TW492123B - Data communication method and data communication system - Google Patents

Description

492123 五、發明說明（1 ) 相關申請案的交又參考 本案基於前案曰本專利申請案第11-3 19545號，申請 曰1999年11月1〇曰且請求該案之優先申請權，全體内容併 述於此以供參考。 發明背景 本發明係關於一種資料通訊方法以及一種資料通訊系 統。特別本發明係關於一種介於一探測裝置與一測試器間 做貪料通訊之資料通訊方法以及資料通訊系統。 一種半導體裝置製法中，大量晶片τ形成於一晶圓w 表面上，如第3圖所示。基於晶圓w上晶片τ之電氣特徵之 測試結果，晶片T經過篩選且分類成為良品以及故障品。 0式驗係使用探測裝置進行，例如如第4圖所示。第4圖中， 測试為20透過通訊線30連結至探測裝置丨〇。探測裝置1 〇中 ，晶圓w上之晶片τ電連結至測試器2〇，測試器2〇測試晶 片T之多種電氣特徵。 如第4圖所不，探測裝置丨〇包含一載荷腔室丨1用以進 給以及前置對正一晶圓W，以及探測腔室12用於接納來自 載荷腔室Η的晶圓W且測試其電氣特徵。於探測腔室12内 #，叹置一主卡盤13用以支持晶圓w，一對正機構14用以 對正晶圓w於預定位置以及—探測卡15。探測扣有多個 探頭丨5 A其將與晶圓W上的晶片τ的試驗電極作電接觸。 支持有已經對正的晶圓W之主卡盤！ 3藉指標進給於探測腔 室丨2内部。各個晶片Τ之電氣特徵係以各晶片或以數個晶 片為一單位於每個指標進給操作時測量。測試頭21設置於 艾利Φ關家鮮（CXS)A4規格（21Q χ挪公复了

