KR100835822B1 - 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법 - Google Patents

스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100835822B1
KR100835822B1 KR1020030060618A KR20030060618A KR100835822B1 KR 100835822 B1 KR100835822 B1 KR 100835822B1 KR 1020030060618 A KR1020030060618 A KR 1020030060618A KR 20030060618 A KR20030060618 A KR 20030060618A KR 100835822 B1 KR100835822 B1 KR 100835822B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
gripper arm
body portion
distance
sensing means
Prior art date
Application number
KR1020030060618A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050022421A (ko
Inventor
김용운
Original Assignee
동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부일렉트로닉스 주식회사 filed Critical 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority to KR1020030060618A priority Critical patent/KR100835822B1/ko
Publication of KR20050022421A publication Critical patent/KR20050022421A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100835822B1 publication Critical patent/KR100835822B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 카세트가 안착되어 있는 단위 공정 장비의 카세트 플레이트의 수평 여부에 관계없이 카세트의 위치를 정확히 감지하여 상기 카세트를 안정적으로 이송할 수 있는 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 이를 이용한 카세트 이송 방법에 관한 것으로서,
본 발명에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암은 일측에 그립을 각각 구비하는 제 1 몸체부 및 제 2 몸체부;와, 제 1 몸체부와 제 2 몸체부가 접하는 면에 구비되며 상기 제 1 및 제 2 몸체부가 슬라이딩되어 상하 이동이 가능하도록 안내하는 가이드 레일;과, 상기 제 1 및 제 2 몸체부의 배면에 각각 구비되어 카세트와의 거리를 감지하는 제 1 및 제 2 감지수단;과, 상기 제 1 및 제 2 몸체부 내부의 일측에 구비되어 각각의 몸체부의 상하 이동이 가능하도록 구동력을 발생시키는 제 1 및 제 2 액추에이터;와, 상기 제 1 및 제 2 감지수단으로부터 입력되는 신호를 바탕으로 카세트와 각 몸체부와의 거리를 계산하여 상기 제 1 및 제 2 액추에이터로 하여금 각각의 거리에 해당하는 만큼 상기 가이드 레일을 따라 이동시키도록 전기적 신호를 발생시키는 제 1 및 제 2 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
그리퍼, 그립, SMIF, 카세트

Description

스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및 이를 이용한 카세트 이송 방법{Gripper arm of Standard Mechanical Interface System and transporting method of cassette using it}
도 1은 종래의 SMIF 장치의 개략적인 단면도.
도 2는 종래 기술에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암의 정면도.
도 3은 본 발명의 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 카세트 플레이트 상에 안착되어 있는 카세트를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명에 다른 그리퍼 암의 배면을 나타낸 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
300 : 그리퍼 암 301 : 카세트
301a : 걸림편 302 : 카세트 플레이트
312 : 그립 312a: 슬라이드 부재
312b : 지지부재 320 : 제 1 몸체부
321 : 제 1 액추에이터 322 : 제 1 감지수단
323 : 제 1 제어수단 330 : 제 2 몸체부
331 : 제 2 액추에이터 332 : 제 2 감지수단
333 : 제 2 제어수단
본 발명은 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 이를 이용한 카세트 이송 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트가 안착되어 있는 단위 공정 장비의 카세트 플레이트의 수평 여부에 관계없이 카세트의 위치를 정확히 감지하여 상기 카세트를 안정적으로 이송할 수 있는 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 이를 이용한 카세트 이송 방법에 관한 것이다.
SMIF 장치는 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 컨트롤 및 공정 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 장치는 반도체 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 웨이퍼가 수납된 카세트를 단위 공정을 수행하기 위하여 반도체 장비에 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는데 사용된다.
이와 같은 SMIF 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래의 SMIF 장치의 개략적인 단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, SMIF 장치는 내측으로 카세트를 수납하는 SMIF 파드(pod)(110)와, 상기 카세트를 로딩/언로딩하는 출입구가 구비되어 있는 SMIF 포트(120)와, 상기 SMIF 파드로(110)부터 SMIF 포트(120)로 또는 그 역으로 카세트(101)를 수직 이송하는 수직 이송 플레이 트(130)와, 상기 수직 이송 플레이트에 의해 하방으로 이송된 카세트(101)를 단위 공정 장비로 로딩/언로딩하는 그리퍼 암(gripper arm)(140)으로 구성된다.
