KR100658520B1

KR100658520B1 - 기판 감지장치

Info

Publication number: KR100658520B1
Application number: KR20060049887A
Authority: KR
Inventors: 김종신
Original assignee: 김종신
Priority date: 2005-08-08
Filing date: 2006-06-02
Publication date: 2006-12-15
Also published as: JP2009503885A; TWI302140B; TW200706477A; KR20060069417A; CN101258437A; WO2007018350A1

Abstract

본 발명은 기판 감지장치를 제공한다. 상기 기판 감지장치는 상하로 길게 형성되고 다수개의 기판이 적재되는 카세트에 인접되게 위치되는 센서지지대와, 상기 센서지지대의 일면에 구비되며, 상기 기판과 평행한 방향으로 400~800khz의 주파수를 갖는 초음파를 조사하고 상기 기판에 의하여 반사되는 초음파를 검출하여 상기 기판의 유무를 감지하는 다수개의 초음파센서 및, 상기 초음파센서들을 제어하도록 상기 초음파센서들과 연결되게 상기 센서지지대의 내부에 구비되며 상기 초음파센서들을 전체적으로 구동하거나 일부만 부분적으로 선택구동하는 제어유닛을 포함한다. 따라서, 제공된 기판 감지장치에 의하면, 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 유무를 감지하기 위한 동작이 매우 간단해지므로, 글래스나 웨이퍼와 같은 기판을 감지하는 속도가 매우 빨라지게 된다.

엘씨디, 글래스, 감지장치, 초음파센서, 기판, 웨이퍼

Description

기판 감지장치{Apparatus for sensing substrate}

도 1은 종래 기술에 의한 글래스 감지장치의 일 사용예를 보인 개략도.

도 2는 본 발명에 의한 기판 감지장치의 바람직한 실시예를 보인 분해사시도.

도 3은 도 2에 도시된 기판 감지장치의 제1 사용예를 보인 개략도.

도 4는 도 2에 도시된 기판 감지장치의 제2 사용예를 보인 개략도.

도 5는 도 2에 도시된 기판 감지장치의 제3 사용예를 보인 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

30: 글래스 감지장치 31: 센서지지대

33: 고정브라켓 35: 초음파센서

본 발명은 기판 감지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초음파센서를 사용하여 글래스나 웨이퍼의 유무를 감지하는 기판 감지장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치는 특수표면처리된 2개의 얇은 글래스 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정물질인 액정물질을 주입하고, 전압차를 이용하여 액정분 자의 배열을 변화시켜서 명암을 형성함으로써 영상을 표시하게 된다.

이와 같은 액정표시장치의 제조공정에서는 상기 글래스를 카세트에 다수개씩 적재한 상태에서 상기 카세트를 소정의 공정을 위한 장치에 로딩하고, 글래스이송장치를 이용하여 카세트에 적재된 상기 글래스를 소정의 공정을 위한 장치에 이송한다. 이때, 상기 글래스를 정확하고 신속하게 이송하기 위하여 상기 카세트의 소정의 위치에 다수개의 글래스가 적재되었는지 여부를 판단하여야 하는데, 이와 같은 글래스의 적재여부를 판단하기 위하여 글래스 감지장치가 사용된다.

도 1에는 종래 기술에 의한 글래스 감지장치의 사용예가 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 카세트(10)는 서로 마주보는 양측면이 개구되는 육면체형상으로 형성되고, 상기 카세트(10)의 전후면에는 서로 대응되는 높이에 다수개의 글래스지지단(11)이 구비된다. 상기 글래스지지단(11)은 상기 글래스(G)의 저면 테두리를 지지하여 글래스(G)가 상기 카세트(10)의 내부에 수평으로 적재되도록 한다.

그리고, 상기 카세트(10)의 개구된 양면 중 어느 일면(도면상에서 좌측면)에 인접되는 위치에는 글래스 감지장치(20)가 구비된다. 상기 글래스 감지장치(20)는 상기 카세트(10)에 적재되는 상기 글래스(G)의 유무를 감지하는 역할을 하는 것으로, 센서지지대(21)와 상기 센서지지대(21)의 일면에 구비되는 다수개의 적외선센서(23)로 구성된다.

상기 센서지지대(21)는 상하로 길게 형성되는 직육면체형상으로, 대략 상기 카세트(10)의 높이에 대응하는 높이를 가지게 된다. 그리고, 상기 센서지지대(21) 는 상기 적외선센서(23)가 구비되는 그 일면이 상기 카세트(10)의 개구된 일면에 인접되도록 위치되고, 이동수단(미도시)에 의하여 카세트(10)를 향하여 이동가능하게 설치된다.

한편, 상기 적외선센서(23)는 상기 센서지지대(21)의 일면에 다수개가 구비된다. 이때 상기 적외선센서(23)는 상기 글래스지지단(11)의 사이에 위치되도록 서로 소정의 간격만큼 이격된다. 즉, 상기 적외선센서(23)는 상기 센서지지대(21)가 상기 카세트(10)를 향하여 이동함으로써 상기 글래스(G)의 하방에 각각 위치하게 된다. 그리고 상기 적외선센서(23)는 상기 글래스(G)의 저면을 향하여 적외선을 조사하고, 글래스(G)에 의하여 반사된 적외선을 검출함으로써 상기 글래스(G)의 유무를 감지하게 된다.

이하에서는 이와 같은 종래 기술에 의한 글래스 감지장치(20)에 의하여 글래스를 감지하는 과정에 보다 상세하게 설명한다.

먼저, 상기 글래스(G)가 적재된 상기 카세트(10)를 이동시켜서 그 개구된 일측면이 상기 글래스 감지장치(20)에 인접되도록 한다. 이와 같은 상태에서, 상기 적외선센서(23)가 상기 글래스(G)의 하방에 각각 위치되도록 상기 센서지지대(21)를 상기 카세트(10)를 향하여 이동시킨다.

그리고, 상기 적외선센서(23)가 상기 글래스(G)의 저면을 향하여 적외선을 조사하고 글래스(G)에 의하여 반사되는 적외선을 검출하여 글래스(G)의 유무를 감지하게 된다. 이때 상기 적외선센서(23)는 상기 글래스(G)에 직교되는 방향으로 적외선을 조사하게 된다.

예를 들면, 상기 적외선센서(23) 중 어느 하나에 대응하는 상기 글래스(G)가 상기 카세트(10)에 적재되지 않은 경우에는, 상기 적외선센서(23)에서 조사된 적외선이 그 직상방에 위치하는 적외선센서(23)에 대응하는 상기 글래스(G)의 저면에 반사되어 적외선센서(23)에 감지된다. 따라서, 상기 적외선센서(23)가 적외선을 검출하는 시간이 다른 적외선센서(23)에 비하여 상대적으로 길게 되므로, 글래스(G)의 유무를 감지할 수 있게 되는 것이다.

그러나, 이와 같은 종래 기술에 의한 글래스 감지장치(20)에는 다음과 같은 문제점이 있다.

상술한 바와 같이, 상기 카세트(10)가 상기 센서지지대(21)에 인접되도록 이동한 상태에서, 상기 센서지지대(21)가 상기 카세트(10)를 향하여 이동한다. 즉 상기 글래스(G)를 감지하기 위하여 상기 카세트(10)와 센서지지대(21)가 모두 이동하게 되므로, 상기 글래스(G)를 감지하기 위한 동작이 복잡해지는 단점이 발생하게 된다.

또한, 상기 센서지지대(21)의 이동에 의하여 상기 적외선센서(23)는 실질적으로 상기 카세트(10)의 개구된 일면을 통하여 상기 글래스(G) 사이에 삽입됨으로써 글래스(G)의 하방에 위치하게 된다. 따라서, 상기 글래스(G)를 감지하는 과정에서, 상기 적외선센서(23)가 상기 카세트(10) 또는 상기 글래스(G)의 일측에 부딪혀서 손상될 우려가 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목 적은 보다 간단하게 동작하도록 구성되는 기판 감지장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 제품의 손상을 최소화할 수 있도록 구성되는 기판 감지장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은 보다 간단하게 동작하면서도 제품의 손상을 최소화할 수 있도록 구성되는 글래스 감지장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1관점에 의하면, 상하로 길게 형성되고, 다수개의 기판이 적재되는 카세트에 인접되게 위치되는 센서지지대와; 상기 센서지지대의 일면에 구비되며, 상기 기판과 평행한 방향으로 400~800khz의 주파수를 갖는 초음파를 조사하고 상기 기판에 의하여 반사되는 초음파를 검출하여 상기 기판의 유무를 감지하는 다수개의 초음파센서; 및, 상기 초음파센서들을 제어하도록 상기 초음파센서들과 연결되게 상기 센서지지대의 내부에 구비되며, 상기 초음파센서들을 전체적으로 구동하거나 일부만 부분적으로 선택구동하는 제어유닛을 포함하는 기판 감지장치가 제공된다.

다른 실시예에 있어서, 상기 초음파센서는 대응하는 상기 기판과 동일한 평면상에 각각 위치될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 기판 감지장치는 상기 센서지지대를 소정의 위치에 고정하기 위한 한쌍의 고정브라켓을 더 포함할 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 초음파 센서는 상기 센서지지대의 일면에 상하로 길게 배치되되, 등간격으로 배치될 수 있다. 이때, 상기 기판은 웨이퍼일 수 있다.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2관점에 의하면, 상하로 길게 형성되고, 다수개의 글래스가 적재되는 카세트에 인접되게 위치되는 센서지지대와; 상기 센서지지대의 일면에 구비되며, 상기 글래스와 평행한 방향으로 400~800khz의 주파수를 갖는 초음파를 조사하고 상기 글래스에 의하여 반사되는 초음파를 검출하여 상기 글래스의 유무를 감지하는 다수개의 초음파센서; 및, 상기 초음파센서들을 제어하도록 상기 초음파센서들과 연결되게 상기 센서지지대의 내부에 구비되며, 상기 초음파센서들을 전체적으로 구동하거나 일부만 부분적으로 선택구동하는 제어유닛을 포함하는 글래스 감지장치가 제공된다.

다른 실시예에 있어서, 상기 초음파센서는 대응하는 상기 글래스와 동일한 평면상에 각각 위치될 수 있다.

또다른 실시예에 있어서, 상기 글래스 감지장치는 상기 센서지지대를 소정의 위치에 고정하기 위한 한쌍의 고정브라켓을 더 포함할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 2에는 본 발명에 의한 기판 감지장치의 바람직한 실시예가 도시되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 기판 감지장치(30)는 센서지지대(31)와, 상기 센서지지대(31)에 구비되어 기판을 감지하는 초음파센서(35) 및, 상기 센서지지대(31)의 내부에 구비되어 상기 기판 감지장치(30)를 전반적으로 제어하는 제어유닛(37)을 포함하며, 카세트 등에 적재된 다수의 기판을 빠르게 감지 하는 역할을 한다. 이때, 상기 기판은 액정표시장치용 글래스일 수도 있고, 반도체 장치 제조용 웨이퍼일 수도 있다. 결과적으로, 상기 기판 감지장치(30)는 글래스 감지장치로 사용될 수도 있고, 웨이퍼 감지장치로 사용될 수도 있다.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 센서지지대(31)는 길이방향 예를 들면, 상하방향으로 길게 형성되는 직육면체형상으로 형성된다. 그리고, 상기 센서지지대(31)는 상기 제어유닛(37)이 그 내부에 구비되도록 중공으로 형성된다. 한편, 상기 센서지지대(31)는 별도의 고정브라켓(33)에 의하여 소정의 위치에 고정될 수 있다. 일실시예로, 상기 고정브라켓(33)은 상기 센서지지대(31)의 상하단에 각각 결합될 수 있다. 따라서, 상기 센서지지대(31)는 상기 고정브라켓(33)에 의하여 소정의 위치 또는 소정의 장비에 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 센서지지대(31)는 상기 고정브라켓(33)에 의하여 소정의 위치 또는 소정의 장비에 상하 방향으로 길게 고정될 수 있다. 또한, 상기 센서지지대(31)의 측면에는 다수개의 결합홀(32)이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 센서지지대(31)는 이 다수개의 결합홀(32)을 매개로 소정의 위치 또는 소정의 장비에 결합될 수도 있으며, 상기 고정브라켓(33)은 상기 센서지지대(31)의 상하단에 각각 구비되지 않을 수도 있다.

상기 초음파센서(35)는 카세트 등에 적재된 기판을 감지하도록 상기 센서지지대(31)의 일면에 구비된다. 일실시예로, 상기 초음파센서(35)는 상기 센서지지대(31)의 길이방향 일면에 구비될 수 있다. 그리고, 상기 초음파센서(35)는 하나의 센서가 하나의 기판을 감지하도록 설치될 수 있다. 따라서, 상기 초음파센서(35)는 상기 카세트에 적재된 다수의 기판을 한꺼번에 감지할 수 있도록 상기 카세트에 적 재될 수 있는 최대의 기판수와 동일한 갯수로 상기 센서지지대(31)에 구비될 수 있다. 결과적으로, 상기 센서지지대(31)의 일면에 구비되는 상기 초음파센서(35)의 갯수는 사용될 카세트 또는 장치의 규격에 따라서 다르게 결정될 수 있다.

또, 상기 센서지지대(31)에 구비되는 다수의 초음파센서(35)는 상기 카세트에 적재된 기판들에 각각 일대일 대응되도록 상기 카세트에 적재된 기판의 배치와 동일한 형태로 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판이 상기 카세트에 세로 방향 즉, 상하 방향으로 적재되어 있을 경우, 상기 다수의 초음파센서(35)도 상기 센서지지대(31)에 상하 방향으로 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 센서지지대(31)는 상기 고정브라켓(33) 또는 상기 결합홀(32)에 의하여 소정의 위치 또는 소정의 장비에 상하 방향으로 길게 고정됨이 바람직하다. 또, 상기 기판이 상기 카세트에 가로 방향 즉, 수평 방향으로 적재되어 있을 경우, 상기 다수의 초음파센서(35)도 상기 센서지지대(31)에 수평 방향으로 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 센서지지대(31)는 상기 고정브라켓(33) 또는 상기 결합홀(32)에 의하여 소정의 위치 또는 소정의 장비에 수평 방향으로 고정됨이 바람직하다.

또한, 상기 초음파센서(35)는 카세트 등에 적재된 기판을 향하여 초음파를 발진시키고, 상기 기판에 의하여 반사되는 초음파를 다시 검출하여 기판의 유무를 검출하는 역할을 한다. 일실시예로, 상기 초음파센서(35)는 기판이 위치되어야 할 어느 일정 위치로 초음파를 발진시킨 후 이 발진된 초음파가 상기 어느 일정 위치에 위치된 기판에 반사되어 다시 상기 초음파센서(35)에 검출될 경우, 이 검출 값을 통해 상기 어느 일정 위치에 기판이 위치되고 있는 상태인지를 감지하게 된다. 그러나, 기판이 위치되어야 할 어느 일정 위치로 초음파를 발진시켰음에도 불구하고 발진된 초음파가 미리 설정된 일정시간 내에 다시 반사되어 오지 않아 초음파가 다시 검출되지 않을 경우, 상기 초음파센서(35)는 상기 어느 일정 위치에 기판이 위치되어 있지 않는 상태임을 감지하게 된다. 여기서, 상기 초음파센서(35)는 상기 기판과 동일한 레벨(level) 즉, 동일한 평면 상에 구비되되, 상기 기판의 테두리면 중 어느 일면(기판의 측벽을 지칭함)으로부터 소정의 거리만큼 이격되게 구비될 수 있다. 따라서, 상기 초음파센서(35)는 그에 대응되는 기판을 감지하도록 상기 기판의 테두리 일면을 향하여 초음파를 조사하되, 상기 기판과 평행한 방향으로 초음파를 조사하게 된다. 이때, 상기 초음파센서(35)에서 발진시키는 초음파는 매우 근접하게 상호 이웃하고 있는 다른 기판들에 의해 오동작되지 않고, 단지 그에 대응되는 매우 얇은 두께의 기판만 감지할 수 있도록 수백 khz, 예를 들면, 400~800 khz의 주파수를 갖을 수 있다.

한편, 상기 제어유닛(37)은 상기 다수의 초음파센서(35)에 각각 전기적으로 연결되고, 상기 기판 감지장치(30)를 전반적으로 제어하는 역할을 한다. 구체적으로, 상기 초음파센서(35)는 카세트 등에 적재된 기판을 향하여 소정 khz의 초음파를 발진시킨 후 상기 기판에 의하여 반사되는 초음파를 다시 검출하여 상기 기판의 유무를 감지하는 역할을 하는 바, 상기 제어유닛(37)은 상기 초음파센서(35)에 연결되어 상기 기판의 유무를 감지하고, 상기 감지 값을 외부로 디스플레이하거나 다른 장치로 전송하는 역할을 한다. 또, 상기 제어유닛(37)은 미리 설정된 소정 값에 따라 또는 외부로부터 입력되는 소정 시그날에 따라 상기 다수의 초음파센서(35)를 선택적으로 구동할 수도 있다. 이 경우, 상기 기판 감지장치(30)는 외부의 다른 장치들과 연동될 수 있다.

참조부호 S는 상기 고정브라켓(33)을 소정의 위치 또는 소정의 장비에 고정하기 위한 체결구이다.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 기판 감지장치의 여러가지 사용예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 3은 도 2에 도시된 기판 감지장치의 제1 사용예를 보인 개략도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 감지장치(30)는 액정표시장치에 사용되는 글래스(G)를 감지하는데 사용될 수 있다. 다시 말하면, 본 발명에 따른 기판 감지장치(30)는 글래스 감지장치로 사용될 수 있다. 이 경우, 기판 감지장치(30)에 구비된 초음파센서(35)는 글래스(G)의 얇은 두께에 대응되도록 약 400khz의 주파수를 갖는 초음파를 글래스(G) 측으로 발진하여 글래스(G)를 감지할 수 있다.

그 사용순서를 설명하면, 먼저, 본 발명 기판 감지장치(30)를 이용하여 글래스(G)를 감지하도록 글래스(G)가 그 내부에 적재되는 글래스카세트(10)를 마련한다. 이때, 상기 글래스카세트(10)의 내부에는 다수개의 글래스(G)가 카세트(10)의 내부에 구비되는 글래스지지단(11)에 각각 지지됨으로써 수평으로 적재된다.

이후, 상기 글래스카세트(10)를 상기 글래스(G)가 적재된 상태에서 소정의 위치에 고정된 상기 기판 감지장치(30)에 인접하는 위치로 이동시킨다. 이때, 상기 글래스카세트(10)의 개구된 일측면이 상기 기판 감지장치(30)의 초음파센서(35)를 향하게 되고, 상기 초음파센서(35)는 상기 글래스(G)의 테두리면 중 어느 일면으로부터 소정의 거리만큼 이격된다.

다음, 상기 글래스카세트(10)가 상기 기판 감지장치(30)에 인접되게 위치되면, 상기 초음파센서(35)는 초음파센서(35)를 제어하는 제어유닛(37)의 제어에 의해 구동되어 상기 글래스(G)의 테두리면 중 어느 일면을 향하여 약 400 khz의 주파수를 갖는 초음파를 발진시킨다. 따라서, 상기 초음파센서(35)에서 발진된 초음파가 상기 글래스(G)의 테두리면 중 어느 일면에 부딪힌 후 상기 초음파센서(35) 측으로 다시 반사되면, 상기 초음파센서(35)는 이 반사되는 초음파를 검출함으로써, 상기 글래스(G)가 상기 글래스카세트(10)의 소정의 위치에 적재되어 있음을 감지하게 된다. 그러나, 만일, 상기 글래스카세트(10)에 구비되는 상기 글래스지지단(11) 중 어느 하나의 글래스지지단(11')에 상기 글래스(G)가 적재되지 않았다면, 이에 대응하는 상기 초음파센서(35)에서 발진된 초음파는 반사되지 않고 계속하여 진행하게 된다. 따라서 상기 초음파센서(35)에는 상기 발진된 초음파가 다시 감지되지 않게 되므로, 상기 글래스카세트(10) 내 상기 글래스지지단(11')에는 상기 글래스(G)가 적재되어 있지 않음을 감지할 수 있게 된다.

한편, 상기 초음파센서(35)에 반사되는 초음파가 검출되지 않아 상기 글래스(G)가 적재되어 있지 않음이 감지되면, 상기 초음파센서(35)에 연결된 제어유닛(37)은 상기 감지 값을 외부로 디스플레이하거나 다른 장치로 전송하게 된다. 이 에, 유저 또는 글래스 공급장치는 상기 디스플레이되는 값 또는 전송된 값을 통해 상기 글래스지지단(11')에 상기 글래스(G)가 적재되어 있지 않음을 감지하고, 상기 글래스지지단(11')에 상기 글래스(G)를 추가로 적재시킨다.

이후, 상기 글래스카세트(10)의 내부에 상기 글래스(G)가 모두 적재되면, 상기 카세트(10)를 소정의 공정을 위한 장치로 로딩시키며, 글래스(G) 감지작업은 완료된다.

한편, 본 발명에 따른 기판 감지장치는 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이 다른 예로도 사용될 수 있다.

도 4는 도 2에 도시된 기판 감지장치의 제2 사용예를 보인 개략도이고, 도 5는 도 2에 도시된 기판 감지장치의 제3 사용예를 보인 개략도이다.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 감지장치(30)는 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼(W)를 감지하는데 사용될 수 있다. 다시 말하면, 본 발명에 따른 기판 감지장치(30)는 웨이퍼 감지장치로 사용될 수 있다. 이 경우, 기판 감지장치(30)에 구비된 초음파센서(35)는 웨이퍼(W)의 매우 얇은 두께에 대응되도록 약 800khz의 주파수를 갖는 초음파를 웨이퍼(W) 측으로 발진하여 웨이퍼(W)를 감지할 수 있다. 그리고, 본 발명에 따른 기판 감지장치(30)는 도 4에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 적재된 웨이퍼카세트(40)의 전방향에 배치되어 그 전방향(도 4의 A방향)으로부터 웨이퍼카세트(40)에 적재된 웨이퍼(W)를 감지할 수도 있고, 도 5에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 적재된 웨이퍼카세트(40)의 후방향에 배 치되어 그 후방향(도 5의 B방향)으로부터 웨이퍼카세트(40)에 적재된 웨이퍼(W)를 감지할 수도 있다.

그 사용순서를 설명하면, 먼저, 본 발명 기판 감지장치(30)를 이용하여 웨이퍼(W)를 감지하도록 웨이퍼(W)가 그 내부에 적재되는 웨이퍼카세트(40)를 마련한다. 이때, 상기 웨이퍼카세트(40)의 내부에는 다수개의 웨이퍼(W)가 웨이퍼카세트(40)의 내부에 구비되는 웨이퍼지지단(41)에 각각 지지됨으로써 수평으로 적재된다.

이후, 상기 웨이퍼카세트(40)를 상기 웨이퍼(W)가 적재된 상태에서 소정의 위치에 고정된 상기 기판 감지장치(30)에 인접하는 위치로 이동시킨다. 이때, 상기 웨이퍼카세트(40)의 개구된 일측면, 예를 들면, 그 전면과 후면이 상기 기판 감지장치(30)의 초음파센서(35)를 향하게 되고, 상기 초음파센서(35)는 상기 웨이퍼(W)의 테두리면 중 어느 일면으로부터 소정의 거리만큼 이격된다.

다음, 상기 웨이퍼카세트(40)가 상기 기판 감지장치(30)에 인접되게 위치되면, 상기 초음파센서(35)는 초음파센서(35)를 제어하는 제어유닛(37)의 제어에 의해 구동되어 상기 웨이퍼(W)의 테두리면 중 어느 일면을 향하여 약 800 khz의 주파수를 갖는 초음파를 발진시킨다. 따라서, 상기 초음파센서(35)에서 발진된 초음파가 상기 웨이퍼(W)의 테두리면 중 어느 일면에 부딪힌 후 상기 초음파센서(35) 측으로 반사되면, 상기 초음파센서(35)는 이 반사되는 초음파를 검출함으로써, 상기 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼카세트(40)의 소정의 위치에 적재되어 있음을 감지하게 된다. 그러나, 만일, 상기 웨이퍼카세트(40)에 구비되는 상기 웨이퍼지지단(41) 중 어느 하나의 웨이퍼지지단(41')에 상기 웨이퍼(W)가 적재되지 않았다면, 이에 대응하는 상기 초음파센서(35)에서 발진된 초음파는 반사되지 않고 계속하여 진행하게 된다. 따라서 상기 초음파센서(35)에는 상기 발진된 초음파가 다시 감지되지 않게 되므로, 상기 웨이퍼카세트(40) 내 상기 웨이퍼지지단(41')에는 상기 웨이퍼(W)가 적재되어 있지 않음을 감지할 수 있게 된다.

한편, 상기 초음파센서(35)에 발진 후 반사되는 초음파가 검출되지 않아 상기 웨이퍼(W)가 적재되어 있지 않음이 감지되면, 상기 초음파센서(35)에 연결된 제어유닛(37)은 상기 감지 값을 외부로 디스플레이하거나 다른 장치로 전송하게 된다. 이에, 유저 또는 웨이퍼 공급장치는 상기 디스플레이되는 값 또는 전송된 값을 통해 상기 웨이퍼지지단(41')에 상기 웨이퍼(W)가 적재되어 있지 않음을 감지하고, 상기 웨이퍼지지단(41')에 상기 웨이퍼(W)를 추가로 적재시킨다.

이후, 상기 웨이퍼카세트(40)의 내부에 상기 웨이퍼(W)가 모두 적재되면, 상기 웨이퍼카세트(40)를 소정의 공정을 위한 장치로 로딩시키며, 웨이퍼(W) 감지작업은 완료된다.

이상, 본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

상술한 바와 같이, 이상과 같은 본 발명에 따른 기판 감지장치에 의하면 다 음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 소정의 위치에 고정된 기판 감지장치에 글래스나 웨이퍼와 같은 기판이 적재된 카세트를 인접되게 위치시킨 다음, 상기 카세트 측으로 소정 주파수를 갖는 초음파를 발진시킴으로써, 상기 카세트 내의 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 적재 유무를 감지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 종래에 비하여 상기 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 유무를 감지하기 위한 동작이 매우 간단해지므로, 글래스나 웨이퍼와 같은 기판을 감지하는 속도가 매우 빨라지게 된다. 따라서, 본 발명 기판 감지장치를 이용하면, 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 유무를 신속하게 감지할 수 있으므로, 공정의 효율성을 증가시킬 수 있게 된다.

둘째, 본 발명에 따른 기판 감지장치는 상기 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 유무를 감지하기 위한 초음파센서가 상기 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 사이에 위치되지 않고, 상기 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 테두리면 중 어느 일면에 인접되게 위치된다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 감지장치에 따르면, 상기 글래스나 웨이퍼와 같은 기판의 유무를 감지하는 과정에서 상기 기판 감지장치 또는 상기 글래스나 웨이퍼와 같은 기판이 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있게 될 뿐만 아니라 기존 적외선 센서에 비해 기판 감지를 위해 이동하는 시간과 별도의 이동장치가 불필요하게 되어 전체 제조 코스트를 절감할 수 있게 된다.

Claims

상하로 길게 형성되고, 다수개의 기판이 적재되는 카세트에 인접되게 위치되는 센서지지대와;

상기 센서지지대의 일면에 구비되며, 상기 기판과 평행한 방향으로 400~800khz의 주파수를 갖는 초음파를 조사하고 상기 기판에 의하여 반사되는 초음파를 검출하여 상기 기판의 유무를 감지하는 다수개의 초음파센서; 및,

상기 초음파센서들을 제어하도록 상기 초음파센서들과 연결되게 상기 센서지지대의 내부에 구비되며, 상기 초음파센서들을 전체적으로 구동하거나 일부만 부분적으로 선택구동하는 제어유닛을 포함하는 기판 감지장치.
제 1항에 있어서,

상기 초음파센서는 대응하는 상기 기판과 동일한 평면상에 각각 위치된 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
제 1항에 있어서,

상기 센서지지대를 소정의 위치에 고정하기 위한 한쌍의 고정브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
제 1항에 있어서,

상기 초음파 센서는 상기 센서지지대의 일면에 상하로 길게 배치되되, 등간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
제 1항에 있어서,

상기 기판은 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 기판 감지장치.
상하로 길게 형성되고, 다수개의 글래스가 적재되는 카세트에 인접되게 위치되는 센서지지대와;

상기 센서지지대의 일면에 구비되며, 상기 글래스와 평행한 방향으로 400~800khz의 주파수를 갖는 초음파를 조사하고 상기 글래스에 의하여 반사되는 초음파를 검출하여 상기 글래스의 유무를 감지하는 다수개의 초음파센서; 및,

상기 초음파센서들을 제어하도록 상기 초음파센서들과 연결되게 상기 센서지지대의 내부에 구비되며, 상기 초음파센서들을 전체적으로 구동하거나 일부만 부분적으로 선택구동하는 제어유닛을 포함하는 글래스 감지장치.
제 6항에 있어서,

상기 초음파센서는 대응하는 상기 글래스와 동일한 평면상에 각각 위치된 것을 특징으로 하는 글래스 감지장치.
제 6항에 있어서,

상기 센서지지대를 소정의 위치에 고정하기 위한 한쌍의 고정브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 감지장치.