JP2003207730A - 光走査装置および表示装置 - Google Patents

光走査装置および表示装置

Info

Publication number
JP2003207730A
JP2003207730A JP2002007204A JP2002007204A JP2003207730A JP 2003207730 A JP2003207730 A JP 2003207730A JP 2002007204 A JP2002007204 A JP 2002007204A JP 2002007204 A JP2002007204 A JP 2002007204A JP 2003207730 A JP2003207730 A JP 2003207730A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical system
light
light modulation
optical
scanning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002007204A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4139866B2 (ja
Inventor
Atsushi Kawamura
篤 川村
Masakane Aoki
真金 青木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2002007204A priority Critical patent/JP4139866B2/ja
Priority to US10/345,365 priority patent/US7271938B2/en
Publication of JP2003207730A publication Critical patent/JP2003207730A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4139866B2 publication Critical patent/JP4139866B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/123Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄型で小型化が可能な光走査装置および表示
装置を得る。 【解決手段】 1次元状に配置された光変調素子を有す
る光変調手段10と、光変調素子10を物体とし光変調
素子からの光束を物体光として伝達し像面60上に1次
元状に結像する結像光学系20と、結像光学系20から
射出する光束を光変調素子の配置方向に対して直交する
方向に偏向する偏向手段40と、偏向手段40により偏
向された光束の進路に配置されている走査光学系50と
を有する。光変調手段は照明光学系と非自己発光型と
し、選択された信号に対応する光だけを結像光学系へ選
択的に伝達するようにしてもよい。非自己発光型の光変
調素子として反射タイプのBBLVを用いてもよい。光
変調手段は自己発光型の光変調素子としてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型で小型化が可
能な光走査装置および表示装置に関するもので、液晶プ
ロジェクタやDMD(Digital Micro−m
irror Device)プロジェクタ等の投影装
置、車載ナビゲータ、テレビ、各種表示装置などに適用
可能なものである。
【0002】
【従来の技術】レーザビームのような点光源を用い、回
転多面鏡などの光偏向手段で1ラインずつ光走査を行う
ことによって画像を表示する方法は良く知られている。
「松居:光学、10、No.5」、(1981)306
ページには、ビーム走査光学系の2形態として、ポスト
・オブジェクティブ型と、プレ・オブジェクティブ型が
示されている。図4はこれら2形態のビーム走査光学系
の例を示すもので、(a)はポスト・オブジェクティブ
型、(b)はプレ・オブジェクティブ型を示している。
いずれも光偏向器71の偏向反射面が紙面に対して直交
する方向に配置されるとともに、紙面に平行な面内で回
転ないしは揺動可能となっていて、像面72上において
走査線が紙面と平行な方向に描かれるようになってい
る。
【0003】図4(a)に示すポスト・オブジェクティ
ブ型は、光偏向器71が結像光学系70の後側に配置さ
れている。図4(b)に示すプレ・オブジェクティブ型
は、光偏向器71が結像光学系70の前側に配置されて
いる。ポスト・オブジェクティブ型は、図4(a)から
分かるように像面湾曲が発生しており、リニアリティす
なわち等速性も補正しきれていない。結像光学系70は
1本のビームを収束する機能だけでよいため、小型の結
像光学系に構成することができる。そこで、像面72の
ビームスポット径が大きくてもよい仕様の場合には、像
面湾曲を無視してポスト・オブジェクティブ型を用いて
いる。
【0004】図4(b)に示すプレ・オブジェクティブ
型は、像面湾曲を低減し被走査面を平面にすることがで
きるのに加え、周辺像高で走査速度が早くなる欠点を結
像光学系70で補正することができることから、等速性
を実現できる利点があるが、レンズなどの光学素子から
なる結像光学系70は、光走査のため分離した光束中に
配置されるので、大型化するという難点がある。
【0005】近年、Silicon Light Ma
chines社から1次元の光変調素子として画素を1
次元的に配列したグレーティングライトバルブ(以下
「GLV」という)が発表された。そして、GLVを物
体とし、その像を画素配列方向に対し直交する方向に偏
向走査して投影像を得る投影装置が公開された。この投
影装置はポスト・オブジェクティブ型の光学配置になっ
ており、レーザビーム走査と同様に、像面湾曲を補正す
ることができないという難点がある。また、ポスト・オ
ブジェクティブ型は結像レンズ系が小型になる利点があ
るものの、線状の物体であるGLVを結像するので、G
LVを構成する画素の配列方向に大きく、扁平な形状に
なる。
【0006】GLVを用いたプレ・オブジェクティブ型
光走査装置および投影装置の光学配置例として、特開2
001−201710公報に記載されているものが知ら
れている。これは、光変調素子としてのGLVと、この
GLVを照明する照明光学系と、GLVからの光を走査
する走査光学系とを有していて、上記走査光学系はガル
バノミラーを有し、このガルバノミラーは、光透過領域
付きであるとともに、GLVからの光のうち所定方向へ
伝播する光束を選択してこの光束を複数の方向に順次偏
向するように構成されていることを特徴とするものであ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記公報記載のものに
よれば、走査結像光学系に要求される仕様の制約条件が
多く、レンズの構成枚数が多数になり、また、各レンズ
の必要な大きさも大になるという難点がある。また、エ
リア型の光変調素子であるDMDを用いたプロジェクタ
の発売が始まっているが、エリア型の光変調素子は低コ
スト化するのに制約が多く、光学系やシステムの小型化
にも限界がある。