4 五、發明說明（2) 探測腔室12之頭版16上。測試頭21係電連結至探測卡15。 —’I於&測裝置1G(更特別測試頭21)與測試器2〇間進行 貧枓通訊。例如探測裝置i G將測量f料信號傳輸至測試器 2〇刻° 曰不對置於主卡盤13上的晶圓W進行的測試種 類’例如晶片Τ於晶圓W上的位置座標，測量順序，一次 欲測試晶片數目的通道資訊，圖3之斜線區以内的故障晶 片數目（亦即媒需測試晶片數目）（後文稱作為「晶圓上資 訊」）以及測量開始信號。於測量各晶片丁之電氣特徵後，、 測試器20將測量結果資料連同測量結束信號—起傳輸至探 測裝置1 0。 發明簡述 如第4圖所示，測試頭21與測試器2〇透過Gp_iB介面 端子以及纜線（後文稱作為「GIMB線」）3G連結，他職 =尋常測量裝置所採用。前述資料例如晶圓上資訊、通道 錢以及測量結果資訊透過Gp__3〇介》測試頭Μ與測 試器20間傳輸。某些情況下，探測裝置10及測試器20透過 例如TTL介面以及纜線（後文稱作「TTL」）連結。 、《晶圓W直徑增加以及晶片τ集成密度的增高，產出量 愈：愈下降。此種情況下極為重要的必須提高測試速度。 目前-般使用的GP.IB線之優點為可—此傳輸大量資料。 但需要相當長傳輸時間且無法達成高速傳輸。因此產出量 的增加有限。特別每次以指標進給方式移位支持有晶圓的 2主卡盤時，一測量信號以及一測量開始信號需介於探測 衣置10與測試器2〇間傳輸。此外，於測量結束後， 492123 --------— Π7_____ 五、發明說明（3 ) 果貝Λ以及測1結束信號需介於探測裝置10與測試器20間 傳輸。當傳輸係透過他_3〇進行時例如需時〇·2至〇·3 &來傳輸測里仏说以及測量結果資料介於測試器與探測 、 】每'"人日日圓主卡盤以指標進給方式移位時即需要 如此長時間。由於此段時間故無法提昇產出量。相反地， TTL線適合用於高速資料傳輸，但傳輸資料量小（例如對 應於8哪伯的資料量）。如此無法傳輸多於㈣伯的資料。 本發明係針對解決前述問題以及以批次方式以高速傳 'J 1資料例如有關欲測試物件的全部測量資料以及測 量結果資料。 本^明之目的係提供一種可提升產出量之資料通訊方 法以及資料通訊系統。 根據本發明之特徵方面，提供一種資料通訊方法，該 =法係用於連結至一測試器之一探測裝置之資料通訊以及 置測多個欲測試物件之電氣特徵，該方法包含下列步驟： 、於進行物件電氣特徵之測試前，由探測裝置以成批方 式傳輸測量物件之電氣特徵需要的測量資料至測試器；及 於其中二或多個物件之電氣特徵已經測量後，以成批 方式傳輸其中二或多j固物件之測量結果資㈣測試器至探 測裝置。 此種資料通訊方法中，較佳測量資料以及測量結果資 料係透過乙太網路傳輸。 此種資料通訊方法中，較佳於測量二或多個物件之電 氣斗寸徵之动已及之後，透過TTL介面線以及GP-IB線中之 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、 發明說明（4 濟 智 α 局 f 泎 ΓΓ7 至少一者介於測試器與探測裝置間傳輸預定信號。 此等資料通訊方法中’較佳於其令二或多個物件之兩 乳特徵被測量前一測量開始信號由探測裝置透過TTL^ 面線：輸至測試器’以及於其中二或多個物件之電氣特徵 被測里後 # f結束信號由測試器透過TTL介面線傳於 至探測裝置。 根據本發明之另-特徵方面提供一種介於一探測裝置 與-測試器間之資料通訊系&，該資料通訊系統包含一網 路用以以成批方式由探測裝置傳輸測量多個欲測試物件之 電氣特徵需要的測量資料至測試器，以及以成批方式由測 試器傳輸多個物件之測量結果資料至探測裝置。 此種資料通訊方法中較佳網路為乙太網路。 車乂佳此等貧料通訊系統進一步包含HI介面線以及 Gp-m線中之至少—者，可於其中二或多個物件之電氣特 徵測量之前以及之後介於測試器與探測裝置間傳輸預定信 號。 較佳此等資料通訊系統進—步包含一丁1^介面線， 過該線於多個物件中二或多物件的電氣特徵被測量之前， -測量開始信冑由探測裝置傳輸至測試器；錢透過該線 於其中二或多個物件的電氣特徵被測量後，一測量結束信 號由測試器傳輸至探測裝置。 其他本兔明之目的及優點陳述於後文說明部分，部分 由說明中將顯然自明或可經由實施本發明而習得。本發明 之目的及優點可利用後文特別指出之儀器裝置及其組合 訂 線 透 實 殳纸張〈隻遠用φ S國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公复） 492123 -—---—-— --__________ 五、發明說明（5) 現與獲得。 圖式之簡單說明 附圖結合且構成本說明書的一部份，舉例說明目前較 佳之本發明之具體實施例連同前文概略說明以及後文之較 佳具體實施例之詳細說明用以解說本發明之原理。 第1圖說明根據本發明之具體實施例之資料通訊系統 之技術構想； 第2圖為流程圖說明使用第丨圖所示資料通訊系統之一 種資料通訊方法； 第3圖為視圖顯示其上形成多個1(：之一晶圓w ; 第4圖顯示習知探測裝置與測試器間之結構關係；以 及 第:> 圖說明根據本發明之另一具體實施例之資料通訊 系統之技術構想； 發明之詳細說明 現在參照第1及2圖基於一具體實施例說明本發明。 例如如第1圖所示，探測裝置之各個探頭（圖中未顯示） 係置於與欲測試物件（例如於半導體晶圓上的多個晶片（參 考第3圖））之各個電極做電接觸。此種狀態下，藉測試器3 測量各晶片之電氣特徵。根據本具體實施例之一種資料通 訊系統1中，探測裝置2與測試器3可透過乙太網路斗連結。 資料可透過乙太網路4介於探測裝置2與測試器3間傳輸/接 收。本具體實施例中，測量欲測試物件之電氣特徵需要的 大量測量資料（例如有關晶圓之晶片上資訊，通道資&訊）係 m ” 3，鮮（CXS)A,】規297 公爱 1------ —

-----------峰裝------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------Φ. 492123

成批由探測裝置2透過乙太網路4傳輸置測試器3。完成測 量晶圓上多個晶片之—或多者後，由測試器3所得測量社 果資料成批由測試器3送至探測裝置2。探測裝置2與測^ D可透過乙太網路4連結至主機電腦5。主機電腦5健存且 官晶圓之各個測試物件的全部測量結果資料。 探測裝置2以及測試器3可透過丁几線6連結。較小量 資料可透過TTL線6傳輸。例如於測量欲測試物件之電I 特徵前’測量Μ信號由探測裝置2送至測試器3。此7 於物件之電氣特徵測量後，測量結束信號由測試器3送至 探測裝置2。由於測量開始信號以及測量結束信號的資料 量小’故此等信號係透過TTL線6傳輸。 參照第5圖，現在說明本發明之另一具體實施例。 根據本具體實施例之資料通訊系統丨中，探測裝置2及 測試器3係透過乙太網路4連結。本具體實施例中大量測量 貝料（例如各晶圓的資料）係成批透過乙太網路4傳輸，此 種測量資料為測量欲測試物件之電氣特徵所需。於物件已 經被測量後或已經測量多個物件後，測試器3所得測量結 果貧料也透過乙太網路4成批由測試器3傳輸至探測裝置2 。棟測裝置2及測試器3係透過乙太網路4連結至主機電腦5 °主機電腦5儲存全部測試物件測量結果資料以及管理物 件（1C晶片）資料。 探測裝置2以及測試器3可透過TTL線6及GP-IB41連結 。各物件的較小量資料可透過TTL線傳輸。較大量資料可 透過GP-IB41傳輸。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --裝 --------訂· 線·

-H ·1 X ϋ ϋ —9 n _ 义（这'甲由a國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 五、發明說明（7) 現亡參照弟2圖之流程圖說明根據本發明之資料通訊 法之一具體實施例。預測試物件（例如晶圓）由載荷腔室 ^至探測腔室且至於探測腔室内部 資料（例如晶圓上資訊，通指咨 通迢貝矾）以高速成批由探測裝置 2透過乙太網路4傳輸至測試器3(步驟川。此段時間，曰 ^利用探測腔室内部的主卡盤以及對正機構對正接觸器= 仏頭。對正後’主卡盤朝向接觸器移動且接觸接觸器。進 -步’主卡盤升高至過驅位置’故接觸器探頭可以形成於 晶圓上的一或多個晶片(開始晶片)電極做電接觸。結果， 開始晶片與測試器3間透過探頭執行電傳導，以及開始曰 片設定於測量狀態（步驟S2)。探測裝置2以高速透過^ 線6發送測量開始信號至測試器3(步驟s3)。當接收到測量 開始信號時，測試器3基於測量資料測量物件的電氣特徵（ 步驟S4)。測量結果資料儲存㈣m||3内部之—記憶體。 測量後，測試器3以高速透過TTL線6發送測量結束偉號至 探測裝置2 (步驟S 5)。探測裝置2判定該被測量的晶片是。否 為最末者（步驟S6)。若非為最末者，晶圓藉主卡盤指標進 給（步驟S7)。 於指標進給後’探頭與次一晶片電極做電接觸以及重 複修至步驟S7之操作。於步料，若被測量的晶片 為最末晶片’則此事實由探測裝置2報告給測試器3。基於 來自探測裝置2的報告，測試器3將一晶圓的測量結果資料 成批透過乙太網路4送至探測裝置2 (步驟s 8)。㈣測裝置 2接收到測量結果資料後，主卡盤上的晶圓由探測腔^返 A7 B7 五、發明說明（ 回載荷腔室（步驟S9)。然後測量次—晶圓上的各個晶片。 广於測試期間基於測量結果 測試器3可於主卡盤的 ^Τα 則 得測量、_料二預…時，發送所 、1 根據此種程序，可即時來 成晶圓映射圖，可即時了解測試的進行以及所得士果 。若於測量期間停止裝置,然後恢復測量，恢復測量㈣第 —位置座標由探測裝置2報告至測試器3。 訂 士月J文》兄明’根據本發明測量資料（亦即測量所需 料^於測量操作前成批由探職置2透過乙太網路4送至 ^式3此外’—個晶圓的測量結果資料係成批由測試 ^3透過乙太網路4送至探測裝置2。、结果測量資料以及測 =結果資料係利用晶圓介於載荷腔室與探測腔室間轉運的 %間產生。此外，由於無須每次支持晶圓的主卡盤以指標 進給方式移位時即傳輸測量結果資料，故通訊時間縮短且 產出量增高。 線 經 部 智 i 5 根據本具體實施例，由於探測裝置2以及測試器3係透 過乙太網路4及TTL線6連結，故資料通訊系統可以低成本 建構。 前述具體實例中，探測裝置2以及測試器3係透過乙太 網路4及TTL線6連結。但本發明非僅限於此具體實施例， 若干其他LAN系統的網路迴路也適用於本發明。簡言之若 有所需本發明之結構元件可經修改。 本發明提供一種資料通訊方法以及一種資料通訊系統 ’其中大量資料例如測量資料以及測量結果資料可於測試 g 國家揉準（CN’S)A4 規格（21〇 χ 297 公釐） 11 492123 A7 五、發明說明（9 物件移轉至測量區段時成批以高速傳於 疋1寻輸因而可提升產出量 〇 其他優點及修改對業界人士顯然自明。因此本發明究 其廣義特徵方面並非限於此處顯示及敘述之特定細節以及 代表性具體實例。如此可未悖離由隨附之申請專利範圍及 其相當範圍界定之概略發明構想之精隨或範圍而做出多種 修改。 g 國家標準（C：\’S)A4 規格（210 X 297 12 ---------1 -----1—訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 492123 A7 B7 五、發明說明（10) 元件標號對照 1.. .貧料通訊糸統 2.. .控測裝置 3.. .測試器 4.. .乙太網路 5.. .主機電腦 6.. .TTL 線 10.. .探測裝置 11.. .載荷腔室 12.. .探測腔室 13.. .主卡盤 14.. .對正機構 1 5...探測卡 15A...探頭 16…頭板 20…測試器 21.. .測試頭 3 0...通訊線 41.. .GP-IB S1-9...步驟 T...IC晶片 W...晶圓 13 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 反::氏張<1適闬由國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）

Claims (1)

1. <1 :含5, i 苟 a 二 :土 rrj 申請專利範圍 1· :«料通訊方法’該方法係用於連結至一測試器之 广Ht料通訊以及量剛多個欲測試物件之電 氣特徵，該方法包含下列步驟： :、進仃物件包氣特徵之測試前，由探測裝置以成 式專輸測！物件之電氣特徵需要的測量 試器；及 、中一或夕個物件之電氣特徵已經測量後， ，批方式傳輸其中二或多個物件之測量結果資料由 試器至探測裝置。 1如申請專利範圍第1項之資料通訊方法，其中該測量 料以及測！結果資料係透過乙太網路傳輸。 3· 2請專利範圍第1項之f料通訊方法，其中較佳於測 或夕個物件之電氣特徵之前已及之後，透過丁丁【 Γ線以及GP.IB線中之至少—者介於測試器與探測 衣置間傳輸預定信號。 4.=申請專利範圍第2項之資料通訊方法，其中較佳於測 4 一或多個物件之雷翁姓 ‘ 虱特徵之則已及之後，透過TTL :面線以及GP_IB線中之至少—者介於測試器與探 衣置間傳輸預定信號。 ，·如申請專利範圍第1項之資料通訊方法，其中於其 f多個物件之電氣特徵被測量前，-測量開始信％ 仏測裝置透過TTL介面線傳輸至測試器，以及於其 二或多個物件之電氣特徵被測量後，一測量結束信 由測試ϋ透過TTL介面線傳輸至探測裝置。 rgipni ^ (CXS)A4 (210 X 297 )" 以 測 資 測 中二 號由 中 號 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · i線· 14

   、申請專利範圍 6·如申请專利範圍第2項之資料通訊方法，其中於其中二 或夕個物件之電氣特徵被測量前，一測量開始信號由 才木測裝置透過TTL介面線傳輸至測試器，以及於其中 二或多個物件之電氣特徵被測量後，一測量結束信號 由測試器透過TTL介面線傳輸至探測裝置。 7· —種介於一探測裝置與一測試器間之資料通訊系統， 该貧料通訊系統包含一網路用以以成批方式由探測裝 置傳輸測量多個欲測試物件之電氣特徵需要的測量資 料至測試器，以及以成批方式由測試器傳輸多個物件 之測量結果資料至探測裝置。 &如申請專利範圍第7項之資料通訊系、統，其中該網路為 乙太網路。 9·如申請專利範圍第7項之資料通訊系統，其中該網路 含丁丁 L介面線以及〇!>_1]3線中之至少一者，可於其中 或多個物件之電氣特徵測量之前以及之後介於測試 與探測裝置間傳輸預定信號。 10.如申請專利範圍第8項之資料通訊系統，其中該網路包 含TTL介面線以及gp-ib線中之至少一者，可於其中_ 或多個物件之電氣特徵測量之前以及之後介於測試^ 與探測裝置間傳輸預定信號。 & η·如申請專利範圍第7項之資料通訊系統，其中該網路包 含一 TTL介面線，透過該線於多個物件中二或多物I 的電氣特徵被測量之前，一測量開始信號由探剩裝件 傳輸至測試器；以及透過該線於其中二或多個物件 包 器 置 的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐）

   .訂丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 492123 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 電氣特徵被測量後 探測裝置。 測量結束信號由測試器傳輸至 -----------41^ 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財壹局m'工消费->泎，吐：.T; 夂纸張< t適用*國國家標準（CXSU4規格（210 X 297公釐） 16