JP2002050733A - 高周波用パッケージ、配線ボードおよび高周波モジュール - Google Patents

高周波用パッケージ、配線ボードおよび高周波モジュール

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JP2002050733A
JP2002050733A JP2000231742A JP2000231742A JP2002050733A JP 2002050733 A JP2002050733 A JP 2002050733A JP 2000231742 A JP2000231742 A JP 2000231742A JP 2000231742 A JP2000231742 A JP 2000231742A JP 2002050733 A JP2002050733 A JP 2002050733A
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frequency
package
wiring board
board
dielectric
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Shinichi Koriyama
慎一 郡山
Kenji Kitazawa
謙治 北澤
Naoyuki Shino
直行 志野
Hidehiro Nanjiyou
英博 南上
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Kyocera Corp
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

Landscapes

  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】高周波素子を個々にパッケージに収納し、それ
らを配線ボード上に実装してなるアイソレーション特性
に優れた高周波モジュール得る。 【解決手段】誘電体ボード16表面に配線回路層17が
形成された配線ボードa表面に、高周波素子2を搭載し
た高周波用パッケージbを搭載し、配線回路層17とパ
ッケージbに設けられた入力端子12aおよび出力端子
12bを接続することによって高周波用パッケージbを
配線ボードaに実装してなる高周波モジュールAにおい
て、モジュールAが、高周波的に複数の区域に分断され
ており、その分断境界線Lが少なくとも配線ボードa上
に実装された少なくとも1つの高周波用パッケージb1
に設けられた入力端子12aと出力端子12bとの間を
横切るように設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波素子を搭載
するための高周波用パッケージ、これを実装するための
配線ボードおよび、前記高周波用パッケージを前記配線
ボードに実装した高周波モジュールに関するものであ
り、特に信号の周波数が10GHz以上の高周波信号を
取り扱う場合におけるアイソレーション性を向上させる
ための改良に関するものである。
【0002】
【従来技術】近年、高度情報化時代を迎え、情報伝達に
用いられる電波は1〜30GHzのマイクロ波領域か
ら、更に30〜300GHzのミリ波領域の周波数まで
活用することが検討されており、例えば、車間レーダー
のようなミリ波の電波を用いた応用システムも提案され
るようになっている。
【0003】このようなモジュール構造としては、従来
は、1つの絶縁基板の表面にすべての高周波素子を実装
して、それらを一括して気密封止するマルチチップ型モ
ジュールが主流であった。
【0004】図8は、従来のマルチチップ型モジュール
を示す平面図(a)とその断面図(b)である。なお、
図8(a)では蓋体は省略した。図3によれば、マルチ
チップ型モジュール31は、絶縁基板32、金属製枠体
33、金属製蓋体34とその内部に実装された複数の高
周波素子35からなっている。それぞれの高周波素子3
5は絶縁基板32表面に形成された高周波線路36とワ
イヤーボンディング等によって接続されている。
【0005】また、送信部のように大信号を取り扱う部
分と、受信部のように小信号を取り扱う部分を1つのモ
ジュールに組み込む場合、図8に示したようにそれぞれ
を高周波的に隔離するために、高周波素子と高周波素子
と接続する高周波線路36を跨ぐようにシールド板37
が設けられており、このシールド板37は金属製枠体3
3に一体的に設けられている。
【0006】このようなマルチチップ型モジュールにお
いては、必要な高周波回路を1つの配線基板に構成する
ためにサイズが大きくなってしまい、配線基板の反り
や、枠体、蓋体の変形等により気密封止の歩留まりに問
題があった。
【0007】このような問題を解消する1つの方法とし
ては、高周波素子を個々に小型のパッケージに気密封止
し、それらを配線ボードにそれぞれ実装してモジュール
を構成することが考えられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、信号周
波数が10GHz以上の高周波になると、高周波素子を
個別にパッケージに収納しそれを配線ボードに実装して
なるモジュールにおいては、アイソレーションを高める
ための具体的な構造については提案されていない。そこ
で、従来のマルチチップ型モジュールでのアイソレーシ
ョン性を高めるための構造を適用し、パッケージとパッ
ケージとの間の配線ボード上の配線回路層を跨ぐように
シールド板を形成することによってある程度のアイソレ
ーション性を有する。
【0009】しかしながら、シールド板と配線回路層間
には間隙が形成されているために、この間隙を信号がも
れないように、信号波長長さの1/4未満とすることが
望まれるが、高周波領域ではその隙間を非常に小さくす
ることが必要となるが、マイクロストリップ線路などか
らなる配線回路層の表面の近傍にシールド板を設ける
と、マイクロストリップ線路のモードが変化してしま
い、伝送特性に影響をオ耐えるおそれがあった。
【0010】従って、本発明は、高周波素子を個々にパ
ッケージに収納し、それらを配線ボード上に実装してな
る高周波モジュールに適し、モジュールにおけるアイソ
レーション特性を良好にできる高周波用パッケージおよ
び配線ボードを提供するとともに、それらを用いてアイ
ソレーション特性に優れた高周波モジュールを提供する
ことを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
に鑑み検討を重ねた結果、高周波素子を個々にパッケー
ジに収納し、それらを配線ボード上に実装してなる高周
波モジュールにおけるアイソレーションについて検討を
重ねた結果、配線ボード上に実装された少なくとも1つ
のパッケージの入力端子と出力端子を分断するように、
シールド板やスルーホール導体などを設けることによっ
てモジュールのアイソレーション特性を確保できること
を見いだし本発明に至った。
【0012】即ち、本発明の高周波用パッケージは、誘
電体基板と、前記誘電体基板とともにキャビティを形成
しており、そのキャビティ内の誘電体基板表面に搭載さ
れる高周波素子を気密に封止するための導電性蓋体と、
外部回路と接続するための入力端子および出力端子と、
前記端子と高周波素子と接続するために誘電体基板の内
部および/または表面に形成された配線回路層とを具備
してなるものであって、前記入力端子と前記出力端子と
を高周波的に分断してなることを特徴とするものであ
る。
【0013】なお、高周波的に分断する具体的な構造と
しては、前記誘電体基板の前記分断境界線上に、前記基
板内部に複数のスルーホール導体を互いに信号波長長さ
の1/4未満の隙間をもって一列に配設することが簡単
でかつ容易であり、端子間のアイソレーション性を高め
ることができる。
【0014】また、本発明の配線ボードは、誘電体ボー
ドの表面に配線回路層が形成されてなり、前記配線回路
層に対して、高周波素子を搭載した高周波用パッケージ
に設けられた入力端子および出力端子を接続することに
よって、前記高周波用パッケージを実装する実装部を設
けてなるものであって、この配線ボードが、高周波的に
複数の区域に分断されており、その分断境界線が配線ボ
ード上の少なくとも1つの高周波用パッケージ実装部に
おける入力端子との接続部と出力端子との接続部との間
を分断していることを特徴とするものである。
【0015】なお、高周波的に分断する具体的な構造と
しては、前記誘電体ボードの前記分断境界線上に、複数
のスルーホール導体を、互いに信号波長長さの1/4未
満の隙間をもって一列に配設することが簡単で容易であ
ることから望ましい。また、前記誘電体ボードのパッケ
ージ実装表面の反対側表面、あるいは誘電体ボードの内
部にグランド層が形成されてなり、前記スルーホール導
体が、実装表面から前記グランド層にまで伸びて形成さ
れていることが望ましい。
【0016】さらに、本発明の高周波モジュールは、誘
電体ボード表面に配線回路層が形成された配線ボード表
面に、高周波素子を搭載した高周波用パッケージを搭載
し、前記配線回路層とパッケージに設けられた入力端子
および出力端子を接続することによって、前記高周波用
パッケージを配線ボードに実装してなるものであって、
高周波モジュールが、高周波的に複数の区域に分断され
ており、その分断境界線が少なくとも配線ボード上に実
装された少なくとも1つの高周波用パッケージに設けら
れた入力端子と出力端子との間を横切っていること特徴
とするものである。
【0017】望ましくは、前記高周波用パッケージおよ
び配線ボードは、いずれも入力端子と出力端子とが高周
波的に分断された構造の前述したパッケージ、および前
述した配線ボードであることが望ましい。
【0018】また、このモジュールにおいては、前記分
断境界線上に沿って、前記誘電体ボード表面から垂直方
向にシールド板を設けることによって3次元的空間領域
まで分断することができ、アイソレーション性をさらに
高めることができる。
【0019】なお、このシールド板は、分断されたパッ
ケージの外表面と、信号波長長さの1/4未満の間隙
で、または導電性接着剤によって相互に接合してなるこ
とが望ましい。そして、前記高周波用パッケージにおけ
る分断境界線上に配設されたスルーホール導体と、前記
配線ボードにおける分断境界線上に配設されたスルーホ
ール導体とを互いに電気的に接続することが望ましい。
【0020】本発明によれば、上記のように高周波モジ
ュールを高周波的に少なくとも2つの区域に分断すると
ともに、その分断境界線を配線ボード上に実装されたパ
ッケージにおける入出力端子間を横切るように設定する
ことにより、分断境界をパッケージを横切るように設け
ることによって、パッケージ内を通過する高周波信号の
みが分断境界線を超えることができ、不要な高周波信号
は、シールド構造によってシールドされる結果、モジュ
ールのアイソレーション性を高めることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】本発明の高周波モジュールを図面
に基づき詳述する。図1は、本発明の高周波モジュール
の一例を説明するための概略平面図であり、図2は図1
のx−x断面図である。図1、図2において、本発明の
高周波モジュールAによれば、配線ボードaの表面に
は、複数の高周波用パッケージbが搭載されている。
【0022】そのうち、パッケージb1内には、高周波
発振素子1が気密に封止されており、高周波発振デバイ
ス2を構成している。この高周波発振デバイス2は、左
右に高周波信号を供給している。なお、高周波発振デバ
イス2の左側は受信回路であって、各素子をパッケージ
b2、b3、b4に気密に封止してなるバッファーアン
プ3、ミキサ4およびローノイズアンプ5に順次接続さ
れている。
【0023】次に、高周波用パッケージbの典型的な構
造を図3の概略断面図に示した。高周波用パッケージb
の誘電体材料からなる誘電体基板7の表面には、接着剤
8によって導電性蓋体9が接合されており、誘電体基板
7とその導電性蓋体9によってキャビティ10が形成さ
れている。そして、このキャビティ10内における誘電
体基板7表面には、高周波素子(高周波発振素子)1と
接続される配線層11が被着形成されており、この配線
層11に対して高周波素子1がワイヤ等によって接続さ
れている。また、この誘電体基板7の裏面には、外部回
路と接続するための入力端子12aと出力端子12bと
が設けられている。また、誘電体基板7内には、グラン
ド層13が形成されており、このグランド層13と配線
層11によってマイクロストリップ線路が形成されてい
る。そして、この入力端子12a、出力端子12bは、
グランド層13と非接触状態のスルーホール導体14に
よって配線層11と接続されている。その結果、入力端
子12a、出力端子12bは、スルーホール導体14お
よび配線層11を経由して高周波素子1と電気的に接続
されている。
【0024】また、この誘電体基板7のキャビティ10
を形成している枠体内には、グランド層13と導電性蓋
体9とを電気的に接続するスルーホール導体15がキャ
ビティ10の周囲の枠体内に互いに信号波長長さの1/
4未満の隙間をもって設けられている。かかる構成によ
れば、キャビティ10は、導電性蓋体9、スルーホール
導体15、およびグランド層13によって高周波的に完
全に隔離されている。
【0025】一方、配線ボードaは、図1、図2に示す
ように、誘電体ボード16の表面に配線回路層17が形
成され、また誘電体ボード16の内部にはグランド層1
8が形成されており、マイクロストリップ線路を形成し
ている。この配線回路層17には、各パッケージの入力
端子12a、出力端子12bと接続される端子19a、
19bを有する実装部が設けられており、この端子19
a、19b形成部にパッケージb1〜b5が実装されて
いる。
【0026】上記図1、図2の高周波モジュールAによ
れば、高周波発振デバイス2から左右に高周波信号を供
給しており、高周波発振デバイス2の左側は受信回路を
構成している。また、ローノイズアンプ5では、外部ア
ンテナ(図示せず)で受信した微弱な信号が増幅され、
ミキサ4へと接続され、ミキサ4では、ローノイズアン
プ5から入出力された受信信号と、高周波発振デバイス
2から発振された発振信号とを混合し、中間周波信号を
生成している。
【0027】一方、発振デバイス2より右側は送信回路
で、発振デバイス2から供給された高周波信号をハイパ
ワーアンプ6で増幅し、外部の送信アンテナに信号を供
給している。
【0028】上記の高周波モジュールによれば、この送
信回路のハイパワーアンプ6から外部の送信アンテナま
では比較的大きな高周波信号が伝送されるが、送信回路
の送信信号が受信回路に侵入すると受信回路が誤動作を
起こすため、送信回路と受信回路は、高周波的に分断す
ることが望ましい。
【0029】そこで、本発明によれば、図1に示すよう
に、送信回路と受信回路とを高周波的に分断されてお
り、その分断境界線Lは、配線ボードa上に実装される
高周波パッケージbのうちの少なくとも1つのパッケー
ジを横切るように設定されている。具体的には、図1の
高周波モジュールAにおいては、高周波発振デバイス2
を構成する高周波パッケージb1を横切るように設定さ
れている。即ち、この分断境界線Lは、パッケージb1
の入力端子12aと出力端子12bとの間を横切ってい
る。
【0030】そして、本発明によれば、高周波モジュー
ルAにおける分断境界線L上に沿って、配線ボードaの
表面には、図4の配線ボードaの平面図にも示される通
り、パッケージbの実装部以外の領域には、導体帯20
が被着形成されており、この導体帯20には、導電性材
料からなるシールド板21が、配線ボードaの表面から
垂直方向に接着剤22によって取り付けられている。
【0031】また、このシールド板21のパッケージb
1搭載部では、図5の図1におけるy−y断面図に示す
ように、高周波パッケージb1の外表面となる導電性蓋
体9や誘電体基板7との隙間が信号波長長さの1/4未
満となるように、パッケージb1の外表面形状に整合し
た切欠き部23が設けられており、この隙間には適宜、
接着剤24が充填されている。
【0032】このように、配線ボードaの表面およびこ
のボードa表面に実装された高周波パッケージbの表面
における上部空間は、シールド板21によって高周波的
に分断されている。
【0033】また、この分断境界線Lが横切る高周波パ
ッケージb1の内部構造について、図5、図6のパッケ
ージにおける誘電体基板の裏面のパターン図をもとに説
明する。この図5、6に示される通り、パッケージb1
の誘電体基板7内のグランド層13の下方には、分断境
界線Lに沿って、誘電体基板7のグランド層13から誘
電体基板裏面に貫通するスルーホール導体25が互いに
信号波長長さの1/4未満の隙間をもって一列に複数個
設けられている。また、誘電体基板7の裏面には、図6
に示すように導体パッド26が設けられており、スルー
ホール導体25は導体パッド26とそれぞれ電気的に接
続されている。これによって、パッケージb1内の誘電
体基板7内はスルーホール導体25によって高周波的に
分断されている。
【0034】一方、配線ボードaの誘電体ボード16に
は、分断境界線Lに沿って、図4および図5に示すよう
に、パッケージb1実装部を横切るように、スルーホー
ル導体27が互いに信号波長長さの1/4未満の隙間を
もって一列に複数個設けられている。また、誘電体ボー
ド16の表面には導体パッド28が設けられており、ス
ルーホール導体27は導体パッド28とそれぞれ電気的
に接続されている。また、スルーホール導体27の他端
は、誘電体ボード16内のグランド層18と電気的に接
続されている。かかる構造によって、配線ボードa内
は、分断境界線Lに沿ってスルーホール導体27によっ
て高周波的に分断されている。
【0035】また、配線ボードaの表面に実装されたパ
ッケージb1と、配線ボードaの端子19a、19bと
は、パッケージb1の入力端子12a、12bと半田な
どの導電性接着剤29によって電気的に接続されてい
る。それと同時に、パッケージb1の誘電体基板7の裏
面に形成された導体パッド26と、配線ボードa表面の
導体パッド28も半田などの導電性接着剤29によって
電気的に接続されている。これによって、パッケージb
1と配線ボードaとの隙間もこの導体パッド26、28
間を接続する導電性接着剤29によって高周波的に分断
されている。
【0036】一般に、不要信号の漏れは、空間や基板内
を介した直接結合で生じるが、上記のように、図1〜図
6の高周波モジュールにおいて、受信回路と送信回路の
境界に位置する配線ボードa上に実装された高周波パッ
ケージb1の入力端子12a、出力端子12b間を横切
るようにシールド板21や、パッケージb1内のスルー
ホール導体25や、配線ボードa内のスルーホール導体
27、およびパッケージb1と配線ボードa間の導電性
接着剤29によって高周波的に分断することによって、
必要な高周波信号をパッケージb1内のキャビティ10
内のみを伝送するように構成することができ、不要信号
はキャビティ10以外の領域においてすべて遮断するこ
とが可能になるために、高周波モジュールA内のアイソ
レーションを高いレベルで確保することができる。
【0037】これまでの図1乃至図6では、配線ボード
aの表面に形成された配線回路層17に対してパッケー
ジの端子12を導電性接着剤29によって接続し、実装
してなる表面実装型の高周波モジュールについて説明し
たが、本発明の高周波モジュールは、パッケージを配線
ボードの配線層にワイヤーボンディングで接続するワイ
ヤボンディング型モジュールへも適応可能である。
【0038】なお、上記例では、高周波モジュール表面
に垂直方向に取付けられるシールド板21は、高周波モ
ジュールAの配線ボードa上、またはパッケージb1の
外表面に接着されたものであったが、このシールド板2
1は、モジュールに対して取り付けるのみならず、例え
ば、図7に示すように、モジュールAを収納する導電性
筐体30に一体的にシールド板21を取付け、そのシー
ルド板21の先端が、高周波モジュールAの配線ボード
aの表面の導体帯20や、パッケージb1の外表面と、
導電性接着剤22で接着するか、あるいは信号波長長さ
の1/4長さ未満となる間隔をもって取り付けることに
よってもシールド板21の効果を発揮することができ
る。この図7では、配線ボードa’の表面に、キャビテ
ィ10を形成する壁体内を配線層11が透過したフィー
ドスルー型パッケージc1〜c4を実装したモジュール
Bである。また、パッケージc1〜c4は、配線ボード
a’のグランド層18の表面に接着固定されており、分
断されるパッケージc1内のグランド層13とスルーホ
ール導体25によって電気的に接続されている。
【0039】また、図1〜図6の例では、受信回路と送
信回路とを分断するように高周波的に分断境界線Lを設
定したが、高周波モジュールにおいては、分断境界線L
は、各チャンネル間、高周波回路と中間周波回路との間
などの種々の目的に応じて所定の境界線で設けることが
できる。その場合においても実装されたパッケージの少
なくとも1つを横切るように境界線を設定することによ
って本発明の効果が発揮できる。
【0040】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の高周波モジ
ュールによれば、高周波モジュール内を高周波的に分断
するにあたり、実装された高周波パッケージのうちの1
つのパッケージに設けられた入力端子と出力端子との間
を横切るように設けることによって、容易に良好なアイ
ソレーション特性を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の高周波モジュールの一例を説明するた
めの概略平面図である。
【図2】図1の高周波モジュールにおけるx−x断面図
である。
【図3】図1の高周波モジュールにおいて実装されてい
る高周波パッケージの典型的構造を説明するための概略
断面図である。
【図4】図1の高周波モジュールにおける配線ボードの
概略平面図である。
【図5】図1の高周波モジュールにおける分断された高
周波パッケージにおける分断境界線Lに沿った概略断面
図である。
【図6】分断された高周波パッケージにおける誘電体基
板の裏面の平面図である。
【図7】本発明の高周波モジュールにおける他の構造を
説明するための概略断面図である。
【図8】従来のマルチチップ型モジュールを示す(a)
平面図と、(b)概略断面図である。
【符号の説明】
A 高周波モジュール a 配線ボード b 高周波用パッケージ 1 高周波素子 16 誘電体ボード 17 配線回路層 12a 入力端子 12b 出力端子 L 分断境界線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 1/18 H01L 23/52 D (72)発明者 南上 英博 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ株 式会社総合研究所内 Fターム(参考) 5E336 AA04 AA08 AA11 BB03 BB14 BC01 BC15 BC26 BC34 CC31 CC51 DD28 DD39 GG11 5E338 AA03 AA11 BB02 BB25 BB75 CC02 CC06 CD11 CD40 EE13

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】誘電体基板と、前記誘電体基板とともにキ
    ャビティを形成しており、そのキャビティ内の誘電体基
    板表面に搭載される高周波素子を気密に封止するための
    導電性蓋体と、外部回路と接続するための入力端子およ
    び出力端子と、前記各端子と高周波素子と接続するため
    に誘電体基板の内部および/または表面に形成された配
    線回路層とを具備してなり、前記入力端子と出力端子と
    を高周波的に分断してなることを特徴とする高周波用パ
    ッケージ。
  2. 【請求項2】前記誘電体基板における分断境界線上に、
    複数のスルーホール導体を互いに信号波長長さの1/4
    未満の隙間をもって一列に配設してなることを特徴とす
    る請求項1記載の高周波用パッケージ。
  3. 【請求項3】誘電体ボードの表面に配線回路層が形成さ
    れてなり、前記配線回路層に対して、高周波素子を搭載
    した高周波用パッケージに設けられた入力端子および出
    力端子を接続することによって、前記高周波用パッケー
    ジを実装する実装部を設けてなる配線ボードにおいて、
    該配線ボードが、高周波的に複数の区域に分断されてお
    り、その分断境界線が配線ボード上の少なくとも1つの
    高周波用パッケージ実装部における入力端子との接続部
    と出力端子との接続部との間を分断していること特徴と
    する配線ボード。
  4. 【請求項4】前記誘電体ボードの前記分断境界線上に、
    複数のスルーホール導体を互いに信号波長長さの1/4
    未満の隙間をもって一列に配設してなることを特徴とす
    る請求項3記載の配線ボード。
  5. 【請求項5】前記誘電体ボードのパッケージ実装表面の
    反対側表面、あるいは誘電体ボードの内部にグランド層
    が形成されてなり、前記スルーホール導体が、実装表面
    から前記グランド層にまで伸びて形成されていることを
    特徴とする請求項3または請求項4記載の配線ボード。
  6. 【請求項6】誘電体ボード表面に配線回路層が形成され
    た配線ボード表面に、高周波素子を搭載した高周波用パ
    ッケージを搭載し、前記配線回路層とパッケージに設け
    られた入力端子および出力端子を接続することによっ
    て、前記高周波用パッケージを配線ボードに実装してな
    る高周波モジュールにおいて、該モジュールが、高周波
    的に複数の区域に分断されており、その分断境界線が少
    なくとも配線ボード上に実装された少なくとも1つの高
    周波用パッケージに設けられた入力端子と出力端子との
    間を横切っていること特徴とする高周波モジュール。
  7. 【請求項7】前記分断境界線上に沿って、前記誘電体ボ
    ード表面から垂直方向にシールド板を設けてなることを
    特徴とする請求項6記載の高周波モジュール。
  8. 【請求項8】前記シールド板が、前記高周波用パッケー
    ジの外表面に対して信号波長長さの1/4未満の隙間を
    もって設けられていることを特徴とする請求項7記載の
    高周波モジュール。
  9. 【請求項9】前記シールド体と前記高周波パッケージの
    間に導電性接着剤を充填してなることを特徴とする請求
    項7または請求項8記載の高周波モジュール。
  10. 【請求項10】分断された前記高周波パッケージにおけ
    る誘電体基板の分断境界線上に複数のスルーホール導体
    を互いに信号波長長さの1/4未満の隙間をもって一列
    に配設してなることを特徴とする請求項6乃至請求項9
    のいずれか記載の高周波モジュール。
  11. 【請求項11】前記誘電体ボードの前記分断境界線上
    に、複数のスルーホール導体を互いに信号波長長さの1
    /4未満の隙間をもって一列に配設してなることを特徴
    とする請求項6乃至請求項10のいずれか記載の高周波
    モジュール。
  12. 【請求項12】前記配線ボードにおける誘電体ボードの
    パッケージ実装表面と反対側表面、あるいは誘電体ボー
    ドの内部にグランド層が形成されてなり、前記スルーホ
    ール導体が、実装表面から前記グランド層にまで伸びて
    形成されていることを特徴とする請求項11記載の高周
    波モジュール。
  13. 【請求項13】前記高周波用パッケージにおける分断境
    界線上に配設されたスルーホール導体と、前記配線ボー
    ドにおける分断境界線上に配設されたスルーホール導体
    とを互いに電気的に接続したことを特徴とする請求項6
    乃至請求項12のいずれか記載の高周波モジュール。
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