CN103456879A - 基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法 - Google Patents

基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103456879A
CN103456879A CN2013103880973A CN201310388097A CN103456879A CN 103456879 A CN103456879 A CN 103456879A CN 2013103880973 A CN2013103880973 A CN 2013103880973A CN 201310388097 A CN201310388097 A CN 201310388097A CN 103456879 A CN103456879 A CN 103456879A
Authority
CN
China
Prior art keywords
composite material
matrix
piezoelectric ceramic
tolerance
preparation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013103880973A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103456879B (zh
Inventor
徐东宇
黄世峰
程新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Jinan
Original Assignee
University of Jinan
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Jinan filed Critical University of Jinan
Priority to CN201310388097.3A priority Critical patent/CN103456879B/zh
Publication of CN103456879A publication Critical patent/CN103456879A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103456879B publication Critical patent/CN103456879B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法,属于水泥基压电智能复合材料及其制备技术领域。该压电复合材料由压电陶瓷片、基体和上下电极构成。该压电复合材料的制备方法为:设计基体在复合材料体系中的非均匀周期排列结构方式,采用切割浇注工艺,将压电陶瓷块切割成间距相等,切割沟槽尺寸呈非均匀非周期变化的陶瓷坯体,然后对其进行清洗、干燥,将基体填充在沟槽内并进行抽真空处理,养护后,进行打磨、抛光及涂电极处理。本发明的2-2型压电复合材料制作工艺简单,横向耦合干扰作用小,频带宽,而且还能根据需要得到各种形状的产品,满足不同功能传感器元件的性能需求。

