JP2000348348A - 光学再生記録方法および光学装置 - Google Patents

光学再生記録方法および光学装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 再生時や記録時におけるS/N比が高い、あ
るいは記録マークの形成が容易な光学再生記録方法およ
び光学装置を提供する。 【解決手段】 記録層5を含む光ディスク2と、光ディ
スク2上に形成され、光の照射によって光の透過率が低
下するマスク層3とを備える光学装置。マスク層3にレ
ーザビーム11を照射する。レーザビーム11によって
透過率を局所的に低下させたマスク層3の領域近辺に近
接場8を発生させる。この近接場8と記録層5との相互
作用によって、記録層5における光学情報の再生または
記録を行う光学再生記録方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、近接場を用いるこ
とによる光の回折限界を越えた光学読み取り、あるいは
光学書き込み可能な光学再生記録方法、および光学装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、刊行物「エレクトロニクス」1998
年10月号p100-102(オーム社発行)、あるいは論文誌Ap
plied Physics Letters, Vol. 73, No. 15, published
on 12October 1998, pp2078-2080 には、近接場を用い
た記録、あるいは再生技術が開示されている。
【0003】近接場を用いた再生技術について、図5を
用いて説明する。図5において、対物レンズで集光され
たレーザビーム101は光ディスク102に照射され
る。ここで、光ディスク102は、基板111上に保護
層112、アンチモン膜からなるマスク層113、保護
層114、GeSbTe等の相変化材料からなる記録層
115の順に積層されている。
【0004】マスク層113は、照射されたレーザビー
ム101のスポットの中心が高温になり、不透明から透
明に変化するものである。保護層114の厚みは、アパ
ーチャ103と記録層115との間において、近接場光
105が出射でき、かつ、近接場光105を受光できる
距離に設定されている。
【0005】このような構成によれば、マスク層113
にスポット径よりも小さなアパーチャ103が発生し、
これを通して記録層115に記録された記録マーク10
4からの情報を読み出すことができ、100nm以下の
微小な記録マーク104についても再生できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の再生
技術では、アパーチャ103以外のマスク層113にお
いては光が遮断され、微細なアパーチャ103のみにて
光を通して、上記光が照射された記録マーク104から
情報を読み出すため、記録マーク104からの光量が小
さくなる。したがって、上記従来の再生技術では、S/
N比が低下し、確実な情報の再生が困難になるという問
題を生じている。
【0007】また、上記従来では、記録時も、同様に微
細なアパーチャ103を介して行うため、光量が少なく
なり、十分な記録マーク104を形成できないという問
題も生じている。その上、上記従来においては、十分な
記録マーク104を形成するため記録時の光量を大きく
すると記録マーク104が大きくなり高密度記録ができ
ないという問題も生じている。
【0008】本発明の目的は、上記の各問題を鑑み、記
録マーク104からの光量を増大させると共に、記録マ
ーク104に達する光量も増加させて、再生時や記録時
におけるS/N比が高い、あるいは記録マーク104の
形成が容易な光学再生記録方法および光学装置を提供す
ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の光学再生記録方
法は、以上の課題を解決するために、情報を有する試料
を含む基体上に形成され、光あるいは熱によって光の透
過率が低下するマスク層に光ビームを照射し、上記光ビ
ームによって透過率を局所的に低下させたマスク層の領
域近辺に発生した近接場と試料との相互作用によって、
上記情報の再生または記録を行うことを特徴としてい
る。
【0010】上記方法によれば、光ビームの照射によ
り、光の透過率が局所的に低下したマスク層の領域付近
に近接場の光を試料上に発生させることにより、上記近
接場の光と試料との間で相互作用を生じさせることがで
き、その相互作用によって、情報に応じた散乱光が上記
近接場の光から発生する。
