JP2001144156A5 - - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタに接続され、被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置において、上記被検査体の電気的特性を検査するに先立って、上記プローブ装置から上記テスタへ電気的特性を検査するために必要な測定用データを一括して送信し、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記複数の測定結果データを、一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信することを特徴とするデータ通信方法。
【請求項２】
上記測定用データ及び測定結果データを、イーサネット回線を介して伝送することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項３】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項４】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とする請求項２に記載のデータ通信方法。
【請求項５】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項６】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とする請求項２に記載のデータ通信方法。
【請求項７】
プローブ装置とテスタとの間のデータ通信システムであって、上記プローブ装置から上記テスタへ被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うための測定用データを一括して送信するための回線、及び上記テスタから上記プローブ装置へ上記複数のチップの測定結果データを一括して送信するための回線をそれぞれ有することを特徴とするデータ通信システム。
【請求項８】
上記回線は、イーサネット回線であることを特徴とする請求項７に記載のデータ通信システム。
【請求項９】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とする請求項７に記載のデータ通信システム。
【請求項１０】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、及び上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とする請求項８に記載のデータ通信システム。
【請求項１１】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへ送信する測定開始信号、及び上記複数のチップの電気的特性検査の測定が終了した後上記テスタから上記プローブ装置へ測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とする請求項７に記載のデータ通信システム。
【請求項１】
テスタに接続され、被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置において、上記被検査体の電気的特性を検査するに先立って、上記プローブ装置から上記テスタへ電気的特性を検査するために必要な測定用データを一括して送信し、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記複数の測定結果データを、一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信することを特徴とするデータ通信方法。
【請求項２】
上記測定用データ及び測定結果データを、イーサネット回線を介して伝送することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項３】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項４】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とする請求項２に記載のデータ通信方法。
【請求項５】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とする請求項１に記載のデータ通信方法。
【請求項６】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とする請求項２に記載のデータ通信方法。
【請求項７】
プローブ装置とテスタとの間のデータ通信システムであって、上記プローブ装置から上記テスタへ被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うための測定用データを一括して送信するための回線、及び上記テスタから上記プローブ装置へ上記複数のチップの測定結果データを一括して送信するための回線をそれぞれ有することを特徴とするデータ通信システム。
【請求項８】
上記回線は、イーサネット回線であることを特徴とする請求項７に記載のデータ通信システム。
【請求項９】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とする請求項７に記載のデータ通信システム。
【請求項１０】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、及び上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とする請求項８に記載のデータ通信システム。
【請求項１１】
上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへ送信する測定開始信号、及び上記複数のチップの電気的特性検査の測定が終了した後上記テスタから上記プローブ装置へ測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とする請求項７に記載のデータ通信システム。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のデータ通信方法は、テスタに接続され、被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置において、上記被検査体の電気的特性を検査するに先立って、上記プローブ装置から上記テスタへ電気的特性を検査するために必要な測定用データを一括して送信し、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記複数の測定結果データを、一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信することを特徴とするものである。
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のデータ通信方法は、テスタに接続され、被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置において、上記被検査体の電気的特性を検査するに先立って、上記プローブ装置から上記テスタへ電気的特性を検査するために必要な測定用データを一括して送信し、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記複数の測定結果データを、一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項２に記載のデータ通信方法は、請求項１に記載の発明において、上記測定用データ及び測定結果データを、イーサネット回線を介して伝送することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項３に記載のデータ通信方法は、請求項１に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載のデータ通信方法は、請求項２に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載のデータ通信方法は、請求項１に