Description

基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种基体呈非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,还涉及它们的制备方法,属于水泥基压电智能复合材料及其制备技术领域。
背景技术
与纯压电陶瓷相比,水泥基压电复合材料因集中了压电陶瓷和水泥基体的各自优点,在土木工程领域表现出许多优越的应用性能,如压电性能优良、与混凝土结构的声学及力学相容性较好、强度高、耐久性优良等特点,因而在土木工程结构健康监测中有着巨大的应用前景。
2-2型水泥基压电复合材料一般是指以水泥为基体、压电陶瓷为功能体,压电陶瓷片与水泥基体层叠而成的两相压电复合材料,由于其制备工艺简单、机电耦合性能良好、机械品质因素低,且同时具有高的感知强度和强的驱动输出,可为智能结构提供自感知驱动器等特点,因而在混凝土结构健康监测领域具有明显的优势。但由于压电陶瓷的声阻抗较高,而水泥的声阻抗与混凝土材料的声阻抗又相近,因而制得的2-2型水泥基压电复合材料的声阻抗仍然难以实现与混凝土声阻抗的良好匹配。此外,水泥与压电陶瓷间的界面结合能力较弱,也限制了该类复合材料的应用化。因此,通过在水泥中掺加聚合物基体制备水泥聚合物基压电复合材料,不仅可以增强水泥基体与压电陶瓷的结合强度,提高水泥基压电复合材料的柔韧性和整体性能,而且,低声阻抗的聚合物也改善了水泥聚合物基压电复合材料与混凝土材料的声阻抗匹配能力。
另一方面,目前的2-2型压电复合材料的结构都为均匀周期性压电复合材料,即复合材料中的压电陶瓷相和基体相的排列方式均为均匀周期性排列,却没有关于压电陶瓷相和基体相尺寸非均匀变化的2-2型压电复合材料的报道。通过非均匀周期设计,使基体相在复合材料结构中呈非均匀周期形排列,可以减弱压电复合材料的横向结构模对其厚度谐振模态的耦合干扰,同时还可以增加复合材料的带宽,适用于制备宽带换能器。
发明内容
本发明的目的是提供一种基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,这种压电复合材料中基体呈非均匀周期排列形式,性能良好,还能根据需要得到各种形状的产品,满足不同功能传感器元件的性能需求。
本发明的另一目的是提供上述材料的制备方法,本发明方法易于实施,为基体非均匀周期性排列2-2型压电复合材料的实现提供了技术支持。
本发明采用切割-浇注法制备基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,在制备过程中,首先需要设计压电复合材料的结构参数,例如确定压电陶瓷片和切割沟槽的尺寸,确定切割沟槽的非均匀周期性变化方式,确定压电陶瓷和基体的具体成分,确定制备过程中的工艺步骤和参数等具体内容,尤其是压电陶瓷片和切割沟槽的尺寸,以及切割沟槽的非均匀周期性变化方式非常重要,只有确定了这些内容,才能保证产品的品质和性能。
本发明具体技术方案如下:
一种基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,其特征是:由压电陶瓷片、基体和上下电极制成,压电陶瓷的体积百分比为20%~90%,所有压电陶瓷片的横截面积均相同,沿压电陶瓷长度或宽度的方向,相邻压电陶瓷片间的间隔距离按下述任一方式变化:①按等差数列增大或减小(公差为0.1~1.0mm);②按等差数列增大或减小到一定程度后作为一个循环周期(公差为0.1~1.0mm),然后重复此变化;③按等差数列增大或减小到一定程度后再按照公差相同或不同的等差数列减小或增大到原始距离(公差为0.1~1.0mm),由此作为一个循环周期,然后重复此变化。
一种基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料的制备方法,其特征是包括以下步骤:
(1)在垂直于压电陶瓷块极化轴的面上,沿着压电陶瓷块长度或宽度的方向垂直切割形成一系列凹槽,切割间距相同,切割时保留底座;凹槽的宽度按下列任意一种方式变化:①按等差数列增大或减小(公差为0.1~1.0mm);②按等差数列增大或减小到一定程度后作为一个循环周期(公差为0.1~1.0mm),然后重复此变化;③按等差数列增大或减小到一定程度后再按照公差相同或不同的等差数列减小或增大到原始宽度(公差为0.1~1.0mm),由此作为一个循环周期,然后重复此变化;
(2)切割后将压电陶瓷骨架清洗干净,晾干后向凹槽中浇注基体,浇注完后抽真空去除凹槽中的气孔,然后常温固化,固化时间48h;
(3)固化后将样品打磨、去底座并抛光、洗净,然后在上下两个平行表面涂上电极,即得基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料。
上述2-2型压电复合材料的制备方法:切割间距可在0.5~3.0mm范围内选择,优选切割间距为1.0mm;切割凹槽时,凹槽的最小宽度不低于0.3mm,最大宽度为6.0mm。
上述2-2型压电复合材料的制备方法,切割凹槽时,凹槽宽度变化的公差可在0.1~1.0mm范围内选择。
本发明以压电陶瓷为功能体,所用压电陶瓷的选择范围可以涵盖现有的各种类型含铅或无铅压电陶瓷材料,将压电陶瓷块经过极化处理,即可使用。
本发明以水泥或者水泥/聚合物为基体,优选以水泥与聚合物的混合物为基体,其中水泥和聚合物的质量比为(0.5~1.5):1,聚合物可选用环氧树脂、聚氨酯、硅橡胶等有机材料,水泥材料可选用硅酸盐水泥、硫铝酸盐水泥、高铝水泥、磷酸盐水泥等水泥材料。
在切割过程中不将整个陶瓷块切透,留下一个底座,底座高度不小于0.3mm,从而防止陶瓷片的散落破损。
每次切割完毕后,都用超声波清洗机对切割后的陶瓷坯体进行清洗,然后用丙酮、乙醇等有机溶剂对切割后的陶瓷块再次进行清洗,以去除其中残留的陶瓷残渣,减小其对复合材料性能的影响。将清洗后的压电陶瓷坯体固定于模具中,将基体灌注于切割凹槽中,然后放置于真空箱进行再次抽真空处理去除残留在凹槽中的气孔。浇注后的样品置于室内放置48小时进行固化。
本发明转变了常规的压电复合材料的制备思路,将压电陶瓷片与基体均匀分布变为基体非均匀周期性分布,得到基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料。通过基体的非均匀周期排列方式,使得基体沿一定的方向(长度或宽度)呈特定分布,那么复合材料整体的压电、介电常数及机电性能参数等皆会随着该方向呈类似分布,从而有效的避免了横向结构模的干扰,从而达到控制辐射声场的目的。此外,基体非均匀性变化也会使得材料本身的纵波声速呈非均匀性变化,从而使得这种非均匀周期的压电复合材料的频带宽度也要比均匀压电复合材料的宽。
附图说明
图1为实施例1所制基体非均匀周期性排列的2-2型水泥聚合物基压电复合材料的平面结构示意图。
图2为实施例2所制基体非均匀周期性排列的2-2型水泥聚合物基压电复合材料的平面结构示意图。
图3为实施例3所制基体非均匀周期性排列的2-2型水泥聚合物基压电复合材料的平面结构示意图。
图4为实施例1-3所制基体非均匀周期性排列的2-2型水泥聚合物基压电复合材料和基体均匀周期性排列的2-2型水泥聚合物基压电复合材料的阻抗-频率谱图,a为基体均匀周期排列产品,b为实施例1产品,c为实施例2产品,d为实施例3产品。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明进行进一步的说明和阐述。
实施例1
采用PZT-4型压电陶瓷为功能体,普通硅酸盐水泥和E51型环氧树脂的混合物作为基体,采用切割-浇注工艺制备基体非均匀周期结构的2-2型水泥聚合物基压电复合材料,压电复合材料的平面结构示意图如图1所示,制备过程如下:
(1)PZT-4压电陶瓷块的尺寸为长度×宽度×厚度=25mm×11mm×10mm;
(2)采用金刚石外圆下切割机在在垂直于压电陶瓷极化轴的面上,沿着压电陶瓷的宽度方向垂直切割系列凹槽,凹槽宽度依次为2.00mm,2.50mm,3.00mm,3.50mm,4.00mm,切割间距为1.0mm,切割过程中不将整个陶瓷块切透,留下一个底座,底座高度0.5mm;
(3)用超声波清洗机对切割后的陶瓷坯体进行清洗2小时,然后用丙酮溶剂对陶瓷块进行再次清洗,以去除其中残留的陶瓷残渣;
(4)将普通硅酸盐水泥和环氧树脂按照质量比1:1进行混合,经均匀搅拌后进行抽真空处理,将抽真空处理后的水泥环氧树脂的混合物灌注于切割凹槽中,然后再次进行抽真空处理去除残留在凹槽中的气孔;
(5)将浇注后的坯体置于室内,常温放置48小时进行固化;
(6)分别采用细度为W20和W10的白刚玉微粉将固化后的试样的上下两个平行表面分别进行粗磨和细磨处理,然后用丙酮清洗试样表面,晾干后在两表面均匀地涂抹薄层低温银导电浆料,即得基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,厚度为6.0mm。
该基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料的阻抗-频率谱图如图4b所示,从图中可以看出,与基体均匀周期排列的2-2型压电复合材料(图4a)相比,厚度模带宽增大,其6dB带宽为7.3kHz,而基体均匀周期排列的2-2型压电复合材料厚度模6dB带宽为6.6kHz。
实施例2
采用PZT-4型压电陶瓷为功能体,普通硅酸盐水泥和E51型环氧树脂的混合物作为基体,采用切割-浇注工艺制备基体非均匀周期结构的2-2型水泥聚合物基压电复合材料,压电复合材料的平面结构示意图如图2所示,制备过程如下:
(1)PZT-4压电陶瓷块的尺寸为长度×宽度×厚度=25mm×11mm×10mm;
(2)采用金刚石外圆下切割机在在垂直于压电陶瓷极化轴的面上,沿着压电陶瓷的宽度方向垂直切割系列凹槽,凹槽宽度依次为1.00mm,3.50mm,6.00mm,3.50mm,1.00mm,切割间距为1.0mm,切割过程中不将整个陶瓷块切透,留下一个底座,底座高度0.50mm;
(3)用超声波清洗机对切割后的陶瓷坯体进行清洗2小时,然后用丙酮溶剂对陶瓷块进行再次清洗,以去除其中残留的陶瓷残渣;
(4)将普通硅酸盐水泥和环氧树脂按照质量比1:1进行混合,经均匀搅拌后进行抽真空处理,将抽真空处理后的水泥环氧树脂的混合物灌注于切割凹槽中,然后再次进行抽真空处理去除残留在凹槽中的气孔;
(5)将浇注后的坯体置于室内,常温放置48小时进行固化;
(6)分别采用细度为W20和W10的白刚玉微粉将固化后的试样的上下两个平行表面分别进行粗磨和细磨处理,然后用丙酮清洗试样表面,晾干后在两表面均匀地涂抹薄层低温银导电浆料,即得基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,厚度为6.0mm。
该基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料的阻抗-频率谱图如图4c所示,从图中可以看出,与基体均匀周期排列的2-2型压电复合材料相比(图4a),厚度模带宽增大,其6dB带宽为17.2kHz,而基体均匀周期排列的2-2型压电复合材料厚度模6dB带宽为6.6kHz。
实施例3
采用PZT-4型压电陶瓷为功能体,普通硅酸盐水泥和E51型环氧树脂的混合物作为基体,采用切割-浇注工艺制备基体非均匀周期结构的2-2型水泥聚合物基压电复合材料,压电复合材料的平面结构示意图如图3所示,制备过程如下:
(1)PZT-4压电陶瓷块的尺寸为长度×宽度×厚度=25mm×11mm×10mm;
(2)采用金刚石外圆下切割机在在垂直于压电陶瓷极化轴的面上,沿着压电陶瓷的宽度方向垂直切割系列凹槽,凹槽宽度依次为1.00mm,3.50mm,6.00mm,1.00mm,3.50mm,切割间距为1.0mm,切割过程中不将整个陶瓷块切透,留下一个底座,底座高度0.50mm;
(3)用超声波清洗机对切割后的陶瓷坯体进行清洗2小时,然后用丙酮溶剂对陶瓷块进行再次清洗,以去除其中残留的陶瓷残渣;
(4)将普通硅酸盐水泥和环氧树脂按照质量比1:1进行混合,经均匀搅拌后进行抽真空处理,将抽真空处理后的水泥环氧树脂的混合物灌注于切割凹槽中,然后再次进行抽真空处理去除残留在凹槽中的气孔;
(5)将浇注后的坯体置于室内,常温放置48小时进行固化;
(6)分别采用细度为W20和W10的白刚玉微粉将固化后的试样的上下两个平行表面分别进行粗磨和细磨处理,然后用丙酮清洗试样表面,晾干后在两表面均匀地涂抹薄层低温银导电浆料,即得基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,厚度为6.0mm。
该基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料的阻抗-频率谱图如图4d所示,从图中可以看出,与基体均匀周期排列的2-2型压电复合材料相比(图4a),厚度模带宽增大,其6dB带宽为16.8kHz,而基体均匀周期排列的2-2型压电复合材料厚度模6dB带宽为6.6kHz。

Claims (5)

1.一种基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料,其特征是:由压电陶瓷片、基体和上下电极制成,压电陶瓷的体积百分比为20%~90%,所有压电陶瓷片的横截面积均相同,沿压电陶瓷长度或宽度的方向,相邻压电陶瓷片间的间隔距离按下述任一方式变化:①按等差数列增大或减小(公差为0.1~1.0mm);②按等差数列增大或减小到一定程度后作为一个循环周期(公差为0.1~1.0mm),然后重复此变化;③按等差数列增大或减小到一定程度后再按照公差相同或不同的等差数列减小或增大到原始距离(公差为0.1~1.0mm),由此作为一个循环周期,然后重复此变化。
2.一种基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料的制备方法,其特征是包括以下步骤:
(1)在垂直于压电陶瓷块极化轴的面上,沿着压电陶瓷块长度或宽度的方向垂直切割形成一系列凹槽,切割间距相同,切割时保留底座;凹槽的宽度按下列任意一种方式变化:①按等差数列增大或减小(公差为0.1~1.0mm);②按等差数列增大或减小到一定程度后作为一个循环周期(公差为0.1~1.0mm),然后重复此变化;③按等差数列增大或减小到一定程度后再按照公差相同或不同的等差数列减小或增大到原始宽度(公差为0.1~1.0mm),由此作为一个循环周期,然后重复此变化;
(2)切割后将压电陶瓷骨架清洗干净,晾干后向凹槽中浇注基体,浇注完后抽真空去除凹槽中的气孔,然后常温固化,固化时间48h;
(3)固化后将样品打磨、去底座并抛光、洗净,然后在上下两个平行表面涂上电极,即得基体非均匀周期性排列的2-2型压电复合材料。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征是:切割间距可在0.5~3mm范围内选择,优选切割间距为1.0mm;切割凹槽时,凹槽的最小宽度不低于0.3mm,最大宽度为6mm。
4.根据权利要求2或3所述的制备方法,其特征是:切割凹槽时,凹槽宽度变化的公差可在0.1~1.0mm范围内选择。
5.根据权利要求1所述的压电复合材料,其特征是:以水泥或者水泥与聚合物的混合物作为基体,水泥和聚合物的质量比为0.5~1.5:1;压电陶瓷的体积百分比为20%~90%。
CN201310388097.3A 2013-09-01 2013-09-01 基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法 Expired - Fee Related CN103456879B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310388097.3A CN103456879B (zh) 2013-09-01 2013-09-01 基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310388097.3A CN103456879B (zh) 2013-09-01 2013-09-01 基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103456879A true CN103456879A (zh) 2013-12-18
CN103456879B CN103456879B (zh) 2015-10-21

Family

ID=49739039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310388097.3A Expired - Fee Related CN103456879B (zh) 2013-09-01 2013-09-01 基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103456879B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105702852A (zh) * 2014-11-28 2016-06-22 中国科学院深圳先进技术研究院 2-2型压电陶瓷/单晶铁电复合材料的制备方法和制备冶具
CN107507912A (zh) * 2017-08-30 2017-12-22 湖北工程学院 压电纤维复合层及其制备方法
CN107742671A (zh) * 2017-11-27 2018-02-27 中北大学 3‑1‑2型聚合物/水泥压电复合材料及其制备方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108831990B (zh) * 2018-06-20 2020-04-24 武汉大学 基于水泥基压电复合材料元件的全应力传感器的制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4658176A (en) * 1984-07-25 1987-04-14 Hitachi, Ltd. Ultrasonic transducer using piezoelectric composite
EP0629992A2 (en) * 1993-06-15 1994-12-21 Hewlett-Packard Company Micro-grooves for apodization and focussing of wideband clinical ultrasonic transducers
US20050174017A1 (en) * 2002-04-26 2005-08-11 Makoto Chisaka Composite piezoelectric vibrator
CN101538144A (zh) * 2009-04-14 2009-09-23 济南大学 2-2型水泥基压电复合材料

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4658176A (en) * 1984-07-25 1987-04-14 Hitachi, Ltd. Ultrasonic transducer using piezoelectric composite
EP0629992A2 (en) * 1993-06-15 1994-12-21 Hewlett-Packard Company Micro-grooves for apodization and focussing of wideband clinical ultrasonic transducers
US20050174017A1 (en) * 2002-04-26 2005-08-11 Makoto Chisaka Composite piezoelectric vibrator
CN101538144A (zh) * 2009-04-14 2009-09-23 济南大学 2-2型水泥基压电复合材料

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105702852A (zh) * 2014-11-28 2016-06-22 中国科学院深圳先进技术研究院 2-2型压电陶瓷/单晶铁电复合材料的制备方法和制备冶具
CN105702852B (zh) * 2014-11-28 2018-11-20 中国科学院深圳先进技术研究院 2-2型压电陶瓷/单晶铁电复合材料的制备方法和制备冶具
CN107507912A (zh) * 2017-08-30 2017-12-22 湖北工程学院 压电纤维复合层及其制备方法
CN107742671A (zh) * 2017-11-27 2018-02-27 中北大学 3‑1‑2型聚合物/水泥压电复合材料及其制备方法
CN107742671B (zh) * 2017-11-27 2020-03-10 中北大学 3-1-2型聚合物/水泥压电复合材料及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103456879B (zh) 2015-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103456879B (zh) 基体非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及其制备方法
CN111187073B (zh) 一种3-3型压电陶瓷/水泥复合材料及其制备方法
KR100895578B1 (ko) 컴포지트 압전 진동자
DE68920370T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen zusammengesetzten Wandlers.
CN101538144B (zh) 2-2型水泥基压电复合材料
CN103594616B (zh) 基体非均匀周期排列的1-3型压电复合材料及其制备方法
CN102260061A (zh) 1-3型聚合物/水泥基压电复合材料及其制备方法
CN105405964B (zh) 一种压电纤维复合结构层的制备方法
JP2012531036A (ja) 圧電性セラミック本体を製造する方法
US10584067B2 (en) High intensity focused ultrasonic piezoelectric actuator and method of manufacturing the same
CN101255265A (zh) 无铅压电陶瓷/聚合物1-3结构复合材料及其加工方法
CN103474569B (zh) 压电陶瓷非均匀周期排列的2-2型压电复合材料及制备方法
CN107170882B (zh) 基于改进聚合物相的1-3型压电复合材料及其制备方法
CN111900247A (zh) 一种压电复合材料的制备方法及其应用
CN103796149B (zh) 一种尖劈状声学匹配层的制作方法
CN100364129C (zh) 一种1-3结构巨磁电材料及其制备方法
CN103456878B (zh) 压电陶瓷非均匀周期排列的1-3型压电复合材料及制备方法
CN101798201B (zh) 铌酸盐基压电陶瓷纤维/聚合物1-3型复合材料及制备方法
CN103985815B (zh) 一种制备压电纤维复合物的切割方法
JP4528383B2 (ja) 複合圧電体の製造方法
CN106891425B (zh) 一种用于建筑标高砼块的批量成型工艺
CN110429175B (zh) 一种扭转振动晶片和制造方法
CN104550944B (zh) 一种复合稀土磁致伸缩材料的制备方法
JP2010021812A (ja) 圧電振動子の製造方法
Gebhardt et al. Towards fabrication of high frequency ultrasonic transducers using soft mold process

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20151021

Termination date: 20190901