KR20010053201A - 2차원 이미지를 형성하기 위해 입사광 빔을 변조시키는방법 및 장치 - Google Patents

2차원 이미지를 형성하기 위해 입사광 빔을 변조시키는방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 2차원 투사 이미지를 형성하기 위해 입사광빔을 변조시키는 장치 및 방법에 관한 것이다. 이러한 장치는 반사표면을 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함한다. 다수의 가늘고 긴 엘리먼트는 기판 상부에서 자신의 단부로 서로에 대해 평행하게 부유되고, 디스플레이 엘리먼트에 따라 그룹으로 형성되는 인접한 반사표면의 열을 형성한다. 각각의 그룹은 교대로 전압이 인가됨에 따라 기판에 대해 변형된다. 각각의 변형된 엘리먼트의 거의 평면인 중심부는 실질적으로 변형되지 않은 엘리먼트의 중심부로부터 소정 거리로 평행하게 위치한다. 인접 반사표면의 열에 입사하는 광빔은 엘리먼트가 교대로 변형되지 않을 때는 가늘고 긴 엘리먼트 그룹으로부터 반사되고 교대로 변형될 때는 회절된다. 이동 거리가 제어되거나 또는 반사 및 회절 주기 사이의 비가 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 디스플레이 강도를 결정한다.

Description

2차원 이미지를 형성하기 위해 입사광 빔을 변조시키는 방법 및 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR MODULATING AN INCIDENT LIGHT BEAM FOR FORMING A TWO-DIMENSIONAL IMAGE}
광 빔을 변조 예를 들면, 광의 진폭, 주파수 또는 위상을 변경하는 장치에 대한 많은 응용이 존재한다. 이러한 장치의 예는 도 1에 도시된 바와 같은 반사형 변형 가능 격자 광변조기(10)이다. 이러한 변조기(10)는 블룸 등의 미국특허번호 제 5,311,360호에 개시되어 있다. 변조기(10)는 반사 표면부를 가지며 기판(16) 상부에 부유(suspended)하는 다수의 일정하게 이격하는 변형 가능 반사형 리본(18)을 포함한다. 절연층(11)이 실리콘 기판(16)상에 증착된다. 다음으로, 희생 이산화실리콘 막(12) 및 저응력 질화실리콘 막(14)의 증착이 후속한다. 질화물 막(14)은 리본(18)으로부터 패터닝되고 이산화실리콘층(12)의 일부가 에칭되어 리본(18)이 질화물 프레임(20)에 의해 산화물 스페이서층(12)상에 유지되도록 한다. 단일 파장 λ0를 가진 광을 변조시키기 위해, 변조기는 리본(18)의 두께와 산화물 스페이서(12)의 두께가 λ0/4가 되도록 설계된다.
리본(18)상의 반사 표면(22)과 기판(16)의 반사 표면 사이의 수직 거리 d로 한정된 이러한 변조기(10)의 격자 진폭은 리본(18)(제 1 전극으로서의 역할을 하는 리본(16)의 반사 표면(22))과 기판(16)(제 2 전극으로서의 역할을 하는 기판(16) 하부의 전도막(24)) 사이에 전압을 인가함으로써 제어된다. 변형되지 않은 상태에서, 즉, 어떠한 전압도 인가되지 않은 상태에서, 격자 진폭은 λ0/2와 같고, 리본과 기판으로부터 반사된 광 사이의 전체 경로차는 λ0와 같아서, 이러한 반사광에 위상을 보강시킨다. 따라서, 변형되지 않은 상태에서, 변조기(10)는 평면거울로서 광을 반사한다. 변형되지 않은 상태가 입사광과 반사광을 도시하는 도 2에 20으로서 표시된다.
적정 전압이 리본(18)과 기판(16) 사이에 인가될 때, 정전기력이 리본(18)을 기판(16) 표면과 접촉하는 다운(down) 위치로 변형시킨다. 다운 위치에서, 격자 진폭은 λ0/4와 같게 변한다. 전체 경로차는 파장의 1/2이고, 변형된 리본(18)으로부터 반사된 광과 기판(16)으로부터 반사된 광이 상쇄 간섭을 하게 된다. 이러한 간섭의 결과, 변조기는 입사광(26)을 회절시킨다. 변형된 상태가 +/- 회절모드(D+1, D-1)로 회절된 광을 도시하는 도 3에 각각 28과 30으로 표시된다.
리본(18) 하부에 공간을 형성하는데 사용되는 습식 공정 동안 그리고 변조기(10)의 동작 동안 리본(18)과 기판(16) 사이의 부착이 이러한 장치에서 큰 문제점인 것으로 판명되었다. 부착을 감소시키는 여러 방법: 냉동-건조, 포토레지스트-아세톤 희생층의 건식 에칭, OTS 단층 처리, 짧은 리본을 사용함으로써 딱딱한 리본 및/또는 팽팽한 질화물 막의 사용, 표면중 하나 또는 둘 모두를 거칠게 하거나 또는 주름지게 하는 방법, 리본의 하부상에 반전 레일을 형성하는 방법 및 표면의 화학특성을 변화시키는 방법 등이 있다. 스코트랜드의 힐톤 헤드 아일랜드에서 1994년 6월 개최된 고체 상태 센서 및 액츄에이터에 관한 워크샵에서 산데야스 등의 "고분해능 디스플레이용 변형 가능한 격자 광 밸브의 표면 미세제조" 및 압테 등의 "고분해능 디스플레이용 격자 광 밸브"에 브리지 하부상에 반전 레일을 형성하므로써 접촉 영역을 감소시키고 거친 폴리실리콘 막을 각각 사용함으로써 이러한 부착을 방지하는 것에 관해 발표되었다.
더욱이, 압테 등은 변조기(10)의 기계적 동작의 특성이 인가된 전압의 함수로서 리본(18)의 변형에서의 히스테리시스라는 것을 알았다. 히스테리시스에 대한 이론적 근거는 리본(18)과 기판(16) 사이의 정전기적 인력이 변형량의 비-선형 함수인 반면, 리본(18)의 경도와 장력에 위한 복원력이 실질적으로 선형 함수라는 것이다. 도 4는 광 출력(리본(18)의 변형량의 간접적인 표시)이 수직축상에 도시되고 리본(18)과 기판(16) 사이의 전압이 수평축으로 도시되는 유도 히스테리시스 특성을 도시한다. 따라서, 리본(18)이 기판(16)과 접촉하는 다운 위치로 변형될 때, 이들은 그 위치에 래칭(latching)되고 원래 인가된 전압보다 적은 유지 전압을 필요로 한다.
블룸 등의 미국특허번호 5,311,360호에는 변조기(10)에 활성소자를 필요로 함없이 활성 매트릭스 설계의 장점을 제공하는 이러한 래칭 특성이 개시된다. 추가로, 블룸 등은 이러한 특성이 사용 가능한 전력의 효율적 사용이 매우 중요한 저전력 응용에서 바람직하다는 것을 개시한다. 하지만, 부착 문제점에 대해 블룸 등은 접촉 영역을 감소시키도록 리본(18) 하부에 적은 리지를 첨가하여 부착 문제를 감소시키는 것에 관해 개시하고 있다. 하지만, 변조기(10)의 기판이 광 표면으로서 사용되기 때문에, 표면에 작은 리지를 추가하기 위한 제조 공정은 기판(16)의 반사부가 고반사율을 가진도록 매끄러워야 하며 리본(18)에 평행한 평면내에 위치하여야 한다는 복잡성을 가진다.
통상적인 디스플레이는 화소의 2차원 어레이내서 형성된다. 다수의 화소 각각에 의해 형성된 불연속 이미지는 사용자의 눈에 의해 통합되어 전체 이미지를 나타내는 화소의 복합상을 형성한다. 불행히도, 이러한 디스플레이 장치의 비용은 각각의 화소가 전체 어레이를 형성하기 위해 중복되고 각각의 화소를 제조하는 비용 역시 중복되기 때문에 증가된다. 이러한 화소화된 디스플레이의 예는 텔레비전 또는 컴퓨터 시스템이다. 각각의 화소는 LCD 장치 또는 CRT에 의해 형성될 수 있다.
그러므로, 반사 엘리먼트와 기찬 사이의 부착이 이러한 부착을 감소시키는데 필요한 복잡한 표면 처리를 사용함없이 감소 또는 제거되는 회절격자 광 밸브가 필요하다.
또한, 이미지 품질을 저하시킴없이 시스템을 설계하는데 필요한 화소의 수를 감소시킴으로써 제조 비용을 감소시키는 디스플레이가 필요하다.
본 발명은 2차원 이미지를 형성하기 위해 광 빔을 변조시키는 방법 및 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 이러한 변조를 수행하기 위한 컬럼형 회절격자에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술의 반사형 변형 가능한 격자 광 변조기를 도시하는 도면.
도 2는 종래 기술의 반사형 변형 가능한 격자 광 변조기가 변형되지 않는 상태에서 입사광을 반사시키는 것을 도시하는 도면.
도 3은 종래 기술의 반사형 변형 가능한 격자 광 변조기가 변형된 상태에서 입사광을 회절시키는 것을 도시하는 도면.
도 4는 종래 기술의 반사형 변형 가능한 격자 광 변조기에 대한 이력곡선을 도시하는 도면.
도 5, 도 6 및 도 8은 본 발명에 따른 컬럼형 회절격자 광 밸브(GLV)를 제조하기 위한 제조 시퀀스의 측면도.
도 7은 본 발명에 따른 컬럼형 회절격자 광 밸브를 제조하기 위한 제조 시퀀스의 일 단계의 평면도.
도 9는 본 발명에 따른 컬럼형 회절격자 광 밸브의 측면도.
도 10은 단일 디스플레이 엘리먼트에 해당하는 6개의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함하는 GLV 일부의 평면도.
도 11은 변형되지 않은 상태에서 입사광을 반사시키는 6개의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함하는 GLV의 디스플레이 엘리먼트의 정면도.
도 12는 본 발명에 따른 GLV의 변형된 가늘고 긴 엘리먼트의 측면도.
도 13은 변형된 상태에서 입사광을 회절시키는 6개의 가늘고 긴 엘리먼트를 교대로 가진 GLV의 디스플레이 엘리먼트의 정면도.
도 14는 GLV를 사용하는 광학 디스플레이 시스템의 평면도.
도 15는 선 C-C'를 따라 절취한 도 14에 도시된 광학 디스플레이 시스템의 측면도.
도 16은 출사동공을 포함하는 도 14에 도시된 광학 디스플레이 시스템을 사용하는 접안렌즈의 측단면도.
도 17은 출사동공을 포함하는 도 14에 도시된 광학 디스플레이 시스템을 사용하는 디스플레이 스크린의 측단면도.
도 18은 가늘고 긴 엘리먼트의 거의 평면인 중심부을 제외하고 회절된 광이 디스플레이되는 것을 방지하기 위한 본 발명에 따른 다른 실시예.
본 발명은 2차원 이미지를 형성하기 위해 입사광 빔을 변조시키는 회절격자 광 밸브(GLV) 및 그 사용법에 관한 것이다. 회절격자 광 밸브는 반사표면을 각각 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함한다. 가늘고 긴 엘리먼트는 기판 상부에서 상호 평행하고, 지지되는 단부를 가지며 인접 반사 표면의 열(GLV 어레이)를 형성하도록 정렬한다. 가늘고 긴 엘리먼트는 디스플레이 엘리먼트에 따라 그룹을 형성한다. 각각의 그룹이 교대하여 기판에 대해 전압을 인가함으로써 변형된다. 각각의 변형된 가늘고 긴 엘리먼트의 거의 평면인 중심부는 각각의 변형되지 않은 엘리먼트의 중심부로부터 미리 설정된 거리로 실질적으로 평행하다. 미리 설정된 거리는 변형되지 않은 반사표면과 기판 사이의 거리의 1/3 내지 1/4로 선택되어 변형된 가늘고 긴 엘리먼트가 기판의 표면과 접촉하지 않도록 한다. 기판과의 접촉을 방지함으로써 가늘고 긴 엘리먼트가 기판과 부착되는 것이 방지된다. 추가로, 미리 설정된 거리를 제한함으로써 가늘고 긴 엘리먼트를 변형시키는 히스테리시스를 방지한다.
인접하는 반사표면의 열에 입사하는 광 빔은 그룹들이 교대하여 변형되지않을 때 가늘고 긴 엘리먼트 그룹으로부터 반사된다. 광 빔은 그룹들이 교대로 변형될 때 가늘고 긴 엘리먼트에 의해 회절된다. 시간 주기 동안 그룹에 대한 반사와 회절 사이의 비는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 디스플레이 강도를 결정한다. 광 빔은 연속 주기 동안 적색, 녹색 및 청색으로 교대한다. 선택적인 실시예에서, 광 빔은 백색광이고, 각각의 디스플레이 엘리먼트에 대한 가늘고 긴 엘리먼트의 폭은 적색, 녹색 및 청색 파장을 적정 회절각으로 회절시키도록 선택된다. 각각의 디스플레이 엘리먼트에 대한 적정 강도 및 컬러는 개별 디스플레이 엘리먼트에 의해 표시된 이미지에 따라 각각의 주기 동안 형성된다.
반사표면의 열로부터 회절된 광은 렌즈에 의해 집광된다. 렌즈의 출사동공에서, 광은 컬럼형이고 디스플레이될 이미지의 열을 대표한다. 열의 길이에 대한 미리 설정된 폭의 슬릿을 가진 광 차단물이 제 2 렌즈의 동공에 위치하여 광의 선택된 부분만이 슬릿을 통과하도록 한다. 이러한 차단물을 배치시킴으로써 가늘고 긴 엘리먼트의 거의 평면인 중심부로부터 회절된 광을 제외한 제 1 렌즈에 의해 집광된 광이 슬릿을 통과하는 것이 방지된다. 선택적인 실시예에서, 고정 반사표면이 가늘고 긴 엘리먼트의 단부 상부에 위치하여 광이 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 거의 평면인 중심부를 제외하고 회절되는 것을 방지한다. 피봇가능한 반사표면(주사 거울)이 렌즈로부터 광 차단물의 반대쪽에 위치하여 슬릿을 통과한 광이 접안렌즈 또는 디스플레이 스크린상으로 반사되도록 한다. 반사표면은 디스플레이 엘리먼트의 열이 광을 변조시킴과 동시에 전후방으로 피봇팅하여, 디스플레이 이미지의 열을 나타낸다. 따라서, 2차원 컬러 이미지가 접안렌즈 또는 디스플레이 스크린상에 스위핑(sweeping)된다. 피봇 가능한 주사 거울은 회전 다각형 거울(rotating faceted polygon mirror)과 같은 다른 형태의 거울 장치로 대체될 수 있다.
