JP2001015822A - 複合圧電体及び棒状圧電セラミック焼結体 - Google Patents
複合圧電体及び棒状圧電セラミック焼結体Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 工業的に容易に量産することができ、かつ安
価に製造することができる複合圧電体を提供すること。 【解決手段】 柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を酸
処理することによりエッチングして、その直径を減少さ
せて形成した棒状圧電セラミック焼結体を複数個、それ
ぞれ間隔を空けて並立させた状態で樹脂により固定して
複合体とし、次いでこの複合体を圧電セラミック焼結体
の長さ方向に垂直に順次切断することによって複合体断
片を得たのち、この複合体断片の上下の切断面のそれぞ
れに電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して該
棒状圧電セラミック焼結体を分極させて得られた複合圧
電体。
価に製造することができる複合圧電体を提供すること。 【解決手段】 柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を酸
処理することによりエッチングして、その直径を減少さ
せて形成した棒状圧電セラミック焼結体を複数個、それ
ぞれ間隔を空けて並立させた状態で樹脂により固定して
複合体とし、次いでこの複合体を圧電セラミック焼結体
の長さ方向に垂直に順次切断することによって複合体断
片を得たのち、この複合体断片の上下の切断面のそれぞ
れに電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して該
棒状圧電セラミック焼結体を分極させて得られた複合圧
電体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波探触子など
に用いられる複合圧電体、及び複合圧電体を構成する棒
状圧電セラミック焼結体に関するものである。
に用いられる複合圧電体、及び複合圧電体を構成する棒
状圧電セラミック焼結体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】チタン酸ジルコン酸鉛（以下、ＰＺＴと
いう）などの圧電性物質からなる複数個の角柱あるいは
円柱などの柱状圧電セラミック焼結体を、それぞれ間隔
を空けて並立させた状態で樹脂に固定した複合体の柱状
圧電セラミック焼結体の上面側及び下面側の面のそれぞ
れに電極を形成し、そして、両電極間に電界を印加する
ことにより柱状圧電セラミック焼結体を分極させて製造
した複合圧電体（１−３型複合圧電体）が知られてい
る。この複合圧電体は、従来より広く用いられている板
状の圧電セラミック焼結体からなる板状圧電体と比較し
て電気機械結合係数が高く、また複合圧電体中の圧電セ
ラミック焼結体の体積率（占有率）、柱状圧電セラミッ
ク焼結体の直径とその高さの比（高さ／直径：以下アス
ペクト比という）などを変えることにより、従来の板状
圧電体では難しいとされている誘電率、音響インピーダ
ンスなどを容易に選択することができるなどの利点があ
り、従来の板状圧電体に代わる新しい圧電材料として研
究されている。
いう）などの圧電性物質からなる複数個の角柱あるいは
円柱などの柱状圧電セラミック焼結体を、それぞれ間隔
を空けて並立させた状態で樹脂に固定した複合体の柱状
圧電セラミック焼結体の上面側及び下面側の面のそれぞ
れに電極を形成し、そして、両電極間に電界を印加する
ことにより柱状圧電セラミック焼結体を分極させて製造
した複合圧電体（１−３型複合圧電体）が知られてい
る。この複合圧電体は、従来より広く用いられている板
状の圧電セラミック焼結体からなる板状圧電体と比較し
て電気機械結合係数が高く、また複合圧電体中の圧電セ
ラミック焼結体の体積率（占有率）、柱状圧電セラミッ
ク焼結体の直径とその高さの比（高さ／直径：以下アス
ペクト比という）などを変えることにより、従来の板状
圧電体では難しいとされている誘電率、音響インピーダ
ンスなどを容易に選択することができるなどの利点があ
り、従来の板状圧電体に代わる新しい圧電材料として研
究されている。
【０００３】上記の複合圧電体から発せられる超音波の
周波数は、例えば、厚さ方向の振動を利用する場合、複
合圧電体の厚み、すなわち柱状セラミック焼結体の高さ
に依存する。また、一般に特性上、柱状圧電セラミック
焼結体のアスペクト比は、２〜１０の範囲内にあること
が好ましいとされている。例えば、ＰＺＴからなる柱状
セラミック焼結体を樹脂に固定した複合圧電体を用い
て、５ＭＨｚの超音波を発するには、複合圧電体の厚み
（柱状圧電セラミック焼結体の高さ）は約０．３ｍｍに
し、柱状圧電セラミック焼結体の直径は０．０３〜０．
１５ｍｍの範囲にする必要がある。
周波数は、例えば、厚さ方向の振動を利用する場合、複
合圧電体の厚み、すなわち柱状セラミック焼結体の高さ
に依存する。また、一般に特性上、柱状圧電セラミック
焼結体のアスペクト比は、２〜１０の範囲内にあること
が好ましいとされている。例えば、ＰＺＴからなる柱状
セラミック焼結体を樹脂に固定した複合圧電体を用い
て、５ＭＨｚの超音波を発するには、複合圧電体の厚み
（柱状圧電セラミック焼結体の高さ）は約０．３ｍｍに
し、柱状圧電セラミック焼結体の直径は０．０３〜０．
１５ｍｍの範囲にする必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の複合圧電体の製
造方法としては、押出し成形により成形した柱状の圧電
セラミック成形体を焼成して得た複数個の柱状圧電セラ
ミック焼結体を、一定の間隔を空けて並立させた状態
で、その間や全体の周囲を硬化型の樹脂で固定した複合
体を、柱状圧電セラミック焼結体の長さ方向に垂直に順
次切断して得た複合体断片の上下の切断面のそれぞれに
電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して、柱状
圧電セラミック焼結体を分極させることにより製造する
方法が知られている。この複合圧電体の製造方法によれ
ば、一個の複合体から多数の複合圧電体を製造すること
ができるので、一個当たりの複合圧電体の製造コストを
低くすることができる。しかし、直径０．１５ｍｍ以下
の柱状の圧電セラミック焼結体を、工業的に量産するの
は難しいという問題がある。
造方法としては、押出し成形により成形した柱状の圧電
セラミック成形体を焼成して得た複数個の柱状圧電セラ
ミック焼結体を、一定の間隔を空けて並立させた状態
で、その間や全体の周囲を硬化型の樹脂で固定した複合
体を、柱状圧電セラミック焼結体の長さ方向に垂直に順
次切断して得た複合体断片の上下の切断面のそれぞれに
電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して、柱状
圧電セラミック焼結体を分極させることにより製造する
方法が知られている。この複合圧電体の製造方法によれ