【0008】さらに、3色のレーザビームを独立に変調
し、2次元的に走査することで画面表示を行う方式が、
Schneider社から発表され、発売された。この
方式によれば、高い出力でかつ3色のレーザ光源が必要
であるため大型になり、画素周波数が極めて高周波数に
なって扱いにくいという難点がある。
【0009】本発明は以上のような従来技術の問題点を
解消するためになされたもので、薄型で小型化が可能な
光走査装置および表示装置を提供することを目的とす
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる光走査装
置および表示装置は、1次元状に配置された光変調素子
を有する光変調手段と、光変調素子を物体とし光変調素
子からの光束を物体光として伝達し像面上に1次元状に
結像する結像光学系と、結像光学系から射出する光束を
光変調素子の配置方向に対して直交する方向に偏向する
偏向手段と、偏向手段により偏向された光束の進路に配
置されている走査光学系とを有していることを特徴とす
る。
【0011】偏向手段の前に配置されている結像光学系
では光束が偏向による分離をうけていないので、結像光
学系を構成するレンズなどの光学素子の有効形状は小さ
くてもよく、複数の光学素子で構成しても結像光学系の
大型化を避けることができる。また、光学素子数を制限
することなくある程度の数を許容することで、結像光学
系で補正可能な収差を極力補正し、高い性能に結びつけ
ることが可能になる。
【0012】一方、走査光学系は偏向した光束をすべて
受ける必要があって、走査光学系を構成するレンズなど
の光学素子の有効形状が大きくなるため、光学素子数を
多くすることは不利である。また、偏向手段で発生する
像面湾曲の補正などを行うためには、走査光学系を構成
する光学素子数をできるだけ限定するのが望ましい。そ
の点、上記本発明にかかる光走査装置および表示装置の
構成は、結像光学系を構成する光学素子の数を増やして
高性能化を図り、走査光学系の構成は簡単にして小型化
を図ることができ、所期の作用効果を得るのに有効であ
る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
にかかる光走査装置および表示装置の実施形態について
説明する。図1に、1次元状に配置された光変調素子を
使った光走査装置の実施形態を示す。図1において、符
号10は1次元の光変調手段、20は結像光学系、30
は絞り、40は偏向手段、50は走査光学系、60は像
面をそれぞれ示しており、これらの光学素子が光束の進
路に沿って上記の順番に配置されている。光変調手段1
0は自己発光型の例で、赤(R)、緑(G)、青(B)
それぞれの色の光を発する光変調素子が1次元状に配列
されたもので、RGBの3ラインの光変調素子が適宜の
間隔で平行に配列してある。各光変調素子の発光の指向
方向は配列方向に対し直角になるように配置されてい
る。
【0014】結像光学系20は、光変調手段10側に配
置されて正のパワーを持つレンズ21と、偏向手段40
側に配置されたレンズ22からなる。レンズ21は、物
体側すなわち光変調手段10側が、結像光学系20全系
でほぼテレセントリックになるように構成する役割をも
っている。レンズ21とレンズ22は協働して、光変調
手段10を構成する各光変調素子を物体としたときの像
を像面60上に結ぶように構成されている。結像光学系
20は、 θv:結像光学系20に入射する光線の角度 fv:結像光学系20の光変調素子配列方向の焦点距離 Hv:結像光学系20の光変調素子配列方向の像高 であるとき、 Hv∝fv*tan(θv) の関係をほぼ満たしている。これによって、光変調素子
の配列方向に歪みの少ない結像関係を得ることができ、
結像光学系20は光変調素子配列方向の像面湾曲、各像
高の波面収差、色収差などを補正することになる。
【0015】結像光学系20の後に絞り30が配置され
てビハインド絞りになっている。絞り30の位置で有効
光束が最も収束するように結像光学系20が設計されて
いる。したがって、絞り30に近接して偏向手段40を
配置することで、偏向手段40の偏向反射面の面積を小
さく設定することができる。この実施形態では、偏向手
段40として回転多面鏡(ポリゴンミラー)を用いてい
る。偏向手段40による偏向光束の進路上に走査光学系
50が配置されている。偏向手段40に近接させて走査
光学系50を配置することは、走査光学系50の寸法を
小さくすることができるという点では有利であるが、像
面湾曲等の補正が困難になりがちである。したがって、
偏向手段40と走査光学系50との間隔は、小型化の要
求と像面湾曲等の収差補正の要求とを勘案しながら適宜
決めることになる。光変調手段10におけるR、G、B
の3ラインの像は像面60上に所定のライン間隔で結像
され、この間隔をほぼ保って走査される。
【0016】図2は、光変調素子に非自己発光型の1次
元光変調素子である両端固定反射膜型ライトバルブ(B
oth−end fixet Beam Light
Balve:以下「BBLV」という)を用いた表示装
置の実施形態を示す。図2において、符号10はBBL
Vからなる光変調手段、11は線状光源、12は円筒状
の反射鏡、13はシリンドリカルレンズをそれぞれ示し
ている。光変調手段10は非自己発光型光変調手段で、
1次元の反射型光変調素子であるBBLVからなる。
【0017】ここで、BBLVについて図3を参照しな
がら概略的に説明しておく。図3において、単結晶シリ
コン材などからなる基盤4にはV字状の凹部25が形成
されていて、この凹部25の表面を覆って基板電極26
が形成されている。上記凹部25を基板電極26の上か
ら跨いで両持ち梁27が掛け渡されるとともに、両持ち
梁27の両端部が基板電極26上に固定されている。た
だし、基板電極26の表面は適宜の保護膜で保護されて
いる。両持ち梁27は単結晶シリコンなどの薄膜で形成
されている。両持ち梁27の上面には入射光を正反射す
る光反射膜28が形成されている。基板電極26と両持
ち梁27の端部に形成された電極との間に電圧を印加す
ることができるようになっていて、上記基板電極26、
両持ち梁27、両持ち梁27の端部の電極によって静電
アクチュエータ29が構成されている。
【0018】図3(b)は、静電アクチュエータ29に
電圧が印加されない状態を示しており、両持ち梁27お
よび光反射膜28は平面を保っている。図3(b)に示
すように、光反射膜28に向かって照明光束が入射さ
れ、上記のように光反射膜28は平面を保っている状態
における光反射膜28による上記照明光束の反射光路上
に前記レンズ21が配置されている。したがって、図3
(b)に示す状態では、レンズ21の後ろ側の観察面で
は明るく、光がオンされたことになる。
【0019】上記静電アクチュエータ29に電圧が印加
されると、図3(c)に示すように、基板電極26と両
持ち梁27との間に静電力が発生し、両持ち梁27が基
板電極26に吸着される。そのため、入射した照明光束
の光反射膜28による反射方向は、レンズ21への入射
光路から外れ、レンズ21の後ろ側の観察面では暗く、
光がオフされたことになる。
【0020】図3に示すBBLVは1画素分である。B
BLVは、例えば、1素子の反射形状が20μm×20
μm、素子のピッチは21μmで1200個の素子が1
次元状に配置されており、光変調素子の長さは約25.
2mm、カラーフィルタ部材が接合手法で作成され一体
化されている。1次元状に配列された、RGBの3色の
光変調手段が幅約50μmで平行に配置されている。
【0021】線状光源11はハロゲン電球等の線状光源
でBBLVの素子配列方向長さよりやや長い発光長を有
している。反射鏡12の断面形状は、円や楕円、放物
線、高次項を含む非球面など、適宜の形状を選択して適
用すればよい。反射鏡12はシリンドリカルレンズ13
と協働してBBLVの素子配列面上に線状の集光光束を
つくる。3ラインのBBLVの被照明幅は例えば0.1
2mm程度であるが、実際にはより広い幅に集光され、
部品の加工公差や配置の位置誤差などに振り分けられ
る。
【0022】図示されていないが、BBLVで構成され
る光変調手段10からの反射光路上には結像光学系、偏
向手段が配置されている。結像光学系は、例えば投影距
離が2000mmで、900mmの結像長さが得られる
ように設定される。結像光学系は、光変調手段10の光
変調素子配列方向を短辺としているので、投影倍率はm
=−35.7となり、焦点距離:f=54.5mmの結
像光学系が上記の条件で最適化されている。表示画面の
中心の縦線を基準に偏向器の偏向反射面は−8.5°〜
+8.5°回転することで、反射光は−17°〜+17
°偏向されて、例えば1200mmの範囲で走査され、
1600個の表示画素が表示される。表示距離が120
0mmのとき720mm×540mmの表示サイズであ
り、表示距離が6500mmのとき4000mm×30
00mmの表示サイズであるよう設定されるが、この
間、結像光学系は絞りと一体で光軸方向に移動されピン
トが合致するように構成されている。上記結像光学系の
移動量は、表示距離が1200mmのとき、ポリゴンミ
ラーなどからなる偏向手段の方に1.02mm程度、表
示距離が6500mmのとき光変調手段10方向に1.
07mm程度となる。
【0023】偏向手段の偏向反射面1面あたりの有効走
査期間率が50%、フレーム周波数が60Hzのとき、
1画素の表示時間は500nSecであり、例えば5n
Sec単位でオン信号の長さを選択することで中間調の
表示ができる。図示の例では100階調が表示可能で、
3色では100万色の表示が可能である。
【0024】図2にはBBLVの駆動回路が記載されて
いる。画像信号発生部15で、表示しようとする画像信
号を発生する。この画像信号は動画信号であってもよい
し、スチル画像信号であってもよく、また、メモリに記
録されている信号であってもよいし、カメラの再生信号
であってもよい。上記画像信号は信号処理部16におい
て表示に適した信号となるように処理され、駆動信号発
生部17が上記処理信号に応じた駆動信号を発生して光
変調手段10を駆動するようになっている。
【0025】図2に示す実施形態は、光変調手段10が
1次元状に配置された非自己発光型の光変調素子である
BBLVからなり、この光変調手段10を照明する照明
光学系を有している。光変調手段10を構成する光変調
素子は、選択された信号に対応する照明光だけを正反射
して、結像光学系へ選択的に伝達するように設定されて
いる。換言すれば、反射タイプのBBLVからなる非自
己発光型光変調素子10は、正反射光が選択された信号
に対応するように設定されている。これによって、光走
査装置を構成するのに有効である。また、線状光源1
1、円筒状の反射鏡12、シリンドリカルレンズ13等
を使用して光変調手段10上に効率的に集光することが
でき、明るい走査像を得るのに有効である。
【0026】上記実施形態における光源11を適宜選択
することで、色温度や明るさの仕様を変更できる。光源
部と光変調素子の間に赤外カット等の各種フィルタを挿
入することにより、光変調素子以後の温度上昇を抑制す
るようにするとよい。
【0027】BBLVは、前述のとおり、数10μmの
V字型ベース上に梁を渡した構造の素子であって、電圧
がオフのとき両持ち梁は平面であって光は正反射され、
電圧がオンのとき上記両持ち梁はV字型ベースに当接す
るため反射光の方向が変化し、光のオンとオフの変調を
可能にする素子である。BBLVを、選択された信号に
対応する光だけを結像光学系へ選択的に伝達するように
設定することで、スイッチング周波数が高い、したがっ
て、後述する中間調の再現に優れた微細な形に形成する
ことが可能なデバイスで、光走査装置全体を小型にする
ことができる。さらに、矩形ミラーであって先鋭な像を
作成することができるなどBBLVの特徴を活かした光
走査装置および表示装置を提供すことができる。また正
反射光が選択された信号に対応するように設定すること
で、結像に必要な光を効果的に導くことができる。
【0028】図1に示す実施形態のように、光変調手段
は自己発光型の光変調素子とすることが可能である。光
変調手段を自己発光型の光変調素子で構成すれば、照明
光学系が不要で小型化が可能になる。自己発光型の光変
調素子として、1次元に配列されたLCD、LEDアレ
イ、LDアレイ、ELアレイなどを用いることができ
る。これらの素子は固有の特徴を有しているので、低コ
スト、微細配列による小型化、明るい光走査装置、など
のコンセプトに応じて、これを実現可能な素子を選択す
るとよい。
【0029】光変調素子の1次元に配列された方向の結
像に関しては、結像光学系は以下の関係にあることが望
ましい。 θv:結像光学系に入射する光線の角度 fv:結像光学系の光変調素子配列方向の焦点距離 Hv:結像光学系の光変調素子配列方向の像高 であるとき、 Hv∝fv*tan(θv) の関係を満たすとき、光変調素子の配列方向に関し物体
としての光変調素子と像に歪曲がなく、例えば物体が等
ピッチで発光するとき等ピッチの結像が得られる。画像
入力装置であるズーム機能付きビデオカメラやデジタル
カメラでは、3〜5%程度の歪曲収差を有するものがあ
り、できればこれよりも歪曲収差が少ないことが望まし
い。表や文書などの画像信号の場合は、ほとんど歪曲収
差のない形で入力データが作成されるので、結像光学系
の歪曲収差は1%以下であることはさらに望ましい。
【0030】光変調素子からの出射光または反射光は、
その指向の中心が結像光学系の入射瞳に向かうように設
定することができる。光軸から離れた光変調素子ほど発
光光束が光軸に向かって傾くようにする。自己発光型の
光変調素子では発光素子の基板を徐々に傾ける。非自己
発光型の光変調素子でBBLVのような反射タイプの光
変調素子では、前述の正反射面に傾斜を付けることで実
現することができる。こうすることにより、中心部と周
辺部で像の明るさの差を低減し、ばらつきの少ない像を
得ることができる。
【0031】光変調素子からの光の指向中心が結像光学
系の入射瞳に向かうように設定する方法の一つとして、
結像光学系の物体側光学系をテレセントリックにしても
よい。こうすることで、上述の効果と同等の効果を得る
ことができる。このとき光変調素子からの光はその指向
の中心が光軸と平行である一般の素子をそのまま使用す
ることができる。物体側に正のパワーを有する光学素子
を配置することで実現が可能になり、有効な一つの実施
形態といえる。
【0032】光変調素子からの光の指向中心が結像光学