【0011】このとき、上記方法では、上記散乱光を、
マスク層の光の透過率が低下した領域以外の、より広い
面積となる光の透過率が高い領域から検出できるため、
試料の情報を、高いS/N比にて再生することができ
る。
【0012】本発明の他の光学再生記録方法は、以上の
課題を解決するために、情報を有する試料を含む基体上
に形成され、光あるいは熱によって自由電子数が増加す
るマスク層に光ビームを照射し、自由電子数が増加した
マスク層の領域近辺に発生した近接場と、試料との相互
作用により、上記情報の再生または記録を行うことを特
徴としている。
【0013】上記方法によれば、光ビームの照射により
自由電子数が増加した微小領域においてプラズモンが励
起されるので、このプラズモンによって周囲に発生した
強い強度の近接場によって情報を試料に対し書き込み、
または試料の情報を読み取ることができる。このため、
上記方法では、情報を試料に書き込むことが強い強度の
近接場によって容易となり、また、試料から情報を読み
取るときには、強い強度の近接場によって、より高いS
/N比を得ることができる。
【0014】上記光学再生記録方法では、前記基体は、
情報を光によって記録する記録層を試料として有してい
てもよい。上記方法によれば、マスク層の領域近辺に発
生した近接場と記録層との相互作用によって、高記録密
度で情報を記録または再生を実現することができる。
【0015】上記光学再生記録方法においては、前記試
料に対向する位置に前記マスク層を有する半球状レンズ
により、近接場を形成してもよい。上記方法によれば、
マスク層を基体から離間した半球状レンズに設けること
により、マスク層を基体と別体にできるので、光記録媒
体などといった試料の取り替えが容易となり、光学顕微
鏡や媒体交換型光メモリを容易に実現できる。
【0016】上記光学再生記録方法では、前記基体に近
接する半球状あるいは超半球状のレンズによって、前記
マスク層に発生した近接場と試料との相互作用により散
乱した光を、情報を含む再生光として集光してもよい。
【0017】上記方法によれば、半球状あるいは超半球
状のレンズは立体角を、通常の対物レンズの立体角より
大きく設定できるので、近接場と試料との相互作用によ
り散乱した光を、より効率よく集光することができる。
これにより、上記方法では、高記録密度にて記録された
情報を、上記の散乱した光から、より確実に再生でき
て、近接場を用いた、例えば光メモリの実現を容易化で
きる。
【0018】本発明の光学装置は、基体が試料を含んで
設けられ、上記試料の光学情報を記録または再生するた
めの光学系がレーザビームを上記試料に向かって照射す
るように設けられ、上記レーザビームの照射により光の
透過率を低下させるマスク層が上記レーザビームによる
近接場を上記試料に対して形成するように設けられてい
ることを特徴としている。
【0019】上記構成によれば、光ビームをマスク層に
照射すると、上記マスク層に光の透過率が局所的に低下
した領域を形成でき、この領域付近に近接場の光を上記
領域に対応した試料上に発生させることができる。これ
により、上記構成では、上記近接場の光と試料との間で
相互作用を生じさせることができ、その相互作用によっ
て、情報に応じた散乱光を上記近接場の光により発生さ
せることができる。
【0020】このとき、上記構成では、上記散乱光を、
マスク層における光の透過率が低下した領域以外の、よ
り広い面積となる光の透過率が高い領域から検出できる
ため、試料の情報を、高いS/N比にて再生することが
できる。
【0021】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)本発明に係る光
学再生記録方法および光学装置の実施の形態1について
図1および図2に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。
【0022】本実施の形態1の光学装置では、情報を記
録し、再生するための光ディスク2が、基板(基体)1
2上に、マスク層3、保護層4、記録層(試料)5を、
この順にて積層して用いられている。基板12の厚みは
数mm〜十数mmである。マスク層3、保護層4、記録
層5の厚みはそれぞれ数十nmである。上記光学装置で
は、対物レンズ1により集光したレーザビーム11は、
光記録媒体である光ディスク2に対し、マスク層3など
を形成した面とは反対面から照射されるようになってい
る。
【0023】基板12は、ガラスまたはポリカーボネー
トなどの光透過性材料からなっている。保護層4はSi
NやAlNなどの誘電体からなっている。記録層5は、
レーザビーム11の照射による、ガウス分布に沿った局
部的な温度上昇により磁気特性の変化と外部磁場とによ
って、垂直磁化の方向がデジタル情報に応じて変化する
GdTeCo系などの光磁気記録材料からなっている。
よって、上記光学装置では、レーザビーム11は記録層
5との相互作用、つまり記録層5からの反射光におい
て、デジタル情報に基づく垂直磁化の方向によりカー回
転角の変化により情報を再生することができる。
【0024】なお、上記光学装置において、記録層5
は、レーザビーム11の照射による、ガウス分布に沿っ
た温度上昇により相変化する、GdSbTe系などの相
変化材料からなるものであってもよい。このような光学
装置では、情報に対応した相変化に基づく記録層5から
の反射率の変化、つまり反射光の光量の変化により情報
を再生することができる。
【0025】マスク層3は、温度が上昇すると光の透過
率が低下する熱光学効果を示す材料か、あるいは光量が
強い部分のみ光の透過率が低下する熱光学効果を示す材
料からなっている。上記マスク層3としては、上述の熱
光学効果を示す、例えばポリマ材料(d-PFMA:deuterate
d fluoromethacrylate polymer) が挙げられる。
【0026】次に、上記光学装置を用いた、光学再生記
録方法について説明する。まず、マスク層3では、レー
ザビーム11が照射されると、マスク層3上における、
ガウス分布となる温度分布9において、しきい値温度1
0を越えた高温となる中心部分の、光の透過率が低下す
る。したがって、照射されたレーザビーム11にて形成
された光のスポットの中心に、光の透過率の低い、楕円
形状の、近接場8に対応する領域7が発生する。
【0027】通常、光ディスク2が回転駆動されるの
で、回転駆動されながらレーザビーム11の照射により
得られた領域7による温度上昇領域はトラック方向(光
ディスク2の周方向)に沿って延びた楕円形となる。
【0028】このとき、レーザビーム11のレーザパワ
ーを適切に調整すると、この領域7の大きさ、つまり領
域7の長径の大きさを100nm以下に設定することが
できる。そのような領域7では、領域7の大きさがレー
ザビーム11の波長よりも十分に短くなるので、領域7
の周囲や近傍となる、記録層5上に近接場8の光を発生
させることができる。
【0029】保護層4の厚みは、数十nm以下であり、
近接場8の到達距離よりも短く設定されているので、マ
スク層3と記録層5との間を近接場8の光が出射し、ま
た、記録層5からの上記近接場8の光を受光できる距離
になっている。これにより、近接場8の範囲も数十nm
であるから、従来と同様に記録層5に対し近接場8と同
程度の大きさの記録マーク6を書き込んだり、読み出し
たりできる。
【0030】また、読み出し時には、マスク層3におけ
る、光スポットの中心の領域7以外の領域は透過率が高
いため、近接場8の光と記録マーク6との相互作用によ
る、情報を含む散乱光は、マスク層3における領域7以
外の領域を通って対物レンズ1にて集光され、読み出し
用の光(再生光)として検出される。
【0031】ところで、従来では、レーザビームが照射
された微小なアパーチャのみの透過率が高いため、上記
アパーチャを通してのみ、記録マークが読み出されたの
で、上記アパーチャを通して検出した読み出し用の光の
強度は小さく、よって、読み出し時のS/N比が低かっ
た。
【0032】しかしながら、本発明では、領域7である
スポットの中心以外の、その中心領域よりも広い領域と
なる、光の透過する領域を通して散乱光を検出するた
め、記録マーク6からの光量を大きくできて、記録マー
ク6を高記録密度となる微小に設定しても、S/N比の
高い再生信号を得ることができる。
【0033】以下に、本発明の変形例について説明す
る。まず、マスク層3の材料を、温度が上がると自由電
子が増加する(導電率が上昇する)材料、あるいは光量
が強い部分のみ自由電子が増加する(導電率が上昇す
る)材料に置き換えることができる。上記材料として
は、例えば、金属−絶縁体転移を生じる材料である有機
化合物(TTF−TCNQ:テトラチアフルバレン−テ
トラシアノキノジメタン)や無機化合物(NdSe3
が挙げられる。
【0034】この場合、レーザビーム11のスポットの
中心に、自由電子数の増加した領域7が発生する。この
自由電子は、レーザビーム11との共鳴によりプラズモ
ンを励起する。プラズモンの電場は、レーザビーム11
の数十〜数百倍の強度となることが知られている(例え
ば、特開平4−62090号公報を参照下さい)。
