JP2001074845A - 半導体装置及びそれを用いた放射線撮像システム - Google Patents

半導体装置及びそれを用いた放射線撮像システム

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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003075592A (ja) * 2001-08-30 2003-03-12 Canon Inc シンチレータ、放射線検出装置及びシステム
US7358500B2 (en) 2004-12-20 2008-04-15 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation detection by dual-faced scintillation
US7408177B2 (en) 1998-06-18 2008-08-05 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel and radiation image sensor
WO2009051017A1 (ja) * 2007-10-19 2009-04-23 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. カセッテ型放射線画像固体検出器
WO2009054242A1 (ja) * 2007-10-26 2009-04-30 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. カセッテ型放射線画像固体検出器
JP2010071726A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Fujifilm Corp 放射線検出装置及び放射線画像撮影システム
JP2011185946A (ja) * 2011-05-09 2011-09-22 Canon Inc シンチレータパネルの製造方法、放射線撮像装置および放射線検出システム
JP2013064727A (ja) * 2011-08-26 2013-04-11 Fujifilm Corp 放射線検出器および放射線画像撮影装置
JP2014002115A (ja) * 2012-06-20 2014-01-09 Canon Inc 放射線検出装置、その製造方法及び撮像システム
JP2014106201A (ja) * 2012-11-29 2014-06-09 Canon Inc 放射線撮像装置、及び放射線撮像システム
JP2021502560A (ja) * 2017-11-13 2021-01-28 トビス カンパニー リミテッドTovis Co., Ltd. 曲面検出器の製造方法及びこの製造方法により製造された曲面検出器

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2001225490A1 (en) * 2000-01-13 2001-07-24 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation image sensor and scintillator panel
US7151263B2 (en) * 2000-05-19 2006-12-19 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation detector and method of manufacture thereof
US7141803B2 (en) * 2000-09-11 2006-11-28 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them
EP1879050A3 (en) * 2000-09-11 2008-03-26 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel, radiation image sensor and methods of producing them
US6803583B2 (en) * 2001-03-21 2004-10-12 M.E. Taylor Engineering Inc. Scintillator for electron microscope and method of making
JP2002333848A (ja) * 2001-05-10 2002-11-22 Sharp Corp 複合アクティブマトリクス基板、その製造方法、及び電磁波撮像装置
JP2003004857A (ja) * 2001-06-25 2003-01-08 Canon Inc 放射線検出装置及びそれを用いた放射線撮影システム
JP4364553B2 (ja) * 2002-08-30 2009-11-18 シャープ株式会社 光電変換装置及びその製造方法
JP4138458B2 (ja) * 2002-11-20 2008-08-27 富士フイルム株式会社 放射線画像記録媒体
JP4594188B2 (ja) * 2004-08-10 2010-12-08 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
JP4455534B2 (ja) * 2006-05-09 2010-04-21 株式会社東芝 放射線検出器およびその製造方法
JP2008139064A (ja) * 2006-11-30 2008-06-19 Konica Minolta Medical & Graphic Inc シンチレータパネルの製造方法、シンチレータパネル及び真空蒸着装置
JP4790863B2 (ja) * 2007-04-23 2011-10-12 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 部分的に透明なシンチレータ基板を有する検出器、検査装置及びその製造方法
JP4847492B2 (ja) * 2008-06-02 2011-12-28 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム並びにそれらの制御方法
JP5870375B2 (ja) * 2008-11-21 2016-03-01 トリクセル タイル型検出器の組み立て方法
US8384047B2 (en) * 2009-12-21 2013-02-26 Sensor Electronic Technology, Inc. Fluorescence-based ultraviolet illumination
US8569704B2 (en) 2010-12-21 2013-10-29 Carestream Health, Inc. Digital radiographic detector array including spacers and methods for same
US8558185B2 (en) 2010-12-21 2013-10-15 Carestream Health, Inc. Digital radiographic detector array including spacers and methods for same
JP2012154696A (ja) 2011-01-24 2012-08-16 Canon Inc シンチレータパネル、放射線検出装置およびそれらの製造方法
JP2014514554A (ja) 2011-04-06 2014-06-19 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ イメージング検出器
US9494697B2 (en) 2012-02-28 2016-11-15 Carestream Health, Inc. Digital radiographic imaging arrays including patterned anti-static protective coating with systems and methods for using the same
JP6071283B2 (ja) * 2012-07-04 2017-02-01 キヤノン株式会社 放射線検出装置及びその製造方法
JP6433560B1 (ja) 2017-09-27 2018-12-05 浜松ホトニクス株式会社 シンチレータパネル及び放射線検出器
JP6433561B1 (ja) 2017-09-27 2018-12-05 浜松ホトニクス株式会社 シンチレータパネル及び放射線検出器
US11099280B2 (en) * 2020-01-03 2021-08-24 GE Precision Healthcare LLC X-ray detector and methods of forming X-ray detector

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01128578A (ja) 1987-11-13 1989-05-22 Canon Inc 画像読取装置の製造方法
GB9115259D0 (en) * 1991-07-15 1991-08-28 Philips Electronic Associated An image detector
JP3066944B2 (ja) 1993-12-27 2000-07-17 キヤノン株式会社 光電変換装置、その駆動方法及びそれを有するシステム
KR987001092A (ko) * 1994-12-23 1998-04-30 엘. 린그렌 클린턴 반도체 감마 선 카메라 및 의학 화상 시스템(Semiconductor Gamma-Ray Camera and Medical Imaging System)
US5844243A (en) * 1997-07-15 1998-12-01 Direct Radiography Co. Method for preparing digital radiography panels
JP3789646B2 (ja) 1998-06-19 2006-06-28 浜松ホトニクス株式会社 放射線イメージセンサ

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7705315B2 (en) 1998-06-18 2010-04-27 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel and radiation image sensor
US7408177B2 (en) 1998-06-18 2008-08-05 Hamamatsu Photonics K.K. Scintillator panel and radiation image sensor
JP2003075592A (ja) * 2001-08-30 2003-03-12 Canon Inc シンチレータ、放射線検出装置及びシステム
US7358500B2 (en) 2004-12-20 2008-04-15 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation detection by dual-faced scintillation
WO2009051017A1 (ja) * 2007-10-19 2009-04-23 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. カセッテ型放射線画像固体検出器
US8035084B2 (en) 2007-10-26 2011-10-11 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Cassette type radiographic image solid-state detector
WO2009054242A1 (ja) * 2007-10-26 2009-04-30 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. カセッテ型放射線画像固体検出器
JP5018889B2 (ja) * 2007-10-26 2012-09-05 コニカミノルタエムジー株式会社 カセッテ型放射線画像固体検出器
JP2012187436A (ja) * 2007-10-26 2012-10-04 Konica Minolta Medical & Graphic Inc カセッテ型放射線画像固体検出器
JP2010071726A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Fujifilm Corp 放射線検出装置及び放射線画像撮影システム
JP2011185946A (ja) * 2011-05-09 2011-09-22 Canon Inc シンチレータパネルの製造方法、放射線撮像装置および放射線検出システム
JP2013064727A (ja) * 2011-08-26 2013-04-11 Fujifilm Corp 放射線検出器および放射線画像撮影装置
US9182504B2 (en) 2011-08-26 2015-11-10 Fujifilm Corporation Radiation detector and radiological image radiographing apparatus
US9784853B2 (en) 2011-08-26 2017-10-10 Fujifilm Corporation Radiation detector and radiological image radiographing apparatus
JP2014002115A (ja) * 2012-06-20 2014-01-09 Canon Inc 放射線検出装置、その製造方法及び撮像システム
JP2014106201A (ja) * 2012-11-29 2014-06-09 Canon Inc 放射線撮像装置、及び放射線撮像システム
JP2021502560A (ja) * 2017-11-13 2021-01-28 トビス カンパニー リミテッドTovis Co., Ltd. 曲面検出器の製造方法及びこの製造方法により製造された曲面検出器

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