ば、一個の複合体から多数の複合圧電体を製造すること
ができるので、一個当たりの複合圧電体の製造コストを
低くすることができる。しかし、直径０．１５ｍｍ以下
の柱状の圧電セラミック焼結体を、工業的に量産するの
は難しいという問題がある。
【０００５】高周波の超音波を発する複合圧電体の製造
方法として、シリコンなどのウエハー製作用のマルチブ
レードのウエハーリングソーを使って圧電セラミック焼
結体に網目状に切り込みを入れて（ダイシング）、切断
溝に樹脂を充填して、樹脂が固まった後、切断溝に垂直
に切断して得た複合体の柱状圧電セラミック焼結体の上
面側及び下面側の面のそれぞれに電極を形成し、両電極
間に電界を印加して、圧電セラミック焼結体を分極させ
ることにより製造する方法（以下、ダイス＆フィル法と
いう）が知られている。一般に、ダイシングにより、縦
横の長さが０．０５ｍｍの角柱状圧電セラミック焼結体
を製造することができ、ダイス＆フィル法では、５〜
７．５ＭＨｚの超音波を発する複合圧電体を製造するこ
とができるとされている。
方法として、シリコンなどのウエハー製作用のマルチブ
レードのウエハーリングソーを使って圧電セラミック焼
結体に網目状に切り込みを入れて（ダイシング）、切断
溝に樹脂を充填して、樹脂が固まった後、切断溝に垂直
に切断して得た複合体の柱状圧電セラミック焼結体の上
面側及び下面側の面のそれぞれに電極を形成し、両電極
間に電界を印加して、圧電セラミック焼結体を分極させ
ることにより製造する方法（以下、ダイス＆フィル法と
いう）が知られている。一般に、ダイシングにより、縦
横の長さが０．０５ｍｍの角柱状圧電セラミック焼結体
を製造することができ、ダイス＆フィル法では、５〜
７．５ＭＨｚの超音波を発する複合圧電体を製造するこ
とができるとされている。
【０００６】また、「エレクトロニクス」１９９４年９
月号、ｐ４８〜４９では、シンクロトロン放射光による
ＬＩＧＡ法により製造した柱状圧電セラミック焼結体
に、樹脂を充填し、次いで、電極を形成し、両電極間に
電界を印加して、圧電セラミック焼結体を分極させて製
造した複合圧電体が紹介されている。この文献によれ
ば、直径０．０１０ｍｍ、高さ０．１５ｍｍの円柱状圧
電セラミック焼結体、縦横の長さが０．０３０ｍｍ、高
さ０．０５ｍｍの角柱状圧電セラミック焼結体が得られ
ている。
月号、ｐ４８〜４９では、シンクロトロン放射光による
ＬＩＧＡ法により製造した柱状圧電セラミック焼結体
に、樹脂を充填し、次いで、電極を形成し、両電極間に
電界を印加して、圧電セラミック焼結体を分極させて製
造した複合圧電体が紹介されている。この文献によれ
ば、直径０．０１０ｍｍ、高さ０．１５ｍｍの円柱状圧
電セラミック焼結体、縦横の長さが０．０３０ｍｍ、高
さ０．０５ｍｍの角柱状圧電セラミック焼結体が得られ
ている。
【０００７】上記のダイス＆フィル法やＬＩＧＡ法など
により製造した高周波の超音波を発する複合圧電体は、
製造コストが高く、また、柱状圧電セラミック焼結体の
製造に時間がかかるので、複合圧電体を工業的に量産し
にくいという問題がある。
により製造した高周波の超音波を発する複合圧電体は、
製造コストが高く、また、柱状圧電セラミック焼結体の
製造に時間がかかるので、複合圧電体を工業的に量産し
にくいという問題がある。
【０００８】本発明は、上記の問題点を鑑みてなされた
ものであり、その目的は、工業的に容易に量産すること
ができ、かつ安価で製造することができる複合圧電体を
提供することである。さらに、本発明の目的は、工業的
に容易に量産することができる複合圧電体用の柱状圧電
セラミック焼結体を提供することにもある。
ものであり、その目的は、工業的に容易に量産すること
ができ、かつ安価で製造することができる複合圧電体を
提供することである。さらに、本発明の目的は、工業的
に容易に量産することができる複合圧電体用の柱状圧電
セラミック焼結体を提供することにもある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数個の柱状
圧電セラミック焼結体を、並立固定した状態で酸処理す
ることにより、各柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を
エッチングして、その直径を減少させたのち、各圧電セ
ラミック焼結体の間に樹脂を充填することにより複合体
とし、次いでこの複合体を圧電セラミック焼結体の長さ
方向に垂直に順次切断することによって複合体断片を得
たのち、この複合体断片の上下の切断面のそれぞれに電
極を形成し、次いで両電極間に電界を印加することによ
り圧電セラミック焼結体を分極させて得られた複合圧電
体にもある。
圧電セラミック焼結体を、並立固定した状態で酸処理す
ることにより、各柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を
エッチングして、その直径を減少させたのち、各圧電セ
ラミック焼結体の間に樹脂を充填することにより複合体
とし、次いでこの複合体を圧電セラミック焼結体の長さ
方向に垂直に順次切断することによって複合体断片を得
たのち、この複合体断片の上下の切断面のそれぞれに電
極を形成し、次いで両電極間に電界を印加することによ
り圧電セラミック焼結体を分極させて得られた複合圧電
体にもある。
【００１０】また、本発明は、柱状圧電セラミック焼結
体の柱側面を酸処理することによりエッチングして、そ
の直径を減少させて形成した棒状圧電セラミック焼結体
を複数個、それぞれ間隔を空けて並立させた状態で樹脂
により固定して複合体とし、次いでこの複合体を圧電セ
ラミック焼結体の長さ方向に垂直に順次切断することに
よって複合体断片を得たのち、この複合体断片の上下の
切断面のそれぞれに電極を形成し、次いで両電極間に電
界を印加して該棒状圧電セラミック焼結体を分極させて
得られた複合圧電体にある。
体の柱側面を酸処理することによりエッチングして、そ
の直径を減少させて形成した棒状圧電セラミック焼結体
を複数個、それぞれ間隔を空けて並立させた状態で樹脂
により固定して複合体とし、次いでこの複合体を圧電セ
ラミック焼結体の長さ方向に垂直に順次切断することに
よって複合体断片を得たのち、この複合体断片の上下の
切断面のそれぞれに電極を形成し、次いで両電極間に電
界を印加して該棒状圧電セラミック焼結体を分極させて
得られた複合圧電体にある。
【００１１】さらに、本発明は、柱状圧電セラミック焼
結体の柱側面を酸処理することによりエッチングして、
その直径を減少させて形成した棒状圧電セラミック焼結
体にもある。
結体の柱側面を酸処理することによりエッチングして、
その直径を減少させて形成した棒状圧電セラミック焼結
体にもある。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の複合圧電体の一
例の斜視図を示す。複合圧電体１は、それぞれ一定の間
隔を空けて並立させた複数個の棒状圧電セラミック焼結
体２ａと樹脂相３とからなる複合体断片４の棒状圧電セ
ラミック焼結体の上面側と下面側の面に電極５を形成し
たものである。棒状圧電セラミック焼結体２ａの間隔を
調整することにより、複合体断片４中の棒状圧電セラミ
ック焼結体の体積率を調整することができる。棒状圧電
セラミック焼結体２ａは、柱状圧電セラミック焼結体
を、後述する酸処理によるエッチングにより、その直径
を減少させて形成したものであり、その材質に特には制
限はない。柱状圧電セラミック焼結体の材質の例として
は、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ＰＺＴなどが挙げ
られる。柱状圧電セラミック焼結体の上下面の形状は、
円形に限られず、四角形、六角形などの多角形や楕円形
などであっても良い。樹脂相３は、電気絶縁性を有して
いれば、材質には特には制限はなく、その例として、エ
ポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂等が挙
げられる。また、樹脂相３はアルミナ粒子やガラス粒子
が埋め込んであっても良い。なお、複合圧電体の形状は
円柱状に限られず、角柱状であっても良い。
例の斜視図を示す。複合圧電体１は、それぞれ一定の間
隔を空けて並立させた複数個の棒状圧電セラミック焼結
体２ａと樹脂相３とからなる複合体断片４の棒状圧電セ
ラミック焼結体の上面側と下面側の面に電極５を形成し
たものである。棒状圧電セラミック焼結体２ａの間隔を
調整することにより、複合体断片４中の棒状圧電セラミ
ック焼結体の体積率を調整することができる。棒状圧電
セラミック焼結体２ａは、柱状圧電セラミック焼結体
を、後述する酸処理によるエッチングにより、その直径
を減少させて形成したものであり、その材質に特には制
限はない。柱状圧電セラミック焼結体の材質の例として
は、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ＰＺＴなどが挙げ
られる。柱状圧電セラミック焼結体の上下面の形状は、
円形に限られず、四角形、六角形などの多角形や楕円形
などであっても良い。樹脂相３は、電気絶縁性を有して
いれば、材質には特には制限はなく、その例として、エ
ポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂等が挙
げられる。また、樹脂相３はアルミナ粒子やガラス粒子
が埋め込んであっても良い。なお、複合圧電体の形状は
円柱状に限られず、角柱状であっても良い。
【００１３】次に、本発明の複合圧電体の製造方法につ
いて説明する。本発明の複合圧電体は、例えば、下記の
工程からなる製造方法（製造方法１）により製造するこ
とができる。 １）複数個の柱状圧電セラミック焼結体を、並立固定さ
せる配列工程； ２）複数個の柱状圧電セラミック焼結体を、並立させた
状態を維持しながら、柱状圧電セラミック焼結体の柱側
面を酸処理することによりエッチングして、その直径を
減少させて、棒状圧電セラミック焼結体にするエッチン
グ工程； ３）並立状態にある複数個の棒状圧電セラミック焼結体
の間及びその周囲に樹脂を充填して複合体とする樹脂充
填工程； ４）棒状圧電セラミック焼結体を樹脂に固定した複合体
を所定の形状、厚さに切断、研磨して複合体断片とする
切断加工工程； ５）複合体断片の上下の切断面のそれぞれに電極を形成
し、両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミック焼
結体を分極させる電極形成・分極工程。
いて説明する。本発明の複合圧電体は、例えば、下記の
工程からなる製造方法（製造方法１）により製造するこ
とができる。 １）複数個の柱状圧電セラミック焼結体を、並立固定さ
せる配列工程； ２）複数個の柱状圧電セラミック焼結体を、並立させた
状態を維持しながら、柱状圧電セラミック焼結体の柱側
面を酸処理することによりエッチングして、その直径を
減少させて、棒状圧電セラミック焼結体にするエッチン
グ工程； ３）並立状態にある複数個の棒状圧電セラミック焼結体
の間及びその周囲に樹脂を充填して複合体とする樹脂充
填工程； ４）棒状圧電セラミック焼結体を樹脂に固定した複合体
を所定の形状、厚さに切断、研磨して複合体断片とする
切断加工工程； ５）複合体断片の上下の切断面のそれぞれに電極を形成
し、両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミック焼
結体を分極させる電極形成・分極工程。
【００１４】さらに、上記の複合圧電体の製造方法を図
を参照しながら説明する。図２に、上記の複合圧電体の
製造方法をあらわす一例の作業流れ図を示す。
を参照しながら説明する。図２に、上記の複合圧電体の
製造方法をあらわす一例の作業流れ図を示す。
【００１５】（配列工程）配列工程において、複数個の
柱状圧電セラミック焼結体２ｂを並立固定させる方法と
しては、特には制限はない。例えば、図に示すように柱
状圧電セラミック焼結体を治具６に差し込んで固定して
も良い。並立固定された複数個の柱状圧電セラミック焼
結体は、柱状圧電セラミック焼結体と柱状圧電セラミッ
ク焼結体とがそれぞれ接触していても、それぞれ間隔を
空けても良い。例えば、１個の柱状圧電セラミック焼結
体が、６個の柱状圧電セラミック焼結体と接触する最密
状態になるように、複数個の柱状圧電セラミック焼結体
を並立固定させても良い。
柱状圧電セラミック焼結体２ｂを並立固定させる方法と
しては、特には制限はない。例えば、図に示すように柱
状圧電セラミック焼結体を治具６に差し込んで固定して
も良い。並立固定された複数個の柱状圧電セラミック焼
結体は、柱状圧電セラミック焼結体と柱状圧電セラミッ
ク焼結体とがそれぞれ接触していても、それぞれ間隔を
空けても良い。例えば、１個の柱状圧電セラミック焼結
体が、６個の柱状圧電セラミック焼結体と接触する最密
状態になるように、複数個の柱状圧電セラミック焼結体
を並立固定させても良い。
【００１６】（エッチング工程）配列工程にて並立させ
た複数個の柱状圧電セラミック焼結体２ｂを、酸処理用
容器７中の酸溶液８に浸漬させて、柱状圧電セラミック
焼結体２ｂの柱側面を酸処理することによりエッチング
して棒状圧電セラミック焼結体とする。エッチングによ
る柱状圧電セラミック焼結体２ｂの直径の低減率［エッ
チングにより減少した直径／柱状圧電セラミック焼結体
の直径×１００（％）］は、酸処理の時間、酸の濃度な
どを調整することによって、１〜９０％の範囲で任意に
設定することができる。但し、低減率を高く設定しすぎ
る、すなわち棒状圧電セラミック焼結体同士の間隔が空
きすぎると、後の工程を経て得られる複合圧電体は、均
一な媒体として取り扱えないことがある。従って、低減
率は、柱状圧電セラミック焼結体の配列状態に合わせて
設定する必要がある。具体的には、低減率の範囲は、１
〜５６％（好ましくは２〜５０％、さらに好ましくは２
〜４０％）の範囲内に設定することが好ましい。
た複数個の柱状圧電セラミック焼結体２ｂを、酸処理用
容器７中の酸溶液８に浸漬させて、柱状圧電セラミック
焼結体２ｂの柱側面を酸処理することによりエッチング
して棒状圧電セラミック焼結体とする。エッチングによ
る柱状圧電セラミック焼結体２ｂの直径の低減率［エッ
チングにより減少した直径／柱状圧電セラミック焼結体
の直径×１００（％）］は、酸処理の時間、酸の濃度な
どを調整することによって、１〜９０％の範囲で任意に
設定することができる。但し、低減率を高く設定しすぎ
る、すなわち棒状圧電セラミック焼結体同士の間隔が空
きすぎると、後の工程を経て得られる複合圧電体は、均
一な媒体として取り扱えないことがある。従って、低減
率は、柱状圧電セラミック焼結体の配列状態に合わせて
設定する必要がある。具体的には、低減率の範囲は、１
〜５６％（好ましくは２〜５０％、さらに好ましくは２
〜４０％）の範囲内に設定することが好ましい。
【００１７】圧電セラミック焼結体の材質によって、酸
溶液８の種類や処理条件は異なる。例えば、ＰＺＴは、
フッ化水素酸と反応してフッ化鉛が生成し、生成したフ
ッ化鉛は硝酸水溶液により溶解する。従って、ＰＺＴか
ら形成された柱状圧電セラミック焼結体は、フッ化水素
酸と硝酸水溶液とに順次接触させて、あるいは、柱状圧
電セラミック焼結体をフッ化水素酸と硝酸水溶液との混
合液に接触させて、エッチングすることができる。混合
液に接触させてエッチングする場合は、混合液中のフッ
化水素酸の濃度は０．３〜３．５モル／Ｌ、硝酸の濃度
は１〜５モル／Ｌ、であることが好ましく、フッ化水素
酸の濃度が０．５〜１．２モル／Ｌ、硝酸の濃度が１．
５〜２．５モル／Ｌであることがより好ましい。また、
柱状圧電セラミック焼結体２ｂを、酸溶液によりエッチ
ングする際に、酸溶液に超音波振動を与えたり、酸溶液
を攪拌などして循環させることが好ましい。酸溶液の温
度に特には制限はなく室温でも良い。
溶液８の種類や処理条件は異なる。例えば、ＰＺＴは、
フッ化水素酸と反応してフッ化鉛が生成し、生成したフ
ッ化鉛は硝酸水溶液により溶解する。従って、ＰＺＴか
ら形成された柱状圧電セラミック焼結体は、フッ化水素
酸と硝酸水溶液とに順次接触させて、あるいは、柱状圧
電セラミック焼結体をフッ化水素酸と硝酸水溶液との混
合液に接触させて、エッチングすることができる。混合
液に接触させてエッチングする場合は、混合液中のフッ
化水素酸の濃度は０．３〜３．５モル／Ｌ、硝酸の濃度
は１〜５モル／Ｌ、であることが好ましく、フッ化水素
酸の濃度が０．５〜１．２モル／Ｌ、硝酸の濃度が１．
５〜２．５モル／Ｌであることがより好ましい。また、
柱状圧電セラミック焼結体２ｂを、酸溶液によりエッチ
ングする際に、酸溶液に超音波振動を与えたり、酸溶液
を攪拌などして循環させることが好ましい。酸溶液の温
度に特には制限はなく室温でも良い。
【００１８】エッチング工程で成形した棒状圧電セラミ
ック焼結体は、その表面に付着している酸を取り除くた
めに洗浄する必要がある。棒状圧電セラミック焼結体の
洗浄方法には特に制限はなく、例えば、棒状圧電セラミ
ック焼結体の表面に多量の水を接触させることにより洗
浄する。そして、洗浄した棒状圧電セラミック焼結体は
熱風を吹き付けて、あるいは乾燥機に入れて乾燥する。
乾燥の温度に特には制限はなく、５０〜２００℃で良
い。
ック焼結体は、その表面に付着している酸を取り除くた
めに洗浄する必要がある。棒状圧電セラミック焼結体の
洗浄方法には特に制限はなく、例えば、棒状圧電セラミ
ック焼結体の表面に多量の水を接触させることにより洗
浄する。そして、洗浄した棒状圧電セラミック焼結体は
熱風を吹き付けて、あるいは乾燥機に入れて乾燥する。
乾燥の温度に特には制限はなく、５０〜２００℃で良
い。
【００１９】（樹脂充填工程）治具６で固定されている
棒状圧電セラミック焼結体をそのままの状態で、樹脂充
填用容器９に入れて、次いで、容器９に樹脂を流し込み
一定時間放置して樹脂を硬化させることにより棒状圧電
セラミック焼結体を樹脂で固定する。硬化させた樹脂の
中に気泡が混入しないように、容器に樹脂を流し込む際
には、気泡が入り込まないように注意する。容器に流し
込む樹脂は、あらかじめ脱気しておくことが好ましい。
さらに、容器に樹脂を流し込む作業を真空あるいは減圧
下で行うことが好ましい。
棒状圧電セラミック焼結体をそのままの状態で、樹脂充
填用容器９に入れて、次いで、容器９に樹脂を流し込み
一定時間放置して樹脂を硬化させることにより棒状圧電
セラミック焼結体を樹脂で固定する。硬化させた樹脂の
中に気泡が混入しないように、容器に樹脂を流し込む際
には、気泡が入り込まないように注意する。容器に流し
込む樹脂は、あらかじめ脱気しておくことが好ましい。
さらに、容器に樹脂を流し込む作業を真空あるいは減圧
下で行うことが好ましい。
【００２０】（切断加工工程）樹脂が硬化した後、棒状
圧電セラミック焼結体と樹脂との複合体４ａを容器９か
ら取り出し、治具６を切り離す。そして、複合体４ａを
所定の形状、厚さに切断し、研磨する。切断、研磨の方
法に特には制限はなく、公知の手法を用いることができ
る。
圧電セラミック焼結体と樹脂との複合体４ａを容器９か
ら取り出し、治具６を切り離す。そして、複合体４ａを
所定の形状、厚さに切断し、研磨する。切断、研磨の方
法に特には制限はなく、公知の手法を用いることができ
る。
【００２１】（電極形成・分極工程）所定の形状に切断
した複合体断片４の棒状圧電セラミックの上面側と底面
側の面に電極５を形成し、両電極間に電界を印加するこ
とにより、棒状圧電セラミック焼結体を分極させる。電
極の形成方法としては、例えば、スパッタ法や無電解メ
ッキ法などが挙げられる。また、電極間に印加する電圧
は、１〜５ｋＶ／ｍｍで行うのが一般的である。
した複合体断片４の棒状圧電セラミックの上面側と底面
側の面に電極５を形成し、両電極間に電界を印加するこ
とにより、棒状圧電セラミック焼結体を分極させる。電
極の形成方法としては、例えば、スパッタ法や無電解メ
ッキ法などが挙げられる。また、電極間に印加する電圧
は、１〜５ｋＶ／ｍｍで行うのが一般的である。
【００２２】本発明の複合圧電体は、下記の工程から製
造方法（製造方法２）によっても製造することができ
る。 １）柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を酸処理するこ
とによりエッチングして、その直径を減少させて、棒状
圧電セラミック焼結体にするエッチング工程； ２）複数個の棒状圧電セラミック焼結体を、並立固定さ
せる配列工程； ３）並立状態にある複数個の棒状圧電セラミック焼結体
の間及びその周囲に樹脂を充填して複合体とする樹脂充
填工程； ４）棒状圧電セラミック焼結体を樹脂に固定した複合体
を所定の形状、厚さに切断、研磨して複合体断片とする
切断加工工程； ５）複合体断片の上下の切断面のそれぞれに電極を形成
し、両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミック焼
結体を分極させる電極形成・分極工程。
造方法（製造方法２）によっても製造することができ
る。 １）柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を酸処理するこ
とによりエッチングして、その直径を減少させて、棒状
圧電セラミック焼結体にするエッチング工程； ２）複数個の棒状圧電セラミック焼結体を、並立固定さ
せる配列工程； ３）並立状態にある複数個の棒状圧電セラミック焼結体
の間及びその周囲に樹脂を充填して複合体とする樹脂充
填工程； ４）棒状圧電セラミック焼結体を樹脂に固定した複合体
を所定の形状、厚さに切断、研磨して複合体断片とする
切断加工工程； ５）複合体断片の上下の切断面のそれぞれに電極を形成
し、両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミック焼
結体を分極させる電極形成・分極工程。
【００２３】上記の製造方法２において、エッチング工
程は、前記の製造方法１と同様の酸溶処理により、エッ
チングすることができ、圧電セラミック焼結体の直径の
低減率の範囲を、１〜９０％（好ましくは２０〜８０
％、さらに好ましくは５０〜８０％）になるように、酸
処理することが好ましい。配列工程では、棒状圧電セラ
ミック焼結体と棒状圧電セラミック焼結体とが、それぞ
れ接触しないように、間隔を開けて並列した状態にする
必要がある。また、樹脂充填工程、切断加工工程、電極
形成・分極工程についても、前記の製造方法１と同様の
方法により行うことができる。
程は、前記の製造方法１と同様の酸溶処理により、エッ
チングすることができ、圧電セラミック焼結体の直径の
低減率の範囲を、１〜９０％（好ましくは２０〜８０
％、さらに好ましくは５０〜８０％）になるように、酸
処理することが好ましい。配列工程では、棒状圧電セラ
ミック焼結体と棒状圧電セラミック焼結体とが、それぞ
れ接触しないように、間隔を開けて並列した状態にする
必要がある。また、樹脂充填工程、切断加工工程、電極
形成・分極工程についても、前記の製造方法１と同様の
方法により行うことができる。
【００２４】本発明の複合圧電体の製造に用いる柱状圧
電セラミック焼結体の形状は、特には制限はなく、円柱
であっても、三角、四角柱などの角柱であっても良い。
また、その製造方法にも特には制限はなく、例えば、プ
レス成形、射出成形、押出し成形などで成形した圧電セ
ラミック成形体を焼成して製造したものに限られず、上
述したダイシングやＬＩＧＡ法により製造したものでも
良い。この中で好ましい柱状圧電セラミック焼結体とし
ては、押出し成形法により成形した円柱状の圧電セラミ
ック成形体を焼成して製造した円柱状圧電セラミック焼
結体である。
電セラミック焼結体の形状は、特には制限はなく、円柱
であっても、三角、四角柱などの角柱であっても良い。
また、その製造方法にも特には制限はなく、例えば、プ
レス成形、射出成形、押出し成形などで成形した圧電セ
ラミック成形体を焼成して製造したものに限られず、上
述したダイシングやＬＩＧＡ法により製造したものでも
良い。この中で好ましい柱状圧電セラミック焼結体とし
ては、押出し成形法により成形した円柱状の圧電セラミ
ック成形体を焼成して製造した円柱状圧電セラミック焼
結体である。
【００２５】円柱状圧電セラミック焼結体の製造方法に
ついて、さらに詳しく説明する。円柱状圧電セラミック
焼結体は、圧電セラミック粉末とポリビニルアルコール
（ＰＶＡ）、メチルセルロース（ＭＣ）などのバイン
ダ、及びグリセリンなどの増粘剤を混練して粘土状に
し、これを押出し機により所定の大きさの孔の空いた口
金から押し出して成形した円柱状圧電セラミック成形体
を焼成することにより製造することができる。
ついて、さらに詳しく説明する。円柱状圧電セラミック
焼結体は、圧電セラミック粉末とポリビニルアルコール
（ＰＶＡ）、メチルセルロース（ＭＣ）などのバイン
ダ、及びグリセリンなどの増粘剤を混練して粘土状に
し、これを押出し機により所定の大きさの孔の空いた口
金から押し出して成形した円柱状圧電セラミック成形体
を焼成することにより製造することができる。
【００２６】押出し成形法により圧電セラミック粉末を
成形する場合には、圧電セラミック粉末の体積平均粒子
径は０．１〜５μｍであることが好ましく、さらに粒度
分布が０．０５〜１０μｍの範囲内にあることが好まし
い。圧電セラミック粉末にＰＺＴ粉末を用いて、バイン
ダにＭＣを用いる場合には、ＰＺＴ粉末１００重量部に
対して、ＭＣ３〜４重量部、グリセリン２〜３重量部、
水８〜１２重量部を混練して粘土状にすることが好まし
い。押出し機により押し出される円柱状圧電セラミック
成形体の直径は、０．２ｍｍ〜２ｍｍであることが好ま
しく、０．２〜１ｍｍであることがより好ましい。ま
た、その長さは２０〜２００ｍｍであることが好まし
い。円柱状圧電セラミック成形体の長さを長くしすぎる
と、成形体を焼成して焼結する際に歪み生じたり、折れ
たりすることがある。
成形する場合には、圧電セラミック粉末の体積平均粒子
径は０．１〜５μｍであることが好ましく、さらに粒度
分布が０．０５〜１０μｍの範囲内にあることが好まし
い。圧電セラミック粉末にＰＺＴ粉末を用いて、バイン
ダにＭＣを用いる場合には、ＰＺＴ粉末１００重量部に
対して、ＭＣ３〜４重量部、グリセリン２〜３重量部、
水８〜１２重量部を混練して粘土状にすることが好まし
い。押出し機により押し出される円柱状圧電セラミック
成形体の直径は、０．２ｍｍ〜２ｍｍであることが好ま
しく、０．２〜１ｍｍであることがより好ましい。ま
た、その長さは２０〜２００ｍｍであることが好まし
い。円柱状圧電セラミック成形体の長さを長くしすぎる
と、成形体を焼成して焼結する際に歪み生じたり、折れ
たりすることがある。
【００２７】円柱状圧電セラミック成形体の焼成は、急
激なバインダの加熱分解により圧電セラミック成形体が
変形しないように、一旦バインダの加熱分解温度で焼成
してバインダを除去した後、１０００〜１４００℃（好
ましくは１２００〜１３００℃）で行うことが好まし
い。
激なバインダの加熱分解により圧電セラミック成形体が
変形しないように、一旦バインダの加熱分解温度で焼成
してバインダを除去した後、１０００〜１４００℃（好
ましくは１２００〜１３００℃）で行うことが好まし
い。
【００２８】
【実施例】（円柱状圧電セラミック焼結体の製造）体積
平均粒子径が１．０２μｍであり、粒度分布が０．２５
〜８μｍの範囲内にあるＰＺＴ粉末１００重量部、３０
００〜５６００ｃｐｓのメチルセルロース（ＭＣ）３重
量部、グリセリン２重量部、水１０重量部を混練し粘土
状にしたものを押出し成形して、直径０．３８ｍｍ、長
さ６３ｍｍの円柱状圧電セラミック成形体を得た。この
成形体をバインダを除去した後に１２５０℃で焼成して
円柱状圧電セラミック焼結体を製造した。得られた円柱
状圧電セラミック焼結体の直径は０．３ｍｍ、長さは５
０ｍｍであった。
平均粒子径が１．０２μｍであり、粒度分布が０．２５
〜８μｍの範囲内にあるＰＺＴ粉末１００重量部、３０
００〜５６００ｃｐｓのメチルセルロース（ＭＣ）３重
量部、グリセリン２重量部、水１０重量部を混練し粘土
状にしたものを押出し成形して、直径０．３８ｍｍ、長
さ６３ｍｍの円柱状圧電セラミック成形体を得た。この
成形体をバインダを除去した後に１２５０℃で焼成して
円柱状圧電セラミック焼結体を製造した。得られた円柱
状圧電セラミック焼結体の直径は０．３ｍｍ、長さは５
０ｍｍであった。
【００２９】［実施例１］ （複合圧電体の製造）上記のようにして得た円柱状圧電
セラミック焼結体５００本を並列固定して、フッ化水素
酸０．６モル／Ｌ、硝酸２．２モル／Ｌの混合液に５分
間浸漬した後、水で洗浄して乾燥した後、各棒状圧電セ
ラミック焼結体の間にエポキシ樹脂を充填して複合体と
し、次いでこの複合体を棒状圧電セラミック焼結体の長
さ方向に垂直に切断して、厚さ０．６６ｍｍの複合体断
片を得た。この複合体断片の上下の切断面のそれぞれの
面にスパッタ法により電極を形成した。そして、両電極
間に１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加して、圧電セラミッ
ク焼結体を分極させた。得られた複合圧電体の棒状圧電
セラミック焼結体の体積率は４２％、棒状圧電セラミッ
ク焼結体のアスペクト比は３であり、１個の複合体から
得られた複合圧電体は５２個であった。
セラミック焼結体５００本を並列固定して、フッ化水素
酸０．６モル／Ｌ、硝酸２．２モル／Ｌの混合液に５分
間浸漬した後、水で洗浄して乾燥した後、各棒状圧電セ
ラミック焼結体の間にエポキシ樹脂を充填して複合体と
し、次いでこの複合体を棒状圧電セラミック焼結体の長
さ方向に垂直に切断して、厚さ０．６６ｍｍの複合体断
片を得た。この複合体断片の上下の切断面のそれぞれの
面にスパッタ法により電極を形成した。そして、両電極
間に１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加して、圧電セラミッ
ク焼結体を分極させた。得られた複合圧電体の棒状圧電
セラミック焼結体の体積率は４２％、棒状圧電セラミッ
ク焼結体のアスペクト比は３であり、１個の複合体から
得られた複合圧電体は５２個であった。
【００３０】（評価及び結果）上記の実施例１により製
造した複合圧電体の特性を測定したところ、共振周波数
は２．７ＭＨｚであった。また、音響インピーダンスは
１４Ｍｒａｙｌｓとなり、従来の板状圧電体（３３．５
Ｍｒａｙｌｓ）より低く、厚み方向の電機結合係数は６
２％となり、従来の板状圧電体（４８％）より高くなっ
た。よって、本複合圧電体を水や生体を対象とした超音
波探触子に使用した場合、超音波を高い効率で水や生体
と送受信できる。
造した複合圧電体の特性を測定したところ、共振周波数
は２．７ＭＨｚであった。また、音響インピーダンスは
１４Ｍｒａｙｌｓとなり、従来の板状圧電体（３３．５
Ｍｒａｙｌｓ）より低く、厚み方向の電機結合係数は６
２％となり、従来の板状圧電体（４８％）より高くなっ
た。よって、本複合圧電体を水や生体を対象とした超音
波探触子に使用した場合、超音波を高い効率で水や生体
と送受信できる。
【００３１】［実施例２］ （棒状圧電セラミック焼結体の製造）前記のようにして
得た円柱状圧電セラミック焼結体をフッ化水素酸０．６
モル／Ｌ、硝酸２．２モル／Ｌの混合液に１５分間浸漬
した後、水で洗浄して乾燥した。混合水溶液の温度は２
０℃とした。得られた棒状圧電セラミック焼結体の直径
は０．１２ｍｍ、長さ４９ｍｍであった。
得た円柱状圧電セラミック焼結体をフッ化水素酸０．６
モル／Ｌ、硝酸２．２モル／Ｌの混合液に１５分間浸漬
した後、水で洗浄して乾燥した。混合水溶液の温度は２
０℃とした。得られた棒状圧電セラミック焼結体の直径
は０．１２ｍｍ、長さ４９ｍｍであった。
【００３２】（複合圧電体の製造）上記のようにして製
造した直径０．１２ｍｍ、長さ４９ｍｍの棒状圧電セラ
ミック焼結体５００本をそれぞれ棒状圧電セラミック焼
結体の中心から中心までの距離が０．１８ｍｍになるよ
うに孔の空いた治具に、差し込んで固定して、この状態
を維持しながらエポキシ樹脂で固定して複合体を得た。
この複合体を、棒状圧電セラミック焼結体の長さ方向に
垂直に切断して、厚さ０．３６ｍｍの複合体断片を得
た。この複合体断片の上下の切断面のそれぞれの面にス
パッタ法により電極を形成した。そして、両電極間に
１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加して、棒状圧電セラミッ
ク焼結体を分極させた。得られた複合圧電体の棒状状圧
電セラミック焼結体の体積率は３５％、棒状圧電セラミ
ック焼結体のアスペクト比は３であり、１個の複合体か
ら得られた複合圧電体は７５個であった。
造した直径０．１２ｍｍ、長さ４９ｍｍの棒状圧電セラ
ミック焼結体５００本をそれぞれ棒状圧電セラミック焼
結体の中心から中心までの距離が０．１８ｍｍになるよ
うに孔の空いた治具に、差し込んで固定して、この状態
を維持しながらエポキシ樹脂で固定して複合体を得た。
この複合体を、棒状圧電セラミック焼結体の長さ方向に
垂直に切断して、厚さ０．３６ｍｍの複合体断片を得
た。この複合体断片の上下の切断面のそれぞれの面にス
パッタ法により電極を形成した。そして、両電極間に
１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を印加して、棒状圧電セラミッ
ク焼結体を分極させた。得られた複合圧電体の棒状状圧
電セラミック焼結体の体積率は３５％、棒状圧電セラミ
ック焼結体のアスペクト比は３であり、１個の複合体か
ら得られた複合圧電体は７５個であった。
【００３３】（評価及び結果）上記の実施例２により製
造した複合圧電体の特性を測定したところ、共振周波数
は５ＭＨｚであった。また、音響インピーダンスは１
２．４Ｍｒａｙｌｓとなり、従来の板状圧電体（３３．
５Ｍｒａｙｌｓ）より低く、厚み方向の電機結合係数は
６１％となり、従来の板状圧電体（４８％）より高くな
った。よって、本複合圧電体を水や生体を対象とした超
音波探触子に使用した場合、超音波を高い効率で水や生
体と送受信できる。
造した複合圧電体の特性を測定したところ、共振周波数
は５ＭＨｚであった。また、音響インピーダンスは１
２．４Ｍｒａｙｌｓとなり、従来の板状圧電体（３３．
５Ｍｒａｙｌｓ）より低く、厚み方向の電機結合係数は
６１％となり、従来の板状圧電体（４８％）より高くな
った。よって、本複合圧電体を水や生体を対象とした超
音波探触子に使用した場合、超音波を高い効率で水や生
体と送受信できる。
【００３４】
【発明の効果】本発明の複合圧電体は、高周波の超音波
を発することができ、かつ音響インピーダンスを容易に
選択することができ、また従来の高周波の超音波を発す
ることができる複合圧電体と比較して容易に製造するこ
とができる。さらに、工業的に容易に量産することがで
きる柱状圧電セラミック焼結体を用いて製造することが
できるので、より安価で製造することができる。また、
ダイシングやＬＩＧＡ法により製造した柱状圧電セラミ
ック焼結体の柱側面を酸処理によるエッチングして、そ
の直径を減少させることにより、１０ＭＨｚ以上の超音
波を発する複合圧電体を製造することができる。
を発することができ、かつ音響インピーダンスを容易に
選択することができ、また従来の高周波の超音波を発す
ることができる複合圧電体と比較して容易に製造するこ
とができる。さらに、工業的に容易に量産することがで
きる柱状圧電セラミック焼結体を用いて製造することが
できるので、より安価で製造することができる。また、
ダイシングやＬＩＧＡ法により製造した柱状圧電セラミ
ック焼結体の柱側面を酸処理によるエッチングして、そ
の直径を減少させることにより、１０ＭＨｚ以上の超音
波を発する複合圧電体を製造することができる。
【図１】本発明の複合圧電体の一例の斜視図である。
【図２】本発明の複合圧電体の製造方法をあらわす一例
の作業流れ図である。
の作業流れ図である。
１ 複合圧電体 ２ａ 棒状圧電セラミック焼結体 ２ｂ 柱状圧電セラミック焼結体 ３ 樹脂相 ４ 複合体断片 ４ａ 複合体 ５ 電極 ６ 治具 ７、９ 容器 ８ 酸溶液
Claims (8)
- 【請求項１】 複数個の柱状圧電セラミック焼結体を、
並立固定した状態で酸処理することにより、各柱状圧電
セラミック焼結体の柱側面をエッチングして、その直径
を減少させたのち、各圧電セラミック焼結体の間に樹脂
を充填することにより複合体とし、次いでこの複合体を
圧電セラミック焼結体の長さ方向に垂直に順次切断する
ことによって複合体断片を得たのち、この複合体断片の
上下の切断面のそれぞれに電極を形成し、次いで両電極
間に電界を印加することにより圧電セラミック焼結体を
分極させて得られた複合圧電体。 - 【請求項２】 柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を酸
処理することによりエッチングして、その直径を減少さ
せて形成した棒状圧電セラミック焼結体を複数個、それ
ぞれ間隔を空けて並立させた状態で樹脂により固定して
複合体とし、次いでこの複合体を圧電セラミック焼結体
の長さ方向に垂直に順次切断することによって複合体断
片を得たのち、この複合体断片の上下の切断面のそれぞ
れに電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して該
棒状圧電セラミック焼結体を分極させて得られた複合圧
電体。 - 【請求項３】 柱状圧電セラミック焼結体が円柱状であ
ることを特徴とする請求項１もしくは２に記載の複合圧
電体。 - 【請求項４】 柱状圧電セラミック焼結体がチタン酸ジ
ルコン酸鉛から形成されていて、酸処理が、柱状圧電セ
ラミック焼結体を、フッ化水素酸と硝酸水溶液とに順次
接触させることにより行われることを特徴とする請求項
１乃至３のうちのいずれかの項に記載の複合圧電体。 - 【請求項５】 柱状圧電セラミック焼結体がチタン酸ジ
ルコン酸鉛から形成されていて、酸処理が、柱状圧電セ
ラミック焼結体を、フッ化水素酸と硝酸水溶液との混合
液に接触させることにより行われることを特徴とする請
求項１乃至３のうちのいずれかの項に記載の複合圧電
体。 - 【請求項６】 エッチングにより柱状圧電セラミック焼
結体の直径が１〜９０％低減されたことを特徴とする請
求項１乃至５のうちのいずれかの項に記載の複合圧電
体。 - 【請求項７】 柱状圧電セラミック焼結体の柱側面を酸
処理することによりエッチングして、その直径を減少さ
せて形成した棒状圧電セラミック焼結体。 - 【請求項８】 柱状圧電セラミック焼結体がチタン酸ジ
ルコン酸鉛から形成されていることを特徴とする請求項
７に記載の棒状圧電セラミック焼結体。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18327999A JP4528383B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 複合圧電体の製造方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18327999A JP4528383B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 複合圧電体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001015822A true JP2001015822A (ja) | 2001-01-19 |
| JP4528383B2 JP4528383B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=16132884
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18327999A Expired - Fee Related JP4528383B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 複合圧電体の製造方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4528383B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003516620A (ja) * | 1999-11-10 | 2003-05-13 | フラウンホーファ−ゲゼルシャフト ツァー フォルデルング デア アンゲバンデン フォルシュンク エー． ファオ． | 圧電トランスデューサの製造方法 |
| WO2004057683A1 (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-08 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 圧電変換シート |
| JP2009218426A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Tdk Corp | 誘電体素子の製造方法 |
| CN102084063A (zh) * | 2008-02-06 | 2011-06-01 | 因诺瓦科技有限公司 | 能量采集 |
| WO2011083611A1 (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-14 | テイカ株式会社 | コンポジット圧電体とそのコンポジット圧電体の製造方法およびそのコンポジット圧電体を用いたコンポジット圧電素子 |
| WO2017141996A1 (ja) * | 2016-02-18 | 2017-08-24 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
| CN111900247A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-11-06 | 西安交通大学 | 一种压电复合材料的制备方法及其应用 |
| CN114736015A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-07-12 | 信阳师范学院 | 一种采用真空热压烧结炉制备的插层锆钛酸钡钙基无铅压电陶瓷及其制备方法 |
| JP7429008B2 (ja) | 2020-07-09 | 2024-02-07 | Ｊｆｅテクノリサーチ株式会社 | 粗い内部構造を有する対象物の計測用音波送受波器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021996A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-01-08 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電セラミックス用エッチング溶液 |
| JPH0645664A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-02-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧電素子およびその製造方法 |
| JPH0730998A (ja) * | 1993-06-15 | 1995-01-31 | Hewlett Packard Co <Hp> | 超音波プローブ |
-
1999
- 1999-06-29 JP JP18327999A patent/JP4528383B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021996A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-01-08 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電セラミックス用エッチング溶液 |
| JPH0645664A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-02-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧電素子およびその製造方法 |
| JPH0730998A (ja) * | 1993-06-15 | 1995-01-31 | Hewlett Packard Co <Hp> | 超音波プローブ |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4896331B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2012-03-14 | フラウンホーファ−ゲゼルシャフト ツァー フォルデルング デア アンゲバンデン フォルシュンク エー． ファオ． | 圧電トランスデューサの製造方法 |
| JP2003516620A (ja) * | 1999-11-10 | 2003-05-13 | フラウンホーファ−ゲゼルシャフト ツァー フォルデルング デア アンゲバンデン フォルシュンク エー． ファオ． | 圧電トランスデューサの製造方法 |
| WO2004057683A1 (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-08 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 圧電変換シート |
| JPWO2004057683A1 (ja) * | 2002-12-19 | 2006-04-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 圧電変換シート |
| JP4918673B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2012-04-18 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 圧電変換シート |
| CN102084063A (zh) * | 2008-02-06 | 2011-06-01 | 因诺瓦科技有限公司 | 能量采集 |
| JP2009218426A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Tdk Corp | 誘電体素子の製造方法 |
| WO2011083611A1 (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-14 | テイカ株式会社 | コンポジット圧電体とそのコンポジット圧電体の製造方法およびそのコンポジット圧電体を用いたコンポジット圧電素子 |
| JP5046311B2 (ja) * | 2010-01-06 | 2012-10-10 | テイカ株式会社 | コンポジット圧電体とそのコンポジット圧電体の製造方法およびそのコンポジット圧電体を用いたコンポジット圧電素子 |
| US8405280B2 (en) | 2010-01-06 | 2013-03-26 | Renesas Mobile Corporation | Composite piezoelectric body including a piezoelectric ceramic and an organic polymer material containing air bubbles, method for producing said composite piezoelectric body, and composite piezoelectric element using said composite piezoelectric body |
| US11623247B2 (en) | 2016-02-08 | 2023-04-11 | Konica Minolta, Inc. | Method for producing piezoelectric element, and piezoelectric element |
| WO2017141996A1 (ja) * | 2016-02-18 | 2017-08-24 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
| JPWO2017141996A1 (ja) * | 2016-02-18 | 2018-12-06 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
| CN108701754A (zh) * | 2016-02-18 | 2018-10-23 | 柯尼卡美能达株式会社 | 压电元件的制造方法和压电元件 |
| CN111900247A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-11-06 | 西安交通大学 | 一种压电复合材料的制备方法及其应用 |
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