成り、ON信号に応じて回折又は偏
向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて回折又は
偏向又は散乱しない光を形成するすることを特徴として
いる。
て、前記光変調素子は、主として回折又は偏向又は散乱
により光を変調し、入力信号に応じて、回折又は偏向又
は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱しな
い光を形成したりする機能を有し、例えば、電気機械素
子または液晶素子より成り、ON信号に応じて回折又は偏
向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて回折又は
偏向又は散乱しない光を形成するすることを特徴として
いる。
【００２８】請求項３の発明は請求項２の発明におい
て、前記走査光学系が、前記光偏向器からの前記光束を
投影する投影光学系を有することを特徴としている。
て、前記走査光学系が、前記光偏向器からの前記光束を
投影する投影光学系を有することを特徴としている。
【００２９】請求項４の発明の投影装置は、主として回
折又は偏向又は散乱によって光を変調する光変調素子
と、該光変調素子を光で照明する照明光学系と、該光変
調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、前記走
査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記変調を
受けた光束を選択して該光束を複数の方向に順次偏向す
る偏向ミラーと、該偏向ミラーからの前記光束を投影す
る投影光学系とを有することを特徴としている。
折又は偏向又は散乱によって光を変調する光変調素子
と、該光変調素子を光で照明する照明光学系と、該光変
調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、前記走
査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記変調を
受けた光束を選択して該光束を複数の方向に順次偏向す
る偏向ミラーと、該偏向ミラーからの前記光束を投影す
る投影光学系とを有することを特徴としている。
【００３０】請求項５の発明は請求項４の発明におい
て、前記偏向ミラーは光通過領域と光反射領域とを有
し、該光反射領域により実質的に前記変調を受けた光束
だけが反射され、前記光通過領域を実質的に前記変調を
受けなかった光束だけが通過することを特徴としてい
る。
て、前記偏向ミラーは光通過領域と光反射領域とを有
し、該光反射領域により実質的に前記変調を受けた光束
だけが反射され、前記光通過領域を実質的に前記変調を
受けなかった光束だけが通過することを特徴としてい
る。
【００３１】請求項６の発明は請求項５の発明におい
て、前記光変調素子は前記光を反射する素子であり、前
記照明光学系の前記光は前記偏向ミラーの前記光通過領
域を通って前記反射型の光変調素子に入射することを特
徴としている。
て、前記光変調素子は前記光を反射する素子であり、前
記照明光学系の前記光は前記偏向ミラーの前記光通過領
域を通って前記反射型の光変調素子に入射することを特
徴としている。
【００３２】請求項７の発明は請求項６の発明におい
て、前記照明光学系は前記光変調素子に対向する前記光
変調素子側がテレセントリックなレンズ系を有し、前記
反射型の光変調素子からの光は前記テレセントリックな
レンズ系を介して前記偏向ミラーの位置へ伝播すること
を特徴としている。
て、前記照明光学系は前記光変調素子に対向する前記光
変調素子側がテレセントリックなレンズ系を有し、前記
反射型の光変調素子からの光は前記テレセントリックな
レンズ系を介して前記偏向ミラーの位置へ伝播すること
を特徴としている。
【００３３】請求項８の発明は請求項５から７のいずれ
か１項の発明において、前記光変調素子はある方向にそ
れぞれが画素に相当する複数個の光変調部を配列した細
長い光変調領域を有し、前記照明光学系は前記複数個の
光変調部の配列方向に細長い光で前記光変調素子を照明
するためのアナモフィック光学素子を一つ又は複数個有
することを特徴としている。
か１項の発明において、前記光変調素子はある方向にそ
れぞれが画素に相当する複数個の光変調部を配列した細
長い光変調領域を有し、前記照明光学系は前記複数個の
光変調部の配列方向に細長い光で前記光変調素子を照明
するためのアナモフィック光学素子を一つ又は複数個有
することを特徴としている。
【００３４】請求項９の発明は請求項８の発明におい
て、前記走査光学系は前記光変調素子からの光を前記光
変調領域の長手方向に直交する方向だけに走査すること
を特徴としている。
て、前記走査光学系は前記光変調素子からの光を前記光
変調領域の長手方向に直交する方向だけに走査すること
を特徴としている。
【００３５】請求項１０の発明は請求項９の発明におい
て、前記光変調素子は予め決めた方向と直交する方向に
も数個の光変調部が並ぶ光変調領域を有することを特徴
としている。
て、前記光変調素子は予め決めた方向と直交する方向に
も数個の光変調部が並ぶ光変調領域を有することを特徴
としている。
【００３６】請求項１１の発明は請求項８の発明におい
て、前記走査光学系は前記光変調素子からの光束を前記
光変調領域の長手方向と該長手方向に直交する方向に走
査することを特徴としている。
て、前記走査光学系は前記光変調素子からの光束を前記
光変調領域の長手方向と該長手方向に直交する方向に走
査することを特徴としている。
【００３７】請求項１２の発明は請求項１の発明におい
て、前記光変調素子は、入力信号に応じて、回折又は偏
向又は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱
しない光を形成したりする機能を有し、例えば 、電気
機械素子または液晶素子より成り、 ON信号に応じて回
折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて
回折又は偏向又は散乱しない光を形成することを特徴と
している。
て、前記光変調素子は、入力信号に応じて、回折又は偏
向又は散乱した光を形成したり、回折又は偏向又は散乱
しない光を形成したりする機能を有し、例えば 、電気
機械素子または液晶素子より成り、 ON信号に応じて回
折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF信号に応じて
回折又は偏向又は散乱しない光を形成することを特徴と
している。
【００３８】請求項１３の発明は請求項４から１２のい
ずれか１項の発明において、前記光変調素子が画像信号
に応じて光を変調し、前記投影光学系により投影された
光束で２次元画像を形成することを特徴としている。
ずれか１項の発明において、前記光変調素子が画像信号
に応じて光を変調し、前記投影光学系により投影された
光束で２次元画像を形成することを特徴としている。
【００３９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の投影装置の実施形
態１の要部概略図である。図１において、１は光源手段
（光源）である。２はアナモフィック光学部材（アナモ
フィックレンズ、母線が直交する一対のシリンドリカル
レンズなど）を有する光束形状変換手段であり、紙面内
と紙面垂直方向とで焦点距離（０でも∞でも無い）が互
いに異なっていて、光源１からの光束の紙面内と紙面垂
直方向の形状を円から楕円へと変換して射出している。
態１の要部概略図である。図１において、１は光源手段
（光源）である。２はアナモフィック光学部材（アナモ
フィックレンズ、母線が直交する一対のシリンドリカル
レンズなど）を有する光束形状変換手段であり、紙面内
と紙面垂直方向とで焦点距離（０でも∞でも無い）が互
いに異なっていて、光源１からの光束の紙面内と紙面垂
直方向の形状を円から楕円へと変換して射出している。
【００４０】３はレンズ系であり、紙面と直交する断面
に関して、光射出側がテレセントリック系又は略テレセ
ントリック系を構成するようにしている。従って、この
断面において光束形状変換手段２による集光位置とレン
ズ系３の光入射側の焦点位置とが一致している。光束形
状変換手段２とレンズ系３は照明系（照明光学系）ＥＬ
の一要素を構成している。
に関して、光射出側がテレセントリック系又は略テレセ
ントリック系を構成するようにしている。従って、この
断面において光束形状変換手段２による集光位置とレン
ズ系３の光入射側の焦点位置とが一致している。光束形
状変換手段２とレンズ系３は照明系（照明光学系）ＥＬ
の一要素を構成している。
【００４１】４は紙面垂直方向（Ｚ方向）に複数の画素
を配列した１次元のグレーティングライトバルブ( Grat
ing Light Valve：ＧＬＶ)であり、図１４〜図１６で示
した電圧の印加によって光回折作用を生じさせるマイク
ロマシン位相反射型回折格子より成っている。
を配列した１次元のグレーティングライトバルブ( Grat
ing Light Valve：ＧＬＶ)であり、図１４〜図１６で示
した電圧の印加によって光回折作用を生じさせるマイク
ロマシン位相反射型回折格子より成っている。
【００４２】図１はＧＬＶ４が回折格子として作用する
（以下「ＯＮ状態」という。）場合の光路を示してお
り、ＯＮの状態においては、ＧＬＶからの反射回折光は
図１のように光走査手段５で反射し、投射走査系６を介
してスクリーン上に到達する。
（以下「ＯＮ状態」という。）場合の光路を示してお
り、ＯＮの状態においては、ＧＬＶからの反射回折光は
図１のように光走査手段５で反射し、投射走査系６を介
してスクリーン上に到達する。
【００４３】本実施形態の光走査手段であるガルバノミ
ラー５は、図４に示すような光透過部５ｂと光反射部５
ａを有するミラーより構成してある。走査される光束
は、レンズ系３と投射光学系６を介してスクリーン１上
を走査されるが、走査手段５は、レンズ系３と投射光学
系６より構成される光学系の絞り近傍に配置される。
尚、他の実施形態として、回転多面鏡を光走査手段とし
て用いる場合もあり得る。
ラー５は、図４に示すような光透過部５ｂと光反射部５
ａを有するミラーより構成してある。走査される光束
は、レンズ系３と投射光学系６を介してスクリーン１上
を走査されるが、走査手段５は、レンズ系３と投射光学
系６より構成される光学系の絞り近傍に配置される。
尚、他の実施形態として、回転多面鏡を光走査手段とし
て用いる場合もあり得る。
【００４４】この際、光走査手段５により、１次元ＧＬ
Ｖからの画像情報に基づく光束を副走査方向に走査する
ことによりスクリーン７上に２次元の画像情報を形成し
ている。
Ｖからの画像情報に基づく光束を副走査方向に走査する
ことによりスクリーン７上に２次元の画像情報を形成し
ている。
【００４５】図１において、光源１から射出された光束
は、光束形状変換手段２と光走査手段５の光透過部５ｂ
そしてレンズ系３を介して、実線で示した光路を通過
し、ＧＬＶ４を照射する。ＧＬＶ４によって空間光変調
された光束（以下、反射光束と記述）は、光束走査手段
５の反射部５ａにより反射されて進行方向を変えられ、
破線で示した光路で投射光学系６を介してスクリーン７
に到達する。そして走査されることで進行方向が順次変
わりスクリーン上の結像位置も順次変わる。
は、光束形状変換手段２と光走査手段５の光透過部５ｂ
そしてレンズ系３を介して、実線で示した光路を通過
し、ＧＬＶ４を照射する。ＧＬＶ４によって空間光変調
された光束（以下、反射光束と記述）は、光束走査手段
５の反射部５ａにより反射されて進行方向を変えられ、
破線で示した光路で投射光学系６を介してスクリーン７
に到達する。そして走査されることで進行方向が順次変
わりスクリーン上の結像位置も順次変わる。
【００４６】次に各要素について説明する。光束形状変
換手段２は、図１において紙面上下方向（Ｙ方向）断面
と紙面垂直方向（Ｚ方向）断面とで互いに曲率半径（屈
折力）が異なる光学部材を有している。尚、紙面垂直方
向断面で曲率半径∞（屈折力０）のシリンドリカルレン
ズも使用できる。
換手段２は、図１において紙面上下方向（Ｙ方向）断面
と紙面垂直方向（Ｚ方向）断面とで互いに曲率半径（屈
折力）が異なる光学部材を有している。尚、紙面垂直方
向断面で曲率半径∞（屈折力０）のシリンドリカルレン
ズも使用できる。
【００４７】そして、光束形状変換手段２からＺ方向に
長い長円形状の光束として出射させて光走査手段５の長
円や短長方形や円弧と直線よりなる形（図示のもの）の
透過部５ｂを透過して、レンズ３を介してＧＬＶ４を照
明するようにしている。
長い長円形状の光束として出射させて光走査手段５の長
円や短長方形や円弧と直線よりなる形（図示のもの）の
透過部５ｂを透過して、レンズ３を介してＧＬＶ４を照
明するようにしている。
【００４８】このとき、光源１からの光束は、図１の紙
面垂直方向に複数の画素を配列したＧＬＶ４に対応する
ように図６のように変形している。
面垂直方向に複数の画素を配列したＧＬＶ４に対応する
ように図６のように変形している。
【００４９】図１において、光束形状変換手段２を出射
後の光束を受ける形で光束走査手段５が配置されている
が、光束形状変換手段２を出射後の光束は光走査手段５
の透過部５ｂを通過する構成となっている。
後の光束を受ける形で光束走査手段５が配置されている
が、光束形状変換手段２を出射後の光束は光走査手段５
の透過部５ｂを通過する構成となっている。
【００５０】光走査手段５は図４に示すように透過部５
ｂと反射部５ａの２つの領域を有している。
ｂと反射部５ａの２つの領域を有している。
【００５１】そして光走査手段５は図１においてＺ方向
に回転軸５ａを有し、該回転軸５ａを中心に振動又は回
転している。
に回転軸５ａを有し、該回転軸５ａを中心に振動又は回
転している。
【００５２】ＧＬＶ４は図１の紙面垂直方向に複数の画
素を１次元方向に配列したもの（１次元アレイ化ＧＬ
Ｖ）であり、電圧の印加によって反射型回折格子（ｏｎ
状態）として、または電圧を印加しないと平面鏡（以
下、ｏｆｆ状態と記述）として作用する。反射光束は、
ＧＬＶ４がｏｎ状態の場合のみ回折作用により±１次回
折光など複数の回折光の強度がつよくなり正反射光（０
次光）とは異なる各方向に進行する。
素を１次元方向に配列したもの（１次元アレイ化ＧＬ
Ｖ）であり、電圧の印加によって反射型回折格子（ｏｎ
状態）として、または電圧を印加しないと平面鏡（以
下、ｏｆｆ状態と記述）として作用する。反射光束は、
ＧＬＶ４がｏｎ状態の場合のみ回折作用により±１次回
折光など複数の回折光の強度がつよくなり正反射光（０
次光）とは異なる各方向に進行する。
【００５３】図２は、ＧＬＶ４がｏｎ状態の場合の反射
光束と絞り近傍に配置された光走査手段５の透過領域５
ｂと反射領域５ａの位置関係を示したものである。この
図は、図１において、スクリーン７方向から光走査手段
５側を見ている状態を示している。
光束と絞り近傍に配置された光走査手段５の透過領域５
ｂと反射領域５ａの位置関係を示したものである。この
図は、図１において、スクリーン７方向から光走査手段
５側を見ている状態を示している。
【００５４】図１の光学系は、図２に示すように、ＧＬ
Ｖ４がｏｎ状態の時、照明光束は、光束の波長とＧＬＶ
４のピッチにより決定される角度に反射回折され、その
反射回折光束が光走査手段５の反射領域５ａに入射する
ように構成されている。
Ｖ４がｏｎ状態の時、照明光束は、光束の波長とＧＬＶ
４のピッチにより決定される角度に反射回折され、その
反射回折光束が光走査手段５の反射領域５ａに入射する
ように構成されている。
【００５５】通常は、±１次回折光の反射光束が反射領
域５ａに入射し、反射されて投射光学系６に入射するよ
うに光走査手段と投影光学系６とが構成してある。
域５ａに入射し、反射されて投射光学系６に入射するよ
うに光走査手段と投影光学系６とが構成してある。
【００５６】図５は光走査手段５に高次の反射回折光が
入射する様子を示している。ＧＬＶ４からの反射光束
は、±１次回折光（９ａ）だけでなく、±２次以上の高
次の反射回折光も含んでいるので、より明るい画像を得
るには、ＧＬＶ４からのこの高次回折光も±１次回折光
と共に反射領域５ａにより捕捉すればよい。
入射する様子を示している。ＧＬＶ４からの反射光束
は、±１次回折光（９ａ）だけでなく、±２次以上の高
次の反射回折光も含んでいるので、より明るい画像を得
るには、ＧＬＶ４からのこの高次回折光も±１次回折光
と共に反射領域５ａにより捕捉すればよい。
【００５７】そこで、光走査手段５は、図５中で±２次
と±３次の回折光９ｂ，９ｃも反射部５ａに入射して反
射できるような構成としている。
と±３次の回折光９ｂ，９ｃも反射部５ａに入射して反
射できるような構成としている。
【００５８】図３は、ＧＬＶ４がｏｆｆ状態の場合を示
しており、ＧＬＶ４に入射した光束は回折されることな
く、正反射して（即ち偏向されずに）テレセントリック
レンズ３と、絞りＳＰ近傍に配置された光走査手段の透
過部５ｂとを透過して光源１側に戻る。このため、スク
リーン７上に投射されることがない。
しており、ＧＬＶ４に入射した光束は回折されることな
く、正反射して（即ち偏向されずに）テレセントリック
レンズ３と、絞りＳＰ近傍に配置された光走査手段の透
過部５ｂとを透過して光源１側に戻る。このため、スク
リーン７上に投射されることがない。
【００５９】図５では、光走査手段５面上の反射光束を
示しており、８はＧＬＶ４がｏｆｆ状態の時のＧＬＶ４
からの正反射光束を示し、９ａ〜９ｃはＧＬＶ４がｏｎ
状態の時のＧＬＶ４からの反射回折光束を示している。
示しており、８はＧＬＶ４がｏｆｆ状態の時のＧＬＶ４
からの正反射光束を示し、９ａ〜９ｃはＧＬＶ４がｏｎ
状態の時のＧＬＶ４からの反射回折光束を示している。
【００６０】本実施形態では、光走査手段５の反射部分
５ａと透過部分５ｂが、ＧＬＶ４からの正反射光束を遮
断し、反射回折光を抽出するシュリーレン光学系の絞り
ＳＰを持っている。
５ａと透過部分５ｂが、ＧＬＶ４からの正反射光束を遮
断し、反射回折光を抽出するシュリーレン光学系の絞り
ＳＰを持っている。
【００６１】ＧＬＶ４がｏｎ状態の場合の反射回折光束
は、光走査手段５の反射領域５ａで反射し、投射光学系
６を介してスクリーン７に達する。光走査手段５が、図
１においては紙面垂直方向（図２、図３においては紙面
上下方向）の回転軸５ａを中心に一方向に回転あるいは
往復回動（揺動）することにより、１次元のＧＬＶ４か
らの反射光束を副走査方向に走査し、スクリーン７面上
に２次元画像を投射している。
は、光走査手段５の反射領域５ａで反射し、投射光学系
６を介してスクリーン７に達する。光走査手段５が、図
１においては紙面垂直方向（図２、図３においては紙面
上下方向）の回転軸５ａを中心に一方向に回転あるいは
往復回動（揺動）することにより、１次元のＧＬＶ４か
らの反射光束を副走査方向に走査し、スクリーン７面上
に２次元画像を投射している。
【００６２】また、図１には挿入図として、スクリーン
７を投射光学系６方向から見たものを示す。走査方向７
ａに対して垂直な方向に延びた１次元ＧＬＶ４からの反
射光束がスクリーン７上に投影されており、光走査手段
５が一方向に回転あるいは往復回動することにより、挿
入図において、反射光束が紙面左右方向の走査方向７ａ
に走査されることで２次元画像が投影される。
７を投射光学系６方向から見たものを示す。走査方向７
ａに対して垂直な方向に延びた１次元ＧＬＶ４からの反
射光束がスクリーン７上に投影されており、光走査手段
５が一方向に回転あるいは往復回動することにより、挿
入図において、反射光束が紙面左右方向の走査方向７ａ
に走査されることで２次元画像が投影される。
【００６３】また、挿入図中ａは、ＧＬＶ４の一画素か
らの反射光束の投影位置を示す。
らの反射光束の投影位置を示す。
【００６４】このように画像表示素子としてＧＬＶ４を
用いて、走査手段と光選択手段の機能をもつガルバノミ
ラー等の光偏向器を有するシュリーレン光学系を構成す
ることにより、小型な光学系を提供でき、かつスクリー
ン７上で高画質な投影画像を得ている。なおＧＬＶ４の
構成は図１４〜図１６に基づいて説明したとおりであ
る。また、ＧＬＶ以外に反射光に正反射と非正反射（又
は散乱）の状態を選択的に変え得る変形可能な微小ミラ
ーを１次元に並べた素子や反射光に正反射と反射散乱の
状態を選択的に与え得る散乱型液晶パネル等も光変調手
段として使える。
用いて、走査手段と光選択手段の機能をもつガルバノミ
ラー等の光偏向器を有するシュリーレン光学系を構成す
ることにより、小型な光学系を提供でき、かつスクリー
ン７上で高画質な投影画像を得ている。なおＧＬＶ４の
構成は図１４〜図１６に基づいて説明したとおりであ
る。また、ＧＬＶ以外に反射光に正反射と非正反射（又
は散乱）の状態を選択的に変え得る変形可能な微小ミラ
ーを１次元に並べた素子や反射光に正反射と反射散乱の
状態を選択的に与え得る散乱型液晶パネル等も光変調手
段として使える。
【００６５】本実施例においては、ｏｎとｏｆｆの状態
のみ示したが、実際はＧＬＶ４の位相を制御することに
より階調をだすこともできる。
のみ示したが、実際はＧＬＶ４の位相を制御することに
より階調をだすこともできる。
【００６６】図７は本発明の投影装置の実施形態２の要
部概略図である。本実施形態では、ＧＬＶ４をカラー画
像に信号に基づいて各色の画像情報を表示し得るように
駆動し、それに対応した各色光をＲ，Ｇ，Ｂの各色フィ
ルタ（カラーフィルタ）１０を用いてＧＬＶ４に時分割
で入射させている。
部概略図である。本実施形態では、ＧＬＶ４をカラー画
像に信号に基づいて各色の画像情報を表示し得るように
駆動し、それに対応した各色光をＲ，Ｇ，Ｂの各色フィ
ルタ（カラーフィルタ）１０を用いてＧＬＶ４に時分割
で入射させている。
【００６７】そしてＧＬＶ４からの画像光である反射回
折光束をレンズ系３と光走査手段５とを介して投射光学
系（不図示）に入射させ、光走査手段５により反射回折
光を走査しつつ投影射光学系によりスクリーンに投射
し、スクリーン（不図示）上に２次元画像を形成してい
る。実施形態２以降の全ての形態の図面において、投射
光学系とスクリーンとを図示するのを省略している。
折光束をレンズ系３と光走査手段５とを介して投射光学
系（不図示）に入射させ、光走査手段５により反射回折
光を走査しつつ投影射光学系によりスクリーンに投射
し、スクリーン（不図示）上に２次元画像を形成してい
る。実施形態２以降の全ての形態の図面において、投射
光学系とスクリーンとを図示するのを省略している。
【００６８】光源手段ＬＳは可視域において発光スペク
トルを有する白色光源１と回転可能な複数の色フィルタ
（Ｒ，Ｇ，Ｂフィルタ）を有するフィルタ円盤１０とを
有している。
トルを有する白色光源１と回転可能な複数の色フィルタ
（Ｒ，Ｇ，Ｂフィルタ）を有するフィルタ円盤１０とを
有している。
【００６９】図７において、白色光源１から発せられる
白い照明光束は、赤・緑・青の色フィルタに色分けされ
たカラーフィルタ盤の１つの色フィルタを通過し、各色
の光と成って、光束形状変換手段２、光走査手段５の透
過部、そしてレンズ３を介して、１次元ＧＬＶをそれと
同方向に延びた線状光束と成って照明する。カラーフィ
ルタ盤以外の各部材のそれぞれの構成照射される。それ
ぞれの構成、作用は実施形態１と同様である。
白い照明光束は、赤・緑・青の色フィルタに色分けされ
たカラーフィルタ盤の１つの色フィルタを通過し、各色
の光と成って、光束形状変換手段２、光走査手段５の透
過部、そしてレンズ３を介して、１次元ＧＬＶをそれと
同方向に延びた線状光束と成って照明する。カラーフィ
ルタ盤以外の各部材のそれぞれの構成照射される。それ
ぞれの構成、作用は実施形態１と同様である。
【００７０】ＧＬＶ４からの反射光束の光路図は実施形
態１と同様であるので省略する。
態１と同様であるので省略する。
【００７１】本実施形態は、カラーフィルタ円盤１０を
軸１０ａを中心に回転させて、ＧＬＶ４に入射する照明
光束を順次赤・緑・青とすることにより、１次元ＧＬＶ
をＲ−Ｇ，Ｂの互いに異なる色の光で時分割照明し、そ
れに応じてＧＬＶ４でカラー画像信号に基づいてカラー
フィルタからの所定の色光束を変調している。そして光
走査手段５によるフィルタリング（±１次回折光のみの
抽出）に基づいて投射光学系でＧＬＶ４に基づくカラー
画像光をスクリーン上に投射している。また、ＧＬＶと
色フィルタは同期される。
軸１０ａを中心に回転させて、ＧＬＶ４に入射する照明
光束を順次赤・緑・青とすることにより、１次元ＧＬＶ
をＲ−Ｇ，Ｂの互いに異なる色の光で時分割照明し、そ
れに応じてＧＬＶ４でカラー画像信号に基づいてカラー
フィルタからの所定の色光束を変調している。そして光
走査手段５によるフィルタリング（±１次回折光のみの
抽出）に基づいて投射光学系でＧＬＶ４に基づくカラー
画像光をスクリーン上に投射している。また、ＧＬＶと
色フィルタは同期される。
【００７２】図８は本発明の投影装置の実施形態３の要
部概略図である。本実施形態３の実施形態２との違いは
光源手段ＬＳの構成だけにある。本実施形態３の光源手
段ＬＳは、複数の光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）と色合成手
段１２とを有している。図８は、赤・緑・青の色光を放
射する３つの単色光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）を使用し、
時分割で発光する各光源からの光束でＧＬＶ４を順次線
状照明する場合を示している。
部概略図である。本実施形態３の実施形態２との違いは
光源手段ＬＳの構成だけにある。本実施形態３の光源手
段ＬＳは、複数の光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）と色合成手
段１２とを有している。図８は、赤・緑・青の色光を放
射する３つの単色光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）を使用し、
時分割で発光する各光源からの光束でＧＬＶ４を順次線
状照明する場合を示している。
【００７３】各光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）から順次放射
される光束の光路は公知のクロスダイクロイックプリズ
ム（色合成手段）１２によって合成されて、所定の共通
光路が光走査手段の光透過領域とテレセントリックレン
ズ３及びＧＬＶ４を結ぶ線分上に供給されている。尚、
この線分とレンズ３の光軸は一致している。クロスダイ
クロイックプリズム１２は、４つの三角プリズムを貼り
合わせ、その張り合わせ面にコートされた波長選択性反
射膜（ダイクロイック膜）が十字にクロスするようにし
たプリズムであり、ダイクロイック膜の厚みは非常に薄
く、照明光学系ＥＬの光学性能（結像性能）への影響が
ほとんど無く、良好なる光学性能を維持するのに適して
いる。光学手段ＬＳをこのような構成としても実施形態
２と同様の効果が得られる。
される光束の光路は公知のクロスダイクロイックプリズ
ム（色合成手段）１２によって合成されて、所定の共通
光路が光走査手段の光透過領域とテレセントリックレン
ズ３及びＧＬＶ４を結ぶ線分上に供給されている。尚、
この線分とレンズ３の光軸は一致している。クロスダイ
クロイックプリズム１２は、４つの三角プリズムを貼り
合わせ、その張り合わせ面にコートされた波長選択性反
射膜（ダイクロイック膜）が十字にクロスするようにし
たプリズムであり、ダイクロイック膜の厚みは非常に薄
く、照明光学系ＥＬの光学性能（結像性能）への影響が
ほとんど無く、良好なる光学性能を維持するのに適して
いる。光学手段ＬＳをこのような構成としても実施形態
２と同様の効果が得られる。
【００７４】尚、本実施形態において３つの光源を全て
白色光源とし、時分割で３つの白色光源を発光させ、ク
ロスダイクロイックプリズム１２を介してＲ，Ｇ，Ｂの
３つの色の照明光を順次得て、各色の照明光でＧＬＶ４
を順次照明するようにしても良い。
白色光源とし、時分割で３つの白色光源を発光させ、ク
ロスダイクロイックプリズム１２を介してＲ，Ｇ，Ｂの
３つの色の照明光を順次得て、各色の照明光でＧＬＶ４
を順次照明するようにしても良い。
【００７５】図９は本発明の投影装置の実施形態４の要
部概略図である。本実施形態では白色光を放射する光源
１からの白色光を、前記各実施形態と同様にアナモフィ
ック光学系２、光走査手段の光透過領域とテレセントリ
ックレンズ３を通した後でダイクロイックミラー１１
ａ，１１ｂを用いて赤，緑，青の３つの色光に分割し、
各色光毎に設けた光学的に同一光軸上に同一位置に配置
した１次元ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−Ｂを対応
する色光をにより同時に線状照明する。
部概略図である。本実施形態では白色光を放射する光源
１からの白色光を、前記各実施形態と同様にアナモフィ
ック光学系２、光走査手段の光透過領域とテレセントリ
ックレンズ３を通した後でダイクロイックミラー１１
ａ，１１ｂを用いて赤，緑，青の３つの色光に分割し、
各色光毎に設けた光学的に同一光軸上に同一位置に配置
した１次元ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−Ｂを対応
する色光をにより同時に線状照明する。
【００７６】一次元ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−
Ｂは各々、対応する色光をカラー画像信号に応じて変調
してカラー画像情報を有する光束を形成している。
Ｂは各々、対応する色光をカラー画像信号に応じて変調
してカラー画像情報を有する光束を形成している。
【００７７】図９において、単一光源１から発せられる
白い照明光束は、光束形状変換手段２、光走査手段５の
透過部５ｂ，レンズ３を介した後、２つのダイクロイッ
クミラー１１ａ、１１ｂ（ダイクロイック膜をコートし
たミラー）に順次入射し、これらによって色分解され、
分解された色光で各ＧＬＶ（ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，
ＧＬＶ−Ｂ）が同時に線状照明される。
白い照明光束は、光束形状変換手段２、光走査手段５の
透過部５ｂ，レンズ３を介した後、２つのダイクロイッ
クミラー１１ａ、１１ｂ（ダイクロイック膜をコートし
たミラー）に順次入射し、これらによって色分解され、
分解された色光で各ＧＬＶ（ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，
ＧＬＶ−Ｂ）が同時に線状照明される。
【００７８】実施形態４の他の部材の構成、単独又は相
互の作用は実施形態１と同様である。尚、各ＧＬＶから
の反射光束の合成後の光路図は実施形態１と同様であ
る。
互の作用は実施形態１と同様である。尚、各ＧＬＶから
の反射光束の合成後の光路図は実施形態１と同様であ
る。
【００７９】光出射側がテレセントリックなテレセント
リックレンズ３を通過後の白い照明光束は、ダイクロイ
ックミラー１１ａにより、その赤・緑・青の成分のうち
１色の光束が反射され、ダイクロイックミラー１１ａを
透過した残り２色の光束は、ダイクロイックミラー１１
ｂによって１つの色光は反射、他方の色光はダイクロイ
ックミラー１１ｂを透過する。そして赤・緑・青の３色
に分けられた光束は互いに異なる各色に対応した１次元
ＧＬＶを照明している。
リックレンズ３を通過後の白い照明光束は、ダイクロイ
ックミラー１１ａにより、その赤・緑・青の成分のうち
１色の光束が反射され、ダイクロイックミラー１１ａを
透過した残り２色の光束は、ダイクロイックミラー１１
ｂによって１つの色光は反射、他方の色光はダイクロイ
ックミラー１１ｂを透過する。そして赤・緑・青の３色
に分けられた光束は互いに異なる各色に対応した１次元
ＧＬＶを照明している。
【００８０】３つの一次元ＧＬＶで各色の照明光束を変
調することにより得た各色の画像情報をもつ反射回折光
は照明光路と逆の光路を通り、光走査手段５を介して投
射レンズによってスクリーン上に投射されてスクリーン
上にカラー画像を表示している。
調することにより得た各色の画像情報をもつ反射回折光
は照明光路と逆の光路を通り、光走査手段５を介して投
射レンズによってスクリーン上に投射されてスクリーン
上にカラー画像を表示している。
【００８１】図１０は、本発明の表示装置の実施形態５
の要部概略図である。本実施形態５は図９の実施形態４
と比較すると、白色光を３つの色光に色分解するのに実
施形態４のダイクロイックミラー、アセンブリ１１ａ，
１１ｂに替えて１つのクロスダイクロイックプリズムを
用いた点に特徴があり、このプリズム以外の構成、作用
効果は実施形態４と同じである。
の要部概略図である。本実施形態５は図９の実施形態４
と比較すると、白色光を３つの色光に色分解するのに実
施形態４のダイクロイックミラー、アセンブリ１１ａ，
１１ｂに替えて１つのクロスダイクロイックプリズムを
用いた点に特徴があり、このプリズム以外の構成、作用
効果は実施形態４と同じである。
【００８２】図１１は本発明の投影装置の実施形態６の
要部概略図である。本実施形態はアナモフィック光学系
２よりも光源側を図８の実施形態３と同様な３つの単色
光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）とクロスダイクロプリズム
（色合成素子）１２ａより構成し、テレセントリックレ
ンズ３よりＧＬＶ側をＧＬＶ側を図１０の実施形態５と
同様な３つのＧＬＶ（ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ
−Ｂ）とクロスダイクロプリズム（色分解＆色合成素
子）１２ｂより構成している。
要部概略図である。本実施形態はアナモフィック光学系
２よりも光源側を図８の実施形態３と同様な３つの単色
光源（１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ）とクロスダイクロプリズム
（色合成素子）１２ａより構成し、テレセントリックレ
ンズ３よりＧＬＶ側をＧＬＶ側を図１０の実施形態５と
同様な３つのＧＬＶ（ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ
−Ｂ）とクロスダイクロプリズム（色分解＆色合成素
子）１２ｂより構成している。
【００８３】本実施形態６では各光源（１Ｒ，１Ｇ，１
Ｂ）から放射された各色光をクロスダイクロイックプリ
ズム１２ａで合成したのち、光束形状変換手段２、光走
査手段５の透過部５ｂ、そしてレンズ３を介した後、ク
ロスダイクロプリズム１２ｂに入射させている。
Ｂ）から放射された各色光をクロスダイクロイックプリ
ズム１２ａで合成したのち、光束形状変換手段２、光走
査手段５の透過部５ｂ、そしてレンズ３を介した後、ク
ロスダイクロプリズム１２ｂに入射させている。
【００８４】そしてクロスダイクロイックプリズム１２
ｂにより色分解しＲ，Ｇ，Ｂ各色光でそれぞれ対応する
１次元ＧＬＶ（ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−Ｂ）
を線状照明している。尚、プリズム１２ａやプリズム１
２ｂの代りに図９で示したダイクロイックミラーアセン
ブリ１１ａ，１１ｂを用いることもできる。
ｂにより色分解しＲ，Ｇ，Ｂ各色光でそれぞれ対応する
１次元ＧＬＶ（ＧＬＶ−Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−Ｂ）
を線状照明している。尚、プリズム１２ａやプリズム１
２ｂの代りに図９で示したダイクロイックミラーアセン
ブリ１１ａ，１１ｂを用いることもできる。
【００８５】本実施形態６も実施形態４，５と同様の効
果が得られる。
果が得られる。
【００８６】図１２は本発明の投影装置の実施形態７の
要部概略図である。本実施形態７の特徴は前述の各実施
形態と異なり、白色光源からの白い光束をＲ（赤），Ｇ
（緑），Ｂ（青）の各色の光束に分解する手段として回
折格子（１次元ブレーズド回折格子）を用いていること
と、各色光の光束に対応する３つの１次元ＧＬＶが並置
している点である。
要部概略図である。本実施形態７の特徴は前述の各実施
形態と異なり、白色光源からの白い光束をＲ（赤），Ｇ
（緑），Ｂ（青）の各色の光束に分解する手段として回
折格子（１次元ブレーズド回折格子）を用いていること
と、各色光の光束に対応する３つの１次元ＧＬＶが並置
している点である。
【００８７】図１２において、単一光源１からの白い照
明光束は光束形状変換手段２の光源側に設けられた色分
解用回折素子１３によってＲ，Ｇ，Ｂの３つの色光に色
分解され、各色の光束が光束形状変換素子であるアナモ
フィックレンズ２，光走査手段５の透過部５ｂ、そして
光射出側がテレセントリックなテレセントリックレンズ
３を介して各色毎に配置された１次元ＧＬＶ（ＧＬＶ−
Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−Ｂ）を線状照明する。
明光束は光束形状変換手段２の光源側に設けられた色分
解用回折素子１３によってＲ，Ｇ，Ｂの３つの色光に色
分解され、各色の光束が光束形状変換素子であるアナモ
フィックレンズ２，光走査手段５の透過部５ｂ、そして
光射出側がテレセントリックなテレセントリックレンズ
３を介して各色毎に配置された１次元ＧＬＶ（ＧＬＶ−
Ｒ，ＧＬＶ−Ｇ，ＧＬＶ−Ｂ）を線状照明する。
【００８８】各部材のそれぞれの構成、作用は実施形態
１と同様であるので説明を省略する。３つの１次元ＧＬ
Ｖからの各反射回折光束の光路図は実施形態１のものと
だいたい同様であるので図示するのを省略している。
１と同様であるので説明を省略する。３つの１次元ＧＬ
Ｖからの各反射回折光束の光路図は実施形態１のものと
だいたい同様であるので図示するのを省略している。
【００８９】図１２中の色分解用の回折素子１３の光源
側の表面１３ａは、例えば特開平６−１１６６２号公報
で提示されているように、１次元ブレーズド回折格子に
似た形状を有している。
側の表面１３ａは、例えば特開平６−１１６６２号公報
で提示されているように、１次元ブレーズド回折格子に
似た形状を有している。
【００９０】本実施形態７においては、回折素子１３を
光束形状変換手段２の光源１側に当該手段２と一体的に
設けたが、回折素子１３は、光束形状変換手段２の光走
査手段３側に当該手段２と一体的に配置してもよいし、
又、光束形状変換手段２の光源側又は光走査手段３側に
当該手段２とは一体化せずに独立に配置しても良い。
光束形状変換手段２の光源１側に当該手段２と一体的に
設けたが、回折素子１３は、光束形状変換手段２の光走
査手段３側に当該手段２と一体的に配置してもよいし、
又、光束形状変換手段２の光源側又は光走査手段３側に
当該手段２とは一体化せずに独立に配置しても良い。
【００９１】図１２に示した３つのＧＬＶの配置では、
ＧＬＶ４からの反射光束の光束走査手段に到達する位置
が各色光によって若干異なる。そのため、スクリーン上
に各色の画像が並んで投影される。それを解決する一例
として、光走査手段５の光反射領域に回折格子を設ける
方法が適用できる。
ＧＬＶ４からの反射光束の光束走査手段に到達する位置
が各色光によって若干異なる。そのため、スクリーン上
に各色の画像が並んで投影される。それを解決する一例
として、光走査手段５の光反射領域に回折格子を設ける
方法が適用できる。
【００９２】つまりこの光反射領域に設けた回折格子に
よって、各色に関する反射回折光の回折位置を実質的に
同じにすることでスクリーン上の同じ位置に各色の画像
を重ねて投影することができる。また、投射光学系の構
成を工夫することによって、スクリーン面の同じ位置に
投射するようにしてもよい。
よって、各色に関する反射回折光の回折位置を実質的に
同じにすることでスクリーン上の同じ位置に各色の画像
を重ねて投影することができる。また、投射光学系の構
成を工夫することによって、スクリーン面の同じ位置に
投射するようにしてもよい。
【００９３】また、人間の目で色の分離が知覚できない
速度以上で光走査手段を回転あるいは往復回動させるこ
とにより走査を行なう方法を用いても良い。
速度以上で光走査手段を回転あるいは往復回動させるこ
とにより走査を行なう方法を用いても良い。
【００９４】本実施形態７の複数のＧＬＶの配置は、３
つを並置するやり方である。複数のＧＬＶの構成は、こ
の配置に限定するものではないが、ＧＬＶ同志が離れる
とスクリーンでのそれぞれの色の画像の分離も大きくな
るので、３つ並べて近接配置することが望ましい。
つを並置するやり方である。複数のＧＬＶの構成は、こ
の配置に限定するものではないが、ＧＬＶ同志が離れる
とスクリーンでのそれぞれの色の画像の分離も大きくな
るので、３つ並べて近接配置することが望ましい。
【００９５】このように１つの回折素子を用いて形成し
た各色の光束で、１次元ＧＬＶを線状照明することで、
複数のダイクロイックミラーやダイクロイックプリズム
を用いることなく簡単な構成でスクリーン面に高画質の
カラーの画像を投射することができる。
た各色の光束で、１次元ＧＬＶを線状照明することで、
複数のダイクロイックミラーやダイクロイックプリズム
を用いることなく簡単な構成でスクリーン面に高画質の
カラーの画像を投射することができる。
【００９６】図１３は本発明の投影装置の実施形態８の
要部概略図である。本実施形態は、図１２の実施形態７
とは異なり、互いに異なった色光（青，緑，赤）を放射
する３つの単色光源（１Ｂ，１Ｇ，１Ｒ）を、色分解素
子としての回折素子を用いない点が特徴であり、並置し
且つ互いに光軸を傾けておき且つ赤・緑・青の３つの色
光でアナモフィクレンズ２を用いてそれぞれ対象とする
１次元ＧＬＶを線状照明する場合を示している。
要部概略図である。本実施形態は、図１２の実施形態７
とは異なり、互いに異なった色光（青，緑，赤）を放射
する３つの単色光源（１Ｂ，１Ｇ，１Ｒ）を、色分解素
子としての回折素子を用いない点が特徴であり、並置し
且つ互いに光軸を傾けておき且つ赤・緑・青の３つの色
光でアナモフィクレンズ２を用いてそれぞれ対象とする
１次元ＧＬＶを線状照明する場合を示している。
【００９７】本実施形態はこれまでのように色合成や色
分解のための何らかの手段を用いていないが、この実施
形態８の構成でも前述の各実施形態と同様の効果が得ら
れる。
分解のための何らかの手段を用いていないが、この実施
形態８の構成でも前述の各実施形態と同様の効果が得ら
れる。
【００９８】尚、本発明の表示装置において、光源側の
構成とＧＬＶ側の構成を各実施形態における構成より抽
出し、任意に組み合わせて構成しても良い。
構成とＧＬＶ側の構成を各実施形態における構成より抽
出し、任意に組み合わせて構成しても良い。
【００９９】又、本発明においては２画素以上を副走査
方向に並べ、この２画素以上の対を多数主走査方向に並
べている光変調手段を用いることができる。
方向に並べ、この２画素以上の対を多数主走査方向に並
べている光変調手段を用いることができる。
【０１００】以上説明した実施形態２〜８において、ア
ナモフィック光学系２やテレセントリックレンズ３は、
白色光源ではなく、各色の光路毎に置いても良い。
ナモフィック光学系２やテレセントリックレンズ３は、
白色光源ではなく、各色の光路毎に置いても良い。
【０１０１】以上説明した実施形態２〜８においても実
施形態１と同じく光変調手段として光変調手段としてＧ
ＬＶではなく他のタイプの変調素子を用いることができ
る。
施形態１と同じく光変調手段として光変調手段としてＧ
ＬＶではなく他のタイプの変調素子を用いることができ
る。
【０１０２】
【発明の効果】本発明によれば、簡単又は小型の光走査
装置及び投影装置を提供することができる。
装置及び投影装置を提供することができる。
【図１】 本発明の実施形態１の概略図
【図２】 図１においてスクリーン７側から見た概略図
（ＧＬＶ：ｏｎ状態）
（ＧＬＶ：ｏｎ状態）
【図３】 図１においてスクリーン７側から見た概略図
（ＧＬＶ：ｏｆｆ状態）
（ＧＬＶ：ｏｆｆ状態）
【図４】 図１の光走査手段の形状の説明図
【図５】 図１の光束走査手段における透明光束と反射
光束の形状の説明図
光束の形状の説明図
【図６】 光走査手段（絞り）とＧＬＶでの照明光束の
形状の説明図
形状の説明図
【図７】 本発明の実施形態２における照明系の概略図
（単一光源とカラーフィルタを用いた場合）
（単一光源とカラーフィルタを用いた場合）
【図８】 本発明の実施形態３における照明系の概略図
（３色光源とクロスダイクロイックプリズムを用いた場
合）
（３色光源とクロスダイクロイックプリズムを用いた場
合）
【図９】 本発明の実施形態４における照明系の概略図
（ダイクロイックミラーを用いた場合）
（ダイクロイックミラーを用いた場合）
【図１０】 本発明の実施形態５における照明系の概略
図（クロスダイクロイックプリズムを用いた場合）
図（クロスダイクロイックプリズムを用いた場合）
【図１１】 本発明の実施形態６における照明系の概略
図（３色光源をクロスダイクロイックプリズムで照明
し、再度色分解した場合）
図（３色光源をクロスダイクロイックプリズムで照明
し、再度色分解した場合）
【図１２】 本発明の実施形態７における照明系の概略
図（回折格子を用いた場合）
図（回折格子を用いた場合）
【図１３】 本発明の実施形態８における照明系の概略
図（３色光源を直接照明する場合）
図（３色光源を直接照明する場合）
【図１４】 従来のＧＬＶ１個の斜視図
【図１５】 従来のＧＬＶのｏｆｆ状態の動作原理図
【図１６】 ＧＬＶのｏｎ状態の動作原理図
【図１７】 従来のカラー液晶プロジェクタの要部概略
図
図
１ 光源 ２ 光束形状変換手段 ３ レンズ ４ 画像表示素子（ＧＬＶ） ５ 光束走査手段 ５ａ 光束反射部分 ５ｂ 光束透過部分 ６ 投射光学系 ７ スクリーン ８ 光束走査手段での照明光束および反射光束形状 ９ 光束走査手段での反射光束形状 １０ カラーフィルタ １１ ダイクロイックミラー １２ クロスダイクロプリズム １３ 色分解素子 １４ 基板 １５ 枠 １６ スペーサ １７ リボン
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H045 AB01 CA64 CA67 DA31 2H088 EA15 HA12 HA13 HA18 HA21 HA23 HA24 HA28 JA02 MA16 2H091 FA02Z FA05Z FA07Z FA14Z FA19Z FA21Z FA26Z FA41Z FA50Z HA02 JA02 LA11 MA07
Claims (13)
- 【請求項１】 光の伝播状態を変え得る光変調素子と、 該光変調素子を光で照明する照明光学系と、 該光変調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、 前記走査光学系が、前記光変調素子からの光のうち所定
方向へ伝播する光束を選択して該光束を複数の方向に順
次偏向する光偏向器を有することを特徴とする光走査装
置。 - 【請求項２】 前記光変調素子は、主として回折又は偏
向又は散乱により光の伝播状態を変える素子であり、入
力信号に応じて、回折又は偏向又は散乱した光を形成し
たり、回折又は偏向又は散乱しない光を形成したりする
機能を有し、例えば、電気機械素子または液晶素子より
成り、ON信号に応じて回折又は偏向又は散乱した光を形
成し、OFF信号に応じて回折又は偏向又は散乱しない光
を形成するすることを特徴とする請求項１に記載の光走
査装置。 - 【請求項３】 前記走査光学系が、前記光偏向器からの
前記光束を投影する投影光学系を有することを特徴とす
る請求項１又は請求項２に記載の光走査装置。 - 【請求項４】 主として回折又は偏向又は散乱によって
光を変調する光変調素子と、 該光変調素子を光で照明する照明光学系と、 該光変調素子からの光を走査する走査光学系とを有し、 前記走査光学系が、前記光変調素子からの光のうち前記
変調を受けた光束を選択して該光束を複数の方向に順次
偏向する偏向ミラーと、該偏向ミラーからの前記光束を
投影する投影光学系とを有することを特徴とする投影装
置。 - 【請求項５】 前記偏向ミラーは光通過領域と光反射領
域とを有し、該光反射領域により実質的に前記変調を受
けた光束だけが反射され、前記光通過領域を実質的に前
記変調を受けなかった光束だけが通過することを特徴と
する請求項４に記載の投影装置。 - 【請求項６】 前記光変調素子は前記光を反射する素子
であり、前記照明光学系の前記光は前記偏向ミラーの前
記光通過領域を通って前記反射型の光変調素子に入射す
ることを特徴とする請求項５に記載の投影装置。 - 【請求項７】 前記照明光学系は前記光変調素子に対向
する前記光変調素子側がテレセントリックなレンズ系を
有し、前記反射型の光変調素子からの光は前記テレセン
トリックなレンズ系を介して前記偏向ミラーの位置へ伝
播することを特徴とする請求項６に記載の投影装置。 - 【請求項８】 前記光変調素子はある方向にそれぞれが
画素に相当する複数個の光変調部を配列した細長い光変
調領域を有し、前記照明光学系は前記複数個の光変調部
の配列方向に細長い光で前記光変調素子を照明するため
のアナモフィック光学素子を一つ又は複数個有すること
を特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記
載の投影装置。 - 【請求項９】 前記走査光学系は前記光変調素子からの
光束を前記光変調領域の長手方向に直交する方向だけに
走査することを特徴とする請求項８に記載の投影装置。 - 【請求項１０】 前記光変調素子は予め決めた方向と直
交する方向にも数個の光変調部が並ぶ光変調領域を有す
ることを特徴とする請求項９に記載の投影装置。 - 【請求項１１】 前記走査光学系は前記光変調素子から
の光束を前記光変調領域の長手方向と該長手方向に直交
する方向に走査することを特徴とする請求項８に記載の
投影装置。 - 【請求項１２】 前記光変調素子は、入力信号に応じ
て、回折又は偏向又は散乱した光を形成したり、回折又
は偏向又は散乱しない光を形成したりする機能を有し、
例えば 、電気機械素子または液晶素子より成り、 ON信
号に応じて回折又は偏向又は散乱した光を形成し、OFF
信号に応じて回折又は偏向又は散乱しない光を形成する
ことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。 - 【請求項１３】 前記光変調素子が画像信号に応じて光
を変調し、前記投影光学系により投影された光束で２次
元画像を形成することを特徴とする請求項４から１０の
いずれか１項に記載の投影装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000011821A JP4474000B2 (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 投影装置 |
| US09/764,679 US7075692B2 (en) | 2000-01-20 | 2001-01-18 | Optical scanning apparatus and projecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000011821A JP4474000B2 (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 投影装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001201710A true JP2001201710A (ja) | 2001-07-27 |
| JP2001201710A5 JP2001201710A5 (ja) | 2007-02-22 |
| JP4474000B2 JP4474000B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=18539638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000011821A Expired - Fee Related JP4474000B2 (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 投影装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7075692B2 (ja) |
| JP (1) | JP4474000B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003140111A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Seiko Epson Corp | 空間光変調素子、画像表示装置、照度分布均一化光学素子、照明装置、表示欠陥補助装置およびプロジェクタ |
| JP2003207730A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および表示装置 |
| JP2004139023A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-05-13 | Sony Corp | ホログラム記録装置、ホログラム記録方法、およびホログラム記録媒体 |
| KR100486495B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2005-04-29 | 엘지전자 주식회사 | 광모듈레이터 및 그 제조방법 |
| JP2006058833A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 色選別スリットを用いた光変調器の多重ビーム走査装置 |
| JP2006072104A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Sony Corp | 光走査装置及び画像生成装置 |
| JP2006259242A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Sony Corp | 光学機器および調整方法 |
| JP2007079577A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 両方向スキャン方式のカラーディスプレイ装置 |
| JP2007508694A (ja) * | 2003-10-10 | 2007-04-05 | ジーエスアイ ルモニクス コーポレイション | ピコ秒レーザでのメモリリンク処理のためのレーザに基づくシステム |
| JP2009524114A (ja) * | 2006-01-20 | 2009-06-25 | アルケス テクノロジー，インク． | 偏光変調器 |
| JP2018055082A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 変換装置、照明装置および光シート蛍光顕微鏡 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6281471B1 (en) | 1999-12-28 | 2001-08-28 | Gsi Lumonics, Inc. | Energy-efficient, laser-based method and system for processing target material |
| US7838794B2 (en) | 1999-12-28 | 2010-11-23 | Gsi Group Corporation | Laser-based method and system for removing one or more target link structures |
| US7723642B2 (en) * | 1999-12-28 | 2010-05-25 | Gsi Group Corporation | Laser-based system for memory link processing with picosecond lasers |
| US7671295B2 (en) | 2000-01-10 | 2010-03-02 | Electro Scientific Industries, Inc. | Processing a memory link with a set of at least two laser pulses |
| US6972268B2 (en) * | 2001-03-29 | 2005-12-06 | Gsi Lumonics Corporation | Methods and systems for processing a device, methods and systems for modeling same and the device |
| WO2005060235A1 (en) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Illumination optics for scanning laser projector applications having a one-dimensional pixel array |
| US20050231651A1 (en) * | 2004-04-14 | 2005-10-20 | Myers Timothy F | Scanning display system |
| KR100754083B1 (ko) * | 2004-06-07 | 2007-08-31 | 삼성전기주식회사 | 2차원 빔 조절용 스캐닝 미러를 이용한 광기록 장치 |
| US7834867B2 (en) * | 2006-04-11 | 2010-11-16 | Microvision, Inc. | Integrated photonics module and devices using integrated photonics modules |
| EP2275146A4 (en) * | 2008-03-26 | 2011-07-13 | Saian Corp | STERILIZER AND STERILIZATION PROCESS |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5185660A (en) * | 1989-11-01 | 1993-02-09 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
| US5418546A (en) * | 1991-08-20 | 1995-05-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Visual display system and exposure control apparatus |
| JPH05127113A (ja) | 1991-11-07 | 1993-05-25 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置および立体画像表示装置 |
| US5311360A (en) | 1992-04-28 | 1994-05-10 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for modulating a light beam |
| JP3547015B2 (ja) | 1993-01-07 | 2004-07-28 | ソニー株式会社 | 画像表示装置および画像表示装置の解像度改善方法 |
| US5777589A (en) * | 1995-04-26 | 1998-07-07 | Texas Instruments Incorporated | Color display system with spatial light modulator(s) having color-to-color variations in data sequencing |
| JPH0990402A (ja) | 1995-09-27 | 1997-04-04 | Matsushita Electron Corp | 画像表示装置 |
| JP3695494B2 (ja) * | 1996-11-13 | 2005-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 光変調デバイス、その製造方法および表示装置 |
| US5982553A (en) * | 1997-03-20 | 1999-11-09 | Silicon Light Machines | Display device incorporating one-dimensional grating light-valve array |
| US6078420A (en) * | 1998-06-24 | 2000-06-20 | Optical Engineering, Inc. | Hole-coupled laser scanning system |
| US6215579B1 (en) * | 1998-06-24 | 2001-04-10 | Silicon Light Machines | Method and apparatus for modulating an incident light beam for forming a two-dimensional image |
-
2000
- 2000-01-20 JP JP2000011821A patent/JP4474000B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-01-18 US US09/764,679 patent/US7075692B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486495B1 (ko) * | 2001-09-28 | 2005-04-29 | 엘지전자 주식회사 | 광모듈레이터 및 그 제조방법 |
| JP2003140111A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Seiko Epson Corp | 空間光変調素子、画像表示装置、照度分布均一化光学素子、照明装置、表示欠陥補助装置およびプロジェクタ |
| US7271938B2 (en) | 2002-01-16 | 2007-09-18 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for optical scanning capable of efficiently reducing an image surface distortion |
| JP2003207730A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および表示装置 |
| JP2004139023A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-05-13 | Sony Corp | ホログラム記録装置、ホログラム記録方法、およびホログラム記録媒体 |
| JP2007508694A (ja) * | 2003-10-10 | 2007-04-05 | ジーエスアイ ルモニクス コーポレイション | ピコ秒レーザでのメモリリンク処理のためのレーザに基づくシステム |
| JP2006058833A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 色選別スリットを用いた光変調器の多重ビーム走査装置 |
| JP2006072104A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Sony Corp | 光走査装置及び画像生成装置 |
| JP4556112B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2010-10-06 | ソニー株式会社 | 光走査装置及び画像生成装置 |
| JP2006259242A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Sony Corp | 光学機器および調整方法 |
| JP2007079577A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 両方向スキャン方式のカラーディスプレイ装置 |
| JP2009524114A (ja) * | 2006-01-20 | 2009-06-25 | アルケス テクノロジー，インク． | 偏光変調器 |
| JP2018055082A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 変換装置、照明装置および光シート蛍光顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7075692B2 (en) | 2006-07-11 |
| JP4474000B2 (ja) | 2010-06-02 |
| US20010022673A1 (en) | 2001-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4474000B2 (ja) | 投影装置 | |
| JP3489841B2 (ja) | 一次元高速格子ライトバルブアレイを組み込むディスプレィ・デバイス | |
| EP1860889B1 (en) | Projection display system | |
| US6088102A (en) | Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system | |
| US6377369B1 (en) | Holgraphic display with switchable aspect ratio | |
| US8643928B2 (en) | Illumination systems for visual displays | |
| EP1377074A2 (en) | Image display apparatus having optical scanner | |
| US7891818B2 (en) | System and method for aligning RGB light in a single modulator projector | |
| KR100828367B1 (ko) | 레이저 디스플레이장치 | |
| JP2003295112A (ja) | 走査型画像表示光学系、走査型画像表示装置および画像表示システム | |
| KR20010053201A (ko) | 2차원 이미지를 형성하기 위해 입사광 빔을 변조시키는방법 및 장치 | |
| KR20040011761A (ko) | 화소이동수단을 구비하는 고해상도 디스플레이 | |
| JP2005512109A (ja) | 単一次元ｇｌｖ型投影システムのための角度照明 | |
| GB2498179A (en) | Projection display system | |
| JPWO2004051345A1 (ja) | 立体画像表示装置 | |
| KR101235807B1 (ko) | 프로젝션 디스플레이 | |
| US7810933B2 (en) | Image projection apparatus | |
| US5777781A (en) | Optical projection system | |
| JP2003337217A (ja) | 光学フィルター及び画像表示装置 | |
| JPH10142548A (ja) | 色分解照明系及びそれを用いたカラー画像表示装置 | |
| KR101277257B1 (ko) | 라인방식 광변조소자를 채용한 화상투사장치 | |
| KR100892339B1 (ko) | 요철형 투명기판을 포함한 영상 왜곡 보정 디스플레이 장치 | |
| WO2003025666A2 (en) | Angled illumination for a single order glv based projection system | |
| JP2007219136A (ja) | 光制御装置 | |
| KR20040009754A (ko) | 반사형 디스플레이 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070110 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070110 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091109 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091124 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100125 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100302 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100308 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |