JP2001110870A - 半導体ウェハ容器を保管し装荷するコンパクトな装置及び方法 - Google Patents

半導体ウェハ容器を保管し装荷するコンパクトな装置及び方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウェハ容器を保管すると共に、ウェハ
又はウェハ容器を製造ツールに装荷するための改良式装
置及び方法が提供される。 【解決手段】 装荷緩衝装置１１は、好ましくは、高架
のファクトリ駆動機構からウェハ容器を受け取るため高
架ポートを備え、複数の本発明の装置間の局部的な相互
接続を考慮しており、そしてファクトリ装荷ポート及び
ツール装荷ポートの個別の装荷を可能としている。ま
た、ウェハのロットをサブロットに分けて前記サブロッ
トを同一プロセスを実行するように構成されたツールに
分配する本発明のウェハ取扱方法も提供されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願は、１９９６年１２月１
１日に出願された米国特許願第０８/７６４,６６１号
（出願人ＡＭＡＴ事件番号第１６００/ＡＴＤ/ＭＢＥ）
の一部継続出願である。
【０００２】本発明は、概括的には半導体ウェハ製造シ
ステムに関し、特に、所定の半導体ウェハ製造ツールの
ところで半導体ウェハ容器を保管し装荷する改良方法及
び装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】処理ウェハ当りのコストを低減したいと
いう傾向が半導体工業の特徴となっている。従って、半
導体工業ではウェハ産出量を増したり総設備コスト（維
持費）を低減したりする方法が絶えず求められている。
種々の要因のなかでも、所定の設備に対して大きく影響
する維持費はクリーンルームコスト，フットプリント及
び労務費である。良く認識されているように、半導体ウ
ェハ製造システム（即ち、製造ツール）の総生産性の向
上を達成するには各製造ツールでウェハを確実に一定供
給することがよい。従来、この一定供給は、局所バッフ
ァもしくは緩衝装置の供給（即ち、ツールのところでの
ウェハの供給）を採用することにより行われていた。例
えば、ジェオプティック・インファブ(Jenoptik/Infab)
により市販されているミニバッファ（MINI BUFFER)は、
製造ツールのロードロック室近くに配置される垂直バッ
ファである。このミニバッファは、垂直方向に整列した
一連の棚部と、ツールのローダであるロボットによりア
クセス可能であり、及び／又はファクトリ搬送代行体
（即ち、ウェハ容器をファクトリからバッファ装置のフ
ァクトリ装荷ポートに搬送する機構）によりアクセス可
能な１つ以上の装荷ポートとを備えている。通常、１つ
のミニバッファが各ロードロック室の近くに配置され、
前記ロードロック室からの距離は、前部ローダロボット
の回転軸線に適応するのに十分な距離である。このロー
ダロボットは次いでいずれかのミニバッファにアクセス
して、いずれかのロードロック室に装荷するるためウェ
ハ容器を獲得する。かかる方法は局所バッファによるウ
ェハ容器の一定供給を維持するが、前記方法はかなりの
広さの床スペースを占めるので、システムの維持費が増
大する。製造ツールはしばしばクリーンルーム環境内に
維持されるが、この事実は、システムのフットプリント
増大に関連したコスト上昇を更に激化させる。
【０００４】加えるに、大抵の先行技術のシステムは、
ツールローダ及びファクトリ搬送代行体による同時アク
セスを許容しておらず、そのためファクトリ搬送のスケ
ジューリングを複雑にさせ、また、スループットを減少
させる結果を招来させうる。
【０００５】従って、フットプリントを減少させること
ができ、及び／又は機械・ファクトリスループットを増
大できる方法及び装置の必要性がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】広義の側面において、本
発明によると、製造ツールのところでウェハ容器の局所
保管を行う装荷緩衝装置は、ファクトリへ及び前記ファ
クトリから搬送すべきウェハ容器を受け取る第１ファク
トリ装荷ポートと、ウェハ容器貯留部と、ウェハ容器を
前記第１ファクトリ装荷ポート及び前記ウェハ容器貯留
部間に搬送する第１ウェハ容器搬送機構と、製造ツール
によりアクセスすべきウェハ容器を受け取る第１ツール
装荷ポートと、ウェハ容器を前記第１ツール装荷ポート
及び前記ウェハ容器貯留部間に搬送する第２ウェハ容器
搬送機構とを備えている。
【０００７】ウェハ容器貯留部は、例えば、１つの棚
部，複数の棚部，或いはコンベヤから構成してよく、第
１，第２ウェハ容器搬送機構は、例えば、ウェハ容器を
ウェハ容器貯留部と装荷ポートとの間で持ち上げ或いは
下降させることができる棚部から構成してよく（この場
合、ローラ，ウェハ取扱装置等がウェハ容器を棚部とウ
ェハ容器貯留部との間に搬送しうる）、或いはウェハ容
器を装荷ポート及びウェハ容器貯留部間に搬送しうるウ
ェハ取扱装置から構成してよい。これらのポートは、半
標準のＥ１５により設定された高さのところに配置する
ことができ、或いは製造ツール等の高さよりも高いとこ
ろに配置することができる。本発明の装置は、製造ツー
ルの前，製造ツールの側，少なくとも部分的に製造ツー
ルの上方等に配置されうる。
【０００８】スループットを上げるため、複数の装荷緩
衝装置を接続して、１つの製造ツールが必要なら別の製
造ツールからウェハ容器を受け取るようにすることがで
きる。この明細書で使用している用語「製造ツール」と
は、基板に対するプロセスが付着，エッチング，熱処
理，研磨，洗浄等であってもよく、基板に対するプロセ
スを実行するどんなツールも含んでいる。
【０００９】スループットを更に上げるため、本発明の
ウェハ取扱方法を採用しうる。本発明のウェハ取扱方法
は、ウェハ容器内に含まれたウェハを、同じプロセスを
行うように適応した複数の製造ツール間に分けることに
よって、非定常状態処理期間（始動，ツール事故等）中
のスループットを向上させる。このようにして、各製造
ツールはウェハの処理を直ぐ始めることができ、そして
スループットは、ウェハの詰まったウェハ容器全体が単
一の製造ツールと共にある従来の方法と比較して、大き
く向上する。このような従来の方法では、ウェハ容器が
各製造ツールに着くまで、残りの製造ツールを遊休状態
に強いることになる。大抵の従来の製造システムは時間
当り１つのウェハ容器のみを搬送するので、本発明の方
法はスループットをかなり向上させることになる。本発
明のウェハ取扱方法は、この明細書に記載されたものの
ような、結合された複数の装荷バッファもしくは緩衝装
置内で最も有利に使用されるが、同じプロセスを遂行す
る複数の製造ツールを含むどんなシステム内で使用して
もよい。
【００１０】本発明のその他の目的，特徴及び利点は、
好適な実施形態に関する以下の詳細な説明，特許請求の
範囲及び添付図面からより完全に明らかとなろう。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の装荷バッファも
しくは緩衝装置１１の側面図である。この装荷緩衝装置
１１は、それぞれ第１ロボット１３，第２ロボット１５
からなる第１及び第２垂直搬送機構を備えている。第１
ロボット１３は、第１ｙ−軸構成部材１７及び第１ｘ−
軸構成部材１９を備え、前記第１ｘ−軸構成部材１９
は、第１ｙ−軸構成部材１７の長さに沿って移動しうる
ように前記第１ｙ−軸構成部材１７に可動に接続されて
いる。同様に、第２ロボット１５は、第２ｙ−軸構成部
材２１及び第２ｘ−軸構成部材２３を備え、前記第２ｘ
−軸構成部材２３は、第２ｙ−軸構成部材２１の長さに
沿って移動しうるように前記第２ｙ−軸構成部材２１に
可動に接続されている。第１ロボット１３及び第２ロボ
ット１５の間に機能的に作用可能に組み合っているの
は、１つ以上の貯留個所２５ａ，２５ｂである。
【００１２】第１ロボット１３は、第１ｘ−軸構成部材
１９が第１ｙ−軸構成部材１７の下方部分にあるときに
前記第１ｘ−軸構成部材が第１装荷ポート２７（好まし
くはＳＥＭＩ（半導体装置・材料国際協会）のＥ１５型
式の装荷ポート）にアクセス可能であり、また、第１ｘ
−軸構成部材１９が第１ｙ−軸構成部材１７の上方部分
にあるときに前記第１ｘ−軸構成部材が第１高架装荷ポ
ート（図示せず）にアクセス可能であるように形成され
ている。前記第１高架装荷ポートは、図１に符号２９ａ
で総括的に示すモノレールのような、ウェハ容器の第１
高架搬送システムへのアクセスを可能にする。
【００１３】第２ロボット１５は、第２ｘ−軸構成部材
２３が第２ｙ−軸構成部材２１の下方部分にあるときに
前記第２ｘ−軸構成部材が第１ウェハ交換ポート３１に
アクセスしうるように、また、随意的であるが、第２ｘ
−軸構成部材２３が第２ｙ−軸構成部材２３の上方部分
にあるときに前記第２ｘ−軸構成部材がオプションの第
２高架装荷ポートにアクセスしうるように形成されてい
る。前記第２高架装荷ポートは、図１に符号２９ｂで総
括的に示すモノレールのようなウェハ容器の第２高架搬
送システムへのアクセスを可能にする。第１ｘ−軸構成
部材１９も第２ｘ−軸構成部材２３も、どの貯留個所２
５ａ，２５ｂにも達するように形成されている。好適な
実施形態において、各装荷ポート，各高架装荷ポート及
び各ウェハ交換ポートは所定個所から単に構成しうる。
【００１４】第１ウェハ交換ポート３１は、搬送チャン
バ３２と、プロセス室３４と、第１ロードロック室３５
とを少なくとも有する製造ツール３３よりも実質的に又
は完全に上方に配置されるのが好ましい。最も好ましい
のは、第１ウェハ交換ポート３１が製造ツール３３の搬
送チャンバ３２の上方に配置されることである。しか
し、代わりに、第１ウェハ交換ポート３１は他の位置を
占めていてもよい。第１ウェハ交換ポート３１は、図１
に数字３７により総括的に示された第１装荷機構を経由
して第１ロードロック室３５に機能的に作用するよう組
み合っている。前記第１装荷機構３７は、共同出願中の
米国特許願第 号（出願人ＡＭＩの事件番号１５
２２でその全開示内容は参照によりこの明細書に組み込
まれる）に記載されたようなウェハカセットプラットフ
ォームを備えている。前記ウェハカセットプラットフォ
ームは、開いたロードロック室３５の外側に延びて、第
１ウェハ交換ポート３１に配置されたカセットからウェ
ハを取り出す。第１ロードロック室３５は、第１の蓋体
３９と下側リフト機構４１とを有する。
【００１５】本発明においては、第１装荷機構３７は、
下側リフト機構４１上に配置されている。第１の蓋体３
９及び下側リフト機構４１が図１に示すようなそれぞれ
の上昇位置にあるとき、第１装荷機構３７は、水平方向
に拡張して、第１ウェハ交換ポート３１に配置された第
１ウェハ容器４３から１つ以上のウェハを取り出し（或
いは、代わりに、ウェハ容器全体を搬送することができ
る）、そして収縮して、取り出したウェハ（或いは、カ
セット全体）を下側リフト機構４１上の所定位置に運び
込む。その後、下側リフト機構４１は、第１蓋体３９の
下降につれてウェハ（或いはカセット）を下降させる。
【００１６】更に、好適な実施形態においては、第１蓋
体３９は、図１に数字４５で総括的に示したウェハ容器
係合機構を有する。このウェハ容器係合機構４５は、第
１ウェハ交換ポート３１に配置された第１ウェハ容器４
３の第２蓋体４７に係合して、第１蓋体３９が上昇する
につれて前記第２蓋体４７を上昇させる。従って、図１
に示すように、第１ウェハ容器４３は開き、第１ロード
ロック室３５への装荷のため第１装荷機構３７がウェハ
を取り出す準備が整っている。
【００１７】図２は、図１の装荷緩衝装置１１の正面図
であり、第１ロードロック室３５及び第２ロードロック
室４９の上方における４つの貯留個所２５ａ，２５ｂ，
２５ｃ及び２５ｄの好適な配列を示している。図２に示
すように、第１ロードロック室３５は、第１蓋体３９を
上昇させると共に、後からの第１ロードロック室３５内
への下降のため第１ウェハ容器４３を下側リフト機構４
１上に配置させて、開放している。第２ウェハ容器５
１，第３ウェハ容器５３，第４ウェハ容器５５及び第５
ウェハ容器５７はそれぞれ貯留個所２５ａ，２５ｂ，２
５ｃ及び２５ｄ上に保管されている。
【００１８】図３は、図１及び図２の装荷緩衝装置１１
の頂部平面図であり、この図は、装荷緩衝装置１１の好
ましいフットプリントもしくは設置面積を示すと共に、
ローカルエリア(local area)半導体ウェハ製造システム
の好ましいフットプリントの関連部分を示している。第
１ｘ−軸構成部材１９及び第２ｘ−軸構成部材２３の４
つの主な水平位置は、それぞれ、１９ａ，１９ｂ，１９
ｃ及び１９ｄ並びに２３ａ，２３ｂ，２３ｃ及び２３ｄ
として表わされている。しかし、第１ｘ−軸構成部材１
９及び第２ｘ−軸構成部材２３の各々が所定の時間にお
いてこれらの位置の１つのみを占めることは言うまでも
ない。（第１ｘ−軸構成部材１９及び第２ｘ−軸構成部
材２３の主な垂直位置は図４Ａ〜４Ｆ及び図５Ａ〜５Ｃ
に逐次的に示されている。）図示のように、第１装荷ポ
ート２７及び第２装荷ポート５９は製造ツール３３の第
１ロードロック室３５及び第２ロードロック室４９の直
傍に位置決めされるのが有利であり、そのように位置決
めすることにより、ローカルエリア半導体ウェハ製造シ
ステムのフットプリント全体が、前部ローダロボットの
ためにかなりのスペースを必要とする先行技術のシステ
ムよりも相当に小さくなる。第１装荷ポート２７及び第
２装荷ポート５９の上述のような有利な位置決めが可能
となるのは、第１装荷ポート２７又は第２装荷ポート５
９を経由して装荷緩衝装置１１に入るウェハ容器が第１
装荷ポート２７及び第２装荷ポート５９の側部というよ
りはその頂部から取り出されるためである。特に側部開
放のロードロック室については、多数の他の位置を採用
することができる。同様に、この例においては、第１装
荷ポート２７及び第２装荷ポート５９は上方から装入・
装出されるので、ローダロボット、即ちローダであるロ
ボットの回転軸線の便宜をはかって装荷ポートを互いか
ら十分な距離に配置しなければならない先行技術の側部
装入式システムと違って、第１装荷ポート２７及び第２
装荷ポート５９は互いに接近して配置しうる。
【００１９】更に、図３により示されるように、貯留個
所２５ａ，２５ｃは、それぞれ第１ロードロック室３５
及び第２ロードロック室４９の上方に配置されるのが好
ましく、また、第１ウェハ交換ポート３１及び第２ウェ
ハ交換ポート６１は、製造ツール３３の搬送チャンバ３
２の上方に配置されるのが好ましい。製造ツール３３の
上方への複数の貯留個所２５ａ〜２５ｄ，第１ウェハ交
換ポート３１及び第２ウェハ交換ポート６１の好適な配
置により、本発明のローカルエリア半導体ウェハ製造シ
ステムのフットプリントが先行技術によるシステムより
も相当に小さくすることができる。本発明により可能と
される小さなフットプリントはシステムの維持費を軽減
し、これは製造される各ユニットのコストを低減させ
る。
【００２０】図４Ａ〜４Ｆは、装荷緩衝装置１１を通る
ウェハ容器の搬送についての第１の様相を説明するのに
役立つ同装荷緩衝装置の側面図である。装荷緩衝装置１
１の諸構成部材は図１に関連して上に記載した通りであ
り、従って、ここでは繰り返さない。更に、好適な実施
形態において、装荷緩衝装置１１の全体は、真空フード
（vacuum hood)下に維持されている。しかし、言うまで
もなく、装荷緩衝装置１１が真空下になければ、ポッド
型のウェハ容器を開きウェハをロードロック室に装荷す
るステップは、各ウェハ交換ポートとそれに関連した開
放のロードロック室とを囲む密閉真空室内で行われる。
【００２１】図４Ａに示すように、第１ウェハ容器４３
は、貯留個所２５ａのところで貯留状態にある。作動
中、第２ウェハ容器５１は、例えばオペレータ，無人搬
送車（ＡＧＶ），或いはレール案内車両（ＲＧＶ）によ
り第１装荷ポート２７上に置かれ、そして第１ロボット
１３の第１ｘ−軸構成部材１９は下降して、図４Ａに示
すように、第２ウェハ容器５１をピックアップする。第
２ロボット１５は、第１ロボット１３とは別個に動作
し、従って所定のときに所要の位置にある。
【００２２】次に、図４Ｂに示すように、第１ｘ−軸構
成部材１９は第２ウェハ容器５１を上昇させ、矢印６３
により表わされているように、枢回して、第２ウェハ容
器５１を貯留個所２５ｂ上に置く。
【００２３】その後、図４Ｃの例に示すように、第１ｘ
−軸構成部材１９は、枢回して下降し、第１装荷ポート
２７から第３ウェハ容器５３をピックアップする。そう
しながら、第２ロボット１５の第２ｘ−軸構成部材２３
は、貯留個所２５ａから第１ウェハ容器４３をピックア
ップして、矢印６５で表わされているように、枢回し、
下降し、第１ウェハ容器４３を第１ウェハ交換ポート３
１のところに置く。
【００２４】図４Ｄに示すように、第１ロードロック室
３５の第１蓋体３９は上昇し、第１ウェハ容器４３のウ
ェハ容器・係合機構４５（これは第２蓋体４７に係合す
る）は前記第２蓋体４７を上昇させる。こうして、第１
ウェハ容器４３は開き、そして任意の数のウェハ或いは
カセット４３ａ全体（即ち、ポッド型第１ウェハ容器４
３の内容物）を第１ウェハ交換ポート３１から開いた第
１ロードロック室３５へ搬送することができる。図１に
関連して説明したように、第１装荷機構３７は、在来の
装置でよく、或いは好ましくは、米国特許願第
号（出願人ＡＭＩ事件番号１５２２）に記載された装置
でよい。この米国特許願第 号（出願人ＡＭＩ事
件番号１５２２）に記載された装置は、スロット付きア
センブリを備えており、前記アセンブリは、取り出すべ
きウェハの真下にスロットを位置決めするように延長す
る。前記アセンブリは次いで上昇してウェハを持ち上
げ、そして引っ込む。このアセンブリは、スロットの数
が取り出すべきウェハの数に対応するように変更するこ
とができ、或いはカセット全体の真下の位置に延びて、
前記アセンブリが引っ込むときにカセット全体を搬送す
るように変更することができる。
【００２５】図４Ｅは、後から第１ロードロック室３５
内へ下降する下側リフト機構４１上に配置されたウェハ
カセット４３ａ（開いた第１ウェハ容器４３から取り出
される）を示している。
【００２６】図４Ｆは、第１ロードロック室３５内に配
置されたウェハカセット４３ａと、閉位置にある第１ロ
ードロック室３５の第１蓋体３９とを示している。その
後ウェハは、第１ロードロック室３５から取り出して製
造ツール３３内で処理されうる。空の第１ウェハ容器４
３は、閉じられて、貯留個所２５ａ〜２５ｄの１つに移
動されるか、或いはウェハが処理されて第１ウェハ容器
４３に戻されるまで、第１ウェハ交換ポート３１上に配
置された状態に留まることができる。
【００２７】第１ロボット１３及び第２ロボット１５
は、第１ウェハ交換ポート３１から第１ロードロック室
３５への第１ウェハ容器４３の装荷とは独立して、作動
を続行しうる。図４Ｅ及び図４Ｆには図示していない
が、第１ロボット１３は、ウェハ容器を第１装荷ポート
２７及び／又は高架装荷ポート(即ち、モノレール２９
に沿った所定個所)と複数の貯留個所２５ａ〜２５ｄと
の間に搬送し続け、そして第２ロボット１５は、複数の
貯留個所２５ａ〜２５ｄから要求に応じてウェハ容器を
ピックアップし、第１又は第２の特定ウェハ交換ポート
が空であれば、第１ウェハ交換ポート３１又は第２ウェ
ハ交換ポート６１のどちらかにピックアップしたウェハ
容器を置くことができる。
【００２８】装荷緩衝装置１１は、第１ロボット１３及
び第２ロボット１５の独立作動を可能にすると共に、各
対の装荷ポート（例えば、第１装荷ポート及び第１ウェ
ハ交換ポート）及び高架装荷ポートの独立した装入・装
出を可能にする構造であることが有利である。従って、
図４Ａ〜４Ｆに関連して記載した装荷緩衝装置１１の特
定動作は、言うまでもなく、単なる一例である。
【００２９】図５Ａ〜５Ｃは、図２の装荷緩衝装置を通
るウェハ容器の搬送に関する第２の様相を説明するのに
役立つ同装荷緩衝装置の側面図である。図５Ａに示すよ
うに、第１ロボット１３の第１ｘ−軸構成部材１９は枢
回してモノレール２９から第１ウェハ容器４３をピック
アップする。その後、図５Ｂに示すように、第１ｘ−軸
構成部材１９は下降すると共に、符号６７で表されたよ
うに第１ｙ−軸構成部材１７回りに枢回して第１ウェハ
容器４３を貯留個所２５ｂ上に置く。次に、図５Ｃに示
すように、第２ロボット１５の第２ｘ−軸構成部材２３
が貯留個所２５ｂから第１ウェハ容器４３をピックアッ
プして、第２ｙ−軸構成部材２１回りに枢回すると共に
下降して、矢印６９で表されたように第１ウェハ容器４
３を第１ウェハ交換ポート３１上に置く。しかる後、第
１ウェハ容器４３は開かれ下降し、図４Ｄ〜４Ｆに関し
て前述したように、第１ロードロック室３５の中に入
る。第１ウェハ容器４３のみが装荷緩衝装置１１を通り
移動するものとして示されているが、言うまでもなく、
第１ｘ−軸構成部材１９及び第２ｘ−軸構成部材２３が
第１ウェハ容器４３を搬送していないときには、それら
は、前述したように他のウェハ容器をピックアップし、
搬送し、装荷緩衝装置１１内の任意の個所に置くことが
できる。要するに、第１ロボット１３及び第２ロボット
１５は、その動作がある時点で同期しており、また、他
の時点では非同期に動作しうる。従って、図５Ａ〜５Ｃ
に関して説明した装荷緩衝装置１１の特定の動作は単な
る例示である。
【００３０】処理が完了しウェハがロードロック室３５
に戻った後、ロードロック室３５の蓋体は上昇し、下側
リフト機構４１はウェハを第１ウェハ交換ポート３１の
高さまで持ち上げ、第１装荷機構３７はウェハをウェハ
交換ポート３１上に配置されたカセット４３に戻す。ロ
ードロック室３５の第１蓋体３９が下降するときに、下
側リフト機構４１が下降すると共に、ウェハ容器４３の
第２蓋体４７が下降して、カセット４３ａの周囲を封止
する。その後、第２ロボット１５はウェハ容器４３を貯
留個所２５又は第２高架装荷ポートのどちらかに搬送す
る。第２ロボット１５がウェハ容器４３を貯留個所２５
のどれか１つに置くと、第１ロボット１３は次いでウェ
ハ容器４３を第１装荷ポート２７又は第１高架装荷ポー
トのどちらかに搬送しうる。こうして、処理済みウェハ
で満たされたウェハ容器は、未処理ウェハのウェハ容器
が装荷緩衝装置１１を通り前方へ走行するのと同じ態様
で、走行変更の方向にのみ、装荷緩衝装置１１を通り後
方へ走行する。各ロボットは、各装荷ポート又はウェハ
交換ポートと高架装荷ポート又は貯留個所との間でウェ
ハ容器を持ち上げる。ここで用いる「持ち上げる」とい
う用語は、ｙ−軸方向の移動を指しており、従って、上
昇及び下降の双方を含んでいる。
【００３１】作動中、任意の所定時点にウェハ容器は装
荷緩衝装置１１を通って前方及び後方に走行していてよ
い。従って、ロボットは、第１ウェハ容器を貯留個所へ
又は高架装荷ポートへ搬送することができ、次いで、装
荷ポートの１つへ又はウェハ交換ポートへの搬送のため
直ぐ第２ウェハ容器をピックアップすることができる。
【００３２】図１，図４Ａ〜４Ｆ及び図５Ａ〜５Ｃの側
面図に関し、装荷緩衝装置１１の第１の側面（即ち、第
１ウェハ交換ポートを通る第１装荷ポート）のみを図示
し説明したが、言うまでもなく、装荷緩衝装置１１の第
２の側面（即ち、第２ウェハ交換ポートを通る第２装荷
ポート）の構造及び作動は、開示した場合と同一であ
る。更に、単一棚式の装荷緩衝装置についてのみ開示し
たが、当業者により了解されるように、第１ロボット１
３及び／又は第２ロボット１５は、隣接する装荷緩衝装
置の１つ以上の棚部に達するように適応可能であり、ま
た、中央の棚部は、ウェハ容器が１つの装荷緩衝装置か
ら次の装荷緩衝装置へと通過する際に通る位置を提供す
るように、２つの隣接装荷緩衝装置間に位置決めしう
る。
【００３３】図６Ａは、装荷ポートが垂直搬送機構と連
続しているコンベヤ式装荷緩衝装置７１の側面図であ
る。図６Ａに示すように、装荷緩衝装置７１は第１装荷
ポート７３を備えている。図示の構造において、第１装
荷ポート７３はファクトリからウェハ容器を装荷するた
めのポートである。第１装荷ポート７３は第１エレベー
タ７５と機能的に接続されており、前記第１エレベータ
７５が第１装荷ポート７３を経たファクトリからのウェ
ハ容器を受け取る。第１エレベータ７５の上方部分は、
水平搬送機構７７の一端に機能的に接続されており、ま
た、水平搬送機構７７の他端は、第２エレベータ７９の
上方部分に機能的に接続されている。この第２エレベー
タ７９の下方部分は第２装荷ポート８１に機能的に接続
されている。図示の構造において、第２装荷ポート８１
は、装荷緩衝装置７１からのウェハ容器を製造ツール８
７の第１ロードロック室８３又は第２ロードロック室８
５のどちらかの中に装入もしくは装荷するためのポート
である。最も好適な実施形態においては、第１装荷ポー
ト７３は、最下方位置にあるときに第１エレベータ７５
が占める所定場所であり、第２装荷ポート８１は、最下
方位置にあるときに第２エレベータ７９が占める所定場
所である。
【００３４】図６Ｂに示した本発明の装荷緩衝装置７１
は、第１エレベータ７５及び第２エレベータ７９が製造
ツール８７よりも上の高さまで延びるように、かつ水平
搬送機構７７が製造ツール８７のフットプリントの上方
に配置される（即ち、少なくとも部分的に重複する）よ
うに、構成されている。好ましいのは、水平搬送機構７
７が製造ツール８７のフットプリントの実質的に上方に
配置されることであり、最も好ましいのは、完全に上方
に配置されることである。当業者にとって明らかである
ように、装荷緩衝装置７１は、製造ツールの前，製造ツ
ールの側等に配置することができ、また、製造ツールよ
り上方の位置は単に好ましいに過ぎない。従って、本発
明の装荷緩衝装置７１は最小化されたフットプリント内
でのウェハの貯留及び移動を可能にする。更に、第１エ
レベータ７５及び／又は第２エレベータ７９は、ウェハ
容器の搬送システムに機能的に接続しうる。図６Ａの第
１エレベータ７５及び第２エレベータ７９は、それぞれ
第１高架装荷ポート８８及び第２高架装架ポート９０を
介してウェハ容器の高架搬送システム８９に機能的に接
続して示されている。最も好ましい実施形態において
は、第１高架装荷ポート８８は、最上方位置にあるとき
に第１エレベータ７５が占める所定場所であり、第２高
架装荷ポート９０は、最上方位置にあるときに第２エレ
ベータ７９が占める所定場所である。図６Ｂに示すよう
に、水平搬送機構は、それぞれ第１垂直搬送機構７５及
び／又は第２垂直搬送機構８１を越えて延長する延長部
７７ａ，７７ｂを有していてよい。前記延長部７７ａ，
７７ｂは、追加的な貯留個所を提供すると共に、別の製
造ツールの水平搬送機構７７に（或いは延長部７７ａ，
７７ｂに）接続されることができ、複数の製造ツールの
局所的な相互接続を可能にする（図６Ｃ参照）。
【００３５】作動中、装荷緩衝装置７１，少なくとも第
１ロードロック室８３及び少なくとも１つのプロセス室
を備える自動ローカルエリア製造システム(automated l
ocalarea fabrication system)は、第１装荷ポート７３
においてウェハ容器を受け取る。一般的に、このウェハ
容器は、前にある処理場所（例えば、追加の自動ローカ
ルエリア製造システム）から移行しつつあり、そしてフ
ァクトリ自動システム，無人搬送車，或いはオペレータ
等を経由して第１装荷ポート７３に搬送され、その中に
装入されうる。ウェハ容器は、第１装荷ポート７３を経
由して第１エレベータ７５の中に装荷される。第１エレ
ベータ７５は、水平搬送機構７７に接続された第１エレ
ベータ７５の上方部分まで前記ウェハ容器を持ち上げ
る。その後、ウェハ容器は、通常の手段によって水平搬
送機構７７へ搬送される。この通例の手段である例えば
第１エレベータ７５は、ウェハ容器を水平搬送機構７７
に運び、次いで第１装荷ポート７３に戻すｘ−ｙロボッ
トを備えることができ、或いは前記第１エレベータ７５
は、転動体の表面から構成することができ、この表面が
水平搬送機構７７と整列するときに前記転動体が作動さ
れることにより、ウェハ容器が前記転動体を横切って水
平搬送機構７７に搬送される。
【００３６】ウェハ容器は、水平搬送機構７７を通って
走行した後、この水平搬送機構７７から通常の手段によ
り第２エレベータ７９の上方部分に移される。第２エレ
ベータ７９はその後このウェハ容器を第２装荷ポート８
１まで下降させる。前記第２装荷ポート８１では、通常
の装荷機構９１（例えば、ロボット）が１つ以上のウェ
ハを、或いはウェハ容器全体を第２装荷ポート８１から
製造ツール８７の第１ロードロック室８３又は第２ロー
ドロック室８５のどちらかに移す。ウェハは、前記製造
ツール８７内で、第１ロードロック室８３又は第２ロー
ドロック室８５から処理のため１つ以上のプロセス室８
６（図１０参照）に移される。或いはその代わりに、第
１エレベータ７５及び／又は第２エレベータ７９がウェ
ハ容器を、第１高架装荷ポート８８又は第２高架装荷ポ
ート９０を介して高架ファクトリ搬送システム８９に移
送してもよい。
【００３７】図６Ｂは、本発明による装荷緩衝装置の好
適な実施形態の側面図であり、この図で、第１装荷ポー
ト７３は第１垂直搬送機構７５の近くにあり、第２装荷
ポート８１は第２垂直搬送機構７９の近くにある。各装
荷ポートは通常の手段（例えば、ピックアンドプレース
ロボット，複数の転動体等）を介してそれぞれの垂直搬
送機構に接続されており、前記手段がウェハ容器を各装
荷ポートと垂直搬送機構との間で移送する。この形式の
隣接構造は、既存の製造ツールに本発明の装荷緩衝装置
を後付けするのに使用できる。図６Ｂの装荷緩衝装置
は、装荷ポート及び垂直搬送機構の位置付けの点を除い
て、図６Ａのものと同様に構成され作動する。
【００３８】図６Ｃは、複数の製造ツールの局所的な相
互接続を示す側面図である。この図６Ｃに示すように、
複数の製造ツール８７ａ，８７ｂ，８７ｃが装荷緩衝装
置７１ａ，７１ｂ，７１ｃの水平搬送機構延長部７７
ａ，７７ｂを介して相互に接続されている。具体的に
は、装荷緩衝装置７１ａの延長部７７ａは装荷緩衝装置
７１ｂの延長部７７ｂに接続されており、装荷緩衝装置
７１ｂの延長部７７ａは装荷緩衝装置７１ｃの延長部７
７ｂに接続されている。この構造において、ウェハ容器
は、ウェハ容器の搬送システム，無人搬送車両（ＡＧ
Ｖ），或いはオペレータの助けを借りずに、相互に接続
された装荷緩衝装置間を直接に走行しうる点で有利であ
る。製造ツールのこのような相互接続により、ファクト
リ材料取扱システムの融通性や処理能力が向上する。
【００３９】図７Ａ及び７Ｂは、好適な水平搬送機構の
個々の構成部材を示している。図７Ａは、本発明による
コンベヤ式装荷緩衝装置の第１の側面で採用された好適
なモジュール式コンベヤの二重区画セグメント９３を示
す側面図である。区画セグメント９３は、第１区画室９
５と第２区画室９７とを備え、前記区画室は、それぞ
れ、複数の転動体９９ａ〜ｅからなる第１表面９９と、
複数の転動体１０１ａ〜ｅからなる第２表面１０１とを
有する。好適な実施形態においては、図７Ａの区画セグ
メント９３が複数個機能的に接続されて２段式のモジュ
ール式コンベヤ１０３（図８及び図９参照）を形成す
る。所望長さの２段式コンベヤ１０３を形成するように
任意の数の二重区画セグメント９３を一緒に接続してよ
い。この２段式の構造は、開放した移動チャンネル（op
en movement channel)を保証すると共に、マサチューセ
ッツ州ウォーバーン（Woburn, Massachusetts)所在のミ
ドルセックス・ゼネラル・インダストリーズ社(Middles
ex General Industries Inc.）により製造されるような
通常の転動体型コンベヤの各レベルを連絡することによ
り構成しうる。また、転動体式コンベヤは「コンピュー
タ統合製造／貯留のための搬送システム及びその駆動構
成部材（Transport System For Computer Integrated M
anufacturing/Storage And Drive Component Therefor
e）」と題する米国特許第４,７９３,２６２号明細書に記
載されており、同米国特許の全ては参照によりこの明細
書に組み込まれる。
【００４０】図７Ｂは、本発明によるコンベヤ式装荷緩
衝装置の第２の側面で採用された好適なモジュール式コ
ンベヤの水平指向の代替二重区画セグメント９３を示す
側面斜視図である。図７Ａの区画セグメント９３と同様
に、図７Ｂの区画セグメント９３は、第１区画室９５と
第２区画室９７とを備え、前記区画室は、それぞれ、複
数の転動体９９ａ〜ｅからなる第１表面９９と、複数の
転動体１０１ａ〜ｅからなる第２表面１０１とを有す
る。好適な実施形態においては、図７Ｂの区画セグメン
ト９３が複数個機能的に接続されて２段式のモジュール
式コンベヤ１０３（図８及び図１０参照）を形成する。
所望長さのコンベヤ１０３を形成するように任意の数の
二重区画セグメント９３を一緒に接続してよい。
【００４１】図８は、複数個の図７Ａの二重区画セグメ
ント９３から構成された２段式コンベヤ１０３の側面図
であり、この２段式コンベヤにおいて、二重区画セグメ
ント９３ａ〜ｄは、垂直方向に指向されると共に互いに
一緒に接続されて、貯留・移動チャンネルを提供する。
図８は、各二重区画セグメント９３がとる２つの位置
（中立位置及び確動位置）を規定するのに有効である。
図８において、二重区画セグメント９３ａ及び二重区画
セグメント９３ｃは中立位置に示されており、二重区画
セグメント９３ｂ及び二重区画セグメント９３ｄは確動
(positive)位置に示されている。二重区画セグメント９
３ａ〜ｄの２つの可能位置により３つのチャンネル、即
ち、移送チャンネル１０５，往復チャンネル１０７，貯
留チャンネル１０９が画成される。中立位置において
は、二重区画セグメント９３の第１区画９５は移送チャ
ンネル１０５を占め、二重区画セグメント９３の第２区
画９７は往復チャンネル１０７を占める。
【００４２】確動位置においては、二重区画セグメント
９３の第１区画９５は貯留チャンネル１０９を占め、二
重区画セグメント９３の第２区画９７は移送チャンネル
１０５を占める。このように、区画が往復チャンネル１
０７又は貯留チャンネル１０９のどちらかを占めるよう
に所定の二重区画セグメント９３を位置決めしうるが、
各二重区画セグメント９３は移送チャンネル１０５を占
める区画を有する。従って、移送チャンネル１０５は、
複数の二重区画セグメント９３の第１区画９５及び／又
は第２区画９７から形成される連続チャンネルであり、
この連続チャンネルを通ってウェハ容器が走行しうる。
また、往復チャンネル１０７及び貯留チャンネル１０９
は、１つ以上の二重区画セグメント９３の第２区画９７
又は第１区画９５によりそれぞれ断続的に占められる。
従って、往復チャンネル１０７及び／又は貯留チャンネ
ル１０９は、移送チャンネル１０５を通るウェハ容器の
通過を遮ることなく、ウェハ容器を保管しておくことが
できる。
【００４３】好適な実施形態において、最初、各二重区
画セグメント９３ａ〜ｄはニュートラルに位置決めされ
ている。第１ウェハ容器（図示せず）は、次に、二重区
画セグメント９３ａの第１区画９５の中に装荷されると
共に、１）２段式コンベヤ１０３の端部まで移送チャン
ネル１０５に沿って直ちに走行するか（第１ウェハ容器
はこの２段式コンベヤ１０３から取り出される）；２）
２段式コンベヤ１０３に沿ってある距離（例えば、二重
区画セグメント９３ｂ，９３ｃ又は９３ｄまで）走行
し、次いで保管状態に置かれるか（例えば、各二重区画
セグメント９３を確動位置にシフトすることにより貯留
チャンネル１０９の中に入れられる）；３）直ぐ保管状
態に置かれる（例えば、二重区画セグメント９３ａを確
動位置にシフトすることにより）。
【００４４】ウェハ容器を保管状態から取り出して前記
ウェハ容器を移送チャンネル１０５に戻すため、ウェハ
容器の入った二重区画セグメント９３は確動位置から中
立位置にシフトされる。その後、ウェハ容器は移送チャ
ンネル１０５に沿って走行し続けうる。このように、２
段式コンベヤ１０３を採用することにより、また、１つ
のチャンネルを貯留用に指定すると共に、１つのチャン
ネルを移動用に指定することにより、第１ウェハ容器
は、移送チャンネル１０５を通る第２ウェハ容器の通過
を邪魔することなく、２段式コンベヤ１０３に沿ったあ
る個所に保管状態に（即ち、複数の二重区画セグメント
９３ａ〜ｄのいずれかの内部に）置かれうる。移送チャ
ンネル１０５はウェハ容器を移動させるためにのみ使用
されるのが好ましく、また、貯留チャンネル１０９はウ
ェハ容器を保管しておくためにのみ使用されるのが好ま
しいが、貯留チャンネル１０９及び／又は移送チャンネ
ル１０５は貯留及び移送機能を組み合わせて遂行しう
る。
【００４５】図９は、水平搬送機構７７が図８の２段式
コンベヤ１０３から構成されている本発明の装荷緩衝装
置７１の好適な実施形態に関する側面図である。装荷緩
衝装置７１及び２段式コンベヤ１０３の全体構造につい
てはそれぞれ図６及び図８に関して説明したので、ここ
で繰り返し説明することはしない。図８に示した装荷緩
衝装置の作動については以下に説明する。
【００４６】作動中、装荷緩衝装置７１と、少なくとも
第１のロードロック室８３と、少なくとも１つのプロセ
ス室とを備える自動ローカルエリア製造システムは、第
１装荷ポート７３においてウェハ容器を受け取る。通
常、ウェハ容器は、以前のプロセス場所（例えば、付加
的な自動ローカルエリア製造システム）から走行しつつ
あり、そして多分、ファクトリ自動化システム，無人搬
送車、或いはオペレータを介して第１装荷ポート７３に
搬送されその中に装入される。ウェハ容器は第１装荷ポ
ート７３を経由して第１エレベータ７５の中に装荷され
る。第１エレベータ７５は、２段式コンベヤ１０３に接
続されたこの第１エレベータ７５の上方部分までウェハ
容器を持ち上げる。その後、ウェハ容器は通常の手段に
より２段式コンベヤ１０３に移される。アクチュエータ
（図示せず）は２段式コンベヤ１０３を制御して、所定
の二重区画セグメント９３を中立位置から確動位置へ、
或いはその逆にシフトさせる。また、アクチュエータ
は、複数の第１転動要素９９ａ〜ｅ及び複数の第２転動
要素１０１ａ〜ｅの作動を制御して、選択的に前記転動
要素を回転させ、かくしてウェハ容器を前記転動要素の
一領域から次の領域へと搬送する。二重区画セグメント
９３ａ〜ｄを選択的にシフトすると共に、複数の転動要
素９９ａ〜ｅ及び１０１ａ〜ｅを回転することによっ
て、ウェハ容器は、貯留チャンネル１０９に保管もしく
は貯留され、図８に関連して前述したように、移送チャ
ンネル１０５を通って搬送される。
【００４７】ウェハ容器は、２段式コンベヤ１０３を通
って走行した後、この２段式コンベヤ１０３から第２エ
レベータ７９の上方部分へと通常の手段により移され
る。その後第２エレベータ７９はウェハ容器を第２装荷
ポート８１まで下降させ、前記第２装荷ポート８１にお
いて、通常の装荷機構９１（例えば、ロボット）が一度
に１つ以上のウェハを、或いはウェハ容器全体を第２装
荷ポート８１から製造ツール８７の第１ロードロック室
８３又は第２ロードロック室８５のどちらかに搬送す
る。製造ツール８７内で、ウェハは、第１ロードロック
室８３又は第２ロードロック室８５から処理のため１つ
以上のプロセス室８６（図１０参照）に搬送される。そ
の代わりに、第１エレベータ７５及び／又は第２エレベ
ータ７９がウェハ容器を高架ファクトリ搬送システム８
９に搬送してもよく、及び／又は２段式コンベヤ１０３
がウェハ容器を局所的に接続された製造ツールの装荷緩
衝装置に直接搬送してもよい。
【００４８】図１０は、図７Ｂに示した水平指向の二重
区画セグメント９３を採用したコンベヤ式装荷緩衝装置
７１の頂面図である。図１０に示すように、二重区画セ
グメント９３ｃは中立位置に置かれ（即ち、第１区画９
５が移送チャンネル１０５を占め、第２区画９７が往復
チャンネル１０７を占める）、二重区画セグメント９３
ａ，９３ｂ及び９３ｄは確動位置に置かれる（即ち、第
１区画９５が貯留チャンネル１０９を占め、第２区画９
７が往復チャンネル１０７を占める）。
【００４９】図１０の例において、第１ウェハ容器１１
１は二重区画セグメント９３ｄにより保管され、第２ウ
ェハ容器１１３は二重区画セグメント９３ｂに保管さ
れ、第３ウェハ容器１１５は二重区画セグメント９３ａ
により保管される。第４ウェハ容器１１７及び第５ウェ
ハ容器１１９は、移送チャンネル１０５を通って移動し
ている。第４ウェハ容器１１７は二重区画セグメント９
３ｃの第１区画９５から二重区画セグメント９３ｄの第
１区画９５へと移動しつつあり、第５ウェハ容器１１９
は二重区画セグメント９３ｂの第１区画９５を通って移
動しつつある。この例が示しているように、単一の二重
区画セグメント９３は、二重区画セグメント９３ｂがそ
うであるように、任意の時点で第１区画９５及び第２区
画９７の双方にウェハ容器を収容していてよい。また、
この例が示しているように、任意の時点で、移送チャン
ネル１０５は所定の二重区画セグメント９３の第１区画
９５又は第２区画９７のどちらかから構成しうる。
【００５０】図８に示した垂直指向の２段式コンベヤ１
０３でのように、図１０の好ましい作動状態において、
各二重区画セグメント９３は最初中立位置に置かれ、次
いで第１ウェハ容器は、二重区画セグメント９３ａの第
１区画９５の中に装荷されると共に、１）２段式コンベ
ヤ１０３の端部まで移送チャンネル１０５に沿って直ち
に走行し、そこで第１ウェハ容器はこの２段式コンベヤ
１０３から取り出され第２エレベータ７９内に置かれ
（図１１参照）；２）２段式コンベヤ１０３に沿ってあ
る距離（例えば、二重区画セグメント９３ｂ，９３ｃ又
は９３ｄまで）走行し、次いで保管状態に置かれるか
（例えば、各二重区画セグメント９３を確動位置にシフ
トすることにより貯留チャンネル１０９の中に置かれ
る）；３）直ぐ保管状態に置かれる（例えば、二重区画
セグメント９３ａを確動位置にシフトすることによ
り）。
【００５１】ウェハ容器を保管状態から取り出して前記
ウェハ容器を移送チャンネル１０５に戻すため、ウェハ
容器の入った二重区画セグメント９３は確動位置から中
立位置にシフトされる。その後、ウェハ容器は移送チャ
ンネル１０５に沿って走行し続け得る。このように、２
段式コンベヤ１０３を採用することにより、また、１つ
のチャンネルを貯留用に指定すると共に、１つのチャン
ネルを移動用に指定することにより、第１ウェハ容器
は、移送チャンネル１０５を通る第２ウェハ容器の通過
を邪魔することなく、２段式コンベヤ１０３に沿ったあ
る個所に保管状態に（即ち、複数の二重区画セグメント
９３ａ〜ｄのいずれかの内部に）置かれうる。移送チャ
ンネル１０５はウェハ容器を移動させるためにのみ使用
されるのが好ましく、また、貯留チャンネル１０９はウ
ェハ容器を保管しておくためにのみ使用されるのが好ま
しいが、貯留チャンネル１０９及び／又は移送チャンネ
ル１０５は貯留及び移送機能を組み合わせて遂行しう
る。図１０の装荷緩衝装置７１は製造ツールの上方に配
置されているが、当業者なら分かるように、装荷緩衝装
置７１は製造ツールの前，製造ツールの側等に配置して
もよい。
【００５２】図１１は、図１０の線１−１に沿って示す
コンベヤ式装荷緩衝装置７１の側面図である。従って、
図１１は移送チャンネル１０５のみを示しているが、往
復チャンネル１０７及び貯留チャンネル１０９は紙面に
垂直の面内にある。２段式コンベヤ１０３の水平方向付
け（図１０に関して記載した）の点を除いて、図１１に
示した装荷緩衝装置７１の構造及び作用は図９に関して
記載したものと同一であるから、更なる説明は省略す
る。
【００５３】前に述べたように、上述の装荷緩衝装置の
実施形態は、単に現時点での好ましい実施形態である。
他の実施形態も、この明細書で教示した本発明の特徴、
例えば製造ツールの局所的相互接続，高架ファクトリ搬
送機構からウェハ容器を受け取る機能，別個に作動する
ファクトリ装荷ポート及びツール装荷ポートの機能等の
恩恵を享受することができる。
【００５４】同様に、本発明はウェハを取り扱う方法も
提供しており、この方法は、図６Ｃに示したように相互
接続されるコンベヤ式装荷緩衝装置に用いられた場合に
特に有利である。しかし、本発明の方法は、図１２に関
して了解されるように、プロセス（同じプロセスである
ことが好ましい）を同時に遂行するために複数のツール
を用いるどんな製造システムにおいても有利に使用しう
ることが分かる。
【００５５】図１２は、本発明のウェハ取扱方法を規定
するのに有用なツールセット１１１の頂面図である。一
例としてのこのツールセット１１１は、同じプロセスを
遂行する３つの製造ツール１１３ａ〜ｃを備えている。
本発明の方法は、同一プロセスを実行する１組のツール
で用いられるのが最も有利であるが、種々の異なるプロ
セスを実行する１組のツールで用いることもできる。
【００５６】広義の意味で、本発明の方法は、製造ツー
ルのところで或いはツールセット１１１のウェハ容器到
来個所１１５のところで、複数のウェハ（即ちウェハの
ロット）を収容したウェハ容器を受け取り、このウェハ
のロットを複数のサブロットに分割し、そして前記サブ
ロットをツールセット１１１内の複数のツールに送る各
ステップを含んでいる。このようにして、複数のツール
は第１ウェハロットの受け取り直後に処理を開始しう
る。各サブロットは、ロットを搬送した同じ機構（例え
ば、ファクトリにある駆動機構）により製造ツール１１
３ａ〜ｃに送られるか、或いは複数の装荷緩衝装置の局
所的接続（例えば、図６Ｃに記載したような接続）のよ
うな局所搬送機構（数字１１７で総括的に表されてい
る）により送られることができる。ウェハのロットは、
ツールセットにある多数のツール間に等しく分配される
のが好ましい。従って、図１２に示すように、２５個か
らなるウェハロットは、ウェハ容器の到来個所１１５の
ところで受け取られ、９個からなる１つのサブロットと
８個からなる２つのサブロットとに分割され、予め空に
された３つの容器１１９ａ〜ｃの中に置かれる。前記容
器は局所搬送機構１１７により製造ツール１１３ａ〜ｃ
に送られる。
【００５７】本発明は、任意のコンピュータ読取り可能
媒体（例えば、ハードディスク，フロッピー（登録商
標）ディスク，搬送波信号等）に保存しうる、数字１１
９で総括的に表された制御プログラムを好適に提供す
る。この制御プログラムは、製造実行及び材料管理を制
御するプログラム全体の一部であってもよいし、別個の
プログラムであってもよい。別個のプログラムとウェハ
容器の到来個所１１５とが使用される場合、製造実行及
び材料管理プログラムもウェハ取扱設備も、それらによ
りアクセスする必要のある個所が少なくなるので（１／
３の個所）、かなり簡単化することができる。
【００５８】本発明の方法を実施するための制御プログ
ラムは図１３に記載されている。図１３に記載されてい
るように、コントローラは、セット内のどの製造ツール
も作動可能になっているかどうか（例えば、破損してい
ないか等）、また、ウェハを必要としているかどうか見
付けるためにチェックする（ブロック１）。作動可能な
製造ツールが存在しウェハを必要としていれば、他の製
造ツールに装荷されるのを待っているウェハは、ウェハ
を必要とする１つ以上の製造ツールにサブロットに分け
て分配される（ブロック２）。ウェハは、セット内の製
造ツールに（できるだけ均等に）、アルゴリズムに従っ
て最適に再分配されるのが好ましい。ウェハをサブロッ
トに分けて再分配するのに製造ツールの前部ローダロボ
ット等のような任意の機構を使用しうる。空のウェハ容
器は、保管されサブロット形成を待つていてよい。処理
の完了後に、サブロットは、（例えば、ローダロボット
により）再び合わせられてもよいし、或いはサブロット
に分けて次の設備セットに進んでもよい。
【００５９】本発明の方法は、ツールセットが通常の方
法に必要な時間の数分の１（この例では約１／３）で定
常状態処理を引き受けるのを可能とし、従って、過渡的
な処理状態（始動，ツール破損等）の間中、有利であ
る。
【００６０】上述の記載は本発明の好適な実施形態のみ
を開示しているが、本発明の範囲内に入るように上に開
示した装置及び方法を変更することは、当業者にとって
容易に明らかであろう。例えば、４つの貯留個所２５
ａ，２５ｂ，２５ｃ及び２５ｄが示されているだけであ
るが、追加の貯留個所を設けることができる。各貯留個
所２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄは単一のウェハ容器
をのみを保持するのに十分な幅のものとして示されてい
るが、前記貯留個所の大きさは複数のウェハ容器を保持
するように変更しうる。同様に、第１及び第２垂直搬送
機構として採用された特定の装置は、諸構成部材の特定
個所及び接続が変われば、変わりうる。
【００６１】二重区画セグメント９３は第１区画９５及
び第２区画９７のみを有するものとして示されている
が、前記二重区画セグメント９３は、追加の貯留個所或
いは追加の移送チャンネルを提供できる追加の区画室を
有していてよい。各二重区画セグメント９３は単一のウ
ェハ容器をのみを保持するのに十分な幅のものとして示
されているが、同二重区画セグメント９３の大きさは変
更しうる。
【００６２】作動中、どのチャンネルも所定時点で貯留
及び移送の双方を行うことができ、また、第１及び第２
装荷ポートの各々は、ファクトリ装荷ポート及びツール
装荷ポートの双方として機能しうる。水平搬送機構は、
開示したコンベヤ式のシステムに限定されない。他の同
等の搬送機構は当業者にとって明らかであろう。貯留チ
ャンネル及び移送チャンネルの双方を備える水平搬送機
構が好ましいが、水平搬送機構は単一のチャンネルから
構成されるものでよい。第１及び第２装荷ポートはＳＥ
ＭＩ（半導体装置・材料国際協会）−Ｅ１５に記載され
た仕様に適合するのが好ましいであろうが、他の装荷ポ
ートを使用しうる。
【００６３】装荷緩衝装置はウェハ容器を搬送するもの
として記載されているが、言うまでもなく、本発明はそ
れに限定されるものではなく、また、ウェハは、個々に
搬送されても、ＳＭＩＦ或いはその他の形式のポッドも
しくは容器に入って搬送されてもよい。このポッドは底
部開放式のものである必要はなく、例えば、側部又は頂
部開放式のポッドを本発明のシステム内で使用してもよ
い。本発明の装荷緩衝装置は、ＳＭＩＦ又はその他の方
式のポッドを搬送するために使用されるのであれば、当
前記技術において従来から知られているような機構をツ
ール装荷ポートのところにあるポッドを開閉するために
好適に含みうる。
【００６４】最後に、図１２は、隣接する複数のツール
を備えるものとして設備セットを示しているが、本発明
の方法は、隣接しておらず、しかも局所的に接続されて
いない設備セットで使用することができる。ツールセッ
トは任意の数のツールを備えていてよく、図１２に示し
た３つのツールは単なる具体例である。
【００６５】従って、本発明をその種々の好適な実施形
態について開示してきたが、言うまでもなく、その他の
実施形態の特許請求の範囲に規定した本発明の精神及び
範囲内に入りうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の棚式装荷緩衝装置の側面図である。
【図２】図１の装荷緩衝装置の正面図であり、４つの貯
留個所の好適な配置を示している。
【図３】図１の装荷緩衝装置の頂面図であり、その好適
なフットプリントもしくは設置面積を示している。
【図４Ａ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第１の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の側面図である。
【図４Ｂ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第１の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の別の側面図である。
【図４Ｃ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第１の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の更に別の側面図である。
【図４Ｄ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第１の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の他の側面図である。
【図４Ｅ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第１の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の更に他の側面図である。
【図４Ｆ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第１の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の異なる側面図である。
【図５Ａ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第２の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の側面図である。
【図５Ｂ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第２の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の別の側面図である。
【図５Ｃ】装荷緩衝装置を通るウェハ容器の搬送に関す
る第２の局面を説明するのに有用な図１の装荷緩衝装置
の更に別の側面図である。
【図６Ａ】種々の装荷ポートが垂直搬送機構と隣接して
いる本発明のコンベヤ式装荷緩衝装置に関する一局面の
側面図である。
【図６Ｂ】種々の装荷ポートが垂直搬送機構と隣接して
いるコンベヤ式装荷緩衝装置の一局面の側面図である。
【図６Ｃ】本発明の第２実施形態を採用する製造ツール
の局所的な相互接続の側面図である。
【図７Ａ】コンベヤ式装荷緩衝装置において採用される
好適なモジュール式コンベヤの垂直指向の二重区画セグ
メントの側面図である。
【図７Ｂ】コンベヤ式装荷緩衝装置において採用される
好適なモジュール式コンベヤの垂直指向の二重区画セグ
メントの側面斜視図である。
【図８】図７Ａに示した複数の二重区画セグメントから
構成される２段式コンベヤの側面図である。
【図９】搬送機構が図８の２段式コンベヤから構成され
ている本発明の装荷緩衝装置の好適な実施形態に関する
側面図である。
【図１０】図７Ｂの水平指向の二重区画セグメントを採
用するコンベヤ式装荷緩衝装置の頂面図である。
【図１１】図１０の線１−１に沿って示す水平指向のコ
ンベヤ式装荷緩衝装置の側面図である。
【図１２】本発明のウェハ取扱方法を説明するのに有用
な製造システムの平面図である。
【図１３】本発明のウェハ取扱方法を説明するのに有用
なフローチャートである。

Claims (52)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 製造ツールのところでウェハ容器の局所
    保管を行う装荷緩衝装置であって、 ファクトリへ及び前記ファクトリから搬送すべきウェハ
    容器を受け取る第１ファクトリ装荷ポートと、 ウェハ容器貯留部と、 ウェハ容器を前記第１ファクトリ装荷ポート及び前記貯
    留部間に搬送する第１ウェハ容器搬送機構と、 製造ツールによりアクセスすべきウェハ容器を受け取る
    第１ツール装荷ポートと、 ウェハ容器を前記第１ツール装荷ポート及び前記貯留部
    間に搬送する第２ウェハ容器搬送機構と、 を備える装荷緩衝装置。
  2. 【請求項２】 製造ツールのところでウェハ容器の局所
    保管を行う装荷緩衝装置であって、 ファクトリへ及び前記ファクトリから搬送すべきウェハ
    容器を受け取る第１ファクトリ装荷ポート手段と、 ウェハ容器貯留手段と、 ウェハ容器を前記第１ファクトリ装荷ポート手段及び前
    記貯留手段間に搬送する第１ウェハ容器搬送手段と、 ツールによりアクセスすべきウェハ容器を受け取る第１
    ツール装荷ポート手段と、 ウェハ容器を前記第１ツール装荷ポート手段及び前記貯
    留手段間に搬送する第２ウェハ容器搬送手段と、 を備える装荷緩衝装置。
  3. 【請求項３】 前記第１ファクトリ装荷ポートはツール
    へ及び前記ツールから搬送すべきウェハ容器を受け取
    り、前記第１ツール装荷ポートはファクトリへ及び前記
    ファクトリから搬送すべきウェハ容器を受け取る、請求
    項１に記載の装置。
  4. 【請求項４】 前記貯留部はコンベヤから構成される、
    請求項１に記載の装置。
  5. 【請求項５】 前記コンベヤはモジュール式２段コンベ
    ヤからなる、請求項１に記載の装置。
  6. 【請求項６】 前記貯留部は少なくとも１つの棚部を備
    える、請求項１に記載の装置。
  7. 【請求項７】 前記貯留部は垂直方向に離間した複数の
    棚部を備える、請求項１に記載の装置。
  8. 【請求項８】 前記第１ウェハ容器搬送機構はロボット
    アームを備え、前記第２ウェハ容器搬送機構はロボット
    アームを備える、請求項６に記載の装置。
  9. 【請求項９】 前記第１ウェハ容器搬送機構はエレベー
    タを備え、前記第２ウェハ容器搬送機構はエレベータを
    備える、請求項４に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１に記載の装置であって、 ファクトリへ及び前記ファクトリから搬送すべきウェハ
    容器を受け取る第２ファクトリ装荷ポートと、 ツールによりアクセスすべきウェハ容器を受け取る第２
    ツール装荷ポートと、を更に備え、前記第１ウェハ容器
    搬送機構は前記第１及び第２ファクトリ装荷ポートの双
    方にアクセスし、前記第２ウェハ容器搬送機構は前記第
    １及び第２ルール装荷ポートの双方にアクセスする、装
    置。
  11. 【請求項１１】 前記第１ウェハ容器搬送機構は、前記
    第１ファクトリ装荷ポートにほぼ垂直方向に整列した位
    置から、前記第１ファクトリ装荷ポートからウェハ容器
    を取り出し、そして前記第１ファクトリ装荷ポートへウ
    ェハ容器を置く、請求項１に記載の装置。
  12. 【請求項１２】 前記第２ウェハ容器搬送機構は、前記
    第１ツール装荷ポートにほぼ垂直方向に整列した位置か
    ら、前記第１ツール装荷ポートからウェハ容器を取り出
    し、そして前記第１ツール装荷ポートへウェハ容器を置
    く、請求項１に記載の装置。
  13. 【請求項１３】 前記第２ウェハ容器搬送機構は、前記
    第２ツール装荷ポートにほぼ垂直方向に整列した位置か
    ら、前記第２ツール装荷ポートからウェハ容器を取り出
    し、そして前記第２ツール装荷ポートへウェハ容器を置
    く、請求項１に記載の装置。
  14. 【請求項１４】 製造ツールと、 請求項１に記載の装荷緩衝装置と を備え、前記ツール装荷ポートは前記製造ツールの上に
    配置されている、装置。
  15. 【請求項１５】 前記製造ツールは、頂部を有する頂部
    開放ロードロック室を備える、請求項１４に記載の装
    置。
  16. 【請求項１６】 前記頂部開放ロードロック室は、前記
    頂部開放ロードロック室の頂部が持ち上がるにつれてウ
    ェハ容器蓋体を持ち上げるポッド係合機構を備える、請
    求項１５に記載の装置。
  17. 【請求項１７】 前記頂部開放ロードロック室は、前記
    第１ツール装荷ポート上に配置された開放ウェハ容器か
    ら少なくとも１つのウェハを取り出すウェハ取出機構を
    備える、請求項１６に記載の装置。
  18. 【請求項１８】 請求項１に記載の第１の装荷緩衝装置
    と、 請求項１に記載の第２の装荷緩衝装置とを備え、前記第
    １及び第２ウェハ容器搬送機構の少なくとも１つが前記
    第２の装荷緩衝装置の貯留部にウェハ容器を搬送する、
    装荷緩衝装置システム。
  19. 【請求項１９】 請求項２に記載の第１の装荷緩衝装置
    と、 請求項２に記載の第２の装荷緩衝装置とを備え、前記第
    １の装荷緩衝装置のコンベヤと前記第２の装荷緩衝装置
    のコンベヤとが接続されている、装荷緩衝装置システ
    ム。
  20. 【請求項２０】 請求項２に記載の第１の装荷緩衝装置
    と、 請求項２に記載の第２の装荷緩衝装置とを備え、前記第
    １の装荷緩衝装置のコンベヤと前記第２の装荷緩衝装置
    のコンベヤとが直結されている、装荷緩衝装置システ
    ム。
  21. 【請求項２１】 請求項４に記載の第１の装荷緩衝装置
    と、 請求項４に記載の第２の装荷緩衝装置とを備え、前記第
    １の装荷緩衝装置又は前記第２の装荷緩衝装置の前記第
    １，第２ウェハ容器搬送機構の少なくとも１つが、前記
    第１の装荷緩衝装置の少なくとも１つの棚部と前記第２
    の装荷緩衝装置の少なくとも１つの棚部との双方にアク
    セスする、装荷緩衝装置システム。
  22. 【請求項２２】 第１の製造ツール及び第２の製造ツー
    ルと共に使用するのに適合する装置であって、 第１の製造ツールに接続される第１貯留装置と、 第２の製造ツールに接続されると共に、前記第１貯留装
    置に接続される第２貯留装置とを備え、ウェハ容器が前
    記第１及び第２貯留装置間を直接走行するのを可能にす
    る装置。
  23. 【請求項２３】 貯留システムであって、 第１の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポートと、前記１対の装荷ポー
    ト間でウェハ容器を垂直方向及び水平方向に直線的に移
    動させる搬送システムとを備える第１貯留装置と、 第２の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポートと、前記１対の装荷ポー
    ト間でウェハ容器を垂直方向及び水平方向に直線的に移
    動させる搬送システムとを備える第２貯留装置とを備
    え、 前記第１又は第２貯留装置の前記搬送システムは、前記
    第１貯留装置の前記搬送システムと前記第２貯留装置の
    前記搬送システムとの間でウェハ容器を直線的に搬送す
    る、貯留システム。
  24. 【請求項２４】 貯留システムであって、 第１の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポート手段と、前記１対の装荷
    ポート手段間でウェハ容器を垂直方向及び水平方向に直
    線的に移動させる搬送手段とを備える第１貯留手段と、 第２の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポート手段と、前記１対の装荷
    ポート手段間でウェハ容器を垂直方向及び水平方向に直
    線的に移動させる搬送手段とを備える第２貯留手段とを
    備え、 前記第１又は第２貯留手段の前記搬送手段は、前記第１
    貯留手段と前記第２貯留手段との間でウェハ容器を直線
    的に搬送する、貯留システム。
  25. 【請求項２５】 貯留システムであって、 第１の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポートと、前記１対の装荷ポー
    ト間でウェハ容器を移動させる１対のウェハ容器搬送機
    構とを備える第１貯留装置と、 第２の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポートと、前記１対の装荷ポー
    ト間でウェハ容器を移動させる１対のウェハ容器搬送機
    構とを備える第２貯留装置とを備え、 前記第１又は第２貯留装置の前記ウェハ容器搬送機構の
    少なくとも１つは、前記第１貯留装置と前記第２貯留装
    置との間でウェハ容器を搬送する、貯留システム。
  26. 【請求項２６】 貯留システムであって、 第１の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポート手段と、貯留手段と、前
    記貯留手段及び前記１対の装荷ポート手段間でウェハ容
    器を移動させる１対のウェハ容器搬送手段とを備える第
    １貯留装置と、 第２の製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留
    すると共に、１対の装荷ポート手段と、貯留手段と、前
    記貯留手段及び前記１対の装荷ポート手段間でウェハ容
    器を移動させる１対のウェハ容器搬送手段とを備える第
    ２貯留装置とを備え、 前記第１又は第２貯留装置の前記ウェハ容器搬送手段の
    少なくとも１つは、前記第２貯留装置の前記貯留手段に
    ウェハ容器を搬送する、貯留システム。
  27. 【請求項２７】 貯留システムであって、 製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留すると
    共に、１対の装荷ポートと、前記１対の装荷ポート間で
    ウェハ容器を移動させる１対のウェハ容器搬送機構とを
    備える貯留装置を備え、 前記１対の装荷ポートの各々がファクトリ装荷ポート及
    びツール装荷ポートの双方として機能するように、前記
    １対の装荷ポートの各々は、前記貯留装置に貯留すべき
    ウェハ容器を受け取ると共に、前記貯留装置に貯留され
    ていたウェハ容器を受け取る、貯留システム。
  28. 【請求項２８】 貯留システムであって、 製造ツールのところで局所的にウェハ容器を貯留すると
    共に、１対の装荷ポート手段と、前記１対の装荷ポート
    手段間でウェハ容器を移動させる１対のウェハ容器搬送
    手段とを備える貯留手段を備え、 前記１対の装荷ポート手段の各々がファクトリ装荷ポー
    ト及びツール装荷ポートの双方として機能するように、
    前記１対の装荷ポート手段の各々は、前記貯留手段に貯
    留すべきウェハ容器を受け取ると共に、前記貯留手段に
    貯留されていたウェハ容器を受け取る、貯留システム。
  29. 【請求項２９】 製造ツールに装荷すべきウェハ容器を
    緩衝する方法であって、 第１の製造ツールのところでウェハ容器を貯留する第１
    貯留装置を用意し、 第２の製造ツールのところでウェハ容器を貯留する第２
    貯留装置を用意し、 前記第１貯留装置から前記第２貯留装置へウェハ容器を
    直接搬送する、方法。
  30. 【請求項３０】 製造ツールのところでウェハ容器の局
    所貯留を行う方法であって、 製造ツールに対して局所的な貯留部にウェハ容器を受け
    取り、 前記ウェハ容器を前記貯留部から前記製造ツールのツー
    ル装荷ポートへと降下させる、方法。
  31. 【請求項３１】 製造ツールのところでウェハ容器の局
    所貯留を行う方法であって、 製造ツールに対して局所的な貯留装置の第１ファクトリ
    装荷ポートで第１ウェハ容器を受け取り、 第１ウェハ容器搬送機構により前記第１ウェハ容器を前
    記貯留装置のウェハ容器貯留部まで持ち上げ、 第２ウェハ容器搬送機構により前記第１ウェハ容器を前
    記ウェハ容器貯留部から前記製造ツールの第１ツール装
    荷ポートへ下降させる、方法。
  32. 【請求項３２】 前記第１ウェハ容器搬送機構は、前記
    第１ファクトリ装荷ポートの上方の位置から前記第１フ
    ァクトリ装荷ポートにアクセスし、前記第２ウェハ容器
    搬送機構は、前記第１ツール装荷ポートの上方の位置か
    ら前記第１ツール装荷ポートにアクセスする、請求項３
    １に記載の方法。
  33. 【請求項３３】 請求項３１に記載の方法であって、更
    に、 前記貯留装置の第２ファクトリ装荷ポートのところで第
    ２ウェハ容器を受け取り、 前記第１ウェハ容器搬送機構により前記第２ウェハ容器
    を前記貯留装置のウェハ容器貯留部まで持ち上げ、 前記第２ウェハ容器搬送機構により前記第２ウェハ容器
    を前記ウェハ容器貯留部から前記製造ツールの第２ツー
    ル装荷ポートへ下降させる、方法。
  34. 【請求項３４】 前記第１，第２ファクトリ装荷ポート
    への及びからの持ち上げ及び下降と前記第１，第２ツー
    ル装荷ポートへの及びからの持ち上げ及び下降とは別個
    に行われる、請求項３３に記載の方法。
  35. 【請求項３５】 請求項３１に記載の方法であって、更
    に、 前記第１ツール装荷ポート上に配置されたウェハ容器の
    蓋体をポッド係合機構に接触させ、 前記製造ツールのロードロック室を開き、 前記ロードロック室が開くときに、前記第１ツール装荷
    ポート上に配置された前記ウェハ容器の前記蓋体を開
    く、方法。
  36. 【請求項３６】 前記第１ウェハ容器搬送機構により第
    ２ウェハ容器を持ち上げるステップを更に備え、前記第
    １，第２ウェハ容器搬送機構の作動は別個に行われる、
    請求項３１に記載の方法。
  37. 【請求項３７】 請求項３１に記載の方法であって、更
    に、 前記ウェハ容器を前記製造ツールの前記第１ツール装荷
    ポートに下降させながら前記ウェハ容器の前記蓋体を開
    く、ことを含む方法。
  38. 【請求項３８】 製造ツールのところでウェハ容器の局
    所貯留を行う方法であって、 第１製造ツールに隣接するポートのところでウェハ容器
    を受け取り、 前記ウェハ容器を前記ポートからウェハ容器貯留部に隣
    接する高度まで垂直方向に直線的に移動させ、 前記ウェハ容器貯留部上に前記ウェハ容器を貯留するた
    め前記ウェハ容器を水平方向に直線的に移動させ、 前記ウェハ容器が直線運動のみで移動する、方法。
  39. 【請求項３９】 請求項３８に記載の方法であって、更
    に、 第２製造ツールに隣接するポートの上方の位置まで前記
    ウェハ容器を水平方向に直線的に移動させ、 前記第２製造ツールに隣接する前記ポート上に前記ウェ
    ハ容器を配置させるため前記ウェハ容器を垂直方向に直
    線的に移動させる、ことを含む方法。
  40. 【請求項４０】 前記第１ウェハ容器搬送機構は、ウェ
    ハ容器を前記第１ファクトリ装荷ポート及び前記ウェハ
    容器貯留部の間で直線的に搬送するようになっており、
    前記第２ウェハ容器搬送機構は、ウェハ容器を前記ウェ
    ハ容器貯留部及び前記第１ツール装荷ポートの間で直線
    的に搬送する、請求項１に記載の装置。
  41. 【請求項４１】 基板取扱方法であって、 同一プロセスを実行する１組の製造ツールのうちの第１
    製造ツールのところでウェハのロットを受け取り、 前記ウェハのロットをサブロットに分け、 前記サブロットを前記１組の製造ツール内の他の製造ツ
    ールに分配する、基板取扱方法。
  42. 【請求項４２】 前記ウェハのロットは前記１組の製造
    ツールにおける残りの製造ツール間で最適に分けられ
    る、請求項４１に記載の方法。
  43. 【請求項４３】 前記サブロットを分配するステップ
    は、前記サブロットを局部的な相互接続部を介して前記
    第１製造ツールから他の製造ツールに通過させることを
    含む、請求項４１に記載の方法。
  44. 【請求項４４】 基板取扱方法であって、 製造ツールセットのウェハ容器受取個所のところでウェ
    ハのロットを受け取り、 前記ウェハのロットをサブロットに分け、 前記サブロットを前記製造ツールセット内の製造ツール
    に分配する、基板取扱方法。
  45. 【請求項４５】 前記ウェハのロットは前記製造ツール
    セットにおける残りの製造ツール間で最適に分けられ
    る、請求項４４に記載の方法。
  46. 【請求項４６】 前記サブロットを分配するステップ
    は、前記サブロットを前記ウェハ容器受取個所から前記
    製造ツールセット内の多数の製造ツールに通過させるこ
    とを含む、請求項４４に記載の方法。
  47. 【請求項４７】 同一プロセスを実行する製造ツールの
    セット内の基板の取扱を制御するためのコンピュータプ
    ログラムプロダクトであって、 前記コンピュータにより読取り可能である媒体を備え、
    前記媒体は、 第１製造ツールのところで受け取られたウェハのロット
    をサブロットに分けるのを制御するための手段と、 前記サブロットを前記製造ツールのセット内の他のツー
    ルに分配するのを制御するための手段とを有する、コン
    ピュータプログラムプロダクト。
  48. 【請求項４８】 前記ウェハのロットをサブロットに分
    けるのを制御するための前記手段は、前記製造ツールの
    セットにおける残りのツール間に前記ウェハのロットを
    最適に分けるように前記ウェハのロットを分けるのを制
    御するための手段からなる、請求項４７に記載のコンピ
    ュータプログラムプロダクト。
  49. 【請求項４９】 前記サブロットを前記製造ツールのセ
    ット内の他のツールに分配するのを制御するための前記
    手段は、前記サブロットが前記第１製造ツールから局部
    的な相互接続部を介して他のツールに通過するのを制御
    するための手段からなる請求項４７に記載のコンピュー
    タプログラムプロダクト。
  50. 【請求項５０】 基板の取扱を制御するためのコンピュ
    ータプログラムプロダクトであって、 コンピュータにより読取り可能である媒体を備え、前記
    媒体は、 製造ツールセットのウェハ容器受取個所のところで受け
    取られたウェハのロットをサブロットに分けるのを制御
    するための手段と、 前記サブロットを前記製造ツールセット内のツールに分
    配するのを制御するための手段とを有する、コンピュー
    タプログラムプロダクト。
  51. 【請求項５１】 前記ウェハのロットを前記サブロット
    に分けるのを制御するための前記手段は、前記製造ツー
    ルセットにおけるツール間に前記ウェハのロットを均等
    に分けるように前記ウェハのロットを分けるのを制御す
    るための手段からなる、請求項５０に記載のコンピュー
    タプログラムプロダクト。
  52. 【請求項５２】 前記サブロットを前記製造ツールセッ
    ト内のツールに分配するのを制御するための前記手段
    は、前記サブロットが前記ウェハ容器受取個所から前記
    製造ツールセット内の多数のツールに通過するのを制御
    するための手段からなる、請求項５０に記載のコンピュ
    ータプログラムプロダクト。
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