系の入射瞳に向かうように設定したものにおいて、結像
光学系は、この結像光学系を構成する部材より像面側に
絞りを有する、いわゆるビハインド絞りにすることがで
きる。かかる構成にすると、偏向手段や走査光学系を隣
接して配置することができ、これらの光変調素子配列方
向の大きさをコンパクトに構成することができるため、
光走査装置の小型化につながるほか、偏向手段を回転駆
動するモータの負荷が減少し、消費電力の低減、発熱や
騒音の低減を実現することができる。このときの偏向手
段としては、回転多面鏡(ポリゴンミラー)、ガルバノ
ミラー等を用いることができる。また、結像光学系の内
部に絞りを有するいわゆるインナ絞りは、もちろん採用
可能である。この場合、偏向手段は大型化するものの、
結像光学系の収差補正は一般に容易になる。
【0033】図1に示すような、1次元状に配置された
光変調素子を有する光変調手段10と、光変調素子を物
体とし光変調素子からの光束を物体光として伝達し像面
60上に1次元状に結像させる結像光学系20と、結像
光学系20から射出する光束を光変調素子の配置方向に
対し直交する方向に偏向する偏向手段40と、偏向手段
40により偏向される光束の進路に配置されている走査
光学系50とを有してなる光走査装置においては、結像
光学系20において補正可能な収差を極力補正してあ
る。しかし、光偏向手段40で発生する主要な2つの収
差である像面湾曲とリニアリティは補正することができ
ない。走査光学系20はまず像面湾曲を良好に低減する
ことが重要である。走査光学系50は結像光学系20に
比べて大きくなるため、走査光学系50の素子数を少な
くする要求がある。そこで、リニアリティを補正するこ
となく、周辺での走査のとき画素周波数を高周波にする
などの電気的補正を行うことで、均質で高い性能を達成
することができる。
【0034】上記の電気的補正を行うことなく、リニア
リティの補正を走査光学系50で行うことはもちろん可
能である。光変調手段を構成する光変調素子が1次元に
配列された方向に対し直交する方向に関しては、走査光
学系50は以下の関係にあることが望ましい。 θh:偏向手段で偏向され走査光学系に入射する光線の
角度 Hh:走査光学系の光変調素子配列と直交する方向の像
高 であるとき、 Hh∝θh 前にも述べたように、リニアリティからのずれ量は3〜
5%程度以下であることが望ましく、1%以下であれば
さらに望ましい。
【0035】光変調手段10と結像光学系20との光軸
方向の間隔を変更することで合焦を行うことができる。
結像光学系20がテレセントリックのとき、テレセント
リックをくずさずに合焦できることが望ましい。光変調
手段10だけを一体で結像光学系20の光軸方向に移動
することは一つの方法である。結像光学系20を光軸方
向に移動するようにしてもよく、このとき絞りを移動す
るようにしても差支えない。
【0036】1次元状に配置された光変調素子を有する
光変調手段10と、光変調素子を物体とし光変調素子か
らの光束を物体光として伝達し像面60上に1次元状に
結像させる結像光学系20と、結像光学系20から射出
する光束を光変調素子の配置方向に対し直交する方向に
偏向する偏向手段40と、偏向手段40により偏向され
る光束の進路に配置されている走査光学系50とを有し
てなる光走査装置を用い、特定の偏向角に対応して結像
された1次元の光変調素子の像が画面の垂直方向の1ラ
インを表示し、この1ラインを、偏向手段によって光変
調素子の配置方向に対し直交する方向に所定の角度走査
することで、1画面を表示する表示装置を構成すること
ができる。
【0037】上記構成の表示装置によれば、光変調手段
は光変調素子を1次元状に配置したものでよいため、L
CDプロジェクタやDMDプロジェクタなどの面積型の
光変調素子を投影結像する方式に比べて製造し易く、低
コストになり、結像光学系が薄型になり、表示装置をコ
ンパクトに構成することが可能になる。特に1次元の光
偏向素子の像が画面の垂直方向の1ラインを表示するよ
うに配置することで、結像光学系の物体の高さが小さく
なり、画角も小さくなって、小型化に加え所定の画像性
能を容易に得ることができる。
【0038】上記の例とは逆に、特定の偏向角に対応し
て結像された1次元の像が画面の水平方向の1ラインを
表示し、この1ラインを、偏向手段によって光変調素子
の配置方向に対し直交する方向に所定の角度走査するこ
とで、1画面を表示する表示装置を構成することができ
る。かかる構成の表示装置によれば、走査光学系が小型
になるほか、画素周波数が低い周波数で済むという特徴
がある。ただし、この表示装置の例によれば、画像信号
をフレームメモリ等に取り込み、図2に示す信号処理部
16などにおいて適宜信号の配列を変更し光変調素子を
駆動する必要がある。
【0039】以上説明した表示装置の二つの例におい
て、光変調素子はオンとオフの2値を有するパルス幅変
調(PWM)信号によって動作するものとし、1画素の
表示時間より短いオンの時間を有するものとする。こう
することで中間の光強度を表示することができる。原理
的に1画素の表示時間を変えることができない光変調素
子にも適用可能である。また、光変調素子の作動原理か
ら中間の光強度ではフレアの発生を伴う光変調素子に対
しても、そのような不具合を回避することができる。
【0040】前述の光走査装置において、R、G、Bの
各色に対応した1次元光変調素子を、これら1次元光変
調素子の配列方向と直交する方向に並列的に配置するこ
とで、カラー画像を表示できる表示装置を提供すること
ができる。この表示装置によれば、面積型光変調手段を
用いた表示装置に比べ、光変調素子の配列の間隔を製造
が容易になるよう適宜設定することができる。光変調素
子によっては、カラーフィルタをオンチップで作成する
か、フィルタ部材と接合する方法でコンパクトさを損な
わないで実現することができ、3色の光変調素子を同一
の照明光学系で照明するように構成することができる。
また、これら各種の手段を併用して、多種類の色を再現
することができる。
【0041】R、G、Bの各色に対応した1次元光変調
素子を、これら1次元光変調素子の配列方向と直交する
方向に並列的に配置することで、カラー画像を表示でき
るようにした上記の表示装置において、走査方向の同一
画素結像位置上で異なる時刻にR、G、Bの色を重ねる
ことで色の合成を行うようにしてもよい。このように構
成された表示装置によれば、同一の結像光学系、偏向手
段、走査光学系を用いることができ、このとき走査方向
の同一画素結像位置上で異なる時刻にR、G、Bの色が
重ね合わされ、カラー投影画像を表示する表示装置を実
現することができる。3色に対して光変調素子、結像光
学系、偏向手段、走査光学系を共通に使用することがで
き、構成がシンプルになる利点がある。
【0042】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、偏向手段
の前に配置される結像光学系では光束が偏向による分離
をうけていないので、結像光学系の有効形状は小さく、
結像光学系を構成する光学素子数を増やしても大型化を
避けることができる。このように結像光学系の光学素子
数の増加を許容することで、結像光学系で収差を効果的
に補正し、高い性能に結びつけることが可能になる。一
方、走査光学系は偏向した光束をすべて受けるので光学
素子の有効形状が大きくなり、光学素子数を多くするこ
とは不利であり、偏向手段で発生する像面湾曲の補正な
どにできるだけ限定するのが望ましい。その点、請求項
1記載の上記構成は像面湾曲などの収差の補正を結像光
学系で受け持ち、走査光学系の構成はシンプルにするこ
とができるため、小型で、高性能の光走査装置を得るの
に有効である。
【0043】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明において、光変調手段は照明光学系と非自己発
光型の光変調素子を有してなり、選択された信号に対応
する光だけを結像光学系へ選択的に伝達するように設定
されているため、線状光源、円筒状の反射鏡、シリンド
リカルレンズ等を使用して光変調素子上に集中的にかつ
効率的に集光することができ、明るい走査像を得るのに
有効である。
【0044】請求項3記載の発明によれば、請求項2記
載の発明において、非自己発光型の光変調素子は反射タ
イプの両端固定反射膜型ライトバルブであって、正反射
光が選択された信号に対応するように設定されているた
め、スイッチング周波数が高く中間調の再現に優れると
いう利点があり、また、BBLVは微細化が可能なデバ
イスであるため、光走査装置全体を小型にできるという
利点がある。
【0045】請求項4記載の発明によれば、請求項1記
載の発明において、光変調手段は自己発光型の光変調素
子であることから、照明光学系が不要であり光走査装置
の小型化、低コスト化を図ることができる。また、素子
の微細配列による小型化を図ることができ、非自己発光
型の光変調素子を用いたものに比べて明るい光走査装置
を得ることができる。
【0046】請求項5記載の発明は、θv:結像光学系
に入射する光線の角度、fv:結像光学系の光変調素子
配列方向の焦点距離、Hv:結像光学系の光変調素子配
列方向の像高であるとき、結像光学系に、 Hv∝fv*tan(θv) の関係を満たすようにしたものである。結像光学系が、
請求項5記載の関係を満たすことによって、光変調素子
の配列方向に関し物体としての光変調素子と像に歪曲が
なく、例えば物体が等ピッチで発光するとき等ピッチの
結像が得られる。
【0047】請求項6記載の発明によれば、中心部と周
辺部で像の明るさの差を低減し、明るさのばらつきの少
ない像を得ることができる。
【0048】請求項7記載の発明によれば、結像光学系
を物体側がテレセントリックにすることで、請求項6記
載の発明と同等の効果を得ることができる。
【0049】請求項8記載の発明によれば、結像光学系
をいわゆるビハインド絞りにすることにより、これに隣
接して偏向手段を配置することができ、また、走査光学
系の光変調素子配列方向の大きさをコンパクトに構成す
ることができ、光走査装置の小型化につながるほか、モ
ータの負荷が減少し、消費電力の低減、発熱や騒音を低
減できる。
【0050】結像光学系では、補正可能な収差を極力補
正するが、光偏向器で発生する主要な2つの収差、すな
わち像面湾曲とリニアリティは補正することができな
い。一方、走査光学系はまず像面湾曲を良好に低減する
ことが重要である。そこで、請求項9記載の発明では、
走査光学系に像面湾曲を低減する機能を持たせた。
【0051】請求項10記載の発明は、θh:偏向手段
で偏向され走査光学系に入射する光線の角度、Hh:走
査光学系の光変調素子配列と直交する方向の像高である
とき、走査光学系が、Hh∝θhの関係を満たすことを
特徴とする。これによって、リニアリティの補正を電気
的に行うことなく、リニアリティの補正を走査光学系で
行うことが可能である。
【0052】請求項11記載の発明のように、光変調手
段と結像光学系との相対的間隔を変更することで合焦を
行うことができる。請求項7記載の発明のように、結像
光学系がテレセントリックのとき、テレセントリックを
くずさずに合焦できることは望ましいことである。
【0053】請求項12記載の発明によれば、請求項1
記載の光走査装置を用いた表示装置であって、特定の偏
向角に対応して結像された1次元の像が画面の垂直方向
の1ラインを表示し、この1ラインをラインに対し直交
する方向に偏向手段で所定角度偏向走査することで1画
面を表示するように構成されていることから、面積型の
光変調素子を投影結像する方式に比べて製造し易く、低
コストになり、結像光学系が薄型になり、表示装置をコ
ンパクトに構成することが可能になる。特に1次元の光
偏向素子の像が画面の垂直方向の1ラインを表示するよ
うに配置することで、結像光学系の物体の高さが小さく
なり、画角も小さくなって、小型化に加え所定の画像性
能を容易に得ることができる。
【0054】請求項13記載の発明によれば、請求項1
記載の光走査装置を用いた表示装置であって、特定の偏
向角に対応して結像された1次元の像が画面の水平方向
の1ラインを表示し、この1ラインをラインに対し直交
する方向に偏向手段で所定角度偏向走査することで1画
面を表示するように構成されていることから、走査光学
系が小型になるほか、画素周波数が低い周波数で済むと
いう利点がある。
【0055】請求項14記載の発明によれば、請求項1
2または14記載の発明において、光変調素子はオンと
オフの2値を有し、1画素の表示時間より短いオンの時
間を有することで中間の光強度を表示するように構成さ
れていることから、中間の光強度を表示することができ
る。
【0056】請求項15記載の発明によれば、R、G、
Bの各色に対応した1次元光変調素子が、この1次元光
変調素子の配列方向と直交する方向に配置されているこ
とで、カラー画像を表示することができる表示装置を提
供することができる。
【0057】請求項16記載の発明によれば、請求項1
5記載の発明において、同一の結像光学系、偏向手段、
走査光学系を用いることができ、3色に対する光学部品
の共通使用が図られ、構成がシンプルになる利点があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる光走査装置および表示装置の実
施形態を示す斜視図である。
【図2】本発明に適用可能な光変調手段とその周辺部分
の例を示す斜視図である。
【図3】本発明に光変調手段として適用可能な両端固定
反射膜型ライトバルブの例を示すもので、(a)は斜視
図、(b)は印加電圧ゼロ時の動作態様を示す断面図、
(c)は電圧印加時の動作態様を示す断面図である。
【図4】一般的なビーム走査光学系の例であって、
(a)はポスト・オブジェクティブ型、(b)はプレ・
オブジェクティブ型を示す光学配置図である。
【符号の説明】
10 光変調手段 20 結像光学系 40 偏向手段 50 走査光学系 60 像面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 9/31 H04N 9/31 C Fターム(参考) 2H041 AA14 AA18 AA26 AB14 AC06 AZ02 2H045 BA23 BA32 DA02 2H087 KA06 NA02 PA02 PA17 PB02 RA35 5C060 GA01 GA02 GB01 GB06 HC11 HC19 JA00 JB06

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1次元状に配置された光変調素子を有す
    る光変調手段と、光変調素子を物体とし光変調素子から
    の光束を物体光として伝達し像面上に1次元状に結像さ
    せる結像光学系と、結像光学系から射出する光束を光変
    調素子の配置方向に対し直交する方向に偏向する偏向手
    段と、偏向手段により偏向される光束の進路に配置され
    ている走査光学系とを有してなる光走査装置。
  2. 【請求項2】 光変調手段は照明光学系と非自己発光型
    の光変調素子を有してなり、選択された信号に対応する
    光だけを結像光学系へ選択的に伝達するように設定され
    ている請求項1記載の光走査装置。
  3. 【請求項3】 非自己発光型の光変調素子は反射タイプ
    の両端固定反射膜型ライトバルブであって、正反射光が
    選択された信号に対応するように設定されている請求項
    2記載の光走査装置。
  4. 【請求項4】 光変調手段は自己発光型の光変調素子で
    あることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
  5. 【請求項5】 結像光学系は、 θv:結像光学系に入射する光線の角度 fv:結像光学系の光変調素子配列方向の焦点距離 Hv:結像光学系の光変調素子配列方向の像高 であるとき、 Hv∝fv*tan(θv) を満たすことを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
  6. 【請求項6】 光変調素子からの光は、その指向の中心
    が結像光学系の入射瞳に向うように設定されている請求
    項5記載の光走査装置。
  7. 【請求項7】 結像光学系は、物体側がテレセントリッ
    クである請求項5記載の光走査装置。
  8. 【請求項8】 結像光学系は、結像光学系を構成する部
    材より像面側に絞りを有する、いわゆるビハインド絞り
    であることを特徴とする請求項5記載の光走査装置。
  9. 【請求項9】 走査光学系は、偏向手段で発生する像面
    湾曲を良好に低減する機能を有することを特徴とする請
    求項1記載の光走査装置。
  10. 【請求項10】 走査光学系は、 θh:偏向手段で偏向され走査光学系に入射する光線の
    角度 Hh:走査光学系の光変調素子配列と直交する方向の像
    高 であるとき、 Hh∝θh を満たすことを特徴とする請求項9記載の光走査装置。
  11. 【請求項11】 光変調手段と結像光学系との光軸方向
    の間隔を変更することにより合焦を行うことを特徴とす
    る請求項1記載の光走査装置。
  12. 【請求項12】 請求項1記載の光走査装置を用い、特
    定の偏向角に対応して結像された1次元の像が画面の垂
    直方向の1ラインを表示し、偏向手段により上記1ライ
    ンを光変調素子の配列方向に対し直交する方向に所定角
    度偏向走査することで1画面を表示するように構成され
    ていることを特徴とする表示装置。
  13. 【請求項13】 請求項1記載の光走査装置を用い、特
    定の偏向角に対応して結像された1次元の像が画面の水
    平方向の1ラインを表示し、偏向手段により上記1ライ
    ンを光変調素子の配列方向に対し直交する方向に所定角
    度偏向走査することで1画面を表示するように構成され
    ていることを特徴とする表示装置。
  14. 【請求項14】 光変調素子はオンとオフの2値を有
    し、1画素の表示時間より短いオンの時間を有すること
    で中間の光強度を表示することができる請求項5または
    6記載の表示装置。
  15. 【請求項15】 赤(R)、緑(G)、青(B)の各色
    に対応した1次元光変調素子が、1次元光変調素子の配
    列方向と直交する方向に配置されていることを特徴とす
    る請求項12または13記載の表示装置。
  16. 【請求項16】 走査方向の同一画素結像位置上で異な
    る時刻に赤(R)、緑(G)、青(B)の色を重ねるこ
    とで色の合成を行うことを特徴とする請求項15記載の
    表示装置。
JP2002007204A 2002-01-16 2002-01-16 光走査装置および表示装置 Expired - Fee Related JP4139866B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002007204A JP4139866B2 (ja) 2002-01-16 2002-01-16 光走査装置および表示装置
US10/345,365 US7271938B2 (en) 2002-01-16 2003-01-16 Method and apparatus for optical scanning capable of efficiently reducing an image surface distortion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002007204A JP4139866B2 (ja) 2002-01-16 2002-01-16 光走査装置および表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003207730A true JP2003207730A (ja) 2003-07-25
JP4139866B2 JP4139866B2 (ja) 2008-08-27

Family

ID=27645771

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002007204A Expired - Fee Related JP4139866B2 (ja) 2002-01-16 2002-01-16 光走査装置および表示装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7271938B2 (ja)
JP (1) JP4139866B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006072104A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Sony Corp 光走査装置及び画像生成装置
US7667887B2 (en) 2005-04-18 2010-02-23 Seiko Epson Corporation Light scanning device, method for controlling light scanning device, and image display device
US7810933B2 (en) 2006-01-30 2010-10-12 Sony Corporation Image projection apparatus
US7909469B2 (en) 2007-05-18 2011-03-22 Sony Corporation Image projecting apparatus and image projecting method for use in the same
JP4821322B2 (ja) * 2003-10-09 2011-11-24 ソニー株式会社 画像処理システムおよび画像処理方法、画像表示装置および方法、並びに、画像処理装置

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1470935A (zh) * 2002-07-10 2004-01-28 ��ʿ��Ƭ��ʽ���� 显示装置
JP4551636B2 (ja) * 2003-08-29 2010-09-29 キヤノン株式会社 撮像装置
KR100619365B1 (ko) * 2003-11-03 2006-09-12 삼성전기주식회사 회절 다중빔을 이용한 스캐닝 장치
KR100815355B1 (ko) 2004-10-13 2008-03-19 삼성전기주식회사 레이저 프린터용 스캐닝 장치
KR100815363B1 (ko) 2004-10-13 2008-03-19 삼성전기주식회사 컬러 레이저 프린터용 광학계
CN100368864C (zh) * 2005-04-18 2008-02-13 精工爱普生株式会社 光扫描装置、其控制方法及图像显示装置
KR100827619B1 (ko) 2006-10-11 2008-05-07 삼성전기주식회사 영상 왜곡 보정 방법 및 그 장치
KR100812997B1 (ko) * 2007-03-07 2008-03-13 삼성전기주식회사 키스톤 보정 방법 및 디스플레이 장치
JP4965284B2 (ja) * 2007-03-07 2012-07-04 株式会社リコー 光走査装置・画像形成装置
DE102013225566A1 (de) * 2013-12-11 2015-06-11 Robert Bosch Gmbh Mobiler Mikroprojektor

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03191313A (ja) * 1989-12-20 1991-08-21 Victor Co Of Japan Ltd 電磁放射線の変調方法及び装置
JPH04226414A (ja) * 1990-08-06 1992-08-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光走査装置
JP2000019441A (ja) * 1998-07-03 2000-01-21 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
JP2001201710A (ja) * 2000-01-20 2001-07-27 Canon Inc 光走査装置及び投影装置
JP2001264660A (ja) * 2000-03-23 2001-09-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 映像表示装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US159122A (en) * 1875-01-26 Improvement in revolving spice-boxes
US80428A (en) * 1868-07-28 Josiah m
US6069723A (en) * 1996-08-26 2000-05-30 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam scanning apparatus with controlled scan line bow
US6166842A (en) * 1998-01-23 2000-12-26 Ricoh Company, Ltd. Scanning image forming lens and optical scanning apparatus
US6366384B1 (en) * 1998-07-02 2002-04-02 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam scanning method, apparatus and multi-beam light source device achieving improved scanning line pitch using large light emitting points interval
US6256133B1 (en) * 1998-07-03 2001-07-03 Ricoh Co., Ltd. Optical scanning apparatus
US6185026B1 (en) * 1998-08-06 2001-02-06 Ricoh Company, Ltd. Multi-beam scanning apparatus
US6347004B1 (en) * 1998-08-31 2002-02-12 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus and scanning image forming lens
US6376837B1 (en) * 1999-02-18 2002-04-23 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus and image forming apparatus having defective light source detection
JP3451473B2 (ja) * 1999-03-03 2003-09-29 株式会社リコー マルチビーム走査装置および画像形成装置
JP3503929B2 (ja) * 1999-06-09 2004-03-08 株式会社リコー 光走査用レンズおよび光走査装置および画像形成装置
JP3850589B2 (ja) * 1999-07-09 2006-11-29 株式会社リコー 光走査装置および画像形成装置
JP3478491B2 (ja) * 1999-08-31 2003-12-15 株式会社リコー 走査結像レンズ・光走査装置および画像形成装置
US6509995B1 (en) * 1999-09-01 2003-01-21 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning device, line-image forming optical system therein, imaging adjustment method in the device and image forming apparatus
JP2001249293A (ja) * 2000-03-06 2001-09-14 Ricoh Co Ltd 光走査装置・走査光学系・光走査方法・画像形成装置
US6999208B2 (en) 2000-09-22 2006-02-14 Ricoh Company, Ltd. Optical scanner, optical scanning method, scanning image forming optical system, optical scanning lens and image forming apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03191313A (ja) * 1989-12-20 1991-08-21 Victor Co Of Japan Ltd 電磁放射線の変調方法及び装置
JPH04226414A (ja) * 1990-08-06 1992-08-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光走査装置
JP2000019441A (ja) * 1998-07-03 2000-01-21 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
JP2001201710A (ja) * 2000-01-20 2001-07-27 Canon Inc 光走査装置及び投影装置
JP2001264660A (ja) * 2000-03-23 2001-09-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 映像表示装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4821322B2 (ja) * 2003-10-09 2011-11-24 ソニー株式会社 画像処理システムおよび画像処理方法、画像表示装置および方法、並びに、画像処理装置
JP2006072104A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Sony Corp 光走査装置及び画像生成装置
JP4556112B2 (ja) * 2004-09-03 2010-10-06 ソニー株式会社 光走査装置及び画像生成装置
US7667887B2 (en) 2005-04-18 2010-02-23 Seiko Epson Corporation Light scanning device, method for controlling light scanning device, and image display device
US7810933B2 (en) 2006-01-30 2010-10-12 Sony Corporation Image projection apparatus
US7909469B2 (en) 2007-05-18 2011-03-22 Sony Corporation Image projecting apparatus and image projecting method for use in the same
KR101459144B1 (ko) 2007-05-18 2014-11-07 소니 주식회사 화상 투사 장치 및 그것에 사용하는 화상 투사 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US7271938B2 (en) 2007-09-18
JP4139866B2 (ja) 2008-08-27
US20030161046A1 (en) 2003-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7333260B2 (en) Two-dimensional image projection system
US8089425B2 (en) Optical designs for scanning beam display systems using fluorescent screens
KR100813983B1 (ko) 조명 광학계, 조명 유니트 및 이를 채용한 화상 투영 장치
US6967986B2 (en) Light modulation apparatus using a VCSEL array with an electromechanical grating device
JP4139866B2 (ja) 光走査装置および表示装置
KR101213636B1 (ko) 이미지를 투사하기 위한 투사기 및 대응 방법
KR20010034894A (ko) 실린더형 렌즈를 구비한 광 스캐너
US7614752B2 (en) Image display apparatus and method, and driving apparatus and method
US7145728B2 (en) Projection apparatus
US9354503B2 (en) Laser projector
US7009778B2 (en) Imaging optical system, image display apparatus and imaging optical apparatus
US20070041077A1 (en) Pocket-sized two-dimensional image projection system
US7817323B2 (en) Optical structure and an imaging system using the same
US8226242B2 (en) Projection display for displaying a color image by modulating a plurality of single beams according to image information
JP2008164957A (ja) レーザ投射装置
KR100486707B1 (ko) 가동 미러 장치 및 이를 채용한 프로젝터
US7810933B2 (en) Image projection apparatus
JP4556112B2 (ja) 光走査装置及び画像生成装置
US6616280B2 (en) Projection type image display apparatus using reflection type liquid crystal display device
JP2009025463A (ja) 光走査装置及び走査型画像表示装置
JP2000194282A (ja) 映像ディスプレーシステム
KR100535342B1 (ko) 2차원 광주사 장치, 2차원 수광 장치 및 이를 이용하는영상 표시 장치
JP2005189847A (ja) プロジェクタ
JP2012113274A (ja) プロジェクター

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041025

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070824

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071016

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071206

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080115

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080311

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080312

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20080328

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080507

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130620

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees