JP2014143268A - テープ剥離方法及びテープ剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】個々のデバイス(D)に分割された矩形基板(W)に保護テープ(T)が貼着されており、矩形基板から保護テープ(T)を剥離するテープ剥離方法において、加熱によって粘着力が低減する熱剥離性テープで構成された保護テープを、バルク収容手段(12)の上方に設けた反転可能な保持手段(15)で保持し、保持手段の反転状態で保護テープを加熱、又は保護テープの加熱後に保持手段を反転させることで、保持手段に保持された保護テープから各デバイスをバルク収容手段に一度に落下させる構成にした。
【選択図】図2
Description
12、53 バルク収容手段
14 搬送手段
15 保持手段
41 保持部
42 保持面
43 反転部
55 第1の搬送手段(搬送手段)
56 第2の搬送手段(デバイス保持手段)
65 支持テーブル
66 支持部
83 保持パッド
101 分割予定ライン
W 矩形基板
D デバイス
T 保護テープ
Claims (4)
- 複数のデバイスが行と列の分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され予め切削ブレードで分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割された状態で、複数のデバイスを該保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離方法であって、
該保護テープは加熱することで粘着力が低減する熱剥離性テープであり、
保持部が加熱する機能を有する保持手段により該保護テープ側を該保持部に吸引保持する保護テープ保持工程と、
該保護テープ保持工程の後に、該保護テープを加熱し該保護テープの粘着力を低減させる保護テープ粘着力低減工程と、
該保護テープ粘着力低減工程の前又は後に、該保持手段をバルク収容手段の上方に位置付け該保持部を該バルク収容手段側に反転させて該複数のデバイスを該バルク収容手段に落下させるバルク収容工程と、
から構成されるテープ剥離方法。 - 複数のデバイスが行と列の分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され予め切削ブレードで分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割された状態で、複数のデバイスを該保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離装置であって、
該保護テープは加熱することで粘着力が低減する熱剥離性テープであり、
複数のデバイスを表面に貼着した保護テープ側全面を吸引保持する保持部を有する保持手段と、
該複数のデバイスを表面に貼着した保護テープを該保持手段の保持部に載置する搬送手段と、
該保護テープから剥離された複数のデバイスをバルク収容するバルク収容手段と、から構成され、
該保持手段は、該保持部が吸引保持した該保護テープを加熱する加熱部と、該保護テープを吸引保持した状態で該保持部を反転させる反転部を備え、
該保持手段の該保持部により吸引保持された該保護テープは該バルク収容手段の上方に位置づけられ、該加熱部で該保護テープが加熱され粘着力が低減した状態で該反転部により該保持部が反転することで、複数のデバイスは該保護テープから剥離し該バルク収容手段に落下してバルク収容されること、
を特徴とするテープ剥離装置。 - デバイス部のみ吸引保持複数のデバイスが行と列の分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され予め切削ブレードで分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割された状態で、複数のデバイスを該保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離方法であって、
該保護テープは加熱することで粘着力が低減する熱剥離性テープであり、
加熱する支持部を有する支持テーブルにより該保護テープ側を該支持部に載置する保護テープ載置工程と、
該保護テープ載置工程の後に、該保護テープを加熱し該保護テープの粘着力を低減させる保護テープ粘着力低減工程と、
該保護テープ粘着力低減工程の前又は後に、複数のデバイスに対応する領域に吸引部を有し移動可能なデバイス保持手段を複数のデバイスの上方に該吸引部を位置付けて吸引保持するデバイス吸引保持工程と、
該複数のデバイスを吸引保持した該デバイス保持手段をバルク収容手段の上方に移動し、
該吸引部の吸引保持を解除し該複数のデバイスを該バルク収容手段に落下させるバルク収容工程と、
から構成されるテープ剥離方法。 - 複数のデバイスが行と列の分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され予め切削ブレードで分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割された状態で、複数のデバイスを該保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離装置であって、
該保護テープは加熱することで粘着力が低減する熱剥離性テープであり、
該複数のデバイスを表面に貼着した保護テープを上面に支持し該保護テープを加熱する支持部を有する支持テーブルと、
該支持テーブルの該支持部に該複数のデバイスを表面に貼着した保護テープを搬送する搬送手段と、
該支持テーブルの上面に載置された該複数のデバイスを表面に貼着した保護テープの該複数のデバイスに対応した領域に吸引部を有し移動可能なデバイス保持手段と、
該複数のデバイスをバルク収容するバルク収容手段と、から構成され、
該デバイス保持手段は、該支持テーブルに載置された該保護テープの上面の複数のデバイスに該吸引部を位置付けて該複数のデバイスを吸引保持し、該支持テーブルが加熱され該保護テープの粘着力が低減した状態で該複数のデバイスを該保護テープから剥離して、該バルク収容手段の上に位置づけ該吸引部の吸引を解除することで、該複数のデバイスを該バルク収容手段に落下してバルク収容すること、
を特徴とするテープ剥離装置。
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