도 5, 도 6 및 도 8은 본 발명에 따른 컬럼형 회절격자 광 밸브(GLV)를 제조하는 제조 시퀀스의 측단면도이다. 도 5를 참조하면, 절연층(15)이 실리콘 기판(100)상에 형성된다. 바람직하게는, 절연층은 열적 산화에 의해 형성된 필드 산화물층(104)과 필드 산화물층(104) 상부에 형성된 박층을 포함한다. 다음으로, 도전체층(106)이 질화물층(104) 상부에 형성된다. 바람직하게는, 도전체층(106)은 텅스텐, 몰리부덴, 티타늄-텅스텐 또는 탄탈과 같은 내화성 금속 또는 선택적으로 도전성을 가진 폴리-실리콘 혹은 확산된 도전체이다. 도전체층(106)은 GLV의 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 하나에 바이어스를 인가하기 위한 하부 전극으로서의 역할을 한다. 선택적인 실시예에서, 도전체층(106)은 기판(100)의 하부 표면상에 형성된다.
다음으로, 희생층(108)이 도전체층(106) 상부에 형성된다. 희생층(108)은 도전체층(106)에 대해 선택적으로 에칭될 수 있어야 한다. 바람직하게, 희생층(108)은 크세논 디플루오라이드의 건식 에칭으로 에칭되는 폴리-실리콘층이다. 선택적으로, 희생층은 보로-포스포-실리케이트 유리 또는 포스포-실리케이트 유리와 같이 도핑된 유리층일 수 있다. 희생층(108)이 제공되는 두께는 도전체층(106)과 희생층(108) 상부에 형성될 가늘고 긴 엘리먼트 사이의 거리를 결정한다. 후술될 바와 같이, 희생층(108)의 두께는 희생층(108)이 실질적으로 더 두껍다는 점에서 종래 기술의 광 변조기와는 상당한 차이점을 가진다. 바람직한 실시예에서, 희생층(108)의 두께는 입사광의 예상 파장과 대략적으로 동일하다. 예를 들어, 예상 파장이 가시 영역(대략 450-760nm)이라면, 희생층(108)의 두께 또한 대략적으로 이 범위내에 있다. 예상 파장이 자외선 영역(애략 200-450nm)라면, 희생층(108)의 두께 또한 대략 이 범위내에 있다. 예상 파장이 적외선 영역(대략 760-2000nm)이라면, 희생층(108)의 두께 또한 대략 이 범위내에 있다.
도 6을 참조하면, 도전체층(106)과 희생층(108)은 공지된 포토-리소그래피 마스킹된 다음 적정 건식 또는 습식 에칭 화학법에 의해 에칭되어, GLV의 각각의 가늘고 긴 엘리먼트를 위한 한 쌍의 포스트 홀(110)을 형성한다. 바람직하게, 포스트 홀(110)은 서로에 대해 대략적으로 75미크론의 거리로 형성되지만, 다른 거리 또한 사용 가능하다. 예시를 위해, 층(102-108)의 도시된 두께는 포스트 홀(110) 사이의 거리에 비해 과장되었다.
도 7은 상술된 바와 같이 포스트 홀(110)이 에칭된 이후의 GLV의 평면도를 도시한다. 예시를 위해, 도 7은 6쌍의 컬럼형 포스트 홀(110)을 도시하고, 각각의 쌍은 GLV의 가늘고 긴 엘리먼트에 해당한다. 바람직한 실시예에서, GLV는 더 많은 쌍의 포스트 홀(110)을 포함한다. 예를 들면, 1920쌍의 포스트 홀(110)이 컬럼형 어레이내 1920개의 가늘고 긴 엘리먼트에 상응하여 사용될 수 있다.
도 8을 참조하면, 탄성재료로 구성된 층(112)이 희생층(108)과 포스트 홀(110) 상부에 형성되는데, 포스트 홀(110)을 부분적으로 또는 완전히 채운다. 바람직하게, 탄성재료(112)는 가늘고 긴 엘리먼트를 다운 상태로 위치시키기 위해 인가된 바이어스에 의해 유도된 정전기력을 소거하도록 반대 극성의 충분한 바이어스가 인가된 이후 각각의 가늘고 긴 엘리먼트를 업(up) 상태로 복원시키기 위해 필요한 탄성력에 의해 한정되는 두께 및 여분의 응력으로 증착된 실리콘 질화물층이다. 다음으로, 반사층(114)이 탄성층(112)의 상부에 증착된다. 반사층(114)은 GLV의 각각의 가늘고 긴 엘리먼트를 위한 반사표면을 제공하며 GLV의 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트에 바이어스를 인가하기 위한 상부 전극으로서의 역할을 한다. 바람직하게, 반사층(114)은 스퍼터링된 알루미늄이다.
마지막으로, 포토레지스트층(118)은 가늘고 긴 엘리먼트를 형성하도록 반사층(114)과 탄성층(112)을 선택적으로 패터닝하기 위한 마스크로서 제공된다. 추가로, 희생층(108)은 에칭되어, 가늘고 긴 엘리먼트 하부에 에어 스페이스를 남긴다.
도 9는 변형되지 않은 상태에서 GLV의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 측단면도를 도시한다. 도 9에서, 가늘고 긴 엘리먼트(200) 하부의 희생층(108)(도 5, 도 6 및 도 8)은 에어 스페이스(202)로 대체된다. 따라서, 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 그 단부에 의해 기판(구성층 포함) 표면 상에 부유된다. 추가로, 포토레지스트층(118)이 제거된다.
도 10은 6개의 가늘고 긴 엘리먼트(200)를 포함하는 GLV의 일부의 평면도를 도시한다. 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 동일한 폭을 가지며 서로에 대해 평행하게 배치된다. 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 작은 스페이스로 서로에 대해 분리되고, 이에 따라 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)가 다른 엘리먼트에 대해 선택적으로 변형될 수 있도록 한다. 도 10에 도시된 6개의 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 바람직하게는 단일 디스플레이 엘리먼트(300)에 해당한다. 따라서, 1920개의 가늘고 긴 엘리먼트의 열은 열내에 배치된 320개의 디스플레이를 가진 GLV 어레이에 해당한다. 디스플레이 엘리먼트의 수는 그 결과로서 나타나는 디스플레이 분해능에 영향을 미치며, 다른 수의 디스플레이 엘리먼트가 선택될 수도 있다. 추가로, 각각의 디스플레이 엘리먼트(300)는 다른 수의 가늘고 긴 엘리먼트(200)를 가질 수 있다. 예를 들면, 2, 4, 8, 10 또는 12개 그룹의 가늘고 긴 엘리먼트(200)가 단일 디스플레이 엘리먼트(300)에 해당될 수 있다. 더 가늘고 긴 엘리먼트가 단일 디스플레이 엘리먼트(300)를 형성하는데 사용될 수도 있다. 홀수개의 가늘고 긴 엘리먼트(200)가 단일 디스플레이 엘리먼트(300)에 사용될 수도 있다.
도 11은 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트(200)를 가진 디스플레이 엘리먼트(300)의 정면도를 도시한다. 도 11에 도시된 도면은 도 9에 도시된 선 A-A'를 따라 절취한 것이다. 변형되지 않는 상태는 도전체층(106)에 대해 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)상의 바이어스를 이퀄라이징함으로써 선택된다. 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 반사 표면이 실질적으로 공동-평탄(co-planar)하기 때문에, 가늘고 긴 엘리먼트(200)에 입사하는 광은 반사된다.
도 12는 GLV의 변형된 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 측단면도를 도시한다. 도 12는 변형된 상태에서 가늘고 긴 엘리먼트(200)가 가늘고 긴 엘리먼트(200) 하부의 후속층의 표면과 접촉하지 않으면서 부유된 상태를 유지하는 것을 도시한다. 이는 도 1 내지 도 3의 종래의 변조기와는 대조된다. 가늘고 긴 엘리먼트(200)와 기판 표면 사이의 접촉을 방지함으로써, 종래 기술의 변조기와 관련된 문제점이 방지된다. 하지만, 변형된 상태에서, 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 늘어지는 경향이 있다. 이는 가늘고 긴 엘리먼트(200)가 자신의 길이방향으로 균일하게 기판쪽으로 길이에 수직하는 정전기 인력을 받고, 반면에 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 장력은 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 길이를 따라 받기 때문이다. 따라서, 가늘고 긴 엘리먼트의 반사표면은 평면형이 아닌 곡선형이다. 하지만, 이는 예시를 위해 도 12에서는, 가늘고 긴 엘리먼트의 늘어진 정도가 길이에 비해 과정되게 도시되었다.
하지만, 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 중심부(202)(도 12)는 거의 평면인 상태를 유지하여, 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 중심부에 의해서만 얻어진 회절광의 콘트라스트 비가 만족스러운 값이 되도록 한다. 실제로, 거의 평면인 중심부(202)는 포스트 홀(110) 사이 길이의 1/3이다. 그러므로, 포스트 홀(75) 상의 거리가 75미크론일 때. 거의 평면인 중심부(202)는 길이가 대략 25미크론이다.
도 13은 변형된 가늘고 긴 엘리먼트(200)가 교대로 배치된 디스플레이 엘리먼트(300)의 정면도를 도시한다. 도 13에서 도시된 도면은 도 12에 도시된 선 B-B'를 따라 절취한 것이다. 실질적으로 제거되지 않은 가늘고 긴 리본(200)이 인가된 바이어스 전압에 의해 원하는 위치에 유지된다. 이동하는 가늘고 긴 리본(200)내 변형된 상태는 도전체층(106)에 대해 가늘고 긴 엘리먼트(200)에 교대로 구동 전압을 인가함으로써 달성된다. 수직 거리 d1은 대략적으로 평면이 중심부(202)(도 12)에 대해 거의 일정하고, 이에 따라 GLV의 격자 진폭을 한정한다. 격자 진폭 d1은 구동된 가늘고 긴 엘리먼트(200)상의 구동 전압을 조정함으로써 조정될 수 있다. 이는 최적의 콘트라스트 비로 GLV의 정밀한 튜닝을 가능케 한다.
단일 파장(λ1)을 가진 회절하는 입사광에 대해, GLV는 디스플레이될 이미지에서의 최대 콘트라스트 비를 위해 입사광 파장의 1/4(λ0/4)과 동일한 격자 진폭 d1을 가지는 것이 바람직하다. 하지만, 격자 진폭 d1은 파장 λ1의 1/2와 파장 λ1의 전체 수의 합(즉, d1=λ1/4, 3λ1/4, 5λ1/4,...,Nλ1/2+λ1/4)과 동일한 일주(round trip) 거리만을 필요로 한다.
도 13을 참조하면, 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 하부 표면이 거리 d2로 기판으로부터 분리되는 것을 알 수 있다. 따라서, 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 GLV의 동작 동안 기판과 접촉하지 않는다. 이는 반사 리본과 기판 사이에서의 종래 기술의 변조기의 부착과 관련된 문제점을 방지한다. 이러한 거리 d2는 거리 d1의 대략 2 내지 3배로 선택된다. 따라서, 변형된 상태에서, 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 기판에 대해 대략 거리 d2의 1/4 내지 1/3로 이동한다. 거리 d2는 희생층(108)(도 5, 도 6 및 도 8)의 두께와 거리 d1의 합에 의해 결정된다.
도 4에 도시된 이력곡선을 참조하면, 가늘고 긴 엘리먼트(200)를 기판 표면에 대해 1/3 내지 1/4의 거리로만 이동시킴으로써 입사광을 회절시키기 때문에, 히스테리시스가 방지된다. 대신에, 변형되지 않은 상태로부터, 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 기판쪽으로 변형되고, 다음으로 각각의 이동 방향으로 동일한 전압 대 광 강도 곡선을 따라 변형되지 않은 상태로 돌아간다. 이는 회절 상태로 변형될 때 히스테리시스를 겪게되는 도 1 내지 도 3에 도시된 종래 기술의 변조기와 대조된다. 이러한 실시예는 구동된 가늘고 긴 엘리먼트(200)상에 연속하는 방식으로 구동 전압을 변화시킴으로써 밝기의 연속 선택을 가능케 한다.
각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 단부가 거의 평면이기 때문에, 단부에 의해 회절된 광이 집광되고 디스플레이된다면, 그에 따른 디스플레이 이미지의 콘트라스트 비는 만족스럽지 않은 경향이 있다. 그러므로, 설명된 바와 같이, 본 발명은 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 거의 평면인 중심부(202)를 제외한 곳으로부터 회절된 광이 디스플레이 이미지를 형성하는데 사용되는 것을 방지하기 위한 광 차단물을 제공한다. 선택적으로, 광은 거의 평면인 중심부(202)상에만 충돌할 수 있도록 광학적으로 변조된다. 이러한 방법은 광이 소모(waste)되는 것을 방지한다.
도 14는 GLV 어레이(402)를 사용하는 광학 디스플레이 장치(400)의 평면도를 도시한다. GLV 어레이(402)에 대한 조명 장치는 적색, 녹색 및 청색 광원(404R, 404G 및 404B)를 각각 포함한다. 이러한 광원은 통상적인 광원일 수 있거나 또는 발광 다이오드(LED) 또는 반도체 레이저와 같은 반도체 발광 장치, 분리 다이오드 펌핑 고체 상태 레이저, 적색, 녹색 및 청색이 순차적으로 통과하도록 3개의 필터를 가진 스피닝 다이오드와 같은 선택형 필터를 가진 백색광일 수 있다. 장치(400)에서, 광원(404R, 404G, 404B)은 일반적으로 대칭인 방식으로 발광하는 소스일 수 있다. 이색성 필터 그룹(406)은 이러한 광원중 하나로부터의 광이 시스템 광학축 z을 따라 전파하는 시준 렌즈(408)쪽으로 조사되도록 한다. 다른 컬러의 3개의 광원이 동일한 원점으로부터 발산되는 광학 시스템에 나타나도록 하는 이색성 필터 그룹 또는 프리즘은 광학 분야에서 공지되어 있고, 예를 들면 필립스 프리즘이다. 따라서, 이러한 이색성 필터 그룹에 대한 상세한 설명이 여기서는 개시되지 않는다.
또한, 각각의 적색, 녹색 및 청색중 하나에 대해 3개의 분리 이미지 형성 장치를 사용하여 이러한 이미지를 광학적으로 조합하는 것이 공지되어 있다. 본 발명의 장치는 복합 이미지를 형성하기 위해 조합되고 다음으로 주사되는 3개의 디스플레이 엔진을 포함한다.
GLV가 반도체 처리 기술을 사용하기 때문에, 서로에 대해 완전하게 정렬되는 3개의 평행 선형 어레이를 형성하는 것이 가능하다. 각각이 적색, 녹색 및 청색용인 3개의 조명 장치는 광의 각각의 컬러가 3개의 완전하게 정렬된 GLV 선형 어레이중 하나에 조사되도록 구성된다. 이러한 방식으로, 복합 이미지의 정렬은 통상적인 복합 컬러 장치보다 쉽다.
통상적인 컬러 디스플레이 장치에서의 공통의 문제는 컬러 분산(break up)으로 공지되어 있다. 이는 어떠한 용이한 시퀀스에서 적색 프레임, 녹색 프레임 및 청색 프레임을 디스플레이하는 이러한 장치로 인한 것이다. 이러한 기술은 프레임 수차 컬러로서 공지되어 있다. 물체가 관측자와 디스플레이된 이미지 사이를 통과할 때, 컬러들중 하나의 이러한 물체의 고스트(ghost)가 디스플레이상에 나타날 것이다. 이와 유사하게, 관측자가 빨리 머리를 돌린다면, 프레임 순차 이미지의 산물이 나타날 것이다.
GLV 기술이 충분한 밴드폭에서 동작할 수 있기 때문에, 장치는 주사되는 동안 디스플레이의 각각의 열에 대해 3개의 디스플레이 컬러중 하나를 제공하도록 동작할 수 있게 된다. 본 출원의 발명자는 이러한 기술을 설명하기 위해 '라인 순차 컬러(line sequential color)'라는 용어를 사용한다. 프레임 순차 컬러의 해로운 산물은 나타나지 않는다.
라인 순차 컬러에서, 이미지가 주사될 때, 각각의 3개의 컬러는 GLV의 선형 어레이에 순차적으로 표현된다. 유사한 용어로, 모든 3개의 컬러는 통상적인 화소형 디스플레이내 단일 디스플레이 라인과 대략적으로 동일한 것으로 표현된다.
이미지는 GLV의 선형 어레이를 주사함으로써 형성된다. 선형 어레이내 가늘고 긴 엘리먼트는 선형 어레이의 길이에 대해 모두 평행하고 수직한다. 이는 어떠한 불연속적인 디스플레이 엘리먼트를 방지한다. 따라서, 통상적인 LCD 또는 CRT 디스플레이에서 존재하는 것과 같은 인접 디스플레이 엘리먼트 사이의 화소화(pixellation)도 없다. 더욱이, 어레이가 선형 어레이에 수직한 방향으로 원할하게 주사되기 때문에, 이러한 방향내 디스플레이 사이에 어떠한 화소화도 없다. 이러한 방식으로, 이미지 품질은 통상적인 디스플레이 기술에 비해 상당히 개선된다.
렌즈(408)는 x축과 y축에서 동일한 굴절능을 가진 간단한 "구면" 렌즈를 도시한다. 도 14에서, y축은 도면상의 지면에 위치하고, x축은 지면에 수직한다. 렌즈(408)는 양 축내 광원으로부터 광을 시준한다. 하지만, 본 발명이 속하는 분야에서의 당업자라면 단부-발광 반도체 레이저로부터 출사된 광은 다른 것보다 횡방향(x 또는 y)축에서 더욱 많이 발산하고 비점수차를 가진다는 것을 알 수 있을 것이다. 이러한 레이저의 출사 빔을 시준하고 원하는 크기로 확대하는 장치는 광학분야에서는 공지되어 있고, 하나 이상의 구면, 비구면, 환형 또는 원통형(구면 및 비구면) 렌즈 엘리먼트를 필요로 한다. 렌즈(408)는 하나 이상의 이러한 엘리먼트의 그룹을 표현하기 위한 것이다.
대칭적으로 발산하는 광원(404)으로부터의 발산광(401)은 렌즈(408)를 통과하고 x축 및 y축 모두에서 시준된다. 다음으로, 2-축에서 시준된 광(412)은 원통형 렌즈(414)를 통과한다. "원통형"이라는 용어는 여기서는 하나의 축(여기서는 y축)에 대해서만 굴절능을 가진다. 광학 분야의 당업자라면 렌즈(414)의 표면이 원형 원통을 제외한다는 것을 알 수 있을 것이다. 렌즈(414)의 기능은 자신의 통과하는 2-축에서 시준된 광(412)이 y축으로 수렴하도록(도 14, 선 416) 하고, x축에서는 시준된 상태를 유지(도 15, 선 418)하도록 하는 것이다. 렌즈(414)는 상술된 바와 같은 하나 이상의 엘리먼트로부터 형성되고, 간략함을 위해 단일 엘리먼트로서 도시된다.
GLV 어레이(402)는 렌즈의 초점 거리(f1) 주위의 원통형 렌즈(414)로부터 일정 거리에 위치한다. GLV 어레이(402)는 렌즈(408, 414)의 광학축에 해당하는 장치의 광학축 z상에서 x축내에 정렬한다. GLV의 동작 표면(가늘고 긴 엘리먼트(200))은 z축으로 기우는 경향이 있다. 도 14에서, GLV 어레이(402)는 축에 대해 45도 기울고, 이는 실제로 z축을 90도로 접는다. GLV 어레이(402)의 이러한 기울기 선택은 여기서는 예시를 위한 것이고 이에 한정되는 것은 아니다.
도 15는 도 14에 도시된 광학 디스플레이 장치를 선 C-C'를 따라 절취한 측면도를 도시한다. 도 15를 참조하면, 동작하고 있는 GLV 어레이(402)에 입사하는 광은 각각 D+1과 D-1로서 표시되는 반사빔(418)과 최소 1차 회절빔의 합을 형성한다. 이러한 회절빔은 x축에서 z축으로 기운다. y축에서, 회절빔 및 반사빔은 균일하게 발산한다. 다음으로, 회절빔 및 반사빔은 렌즈의 초점거리 f2로 GLV 어레이(402)로부터 분리된 확대(정의(positive)) 렌즈(420)를 통과한다. 렌즈(420)는 간략함을 위해 단일 엘리먼트로서 도시되지만, 실제로 렌즈(420)는 둘 이상의 엘리먼트를 포함한다. 렌즈(420)는 실제로 장치(400)를 위한 접안렌즈를 제공하고, 바람직하게는 호이겐스, 람스덴, 켈너, 프뢰셀, 아베, 쾨니그 및 에르플형의 공지된 그룹중 하나이다.
x축에서, 반사빔(422)은 z축상의 초점으로 수렴하고, 그곳에 렌즈(420)의 외부 텔레센트릭 출사동공(P2) 주위에서 가늘고 긴 조리개(423)가 위치한다. 추가로, 차단물(426)이 렌즈(420)의 동공(P2) 영역내에 위치하여 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 거의 평면인 중심부(202)로부터 회절된 광을 제외한 GLV 어레이(402)의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 일부로부터 회절된 광을 차단한다. 따라서, 차단물은 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 대략 25미크론 중심부(202)로부터 회절된 광(D+1, D-1)만을 통과시키도록 설계된 슬릿을 가진다.
장치(400)의 실리렌 광학계는 GLV 어레이(402), 확대 접안렌즈(420) 및 조리개(424)를 포함하는 텔레센트릭 광학 장치(428)의 일부로서 한정될 수 있으며, GLV 어레이는 렌즈(420)의 외부 물체 위치 주위에 위치하고, 조리개(424)는 렌즈(420)의 외부(출사)동공 주위에 위치한다. 텔레센트릭 장치는 입사동공 및/또는 출사동공이 무한대에 위치하는 장치이다. 장치가 약간 디포커싱됨으로 인해 야기된 측정 및 위치 에러를 감소시키는 경향이 있기 때문에 계측을 위해 설계된 광학 장치가 널리 사용된다. 이러한 경향은 일반적으로 장치의 조리개와 다른 부품을 대신하는 약간의 공차를 허용하고, 이하에서 상세히 설명될 본 발명의 실시예에서 사용된다.
y축에서(도 14), 발산 반사광(430)(및 회절광)은 렌즈(420)에 의해 시준된다. 조리개(424)는 y축으로 정렬하고, 반사광을 차단한다. 차단물(426)은 GLV 어레이(402)의 거의 평면인 중심부(202)로부터 회절된 광을 제외한 회절광을 흡수한다. 조리개(402)는 흡수 또는 반사하도록 선택된다. 조리개(402)가 반사하도록 선택된다면, 반사광은 GLV 어레이(420)로 되돌아간다. 하지만, z축으로 기우는 경향이 있고 입사빔과 반사빔에 해당하는 회절빔(D+1, D-1)은 조리개(420) 주위 및 하부(선택적으로, 조리개의 반대쪽상의) 초점과 차단물(426)의 슬릿으로 수렴하고, 이에 따라 차단됨없이 출사동공(P2)을 통과한다.
주사 거울(432)이 회절빔을 차단하여 관측자의 눈(434)으로 보내도록 위치한다. 관찰자가 관측하는 것은 GLV 어레이(402)의 (무한대에서) 확대된 허상이다. 이러한 이미지는 도 5에 선 436으로 표시되고, 여기에는 어떠한 실상도 없다. GLV 어레이(402)의 라인이 디스플레이될 이미지의 행 또는 열을 나타낸다는 것을 알 수 있다. 다음으로, 주사가 진행됨에 따라 소정 여분의 행 또는 열이 형성된다. 대각선 모드와 같은 다른 주사 모드가 사용될 수 있다.
GLV 어레이(402)의 가늘고 긴 엘리먼트(200)는 M×N 디스플레이의 다른 라인들을 순차적으로 표현하도록 동작하고, 여기서 M은 라인당 디스플레이 엘리먼트의 수이고, N은 디스플레이내 라인의 수이다. 각각의 디스플레이 엘리먼트(300)는 상술된 바와 같은 다수의 가늘고 긴 엘리먼트(200)를 포함한다. GLV 어레이(402)는 일반적으로 광 밸브의 1차원 어레이 또는 디스플레이 엘리먼트 혹은 화소의 하나의 행을 나타는 것으로 정의된다. 확대된 허상에서, 이러한 화소는 GLV 어레이(10)의 리본(12)의 동작 상태에 의해 결정된 상대 밝기를 가진다.
주사 거울(432)은 화살표 A(도 14)로 표시된 바와 같이 드라이브 유니트(436)에 의해 축(438)을 중심으로 각운동(move angularly)을 하고, 회절빔을 주사하여 화살표 B로 표시된 바와 같이 관측자의 시야를 직선으로 가로질로 확대된 허상을 주사함으로써 디스플레이의 순차 라인을 표시하도록 한다. 거울(432)은 주사된 허상이 관측자의 2차원 이미지로서 나타나도록 하기에 충분히 빠르게 움직인다. 피봇 가능한 주사 거울(432)은 회전 다각형 거울과 같이 다른 형태의 거울 장치로 대체될 수 있다.
마이크로프로세서-기초한 전자제어회로(440)이 비디오 데이터를 수신하도록 배치되고 그곳에서 회절된 광을 변조하도록 GLV 어레이(420)의 가늘고 긴 엘리먼트를 동작시키기 위해 비디오 데이터를 사용하도록 GLV 어레이(420)에 결합된다. 회로(440)는 회절빔(D+1및 D-1)의 광이 상술된 바와 같이 비디오 데이터를 표현하는 2차원 이미지의 순차 라인을 표현하기 위해 변조되도록 위치한다. 제어 회로(440)는 주사 거울 드라이브 유니트(436)에 결합되어, 순차 라인의 디스플레이를 동기화화고 이미지의 순차 프레임이 주사 거울(432)의 각운동 범위의 최대치에서 시작하도록 한다. 주사의 속도는 사인파형, 톱니형 또는 다른 통상적인 속도 알고리즘으로 제어될 수 있다. 필요한 모든 것은 GLV 어레이(402)에 데이터의 제공과 주사 속도가 동기화되어야 한다는 것이다.
제어 회로(432)는 GLV 어레이(402)의 동작과 함께 소스를 순차적으로 스위칭하여 어레이의 적색, 녹색 및 청색 해상도 이미지를 제공하도록 하기 위해 광원(404R, 404G, 404B)에 결합되고, 이러한 해상도 이미지는 함께 컬러형 2차원 이미지의 하나의 해상도 라인을 표현한다. 이러한 배치에서, 각각의 디스플레이 엘리먼트(300)의 가늘고 긴 부재(200)는 각각의 광원(404R, 404G, 404B)이 디스플레이 엘리먼트(300)에 각각의 적색, 녹색 및 청색 회절광의 소정 부분을 제공하도록 순차적으로 활성화되고 이미지의 해당 라인이 관측자에게 디스플레이되는 동안 적절하게 변조된다. 이러한 변조는 각각의 디스플레이 엘리먼트(300)에 대한 적절하게 조합된 컬러를 관측자가 인지하기에 충분히 높은 비율로 이루어진다.
