KR100570228B1 - 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트상태 확인 방법 - Google Patents

단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트상태 확인 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 단위 공정 장비 상에 안착되는 카세트의 안착 여부 및 안착된 카세트의 올바른 정렬 여부를 감지할 수 있으며, 해당 카세트의 슬롯들간의 간격 및 슬롯 내의 웨이퍼 존재 여부를 파악할 수 있는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 관한 것으로서,
본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이지는 반도체 단위 제조 공정을 수행하는 단위 공정 장비에서 카세트의 로딩 및 언로딩 공간을 제공하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지에 있어서, 상기 카세트 스테이지의 소정 부위에 구비되어 상기 카세트의 안착 여부를 감지하는 카세트 주 감지수단;과, 상기 카세트 스테이지의 각 모서리와 카세트의 각 모서리와의 거리 측정을 통해 상기 카세트의 오정렬 여부를 감지하는 카세트 보조 감지수단;과, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비되어 상기 카세트 슬롯 상의 웨이퍼의 존재 유무 및 웨이퍼 장착 상태를 감지하는 웨이퍼 감지 수단;과, 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리인 피치가 일정한지 여부를 감지하는 카세트 피치 감지 수단;과, 상기 단위 공정 장비의 일측에 구비되어 제반 감지수단의 신호의 송수신 등을 제어하고 이들 감지 수단의 신호 정보를 처리하는 역할을 수행하는 제어 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
카세트 스테이지, SMIF

Description

단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법{Cassette stage of processing unit and method for confirming alignment and dimension of cassette using it}
도 1은 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 카세트로부터의 웨이퍼 추출 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 공정 장비의 카세트 스테이지의 구성을 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 공정 장비의 카세트 스테이지를 이용한 카세트 상태 확인 방법을 설명하기 위한 순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
102 : 카세트 103 : 웨이퍼
105 : 슬롯 200 : 카세트 스테이지
201 : 카세트 안착부재 202 : 카세트 주 감지수단
203 : 카세트 보조 감지수단 204 : 웨이퍼 감지수단
205 : 카세트 피치 감지수단 206 : 제어 수단
210 : 그리퍼 암
본 발명은 반도체 공정 장비 상에 안착되는 카세트의 안착 여부 및 안착된 카세트의 올바른 정렬 여부를 감지할 수 있으며, 해당 카세트의 슬롯들간의 간격 및 슬롯 내의 웨이퍼 존재 여부를 파악할 수 있는 반도체 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법에 관한 것이다.
반도체 소자는 박막의 증착, 패터닝 등의 수많은 단위 공정을 통해 제조된다. 한편, 반도체 소자 제조 공정이 진행되는 대상인 웨이퍼는 통상적으로 로트(lot) 단위로 카세트에 보관되는데, 상기 카세트는 소정의 장비 예를 들어, SMIF(Standard Mechanical Interface) 장치에 의해 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 상에 이송된다. 여기서, 상기 SMIF 장치는 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 공정 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 웨이퍼가 수납된 카세트를 단위 공정 장비로의 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)을 담당한다.
상기 SMIF 장치에 의해 카세트가 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 상에 안착되면, 상기 단위 공정 장비는 상기 카세트 내에 수납되어 있는 웨이퍼를 또 다른 소정의 이송 수단을 통해 개별적으로 추출하여 해당 단위 공정을 진행하게 된다.
이와 같은 과정을 도면으로 나타내면 다음과 같다. 도 1은 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 카세트로부터의 웨이퍼 추출 과정을 설명하기 위한 사시도이다. 도 1에 도시한 단위 공정 장비는 상압화학기상증착(APCVD) 장치의 예를 든 것이다.
도 1에 도시한 바와 같이, SMIF 장치(도시하지 않음)에 의해 카세트 스테이지(101) 상에 안착된 카세트(102)는 본격적인 단위 공정의 진행을 위해 카세트(102) 내에 수납되어 있는 웨이퍼(103)를 개별적으로 제공하게 되는데, 구체적으로 단위 공정 장비의 이송 수단(104)이 상기 카세트 내의 슬롯(105)과 슬롯 사이로 삽입되어 슬롯에 장착되어 있는 웨이퍼를 추출하고 추출된 웨이퍼를 대상으로 소정의 단위 공정을 진행한 후 다음의 공정들이 수행된다.
이 때, 상기 카세트(102) 내의 슬롯(105)에 수납되어 있는 웨이퍼(103)를 추출하는 단위 공정 장비의 이송 수단(104)은 카세트 내의 슬롯(105)과 슬롯 사이에 정확히 삽입되어야만 여타의 웨이퍼의 손상을 피할 수 있다.
따라서, 상기 단위 공정 장비의 이송 수단이 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이에 정확히 삽입되기 위해서는 슬롯에 수납되어 있는 웨이퍼와 단위 공정 장비의 이송 수단이 평행한 위치를 갖아야 한다. 즉, 카세트 스테이지 상에 안착된 카세트의 수평이 요구되는 것이다. 또한, 상기 카세트 스테이지 상에 안착된 카세트의 좌우 정렬 상태가 제대로 되어야 한다.
한편, SMIF 장치에 의해 상기 카세트 스테이지 상에 카세트가 안착될 때 상기 카세트 스테이지에, 정확히는 카세트가 안착되는 중앙 부위에 상기 카세트의 안착을 감지하는 감지 수단이 구비되어 있는데, 카세트 중앙 부위에만 하나의 감지 수단이 장착됨에 따라 카세트 자체의 안착 여부는 쉽게 판단할 수 있으나 카세트 수평 및 좌우 정렬 상태를 파악하기 어려운 면이 있었다.
또한, 상기 카세트 스테이지 상에 카세트가 안착된 상태에서 단위 공정 장비의 이송 수단을 통해 카세트 내의 웨이퍼를 개별적으로 추출할 때, 상기와 같이 카세트의 수평 및 좌우 정렬이 잘못되어 웨이퍼를 추출함에 있어 웨이퍼의 손상을 야기할 뿐만 아니라, 상기 카세트 내에 설치되어 있는 슬롯들 간의 간격이 일정하지 않아 웨이퍼 추출시 오류가 발생하는 문제점도 있었다.
덧붙여, 상기 카세트 내의 슬롯에 웨이퍼가 수납되어 있는 여부의 감지 기능이 미비하여 슬롯 상에 웨이퍼가 존재하지 않는 경우, 상기 단위 공정 장비의 이송 수단이 웨이퍼가 있는지의 여부를 인지하지 못하여 단위 공정 장비의 공정 오류를 유발시키는 문제점 또한 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 1차적으로 단위 공정 장비 상에 안착되는 카세트의 안착 여부 및 안착된 카세트의 올바른 정렬 여부를 감지할 수 있으며, 해당 카세트의 슬롯들간의 간격 및 슬롯 내의 웨이퍼 존재 여부를 파악할 수 있는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 및 이를 이용한 카세트 상태 확인 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 단위 공정 장비의 카세트 스테이지는 반도체 단위 제조 공정을 수행하는 단위 공정 장비에서 카세트의 로딩 및 언로딩 공간을 제공하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지에 있어서, 상기 카세트 스테이지의 소정 부위에 구비되어 상기 카세트의 안착 여부를 감지하는 카세트 주 감지수단;과, 상기 카세트 스테이지의 각 모서리와 카세트의 각 모서리와의 거리 측정을 통해 상기 카세트의 오정렬 여부를 감지하는 카세트 보조 감지수단;과, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비되어 상기 카세트 슬롯 상의 웨이퍼의 존재 유무 및 웨이퍼 장착 상태를 감지하는 웨이퍼 감지 수단;과, 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리인 피치가 일정한지 여부를 감지하는 카세트 피치 감지 수단;과, 상기 단위 공정 장비의 일측에 구비되어 제반 감지수단의 신호의 송수신 등을 제어하고 이들 감지 수단의 신호 정보를 처리하는 역할을 수행하는 제어 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 웨이퍼 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 웨이퍼를 향하여 감지신호를 송신한다.
바람직하게는, 상기 카세트 피치 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 슬롯을 향하여 감지신호를 송신한다.
바람직하게는, 상기 제반 감지수단은 압전 센서로 구성된다.
본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이지를 이용한 카세트 상태 확인 방법은 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 상에 안착되는 카세트의 오정렬 여부 및 카세트 상태 확인 방법에 있어서, 카세트 이송 수단에 의해 상기 카세트 스테이지 상에 안착되는 카세트의 안착 여부를 카세트 주 감지수단을 이용하여 감지하는 단계;와, 상기 카세트 스테이지의 각 모서리에 구비된 카세트 보조 감지수단을 이용하여 상기 카세트의 각 모서리와의 거리를 측정하여 상기 안착된 카세트의 오정렬 여부를 파악하는 단계;와, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 웨이퍼 감지 수단을 이용하여 상기 카세트 높이에 상응하는 거리를 수직 왕복 운동하여 상기 카세트 슬롯 상의 웨이퍼의 존재 유무 및 웨이퍼 장착 상태를 감지하는 단계;와, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 카세트 피치 감지 수단을 이용하여 상기 카세트 높이에 상응하는 거리를 수직 왕복 운동하여 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리인 피치가 일정한지 여부를 감지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 상기 웨이퍼 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 웨이퍼를 향하여 감지신호를 송신한다.
바람직하게는, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 상기 카세트 피치 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 슬롯을 향하여 감지신호를 송신한다.
본 발명의 특징에 따르면, 단위 공정 장치의 카세트 스테이지 상의 중앙 이외에 각 모서리에 카세트 감지 수단이 구비됨에 따라 상기 카세트의 안착 여부 및 카세트의 정렬 상태를 정확히 인식할 수 있게 되고, 카세트 스테이지 일측에 카세트 피치 감지 수단이 구비되어 안착된 카세트를 대상으로 카세트 내의 슬롯간의 간격 즉, 카세트 피치를 정확히 체크하여 후속의 단위 공정 장비의 이송 수단에 의한 웨이퍼 추출시 웨이퍼의 안정적인 이송을 담보할 수 있게 되며, 상기 카세트 스테이지의 또 다른 일측에 웨이퍼 감지 수단이 구비됨에 따라 카세트 슬롯 상에 웨이퍼의 존재 유무를 정확히 파악하여 공정상 오류를 방지할 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이지를 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이지의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이 지(200)는 중앙 부위에 카세트의 안착 공간인 카세트 안착 부재(201)가 구비되어 있다. SMIF 장치의 그리퍼 암(210)에 의해 고정, 이동되는 카세트(102)는 상기 카세트 안착 부재(201) 상에 안착된다. 상기 카세트 안착 부재(201)의 중앙 부위에는 카세트 주 감지수단이(202) 구비되어 있다. 상기 카세트 주 감지수단(202)에 의해 카세트의 카세트 안착 부재로의 안착 여부가 감지된다.
한편, 상기 카세트 스테이지의 각 모서리에는 카세트 보조 감지수단(203)이 각각 구비된다. 상기 카세트 주 감지수단(202) 및 카세트 보조 감지수단(203)은 압전 센서로 구현될 수 있다.
상기 카세트 보조 감지수단(203)은 상기 카세트 안착 부재(201)에 안착된 카세트(102)의 정렬 여부를 판단하는 역할을 한다. 구체적으로, 상기 각각의 카세트 보조 감지수단(203)은 상기 카세트의 각 모서리로 초음파 등의 신호를 송신 및 수신하여 각 모서리와 보조 감지수단과의 거리 측정을 하는 역할을 하고 측정된 거리 결과에 따라 상기 카세트의 오정렬 여부를 판단할 수 있게 된다.
상기 카세트 스테이지(200)의 일측 정확히는 상기 카세트로부터 웨이퍼가 적출되는 방향인 카세트 개구부쪽의 카세트 스테이지의 일측에는 웨이퍼 감지 수단(204)이 구비되어 있다. 상기 웨이퍼 감지 수단(204)은 세부적으로 스텝 모터(204a)에 의해 상기 카세트의 높이에 상응하는 거리를 가이드 레일(204b)을 따라 수직 왕복 운동하는 소정의 수단에 의해 구현 가능하며 이를 통하여 상기 카세트(102) 내의 슬롯(105) 상에 웨이퍼가 장착되었는지 유무 및 슬롯 상의 웨이퍼 위치 상태를 파악하는 역할을 수행한다.
상기 웨이퍼 감지 수단(204) 일측, 전술한 카세트 개구부쪽 방향의 카세트 스테이지(200) 상에 카세트 피치 감지 수단(205)이 구비되어 있다. 여기서, 상기 피치는 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리를 정의하는 말이다.
상기 카세트 피치 감지 수단(205)은 상기 웨이퍼 감지 수단(204)의 구현에서와 마찬가지로 상기 카세트의 높이에 상응하는 거리를 수직 왕복 운동하는 소정의 수단에 의해 구현될 수 있는데, 상기 수직 운동시 미리 입력된 피치의 거리만큼 이동하도록 하여 상기 카세트 내의 슬롯간의 거리 즉, 피치가 일정한 여부를 판단하는 역할을 수행한다. 따라서, 상기 카세트 피치 감지 수단(205)은 상기 카세트의 슬롯의 수직 배열에 상응 위치에 구비되어야 한다.
한편, 상기 카세트 스테이지(200) 일측 정확히는 단위 공정 장비의 일측에는 제어 수단(206)이 구비되어 있다. 상기 제어 수단(206)은 전술한 감지수단들 즉, 카세트 주 감지수단(202), 카세트 보조 감지수단(203), 웨이퍼 감지 수단(204) 및 카세트 피치 감지 수단(205)의 신호의 송수신 등을 총괄적으로 제어하고 이들 감지 수단의 신호 정보를 처리하는 역할을 한다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 단위 공정 장비의 카세트 스테이지의 동작 원리를 설명하면 다음과 같다. 도 3은 본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이지를 이용한 카세트 상태 확인 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
먼저, SMIF 장치의 그리퍼 암(210)에 고정, 지지된 카세트(102)가 상기 카세트 스테이지(200) 상의 카세트 안착 부재(201)에 상응하는 위치 상에 이동된 상태(S301)에서 수직 하강하여 상기 카세트 안착 부재에 안착된다. 이 때, 상기 카 세트 안착 부재의 중앙 부위에 구비된 카세트 주 감지수단(202)은 상기 카세트의 안착 여부를 인식한다(S302).
상기 카세트(102)가 카세트 안착 부재에 안착된 상태에서, 상기 제어 수단(206)의 제어 하에 상기 카세트 스테이지(200)의 각 모서리에 구비된 카세트 보조 감지 수단(203)은 카세트의 각 모서리와의 거리를 측정한다. 이 때, 전술한 바와 같이 상기 카세트 보조 감지 수단(203)은 압전 센서 등으로 구현되어 초음파 등을 송수신하여 이를 바탕으로 거리를 계산할 수 있게 된다. 상기 카세트(102)가 상기 카세트 안착 부재(201)에 정확히 안착되었다면 상기 각 모서리와 카세트 보조 감지수단(203)과의 거리를 모두 동일할 것이다. 이와 같은 과정을 통해 카세트 스테이지 상에 상기 카세트가 정확히 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있게 된다(S303).
이 상태에서, 상기 웨이퍼 감지 수단(204)의 작동이 시작된다. 상기 제어 수단(206)은 상기 카세트 보조 감지수단(203)으로부터 입력되는 신호를 바탕으로 상기 카세트(102)의 정렬이 제대로 되었다는 것을 확인하게 되면 상기 웨이퍼 감지 수단(204)으로부터 하여금 상기 카세트 내의 웨이퍼 존재 유무 및 웨이퍼 장착 상태를 파악하도록 한다(S304). 구체적으로, 상기 웨이퍼 감지 수단(204)은 스텝 모터(204a)에 의해 가이드 레일(204b)을 따라 수직 왕복운동이 가능하도록 되어 있고 카세트 내의 웨이퍼(103) 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리만큼 반복적으로 이동하여 각 위치마다 상기 카세트를 향하여 감지 신호를 송신하여 상기 카세트 내에 웨이퍼가 존재하는 여부 및 웨이퍼의 장착 상태를 파악하게 된다.
이와 같은 상태에서, 상기 카세트 피치 감지 수단(205)은 상기 카세트의 슬롯(105)과 슬롯 사이의 거리 즉, 피치를 감지하게 된다. 구체적으로, 상기 카세트 피치 감지 수단(205)은 상기 카세트의 슬롯의 수직 배열에 상응하는 위치에 구비되어 상기 웨이퍼 감지 수단(204)과 마찬가지로 스텝 모터(205a)에 의해 가이드 레일(205b)을 따라 수직 왕복하여 카세트 내의 각 피치가 정확한지 여부를 파악한다(S305). 이 때, 상기 카세트 피치 감지 수단의 수직 왕복은 상기 카세트 내의 피치에 해당하는 단위 이동 거리만큼 반복적으로 이동하여 구현된다. 이를 통하여 상기 카세트 내의 각 피치가 일정한지 여부를 판단할 수 있게 된다.
상기의 제반 과정을 통하여 카세트의 정렬 여부, 카세트 내의 웨이퍼 존재 유무 및 장착 상태, 카세트 피치의 일정한지 여부를 파악할 수 있게 되어 해당 단위 공정 장비에서의 단위 공정이 진행될 수 있는 기반 여건 즉, 단위 공정으로의 안정적인 웨이퍼의 제공을 완벽히 수행할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 단위 공정 장비의 카세트 스테이지는 다음과 같은 효과가 있다.
단위 공정 장치의 카세트 스테이지 상의 중앙 이외에 각 모서리에 카세트 감지 수단이 구비됨에 따라 상기 카세트의 안착 여부 및 카세트의 정렬 상태를 정확히 인식할 수 있게 되고, 카세트 스테이지 일측에 카세트 피치 감지 수단이 구비되 어 안착된 카세트를 대상으로 카세트 내의 슬롯간의 간격 즉, 카세트 피치를 정확히 체크하여 후속의 단위 공정 장비의 이송 수단에 의한 웨이퍼 추출시 웨이퍼의 안정적인 이송을 담보할 수 있게 되며, 상기 카세트 스테이지의 또 다른 일측에 웨이퍼 감지 수단이 구비됨에 따라 카세트 슬롯 상에 웨이퍼의 존재 유무를 정확히 파악하여 공정상 오류를 방지할 수 있게 된다.

Claims (7)

  1. 반도체 단위 제조 공정을 수행하는 단위 공정 장비에서 카세트의 로딩 및 언로딩 공간을 제공하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지에 있어서,
    상기 카세트 스테이지의 중앙 부위에 구비된 카세트 안착 부재의 중앙 부위에 위치하여 카세트의 안착 여부를 감지하는 카세트 주 감지수단;
    상기 카세트 스테이지의 각 모서리와 카세트의 각 모서리와의 거리 측정을 통해 상기 카세트의 오정렬 여부를 감지하는 카세트 보조 감지수단;
    상기 카세트 스테이지 일측에 구비되어 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하고, 카세트 슬롯 상의 웨이퍼의 존재 유무 및 웨이퍼 장착 상태를 감지하는 웨이퍼 감지 수단;
    상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리인 피치가 일정한지 여부를 감지하는 카세트 피치 감지 수단; 및
    상기 단위 공정 장비의 일측에 구비되어 제반 감지수단의 신호의 송수신 등을 제어하고 이들 감지 수단의 신호 정보를 처리하는 역할을 수행하는 제어 수단
    을 포함하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 감지수단은 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 웨이퍼를 향하여 감지신호를 송신하는 것을 특징으로 하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 카세트 피치 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 슬롯을 향하여 감지신호를 송신하는 것을 특징으로 하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제반 감지수단은 압전 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지.
  5. 단위 공정 장비의 카세트 스테이지 상에 안착되는 카세트의 오정렬 여부 및 카세트 상태 확인 방법에 있어서,
    카세트 이송 수단에 의해 상기 카세트 스테이지 상에 안착되는 카세트의 안착 여부를 카세트 주 감지수단을 이용하여 감지하는 단계;
    상기 카세트 스테이지의 각 모서리에 구비된 카세트 보조 감지수단을 이용하 여 상기 카세트의 각 모서리와의 거리를 측정하여 상기 안착된 카세트의 오정렬 여부를 파악하는 단계;
    상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 웨이퍼 감지 수단을 이용하여 상기 카세트 높이에 상응하는 거리를 수직 왕복 운동하여 상기 카세트 슬롯 상의 웨이퍼의 존재 유무 및 웨이퍼 장착 상태를 감지하는 단계;
    상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 카세트 피치 감지 수단을 이용하여 상기 카세트 높이에 상응하는 거리를 수직 왕복 운동하여 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리인 피치가 일정한지 여부를 감지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지를 이용한 카세트 상태 확인 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 상기 웨이퍼 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 웨이퍼를 향하여 감지신호를 송신하는 것을 특징으로 하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지를 이용한 카세트 상태 확인 방법.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 카세트 스테이지 일측에 구비된 상기 카세트 피치 감지수단은 소정의 스텝 모터에 의해 가이드 레일을 따라 수직 왕복운동하며 상기 제어 수단의 명령 하에 상기 카세트 내의 슬롯과 슬롯 사이의 거리에 해당하는 단위 이동 거리를 반복적으로 이동하며, 단위 이동 거리를 이동한 해당 위치마다 상기 슬롯을 향하여 감지신호를 송신하는 것을 특징으로 하는 단위 공정 장비의 카세트 스테이지를 이용한 카세트 상태 확인 방법.
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