JP2001023936A

JP2001023936A - Ｃｓｐ基板分割装置

Info

Publication number: JP2001023936A
Application number: JP19905599A
Authority: JP
Inventors: Masayoshi Kamigaki; 政圭神垣
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1999-07-13
Filing date: 1999-07-13
Publication date: 2001-01-26
Anticipated expiration: 2019-07-13
Also published as: JP4312304B2

Abstract

(57)【要約】【課題】種々のＣＳＰ基板を１つの分割装置において
分割して個々のペレットとする場合において、ＣＳＰ基
板に対応した適切な治具を選択して使用できるようにす
る。【解決手段】ＣＳＰ基板が載置される個々の治具、例
えば治具１４ａに、治具１４ａを識別するための識別マ
ーク３３をＣＳＰ基板１１の種類に対応して形成し、治
具ラック１５から治具１４ａを搬出する際に、識別マー
ク３３に基づき治具１４ａが分割すべきＣＳＰ基板１１
に対応する治具であるか否かを判断する判断手段を備え
たＣＳＰ基板分割装置１０を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＳＰ基板を個々
のペレットに分割するＣＳＰ基板分割装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図９に示すようなＣＳＰ（Chip Size Pa
ckage）基板１００は、複数の半導体チップをガラスエ
ポキシ等の樹脂によって封止して一体的にパッケージン
グしたもので、縦横に設けた切削ライン１０１、１０２
に沿って切削することにより、ペレットである個々のＣ
ＳＰに分割される。そして、個々のＣＳＰは、搬送トレ
ーに移し替えられて、そのまま出荷されるか、あるい
は、電化製品の組立ラインに搬送される。

【０００３】ＣＳＰ基板１００を切削するときは、図１
０に示すように通常の半導体ウェーハの場合と同様に、
保持テープＴを介してフレームＦに保持された状態で分
割装置の保持テーブルに載置される場合もあるが、この
場合は保持テープＴの着脱、廃棄が必要であり、生産
性、経済性の点で問題があるため、保持テープＴ及びフ
レームＦに代えて、図１１に示すような予め切削ブレー
ドの逃げ溝１０３が形成された再利用可能な治具１０４
を用い、治具１０４の上にＣＳＰ基板１００を載置して
切削を行うことが多くなってきている。

【０００４】ところが、ＣＳＰ基板の大きさや厚み、個
々のペレットのサイズは様々であるため、治具を使用す
る場合は、ＣＳＰ基板の種類に個別に対応した逃げ溝が
形成された複数種類の治具が必要となる。そこで、この
ような場合は、予め分割装置に備えた治具ラックに複数
種類の治具を格納しておき、分割しようとするＣＳＰ基
板に対応した治具を選択し、その選択された治具の上に
ＣＳＰ基板を載置して切削を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、番地に
よって特定された場所に、格納されているべき治具とは
異なる種類の治具が誤って格納されている場合は、分割
しようとするＣＳＰ基板に対応しない治具にＣＳＰ基板
が載置されてしまうため、ペレットのサイズに対応して
ＣＳＰ基板に形成された切削ラインと治具に形成された
逃げ溝との位置が合致しない。従って、この状態で切削
を行うと、逃げ溝が形成されていない箇所に切削ブレー
ドが切り込んで治具を損傷させると共に切削ブレードも
損傷し、ひいてはＣＳＰ基板も損傷するという問題が生
じる。

【０００６】このように、種々のＣＳＰ基板を１つの分
割装置において分割して個々のペレットとする場合にお
いては、ＣＳＰ基板に対応した適切な治具を選択して使
用できるようにすることに課題を有している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、ＣＳＰ基板を支持する治
具と、ＣＳＰ基板の種類に対応した２種類以上の治具を
格納する治具ラックと、該治具ラックから適宜の治具を
搬出し、搬出した治具をＣＳＰ基板が載置される領域に
位置付ける治具搬出入テーブルと、ＣＳＰ基板を該治具
搬出入テーブル上の治具に載置するＣＳＰ基板載置手段
と、ＣＳＰ基板をペレットに分割する切削ブレードを備
えた分割手段とから少なくとも構成され、個々の治具に
は、治具を識別するための識別マークが対応するＣＳＰ
基板の種類に対応して形成されており、治具ラックから
治具を搬出する際に、識別マークに基づき治具が分割す
べきＣＳＰ基板に対応する治具であるか否かを判断する
判断手段が含まれるＣＳＰ基板分割装置を提供する。

【０００８】そしてこのＣＳＰ基板分割装置は、判断手
段には、分割しようとするＣＳＰ基板に関してオペレー
タが入力する情報を記憶する第一の記憶手段と、ＣＳＰ
基板とそれに対応する治具との対応関係に関する情報が
予め入力され記憶されている第二の記憶手段と、識別マ
ークに基づき検出した治具に関する情報を記憶する第三
の記憶手段と、第一の記憶手段と第二の記憶手段とに記
憶させる情報を入力する情報入力手段とを備え、第一の
記憶手段に記憶されている情報と第三の記憶手段に記憶
されている情報とが第二の記憶手段に記憶されている対
応関係を具備するか否かに基づき、治具ラックから搬出
しようとする治具が分割しようとするＣＳＰ基板に対応
する治具であるか否かを判断すること、第二の記憶手段
には、治具が格納されている治具ラックの番地が記憶さ
れており、第一の記憶手段に記憶されたＣＳＰ基板に関
する情報と第二の記憶手段に記憶されている治具ラック
の番地とに基づいて、治具搬出入テーブルが該番地に移
動し、該番地に格納されている治具の識別マークを検出
し、治具に関する情報を第三の記憶手段に記憶するこ
と、治具ラックから搬出しようとする治具が分割しよう
とするＣＳＰ基板に対応する治具である場合は、該治具
を搬出し、治具ラックから搬出しようとする治具が分割
しようとするＣＳＰ基板に対応する治具でない場合は、
その旨をオペレータに報知すること、識別マークは孔の
有無により構成され、治具搬出入テーブルには該孔の有
無を検出するための光センサーが配設されていること、
識別マークはバーコードであり、治具搬出入テーブルに
は該バーコードを読み出すバーコードリーダが配設され
ていること、を付加的要件とする。

【０００９】このように構成されるＣＳＰ基板分割装置
においては、治具に形成された識別マークにより、搬出
しようとする治具が分割しようとするＣＳＰ基板に対応
しているものであるか否かを確実に認識することができ
るため、治具ラックの番地によって特定された場所に誤
った治具が格納されている場合でも、分割しようとする
ＣＳＰ基板に対応していない治具が使用されるのを確実
に回避することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の一例とし
て、図１に示すＣＳＰ基板分割装置１０について説明す
る。このＣＳＰ基板分割装置１０は、ＣＳＰ基板を切削
することにより個々のペレットであるＣＳＰに分割して
搬送トレーに移し替える装置であり、分割しようとする
ＣＳＰ基板１１は、上下動可能なカセット載置テーブル
１２上に載置されたカセット１３に複数収容される。

【００１１】また、ＣＳＰ基板１１の切削の際にＣＳＰ
基板１１を下方から支持する治具が治具ラック１５に複
数収容されている。ここで、治具にはＣＳＰ基板１１の
大きさや厚さ、分割後のペレットのサイズ等に対応して
ブレードの逃げ溝を予め形成しておく必要があるため、
ＣＳＰ基板の種類に個別に対応した２種類以上の治具が
治具ラック１５の所定の番地に収容されている。図１の
例においては、４種類の治具１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、
１４ｄがそれぞれ治具ラック１５の１番地、２番地、３
番地、４番地に４枚ずつ収容されている。

【００１２】ＣＳＰ基板１１は、例えば図２に示すよう
な平面上の基板であり、破線で示した切削ライン１６、
１７を縦横に切削することにより個々のＣＳＰとなる。
また、個々の治具、例えば図２に示す治具１４ａは、Ｃ
ＳＰ基板１１の裏面全体を保持できるように、かつ分割
後も個々のＣＳＰを保持できるように構成されている。
具体的には、ＣＳＰ基板１１の切削ライン１６、１７に
対応して予め縦横に設けた逃げ溝１８、１９によって区
画された領域ごとに、１つの第一の吸引孔２０と２つの
第二の吸引孔２１とを備えている。

【００１３】なお、図３に示すＣＳＰ基板２２のよう
に、切削ライン２３、２４の数が多く個々のＣＳＰが小
さく分割される場合には、治具においてもこれに対応す
る必要があるため、この場合は例えば図３に示す治具１
４ｂのように、切削ライン２３、２４に対応して逃げ溝
２５、２６を多く形成する。そして、逃げ溝２５、２６
の数が多いために区画された領域の数も多くなり、これ
により第一の吸引孔２７、第二の吸引孔２８も多く形成
される。

【００１４】図２の例を参照して説明を続けると、治具
１４ａの側面には、後述する第一の搬送手段６０の吸引
源パイプ６４、第二の搬送手段６９の吸引源パイプ７
３、第三の搬送手段７４の吸引源パイプ７９が係合する
３つの係合孔２９、３０、３１を備えている。ここで、
図４において、図２に示した治具１４ａの内部構造を示
すように、第一の吸引孔２０は治具１４ａの表裏面を貫
通し、第二の吸引孔２１は治具１４ａの内部に形成され
た通気路３２を介して３つの係合孔２９、３０、３１に
連通している。

【００１５】また、各治具の表面には、治具の品番を示
す識別マーク３３が設けられている。識別マーク３３
は、例えば孔の数によって治具の品番の識別を可能とす
るもので、図２の治具１４ａには、識別マーク３３とし
て孔３４が３つ形成されている。また、図３に示した治
具１４ｂには孔３４が２つ形成されている。なお、識別
マーク３３は、例えばバーコード等により構成されてい
てもよい。

【００１６】治具ラック１５に収容された各治具は、図
５（Ａ）に示す治具搬出入手段３５によって治具搬出入
テーブル３６の上に載置される。この治具搬出入手段３
５においては、起立した壁部３７に垂直方向に設けた一
対の第一のガイドレール３８にテーブル支持部３９が摺
動可能に係合しており、２つのガイドレール３８の間に
形成された貫通部４０を貫通したテーブル支持部３９
が、壁部３７の後部側に垂直方向に設けたボールネジ
（図示せず）に螺合している。そして、ボールネジに連
結されたモータ４１に駆動されてボールネジが回動する
のに伴い、テーブル支持部３９がガイドレール３８にガ
イドされて上下動する構成となっている。

【００１７】また、テーブル支持部３９の上面にはＹ軸
方向に一対の第二のガイドレール４２が配設されてお
り、これに治具搬出入テーブル３６が摺動可能に係合し
ている。治具搬出入テーブル３６は、テーブル支持部３
９の側部に設けられたレール３９ａに係合した駆動源３
６ａの駆動によって、第二のガイドレール４２にガイド
されてＹ軸方向に所要範囲移動可能となっている。ま
た、治具搬出入テーブル３６の上面には、識別マーク３
３を検出する検出手段４６となる発光素子及び受光素子
からなる複数の光センサー４３が例えば４つ並んで配設
されている。この光センサー４３は、搬出しようとする
治具がＣＳＰ基板に対応したものであるか否かを判断す
るために設けられている。

【００１８】例えば、治具搬出入手段３５を用いて治具
ラック１５に収容された治具１４ａを搬出する際は、テ
ーブル支持部３９が上下動して該当する番地に位置付け
られ、搬出しようとする治具１４ａが収容されている位
置より若干低い位置まで移動する。そして、図５（Ｂ）
に示すように、治具搬出入テーブル３６が＋Ｙ方向に移
動して治具ラック１５内の搬出しようとする治具１４ａ
の下に進入し、分割しようとするＣＳＰ基板に対応した
治具かどうかを判断する。

【００１９】この判断は、例えば図６に示すような構成
の判断手段４４において行われる。この判断手段４４
は、ＣＳＰ基板分割装置１０に備えたキーボード、ＣＰ
Ｕ、メモリ等からなり、機能に基づいて示すと、図６の
ように、制御手段４５、検出手段４６、第一の記憶手段
４７、第二の記憶手段４８、第三の記憶手段４９、情報
入力手段５０とから構成される。

【００２０】制御手段４５は、情報入力手段５０からの
情報の入力、各記憶手段への情報の格納や読み出し、各
記憶手段に記憶された内容の比較、判断等を行う。

【００２１】検出手段４６は、図５に示した例では、治
具搬出入テーブル３６に配設された光センサー４３であ
り、図２及び図３のように治具に設けた識別マーク３３
が孔の場合は光センサー、識別マーク３３がバーコード
の場合はバーコードリーダにより構成される。

【００２２】第一の記憶手段４７には、図７（Ａ）に示
すように、分割しようとするＣＳＰ基板１１の品番が情
報入力手段５０からオペレータによって入力され記憶さ
れている。ＣＳＰ基板１１の品番は、ＣＳＰ基板の大き
さ、厚さ、ペレットのサイズ等によりそれぞれ異なる識
別番号となっており、例えば３桁の数字で表される。図
７（Ａ）の例においては、品番００１のみがオペレータ
によって入力され第一の記憶手段４７に記憶されてい
る。即ち、この場合は品番００１のＣＳＰ基板が分割の
対象となる。

【００２３】図７（Ｂ）に示すように、第二の記憶手段
４８には、ＣＳＰ基板の品番と、それに対応する治具の
品番及び孔の数、その治具が収容されている治具ラック
の番地、ペレットサイズからなる対応表が予め記憶され
ている。例えば、品番００２のＣＳＰ基板に対応する治
具の品番はＢであり、その治具は治具ラック１５の２−
１、２−２、２−３、２−４番地に収容されている。ま
た、品番００２のＣＳＰ基板のペレットサイズは５ｍｍ
角で、分割によりタテ６個、ヨコ１４個のペレットによ
り分割される等の情報も記憶されている。

【００２４】図７（Ｃ）に示すように、第三の記憶手段
４９には、実際に治具搬出入テーブル３６に搬出しよう
としている治具の識別マーク３３が検出手段４６によっ
て検出され、検出された治具の品番が記憶される。

【００２５】情報入力手段５０は、第一の記憶手段４
７、第二の記憶手段４８に格納する情報を入力するもの
で、例えば、図１に示したＣＳＰ基板分割装置１０の前
部側に備えたキーボード５１である。

【００２６】このように構成される判断手段４４におい
ては、分割を始める前に、情報入力手段５０を用いて分
割しようとするＣＳＰ基板１１の品番００１をオペレー
タが入力して第一の記憶手段４７に格納する。

【００２７】そして、第一の記憶手段に記憶されたＣＳ
Ｐ基板に関する情報と該第二の記憶手段に記憶されてい
る治具ラックの番地とに基づいて、その番地に治具搬出
入テーブル３６が移動し、図５（Ｂ）に示したように、
治具搬出入テーブル３６が治具ラック１５内の搬出しよ
うとする治具１４ａ（品番Ａ）の下に進入したときに、
その治具１４ａの品番を検出手段４６によって検出し、
第三の記憶手段４９に記憶する。

【００２８】具体的には、図５（Ａ）に示したように、
検出手段４６が光センサー４３の場合は、光センサー４
３から治具に形成された孔３４に対して光を照射する。
光を照射すると、孔３４を通った光の反射光は弱くなる
のに対し、孔が形成されていない部分に照射した光は治
具１４ａの裏面において反射するため反射光は強くな
る。このようにして光センサー４３において検出される
反射光に基づいて孔３４がいくつ形成されているかを判
断する。

【００２９】例えば、図２、図３に示したように、品番
Ａの治具１４ａには３つの孔３４が形成され、品番Ｂの
治具１４ｂには２つの孔３４が形成されており、また、
図示していないが、品番Ｃの治具ｃには１つの孔が形成
され、品番Ｄの治具１４ｄには孔が形成されていないと
した場合、治具搬出入テーブル３６の直上にある治具が
品番Ａの治具１４ａであるとすると、品番Ａの治具には
孔が３つ形成されているため、図５（Ａ）のように検出
手段４６が４つの光センサー４３から構成されている場
合は、反射光は３つが弱く、１つが強くなる。このよう
に、反射光の強弱により、治具１４ａにいくつの孔が形
成されているかを判断することができる。即ち、この場
合は、治具搬出入テーブル３６の直上にある治具１４ａ
は、品番Ａの治具であることがわかる。この検出結果は
第三の記憶手段４９に記憶される。

【００３０】こうして治具搬出入テーブル３６の直上に
ある治具１４ａの品番が検出されて第三の記憶手段４９
に記憶されると、制御手段４５において第一の記憶手段
４７に記憶されている内容と第三の記憶手段４９に記憶
されている内容とが、予め第二の記憶手段４８に記憶さ
れている対応関係を具備しているかどうかを判断する。

【００３１】図７に示した例の場合、第一の記憶手段４
７に記憶されたＣＳＰ基板の品番は００１、第三の記憶
手段４９に記憶された治具の品番はＡであり、この場合
は第二の記憶手段４８の対応関係を具備するため、治具
搬出入テーブル３６の直上にある治具１４ａはＣＳＰ基
板００１に対応した治具であると判断する。

【００３２】このように、第一の記憶手段４７に記憶さ
れている内容と第三の記憶手段４９に記憶されている内
容とが、第二の記憶手段４８に記憶されている対応関係
を具備している場合は、テーブル支持部３９を若干上昇
させて、図５（Ｃ）に示すように治具搬出入テーブル３
６の上にその治具１４ａを載置する。こうして品番Ａの
治具１４ａが治具搬出入テーブル３６に載置されると、
治具搬出入テーブル３６が−Ｙ方向に移動することによ
り、治具１４ａを載置したまま治具ラック１５から待避
し、次にテーブル支持部３９が上昇することにより、図
５（Ｄ）のように治具搬出入テーブル３６が最も上に位
置付けられ、治具１４ａが載置された治具搬出入テーブ
ル３６がＣＳＰ基板分割装置１０の上部に現れる。

【００３３】一方、第一の記憶手段４７に記憶されてい
る内容と第三の記憶手段４９に記憶されている内容と
が、第二の記憶手段４８に記憶されている対応関係を具
備していない場合は、その治具はＣＳＰ基板１１に対応
していないと判断する。そして、この場合は搬出をや
め、その旨を図１に示したモニター５２に表示する等し
てオペレータに知らせる。

【００３４】このようにして判断手段４４により搬出し
ようとする治具がＣＳＰ基板１１に対応する治具かどう
かを判断することで、例えば治具ラック１５の所定の番
地に第二の記憶手段４８に記憶された対応関係を具備し
ない誤った治具が収容されている場合には、その誤った
治具が搬出されて使用されることがなくなるため、ペレ
ットのサイズと治具の逃げ溝とが合致せずに治具や切削
ブレードを損傷させたり、ＣＳＰ基板自体を損傷させる
といった問題が発生しなくなる。

【００３５】こうして分割しようとするＣＳＰ基板１１
に対応した治具１４ａが治具搬出入テーブル３６にセッ
トされると、次に、カセット１２に収容された分割前の
ＣＳＰ基板１１が、Ｘ軸方向に移動可能なＣＳＰ基板搬
出手段５３によって押し出されて仮置き領域５４に載置
される。

【００３６】仮置き領域５４には、Ｘ軸方向に循環する
ベルト５４ａが設けられており、カセット１２から押し
出されたＣＳＰ基板１１はベルト５４ａ上に載置され、
ベルト５４ａの上面の−Ｘ方向のスライドによって仮置
き領域５４における一定の位置に位置付けられる。そし
て、ＣＳＰ基板１１は、ＣＳＰ基板載置手段５５によっ
て治具搬出入テーブル３６上の治具１４ａに載置され
る。

【００３７】ここで、ＣＳＰ基板載置手段５５は、Ｙ軸
方向に配設された第三のガイドレール５６と、これに摺
動可能に係合した駆動部５７と、駆動部５７に対して上
下動可能な上下動部５８とから構成され、上下動部５８
の下部には吸着部５９を備えており、上下動部５８が下
降して仮置き領域５４に載置されたＣＳＰ基板１１を吸
着部５９によって吸着し、上下動部５８が上昇すると共
に−Ｙ方向に移動して治具搬出入テーブル３６の載置さ
れた治具１４ａの直上に位置付けられた後、上下動部５
８が下降すると共に吸着を解除することにより、図８の
ようにしてＣＳＰ基板１１が治具１４ａの上に載置され
る。

【００３８】こうして治具搬出入テーブル３６上におい
て治具１４ａの上にＣＳＰ基板１１が載置されると、第
一の搬送手段６０によって治具１４ａと共にＣＳＰ基板
１１が加工テーブル６１に搬送される。

【００３９】第一の搬送手段６０は、治具搬出入テーブ
ル３６の上方から加工テーブル６１の上方までＸ軸方向
に架設された橋部６２と、橋部６２に沿ってＸ軸方向に
移動可能にかつＺ軸方向に上下動可能に配設された保持
部６３とから構成されており、保持部６３には、治具を
保持する３つの吸引源パイプ６４を備えている。

【００４０】この吸引源パイプ６４は、図２に示した治
具１４ａの側面に形成された係合孔２９、３０、３１に
係合して治具１４ａを保持する。そして、３つの係合孔
２９、３０、３１から供給された吸引力は、図２におけ
るＡ−Ａ断面の一部を図４に示した治具１４ａの内部の
通気路３２を介し、第二の吸引孔２１にも供給され、こ
の吸引力によってＣＳＰ基板１１が治具１４ａに吸引保
持される。従って、吸引源パイプ６４を係合孔２９、３
０、３１に係合させ、この状態で保持部６３が−Ｘ方向
に移動することにより、ＣＳＰ基板１１をしっかりと保
持した状態で治具１４ａを搬送することができる。こう
して搬送することによってＣＳＰ基板１１を吸引保持し
た治具１４ａが加工テーブル６１の直上に位置付けられ
ると、保持部６３を下降させると共に向かい合う吸引源
パイプ６４が互いが離れる方向にスライドして係合孔２
９、３０、３１との係合状態を解除することにより、Ｃ
ＳＰ基板１１が治具１４ａと共に加工テーブル６１に載
置される。そして、加工テーブル６１の中心部に設けた
吸引孔６５から供給される吸引力が治具１４ａの表裏面
を貫通する第一の吸引孔２０に供給され、この吸引力に
よって治具１４ａ及びＣＳＰ基板１１が吸引保持され
る。

【００４１】こうして治具１４ａと共に加工テーブル６
１に吸引保持されたＣＳＰ基板１１は、加工テーブル６
１が−Ｘ方向に移動することにより、まずアライメント
手段６６の直下に位置付けられ、ここで図２に示した切
削ライン１６が検出されてブレード６７とのＹ軸方向の
位置合わせがなされる。

【００４２】そして更に加工テーブル６１が−Ｘ方向に
移動することにより、スピンドルの先端に切削ブレード
６７が装着された分割手段６８の作用を受けて、まず切
削ライン１６が切削される。更に、切削ライン１６が１
本切削されるごとに、隣り合う切削ライン間の間隔だけ
分割手段６８がＹ軸方向に割り出し送りされ、加工テー
ブル６１がＸ軸方向の往復移動と共に順次切削ライン１
６が切削されていく。

【００４３】また、同方向の切削ライン１６がすべて切
削されると、加工テーブル６１が９０度回転し、上記と
同様に切削ライン１６に直交する切削ライン１７が切削
されてＣＳＰ基板１１が個々のペレットに分割される。

【００４４】こうして分割されたＣＳＰ基板１１は、治
具１４ａと共に第二の搬送手段６９によって洗浄テーブ
ル７０に搬送される。ここで、第二の搬送手段６９は、
Ｙ軸方向及びＸ軸方向に移動可能なアーム部７１と、ア
ーム部７１の先端に上下動可能に配設された上下動部７
２とから構成され、上下動部７２は、第一の搬送手段６
０と同様に、治具１４ａの係合孔２９、３０、３１に係
合する３つの吸引源パイプ７３を備えており、この吸引
源パイプ７３が係合孔２９、３０、３１に係合し、分割
された個々のＣＳＰが治具１４ａに吸引保持された状態
で治具１４ａと共に分割済みのＣＳＰ基板１１が搬送さ
れる。

【００４５】洗浄テーブル７０は、実質的に加工テーブ
ル６１と同様の構造で、吸引孔を有すると共にスピン回
転可能に構成されており、治具１４ａと共にＣＳＰ基板
１１が載置され、洗浄テーブル７０の回転と共に洗浄水
の噴射によって切削屑が除去され、更に高圧エアーによ
って乾燥される。

【００４６】洗浄及び乾燥が行われたＣＳＰ基板１１
は、治具１４ａと共に第三の搬送手段７４によってペレ
ットピックアップテーブル７５に搬送される。第三の搬
送手段７４は、Ｘ軸方向に架設した橋部７６と、橋部７
６に沿ってＸ軸方向に移動可能にかつ上下動可能に配設
されたアーム部７７と、アーム部７７の先端に配設され
た保持部７８とから構成され、保持部７８は、第一の搬
送手段６０、第二の搬送手段６９と同様に、治具１４ａ
の係合孔２９、３０、３１に係合する３つの吸引源パイ
プ７９を備えており、この吸引源パイプ７９が係合孔２
９、３０、３１に係合した状態で治具１４ａに吸引保持
された分割済みのＣＳＰ基板１１が搬送される。

【００４７】治具１４ａと共にＣＳＰ基板１１を吸引保
持した保持部７８が＋Ｘ方向に移動してペレットピック
アップテーブル７５の直上に位置付けられると、保持部
７８がアーム部７７と共に下降し、向かい合う吸引源パ
イプ７９が互いが離れる方向にスライドして係合孔２
９、３０、３１との係合状態を解除することにより、治
具１４ａと共にＣＳＰ基板１１がペレットピックアップ
テーブル７５に載置される。

【００４８】ペレットピックアップテーブル７５の＋Ｘ
方向の近傍には、個々のペレットが収容される搬送トレ
ーが載置される領域であるペレット移し替え領域８０が
設けられており、移し替え手段８１がペレットピックア
ップテーブル７５の上方からペレット移し替え領域８０
の上方まで架設されている。

【００４９】移し替え手段８１は、Ｘ軸方向に架設され
た橋部８２と、橋部８２に沿ってＸ軸方向に移動可能で
かつＺ軸方向に上下動可能な保持部８３を２つ有してい
る。それぞれの保持部８３は、ペレットピックアップテ
ーブル７５に治具１４ａと共に載置された分割済みのＣ
ＳＰ基板１１から個々のペレットであるＣＳＰを吸着す
る吸着部８４を備えている。

【００５０】また、ペレットピックアップテーブル７５
はＹ軸方向に移動可能でかつ回転可能となっており、ペ
レットのピックアップ時は、ペレットピックアップテー
ブル７５がＹ軸方向に移動して適宜の位置にＣＳＰ基板
１１を位置付ける。

【００５１】一方、ペレット移し替え領域８０には、Ｙ
軸方向に移動可能な第一の搬送トレーテーブル８５が配
設されており、この上にはペレットが収容される空の搬
送トレー８６が載置される。この第一の搬送トレーテー
ブル８５は、Ｚ軸方向にも移動可能であり、装置内部を
通り、第一の搬送トレーラック８７の下部に進入するこ
とができる。

【００５２】第一の搬送トレーラック８７には、複数の
空の搬送トレー８６が重ねて格納されており、第一の搬
送トレーテーブル８５によって下から順番に取り出され
ていく。そして、取り出された空の搬送トレー８６は、
第一の搬送トレーテーブル８５の上に載置されてペレッ
ト移し替え領域８０に位置付けられる。

【００５３】ペレットを移し替える際は、まず、ペレッ
トピックアップテーブル７５をＹ軸方向に移動させると
共にペレットピックアップテーブル７５に治具１４ａと
共に載置されたＣＳＰ基板１１のピックアップしようと
するペレットの上方に吸着部８４を位置付け、保持部８
３を下降させてペレットを吸着してから、保持部８３を
上昇させる。

【００５４】一方、搬送トレー８６は、第一の搬送トレ
ーテーブル８５がＹ軸方向にスライドすることに伴いＹ
軸方向に移動し、吸着部８４とのＹ軸方向の位置合わせ
がなされる。この状態で、ペレットを吸着保持した保持
部８３を＋Ｘ方向に移動させて第一の搬送トレーテーブ
ル８５に載置された搬送トレー８６の所定の空きスロッ
トの直上まで移動させ、保持部８３を下降させると共に
吸着部８４による吸着を解除することにより、搬送トレ
ー８６の所定のスロットにペレットであるＣＳＰが収容
される。

【００５５】このような作業を繰り返して行うことによ
り、搬送トレー８６のすべてのスロットにペレットが収
容される。なお、本実施の形態のように、２つの保持部
８３がある場合には、両者を並行して動作させてピック
アップを行えば、より効率的である。

【００５６】すべてのペレットがピックアップされるこ
とによりペレットピックアップテーブル７５に残された
治具１４ａは、ペレットピックアップテーブル７５が９
０度回転して＋Ｙ方向に移動することにより治具載置領
域８８に位置付けられる。そして、第四の搬送手段８９
によって治具搬出入テーブル３６に搬送され、再度分割
すべきＣＳＰ基板が治具１４ａに載置されて前述した作
業が繰り返される。

【００５７】一方、分割すべきＣＳＰ基板がなくなった
場合は、治具搬出入手段３５によって治具ラック１５の
もとの番地に収容される。このように、治具を何度も繰
り返し使用することができるため、従来のように使用後
のテープを着脱、廃棄する必要がなくなり、経済性、生
産性に優れている。

【００５８】なお、これまでは１枚の治具の流れについ
て説明してきたが、実際には４枚の治具がタイミングを
図りながら効率よく流れている。

【００５９】移し替えによりペレットで満たされた搬送
トレー９０は、載せ替え手段９１によって第二の搬送ト
レーテーブル９２に搬送される。ここで、載せ替え手段
９１は、ガイドレール９１ａと、ガイドレール９１ａに
沿ってＸ軸方向に移動可能なアーム部９３とアーム部９
３の先端において上下動可能に配設された挟持部９４と
から構成されており、挟持部９４が下降して第一の搬送
トレーテーブル８５においてペレットが収容された搬送
トレー９０を挟持し、挟持部９４が上昇すると共に＋Ｘ
方向に移動し、挟持された搬送トレー９０が第二の搬送
トレーテーブル９２の直上に位置付けられたときに挟持
部９４が下降して挟持状態を解除することにより第二の
搬送トレーテーブル９２に載置される。

【００６０】第二の搬送トレーテーブル９２は、第一の
搬送トレーテーブル８５と同様にＹ軸方向及びＺ軸方向
に移動可能であり、装置内部を通り第二の搬送トレーラ
ック９５の下部に進入することができるため、ペレット
で満たされた搬送トレー９０が第二の搬送トレーテーブ
ル９２に載置されると、第二の搬送トレーテーブル９２
が第二の搬送トレーラック９５の内部に進入してペレッ
トで満たされた搬送トレー９０が第二の搬送トレーラッ
ク９５に下から収容されていく。

【００６１】以上のように構成されるＣＳＰ基板分割装
置１０においては、ＣＳＰ基板の分割からペレットの搬
送トレーへの収容までの作業を１つの装置で効率よく行
うことができるため、ＣＳＰ基板の分割とペレットの搬
送トレーへの収容を別個に行っていた従来と比較して、
生産性が大幅に改善される。また、また、機械の操作等
に必要な人手も減らすことができるため、経済性も向上
する。

【００６２】また、ＣＳＰ基板搬送装置１０におけるＣ
ＳＰ基板及びそれを支持する治具の搬送時は、吸引源パ
イプ６４、７３、７９を治具に係合させるだけで、簡単
な構造でありながらＣＳＰ基板を吸引保持しながら治具
を保持して搬送することができるため、搬送途中でＣＳ
Ｐ基板が落下して破損することがなく、安全性も向上さ
せることができる。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るＣＳ
Ｐ基板分割装置では、治具に形成された識別マークによ
り、搬出しようとする治具が分割しようとするＣＳＰ基
板に対応しているものであるか否かを確実に認識するこ
とができるため、治具ラックの番地によって特定された
場所に誤った治具が格納されている場合でも、分割しよ
うとするＣＳＰ基板に対応していない治具が使用される
のを確実に回避することができる。従って、逃げ溝が形
成されていない箇所に切削ブレードが切り込んで治具を
損傷させることがなく、これにより切削ブレードも損傷
しなくなる。更に、切削ブレードが損傷しないため、Ｃ
ＳＰ基板が損傷することもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＣＳＰ基板分割装置の実施の形態
の一例を示す斜視図である。

【図２】同ＣＳＰ基板分割装置によって分割されるＣＳ
Ｐ基板及びＣＳＰ基板を支持する治具の第一の例を示す
斜視図である。

【図３】同ＣＳＰ基板分割装置によって分割されるＣＳ
Ｐ基板及びＣＳＰ基板を支持する治具の第二の例を示す
斜視図である。

【図４】図２のＡ−Ａ断面の一部を示す断面図である。

【図５】治具搬出入手段を用いて治具が治具ラックから
搬出される様子を段階的に示す示す斜視図である。

【図６】分割するＣＳＰ基板に対応する治具か否かを判
断する判断手段の構成を示すブロック図である。

【図７】同判断手段を構成する第一の記憶手段、第二の
記憶手段、第三の記憶手段に格納された内容の一例を示
す説明図である。

【図８】ＣＳＰ基板が治具に支持された状態を示す斜視
図である。

【図９】ＣＳＰ基板の一例を示す斜視図である。

【図１０】保持テープを介してフレームに保持されたＣ
ＳＰ基板を示す平面図である。

【図１１】従来ＣＳＰ基板の分割時に使用されていた治
具、及び、ＣＳＰ基板を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０…ＣＳＰ基板分割装置１１…ＣＳＰ基板１２…カセット載置テーブル１３…カセット１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ…治具１５…治具ラック１６、１７…切削ライン１８、１９…逃げ溝２０…第一の吸引孔２１…第二の吸引孔２２…ＣＳＰ基板２３、２４…切削ライン２５、２６…逃げ溝２７…第一の吸引孔２８…第二の吸引孔２９、３０、３１…係合孔３２…通気路３３、３４…孔３５…治具搬出入手段３６…治具搬出入テーブル３６ａ…駆動源３７…壁部３８…第一のガイドレール３９…テーブル支持部３９ａ…レール４０…貫通部４１…モータ４２…第二のガイドレール４３…光センサー４４…判断手段４５…制御手段４６…検出手段４７…第一の記憶手段４８…第二の記憶手段４９…第三の記憶手段５０…情報入力手段５１…キーボード５２…モニター５３…ＣＳＰ基板搬出手段５４…仮置き領域５４ａ…ベルト５５…ＣＳＰ基板載置手段５６…第三のガイドレール５７…駆動部５８…上下動部５９…吸着部６０…第一の搬送手段６１…加工テーブル６２…橋部６３…保持部６４…吸引源パイプ６５…吸引孔６６…アライメント手段６７…切削ブレード６８…分割手段６９…第二の搬送手段７０…洗浄テーブル７１…アーム部７２…上下動部７３…吸引源パイプ７４…第三の搬送手段７５…ペレットピックアップテーブル７６…橋部７７…アーム部７８…保持部７９…吸引源パイプ８０…ペレット移し替え領域８１…移し替え手段８２…橋部８３…保持部８４…吸着部８５…第一の搬送トレーテーブル８６…空の搬送トレー８７…第一の搬送トレーラック８８…治具載置領域８９…第四の搬送手段９０…搬送トレー９１…載せ替え手段９１ａ…ガイドレール９２…第二の搬送トレーテーブル９３…アーム部９４…挟持部９５…第二の搬送トレーラック１００…ＣＳＰ基板１０１、１０２…切削ライン１０３…逃げ溝１０４…治具

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＣＳＰ基板を支持する治具と、ＣＳＰ基板の種類に対応した２種類以上の治具を格納す
る治具ラックと、該治具ラックから適宜の治具を搬出し、搬出した治具を
ＣＳＰ基板が載置される領域に位置付ける治具搬出入テ
ーブルと、ＣＳＰ基板を治具に載置するＣＳＰ基板載置手段と、ＣＳＰ基板をペレットに分割する切削ブレードを備えた
分割手段とから少なくとも構成されたＣＳＰ基板分割装
置であって、個々の治具には、治具を識別するための識別マークが対
応するＣＳＰ基板の種類に対応して形成されており、該治具ラックから該治具を搬出する際に、該識別マーク
に基づき該治具が分割すべきＣＳＰ基板に対応する治具
であるか否かを判断する判断手段が含まれるＣＳＰ基板
分割装置。
【請求項２】判断手段には、分割しようとするＣＳＰ基板に関してオペレータが入力
する情報を記憶する第一の記憶手段と、ＣＳＰ基板とそれに対応する治具との対応関係に関する
情報が予め入力され記憶されている第二の記憶手段と、識別マークに基づき検出した治具に関する情報を記憶す
る第三の記憶手段と、該第一の記憶手段と該第二の記憶手段とに記憶させる情
報を入力する情報入力手段とを備え、該第一の記憶手段に記憶されている情報と該第三の記憶
手段に記憶されている情報とが該第二の記憶手段に記憶
されている対応関係を具備するか否かに基づき、治具ラ
ックから搬出しようとする治具が分割しようとするＣＳ
Ｐ基板に対応する治具であるか否かを判断する請求項１
に記載のＣＳＰ基板分割装置。
【請求項３】第二の記憶手段には、治具が格納されて
いる治具ラックの番地が記憶されており、第一の記憶手段に記憶されたＣＳＰ基板に関する情報と
該第二の記憶手段に記憶されている治具ラックの番地と
に基づいて、治具搬出入テーブルが該番地に移動し、該
番地に格納されている治具の識別マークを検出し、該治
具の関する情報を該第三の記憶手段に記憶する請求項２
に記載のＣＳＰ基板分割装置。
【請求項４】治具ラックから搬出しようとする治具が
分割しようとするＣＳＰ基板に対応する治具である場合
は、該治具を搬出し、治具ラックから搬出しようとする治具が分割しようとす
るＣＳＰ基板に対応する治具でない場合は、その旨をオ
ペレータに報知する請求項１乃至３に記載のＣＳＰ基板
分割装置。
【請求項５】識別マークは孔の有無により構成され、
治具搬出入テーブルには該孔の有無を検出するための光
センサーが配設されている請求項１乃至４に記載のＣＳ
Ｐ基板分割装置。
【請求項６】識別マークはバーコードであり、治具搬
出入テーブルには該バーコードを読み出すバーコードリ
ーダが配設されている請求項１乃至４に記載のＣＳＰ基
板分割装置。