【0035】したがって、照射するレーザビーム11の
レーザパワーを適切に調整することにより、領域7の周
囲や近傍に強い強度の近接場8が発生する。これによ
り、記録層5への微小な記録マーク6の形成が容易とな
り、記録時のS/N比を増加させることが可能となる。
【0036】さらに、マスク層3が、レーザビーム11
の照射による温度上昇によって、自由電子の増加と、光
の透過率の低下とを兼ね備える材料の場合は、プラズモ
ンによって増強された散乱光を、読み出し用の光とし
て、より一層効率よく検出することができるので、再生
時のS/N比を増加させることが可能となる。
【0037】なお、特開平4−62090号公報に記載
の光記録媒体と異なり、本発明では、記録層5とマスク
層3とを互いに分離しているため、記録材料に依存せ
ず、透過率が下がる材料、あるいは自由電子が増加する
材料を自由に選択することができる。したがって、それ
ぞれの材料を個別に最適化することができ、光記録媒体
の製造も容易になる。
【0038】図2に、光ディスク2に対し情報を記録再
生する光学装置のブロック図を示す。このような光学装
置では、記録回路33から出力された記録信号がレーザ
駆動回路32に入力され、光学ピックアップ31内の半
導体レーザから出射された記録光が光ディスク2に照射
されて、情報が記録される。再生時は、記録時より弱い
光量の再生光を光ディスク2に照射し、再生光を光学ピ
ックアップ31内のフォトディテクタにて電気信号に変
換し、再生回路34にて情報を再生する。光量の調整は
レーザ駆動回路32にて行われ、光ディスク2のマスク
層3において近接場8の発生を適切に制御する。
【0039】なお、図1(a)において、記録層5とマ
スク層3とを入れ換えて、レーザビーム11を記録層5
を通してマスク層3に照射することにより、前述の領域
7を発生させてもかまわない。この場合も、上記領域7
には前述と同様に近接場8が発生し、上記領域7におい
て記録マーク6を記録、再生することができる。
【0040】(実施の形態2)本発明の実施の形態2に
ついて、図3に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。なお、本実施の形態2では、上述した実施の形態1
について説明した各部材と同一の機能を有する各部材に
ついては、図1および図2に示した各部材番号と同一の
部材番号を図3においても付記して、それらの説明を省
略した。
【0041】本実施の形態2では、レーザビーム11
は、半球状レンズ21に導入されて、集光される。この
半球状レンズ21〔以下、SIL(Solid Immersion Le
ns)21と称する)の底面には、マスク層3が形成され
ている。上記底面とは、レーザビーム11からSIL2
1に導入された光の出射面である。そのマスク層3の材
料としては、前述の実施の形態1と同様に、レーザビー
ム11の照射によって、温度が上昇するか、あるいは光
量が強い部分のみ透過率が低下するか、あるいは自由電
子が増加する材料が使用される。
【0042】SIL21は、少なくとも、記録時や再生
時において、光ディスク2の記録層5に近接して、光デ
ィスク2の上にてギャップ22を隔てて浮上するように
設定されている。ギャップ22は、数十nm以下となる
ように、光ディスク2に対してSIL21を例えば空気
浮上させて形成されている。
【0043】光ディスク2では、基板12上に記録層5
が積層されている。ギャップ22によるSIL21とギ
ャップ22との間隔は近接場8の到達距離より短い。こ
のため、上記近接場8はギャップ22を通って記録層5
に達する。これによって、実施の形態1と同様に、記録
層5への信号の記録が容易となり、また、再生信号のS
/N比を増大することが可能となる。
【0044】なお、ギャップ22と光学的に同じ厚みを
有する保護層(図示せず)を、記録層5とSIL21と
の間の光路上における、記録層5の上方か、マスク層3
の下方か、あるいは両方に設け(これらの場合は厚みの
和をギャップ22による光学的な厚みと同一に設定す
る)、SIL21と光ディスク2とを互いに接触させて
もよい。
【0045】なお、上記マスク層3の形成位置は、SI
L21に限定されず、平板の基板にマスク層3を設け
て、上記基板を光ディスク2上にスライドさせても構わ
ないが、SIL21を用いれば、レーザビーム11のス
ポット径をより小さく設定できるため、近接場8の強度
を上げることができる。
【0046】また、本実施の形態2では、マスク層3と
記録層5とが互い異なる別体に設けられている点が、実
施の形態1と異なる。したがって、光ディスク2の代わ
りに、観察試料を配置すれば、試料の光学像を高い分解
能によって観察できる光学顕微鏡も容易に実現できる。
【0047】上記SIL21について以下に詳細に説明
する。SIL21は凸レンズであり、SIL21の素材
の屈折率が空気(屈折率が1)より大きいことを用い
て、通常の凸レンズである集光レンズにより記録層5上
に集光される光の波長を小さく設定して、記録層5上に
集光された光の解像度を向上させるものである。なお、
SIL21としては、半球状の他に、超半球状のものも
含まれるが、説明の便宜上、本実施の形態2では半球状
のものについてのみ説明する。
【0048】上記SIL21は、その中心軸が、レーザ
ビーム11の平行光束P1 の光軸とそれぞれ一致するよ
うに配置されている。SIL21は、光の入射面が半球
面である一方、光の出射面が平坦面(SIL21の中心
軸に対し直交する)のものである。本実施の形態2で
は、SIL21の屈折率をN1 (>1)とする。
【0049】このようなSIL21では、入射した平行
光束P1の光(波長=λ)は、SIL21内で開口数N
Aで波長がλ/N1 の光束となり、そして、SIL21
の平坦面から出射し、記録層5に入射する。
【0050】ここにおいて、SIL21の出射光は、記
録層5上に集光されたビームスポット径を小さくするた
めに開口数を大きくすると、SIL21の平坦面(底
面)や記録層5への入射角が大きくなるため、記録層5
の表面上や、SIL21の平坦面において反射が生じて
しまい、光量ロスが生じることがある。
【0051】そこで、本発明では、SIL21の平坦面
を記録層5に近接させる、ギャップ22の間隔(用いた
レーザ光の波長λ以下、より好ましくはλ/4以下の距
離、例えば数十nm以下)にて、SIL21を記録層5に
対して配置している。
【0052】このように配置することにより、SIL2
1の平坦面での全反射表面から、近接場8の光としての
エバネッセント(evanescent)光が、近接している記録
層5に伝わるようになる。すなわち、上記SIL21の
平坦面から出射する光束は、近接場(near field)効果
により記録層5と結合し、SIL21内での進行方向と
概ね同一方向に進行する。このため、SIL21から記
録層5に出射するときに大きな反射を生じさせずに、集
光された光束を記録層5に効率よく導くことができる。
【0053】このとき、記録層5に導かれる光束は、S
IL21内で伝搬する光と同様の性質のものとなる。こ
のため、記録層5に伝搬する光は、開口数NA、波長λ
/N1 の光束となる。よって、記録層5の表面には、波
長がλ/N1 で開口数NAの光束が入射することとな
る。
【0054】このため、記録層5に対し、集光レンズ1
によりレーザビーム11を集光する、通常の場合と比べ
て、記録層5上に集光されるレーザビーム11のビーム
スポット径を、1/N1 に小さく設定できるので、記録
層5に対し、光学的に記録できる情報の密度を、上記S
IL21によって、さらに高めることができる。
【0055】(実施の形態3)本発明の実施の形態3に
ついて、図4に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。なお、本実施の形態3では、前述の各実施の形態1
および2について説明した各部材と同一の機能を有する
各部材については、図1ないし図3に示した各部材番号
と同一の部材番号を図4においても付記して、それらの
説明を省略した。
【0056】本実施の形態3では、SIL21によって
集光されたレーザビーム11は、ギャップ22、第2の
保護膜23を通ってマスク層3に入射する。第2の保護
膜23は、SIL21がマスク層3に衝突して、マスク
層3が破損することを防止するために設けられている。
【0057】本発明では、マスク層3が最も重要な層で
あるため、最低限、マスク層3を保護する必要がある。
入射したレーザビーム11はマスク層3において、透過
率の低い領域7を発生する。マスク層3に使用される材
料は、前述の有機化合物や無機化合物の他に、酸化銀や
酸化テルル等を用いてもよい。
【0058】酸化銀や酸化テルルは室温では透過率が高
く、絶縁体であるが、レーザビーム11を照射して10
0〜200度以上になると透過率が下がる一方、反射率
が上がる。しかも導体に変化する。したがって、この材
料は、本発明において実用に適した材料である。その
他、発生した近接場8によって記録層5に記録マーク6
を記録し、再生する点は前述の各実施の形態1および2
と同様である。
【0059】さて、再生時に近接場8の光と記録マーク
6とが相互作用すると、その相互作用点から、上記記録
マーク6に応じた、つまり記録された情報に応じた光が
四方に散乱する。したがって、SIL21によって、こ
の散乱光を効率よく集めることにより、記録マーク6か
らの再生信号の強度は増大し、S/N比の高い再生信号
が得られる。
【0060】前述の実施の形態1に記載の対物レンズ1
のみでは、散乱光を集光する立体角がSIL21より小
さくなるため、SIL21を用いた場合と比べると散乱
光を効率よく集光することはできない。しかしながら、
SIL21を用いると、上記SIL21は立体角を対物
レンズ1より大きく設定できて、散乱光をより多く集光
することができる。
【0061】近接場8の光の強度は、本質的に小さいた
め、効率よく再生光を集光することは、高S/N比のた
めには不可欠であり、反射率が低下する領域7を発生す
る光ディスク2の構造と、SIL21とは最も相性の良
い組み合わせであり、近接場8の光による光メモリの実
現に大きく貢献できる。
【0062】なお、上述のマスク層3に使用される酸化
銀や酸化テルルは、前述の実施の形態1や実施の形態2
においても使用可能である。
【0063】また、本発明の光学再生記録方法および光
学装置においては、実験の結果、例えば、マスク層3に
酸化銀(厚み10nm〜50nm)、記録層5にGeS
bTe(厚み10nm〜50nm)、マスク層3と記録
層5との間の保護層4にZnS−SiO2 (厚み5nm
〜60nm)を用いると、大きなC/N比(Carrierto
Noise Ratio) が得られることが判った。
【0064】特に、上記マスク層3の厚みが10nm〜
30nm、上記記録層5の厚みが10nm〜30nm、
上記保護層4の厚みが40nm〜60nmの場合に、よ
り大きなC/N比が得られた。このとき、レーザ波長
は、635nm、対物レンズの開口数は0.6、光ディ
スク2とレーザビーム11のビームスポットとの相対線
速度は、6m/sに設定した。
【0065】その上、本発明の光学再生記録方法および
光学装置に係る光ディスク2においては、保護層4の屈
折率をn、レーザ波長をλとすると、保護層4の膜厚d
は、d=a×λ/n(a=0.018〜0.22)とな
るように設定すればよいことが判った。
【0066】
【発明の効果】本発明の光学再生記録方法は、以上のよ
うに、情報を有する試料を含む基体上に形成され、光あ
るいは熱によって光の透過率が低下するマスク層に光ビ
ームを照射し、上記光ビームによって透過率を局所的に
低下させたマスク層の領域近辺に発生した近接場と試料
との相互作用によって、上記情報の再生または記録を行
う方法である。
【0067】それゆえ、上記方法は、光ビームの照射に
より、光の透過率が局所的に低下したマスク層の領域付
近に近接場の光を試料上に発生させることにより、上記
近接場の光と試料との間で相互作用を生じさせることが
でき、その相互作用によって、情報に応じた散乱光が上
記近接場の光から発生する。
【0068】このとき、上記方法では、上記散乱光を、
マスク層の光の透過率が低下した以外の、広い面積の光
の透過率が高い領域から検出できるため、試料の情報
を、高いS/N比にて再生することができるという効果
を奏する。
【0069】本発明の他の光学再生記録方法は、以上の
ように、マスク層を、光ビームによって透過率を局所的
に低下させるものに代えて、光あるいは熱によって自由
電子数が増加するものを用いる方法である。
【0070】それゆえ、上記方法は、光ビームの照射に
より自由電子数が増加した微小領域においてプラズモン
が励起されるので、このプラズモンによって周囲に発生
した強い強度の近接場によって情報を試料に対し書き込
み、または試料の情報を読み取ることができる。このた
め、上記方法では、情報を試料に書き込むことが強い強
度の近接場によって容易となり、また、試料から情報を
読み取るときには、強い強度の近接場によって、より高
いS/N比を得ることができるという効果を奏する。
【0071】本発明の光学装置は、以上のように、基体
が試料を含んで設けられ、上記試料の光学情報を記録ま
たは再生するための光学系がレーザビームを上記試料に
向かって照射するように設けられ、上記レーザビームの
照射により光の透過率を低下させるマスク層が上記レー
ザビームによる近接場を上記試料に対して形成するよう
に設けられている構成である。
【0072】それゆえ、上記構成は、光ビームをマスク
層に照射すると、上記マスク層に光の透過率が局所的に
低下した領域を形成でき、この領域付近に近接場の光を
上記領域に対応した試料上に発生させることができる。
【0073】これにより、上記構成では、上記近接場の
光と試料との間で相互作用を生じさせることができ、そ
の相互作用によって、情報に応じた散乱光を上記近接場
の光により発生させることができる。
【0074】この結果、上記構成では、上記散乱光を、
マスク層の光の透過率が低下した領域以外の、より広い
面積となる光の透過率が高い領域から検出できるため、
試料の情報を、高いS/N比にて再生することができる
という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学再生記録方法および光学装置に係
る実施の形態1を示す説明図であって、(a)は概略構
成図、(b)はマスク層上での温度分布を示すグラフで
ある。
【図2】上記光学装置の概略を示すブロック図である。
【図3】本発明の光学再生記録方法および光学装置に係
る実施の形態2を示す説明図であって、(a)は概略構
成図、(b)はマスク層上での温度分布を示すグラフで
ある。
【図4】本発明の光学再生記録方法および光学装置に係
る実施の形態3を示す説明図であって、(a)は概略構
成図、(b)はマスク層上での温度分布を示すグラフで
ある。
【図5】従来の光学再生記録方法を示す概略構成図であ
る。
【符号の説明】
1 対物レンズ 2 光ディスク 3 マスク層 5 記録層 7 領域 11 レーザビーム 21 SIL(半球状レンズ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (74)上記2名の代理人 100080034 弁理士 原 謙三 (72)発明者 富永 淳二 茨城県つくば市東1−1−4 工業技術院 産業技術融合領域研究所内 (72)発明者 阿刀田 伸史 茨城県つくば市東1−1−4 工業技術院 産業技術融合領域研究所内 (72)発明者 藤 寛 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 片山 博之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 5D029 HA06 HA07 NA14 5D075 AA03 BB04 CC07 CC12 CD10 EE03 FF03 FF04 FG02 5D090 AA01 BB02 BB04 BB05 BB10 CC01 CC04 DD01 EE01 EE11 FF11

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】情報を有する試料を含む基体上に形成さ
    れ、光あるいは熱によって光の透過率が低下するマスク
    層に光ビームを照射し、 上記光ビームによって透過率を局所的に低下させたマス
    ク層の領域近辺に発生した近接場と試料との相互作用に
    よって、上記情報の再生または記録を行うことを特徴と
    する光学再生記録方法。
  2. 【請求項2】情報を有する試料を含む基体上に形成さ
    れ、光あるいは熱によって自由電子数が増加するマスク
    層に光ビームを照射し、 自由電子数が増加したマスク層の領域近辺に発生した近
    接場と、試料との相互作用により、上記情報の再生また
    は記録を行うことを特徴とする光学再生記録方法。
  3. 【請求項3】前記基体は、情報を光によって記録する記
    録層を試料として有していることを特徴とする請求項1
    または2記載の光学再生記録方法。
  4. 【請求項4】前記試料に対向する位置に前記マスク層を
    有する半球状レンズにより、近接場を形成することを特
    徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載の光学再
    生記録方法。
  5. 【請求項5】前記基体に近接する半球状あるいは超半球
    状のレンズによって、前記マスク層に発生した近接場と
    試料との相互作用により散乱した光を、情報を含む再生
    光として集光することを特徴とする請求項1ないし4の
    何れか一項に記載の光学再生記録方法。
  6. 【請求項6】基体が試料を含んで設けられ、 上記試料の光学情報を記録または再生するための光学系
    がレーザビームを上記試料に向かって照射するように設
    けられ、 上記レーザビームの照射により光の透過率を低下させる
    マスク層が上記レーザビームによる近接場を上記試料に
    対して形成するように設けられていることを特徴とする
    光学装置。
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