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載のデータ通信方法は、請求項２に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載のデータ通信方法は、請求項２に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線のうちの少なくとも一つを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載のデータ通信方法は、請求項１に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載のデータ通信方法は、請求項２に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへの測定開始信号を、ＴＴＬインターフェース回線を介して送信し、また、上記被検査体の電気的特性検査を終了した後上記テスタから上記のプローブ装置への測定終了信号を、ＴＴＬインターフェースを介して送信することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項７に記載のデータ通信システムは、プローブ装置とテスタとの間のデータ通信システムであって、上記プローブ装置から上記テスタへ被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うための測定用データを一括して送信するための回線、及び上記テスタから上記プローブ装置へ上記複数のチップの測定結果データを一括して送信するための回線をそれぞれ有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のデータ通信システムは、請求項７に記載の発明において、上記回線は、イーサネット回線であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のデータ通信システムは、請求項７に記載の発明において、上記回線は、イーサネット回線であることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載のデータ通信システムは、請求項７に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、また、上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のデータ通信システムは、請求項８に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、及び上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のデータ通信システムは、請求項８に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って、及び上記複数のチップの電気的特性の検査を終了した後に、上記テスタと上記プローブ装置との間で所定の信号を送信するために、ＴＴＬインターフェース回線及びＧＰ−ＩＢ回線の少なくとも一つを備えていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載のデータ通信システムは、請求項７に記載の発明において、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性検査を行うに先立って上記プローブ装置から上記テスタへ送信する測定開始信号、及び上記複数のチップの電気的特性検査の測定が終了した後上記テスタから上記プローブ装置へ測定終了信号を、それぞれ送信するためのＴＴＬインターフェース回線を備えていることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図１、図２に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のデータ通信システム１は、例えば図１に示すように、プローブ装置２のプローブ（図示せず）と被検査体であるウエハ（図３参照）とを電気的に接触させてテスタ３とウエハ間を導通してウエハの電気的特性を測定し、プローブ装置２とテスタ３間でイーサネット（登録商標）回線４を介してデータ通信を行う。即ち、本実施形態ではプローブ装置２とテスタ３はイーサネット回線４を介して接続され、測定前にイーサネット回線４を介してプローブ装置２からテスタ３へウエハに関するオンウエハ情報、チャンネル情報等の大量の測定用データを一括して測定用データ信号として送信するようにしてある。また、テスタ３における測定結果データはウエハの全てのチップの測定が終了した後、または複数のチップの測定が終了した後、チップの測定結果を一括して、または数チップ分纏めてテスタ３からプローブ装置２へ測定結果データ信号として送信するようにしてある。また、プローブ装置２及びテスタ３はイーサネット回線４を介してホストコンピュータ５に接続され、各ウエハの測定結果データを纏めて保存し、ウエハのデータ管理を行うようにしてある。
【発明の実施の形態】
以下、図１、図２に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のデータ通信システム１は、例えば図１に示すように、プローブ装置２のプローブ（図示せず）と被検査体であるウエハ（図３参照）とを電気的に接触させてテスタ３とウエハ間を導通してウエハの電気的特性を測定し、プローブ装置２とテスタ３間でイーサネット（登録商標）回線４を介してデータ通信を行う。即ち、本実施形態ではプローブ装置２とテスタ３はイーサネット回線４を介して接続され、測定前にイーサネット回線４を介してプローブ装置２からテスタ３へウエハに関するオンウエハ情報、チャンネル情報等の大量の測定用データを一括して測定用データ信号として送信するようにしてある。また、テスタ３における測定結果データはウエハの全てのチップの測定が終了した後、または複数のチップの測定が終了した後、チップの測定結果を一括して、または数チップ分纏めてテスタ３からプローブ装置２へ測定結果データ信号として送信するようにしてある。また、プローブ装置２及びテスタ３はイーサネット回線４を介してホストコンピュータ５に接続され、各ウエハの測定結果データを纏めて保存し、ウエハのデータ管理を行うようにしてある。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、被検査体の搬送時に被検査体に関するデータや測定結果データ等の大容量のデータを一括して高速で通信することができ、スループットの向上を図ることができるデータ通信方法及びデータ通信システムを提供することができる。
【発明の効果】
本発明によれば、被検査体の搬送時に被検査体に関するデータや測定結果データ等の大容量のデータを一括して高速で通信することができ、スループットの向上を図ることができるデータ通信方法及びデータ通信システムを提供することができる。
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| US09/703,716 US6490537B1 (en) | 1999-11-10 | 2000-11-02 | Data communication method and data communication system |
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|---|---|---|---|
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2000
- 2000-10-31 TW TW089122926A patent/TW492123B/zh not_active IP Right Cessation
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- 2005-12-15 KR KR1020050124129A patent/KR100676027B1/ko not_active IP Right Cessation
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