상기 SMIF 파드(110) 내에 수납된 카세트(101)는 미도시된 구동 수단에 의해 구동되는 수직 이송 플레이트(130)에 의해 하방으로 이송되어 SMIF 포트(120)에 위치하면, 상기 SMIF 포트(120) 내에 설치된 안내선(102)을 따라 수평 방향으로 이동하는 그리퍼 암에 의해 SMIF의 출입구를 통해 단위 공정 장비로 로딩된다. 또한, 이와 반대의 순서로 카세트(101)는 단위 공정 장비로부터 언로딩되어 SMIF 장치의 SMIF 파드(110)로 수납된다.
한편, 상기 카세트(101)를 단위 공정 장비, 정확히는 단위 공정 장비에 구비되어 있는 카세트 플레이트(cassette plate)로 로딩/언로딩하는 그리퍼 암(140)을 첨부된 도면을 설명하면 다음과 같다. 도 2는 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 암의 정면도이다. 도시된 바와 같이, 그리퍼 암(140)은 크게 하우징(142)과 한 쌍의 그립(grip) 및 카세트 감지부(150)로 구성된다. 상기 하우징(142)은 내부가 공개될 수 있도록 상측에 커버가 볼트 등으로 체결되고, 내부 일측에는 안내선(102)에 슬라이딩 결합되는 연결부재가 결합되며, 하우징 양단에는 상기 그립(141)이 슬라이딩 결합된다.
한 쌍의 그립(141)은 서로 대향되도록 하우징(142)의 양측에 일단이 각각 슬라이딩 삽입되는 슬라이드 부재(141a)와, 상기 슬라이드 부재(141a)의 타단에 결합되며 카세트(101) 상측에 형성되어 있는 걸림편(101a)을 지지하는 지지부재(141b)로 구성된다.
상기 카세트 감지부(150)는 상기 그립 하우징의 하면에 대각선 방향으로 두 개의 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(151, 152)가 설치되며, 상기 제 1 및 제 2 카세트 감지센서는 그 하측으로 카세트(101)의 상면이 접하는 경우에 카세트 감지신호를 출력한다.
이와 같은 구조로 이루어진 종래의 SMIF 장치의 그리퍼 암의 동작은 다음과 같이 이루어진다. 그리퍼 암(140)이 수직 이송 플레이트(130)에 의해 SMIF 파드(110)로부터 SMIF 포트(120)로 이송된 카세트(101)를 단위 공정 장비의 카세트 플레이트로 이송하기 위해서 먼저, 안내선(102)은 그립(141)이 오픈된 그리퍼 암(140)과 함께 하강하고, 상기 카세트 감지부(150)는 그리퍼 암의 하우징 하면에 카세트의 상면이 접촉됨을 감지하여 카세트 감지신호를 출력한다. 상기 카세트 감지부(150)로부터 출력된 카세트 감지신호는 그리퍼 암의 일측에 구비되어 있는 제어부(도시하지 않음)가 수신하는데, 상기 제어부가 카세트 감지부의 제 1 및 제 2 카세트 감지센서(151, 152)로부터 각각 출력되는 카세트 감지신호를 모두 수신한 경우 구동부의 모터(도시하지 않음)를 구동시켜 오픈되어 있는 그립을 하우징의 내측으로 이동시킨다. 상기 그립(141)이 하우징 내측으로 이동하여 상기 카세트의 걸림편(101a)을 지지하면 그리퍼 암(140)은 안내선(102)과 함께 일정 간격 상승한 후, 그리퍼 암은 안내선을 따라 단위 공정 장비의 카세트 플레이트로 카세트(101)를 이동시키게 된다.
종래의 SMIF 장치의 그리퍼 암을 이용한 카세트 이송에 있어서, 카세트 플레이트 상에 놓여 있는 카세트를 이송하기 위해 그리퍼 암이 상기 카세트 플레이트 상부로 위치하게 되고 미리 설정되어 있는 이동 거리 즉, 그리퍼 암과 카세트 상단 사이의 거리만큼 상기 그리퍼 암이 하강하여 카세트 상단과 그리퍼 암이 접촉됨을 상기 그리퍼 암의 카세트 감지부(제 1 및 제 2 카세트 감지센서)가 감지하면 그리퍼 암의 그립이 카세트의 걸림편에 결착되어 이송이 가능하게 된다.
그러나, 카세트 플레이트가 정확히 수평을 이루지 않은 경우에는, 그리퍼 암이 상기 카세트 플레이트 상의 카세트를 이송하기 위하여 하강할 때 상기 그리퍼 암이 카세트에 접촉되더라도 그리퍼 암의 하단과 카세트의 상단의 접촉면이 정확히 일치하지 않아 2개의 카세트 감지센서 중 하나만 접촉 감지신호를 발생시켜 결과적으로 카세트의 이송이 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 카세트가 안착되어 있는 단위 공정 장비의 카세트 플레이트의 수평 여부에 관계없이 카세트의 위치를 정확히 감지하여 상기 카세트를 안정적으로 이송할 수 있는 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 이를 이용한 카세트 이송 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 SMIF 장치의 그리퍼 암은 일측에 그립을 각각 구비하는 제 1 몸체부 및 제 2 몸체부;와, 제 1 몸체부와 제 2 몸체부가 접하는 면에 구비되며 상기 제 1 및 제 2 몸체부가 슬라이딩되어 상하 이동이 가능 하도록 안내하는 가이드 레일;과, 상기 제 1 및 제 2 몸체부의 배면에 각각 구비되어 카세트와의 거리를 독립적으로 감지하는 제 1 및 제 2 감지수단;과, 상기 제 1 및 제 2 몸체부 내부의 일측에 구비되어 각각의 몸체부의 상하 이동이 가능하도록 구동력을 발생시키는 제 1 및 제 2 액추에이터;와, 상기 제 1 및 제 2 감지수단으로부터 입력되는 신호를 바탕으로 카세트와 각 몸체부와의 거리를 계산하여 상기 제 1 및 제 2 액추에이터로 하여금 각각의 거리에 해당하는 만큼 상기 가이드 레일을 따라 이동시키도록 전기적 신호를 발생시키는 제 1 및 제 2 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 제 1 및 제 2 감지수단은 압전 센서로 구성되고 제 1 및 제 2 액추에이터는 압전 소자로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암을 이용한 카세트 이송 방법은 SMIF 장치의 그리퍼 암을 이용하여 단위 공정 장비와의 카세트 이송을 수행하는 카세트 이송 방법에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 몸체부 내부의 일측에 구비된 제 1 및 제 2 액추에이터에 의해 각각의 몸체부를 상하 이동시키는 단계;와, 상기 제 1 및 제 2 몸체부의 배면에 각각 구비된 제 1 및 제 2 감지수단에 의해 카세트와의 거리를 독립적으로 감지하는 단계;와, 상기 제 1 및 제 2 감지수단으로부터 입력되는 신호를 바탕으로 카세트와 각 몸체부와의 거리를 계산하여 상기 제 1 및 제 2 액추에이터로 하여금 각각의 거리에 해당하는 만큼 가이드 레일을 따라 이동시키도록 전기적 신호를 발생시키는 단계;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 특징에 따르면, 그리퍼 암의 몸체부를 제 1 및 제 2 몸체부로 구분하고 상기 각 몸체부 배면에 압전 센서를 이용한 제 1 및 제 2 감지센서를 장착시켜 카세트와 그리퍼 암과의 거리를 2곳에서 측정하고 측정된 해당 거리만큼 상기 제 1 및 제 2 몸체부를 이동시켜 카세트를 이송시키게 함으로써 그리퍼 암이 카세트를 지지함에 있어서 종래와 같은 그리퍼 암 또는 카세트 플레이트의 수평 불균형으로 인한 오류를 방지할 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암과 이를 이용한 카세트 이송 방법을 상세히 설명하기로 한다. 도 3은 본 발명의 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 카세트 플레이트 상에 안착되어 있는 카세트를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 다른 그리퍼 암의 배면을 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암(300)은 크게 몸체부와 한 쌍의 그립(312)으로 구성된다.
상기 한 쌍의 그립(312)은 서로 대향되도록 몸체부의 양측에 일단이 각각 슬라이딩 삽입되는 슬라이드 부재(312a)와, 상기 슬라이드 부재(312a)의 타단에 결합되며 카세트(301) 상단에 형성되어 있는 걸림편(301a)을 지지하는 지지부재(312b)로 구성된다.
한편, 상기 몸체부는 제 1 몸체부(320)와 제 2 몸체부(330)로 구분되는데, 상기 제 1 몸체부(320)와 제 2 몸체부(330)가 접하는 면에 있어서 제 1 몸체부 또는 제 2 몸체부의 일측에는 가이드 레일(313)이 구비되어 상기 제 1 몸체부 및 제 2 몸체부의 독립적인 상하 이동이 가능하도록 되어 있다.
또한, 상기 제 1 몸체부(320) 및 제 2 몸체부(330) 각각의 배면에는 제 1 감지 수단(322)과 제 2 감지 수단(332)이 구비되어 있다. 상기 제 1 감지 수단과 제 2 감지 수단은 하측의 카세트(301)를 감지하기 위한 장치로서 구체적으로 압전 센서 등으로 구현될 수 있다. 상기 감지 수단 예를 들어, 압전 센서의 특성을 이용하여 그리퍼 암(300)과 카세트(301)와의 거리를 파악할 수 있게 된다.
또한, 상기 제 1 몸체부(320) 및 제 2 몸체부(330) 각각의 내부에는 각 몸체부를 독립적으로 구동시키는 제 1 및 제 2 액추에이터(actuator)(321, 331)가 구비되어 있다. 상기 액추에이터 역시 압전 소자를 이용하여 구성할 수 있다. 한편, 상기 그리퍼 암의 일측에는 상기 제 1 제어수단(323) 및 제 2 제어수단(333)이 구비되어 있어, 상기 감지수단 및 액추에이터를 제어한다.
구체적으로, 상기 제 1 및 제 2 감지수단(322, 332)에 의해 거리가 측정되면 상기 제 1 및 제 2 제어수단(323, 333)은 각 거리에 상응하는 전기적 신호를 상기 제 1 및 제 2 액추에이터(321, 331)로 전달하여 압전 소자로 구성되는 제 1 및 제 2 액추에이터가 각 전기적 신호에 상응하는 만큼 기계적 운동을 하도록 한다. 상기 제 1 및 제 2 액추에이터의 기계적 운동에 의해 상기 제 1 몸체부와 제 2 몸체부의 경계면에 구비되어 있는 가이드 레일을 따라 상기 제 1 몸체부 및 제 2 몸체부가 독립적으로 이동할 수 있게 된다.
이와 같은 구성으로 이루어지는 시스템을 이용한 본 발명의 카세트 이송 방법은 다음과 같은 구동 원리로 진행된다.
카세트(301)가 단위 공정 장비의 카세트 플레이트(302) 상에 안착되어 있는 상태에서 그리퍼 암(300)이 그립(312)이 오픈된 상태로 상기 카세트(301)의 상부로 이동되면, 상기 그리퍼 암(300)의 제 1 및 제 2 몸체부(320, 330) 배면에 각각 구비되어 있는 제 1 감지수단(322) 및 제 2 감지수단(332)은 제어수단의 명령에 의해 신호를 상기 카세트 상면을 향해 발생시킨다. 이 때, 제 1 및 제 2 감지수단이 발생시키는 신호는 각각의 제어수단(323, 332)에 의해 독립적으로 발생시키는 것이다.
상기 제 1 및 제 2 감지수단(322, 332)은 압전 센서로 구현되어 제어수단의 전기적 신호의 명령을 기계적 신호 예를 들어, 초음파 등으로 변환하여 상기 카세트 상면을 향하여 발생시킬 수 있다. 상기 제 1 및 제 2 감지수단은 상기 카세트 상면을 맞고 되돌아오는 초음파 등의 신호를 수신하고 상기 제 1 및 제 2 제어수단(323, 333)은 해당 신호 정보를 분석하여 그리퍼 암과 카세트 사이의 거리를 계산한다. 이 때, 상기 제 1 및 제 2 제어수단에 의해 계산되는 거리는 서로 다를 수 있다. 그 이유는 종래 기술에서 설명한 바와 같이, 그리퍼 암 자체의 수평이 맞지 않거나 단위 공정 장비의 카세트 플레이트의 수평이 맞지 않아서 일 수도 있다. 이 때, 상기 제 1 및 제 2 제어수단 및 감지수단은 전술한 바와 같이 독립적으로 해당 작업을 수행한다.
한편, 카세트(301)와 그리퍼 암(300) 사이의 거리가 파악되면 상기 제 1 및 제 2 제어수단(323, 333)은 각 거리에 해당하는 전기적 신호를 상기 제 1 및 제 2 액추에이터(321, 331)로 전달한다. 상기 제 1 및 제 2 액추에이터는 전술한 바와 같이, 압전 소자로 구현될 수 있어 상기 제 1 및 제 2 제어수단으로부터 전기적 신호가 입력되면 그에 상응하는 만큼의 기계적 에너지로 변환시킨다. 즉, 전기적 에너지가 기계적 에너지로 변환되는 것이다.
상기의 과정을 통해 제 1 액추에이터(321)와 제 2 액추에이터(331)는 독립적으로 기계적 운동을 하게 되고, 이에 따라 각각의 액추에이터와 기계적 연결 관계를 갖는 가이드 레일을 따라 상기 제 1 몸체부 및 제 2 몸체부는 카세트 상면이 접촉될 때까지 독립적으로 하강하게 된다. 이 때, 제 1 몸체부(320)와 제 2 몸체부(330)가 하강되는 거리는 상기 제 1 및 제 2 감지수단에 의해 측정된 거리에 해당하며 따라서, 제 1 몸체부와 제 2 몸체부가 하강하는 거리는 동일하지 않을 수도 있다.
제 1 및 제 2 몸체부(320, 330)가 각각 카세트의 상면에 접촉하게 되면 상기 그리퍼 암(300)의 그립(312)이 수평 이동하여 카세트의 걸림편(301a)을 지지하게 된다. 이와 같이 그리퍼 암이 지지된 상태에서 통상의 카세트 이송 과정을 거치면 본 발명에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암을 이용한 카세트 이송 방법은 완료된다.
이와 같이, 본 발명에 의해 구현되는 SMIF 장치의 그리퍼 암은 각각의 몸체부가 독립적으로 움직임에 따라 그리퍼 암 또는 단위 공정 장비의 카세트 플레이트의 수평 여부에 관계없이 그리퍼 암이 카세트 상면에 정확히 접하게 되어 안정적인 카세트 이송을 수행할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 SMIF 장치의 그리퍼 암 및 이를 이용한 카세트 이송 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
그리퍼 암의 몸체부를 제 1 및 제 2 몸체부로 구분하고 상기 각 몸체부 배면에 압전 센서를 이용한 제 1 및 제 2 감지센서를 장착시켜 카세트와 그리퍼 암과의 거리를 2곳에서 측정하고 측정된 해당 거리만큼 상기 제 1 및 제 2 몸체부를 이동시켜 카세트를 이송시키게 함으로써 그리퍼 암이 카세트를 지지함에 있어서 종래와 같은 그리퍼 암 또는 카세트 플레이트의 수평 불균형으로 인한 오류를 방지할 수 있게 된다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 몸체부 내부의 일측에 각각의 몸체부를 독립적으로 구동시킬 수 있는 액추에이터를 구비시킴으로써 카세트와 그리퍼 암 사이의 미세 거리를 제어할 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 일측에 그립을 각각 구비하는 제 1 몸체부 및 제 2 몸체부;
    제 1 몸체부와 제 2 몸체부가 접하는 면에 구비되며 상기 제 1 및 제 2 몸체부가 슬라이딩되어 상하 이동이 가능하도록 안내하는 가이드 레일;
    상기 제 1 및 제 2 몸체부의 배면에 각각 구비되어 카세트와의 거리를 독립적으로 감지하는 제 1 및 제 2 감지수단;
    상기 제 1 및 제 2 몸체부 내부의 일측에 구비되어 각각의 몸체부의 상하 이동이 가능하도록 구동력을 발생시키는 제 1 및 제 2 액추에이터;
    상기 제 1 및 제 2 감지수단으로부터 입력되는 신호를 바탕으로 카세트와 각 몸체부와의 거리를 계산하여 상기 제 1 및 제 2 액추에이터로 하여금 각각의 거리에 해당하는 만큼 상기 가이드 레일을 따라 이동시키도록 전기적 신호를 발생시키는 제 1 및 제 2 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 암.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 감지수단은 압전 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 암.
  3. 제 1 항에 있어서, 제 1 및 제 2 액추에이터는 압전 소자로 구성되는 것을 특징으로 SMIF 장치의 그리퍼 암.
  4. SMIF 장치의 그리퍼 암을 이용하여 단위 공정 장비와의 카세트 이송을 수행하는 카세트 이송 방법에 있어서,
    상기 SMIF 장치의 제 1 및 제 2 몸체부의 배면에 각각 구비된 제 1 및 제 2 감지수단에 의해 카세트와의 거리를 독립적으로 감지하는 단계;
    상기 제 1 및 제 2 감지수단으로부터 입력되는 신호를 바탕으로 카세트와 각 몸체부와의 거리를 계산하여 제 1 및 제 2 액추에이터로 하여금 각각의 거리에 해당하는 만큼 가이드 레일을 따라 이동시키도록 전기적 신호를 발생시키는 단계;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 그리퍼 암을 이용한 카세트 이송 방법.
KR1020030060618A 2003-08-30 2003-08-30 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법 KR100835822B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030060618A KR100835822B1 (ko) 2003-08-30 2003-08-30 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030060618A KR100835822B1 (ko) 2003-08-30 2003-08-30 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050022421A KR20050022421A (ko) 2005-03-08
KR100835822B1 true KR100835822B1 (ko) 2008-06-05

Family

ID=37230280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030060618A KR100835822B1 (ko) 2003-08-30 2003-08-30 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100835822B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101407413B1 (ko) * 2011-12-30 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010029917A (ko) * 1999-07-09 2001-04-16 조셉 제이. 스위니 반도체 웨이퍼 캐리어를 저장하고 로딩하는 소형 장치 및방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010029917A (ko) * 1999-07-09 2001-04-16 조셉 제이. 스위니 반도체 웨이퍼 캐리어를 저장하고 로딩하는 소형 장치 및방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101407413B1 (ko) * 2011-12-30 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 카세트 핸들링 장치를 구비하는 카세트 공급시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050022421A (ko) 2005-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6390754B2 (en) Wafer processing apparatus, method of operating the same and wafer detecting system
US10494178B2 (en) Teaching apparatus, transport system, and method for measuring positioning pins
US20060161304A1 (en) Overhead travelling carriage system
WO2004108366A1 (ja) 搬送装置、電子部品ハンドリング装置および電子部品ハンドリング装置における搬送方法
JP2004503926A (ja) 自己学習式ロボット・キャリア・ハンドリング・システム
CN211654789U (zh) 一种用于boe湿法处理设备前端的晶圆装载装置
CN109841547B (zh) 晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法
KR100835822B1 (ko) 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법
KR100718029B1 (ko) 시트형 물질의 검사 방법 및 장치
KR100567763B1 (ko) 카세트 이송 시스템 및 방법
KR101041458B1 (ko) 기판 이송 장치, 이를 갖는 기판 처리 시스템 및 기판 이송방법
KR100570228B1 (ko) 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트상태 확인 방법
CN112713112B (zh) 一种晶圆推片器治具及其推片方法
KR100948300B1 (ko) 카세트 이송 장치 및 이를 이용한 카세트 이송방법
JPH10335420A (ja) ワークのアライメント装置
KR100572213B1 (ko) 스탠더드 미캐니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼 암 및이를 이용한 카세트 이송 방법
KR100617273B1 (ko) 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치
JP4134060B2 (ja) コンロッドの表裏判別装置
KR100652286B1 (ko) 웨이퍼 카세트캐리어 이송시스템
US20230136488A1 (en) Transfer apparatus, control device, transfer method, and storage medium
KR20090055660A (ko) 마그네틱 센서를 이용한 웨이퍼의 위치 제어장치 및 그방법
KR101489372B1 (ko) 씨 트레이의 디바이스 안착불량 검출장치
CN117741805A (zh) 一种晶圆检测装置
KR20060040272A (ko) 웨이퍼 이송 장치
KR20220116603A (ko) 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee