JP2001118981A - マルチチップモジュール - Google Patents

マルチチップモジュール

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JP2001118981A
JP2001118981A JP29391599A JP29391599A JP2001118981A JP 2001118981 A JP2001118981 A JP 2001118981A JP 29391599 A JP29391599 A JP 29391599A JP 29391599 A JP29391599 A JP 29391599A JP 2001118981 A JP2001118981 A JP 2001118981A
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Teruya Maeta
輝也 前多
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベアチップ間のアイソレーションを十分に確
保しつつ小型化が可能なマルチチップモジュールを提供
する。 【解決手段】 基板1には、その表面1Aに2個のダイ
パッド2を離間して設けると共に、裏面にダイパッド2
に対向して2個のグランドパターンを配設し、ダイパッ
ド2とグランドパターンとはスルーホール4の導電性膜
4Aを通じて接続する。また、基板1の外周縁には複数
の端面スルーホール5を形成すると共に、端面スルーホ
ール5の周囲には表面電極6を形成する。そして、各ダ
イパッド2上には、ベアチップ8を接合すると共に、ベ
アチップ8の入出力端子はワイヤーボンディング9を通
じて表面電極6に接続する。また、各グランドパターン
は入出力信号の波長の4分の1の長さ寸法をもった接続
線路10によって相互に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に半導体集
積回路素子のベアチップが複数個実装されたマルチチッ
プモジュールに関して、特に高周波数の入出力信号を用
いる通信機器等に用いて好適なマルチチップモジュール
に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、データ伝送機器、移動体通信機
器のように高周波数の入出力信号を用いるマルチチップ
モジュールが知られている(例えば特開平6−1690
56号公報)。そして、従来技術によるマルチチップモ
ジュールは、基板と、該基板の表面側に設けられた複数
のダイパッドと、該ダイパッドと対向して前記基板の裏
面側に設けられた複数のグランドパターンと、前記基板
に貫通して設けられ前記ダイパッドとグランドパターン
とを電気的に接続するスルーホールと、前記複数のダイ
パッド上にそれぞれ搭載され半導体集積回路素子からな
る複数のベアチップとによって構成されている。
【0003】このように構成された従来技術によるマル
チチップモジュールは、各ベアチップが電極等を通じて
外部の機器に接続されている。そして、各ベアチップ
は、例えば送信用チップ、受信用チップとして用いら
れ、高速で動作すると共に、外部の機器との間で高周波
数の入出力信号を入出力するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、高周波数の入出力信号が入出力されるベア
チップ毎にグランドパターンを分離して設けている。こ
れにより、従来技術によるマルチチップモジュールで
は、各ベアチップ間で入出力信号が混信するのを防止し
ている。
【0005】しかし、グランドパターンを各ベアチップ
毎に分離した状態で設けた場合であっても、グランドパ
ターン間には静電容量を有することになるから、この静
電容量を通じて入出力信号が混信することがある。特
に、高周波数の入出力信号が入出力されるベアチップに
あっては、グランドパターン間のアイソレーションを確
保することが難しく、静電容量を通じて信号が漏洩、混
信し易くなるから、正確な信号伝達、信号処理ができな
いという問題がある。
【0006】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明の目的は、ベアチップ間のアイソ
レーションを十分に確保しつつ小型化が可能なマルチチ
ップモジュールを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明は、基板と、該基板の表面側に設けられ
た複数のダイパッドと、該ダイパッドと対向して前記基
板の裏面側に設けられた複数のグランドパターンと、前
記基板に貫通して設けられ前記ダイパッドとグランドパ
ターンとを電気的に接続するスルーホールと、前記複数
のダイパッド上にそれぞれ搭載された複数のベアチップ
とからなるマルチチップモジュールに適用される。
【0008】そして、請求項1の発明が採用する構成の
特徴は、各グランドパターンを、ベアチップに入出力さ
れる入出力信号の波長の4分の1の長さ寸法をもった接
続線路によって互いに接続したことにある。
【0009】このように構成したことにより、各グラン
ドパターンに接続された接続線路は、その終端が短絡し
ている状態になるから、入出力信号に対して各グランド
パターンのインピーダンスを無限大にすることができ
る。このため、各グランドパターンから入出力信号が漏
洩することがなくなり、グランドパターン間のアイソレ
ーションを向上することができる。
【0010】また、請求項2の発明は、各ダイパッド
を、ベアチップに入出力される信号の波長の4分の1の
長さ寸法をもった接続線路によって互いに接続したこと
にある。
【0011】この場合、各ダイパッドに接続された接続
線路は、その終端が短絡している状態になるから、入出
力信号に対して各ダイパッドのインピーダンスを無限大
にすることができる。このため、各ダイパッドとダイパ
ッドに接続されたグランドパターンとから入出力信号が
漏洩することがなくなり、グランドパターン間のアイソ
レーションを向上することができる。
【0012】さらに、請求項3の発明は、隣接する2個
のベアチップの間隔を入出力信号の波長の4分の1より
も狭い間隔に配置し、接続線路をベアチップ間に配置す
るために屈曲した形状に形成したことにある。
【0013】これにより、互いに隣接するベアチップの
間隔が入出力信号の波長の4分の1よりも狭いときで
も、このベアチップ間に入出力信号の波長の4分の1の
長さ寸法をもった接続線路を形成し、これらを接続する
ことができる。このため、ベアチップ間の間隔を狭める
ことによって、基板を小型化することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
マルチチップモジュールを図1ないし図7に基づき詳細
に説明する。
【0015】まず、図1ないし図5は本発明の第1の実
施の形態を示し、1は絶縁性樹脂材料からなる基板で、
該基板1は略四角形状に形成されている。また、基板1
は、その中央側には後述する2個のスルーホール4が形
成され、外周縁側には後述する複数の端面スルーホール
5が形成されている。
【0016】2,2は基板1の表面1A側に設けられた
ダイパッドで、該ダイパッド2は例えば縦方向に6m
m、横方向に3mm程度の寸法を有する長方形状の導電
性膜によって形成され、これらのダイパッド2間は例え
ば2mm程度の間隔をもって相互に離間している。そし
て、ダイパッド2は後述するグランドパターン3、ベア
チップ8に接続され、ベアチップ8を外部のアースに接
続するものである。
【0017】3,3はダイパッド2に対向して基板1の
裏面1B側に設けられたグランドパターンで、該グラン
ドパターン3は、ダイパッド2と同様に例えば縦方向に
6mm、横方向に3mm程度の寸法を有する長方形状の
導電性膜によって形成され、これらのグランドパターン
3間は例えば2mm程度の間隔をもって相互に離間して
いる。そして、グランドパターン3は、後述するスルー
ホール4を通じてダイパッド2に接続されると共に、外
部のアースに接続されるものである。
【0018】4,4はダイパッド2、グランドパターン
3の中央部に位置して基板1を貫通して設けられたスル
ーホールで、該スルーホール4は、例えば略円形状に開
口すると共に、その内周側に形成された導電性膜4Aを
通じてダイパッド2とグランドパターン3とを電気的に
接続している。
【0019】5,5,…は基板1の外周縁に凹湾曲状を
なして設けられた端面スルーホールで、該端面スルーホ
ール5は、基板1の厚さ方向に貫通すると共に、基板1
の表面1Aと裏面1Bとに略半円形状の開口を形成して
いる。また、基板1の表面1Aと裏面1Bとには、端面
スルーホール5の開口周辺に位置して表面電極6、裏面
電極7とが形成されている。そして、これらの表面電極
6と裏面電極7とは、端面スルーホール5の表面に形成
された導電性膜5Aを通じて電気的に接続されている。
また、裏面電極7は、実装基板(図示せず)に半田付け
等の接合手段によって接合され、マルチチップモジュー
ルを実装基板上に固定するものである。
【0020】8,8は各ダイパッド2上に搭載された半
導体集積回路素子からなるベアチップで、該ベアチップ
8は、ダイパッド2、グランドパターン3を通じて接地
されている。また、ベアチップ8は、その入出力端子が
ワイヤーボンディング9によって表面電極6に接続され
ている。これにより、ベアチップ8は、表面電極6、裏
面電極7を通じて実装基板に電気的に接続され、外部の
機器との間で例えば中心周波数が9GHz程度の高周波
数の入出力信号を入出力するものである。
【0021】10は基板1の裏面1Bに設けられ2つの
グランドパターン3間を電気的に接続する接続線路で、
該接続線路10は、2つのグランドパターン3間に位置
してクランク状に屈曲した形状をなし、その両端側がグ
ランドパターン3に接続されている。
【0022】また、該接続線路10は、ベアチップ8に
入出力される入出力信号の波長の4分の1の長さ寸法を
有している。このため、ベアチップ8の入出力信号の周
波数が例えば9GHz程度であるときには、接続線路1
0の長さ寸法は例えば6.8mm程度に設定されてい
る。
【0023】ここで、9GHzの入出力信号が真空中を
伝搬するときには、その波長は33.3mm程度となる
から、波長の4分の1の長さ寸法は8.3mm程度とな
る。しかし、基板1に設けられた接続線路10を伝搬す
る入出力信号は、基板1の誘電率、接続線路10周囲の
静電容量等の影響を複雑に受け、真空中を伝搬するとき
に比べてその波長が短くなっている。このため、接続線
路10の長さ寸法は、これらの影響を考慮するためにコ
ンピュータを用いた電磁界解析手法に基づき決定され、
真空中よりも短い値として6.8mm程度に設定されて
いる。なお、接続線路10の幅寸法は例えば0.1mm
程度に設定されるものである。
【0024】本実施の形態によるマルチチップモジュー
ルは上述の如く構成されるものであり、このマルチチッ
プモジュールを例えば移動体通信機器の送受信用に用い
たときには、各ベアチップ8は、音声等の信号波によっ
て移動体通信用の高周波数の搬送波を変調し、入出力信
号として外部に送信すると共に、外部から受信した高周
波数の変調波を入出力信号として入力し、この変調波か
ら音声等の信号波を復調するものである。
【0025】しかし、本実施の形態によるマルチチップ
モジュールは、2つのグランドパターン3間を接続線路
10によって接続している。このため、各グランドパタ
ーン3からみたときに接続線路10の終端を短絡してい
ることになるから、例えば9GHzの入出力信号に対し
て各グランドパターン3のインピーダンスを無限大にす
ることができる。
【0026】この結果、各グランドパターン3から入出
力信号が漏洩することがなくなり、グランドパターン3
間のアイソレーションを向上することができる。即ち、
接続線路10を設けないときを比較例とし、基板の比誘
電率を3.8、基板の厚さ寸法を0.4mmとした場合
を考える。
【0027】この比較例の場合、グランドパターン3間
のアイソレーションは、図5中に破線で示す特性線Aの
ように、ベアチップ8に入出力される入出力信号の周波
数が7〜15GHzでは、−15dB〜0dB程度のア
イソレーションしか確保することができない。
【0028】これに対し、本実施の形態では、2つのグ
ランドパターン3間を接続線路10によって接続したた
め、図5中に実線で示す特性線Bのように入出力信号が
9GHz付近では、−30dB程度のアイソレーション
を確保することができる。これにより、入出力信号が9
GHz付近では18dB程度のアイソレーションを改善
することができ、グランドパターン3間の入出力信号の
混信を防止し、マルチチップモジュールの信頼性を向上
することができる。
【0029】また、グランドパターン3間を接続線路1
0によって接続することにより、グランドパターン3間
のアイソレーションを向上することができるから、グラ
ンドパターン3間の間隔を拡げることなくこれらの間の
アイソレーションを確保することができる。このため、
グランドパターン3を従来技術によるものに比べて接近
させることが可能となり、マルチチップモジュールを小
型化することができる。
【0030】さらに、隣接する2個のベアチップ8の間
隔を入出力信号の波長の4分の1よりも狭い間隔に配置
し、接続線路10をこのベアチップ8間に配置するため
に屈曲した形状に形成したから、ベアチップ8に対応し
て設けられたダイパッド2、グランドパターン3間の間
隔が入出力信号の波長の4分の1よりも狭いときであっ
ても、所望の長さ寸法をもった接続線路10によってグ
ランドパターン3間を接続することができる。
【0031】即ち、隣接する2個のベアチップ8の間隔
を入出力信号の波長の4分の1よりも狭い例えば2〜4
mm程度の間隔に配置し、接続線路10の線路長をベア
チップ8の間隔よりも長い例えば6.8mm程度に設定
しても、この接続線路10をベアチップ8間に収容する
ことができる。
【0032】また、接続線路10をクランク状に屈曲し
た形状に形成したから、入出力信号の波長の4分の1よ
りも狭い例えば2mmの間隔をもって配置したグランド
パターン3間に長さ寸法が6.8mmの接続線路10を
収容することができる。このため、グランドパターン3
間に接続線路10を配置した状態であってもグランドパ
ターン3間の間隔を狭めることができ、基板1を小型化
することができる。
【0033】次に、図6は本発明の第2の実施の形態を
示し、本実施の形態の特徴は、グランドパターンに代え
てダイパッド間を接続線路によって接続したことにあ
る。なお、本実施の形態では、前記第1の実施の形態と
同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略す
るものとする。
【0034】21は基板1の表面1Aに設けられ2つの
ダイパッド2間を電気的に接続する接続線路で、該接続
線路21は、2つのダイパッド2間に位置してクランク
状に屈曲した形状をなし、その両端側がダイパッド2に
接続されている。そして、接続線路21の長さ寸法は、
接続線路10と同様にベアチップ8に入出力される入出
力信号の波長の4分の1に設定するものである。
【0035】かくして、このように構成された本実施の
形態でも、ダイパッド2とグランドパターン3とがスル
ーホール4によって接続されているから、前記第1の実
施の形態と同様の作用効果を有するものである。
【0036】なお、前記各実施の形態では、ベアチップ
8を2個実装するマルチチップモジュールを例に挙げて
説明したが、図7に示す変形例のようにベアチップ8が
3個実装されるマルチチップモジュールに本発明を適用
してもよく、4個以上のベアチップ8が実装されるマル
チチップモジュールに適用してもよい。この場合、隣接
するベアチップ8のダイパッド2間を接続線路31によ
って接続すればよい。即ち、図7中で左右両端側に設け
られたダイパッド2間は間隔が十分に離れているため、
アイソレーションが十分に確保されている。このため、
図7中で左右両端側に設けられたダイパッド2間は接続
線路31によって接続する必要がないものである。
【0037】
【発明の効果】以上詳述した通り、請求項1の発明によ
れば、各グランドパターンをベアチップに入出力される
入出力信号の波長の4分の1の長さ寸法をもった接続線
路によって互いに接続したから、各グランドパターンに
接続された接続線路は、その終端が電気的に短絡してい
る状態になる。このため、入出力信号に対して各グラン
ドパターンのインピーダンスを無限大にすることができ
るから、各グランドパターンから入出力信号が漏洩する
ことがなくなり、各グランドパターン間のアイソレーシ
ョンを向上することができる。この結果、各ベアチップ
間で入出力信号が混信することがなくなるから、マルチ
チップモジュールの信頼性を向上することができる。
【0038】また、請求項2の発明によれば、各ダイパ
ッドをベアチップに入出力される入出力信号の波長の4
分の1の長さ寸法をもった接続線路によって互いに接続
したから、各ダイパッドに接続された接続線路は、その
終端が短絡している状態になる。このため、入出力信号
に対して各ダイパッドのインピーダンスを無限大にする
ことができるから、各ダイパッドとダイパッドに接続さ
れたグランドパターンとから入出力信号が漏洩すること
がなくなり、各ダイパッド上に搭載されたベアチップ間
のアイソレーションを向上することができる。
【0039】さらに、請求項3の発明によれば、隣接す
る2個のベアチップの間隔を入出力信号の波長の4分の
1よりも狭い間隔に配置し、接続線路をこのベアチップ
間に配置するために屈曲した形状に形成したから、ベア
チップ間の間隔が狭いときでも、これらの間に入出力信
号の波長の4分の1の長さ寸法をもった接続線路を形成
することができる。このため、ベアチップ間の間隔、さ
らにはダイパッド、グランドパターン間の間隔を狭める
ことができるから、基板を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態によるマルチチップ
モジュールを示す斜視図である。
【図2】第1の実施の形態によるマルチチップモジュー
ルを示す平面図である。
【図3】図2中の矢示 III−III 方向からみたマルチチ
ップモジュールを示す断面図である。
【図4】第1の実施の形態によるマルチチップモジュー
ルを示す底面図である。
【図5】入出力信号の周波数とグランドパターン間のア
イソレーションとの関係を示す特性線図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態によるマルチチップ
モジュールを示す平面図である。
【図7】本発明の変形例によるマルチチップモジュール
を示す平面図である。
【符号の説明】
1 基板 2 ダイパッド 3 グランドパターン 4 スルーホール 8 ベアチップ 10,21,31 接続線路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、該基板の表面側に設けられた複
    数のダイパッドと、該ダイパッドと対向して前記基板の
    裏面側に設けられた複数のグランドパターンと、前記基
    板に貫通して設けられ前記ダイパッドとグランドパター
    ンとを電気的に接続するスルーホールと、前記複数のダ
    イパッド上にそれぞれ搭載された複数のベアチップとか
    らなるマルチチップモジュールにおいて、 前記各グランドパターンは、ベアチップに入出力される
    入出力信号の波長の4分の1の長さ寸法をもった接続線
    路によって互いに接続したことを特徴とするマルチチッ
    プモジュール。
  2. 【請求項2】 基板と、該基板の表面側に設けられた複
    数のダイパッドと、該ダイパッドと対向して前記基板の
    裏面側に設けられた複数のグランドパターンと、前記基
    板に貫通して設けられ前記ダイパッドとグランドパター
    ンとを電気的に接続するスルーホールと、前記複数のダ
    イパッド上にそれぞれ搭載された複数のベアチップとか
    らなるマルチチップモジュールにおいて、 前記各ダイパッドは、ベアチップに入出力される入出力
    信号の波長の4分の1の長さ寸法をもった接続線路によ
    って互いに接続したことを特徴とするマルチチップモジ
    ュール。
  3. 【請求項3】 前記隣接する2個のベアチップの間隔は
    入出力信号の波長の4分の1よりも狭い間隔に配置し、
    前記接続線路は前記ベアチップ間に配置するために屈曲
    した形状に形成してなる請求項1または2に記載のマル
    チチップモジュール。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009238937A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 New Japan Radio Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
CN111128961A (zh) * 2018-10-30 2020-05-08 精材科技股份有限公司 晶片封装体与电源模组

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