JP2001076325A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】 光束を分割して2つの互いに偏光面が直交する直線偏光光束を生成し、相対移動する反射手段の表面に一方の直線偏光光束を集光して反射し、他方の直線偏光光束を基準反射手段により反射して両光束を再合成する偏光分離手段と、前記2光束を波面の位相差に応じて方位が変化する直線偏光光束に合成する1/4波長板と、該1/4波長板を透過した光束を複数の光束に振幅分割する光束振幅分割手段と、該光束振幅分割手段によりそれぞれ振幅分割された光束に対して互いに偏光方位をずらして配置したアナライザと、該アナライザを透過して生成した互いに位相のずれた各明暗光束を受光する複数の受光素子と、該受光素子により受光した複数の電気信号出力を計数処理する計数処理手段とを有し、該計数処理手段の結果により前記相対移動する反射手段の相対変位を測定する構成を有し、前記相対移動する反射手段及び前記基準反射手段からの再合成光束の一部分を選択的に透過して略平面波を生成すると共に残りの光束を反射する開口手段と、該開口手段からの反射光束を使用して、前記直線偏光光束が前記相対移動する反射手段の表面に集光する集光位置を検出するフォーカス検出手段とを具備することを特徴とする変位検出装置。
【請求項2】 前記フォーカス検出手段は前記直線偏光光束の集光位置を検出すると共に、前記相対移動する反射手段の表面に集光する面の向きの適正を判別する請求項1に記載の変位検出装置。
【請求項3】 前記フォーカス検出手段は前記基準反射手段からの直線偏向光束を遮断する偏光素子と集光光学系と光学センサとから成る請求項1又は2に記載の変位検出装置。
【請求項4】 光源にマルチモードレーザーダイオードを使用して光束分割手段によりレーザー光を2つの光束に分割し、一方の光束を前記相対移動する反射手段により反射し、他方の光束を前記基準反射手段により反射し、両光束を前記光束分割手段まで戻して光束を重ね合せるまでのこれら両光束の波動光学的光路長差が、前記光源の可干渉距離内で略等しくなるように構成し、前記光束分割手段の基準反射面を経由して前記光束分割手段に戻る光束と、前記相対移動する反射手段を経由して前記光束分割手段に戻る光束とを、互いに結像光学的光路長が異なるように構成した請求項1〜3の何れか1つの請求項に記載の変位検出装置。
【請求項5】 ヘッドアームと、ヘッドアーム駆動モータと、請求項1の変位検出装置を回転アームに取り付けたロータリポジショナとを有する情報記録装置であって、前記相対移動する反射手段の表面はハードディスクドライブ内のヘッドアーム側面であり、前記ロータリポジショナの位置変動に対して前記ヘッドアーム位置変位検出装置の出力が一定となるように、前記ヘッドアーム駆動モータのボイスコイルの電流を制御し、前記ロータリポジショナの動きと前記ヘッドアームの動きが非接触で連動するように構成し、前記ロータリポジショナの位置決め毎に前記ハードディスクドライブにサーボトラック信号を書込むことを特徴とする情報記録装置。
【請求項1】 光束を分割して2つの互いに偏光面が直交する直線偏光光束を生成し、相対移動する反射手段の表面に一方の直線偏光光束を集光して反射し、他方の直線偏光光束を基準反射手段により反射して両光束を再合成する偏光分離手段と、前記2光束を波面の位相差に応じて方位が変化する直線偏光光束に合成する1/4波長板と、該1/4波長板を透過した光束を複数の光束に振幅分割する光束振幅分割手段と、該光束振幅分割手段によりそれぞれ振幅分割された光束に対して互いに偏光方位をずらして配置したアナライザと、該アナライザを透過して生成した互いに位相のずれた各明暗光束を受光する複数の受光素子と、該受光素子により受光した複数の電気信号出力を計数処理する計数処理手段とを有し、該計数処理手段の結果により前記相対移動する反射手段の相対変位を測定する構成を有し、前記相対移動する反射手段及び前記基準反射手段からの再合成光束の一部分を選択的に透過して略平面波を生成すると共に残りの光束を反射する開口手段と、該開口手段からの反射光束を使用して、前記直線偏光光束が前記相対移動する反射手段の表面に集光する集光位置を検出するフォーカス検出手段とを具備することを特徴とする変位検出装置。
【請求項2】 前記フォーカス検出手段は前記直線偏光光束の集光位置を検出すると共に、前記相対移動する反射手段の表面に集光する面の向きの適正を判別する請求項1に記載の変位検出装置。
【請求項3】 前記フォーカス検出手段は前記基準反射手段からの直線偏向光束を遮断する偏光素子と集光光学系と光学センサとから成る請求項1又は2に記載の変位検出装置。
【請求項4】 光源にマルチモードレーザーダイオードを使用して光束分割手段によりレーザー光を2つの光束に分割し、一方の光束を前記相対移動する反射手段により反射し、他方の光束を前記基準反射手段により反射し、両光束を前記光束分割手段まで戻して光束を重ね合せるまでのこれら両光束の波動光学的光路長差が、前記光源の可干渉距離内で略等しくなるように構成し、前記光束分割手段の基準反射面を経由して前記光束分割手段に戻る光束と、前記相対移動する反射手段を経由して前記光束分割手段に戻る光束とを、互いに結像光学的光路長が異なるように構成した請求項1〜3の何れか1つの請求項に記載の変位検出装置。
【請求項5】 ヘッドアームと、ヘッドアーム駆動モータと、請求項1の変位検出装置を回転アームに取り付けたロータリポジショナとを有する情報記録装置であって、前記相対移動する反射手段の表面はハードディスクドライブ内のヘッドアーム側面であり、前記ロータリポジショナの位置変動に対して前記ヘッドアーム位置変位検出装置の出力が一定となるように、前記ヘッドアーム駆動モータのボイスコイルの電流を制御し、前記ロータリポジショナの動きと前記ヘッドアームの動きが非接触で連動するように構成し、前記ロータリポジショナの位置決め毎に前記ハードディスクドライブにサーボトラック信号を書込むことを特徴とする情報記録装置。
本発明に係る情報記録装置は、ヘッドアームと、ヘッドアーム駆動モータと、請求項1の変位検出装置を回転アームに取り付けたロータリポジショナとを有する情報記録装置であって、前記相対移動する反射手段の表面はハードディスクドライブ内のヘッドアーム側面であり、前記ロータリポジショナの位置変動に対して前記ヘッドアーム位置変位検出装置の出力が一定となるように、前記ヘッドアーム駆動モータのボイスコイルの電流を制御し、前記ロータリポジショナの動きと前記ヘッドアームの動きが非接触で連動するように構成し、前記ロータリポジショナの位置決め毎に前記ハードディスクドライブにサーボトラック信号を書込むことを特徴とする。
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- 2000-09-05 US US09/655,342 patent/US6618218B1/en not_active Expired - Fee Related
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