선택적으로, 광원(404R, 404G, 404B)은 렌즈(420)와 3개의 GLV 어레이 사이에 위치하는 이색성 프리즘 블럭(도시 안됨)을 통해 GLV 어레이(402)와 두 개의 추가의 어레이(도시 안됨)를 동시에 조사하도록 활성화된다. 이색성 프리즘 블럭은 예를 들면, 언급된 필립스 프리즘 블럭과 같은 어떠한 공지된 형태일 수 있고, 이 경우 각각의 GLV 어레이가 렌즈(420)로부터 동일한 거리에 위치하고 렌즈쪽으로 기울어지도록 위치한다. 이러한 배치에서, 컬러 이미지를 제공하기 위해, 광원(404R, 404G, 404B)은 단일 백색광원에 의해 대체되고, 이색성 프리즘 블럭(406)이 생략된다.
도 14에서, 관측자의 눈(434)은 장치(400)의 디스플레이의 확대된 허상을 적절하게 관측할 수 있도록 이상적인 위치 이하로 조사된다. 이상적으로, 이러한 이미지를 관측하기 위해, 관측자의 눈은 출사동공(P2) 주위에 위치해야 한다. 이러한 어려움은 거울(432) 때문이고, 바람직하게는 이러한 출사동공에 위치한다. 이러한 어려움은 거울로부터 출사동공의 이미지를 관측자의 눈에 쉽게 위치하도록 하는 위치로 광학적으로 중계함으로써 극복되고, 이에 따라 주사 거울(432)과 관측자의 눈이 각각 동공 위치 주위에 위치하도록 한다.
출사동공(P2)의 이미지를 중계하기 위한 수단중 하나가 도 16에 도시되고, 광학적 배치는 렌즈(420)의 출사동공(P2)에서 라인으로서 표현된 주사 거울(432)과 광학적으로 "겹치지 않은(unfolded)" 것으로 도시되며, 이는 주사 거울(432)에 대해 바람직한 위치중 하나이다. 추가로, 차단물(426)이 동공(P2) 영역내에 위치한다. 여기서, 동공-중계는 동일한 초점길이를 가진 두 개의 렌즈(442, 444)에 의해 수행되고, 이러한 두 개의 렌즈는 출사동공(P2)의 이미지(P3)를 렌즈(444)로부터 하나의 초점거리만큼 위치하는 곳에 제공하여 렌즈(444)로부터 적절한 아이-릴리프(eye-relief)를 제공하도록 유니트 확대 텔레센트릭 중계기를 형성하기 위해 초점거리의 두 배와 동일한 거리로 이격한다. 당업자라면 렌즈(442, 444)가 하나 이상의 레즈 엘리먼트를 포함하고, 추가로 도 16에 도시된 텔레센트릭 중계기 배치가 동공 이미지를 중계하기 위한 유일한 광학 배치만은 아니라는 것을 알 수 있다.
도 17을 참조하면, 렌즈(420)의 출사동공(P2)에서 라인으로서 표현된 주사 거울(432)과 "겹치지 않는" 것으로 도시된다(주사 거울(432)에 대해 하나의 바람직한 위치이다). 차단물(426)은 또한 동공(P2) 영역내에 위치한다. 접안렌즈(420)는 GLV 어레이(402)의 확대된 실상을 스크린 또는 기록 매체상에 투사하기 위해 하나의 엘리먼트 또는 그룹으로서 사용되고, 이러한 스크린 또는 기록 매체는 투사 디스플레이 또는 이미지의 기록 혹은 인쇄를 위한 장치를 필요로 한다. 여기서, 렌즈(또는 렌즈 엘리먼트 그룹)(446)는 렌즈(446)로부터 유한 거리에 GLV 어레이(402)의 확대된 실상(448)(여기서, 폭)을 포커싱하도록 위치한다. 이러한 이미지는 투사된(가현:apparent) 2차원 이미지를 제공하기 위한 시청 스크린일 수 있는 평면(450)내에 또는 광그래픽 필름 또는 페이퍼와 같은 기록매체상에 포커싱된다. 기록된 또는 인쇄된 이미지의 경우, 주사 거울(432)이 제거되며, 기록 또는 인쇄 매체를 주사 방향으로 이동시킴으로써 주사되고, 이는 도 17에 지면에 수직인 방향 즉, 이미지에 수직인 방향으로서 도시된다. 이러한 기계적 주사 운동은 물론 장치(400)와 같이 전자회로(440)에 의해 이미지 발생과 동기화될 필요가 있다.
선택적인 실시예로, GLV 어레이(402)의 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 거의 평면인 중심부(202)(도 12)를 제외한 부분에서 회절된 광이 관측자에게 도달하는 것을 방지하기 위해 도 14 내지 도 17에 도시된 바와 같이 차단물(426)을 사용하는 대신에, 반사 엘리먼트(500)가 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 최외각부 상부에 배치된다. 이러한 반사 엘리먼트(500)의 측면도가 도 18에서는 변형된 가늘고 긴 엘리먼트(200) 상부에 위치하는 것으로 도시된다. 도 18에서 알 수 있듯이, 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 거의 평면인 중심부 (202)(도 12)는 외부가 반사 엘리먼트(500)에 의해 덮인 상태로 입사광에 노출된다. 반사 엘리먼트(500)는 입사광을 반사시킨다. 그러므로, 이러한 반사광은 관측자에게 도달하지 않을 뿐더러 관측자에 의해 인지되는 이미지에 영향을 주지도 않는다. 도 18에 도시된 반사 엘리먼트(500)는 바람직하게는 각각의 가늘고 긴 엘리먼트(200)(변형되지 않은 상태)의 거의 평면인 중심부(202)와 실질적으로 동일한 평면내에 위치하기에 충분히 얇다. 반사 엘리먼트(500)는 예상 입사광의 반파장의 N 배수인 거리 d3(즉, d3=0, λ1/2, λ1, 3λ1/2, 2λ1,..., Nλ1/2)로 (변형되지 않은 상태의) 가늘고 긴 엘리먼트(200)의 반사표면과 동일한 평면에서 반사표면으로부터 이격하여 위치할 수 있다.
본 발명은 본 발명의 구성 및 동작 원리의 이해을 용이하게 하기 위해 특정 실시예를 통해 설명되었다. 이러한 참조는 예시와 설명을 위한 것으로 첨부된 청구항의 범위를 한정하기 위한 것은 아니다. 당업자라면 본 발명의 정신 및 범위를 벗어남없이 예시된 실시예에 변경이 가해질 수 있음을 알 수 있을 것이다.
원리적으로 상술된 실시예는 육안 관측을 위한 디스플레이를 형성하는 것이다. 다른 형태의 디스플레이 또한 본 발명에 의해 제조될 수 있다. 예를 들면, 이미지는 인쇄 과정 동안 페이퍼의 전달을 위한 회전드럼상에 형성될 수 있다. 이러한 응용에서, 광원은 자외선 또는 적외선 광원일 수 있다. 이러한 이미지는 육안으로 관측할 수는 없지만 동일하게 사용된다.
특히, 당업자라면 본 발명의 장치가 여러 방식으로 실현될 수 있으며 상술된 장치는 예시를 위한 것이고 한정을 위한 것은 아님을 알 수 있을 것이다.

Claims (61)

  1. 파장을 가진 입사빔을 변조하는 변조기에 있어서,
    a. 두 단부 상에 위치하는 거의 평면인 반사표면을 각각 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함하는데, 상기 엘리먼트는 서로 평행하게 위치하며 기판 상부에서 자신들의 단부에 의해 부유되며; 및
    b. 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트를 상기 기판쪽으로 변형시켜, 상기 각각의 선택된 가늘고 긴 엘리먼트의 상기 거의 평면인 반사표면을 이동시키는 변형 상태가 되도록 상기 선택된 가늘고 긴 엘리먼트가 상기 기판과 접촉함없이 격자 진폭만큼 상기 기판쪽으로 변형시키는 변형 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 광은 파장의 범위내인 것을 특징으로 하는 변조기.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 광은 가시광 파장 범위내인 것을 특징으로 하는 변조기.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 광은 자외선 파장 범위내인 것을 특징으로 하는 변조기.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 광은 적외선 파장 범위내인 것을 특징으로 하는 변조기.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트는 상기 광 파장의 대략 1/4을 이동하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트는 변조된 광의 원하는 밝기를 제공하도록 선택된 제어 가능한 거리로 이동하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 격자 진폭은 상기 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트와 기판 사이의 거리의 1/4 내지 1/3인 것을 특징으로 하는 변조기.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 거의 평면인 반사표면은 해당 가늘고 긴 엘리먼트 길이의 1/3을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 단일 선형 어레이내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따른 그룹이며, 상기 디스플레이 엘리먼트에 해당하는 가늘고 긴 엘리먼트가 변형되지 않을 때 광의 입사빔은 상기 디스플레이 엘리먼트에 의해 반사되고, 상기 디스플레이에 해당하는 가늘고 긴 엘리먼트가 교대로 변형되도록 선택될 때 상기 광의 입사빔은 상기 디스플레이 엘리먼트에 의해 회절되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 단일 선형 어레이로부터의 이미지는 2차원 이미지를 형성하도록 주사되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 단일 선형 어레이로부터의 이미지는 사용자 눈에 의해 플리커링되지 않은 단일 이미지로 통합되기에 충분히 빠르게 주사되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  13. 제 12항에 있어서, 이미지로서 상기 변조기에 순차적으로 조사되는 다수의 컬러 광은 각각 컬러 분산없이 이미지를 형성하도록 주사되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  14. 제 12항에 있어서, 상기 2차원 이미지는 화소화되지 않는 것을 특징으로 하는 변조기.
  15. 제 10항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트의 이동 거리는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  16. 제 10항에 있어서, 회절 주기에 대한 반사 주기의 비는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  17. 제 15항에 있어서, 상기 변조기는 각각의 디스플레이 엘리먼트에 의해 형성된 개별 강도에 따라 이미지를 형성하기 위한 광학 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 변조기는 광 빔으로 거의 평면인 중심부만을 조사하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  19. 제 17항에 있어서, 상기 변조기는 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에서 회절된 광이 상기 광학 장치에 의해 디스플레이되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 수단은 상기 거의 평면인 중심부에 의해 회절된 광을 투과하고 상기 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에 의해 회절된 광을 차단하는 슬릿을 가진 광 차단물을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  21. 제 19항에 있어서, 상기 수단은 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트의 반사표면에 평행한 평면내 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 두 단부 상부에 광의 입사빔의 파장의 1/2가 곱해진 전체 수 또는 0과 동일한 거리로 위치하는 반사 엘리먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  22. 제 10항에 있어서,인쇄를 위한 매체가 인쇄된 이미지를 형성하도록 단일 선형 어레이를 통해 기계적으로 주사되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  23. 가시 영역내 파장을 가진 광의 입사빔을 변조시키는 변조기에 있어서,
    a. 두 단부 상에 위치하는 거의 평면인 반사표면을 각각 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함하는데, 상기 엘리먼트는 서로 평행하게 위치하고 기판 상부에서 자신들의 단부에 의해 부유되며; 및
    b. 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트를 상기 기판쪽으로 변형시켜, 상기 선택된 가늘고 긴 엘리먼트가 상기 기판과 접촉함없이, 광의 입사빔의 파장의 1/2이 곱해진 전체 수 또는 0과 광의 입사빔의 파장의 거의 1/4이 더해진 격자 진폭만큼 상기 기판쪽으로 상기 각각의 선택된 가늘고 긴 엘리먼트의 상기 거의 평면인 반사표면을 이동시키는 변형 상태가 되도록 하는 변형 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  24. 제 23항에 있어서, 상기 격자 진폭은 상기 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트와 기판 사이의 거리의 1/4 내지 1/3인 것을 특징으로 하는 변조기.
  25. 제 23항에 있어서, 상기 거의 평면인 반사표면은 해당 가늘고 긴 엘리먼트 길이의 1/3을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  26. 제 23항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 단일 선형 어레이내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따른 그룹이며, 상기 디스플레이 엘리먼트에 해당하는 가늘고 긴 엘리먼트가 변형되지 않을 때 광의 입사빔은 상기 디스플레이 엘리먼트에 의해 반사되고, 상기 디스플레이에 해당하는 가늘고 긴 엘리먼트가 교대로 변형되도록 선택될 때 상기 광의 입사빔은 상기 디스플레이 엘리먼트에 의해 회절되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  27. 제 26항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트의 이동 거리는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  28. 제 26항에 있어서, 회절 주기에 대한 반사 주기의 비는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  29. 제 28항에 있어서, 상기 변조기는 각각의 디스플레이 엘리먼트에 의해 형성된 개별 강도에 따라 이미지를 형성하기 위한 광학 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  30. 제 29항에 있어서, 상기 변조기는 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에서 회절된 광이 상기 광학 장치에 의해 디스플레이되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  31. 제 30항에 있어서, 상기 수단은 상기 거의 평면인 중심부에 의해 회절된 광을 투과하고 상기 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에 의해 회절된 광을 차단하는 슬릿을 가진 광 차단물을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  32. 제 30항에 있어서, 상기 수단은 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트의 반사효면에 평행한 평면내 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 두 단부 상부에 광의 입사빔의 파장의 1/2가 곱해진 전체 수 또는 0과 동일한 거리로 위치하는 반사 엘리먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  33. 광의 입사빔을 변조시키는 변조기에 있어서,
    a. 두 단부 상에 위치하는 거의 평면인 반사표면을 각각 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트를 포함하는데, 상기 엘리먼트는 서로 평행하게 위치하며 기판 상부에서 소정 거리로 자신들의 단부에 의해 부유되며; 및
    b. 상기 거리의 1/4 내지 1/3의 격자 진폭으로 상기 기판쪽으로 상기 선택된 엘리먼트의 거의 평면인 반사표면을 이동시킴으로써 광의 입사빔이 회절되는 변형된 상태로 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트를 위치시키며, 광의 입사빔이 반사되는 변형되지 않은 상태로 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트를 회복시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  34. 제 33항에 있어서, 상기 거의 평면인 반사표면은 해당 가늘고 긴 엘리먼트 기리의 1/3을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  35. 제 33항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 회절 주기에 대한 반사 주기의 비가 해당 디스플레이 엘리먼트의 강도를 결정하도록 단일 열내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따라 그룹으로 형성되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  36. 제 33항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트의 이동 거리가 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하도록 단일 열내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따라 그룹으로 형성되는 것을 특징으로 하는 변조기.
  37. 제 35항에 있어서, 상기 변조기는 각각의 디스플레이 엘리먼트에 의해 형성된 개별 강도에 따라 이미지를 형성하기 위한 광학 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  38. 제 37항에 있어서, 상기 변조기는 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에서 회절된 광이 상기 광학 장치에 의해 디스플레이되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  39. 제 38항에 있어서, 상기 수단은 상기 거의 평면인 중심부에 의해 회절된 광을 투과하고 상기 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에 의해 회절된 광을 차단하는 슬릿을 가진 광 차단물을 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  40. 제 38항에 있어서, 상기 수단은 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트의 반사표면에 평행한 평면내 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 두 단부 상부에 광의 입사빔의 파장의 1/2가 곱해진 전체 수 또는 0과 동일한 거리로 위치하는 반사 엘리먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 변조기.
  41. 파장을 가진 광의 입사빔을 변조시키는 방법에 있어서,
    a. 상기 광 빔을 두 단부 사이에 위치하는 거의 평면인 반사표면을 각각 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트에 조사되도록 하는 단계를 포함하는데, 상기 엘리먼트는 서로에 대해 평행하게 위치하며 기판 상부에서 자신의 단부에 의해 부유되며;
    b. 거리의 1/4 내지 1/3의 격자 진폭으로 선택된 엘리먼트의 거의 평면인 반사표면을 이동시킴으로써 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트를 상기 기판쪽으로 변형시켜, 상기 선택된 엘리먼트가 광의 입사빔이 반사되는 변형되지 않은 상태가 되도록 하는 단계; 및
    c. 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트가 광의 입사빔이 반사되는 변형되지 않은 상태로 회복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  42. 제 41항에 있어서, 상기 격자 진폭은 상기 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트와 기판 사이의 거리의 1/4 내지 1/3인 것을 특징으로 하는 방법.
  43. 제 41항에 있어서, 상기 거의 평면인 반사표면은 해당 가늘고 긴 엘리먼트 길이의 1/3을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  44. 제 41항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 회절 주기에 대한 반사 주기의 비가 해당 디스플레이 엘리먼트의 강도를 결정하도록 단일 열내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따라 그룹으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  45. 제 41항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트의 이동 거리가 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하도록 단일 열내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따라 그룹으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  46. 제 44항에 있어서, 상기 변조기는 각각의 디스플레이 엘리먼트에 의해 형성된 개별 강도에 따라 이미지를 형성하기 위한 광학 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  47. 제 46항에 있어서, 상기 변조기는 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에서 회절된 광이 상기 광학 장치에 의해 디스플레이되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 방법.
  48. 제 47항에 있어서, 상기 수단은 상기 거의 평면인 중심부에 의해 회절된 광을 투과하고 상기 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에 의해 회절된 광을 차단하는 슬릿을 가진 광 차단물을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  49. 제 47항에 있어서, 상기 수단은 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트의 반사표면에 평행한 평면내 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 두 단부 상부에 광의 입사빔의 파장의 1/2가 곱해진 전체 수 또는 0과 동일한 거리로 위치하는 반사 엘리먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  50. 파장을 가진 광의 입사빔을 변조시키는 방법에 있어서,
    a. 상기 광 빔을 두 단부 사이에 위치하는 거의 평면인 반사표면을 각각 가진 다수의 가늘고 긴 엘리먼트에 조사되도록 하는 단계를 포함하는데, 상기 엘리먼트는 서로에 대해 평행하게 위치하며 기판 상부에서 자신의 단부에 의해 부유되며;
    b. 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트를 상기 기판쪽으로 변형시켜, 상기 선택된 가늘고 긴 엘리먼트가 상기 기판과 접촉함없이, 광의 입사빔의 파장의 1/2이 곱해진 전체 수 또는 0과 광의 입사빔의 파장의 거의 1/4이 더해진 격자 진폭만큼 상기 기판쪽으로 상기 각각의 선택된 가늘고 긴 엘리먼트의 상기 거의 평면인 반사표면을 이동시키는 변형 상태가 되도록 변형하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  51. 제 50항에 있어서, 상기 격자 진폭은 상기 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트와 기판 사이의 거리의 1/4 내지 1/3인 것을 특징으로 하는 방법.
  52. 제 50항에 있어서, 상기 거의 평면인 반사표면은 해당 가늘고 긴 엘리먼트 길이의 1/3을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  53. 제 50항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트는 단일 선형 어레이내에 위치하는 다수의 디스플레이 엘리먼트에 따른 그룹이며, 상기 디스플레이 엘리먼트에 해당하는 가늘고 긴 엘리먼트가 변형되지 않을 때 광의 입사빔은 상기 디스플레이 엘리먼트에 의해 반사되고, 상기 디스플레이에 해당하는 가늘고 긴 엘리먼트가 교대로 변형되도록 선택될 때 상기 광의 입사빔은 상기 디스플레이 엘리먼트에 의해 회절되는 것을 특징으로 하는 방법.
  54. 제 53항에 있어서, 상기 가늘고 긴 엘리먼트중 선택된 엘리먼트의 이동 거리는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하는 것을 특징으로 하는 방법.
  55. 제 53항에 있어서, 회절 주기에 대한 반사 주기의 비는 해당 디스플레이 엘리먼트에 대한 강도를 결정하는 것을 특징으로 하는 방법.
  56. 제 55항에 있어서, 상기 변조기는 각각의 디스플레이 엘리먼트에 의해 형성된 개별 강도에 따라 이미지를 형성하기 위한 광학 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  57. 제 56항에 있어서, 상기 변조기는 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에서 회절된 광이 상기 광학 장치에 의해 디스플레이되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 방법.
  58. 제 57항에 있어서, 상기 수단은 상기 거의 평면인 중심부에 의해 회절된 광을 투과하고 상기 거의 평면인 중심부를 제외한 부분에 의해 회절된 광을 차단하는 슬릿을 가진 광 차단물을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  59. 제 57항에 있어서, 상기 수단은 변형되지 않은 가늘고 긴 엘리먼트의 반사표면에 평행한 평면내 각각의 가늘고 긴 엘리먼트의 두 단부 상부에 광의 입사빔의 파장의 1/2가 곱해진 전체 수 또는 0과 동일한 거리로 위치하는 반사 엘리먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  60. 가시 영역내 파장을 가진 광의 입사빔을 변조기시키는 광 변조기를 기판상에 형성하는 방법에 있어서,
    a. 광 빔의 파장과 동일한 두께를 가지며 노출되는 희생층을 상기 기판상에 형성하는 단계;
    b. 상기 4개의 위치중 2개의 위치에서 상기 기판에 결합되며 반사표면을 가진 적어도 2개의 가늘고 긴 엘리먼트를 상기 희생층 상부에 형성하는 단계; 및
    c. 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  61. 제 60항에 있어서, 상기 두께는 200 내지 2000nm 범위인 것을 특징으로 하는 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7170668B2 (en) 2004-04-29 2007-01-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Hybrid light modulator

Families Citing this family (116)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1054726B1 (en) * 1998-02-11 2003-07-30 University of Houston, Office of Technology Transfer Apparatus for chemical and biochemical reactions using photo-generated reagents
US20040035690A1 (en) * 1998-02-11 2004-02-26 The Regents Of The University Of Michigan Method and apparatus for chemical and biochemical reactions using photo-generated reagents
US6271957B1 (en) * 1998-05-29 2001-08-07 Affymetrix, Inc. Methods involving direct write optical lithography
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
US6337753B1 (en) * 1998-12-21 2002-01-08 Lucent Technologies Inc. Optical power equalizer
US6724125B2 (en) 1999-03-30 2004-04-20 Massachusetts Institute Of Technology Methods and apparatus for diffractive optical processing using an actuatable structure
DE19941045A1 (de) * 1999-08-28 2001-04-12 Bosch Gmbh Robert Mikroschwingvorrichtung
US6501600B1 (en) 1999-08-11 2002-12-31 Lightconnect, Inc. Polarization independent grating modulator
US6674563B2 (en) 2000-04-13 2004-01-06 Lightconnect, Inc. Method and apparatus for device linearization
US6826330B1 (en) 1999-08-11 2004-11-30 Lightconnect, Inc. Dynamic spectral shaping for fiber-optic application
JP4474000B2 (ja) * 2000-01-20 2010-06-02 キヤノン株式会社 投影装置
US6307663B1 (en) * 2000-01-26 2001-10-23 Eastman Kodak Company Spatial light modulator with conformal grating device
US6888983B2 (en) 2000-04-14 2005-05-03 Lightconnect, Inc. Dynamic gain and channel equalizers
US6611377B1 (en) 2000-07-10 2003-08-26 Intel Corporation Micromechanical diffraction phase grating
US6411425B1 (en) * 2000-09-27 2002-06-25 Eastman Kodak Company Electromechanical grating display system with spatially separated light beams
US6556338B2 (en) * 2000-11-03 2003-04-29 Intpax, Inc. MEMS based variable optical attenuator (MBVOA)
JP2002162599A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Sony Corp 立体画像表示装置
US6624880B2 (en) 2001-01-18 2003-09-23 Micronic Laser Systems Ab Method and apparatus for microlithography
SE0100336L (sv) 2001-02-05 2002-08-06 Micronic Laser Systems Ab Adresseringsmetod och apparat som använder densamma tekniskt område
US6567584B2 (en) 2001-02-12 2003-05-20 Silicon Light Machines Illumination system for one-dimensional spatial light modulators employing multiple light sources
US20020167695A1 (en) * 2001-03-02 2002-11-14 Senturia Stephen D. Methods and apparatus for diffractive optical processing using an actuatable structure
US6614580B2 (en) * 2001-04-10 2003-09-02 Silicon Light Machines Modulation of light out of the focal plane in a light modulator based projection system
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US6639724B2 (en) * 2001-06-05 2003-10-28 Lucent Technologies Inc. Device having a barrier layer located therein and a method of manufacture therefor
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6646778B2 (en) 2001-08-01 2003-11-11 Silicon Light Machines Grating light valve with encapsulated dampening gas
US6639722B2 (en) * 2001-08-15 2003-10-28 Silicon Light Machines Stress tuned blazed grating light valve
US6785001B2 (en) 2001-08-21 2004-08-31 Silicon Light Machines, Inc. Method and apparatus for measuring wavelength jitter of light signal
US7046410B2 (en) 2001-10-11 2006-05-16 Polychromix, Inc. Actuatable diffractive optical processor
US6692129B2 (en) 2001-11-30 2004-02-17 Silicon Light Machines Display apparatus including RGB color combiner and 1D light valve relay including schlieren filter
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6665048B2 (en) 2002-01-22 2003-12-16 Creo Inc. Method for imaging a continuously moving object
US7221512B2 (en) * 2002-01-24 2007-05-22 Nanoventions, Inc. Light control material for displaying color information, and images
JP3558066B2 (ja) * 2002-02-19 2004-08-25 ソニー株式会社 Ｍｅｍｓ素子とその製造方法、光変調素子、ｇｌｖデバイスとその製造方法、及びレーザディスプレイ
US7385268B2 (en) * 2002-03-08 2008-06-10 Trustees Of Boston University Method for linearizing deflection of a MEMS device using binary electrodes and voltage modulation
US6947198B2 (en) * 2002-03-29 2005-09-20 Sony Corporation Emissive image display apparatus
US20030184531A1 (en) * 2002-03-29 2003-10-02 Sony Corporation GLV engine for image display
US6987240B2 (en) * 2002-04-18 2006-01-17 Applied Materials, Inc. Thermal flux processing by scanning
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6898377B1 (en) 2002-06-26 2005-05-24 Silicon Light Machines Corporation Method and apparatus for calibration of light-modulating array
US6804038B1 (en) 2002-06-26 2004-10-12 Silicon Light Machines, Inc. Bipolar operation of light-modulating array
US7053930B2 (en) * 2002-06-27 2006-05-30 Silicon Light Machines Corporation Triangular bidirectional scan method for projection display
US6777258B1 (en) * 2002-06-28 2004-08-17 Silicon Light Machines, Inc. Conductive etch stop for etching a sacrificial layer
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6714337B1 (en) * 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
CN1470935A (zh) * 2002-07-10 2004-01-28 ��ʿ��Ƭ��ʽ���� 显示装置
US6775047B1 (en) 2002-08-19 2004-08-10 Silicon Light Machines, Inc. Adaptive bipolar operation of MEM device
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
JP2004139023A (ja) * 2002-08-21 2004-05-13 Sony Corp ホログラム記録装置、ホログラム記録方法、およびホログラム記録媒体
US6922271B1 (en) 2002-08-27 2005-07-26 Silicon Light Machines, Inc. Tunable phase grating with optically linearized response
US6844960B2 (en) * 2002-09-24 2005-01-18 Eastman Kodak Company Microelectromechanical device with continuously variable displacement
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
US6967986B2 (en) * 2002-10-16 2005-11-22 Eastman Kodak Company Light modulation apparatus using a VCSEL array with an electromechanical grating device
FR2846435A1 (fr) * 2002-10-28 2004-04-30 Thomson Licensing Sa Systeme d'illumination pour visualisation d'image sans rupture de couleurs
JP2004170638A (ja) * 2002-11-19 2004-06-17 Olympus Corp 映像撮影装置
US6947459B2 (en) * 2002-11-25 2005-09-20 Eastman Kodak Company Organic vertical cavity laser and imaging system
US6795227B2 (en) * 2002-12-20 2004-09-21 Silicon Light Machines, Inc. Method and apparatus for driving light-modulating elements
US20040145708A1 (en) * 2003-01-24 2004-07-29 Evans & Sutherland Computer Corporation Infrared projector
US6967758B2 (en) * 2003-02-04 2005-11-22 Silicon Light Machines Corporation System and method for sub-pixel electronic alignment
US6894822B2 (en) * 2003-02-04 2005-05-17 Silicon Light Machines Corporation Robust reflective surface for light modulators
US6781739B1 (en) 2003-02-14 2004-08-24 Silicon Light Machines, Inc. High-frequency AC drive for MEM devices
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
US7202988B1 (en) 2003-03-28 2007-04-10 Silicon Light Machines Corporation Diffractive light modulator
US7286155B1 (en) 2003-05-30 2007-10-23 Silicon Light Machines Corporation Optical engine using one-dimensional MEMS device
CN1297830C (zh) * 2003-06-05 2007-01-31 华新丽华股份有限公司 光栅结构的制作方法
US6856449B2 (en) * 2003-07-10 2005-02-15 Evans & Sutherland Computer Corporation Ultra-high resolution light modulation control system and method
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
US7218336B2 (en) * 2003-09-26 2007-05-15 Silicon Light Machines Corporation Methods and apparatus for driving illuminators in printing applications
US7027204B2 (en) * 2003-09-26 2006-04-11 Silicon Light Machines Corporation High-density spatial light modulator
US7274500B2 (en) * 2003-12-03 2007-09-25 Eastman Kodak Company Display system incorporating trilinear electromechanical grating device
US7064883B2 (en) * 2003-12-10 2006-06-20 Silicon Light Machines Corporation Two dimensional spatial light modulator
US7248278B1 (en) 2003-12-10 2007-07-24 Silicon Light Machines Corporation Apparatus and method for laser printing using a spatial light modulator
DE102004043410B3 (de) 2004-09-02 2005-11-10 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Farbschlierenvorrichtung und Farbschlierenverfahren
US7215461B1 (en) 2004-09-14 2007-05-08 Silicon Light Machines Corporation MEMS devices with increased damping for suspended movable structures
US7359106B1 (en) 2004-09-21 2008-04-15 Silicon Light Machines Corporation Diffractive light modulator having continuously deformable surface
KR100815342B1 (ko) * 2004-10-15 2008-03-19 삼성전기주식회사 후단 렌즈계의 개구수가 개선된 광변조기를 이용한디스플레이 장치
TWI293720B (en) * 2004-12-30 2008-02-21 Au Optronics Corp Microelectrooptomechanical device
US7573631B1 (en) * 2005-02-22 2009-08-11 Silicon Light Machines Corporation Hybrid analog/digital spatial light modulator
US20070194239A1 (en) 2006-01-31 2007-08-23 Mcallister Abraham Apparatus and method providing a hand-held spectrometer
DE102006041875A1 (de) * 2006-09-01 2008-03-13 Seereal Technologies S.A. Holographisches Projektionssystem mit Mikrospiegeln zur Lichtmodulation
US7522328B2 (en) * 2006-10-13 2009-04-21 Redshift Systems Corporation Thermally controlled spatial light modulator using phase modulation
WO2008073449A2 (en) 2006-12-12 2008-06-19 Evans & Sutherland Computer Corporation System and method for aligning rgb light in a single modulator projector
US7773286B2 (en) * 2007-09-14 2010-08-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Periodic dimple array
EP2193326A1 (en) * 2007-09-28 2010-06-09 General Dynamics Land Systems, Inc. Apparatus, methods and system for improved lightweight armor protection
US7909474B2 (en) * 2007-12-05 2011-03-22 Eastman Kodak Company Display apparatus using bilinear electromechanical modulator
JP5169272B2 (ja) * 2008-02-12 2013-03-27 ブラザー工業株式会社 画像表示装置
US8937766B2 (en) * 2008-03-13 2015-01-20 Eastman Kodak Company Stereoscopic display using multi-linear electromechanical modulator
US8134591B2 (en) * 2008-05-07 2012-03-13 Eastman Kodak Company Display using bidirectionally scanned linear modulator
US8358317B2 (en) 2008-05-23 2013-01-22 Evans & Sutherland Computer Corporation System and method for displaying a planar image on a curved surface
US8702248B1 (en) 2008-06-11 2014-04-22 Evans & Sutherland Computer Corporation Projection method for reducing interpixel gaps on a viewing surface
US8217996B2 (en) * 2008-09-18 2012-07-10 Eastman Kodak Company Stereoscopic display system with flexible rendering for multiple simultaneous observers
US7880953B2 (en) * 2008-11-06 2011-02-01 Shanghai Lexvu Opto Microelectronics Technology Co., Ltd Special optical modulation array device and a method of fabricating the same
US8077378B1 (en) 2008-11-12 2011-12-13 Evans & Sutherland Computer Corporation Calibration system and method for light modulation device
US8215776B2 (en) 2009-01-07 2012-07-10 Eastman Kodak Company Line illumination apparatus using laser arrays
US8233035B2 (en) 2009-01-09 2012-07-31 Eastman Kodak Company Dual-view stereoscopic display using linear modulator arrays
US11726332B2 (en) * 2009-04-27 2023-08-15 Digilens Inc. Diffractive projection apparatus
US8864313B2 (en) 2009-06-15 2014-10-21 Eastman Kodak Company Dynamic illumination control for laser projection display
US11204540B2 (en) 2009-10-09 2021-12-21 Digilens Inc. Diffractive waveguide providing a retinal image
US8330870B2 (en) 2009-12-08 2012-12-11 Eastman Kodak Company Dynamic illumination control for laser projection display
US9641826B1 (en) 2011-10-06 2017-05-02 Evans & Sutherland Computer Corporation System and method for displaying distant 3-D stereo on a dome surface
CN102602160A (zh) * 2012-03-09 2012-07-25 方平 反射式光栅光阀及其加工方法
US9175957B2 (en) * 2012-09-24 2015-11-03 Alces Technology, Inc. Grayscale patterns from binary spatial light modulators
US9372472B2 (en) 2013-03-11 2016-06-21 Christie Digital Systems Usa, Inc. System for order alignment of diffractively produced images
US9967546B2 (en) 2013-10-29 2018-05-08 Vefxi Corporation Method and apparatus for converting 2D-images and videos to 3D for consumer, commercial and professional applications
US20150116458A1 (en) 2013-10-30 2015-04-30 Barkatech Consulting, LLC Method and apparatus for generating enhanced 3d-effects for real-time and offline appplications
US10158847B2 (en) 2014-06-19 2018-12-18 Vefxi Corporation Real—time stereo 3D and autostereoscopic 3D video and image editing
US9632226B2 (en) 2015-02-12 2017-04-25 Digilens Inc. Waveguide grating device
WO2017060665A1 (en) 2015-10-05 2017-04-13 Milan Momcilo Popovich Waveguide display
JP6895451B2 (ja) 2016-03-24 2021-06-30 ディジレンズ インコーポレイテッド 偏光選択ホログラフィー導波管デバイスを提供するための方法および装置
US11513350B2 (en) 2016-12-02 2022-11-29 Digilens Inc. Waveguide device with uniform output illumination
US10545346B2 (en) 2017-01-05 2020-01-28 Digilens Inc. Wearable heads up displays
CN110297324B (zh) * 2018-03-21 2021-08-03 京东方科技集团股份有限公司 显示装置和交通工具
JP2022546413A (ja) 2019-08-29 2022-11-04 ディジレンズ インコーポレイテッド 真空回折格子および製造方法

Family Cites Families (331)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE16767E (en) 1927-10-11 Charles prancis jenkins
USRE16757E (en) 1922-10-31 1927-10-04 knight
US1548262A (en) 1924-07-02 1925-08-04 Freedman Albert Manufacture of bicolored spectacles
US1814701A (en) 1930-05-31 1931-07-14 Perser Corp Method of making viewing gratings for relief or stereoscopic pictures
US2415226A (en) 1943-11-29 1947-02-04 Rca Corp Method of and apparatus for producing luminous images
US2991690A (en) 1953-09-04 1961-07-11 Polaroid Corp Stereoscopic lens-prism optical system
US2783406A (en) 1954-02-09 1957-02-26 John J Vanderhooft Stereoscopic television means
USRE25169E (en) 1954-06-01 1962-05-15 Colored light system
US3553364A (en) 1968-03-15 1971-01-05 Texas Instruments Inc Electromechanical light valve
US3576394A (en) 1968-07-03 1971-04-27 Texas Instruments Inc Apparatus for display duration modulation
US3600798A (en) 1969-02-25 1971-08-24 Texas Instruments Inc Process for fabricating a panel array of electromechanical light valves
BE757764A (fr) 1969-10-21 1971-04-21 Itt Systeme d'exploration a l'etat solide
US3743507A (en) 1970-10-23 1973-07-03 Rca Corp Recording of a continuous tone focused image on a diffraction grating
US3802769A (en) 1972-08-28 1974-04-09 Harris Intertype Corp Method and apparatus for unaided stereo viewing
US4093346A (en) 1973-07-13 1978-06-06 Minolta Camera Kabushiki Kaisha Optical low pass filter
US3886310A (en) 1973-08-22 1975-05-27 Westinghouse Electric Corp Electrostatically deflectable light valve with improved diffraction properties
US3947105A (en) 1973-09-21 1976-03-30 Technical Operations, Incorporated Production of colored designs
US3896338A (en) 1973-11-01 1975-07-22 Westinghouse Electric Corp Color video display system comprising electrostatically deflectable light valves
US3969611A (en) 1973-12-26 1976-07-13 Texas Instruments Incorporated Thermocouple circuit
JPS5742849B2 (ko) 1974-06-05 1982-09-10
US4001663A (en) 1974-09-03 1977-01-04 Texas Instruments Incorporated Switching regulator power supply
US4020381A (en) 1974-12-09 1977-04-26 Texas Instruments Incorporated Cathode structure for a multibeam cathode ray tube
US3935500A (en) 1974-12-09 1976-01-27 Texas Instruments Incorporated Flat CRT system
US3935499A (en) 1975-01-03 1976-01-27 Texas Instruments Incorporated Monolythic staggered mesh deflection systems for use in flat matrix CRT's
US4017158A (en) 1975-03-17 1977-04-12 E. I. Du Pont De Nemours And Company Spatial frequency carrier and process of preparing same
US4012116A (en) 1975-05-30 1977-03-15 Personal Communications, Inc. No glasses 3-D viewer
US4034211A (en) 1975-06-20 1977-07-05 Ncr Corporation System and method for providing a security check on a credit card
US4084437A (en) 1975-11-07 1978-04-18 Texas Instruments Incorporated Thermocouple circuit
CH595664A5 (ko) 1975-11-17 1978-02-15 Landis & Gyr Ag
US4184700A (en) 1975-11-17 1980-01-22 Lgz Landis & Gyr Zug Ag Documents embossed with optical markings representing genuineness information
US4127322A (en) 1975-12-05 1978-11-28 Hughes Aircraft Company High brightness full color image light valve projection system
CH594495A5 (ko) 1976-05-04 1978-01-13 Landis & Gyr Ag
US4135502A (en) 1976-09-07 1979-01-23 Donald Peck Stereoscopic patterns and method of making same
US4139257A (en) 1976-09-28 1979-02-13 Canon Kabushiki Kaisha Synchronizing signal generator
US4067129A (en) 1976-10-28 1978-01-10 Trans-World Manufacturing Corporation Display apparatus having means for creating a spectral color effect
CH604279A5 (ko) 1976-12-21 1978-08-31 Landis & Gyr Ag
US4093921A (en) 1977-03-17 1978-06-06 Texas Instruments Incorporated Microcomputer processing approach for a non-volatile TV station memory tuning system
US4093922A (en) 1977-03-17 1978-06-06 Texas Instruments Incorporated Microcomputer processing approach for a non-volatile TV station memory tuning system
CH616253A5 (ko) 1977-06-21 1980-03-14 Landis & Gyr Ag
US4185891A (en) 1977-11-30 1980-01-29 Grumman Aerospace Corporation Laser diode collimation optics
CH622896A5 (ko) 1978-03-20 1981-04-30 Landis & Gyr Ag
US4256787A (en) 1978-05-03 1981-03-17 Massachusetts Institute Of Technology Orientation of ordered liquids and their use in devices
US4225913A (en) 1978-09-19 1980-09-30 Texas Instruments Incorporated Self-referencing power converter
US4338660A (en) 1979-04-13 1982-07-06 Relational Memory Systems, Inc. Relational break signal generating device
US4327966A (en) 1980-02-25 1982-05-04 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Variable attenuator for laser radiation
US4327411A (en) 1980-03-04 1982-04-27 Bell Telephone Laboratories, Incorporated High capacity elastic store having continuously variable delay
US4454591A (en) 1980-05-29 1984-06-12 Texas Instruments Incorporated Interface system for bus line control
US4447881A (en) 1980-05-29 1984-05-08 Texas Instruments Incorporated Data processing system integrated circuit having modular memory add-on capacity
US4430584A (en) 1980-05-29 1984-02-07 Texas Instruments Incorporated Modular input/output system
US4418397A (en) 1980-05-29 1983-11-29 Texas Instruments Incorporated Address decode system
US4443845A (en) 1980-06-26 1984-04-17 Texas Instruments Incorporated Memory system having a common interface
US4503494A (en) 1980-06-26 1985-03-05 Texas Instruments Incorporated Non-volatile memory system
US4361384A (en) 1980-06-27 1982-11-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army High luminance miniature display
US4420717A (en) 1980-10-06 1983-12-13 Texas Instruments Incorporated Use of motor winding as integrator to generate sawtooth for switch mode current regulator
US4594501A (en) 1980-10-09 1986-06-10 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation of printhead voltage
JPS57122981U (ko) 1981-01-27 1982-07-31
US4440839A (en) 1981-03-18 1984-04-03 United Technologies Corporation Method of forming laser diffraction grating for beam sampling device
US4408884A (en) 1981-06-29 1983-10-11 Rca Corporation Optical measurements of fine line parameters in integrated circuit processes
US4571603A (en) 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
US4571041A (en) 1982-01-22 1986-02-18 Gaudyn Tad J Three dimensional projection arrangement
FR2527385B1 (fr) 1982-04-13 1987-05-22 Suwa Seikosha Kk Transistor a couche mince et panneau d'affichage a cristaux liquides utilisant ce type de transistor
US4484188A (en) 1982-04-23 1984-11-20 Texas Instruments Incorporated Graphics video resolution improvement apparatus
US4468725A (en) 1982-06-18 1984-08-28 Texas Instruments Incorporated Direct AC converter for converting a balanced AC polyphase input to an output voltage
US4492435A (en) 1982-07-02 1985-01-08 Xerox Corporation Multiple array full width electro mechanical modulator
JPS59117876A (ja) 1982-12-24 1984-07-07 Seiko Epson Corp パ−ソナル液晶映像表示器
EP0124302A3 (en) 1983-04-06 1986-02-19 Texas Instruments Incorporated A.c. supply converter
US4655539A (en) 1983-04-18 1987-04-07 Aerodyne Products Corporation Hologram writing apparatus and method
CH661683A5 (de) 1983-09-19 1987-08-14 Landis & Gyr Ag Einrichtung zum praegen von reliefmustern hoher aufloesung.
US4561044A (en) 1983-09-22 1985-12-24 Citizen Watch Co., Ltd. Lighting device for a display panel of an electronic device
US4809078A (en) 1983-10-05 1989-02-28 Casio Computer Co., Ltd. Liquid crystal television receiver
FR2553893B1 (fr) 1983-10-19 1986-02-07 Texas Instruments France Procede et dispositif de detection d'une transition de la composante continue d'un signal periodique, notamment pour joncteur telephonique
JPS60127888A (ja) 1983-12-15 1985-07-08 Citizen Watch Co Ltd 液晶表示装置
JPS60185918A (ja) 1984-03-05 1985-09-21 Canon Inc 光変調方法
JPS60214684A (ja) 1984-04-10 1985-10-26 Citizen Watch Co Ltd 液晶テレビ装置
CH664030A5 (de) 1984-07-06 1988-01-29 Landis & Gyr Ag Verfahren zur erzeugung eines makroskopischen flaechenmusters mit einer mikroskopischen struktur, insbesondere einer beugungsoptisch wirksamen struktur.
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4566935A (en) 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4709995A (en) 1984-08-18 1987-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Ferroelectric display panel and driving method therefor to achieve gray scale
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5096279A (en) 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
JPS6188676A (ja) 1984-10-05 1986-05-06 Citizen Watch Co Ltd 液晶テレビ装置
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US5281957A (en) 1984-11-14 1994-01-25 Schoolman Scientific Corp. Portable computer and head mounted display
US4641193A (en) 1984-12-07 1987-02-03 New York Institute Of Technology Video display apparatus and method
US4772094A (en) 1985-02-05 1988-09-20 Bright And Morning Star Optical stereoscopic system and prism window
DE3605516A1 (de) 1985-02-21 1986-09-04 Canon K.K., Tokio/Tokyo Optisches funktionselement sowie optische funktionsvorrichtung
US4866488A (en) 1985-03-29 1989-09-12 Texas Instruments Incorporated Ballistic transport filter and device
US4623219A (en) 1985-04-15 1986-11-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Real-time high-resolution 3-D large-screen display using laser-activated liquid crystal light valves
US4719507A (en) 1985-04-26 1988-01-12 Tektronix, Inc. Stereoscopic imaging system with passive viewing apparatus
US4751509A (en) 1985-06-04 1988-06-14 Nec Corporation Light valve for use in a color display unit with a diffraction grating assembly included in the valve
US4728185A (en) 1985-07-03 1988-03-01 Texas Instruments Incorporated Imaging system
JPH0535388Y2 (ko) 1985-07-29 1993-09-08
US5299037A (en) 1985-08-07 1994-03-29 Canon Kabushiki Kaisha Diffraction grating type liquid crystal display device in viewfinder
US4698602A (en) 1985-10-09 1987-10-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Micromirror spatial light modulator
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
JPS62119521A (ja) 1985-11-19 1987-05-30 Canon Inc 光学変調装置
US4811210A (en) 1985-11-27 1989-03-07 Texas Instruments Incorporated A plurality of optical crossbar switches and exchange switches for parallel processor computer
US4744633A (en) 1986-02-18 1988-05-17 Sheiman David M Stereoscopic viewing system and glasses
US4803560A (en) 1986-02-21 1989-02-07 Casio Computer Co., Ltd. Liquid-crystal television receiver with cassette tape recorder
US4829365A (en) 1986-03-07 1989-05-09 Dimension Technologies, Inc. Autostereoscopic display with illuminating lines, light valve and mask
US4856869A (en) 1986-04-08 1989-08-15 Canon Kabushiki Kaisha Display element and observation apparatus having the same
GB2198867A (en) 1986-12-17 1988-06-22 Philips Electronic Associated A liquid crystal display illumination system
US4807965A (en) 1987-05-26 1989-02-28 Garakani Reza G Apparatus for three-dimensional viewing
US4814759A (en) 1987-07-08 1989-03-21 Clinicom Incorporated Flat panel display monitor apparatus
US5003300A (en) 1987-07-27 1991-03-26 Reflection Technology, Inc. Head mounted display for miniature video display system
US4934773A (en) 1987-07-27 1990-06-19 Reflection Technology, Inc. Miniature video display system
US4859012A (en) 1987-08-14 1989-08-22 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection networks
US5155812A (en) 1989-05-04 1992-10-13 Texas Instruments Incorporated Devices and method for generating and using systems, software waitstates on address boundaries in data processing
US5142677A (en) 1989-05-04 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Context switching devices, systems and methods
US5072418A (en) 1989-05-04 1991-12-10 Texas Instruments Incorporated Series maxium/minimum function computing devices, systems and methods
US5024494A (en) 1987-10-07 1991-06-18 Texas Instruments Incorporated Focussed light source pointer for three dimensional display
HU197469B (en) 1987-10-23 1989-03-28 Laszlo Holakovszky Spectacle like, wearable on head stereoscopic reproductor of the image
US5155604A (en) 1987-10-26 1992-10-13 Van Leer Metallized Products (Usa) Limited Coated paper sheet embossed with a diffraction or holographic pattern
US4952925A (en) 1988-01-25 1990-08-28 Bernd Haastert Projectable passive liquid-crystal flat screen information centers
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
DE3866230D1 (de) 1988-03-03 1991-12-19 Landis & Gyr Betriebs Ag Dokument.
JPH01265293A (ja) 1988-04-15 1989-10-23 Sharp Corp 小型表示装置
JPH01296214A (ja) 1988-05-25 1989-11-29 Canon Inc 表示装置
US4827391A (en) 1988-06-01 1989-05-02 Texas Instruments Incorporated Apparatus for implementing output voltage slope in current mode controlled power supplies
JPH01306886A (ja) 1988-06-03 1989-12-11 Canon Inc 体積位相型回折格子
JP2585717B2 (ja) 1988-06-03 1997-02-26 キヤノン株式会社 表示装置
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US5048077A (en) 1988-07-25 1991-09-10 Reflection Technology, Inc. Telephone handset with full-page visual display
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
US5058992A (en) 1988-09-07 1991-10-22 Toppan Printing Co., Ltd. Method for producing a display with a diffraction grating pattern and a display produced by the method
DE58906429D1 (de) 1988-09-30 1994-01-27 Landis & Gyr Business Support Beugungselement.
US4915463A (en) 1988-10-18 1990-04-10 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Multilayer diffraction grating
JPH07121097B2 (ja) 1988-11-18 1995-12-20 株式会社日立製作所 液晶テレビおよびその製造方法
US4982184A (en) 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
KR100202246B1 (ko) 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5192946A (en) 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5287096A (en) 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US5128660A (en) 1989-02-27 1992-07-07 Texas Instruments Incorporated Pointer for three dimensional display
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US5079544A (en) 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5446479A (en) 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US4978202A (en) 1989-05-12 1990-12-18 Goldstar Co., Ltd. Laser scanning system for displaying a three-dimensional color image
US5060058A (en) 1989-06-07 1991-10-22 U.S. Philips Corporation Modulation system for projection display
US5022750A (en) 1989-08-11 1991-06-11 Raf Electronics Corp. Active matrix reflective projection system
JPH0343682U (ko) 1989-09-06 1991-04-24
GB8921722D0 (en) 1989-09-26 1989-11-08 British Telecomm Micromechanical switch
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
JP2508387B2 (ja) 1989-10-16 1996-06-19 凸版印刷株式会社 回折格子パタ―ンを有するディスプレイの作製方法
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
US5237340A (en) 1989-12-21 1993-08-17 Texas Instruments Incorporated Replaceable elements for xerographic printing process and method of operation
US5041851A (en) 1989-12-21 1991-08-20 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator printer and method of operation
US5101236A (en) 1989-12-21 1992-03-31 Texas Instruments Incorporated Light energy control system and method of operation
US5072239A (en) 1989-12-21 1991-12-10 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator exposure unit and method of operation
US5105369A (en) 1989-12-21 1992-04-14 Texas Instruments Incorporated Printing system exposure module alignment method and apparatus of manufacture
US5142303A (en) 1989-12-21 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Printing system exposure module optic structure and method of operation
DE4001448C1 (ko) 1990-01-19 1991-07-11 Mercedes-Benz Aktiengesellschaft, 7000 Stuttgart, De
JPH03217814A (ja) 1990-01-24 1991-09-25 Canon Inc 液晶プロジェクター
US5113272A (en) 1990-02-12 1992-05-12 Raychem Corporation Three dimensional semiconductor display using liquid crystal
US5291473A (en) 1990-06-06 1994-03-01 Texas Instruments Incorporated Optical storage media light beam positioning system
US5165013A (en) 1990-09-26 1992-11-17 Faris Sadeg M 3-D stereo pen plotter
US5502481A (en) 1992-11-16 1996-03-26 Reveo, Inc. Desktop-based projection display system for stereoscopic viewing of displayed imagery over a wide field of view
JP2622185B2 (ja) 1990-06-28 1997-06-18 シャープ株式会社 カラー液晶表示装置
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5083857A (en) 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5099353A (en) 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
EP0467048B1 (en) 1990-06-29 1995-09-20 Texas Instruments Incorporated Field-updated deformable mirror device
US5291317A (en) 1990-07-12 1994-03-01 Applied Holographics Corporation Holographic diffraction grating patterns and methods for creating the same
US5121343A (en) 1990-07-19 1992-06-09 Faris Sadeg M 3-D stereo computer output printer
US5182665A (en) 1990-09-07 1993-01-26 Displaytech, Inc. Diffractive light modulator
US5113285A (en) 1990-09-28 1992-05-12 Honeywell Inc. Full color three-dimensional flat panel display
US5148157A (en) * 1990-09-28 1992-09-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with full complex light modulation capability
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5231363A (en) 1990-11-26 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulating producing signals centered in each cycle interval
US5181231A (en) 1990-11-30 1993-01-19 Texas Instruments, Incorporated Non-volatile counting method and apparatus
US5172161A (en) 1990-12-31 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Unibody printing system and process
US5159485A (en) 1990-12-31 1992-10-27 Texas Instruments Incorporated System and method for uniformity of illumination for tungsten light
US5105207A (en) 1990-12-31 1992-04-14 Texas Instruments Incorporated System and method for achieving gray scale DMD operation
US5151718A (en) 1990-12-31 1992-09-29 Texas Instruments Incorporated System and method for solid state illumination for dmd devices
US5105299A (en) 1990-12-31 1992-04-14 Texas Instruments Incorporated Unfolded optics for multiple row deformable mirror device
CA2060057C (en) 1991-01-29 1997-12-16 Susumu Takahashi Display having diffraction grating pattern
US5151724A (en) 1991-01-30 1992-09-29 Dan Kikinis Dynamic holographic display with cantilever
US5178728A (en) 1991-03-28 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Integrated-optic waveguide devices and method
CA2063744C (en) 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5347378A (en) 1991-04-04 1994-09-13 Displaytech, Inc. Fast switching color filters for frame-sequential video using ferroelectric liquid crystal color-selective filters
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5148506A (en) 1991-04-26 1992-09-15 Texas Instruments Incorporated Optical crossbar switch
US5170269A (en) 1991-05-31 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Programmable optical interconnect system
US5299289A (en) 1991-06-11 1994-03-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Polymer dispersed liquid crystal panel with diffraction grating
US5155778A (en) 1991-06-28 1992-10-13 Texas Instruments Incorporated Optical switch using spatial light modulators
US5221982A (en) 1991-07-05 1993-06-22 Faris Sadeg M Polarizing wavelength separator
US5179274A (en) 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5287215A (en) 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5170283A (en) 1991-07-24 1992-12-08 Northrop Corporation Silicon spatial light modulator
US5240818A (en) 1991-07-31 1993-08-31 Texas Instruments Incorporated Method for manufacturing a color filter for deformable mirror device
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
CA2075026A1 (en) 1991-08-08 1993-02-09 William E. Nelson Method and apparatus for patterning an imaging member
US5245686A (en) 1991-09-06 1993-09-14 Faris Sadeg M Method of fabricating an image plane translator device and apparatus incorporating such device
US5255100A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated Data formatter with orthogonal input/output and spatial reordering
US5307056A (en) 1991-09-06 1994-04-26 Texas Instruments Incorporated Dynamic memory allocation for frame buffer for spatial light modulator
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
CA2081753C (en) 1991-11-22 2002-08-06 Jeffrey B. Sampsell Dmd scanner
US5231432A (en) 1991-12-03 1993-07-27 Florida Atlantic University Projector utilizing liquid crystal light-valve and color selection by diffraction
DE69231194T2 (de) 1991-12-05 2001-02-15 Texas Instruments Inc Verfahren zur Verbesserung eines Videosignals
US5231388A (en) 1991-12-17 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Color display system using spatial light modulators
US5212555A (en) 1991-12-17 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Image capture with spatial light modulator and single-cell photosensor
US5311349A (en) 1991-12-18 1994-05-10 Texas Instruments Incorporated Unfolded optics for multiple row spatial light modulators
US5247593A (en) 1991-12-18 1993-09-21 Texas Instruments Incorporated Programmable optical crossbar switch
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5202785A (en) 1991-12-20 1993-04-13 Texas Instruments Incorporated Method and device for steering light
CA2084923A1 (en) 1991-12-20 1993-06-21 Ronald E. Stafford Slm spectrometer
CA2085961A1 (en) 1991-12-23 1993-06-24 William E. Nelson Method and apparatus for steering light
US5247180A (en) 1991-12-30 1993-09-21 Texas Instruments Incorporated Stereolithographic apparatus and method of use
US5285407A (en) 1991-12-31 1994-02-08 Texas Instruments Incorporated Memory circuit for spatial light modulator
US5296950A (en) 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5504514A (en) 1992-02-13 1996-04-02 Texas Instruments Incorporated System and method for solid state illumination for spatial light modulators
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
DE69310974T2 (de) 1992-03-25 1997-11-06 Texas Instruments Inc Eingebautes optisches Eichsystem
US5312513A (en) 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US5319214A (en) 1992-04-06 1994-06-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Infrared image projector utilizing a deformable mirror device spatial light modulator
GB9208705D0 (en) 1992-04-22 1992-07-22 Smiths Industries Plc Head-mounted display assemblies
US5459592A (en) 1992-04-24 1995-10-17 Sharp Kabushiki Kaisha Projection display system including a collimating tapered waveguide or lens with the normal to optical axis angle increasing toward the lens center
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
US6219015B1 (en) * 1992-04-28 2001-04-17 The Board Of Directors Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for using an array of grating light valves to produce multicolor optical images
GB2267579A (en) 1992-05-15 1993-12-08 Sharp Kk Optical device comprising facing lenticular or parallax screens of different pitch
US5307185A (en) 1992-05-19 1994-04-26 Raychem Corporation Liquid crystal projection display with complementary color dye added to longest wavelength imaging element
US5347433A (en) 1992-06-11 1994-09-13 Sedlmayr Steven R Collimated beam of light and systems and methods for implementation thereof
US5281887A (en) 1992-06-15 1994-01-25 Engle Craig D Two independent spatial variable degree of freedom wavefront modulator
US5315418A (en) 1992-06-17 1994-05-24 Xerox Corporation Two path liquid crystal light valve color display with light coupling lens array disposed along the red-green light path
US5486841A (en) 1992-06-17 1996-01-23 Sony Corporation Glasses type display apparatus
US5256869A (en) 1992-06-30 1993-10-26 Texas Instruments Incorporated Free-space optical interconnection using deformable mirror device
US5430524A (en) 1992-07-22 1995-07-04 Texas Instruments Incorporated Unibody printing and copying system and process
US5321416A (en) 1992-07-27 1994-06-14 Virtual Research Systems Head-mounted visual display apparatus
US5313479A (en) 1992-07-29 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Speckle-free display system using coherent light
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5348619A (en) 1992-09-03 1994-09-20 Texas Instruments Incorporated Metal selective polymer removal
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
GB9220412D0 (en) 1992-09-28 1992-11-11 Texas Instruments Holland Transponder systems for automatic identification purposes
US5493439A (en) 1992-09-29 1996-02-20 Engle; Craig D. Enhanced surface deformation light modulator
US5285196A (en) 1992-10-15 1994-02-08 Texas Instruments Incorporated Bistable DMD addressing method
US5289172A (en) 1992-10-23 1994-02-22 Texas Instruments Incorporated Method of mitigating the effects of a defective electromechanical pixel
GB2272555A (en) 1992-11-11 1994-05-18 Sharp Kk Stereoscopic display using a light modulator
EP0599375B1 (de) 1992-11-20 1999-03-03 Ascom Tech Ag Lichtmodulator
US5450088A (en) 1992-11-25 1995-09-12 Texas Instruments Deutschland Gmbh Transponder arrangement
US5410315A (en) 1992-12-08 1995-04-25 Texas Instruments Incorporated Group-addressable transponder arrangement
US5420655A (en) 1992-12-16 1995-05-30 North American Philips Corporation Color projection system employing reflective display devices and prism illuminators
JPH06260470A (ja) 1992-12-16 1994-09-16 Texas Instr Inc <Ti> パターンに作成された金属層の清浄化法
US5357369A (en) 1992-12-21 1994-10-18 Geoffrey Pilling Wide-field three-dimensional viewing system
US5418584A (en) 1992-12-31 1995-05-23 Honeywell Inc. Retroreflective array virtual image projection screen
US5371618A (en) 1993-01-05 1994-12-06 Brite View Technologies Color liquid crystal display employing dual cells driven with an EXCLUSIVE OR relationship
AU5306494A (en) 1993-01-08 1994-07-14 Richard A Vasichek Magnetic keeper accessory for wrench sockets
US5371543A (en) 1993-03-03 1994-12-06 Texas Instruments Incorporated Monolithic color wheel
US5293511A (en) 1993-03-16 1994-03-08 Texas Instruments Incorporated Package for a semiconductor device
US5435876A (en) 1993-03-29 1995-07-25 Texas Instruments Incorporated Grid array masking tape process
US5455602A (en) 1993-03-29 1995-10-03 Texas Instruments Incorporated Combined modulation schemes for spatial light modulators
US5461411A (en) 1993-03-29 1995-10-24 Texas Instruments Incorporated Process and architecture for digital micromirror printer
US5461410A (en) 1993-03-29 1995-10-24 Texas Instruments Incorporated Gray scale printing using spatial light modulators
US5451103A (en) 1993-04-06 1995-09-19 Sony Corporation Projector system
US5539422A (en) 1993-04-12 1996-07-23 Virtual Vision, Inc. Head mounted display system
US5321450A (en) 1993-05-11 1994-06-14 Proxima Corporation Low profile liquid crystal projector and method of using same
US5485172A (en) 1993-05-21 1996-01-16 Sony Corporation Automatic image regulating arrangement for head-mounted image display apparatus
KR970003007B1 (ko) 1993-05-21 1997-03-13 대우전자 주식회사 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 구동방법
US5445559A (en) 1993-06-24 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Wafer-like processing after sawing DMDs
US5491715A (en) 1993-06-28 1996-02-13 Texas Instruments Deutschland Gmbh Automatic antenna tuning method and circuit
US5453747A (en) 1993-06-28 1995-09-26 Texas Instruments Deutschland Gmbh Transponder systems for automatic identification purposes
US5345521A (en) 1993-07-12 1994-09-06 Texas Instrument Incorporated Architecture for optical switch
US5489952A (en) 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5365283A (en) 1993-07-19 1994-11-15 Texas Instruments Incorporated Color phase control for projection display using spatial light modulator
US5461547A (en) 1993-07-20 1995-10-24 Precision Lamp, Inc. Flat panel display lighting system
US5510824A (en) 1993-07-26 1996-04-23 Texas Instruments, Inc. Spatial light modulator array
US5453778A (en) 1993-07-30 1995-09-26 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for spatial modulation in the cross-process direction
US5389182A (en) 1993-08-02 1995-02-14 Texas Instruments Incorporated Use of a saw frame with tape as a substrate carrier for wafer level backend processing
US5459492A (en) 1993-08-30 1995-10-17 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for printing stroke and contone data together
US5485354A (en) 1993-09-09 1996-01-16 Precision Lamp, Inc. Flat panel display lighting system
US5457493A (en) 1993-09-15 1995-10-10 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror based image simulation system
EP0657760A1 (en) 1993-09-15 1995-06-14 Texas Instruments Incorporated Image simulation and projection system
KR970003466B1 (ko) 1993-09-28 1997-03-18 대우전자 주식회사 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법
US5347321A (en) 1993-09-30 1994-09-13 Texas Instruments Incorporated Color separator for digital television
US5497197A (en) 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5367585A (en) 1993-10-27 1994-11-22 General Electric Company Integrated microelectromechanical polymeric photonic switch
US5452024A (en) 1993-11-01 1995-09-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system
US5398071A (en) 1993-11-02 1995-03-14 Texas Instruments Incorporated Film-to-video format detection for digital television
CA2134370A1 (en) 1993-11-04 1995-05-05 Robert J. Gove Video data formatter for a digital television system
US5450219A (en) 1993-11-17 1995-09-12 Hughes Aircraft Company Raster following telecentric illumination scanning system for enhancing light throughout in light valve projection systems
US5517347A (en) 1993-12-01 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Direct view deformable mirror device
US5491510A (en) 1993-12-03 1996-02-13 Texas Instruments Incorporated System and method for simultaneously viewing a scene and an obscured object
US5442411A (en) 1994-01-03 1995-08-15 Texas Instruments Incorporated Displaying video data on a spatial light modulator with line doubling
US5499060A (en) 1994-01-04 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated System and method for processing video data
US5448314A (en) 1994-01-07 1995-09-05 Texas Instruments Method and apparatus for sequential color imaging
CA2139794C (en) 1994-01-18 2006-11-07 Robert John Gove Frame pixel data generation
US5500761A (en) 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
US5467106A (en) 1994-02-10 1995-11-14 Hughes-Avicom International, Inc. Retractable face-up LCD monitor with off-monitor power supply and back-EMF braking
US5412186A (en) 1994-02-23 1995-05-02 Texas Instruments Incorporated Elimination of sticking of micro-mechanical devices
US5444566A (en) 1994-03-07 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Optimized electronic operation of digital micromirror devices
US5447600A (en) 1994-03-21 1995-09-05 Texas Instruments Polymeric coatings for micromechanical devices
US5467146A (en) 1994-03-31 1995-11-14 Texas Instruments Incorporated Illumination control unit for display system with spatial light modulator
US5459528A (en) 1994-03-31 1995-10-17 Texas Instruments Incorporated Video signal processor and method for secondary images
US5486698A (en) 1994-04-19 1996-01-23 Texas Instruments Incorporated Thermal imaging system with integrated thermal chopper
US5512374A (en) 1994-05-09 1996-04-30 Texas Instruments Incorporated PFPE coatings for micro-mechanical devices
US5442414A (en) 1994-05-10 1995-08-15 U. S. Philips Corporation High contrast illumination system for video projector
US5458716A (en) 1994-05-25 1995-10-17 Texas Instruments Incorporated Methods for manufacturing a thermally enhanced molded cavity package having a parallel lid
US5497172A (en) 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5454906A (en) 1994-06-21 1995-10-03 Texas Instruments Inc. Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices
US5920418A (en) * 1994-06-21 1999-07-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Diffractive optical modulator and method for producing the same, infrared sensor including such a diffractive optical modulator and method for producing the same, and display device including such a diffractive optical modulator
US5482564A (en) 1994-06-21 1996-01-09 Texas Instruments Incorporated Method of unsticking components of micro-mechanical devices
US5499062A (en) 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
US5523878A (en) 1994-06-30 1996-06-04 Texas Instruments Incorporated Self-assembled monolayer coating for micro-mechanical devices
US5504504A (en) 1994-07-13 1996-04-02 Texas Instruments Incorporated Method of reducing the visual impact of defects present in a spatial light modulator display
US5704700A (en) 1994-07-25 1998-01-06 Proxima Corporation Laser illuminated image projection system and method of using same
US5512748A (en) 1994-07-26 1996-04-30 Texas Instruments Incorporated Thermal imaging system with a monolithic focal plane array and method
US5485304A (en) 1994-07-29 1996-01-16 Texas Instruments, Inc. Support posts for micro-mechanical devices
US5483307A (en) 1994-09-29 1996-01-09 Texas Instruments, Inc. Wide field of view head-mounted display
US5490009A (en) 1994-10-31 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Enhanced resolution for digital micro-mirror displays
US5519450A (en) 1994-11-14 1996-05-21 Texas Instruments Incorporated Graphics subsystem for digital television
US5516125A (en) 1994-11-30 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Baffled collet for vacuum pick-up of a semiconductor die
US5463347A (en) 1994-12-12 1995-10-31 Texas Instruments Incorporated MOS uni-directional, differential voltage amplifier capable of amplifying signals having input common-mode voltage beneath voltage of lower supply and integrated circuit substrate
US5486946A (en) 1994-12-21 1996-01-23 Motorola Integrated electro-optic package for reflective spatial light modulators
US5524155A (en) 1995-01-06 1996-06-04 Texas Instruments Incorporated Demultiplexer for wavelength-multiplexed optical signal
US5623361A (en) 1995-01-09 1997-04-22 Engle; Craig D. Enhanced wavefront phase modulator device
US5517359A (en) 1995-01-23 1996-05-14 Gelbart; Daniel Apparatus for imaging light from a laser diode onto a multi-channel linear light valve
US5517340A (en) 1995-01-30 1996-05-14 International Business Machines Corporation High performance projection display with two light valves
US5504614A (en) 1995-01-31 1996-04-02 Texas Instruments Incorporated Method for fabricating a DMD spatial light modulator with a hardened hinge
US5508750A (en) 1995-02-03 1996-04-16 Texas Instruments Incorporated Encoding data converted from film format for progressive display
US5949570A (en) 1995-06-20 1999-09-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Diffractive optical modulator and method for producing the same, infrared sensor including such a diffractive optical modulator and method for producing the same, and display device including such a diffractive optical modulator
US5742373A (en) 1995-10-13 1998-04-21 Massachusetts Institute Of Technology Color microdisplays and methods of manufacturing same
US5757536A (en) * 1995-08-30 1998-05-26 Sandia Corporation Electrically-programmable diffraction grating
US5768009A (en) 1997-04-18 1998-06-16 E-Beam Light valve target comprising electrostatically-repelled micro-mirrors
US5999319A (en) * 1997-05-02 1999-12-07 Interscience, Inc. Reconfigurable compound diffraction grating

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7170668B2 (en) 2004-04-29 2007-01-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Hybrid light modulator

Also Published As

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DE69905717D1 (de) 2003-04-10
US6215579B1 (en) 2001-04-10
CA2335584A1 (en) 1999-12-29
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WO1999067671B1 (en) 2000-02-10
EP1090322A1 (en) 2001-04-11

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